TWI756946B - 保持裝置、控制方法、控制裝置及機器人系統 - Google Patents

Abstract

保持裝置具備：第1吸附部，其以可吸附主構件之方式被構成；以及第1把持部，其於與第1方向交叉的方向上與上述第1吸附部相鄰地配置，且以可把持第1輔助構件之方式被構成；上述第1吸附部及上述第1把持部，分別以可吸附及把持位於上述第1方向的上述主構件及上述第1輔助構件之方式被定向。

Description

保持裝置、控制方法、控制裝置及機器人系統

本發明係關於保持裝置、控制方法、控制裝置及機器人系統。

〔相關申請的互相參考〕

本案主張2019年11月29日於日本特許廳申請的特願2019-216154號的優先權，透過參照上述優先權案而引用構成本案的一部份。

習知技術中，機器人係用來代替人工作業的設備。例如專利文獻1所揭示的將食品盛放至托盤的機器人。專利文獻1所揭示的機器人在右臂的右手部以及左臂的左手部分別具備供給部與把持部。供給部具有可將朝向改變為下方及側方的吸附頭，把持部具有板狀形狀的把持構件。機器人利用各個臂，將以吸附頭吸附的食品從帶狀輸送帶移送至暫置台，將複數個食品的朝向對齊排列。進一步地，機器人利用左右臂的把持構件，從排列好的所有食品的側方夾持並移送至托盤。

[現有技術文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2017-218268號公報

專利文獻1的供給部與把持部對食品進行目的相異的作業。進一步地，左右手部的把持部，無法單獨地把持食品。然而，對機器人而言，有時候對於對象物會要求利用吸附的保持，與伴隨把持的作用進行連動的作業。

本發明之目的在於，提供可對於對象物施加利用吸附的保持與伴隨把持的作用的保持裝置、控制方法、控制裝置及機器人系統。

為了達成上述目的，本發明之一態樣的保持裝置具備：第1吸附部，其以可吸附主構件之方式被構成；以及第1把持部，其於與第1方向交叉的方向上與上述第1吸附部相鄰地配置，且以可把持第1輔助構件之方式被構成；上述第1吸附部及上述第1把持部，分別以可吸附及把持位於上述第1方向的上述主構件及上述第1輔助構件之方式被定向。

根據本發明，可將對象物保持於兩個位置且可對其加以作用。

1:機器人系統

100、320:機器人

110A、110B:(第1、第2)末端效果器

110A1:第1末端效果器(變形例)

111A、111B:(第1、第2)吸附部

112A、112B:基部

1121:長邊部

1122:短邊部

113A、113B:(第1、第2)旋轉支持部

1131、1133:對向部

1132:中間部

114A、114B、114A1:把持支持部

1141、1142:(第1、第2)板狀部

1143、1144:(第1、第2)板狀部(變形例)

115A、115B:(第1、第2)旋轉裝置

116A、116B:(第1、第2)把持部

1161、1162:把持爪

1163:把持驅動裝置

117A、117B:力感測器

118A:昇降支持部(變形例)

1181、1182:(第1、第2)板狀部(變形例)

119A:昇降裝置(移動裝置)(變形例)

120A、120B:(第1、第2)機器臂

121A~124A、121B~124B:連桿

130:基台

200:位置檢測裝置

201a~201c:感測器

300、400、500:(第1、第2、第3)搬送裝置

310、430、510:移送裝置

330:暫置台

340、440、450、520:搬送感測器

410:配置台

410a:配置面

420:磁石(輔助構件)

431、511:移送台

600:控制裝置

604:CPU

602:ROM

603:RAM

604:記憶體

605:臂驅動電路

606:把持驅動電路

607:負壓驅動電路

608:轉動驅動電路

609~612:第1~第4輸出入I/F

6001、6002:(第1、第2)臂控制部

6003、6004:(第1、第2)把持控制部

6005:吸附控制部

6006、6007:(第1、第2)轉動控制部

6008:保持位置檢測部

6009、6010、6011:(第1、第2、第3)搬送控制部

6012:儲存部

700:負壓產生裝置

D1A、D1B:第1方向

D2Aa、D2Ab、D2Ba、D2Bb:第2方向

DW1:長邊方向

DW2:短邊方向

JTA1~JTA4、JTB1~JTB4:關節

MA1~MA4、MB1~MB4:臂驅動裝置

S1:第1軸

S2a、S2b:第2軸

S3a、S3b:第3軸

S4a、S4b:第4軸

S5a、S5b:第5軸

W:基材(主構件)

W1、W2、W3:緣部

WP:托盤

WS1~WS4:第1~第4作業場所

[圖1]係表示本發明實施型態的機器人系統之一例的立體圖。

[圖2]係表示本發明實施型態的機器人之構成之一例的側視圖。

[圖3]係表示本發明實施型態的第1末端效果器之構成之一例的立體圖。

[圖4]係表示本發明實施型態的第2末端效果器之構成之一例的立體圖。

[圖5]係表示本發明實施型態的控制裝置之硬體構成之一例的方塊圖。

[圖6]係表示本發明實施型態的控制裝置之功能構成之一例的方塊圖。

[圖7]係表示本發明實施型態的機器人系統之動作之一例的流程圖。

[圖8]係表示根據圖7的流程圖而動作中的機器人系統之狀態之一例的立體圖。

[圖9]係表示根據圖7的流程圖而動作中的機器人系統之狀態之一例的立體 圖。

[圖10]係表示根據圖7的流程圖而動作中的機器人系統之狀態之一例的立體圖。

[圖11]係表示根據圖7的流程圖而動作中的機器人系統之狀態之一例的立體圖。

[圖12]係表示根據圖7的流程圖而動作中的機器人系統之狀態之一例的立體圖。

[圖13]係表示根據圖7的流程圖而動作中的機器人系統之狀態之一例的立體圖。

[圖14]係表示根據圖7的流程圖而動作中的機器人系統之狀態之一例的立體圖。

[圖15]係表示本發明變形例的第1末端效果器之構成之一例的立體圖。

[圖16]係表示本發明變形例的第1末端效果器之構成之一例的立體圖。

首先，說明本發明之態樣例。本發明之一態樣的保持裝置具備：第1吸附部，其以可吸附主構件之方式被構成；以及第1把持部，其於與第1方向交叉的方向上與上述第1吸附部相鄰地配置，且以可把持第1輔助構件之方式被構成；上述第1吸附部及上述第1把持部，分別以可吸附及把持位於上述第1方向的上述主構件及上述第1輔助構件之方式被定向。

根據上述態樣，保持裝置可分別對於位於同方向上的主構件及第1輔助構件進行利用吸附及把持的保持。例如，保持裝置可同時進行主構件及第1輔助構件的保持。進一步地，因為第1吸附部與第1把持部相鄰且所保持的主構件及第1輔助構件位於同方向上，保持構件可利用第1輔助構件對主構件加以作 用。例如，保持裝置可藉由解除吸附來配置主構件，之後，藉由解除把持將第1輔助構件載置於主構件之上。因此，保持裝置可對於對象物亦即主構件施加利用吸附的保持與伴隨把持的作用。

於本發明之一態樣的保持裝置中，將上述第1吸附部及上述第1把持部配置於第1機器臂亦可。根據上述態樣，成為上述第1吸附部及上述第1把持部可利用第1機器臂而自由移動。

本發明之一態樣的保持裝置具備：第1支持部，其支持上述第1吸附部及上述第1把持部；第1基部，其與上述第1支持部可旋轉地連結；以及第1旋轉裝置，其以使上述第1支持部可旋轉之方式被構成亦可。根據上述態樣，第1吸附部及第1把持部成為可旋轉。例如，配置了第1吸附部及第1把持部的機器臂在靜止狀態下，第1吸附部及第1把持部仍可旋轉。

本發明之一態樣的保持裝置進一步具備：第2吸附部，其以可吸附上述主構件之方式被構成；以及第2把持部，其於與第1方向交叉的方向上與上述第2吸附部相鄰地配置，且以可把持第2輔助構件之方式被構成；上述第2吸附部及上述第2把持部，分別以可吸附及把持位於上述第1方向的上述主構件及上述第2輔助構件之方式被定向亦可。根據上述態樣，保持裝置可利用2個吸附部以2個保持位置保持主構件。進一步地，保持裝置在各保持位置的相鄰位置上，可利用輔助構件對主構件施加作用。因此，可確實地保持主構件，亦可對各保持位置的主構件賦予作用。

於本發明之一態樣的保持裝置中，上述第2吸附部及上述第2把持部配置於第2機器臂亦可。根據上述態樣，第2吸附部及第2把持部透過第2器臂，而可相對於第1吸附部及第1把持部獨立且自在移動。

於本發明之一態樣的保持裝置中，上述第1吸附部，上述第1把持部，上述第2吸附部及上述第2把持部配置於一個機器臂上亦可。根據上述態樣， 可僅使用一個機器臂來實施對主構件於2個保持位置的保持，與對主構件於各保持位置的賦予作用。

本發明之一態樣的保持裝置進一步具備：第2支持部，其支持上述第2吸附部及上述第2把持部；第2基部，其與上述第2支持部可旋轉地連結；以及第2旋轉裝置，其以使上述第2支持部可旋轉之方式被構成亦可。根據上述態樣，第2吸附部及第2把持部成為可旋轉。例如，配置了第2吸附部及第2把持部的機器臂在靜止狀態下，第2吸附部及第2把持部仍可旋轉。

本發明之一態樣的保持裝置進一步具備：移動裝置，其以使上述把持部可於上述第1方向上移動之方式被構成亦可。根據上述態樣，保持裝置可將輔助構件於第1方向移動並解除輔助構件的把持。因此，保持裝置在解除把持時，能不讓輔助構件落下地確實進行載置。

於本發明之一態樣的保持裝置中，上述吸附部包含可伸縮的部分亦可。根據上述態樣，保持裝置藉由將吸附部朝向第1方向的載置面推壓並收縮，可將由把持部把持的輔助構件靠近載置面。保持裝置在解除把持時，能不讓輔助構件落下地確實進行載置。

於本發明之一態樣的保持裝置中，上述主構件為板狀構件，上述輔助構件的重量為可用來壓制上述主構件的重量亦可。根據上述態樣，保持裝置可藉由解除吸附而載置主構件之後，藉由解除把持將輔助構件載置於主構件之上。因此，載置後的主構件透過輔助構件能不移動地被固定。

本發明之一態樣的控制方法，係用於利用具備於與第1方向交叉的方向上相鄰地配置的第1吸附部及第1把持部的第1機器臂，與具備於與第1方向交叉的方向上相鄰地配置的第2吸附部及第2把持部的第2機器臂來搬送主構件的控制方法，其包含：使上述第1機器臂與上述第2機器臂動作，以使上述第1把持部與上述第2把持部分別把持位於上述第1方向上的第1輔助構件與第2輔助 構件之步驟；使上述第1機器臂與上述第2機器臂動作，於上述第1把持部與上述第2把持部分別把持位於上述第1方向上的上述第1輔助構件與上述第2輔助構件之狀態下，使上述第1吸附部與上述第2吸附部吸附並保持位於上述第1方向上的上述主構件之步驟；使上述第1機器臂與上述第2機器臂動作，將被吸附的上述主構件移動並載置於搬送目的地的配置面上之步驟；以及分別使上述第1把持部與上述第2把持部解除把持，將上述第1輔助構件與上述第2輔助構件配置於上述主構件上之步驟。

根據上述態樣，第1及第2機器臂可分別利用第1及第2把持部一邊保持第1及第2輔助構件，一邊利用第1及第2吸附部將主構件保持並搬送至搬送目的地。進一步地，第1及第2機器臂可分別透過解除吸附將主構件載置於搬送目的地的配置面，透過解除把持將第1及第2輔助構件載置於上述主構件上。因此，可利用2個機器臂實施主構件的保持、主構件的搬送、賦予伴隨對主構件的把持而帶來的作用。

本發明之一態樣的控制方法進一步包含：使上述第1機器臂與上述第2機器臂動作，以使檢測上述主構件之位置的位置檢測裝置，檢測被吸附的上述主構件之步驟；以及根據上述位置檢測裝置的檢測結果，使上述第1機器臂與上述第2機器臂動作，以調節上述配置面上的上述第1輔助構件與上述第2輔助構件之間的間隔之步驟亦可。根據上述態樣，成為可檢測出主構件相對於第1及第2吸附部的位置。因此，可提升使用第1及第2吸附部的主構件相對於搬送目的地的定位精度。

於本發明之一態樣的控制方法中，上述第1吸附部與上述第1把持部，係透過第1支持部與第1基部而安裝於第1機器臂；上述第1支持部支持上述第1吸附部與上述第1把持部；上述第1基部與上述第1支持部可旋轉地連結且安裝於上述第1機器臂；上述第1支持部係以透過第1旋轉裝置而旋轉的方式被構成； 上述第2吸附部與上述第2把持部，係透過第2支持部與第2基部而安裝於第2機器臂；上述第2支持部支持上述第2吸附部與上述第2把持部；上述第2基部與上述第2支持部可旋轉地連結且安裝於上述第2機器臂；以及上述第2支持部係以透過第2旋轉裝置而旋轉的方式被構成亦可。根據上述態樣，第1吸附部及第1把持部相對於第1機器臂的轉動，以及第2吸附部及第2把持部相對於第2機器臂的轉動成為可能。因此，第1吸附部、第1把持部、第2吸附部、第2把持部的姿勢可變化成各種的姿勢。

本發明之一態樣的控制方法進一步具備：藉由將以分別使上述第1把持部與上述第2把持部於上述第1方向上移動之方式構成的第1移動裝置及第2移動裝置，使上述第1把持部與上述第2把持部於上述第1方向上移動，來將由上述第1把持部與上述第2把持部把持的上述第1輔助構件與上述第2輔助構件載置於上述主構件上之步驟亦可。根據上述態樣，在解除把持時，可不使輔助構件掉落而確實地載置於主構件上。

本發明之一態樣的控制方法進一步具備：藉由使上述第1機器臂與上述第2機器臂動作，將包含可伸縮部分的上述第1吸附部與上述第2吸附部推壓至上述主構件並收縮後，以將由上述第1把持部與上述第2把持部把持的上述第1輔助構件與上述第2輔助構件載置於上述主構件之步驟亦可。根據上述態樣，在解除把持時，可不使輔助構件掉落而確實地載置於主構件上。

本發明之一態樣的控制裝置為，執行本發明之一態樣的控制方法之控制裝置。根據上述態樣，其可獲得與本發明之一態樣的控制方法相同的技術功效。

本發明之一態樣的機器人系統具備：第1機器臂；第2機器臂；第1吸附部及第1把持部，於與第1方向交叉的方向上相鄰地配置於上述第1機器臂；第2吸附部及第2把持部，於與上述第1方向交叉的方向上相鄰地配置於上述第2 機器臂；以及控制裝置，其控制上述第1機器臂，上述第2機器臂，上述第1把持部及上述第2把持部的動作；上述第1吸附部，上述第1把持部，上述第2吸附部及上述第2把持部以可吸附或把持位於上述第1方向的主構件及第1輔助構件之方式被定向；上述控制裝置以下述方式被構成：藉由使上述第1機器臂與上述第2機器臂動作，以使上述第1把持部與上述第2把持部分別把持位於上述第1方向上的第1輔助構件與第2輔助構件；於把持著上述第1輔助構件與上述第2輔助構件時，藉由使上述第1機器臂與上述第2機器臂動作，使上述第1吸附部與上述第2吸附部吸附並保持位於上述第1方向上的上述主構件；藉由使上述第1機器臂與上述第2機器臂動作，將被吸附的上述主構件移動並載置於搬送目的地的配置面上；分別使上述第1把持部與上述第2把持部解除把持，將上述第1輔助構件與上述第2輔助構件配置於上述主構件上。根據上述態樣，其可獲得與本發明之一態樣的保持裝置相同的技術功效。

本發明之一態樣的機器人系統具備：機器臂；第1吸附部及第1把持部，於與第1方向交叉的方向上相鄰地配置於上述機器臂；第2吸附部及第2把持部，於與上述第1方向交叉的方向上相鄰地配置於上述機器臂；以及控制裝置，其控制上述機器臂，上述第1把持部及上述第2把持部的動作；上述第1吸附部，上述第1把持部，上述第2吸附部及上述第2把持部以可吸附或把持位於上述第1方向的主構件及第1輔助構件之方式被定向；上述控制裝置以下述方式被構成：藉由使上述機器臂動作，以使上述第1把持部與上述第2把持部分別把持位於上述第1方向上的第1輔助構件與第2輔助構件；於把持著上述第1輔助構件與上述第2輔助構件時，藉由使上述機器臂動作，使上述第1吸附部與上述第2吸附部吸附並保持位於上述第1方向上的上述主構件；藉由使上述機器臂動作，將被吸附的上述主構件移動並載置於搬送目的地的配置面上；分別使上述第1把持部與上述第2把持部解除把持，將上述第1輔助構件與上述第2輔助構件配置於上述主構 件上。根據上述態樣，其可獲得與本發明之一態樣的保持裝置相同的技術功效。

本發明之一態樣的機器人系統進一步具備：位置檢測裝置，其檢測上述主構件的位置且將檢測結果輸出至上述控制裝置；上述控制裝置根據上述位置檢測裝置的檢測結果，檢測出上述主構件相對於上述第1吸附部及上述第2吸附部的相對位置，並根據上述相對位置使上述機器臂動作，調節上述配置面上的上述第1吸附部及上述第2吸附部的位置亦可。根據上述態樣，可檢測出主構件相對於第1及第2吸附部的位置。因此，可提升使用第1及第2吸附部的主構件相對於搬送目的地的定位精度。

於本發明之一態樣的機器人系統中，上述第1吸附部與上述第1把持部，係透過第1支持部與第1基部而安裝於上述機器臂；上述第1支持部支持上述第1吸附部與上述第1把持部；上述第1基部與上述第1支持部可旋轉地連結且安裝於上述機器臂；上述第1支持部係以透過第1旋轉裝置而旋轉的方式被構成；上述第2吸附部與上述第2把持部，係透過第2支持部與第2基部而安裝於上述機器臂；上述第2支持部支持上述第2吸附部與上述第2把持部；上述第2基部與上述第2支持部可旋轉地連結且安裝於上述機器臂；以及上述第2支持部係以透過第2旋轉裝置而旋轉的方式被構成亦可。。根據上述態樣，第1吸附部及第1把持部相對於第1機器臂的轉動，以及第2吸附部及第2把持部相對於第2機器臂的轉動成為可能。因此，第1吸附部、第1把持部、第2吸附部、第2把持部的姿勢可變化成各種的姿勢。

本發明之一態樣的機器人系統，其中上述機器臂進一步具備：第1移動裝置及第2移動裝置，以分別使上述第1把持部與上述第2把持部於上述第1方向上移動之方式構成；上述控制裝置，以藉由上述第1移動裝置及上述第2移動裝置將上述第1把持部與上述第2把持部於上述第1方向上移動，來將由上述第1把持部與上述第2把持部把持的上述第1輔助構件與上述第2輔助構件載置於上 述主構件上之方式構成亦可。根據上述態樣，在解除把持時，可不使輔助構件掉落而確實地載置於主構件上。

於本發明之一態樣的機器人系統中，上述吸附部包含可伸縮部分；述控制裝置，以藉由使上述機器臂動作，將上述吸附部推壓至上述主構件並收縮後，來將由上述第1把持部與上述第2把持部把持的上述第1輔助構件與上述第2輔助構件載置於上述主構件之方式構成亦可。根據上述態樣，在解除把持時，可不使輔助構件掉落而確實地載置於主構件上。

本發明之一態樣的機器人系統進一步具備：配置台，具有上述配置面且由具有磁性的材料構成；上述主構件為板狀構件；上述輔助構件為用來抑制上述主構件的磁石亦可。根據上述態樣，機器人系統可以藉由解除吸附將主構件載置於配置台上，之後，藉由解除把持將主構件載置於配置台上。因此，載置後的主構件透過輔助構件的重量與磁力，確實地固定而不移動。

(實施型態)

以下，一邊參照圖式，一邊說明本發明的實施型態。另外，以下所說明的實施型態，均表示概括性的或具體的示例。此外，以下實施型態的構成要素中，關於未記載於表示最上位概念的獨立項內的構成要素，係作為任意的構成要素來說明。另外，隨附圖式中的各圖為示意圖，非為嚴謹製作的圖式。進一步地，於各圖中對於實質相同的構成要素賦予統一的符號，而有省略或精簡化重複說明的情況。另外，於本說明書及申請專利範圍中的「裝置」，並不僅指單一裝置，亦指由複數個裝置組成的系統。

[機器人系統的構成]

以下說明本發明實施型態之機器人系統1之構成。圖1係表示本發明實施型態的機器人系統之一例的立體圖。如圖1所示地，本發明實施型態之機器人系統1具備：機器人100、位置檢測裝置200、搬送裝置300、400及500、以及控制裝置 600。於本實施型態中，機器人100配置於第3作業場所WS3，作為進行生產於具有可撓性基板之一例亦即基材W上生成電路的基板(亦稱為「FPC(撓性印刷電路基板)」)之步驟之一環者，進行以下說明。於該步驟中，機器人系統1構成為，機器人100將基材W配置於配置台410，再將該配置台410送往進行對基材W的壓接工程的第4作業場所WS4。其中該基材W係從進行其他作業步驟的第1作業場所WS1搬送而來，該配置台410係從進行其他作業步驟的第2作業場所WS2搬送而來。第4作業場所WS4配置有壓接裝置(未圖示)。機器人系統1具備的機器人100、位置檢測裝置200、搬送裝置300~500的個別的數量不如圖1所示地限定為一個，為任意數量亦可。

FPC的基材W例如具有於絕緣性基膜上透過黏接層貼合導電性導體之構成。基膜以聚醯亞胺或聚酯等塑膠構成，黏接層以環氧樹脂系或是壓克力樹脂系的黏劑或是預浸體等構成，導體以銅箔或銀箔等構成。另外，機器人系統1所處理的對象物不限定於FPC的基材W，為任意構件亦可。機器人系統1構成為將對象物配置於既定位置即可。基材W為主構件之一例。

控制裝置600構成為控制機器人系統1的整體。具體而言，控制裝置600構成為協調控制機器人100、位置檢測裝置200、搬送裝置300~500等的動作。舉例來說，控制裝置600包含電腦裝置。

圖2係表示本發明實施型態的機器人100之構成之一例的側視圖。如圖2所示地，於本實施型態中的機器人100雖為產業用機器人，但不以此為限。機器人100具備末端效果器110A及110B、機器臂120A及120B、以及基台130。末端效果器110A及110B可對基材W施加作用，機器臂120A及120B可分別以實行上述作用之方式使末端效果器110A及110B動作。機器臂120A及120B由基台130可轉動地支持。機器人100具備可使基台130移動的裝置亦可。末端效果器110A及110B為保持裝置之一例。

於本實施型態，機器臂120A及120B為水平多關節型機器人，但只要機器臂120A及120B具有可分別使其前端的末端效果器110A及110B動作之構成，則不特別限制。機器臂120A及120B例如為垂直多關節型、極座標型、圓柱座標型、直角座標型、或是其他型式的機器臂亦可。機器臂120A及120B可在與以鉛直方向的第1軸S1為中心軸的同軸水平面上轉動。第1機器臂120A相對於第2機器臂120B於第1軸S1的方向上往下方錯開配置。因此，機器人100構成為同軸雙臂機器人。

第1機器臂120A包含連桿121A~124A、關節JTA1~JTA4、臂驅動裝置MA1~MA4。第2機器臂120B包含連桿121B~124B、關節JTB1~JTB4、臂驅動裝置MB1~MB4。臂驅動裝置MA1~MA4及MB1~MB4包含以電力為動力源的電動馬達，本實施型態中包含伺服馬達。臂驅動裝置MA1~MA4及MB1~MB4分別基於控制裝置600的控制，驅動關節JTA1~JTA4及JTB1~JTB4。因此，機器臂120A及120B相互獨立地動作。另外，機器臂120A及120B的關節的數量不限定為4個，為5個以上或3個以下亦可。

連桿121A及121B分別透過旋轉關節JTA1及JTB1，以第1軸S1為中心可於水平面內旋轉地與基台130連接。連桿122A及122B分別透過旋轉關節JTA2及JTB2，以鉛直方向的第2軸S2a及S2b為中心可於水平面內旋轉之方式與連桿121A及121B的前端連接。連桿123A及123B分別透過直動關節JTA3及JTB3，沿著鉛直方向的第3軸S3a及S3b可升降地與連桿122A及122B的前端連接。連桿124A及124B分別透過旋轉關節JTA4及JTB4，以連桿123A及123B的長度方向的第4軸S4a及S4b為中心可旋轉地與連桿123A及123B的下端連接。第4軸S4a及S4b為鉛直方向的軸。連桿124A及124B分別構成為用來與末端效果器110A及110B連接的機械式介面。

此處的「水平方向」係指將機器人100配置於水平地面等水平表 面時的水平方向，亦為與上述表面平行的方向。「鉛直方向」係指在相同情況下的鉛直方向，亦為與上述表面垂直的方向。「上方」係指在相同情況下從下而上的方向，「下方」係指在相同情況下從上而下的方向。「側方」係指係指在相同情況下沿著上述表面的方向。

圖3係表示實施型態的第1末端效果器110A之構成之一例的立體圖。圖4係表示實施型態的第2末端效果器110B：之構成之一例的立體圖。如圖3、圖4所示地，末端效果器110A及110B分別包含吸附部111A及111B、基部112A及112B、旋轉支持部113A及113B、把持支持部114A及114B、旋轉裝置115A及115B、把持部116A及116B、以及力感測器117A及117B。於本實施型態中，末端效果器110A及110B之間除了把持部116A及116B的位置不同以外，其於都相同。

吸附部111A及111B並無特別限制，例如具有吸嘴狀的中空形狀，並透過配管與負壓產生裝置700(參照圖5)連接。吸附部111A及111B分別於其內部利用負壓產生裝置700產生的負壓，以其開放端吸附基材W等對象物之方式構成。本實施型態中，吸附部111A及111B的開放端與其附近以具有可撓性或彈性的材料構成及/或具有波紋管狀的中空形狀，且可伸縮，但不限定為此。例如，吸附部111A及111B的開放端與其附近包含彈簧等具有彈性的構件亦可。例如，吸附部111A及111B的開放端與其附近可於吸附部111A及111B延伸的方向上伸縮。可伸縮的吸附部111A及111B可使與基材W之間的氣密性提升，而確實吸附。進一步地，吸附部111A及111B即便按壓於基材W上仍可抑制對基材W造成的損傷。

只要能在吸附部111A及111B產生負壓，則負壓產生裝置700的構成為既有的任何構成亦可。例如，負壓產生裝置700具有藉由吸引空氣而產生負壓或真空的噴射器之構成亦可。負壓產生裝置700由控制裝置600控制其驅動。

基部112A及112B分別以剖面形狀為L字形的板狀構件構成，且包 含相互略成垂直的長邊部1121與短邊部1122。基部112A及112B個別的長邊部1121構成為，透過力感測器117A及117B與連桿124A及124B的機械式介面自由拆裝地連接。力感測器117A及117B分別設於基部112A及112B與連桿124A及124B之間。基部112A及112B個別的短邊部1122分別以第5軸S5a及S5b為中心可旋轉地與旋轉支持部113A及113B連接。第5軸S5a及S5b的方向分別與基部112A及112B個別的短邊部1122略呈垂直。第5軸S5a及S5b的方向分別與第4軸S4a及S4b正交，但分別與第4軸S4a及S4b交叉亦可。基部112A及112B個別的短邊部1122從第4軸S4a及S4b遠離。

旋轉支持部113A及113B分別包含對向的2個對向部1131及1133，以及連接對向部1131及1133的中間部1132。例如，旋轉支持部113A及113B以剖面形狀為U字形的板狀構件構成。吸附部111A及111B分別安裝於旋轉支持部113A及113B的對向部1131，且朝向略與該對向部1131垂直的方向又與該對向部1133反對的方向D1A及D1B延伸。旋轉支持部113A及113B各自的中間部1132與基部112A及112B可旋轉地連接。旋轉支持部113A及113B各自的對向部1131及1133從第4軸S4a及S4b以及第5軸S5a及S5b遠離。

把持支持部114A及114B分別以剖面形狀為L字形的板狀構件構成，且包含相互略成垂直的板狀部1141及1142。第1板狀部1141構成為與對向部1133自由拆裝地接合。於本實施型態中，上述接合是使用螺栓的接合，但為嵌合、黏接或是焊接等使用任何方法的接合亦可。第2板狀部1142配置於中間部1132的側方，與第5軸S5a及S5b略呈平行且從第5軸S5a及S5b遠離。

旋轉裝置115A及115B分別構成為配置於基部112A及112B各自的短邊部1122，且使旋轉支持部113A及113B旋轉。旋轉裝置115A及115B包含以電力作為動力源的電動馬達，於本實施型態包含伺服馬達。旋轉裝置115A及115B由控制裝置600控制其驅動。

把持部116A及116B分別安裝於把持支持部114A及114B的第2板狀部1142的與旋轉支持部113A及113B為相反側的位置。把持部116A及116B分別包含一對的把持爪1161及1162以及把持驅動裝置1163。把持部116A及116B各自的把持爪1161及1162，與吸附部111A及111B相同地於第1方向D1A及D1B延伸，於與第1方向D1A及D1B分別略呈垂直的水平方向亦即第2方向D2Aa及D2Ba上排列。第1把持部116A的把持爪1161及1162可於第2方向D2Aa及D2Ab上相互接近或遠離地移動。第2把持部116B的把持爪1161及1162可於第2方向D2Ba及D2Bb上相互接近或遠離地移動。第2方向D2Aa及D2Ab互為相反方向，且為與第5軸S5a略平行的方向。第2方向D2Ba及D2Bb互為相反方向，且為與第5軸S5b略平行的方向。

第1把持部116A與第1吸附部111A於與第1方向D1A交叉的方向上相鄰配置。於本實施型態中，第1把持部116A與第1吸附部111A係於與第1方向D1A略垂直的方向上相鄰配置，且於與第5軸S5a及第2方向D2Aa及D2Ab略垂直的水平方向上排列配置，但不限定於此。第2把持部116B與第2吸附部111B於與第1方向D1B交叉的方向上相鄰配置。於本實施型態中，第2把持部116B與第2吸附部111B係於與第1方向D1B略垂直的方向上相鄰配置，且於與第5軸S5b及第2方向D2Ba及D2Bb略垂直的水平方向上排列配置，但不限定於此。

另外，第1把持部116A的把持爪1161及1162的前端，於第1方向D1A上位於比第1吸附部111A的前端更後退的位置。第2把持部116B的把持爪1161及1162的前端，於第1方向D1B上位於比第1吸附部111B的前端更後退的位置。因此，使吸附部111A及111B朝向下方將末端效果器110A及110B下降時，吸附部111A及111B比把持部116A及116B先接觸於下方的水平面。

把持驅動裝置1163構成為使把持爪1161及1162相互接近或相互遠離地移動。把持驅動裝置1163包含以電力作為動力源的電動馬達，於本實施型 態包含伺服馬達。把持驅動裝置1163由控制裝置600控制其驅動。另外，把持驅動裝置1163不限定於馬達，具有以氣壓或液壓驅動把持爪1161及1162的構成亦可。

力感測器117A檢測從第1末端效果器110A作用至連桿124A之力亦即反作用力並輸出至控制裝置600。力感測器117B檢測從第2末端效果器110B作用至連桿124B之力亦即反作用力並輸出至控制裝置600。反作用力為末端效果器110A及110B從對象物所受的力，亦為末端效果器110A及110B傳遞給對象物的作用力。於本實施型態中，力感測器117A及117B雖可檢測出正交的三軸上的作用力以及繞上述三軸的旋轉力(亦稱為「力矩」)共六軸的力，但不以此為限，構成為至少檢測出1軸的力亦可。

根據上述構成，透過吸附部111A及111B分別與把持部116A及116B各自的把持爪1161及1162的，以第4軸S4a及S4b為中心的轉動以及以第5軸S5a及S5b為中心的轉動，可對連桿123A及123B做出各種姿勢且前端可朝向各種方向。進一步地，吸附部111A及111B分別與把持部116A及116B各自的把持爪1161及1162可沿著以第4軸S4a及S4b為中心的圓周以及以第5軸S5a及S5b為中心的圓周移動而變換位置。

如圖1所示地，第1搬送裝置300為將基材W從第1作業場所WS1搬送至第3作業場所WS3的裝置。於第1作業場所WS1實施的步驟為於第3作業場所WS3實施的步驟的前置步驟，例如準備基材W的步驟。第1搬送裝置300具備移送裝置310、機器人320、暫置台330、以及搬送感測器340。移送裝置310為將搭載了複數個基材W的托盤WP從第1作業場所WS1搬送至機器人320面前的移送裝置。機器人320以將托盤WP上的基材W搬送並載置於暫置台330上的既定位置之方式構成。機器人320的構成雖與機器人100相同，但不以此為限。搬送感測器340感測存在於暫置台330上既定位置的基材W，並將代表該檢測的檢測訊號輸出至 控制裝置600。移送裝置310及機器人320等的第1搬送裝置300的構成要素由控制裝置控制其驅動。

第2搬送裝置400為將配置台410從第2作業場所WS2搬送至第3作業場所WS3的裝置。於第2作業場所WS2實施的步驟為於第3作業場所WS3實施的步驟的前置步驟，例如在配置台410的上表面亦即配置面410a上的既定位置配置磁石的步驟。第2搬送裝置400具備複數個配置台410、移送裝置430、以及搬送感測器440、450。配置台410以磁石420能以磁力附著的具有磁性的材料構成。磁石420為永久磁石。

移送裝置430為以將載置了配置有磁石420的配置台410的移送台431從第2作業場所WS2搬送至機器人100的面前之方式構成，例如以皮帶式輸送將移送台431移送的裝置。移送台431以可將配置台410從機器人100的面前移動至第3搬送裝置500的移送裝置510之方式構成。搬送感測器440感測存在於機器人100面前的既定位置的配置台410，並將代表該檢測的檢測訊號輸出至控制裝置600。搬送感測器450感測存在於上述既定位置的配置台410上的基材W，並將代表該檢測的檢測訊號輸出至控制裝置600。磁石420為輔助構件之一例。

第3搬送裝置500為將配置台410從第3作業場所WS3搬送至第4作業場所WS4的裝置。於第4作業場所WS4實施的步驟為於第3作業場所WS3實施的步驟的下一步驟，例如於配置台410上的基材W壓接端子、連接器、TAB(捲帶晶粒自動接合、Tape Automated Bonding)、以及轉換器的步驟。第3搬送裝置500具備移送裝置510、以及搬送感測器520。移送裝置510為以將載置了配置有基材W的配置台410的移送台511從機器人100的面前搬送至第4作業場所WS4之方式構成，例如以皮帶式輸送將移送台511移送的裝置。搬送感測器520感測存在於移送裝置510上的既定位置的配置台410，並將代表該檢測的檢測訊號輸出至控制裝置600。移送裝置510等的第3搬送裝置500的構成要素由控制裝置控制其驅動。

另外，搬送裝置300~500的構成不以上述構成為限，構成為可於作業場所之間搬送對象物者即可。例如，搬送裝置300~500具備皮帶式輸送帶、搬送車、軌道裝置、使用滾珠螺桿構造進行搬送的裝置、使用齒條構造進行搬送的裝置、及/或機器人等亦可。搬送感測器340、440、450、520只要為可檢測出基材W及配置台410等之對象物的感測器即可，例如光電感測器(亦稱為「光束感測器」)、雷射感測器、限制開關以及接觸感測器等亦可。

位置檢測裝置200配置於機器人100的作業範圍內，位置檢測裝置200檢測藉由末端效果器110A及110B保持的基材W的位置，並輸出檢測結果至控制裝置600。位置檢測裝置200具備用來檢測基材W的複數個感測器，於本實施型態中具備3個感測器201a~201c。感測器201a~201c於鉛直方向上配置在同樣的高度位置。感測器201a~201c以於水平方向上構成為直角三角形的方式配置。感測器201a及201b於上述直角三角形的長邊上相互隔開配置，感測器201c配置於上述直角三角形的短邊上。

感測器201a~201c只要能檢測出基材W相對於該些感測器的位置即可，為光電感測器及雷射感測器等亦可。例如，感測器201a~201c具有於鉛直方向上對向配置的發光部及受光部，並檢測存在於發光部及受光部之間的基材W。

[控制裝置的硬體構成]

以下說明控制裝置600的硬體構成。圖5係表示本發明實施型態的控制裝置600之硬體構成之一例的方塊圖。如圖5所示，控制裝置600包含CPU(Central Processing Unit，中央處理器)604，ROM(Read Only Memory，唯讀記憶體)602，RAM(Random Access Memory，隨機存取記憶體)603，記憶體604，臂驅動電路605，把持驅動電路606，負壓驅動電路607，轉動驅動電路608，輸出入I/F(介面：Interface)609~612作為構成要素。上述構成要素分別透過匯流排、有信通訊及無 線通訊連接。另外，上述構成要素不以全部備齊為必須。例如，上述構成要素的一部份配置於控制裝置600的外部，並與控制裝置連接亦可。

例如，CPU 601為處理器，控制控制裝置600的整體動作。ROM 602以非揮發性記憶體等構成，儲存有用以使CPU 601控制動作的程式及資料。RAM 603以揮發性記憶體等構成，暫時儲存有CPU 601執行的程式以及處理中或處理完成的資料。記憶體604以揮發性記憶體及非揮發性記憶體等半導體記憶體、硬碟(HDD,Hard Disk Drive)以及SSD(Solid State Drive，固態硬碟)等記憶裝置構成，儲存各種資訊。

例如，ROM 602或記憶體604中預先儲存有使CPU 601動作的程式。CPU 601從ROM 602或記憶體604讀取程式，並於RAM 603展開。CPU 601執行於RAM 603展開的程式中程式碼化的各個命令。

控制裝置600的各個機能由CPU 601、ROM 602、及RAM 603等形成的電腦系統來實現亦可，由以電子電路及積體電路等專用的硬體電路來實現亦可，由上述電腦系統及硬體電路的組合來實現亦可。

臂驅動電路605依據CPU 601的指令，將電力供給至機器臂120A及120B的臂驅動裝置MA1~MA4及MB1~MB4的伺服馬達，並控制各伺服馬達的驅動。把持驅動電路606依據CPU 601的指令，將電力供給至把持部116A及116B的把持驅動裝置1163的伺服馬達，並控制各伺服馬達的驅動。負壓驅動電路607依據CPU 601的指令，藉由控制負壓驅動電路607的驅動，以及控制分別設置於與負壓產生裝置700與吸附部111A及111B連接的配管中的開閉閥(未圖式)的驅動，來控制吸附部111A及111B中產生的負壓。轉動驅動電路608依據CPU 601的指令，將電力供給至末端效果器110A及110B的旋轉裝置115A及115B的伺服馬達，並控制各伺服馬達的驅動。

第1輸出入I/F 609連接移送裝置310、機器人320以及搬送檢測器 340等第1搬送裝置300的構成要素，並對該構成要素輸出入資訊、資料以及指令。第2輸出入I/F 610連接移送裝置430以及搬送檢測器440與450等第2搬送裝置400的構成要素，並對該構成要素輸出入資訊、資料以及指令。第3輸出入I/F 611連接移送裝置510以及搬送檢測器520等第3搬送裝置500的構成要素，並對該構成要素輸出入資訊、資料以及指令。第4輸出入I/F 612連接位置檢測裝置200的感測器201a~201c，並對感測器201a~201c輸出入指令以及檢測訊號。

[控制裝置的功能構成]

以下說明控制裝置600的功能構成。圖6係表示本發明實施型態的控制裝置之功能構成之一例的方塊圖。如圖6所示，控制裝置600包含第1臂控制部6001、第2臂控制部6002、第1把持控制部6003、第2把持控制部6004、吸附控制部6005、第1轉動控制部6006、第2轉動控制部6007、保持位置檢測部6008、第1搬送控制部6009、第2搬送控制部6010、第3搬送控制部6011、以及儲存部6012作為構成要素。上述構成要素不以全部備齊為必要。除了儲存部6012以外的功能構成要素之功能，由CPU 601等實現，且儲存部6012的功能由記憶體604、ROM602及/或RAM 603實現。

記憶部6012儲存有各種的資訊，並可讀出儲存的資訊。例如，記憶部6012儲存有使控制裝置600動作的程式亦可。記憶部6012儲存有機器人100的搬送對象之基材的形狀及尺寸等基材資訊亦可。記憶部6012儲存有位置檢測裝置200的感測器201a~201c的三維空間位置等位置資訊亦可。三維位置資訊為機器人系統1所配置的三維空間內的位置。

第1臂控制部6001依據程式自動地使第1機器臂120A執行既定作業。第1臂控制部6001輸出分別使臂驅動裝置MA1~MA4動作的指令。因此，臂驅動裝置MA1~MA4以使第1機器臂120A依照既定作業的位置、姿勢、位置及姿勢的移動速度，以及以作用力使第1末端效果器110A動作的方式進行驅動。

第2臂控制部6002依據程式自動地使第2機器臂120B執行既定作業。第2臂控制部6002輸出分別使臂驅動裝置MB1~MB4動作的指令。因此，臂驅動裝置MB1~MB4以使第2機器臂120B依照既定作業的位置、姿勢、位置及姿勢的移動速度，以及以作用力使第2末端效果器110B動作的方式進行驅動。

臂驅動裝置MA1~MA4及MB1~MB4分別具備檢測伺服馬達的轉子的轉動量的編碼器等旋轉感測器(未圖示)，以及檢測伺服馬達的驅動電流的電流感測器(未圖示)。臂驅動部6001及6002利用從各個旋轉感測器與電流感測器輸出的旋轉量與驅動電流值、從力感測器117A及117B輸出的力的大小與方向作為回饋資訊，控制各伺服馬達的旋轉開始、旋轉停止、旋轉速度以及旋轉力矩的驅動。臂驅動部6001及6002構成為將臂驅動電路605輸出至各伺服馬達的驅動電流的指令值，作為回饋資訊使用亦可。

第1把持控制部6003依據程式自動地使第1把持部116A執行既定動作。第1把持控制部6003對第1把持部116A的把持驅動裝置1163輸出使其動作的指令。因此，該把持驅動裝置1163依照既定的動作以使第1把持部116A的把持爪1161及1162動作的方式進行驅動。

第2把持控制部6004依據程式自動地使第2把持部116B執行既定動作。第2把持控制部6004對第2把持部116B的把持驅動裝置1163輸出使其動作的指令。因此，該把持驅動裝置1163依照既定的動作以使第2把持部116B的把持爪1161及1162動作的方式進行驅動。

把持控制部6003及6004分別利用從把持部116A及116B的把持驅動裝置1163所具備的伺服馬達的旋轉感測器(未圖示)與電流感測器(未圖示)輸出的旋轉量與驅動電流值作為回饋資訊，控制該伺服馬達的驅動。把持控制部6003及6004構成為將把持驅動電路606輸出至各伺服馬達的驅動電流的指令值，作為回饋資訊使用亦可。

吸附控制部6005依據程式使吸附部111A及111B產生負壓。吸附控制部6005藉由對負壓產生裝置700輸出使其動作的指令，控制負壓產生裝置700的動作。吸附控制部6005藉由對連通第1吸附部111A及負壓產生裝置700的配管的開閉閥(未圖示)輸出使其動作的指令，控制產生於第1吸附部111A的負壓。吸附控制部6005藉由對連通第2吸附部111B及負壓產生裝置700的配管的開閉閥(未圖示)輸出使其動作的指令，控制產生於第2吸附部111B的負壓。

第1旋轉控制部6006依據程式自動使第1末端效果器的第1旋轉裝置115A執行既定動作。第1旋轉控制部6006對第1旋轉裝置115A輸出使其動作的指令。因此，第1旋轉裝置115A以使第1旋轉支持部113A依照既定動作的姿勢、以及姿勢的移動速度的方式進行驅動。

第2旋轉控制部6007依據程式自動使第2末端效果器的第2旋轉裝置115B執行既定動作。第2旋轉控制部6007對第2旋轉裝置115B輸出使其動作的指令。因此，第2旋轉裝置115B以使第2旋轉支持部113B依照既定動作的姿勢、以及姿勢的移動速度的方式進行驅動。

旋轉控制部6006及6007分別利用從旋轉裝置115A及115B所分別具備的伺服馬達的旋轉感測器(未圖示)與電流感測器(未圖示)輸出的旋轉量與驅動電流值作為回饋資訊，控制該伺服馬達的驅動。旋轉控制部6006及6007構成為將轉動驅動電路608輸出至各伺服馬達的驅動電流的指令值，作為回饋資訊使用亦可。

保持位置檢測部6008檢測末端效果器110A及110B，以及由末端效果器110A及110B保持的基材W之間的相對位置關係。具體而言，保持位置檢測部6008檢測末端效果器110A及110B與基材W之間的相對位置關係。控制裝置根據上述位置關係，對機器人100的動作中的基材W進行定位。

具體而言，控制裝置600在機器人100保持基材W的情況下，使吸 附部111A及111B吸附於基材W的長邊方向的DW1的兩端附近的位置。控制裝置600在位置檢測裝置200檢測出被保持的基材W時，藉由使基材W朝向感測器201a及201b移動，使感測器201a及201b檢測到基材W的沿著長邊方向DW1的緣部W1，並藉由使基材W朝向感測器201c移動，使感測器201c檢測到基材W的沿著短邊方向DW2的緣部W2。短邊方向DW2是與長邊方向DW1正交的方向。

保持位置檢測部6008檢測感測器201a~201c檢測到基材W的各個時機點的吸附部111A及111B的位置及姿勢。吸附部111A及111B各自的位置及姿勢為三維位置及三維姿勢亦可。三維位置為機器人系統1所配置的三維空間內的姿勢，例如為繞正交的3軸的姿勢角亦可。

進一步地，保持位置檢測部6008從記憶部6012讀出基材W的基材資訊與感測器201a~201c的位置資訊。保持位置檢測部6008根據基材W的形狀與尺寸、感測器201a及201b的三維位置、各個時機點的吸附部111A及111B的位置及姿勢，檢測出基材W的緣部W1及W2與吸附部111A及111B之間的相對位置及姿勢。

如上所述地，保持位置檢測部6008藉由檢測出基材W的緣部W1及W2與吸附部111A及111B之間的相對位置及姿勢，來檢測出基材W與吸附部111A及111B之間的相對位置關係。

另外，保持位置檢測部6008以下述的方式檢測吸附部111A及111B的位置及姿勢。保持位置檢測部6008根據臂驅動裝置MA1~MA4的旋轉感測器的檢測值，檢測第1末端效果器110A的位置及姿勢。例如，第1末端效果器110A的位置及姿勢為第1末端效果器110A與連桿124A之間的連結部的位於第4軸S4a位置時的三維位置，以及位於第4軸S4a位置時的該連結部的三維位置亦可。進一步地，保持位置檢測部6008根據第1末端效果器110A的位置及姿勢，與第1旋轉裝置115A的旋轉感測器的檢測值，檢測第1吸附部111A的位置及姿勢。

同樣地，保持位置檢測部6008根據臂驅動裝置MB1~MB4的旋轉感測器的檢測值，檢測第2末端效果器110B的位置及姿勢。進一步地，保持位置檢測部6008根據第2末端效果器110B的位置及姿勢，與第2旋轉裝置115B的旋轉感測器的檢測值，檢測第2吸附部111B的位置及姿勢。

第1搬送控制部6009依據程式自動使第1搬送裝置300的移送裝置310及機器人320搬送基材W。例如，若藉由利用機器人100移除暫置台330上的基材W，使搬送感測器340停止輸出基材W的感測訊號時，則第1搬送控制部6009對機器人320輸出將基材W搬送至暫置台330的指令。換言之，第1搬送控制部6009以每次從暫置台330移除基材W時將下一個基材W搬送至暫置台330之方式，控制機器人320的驅動。另外，第1搬送控制部6009，在利用移送裝置310所搬送的托盤WP上的複數個基材W的全體都被機器人320搬送，且該托盤WP已由機器人320從移送裝置310移除時，對移送裝置輸出310搬送下一個托盤WP的指令。另外，作為代替搬送感測器340的檢測訊號，第1搬送控制部6009，接受表示從臂控制部6001及6002等將基材W從暫置台330除去的資訊，並根據該資訊輸出上述指令亦可。

第2搬送控制部6010依據程式自動使第2搬送裝置400的移送裝置430搬送配置台410。例如，若藉由利用機器人100將基材W配置於前一個配置台410的配置面410a上，使搬送感測器450輸出基材W的檢測訊號時，則第2搬送控制部6010對移送裝置430輸出將配置台410移動至移送裝置510的指令。進一步地，若機器人100面前的配置台410移動至移送裝置510時，第2搬送控制部6010對移送裝置430輸出將下一個配置台410移動至機器人100面前的指令。接著，若搬送感測器440輸出配置台410的檢測訊號時，第2搬送控制部6010使移送裝置430停止搬送。另外，作為代替搬送感測器340的檢測訊號，第2搬送控制部6010，接受表示從臂控制部6001及6002等往配置台410配置基材W的資訊，並根據該資訊 輸出上述指令亦可。

第3搬送控制部6011依據程式自動使第3搬送裝置500的移送裝置510搬送配置台410。例如，若藉由利用移送裝置430將配置台410移動至移送裝置510，使搬送感測器520輸出配置台410的檢測訊號時，則第3搬送控制部6011對移送裝置510輸出將配置台410移動至第4作業場所WS4的指令。另外，作為代替搬送感測器520的檢測訊號，第3搬送控制部6011，接受表示從第2搬送控制部6010等往移送裝置510移動配置台410的資訊，並根據該資訊輸出上述指令亦可。

[機器人系統的動作]

參照圖7說明本發明實施型態之機器人系統1的動作。圖7係表示本發明實施型態的機器人系統1之動作之一例的流程圖。圖8至圖14係表示根據圖7的流程圖而動作中的機器人系統之狀態之一例的立體圖。

於步驟S101中，如圖1所示地，控制裝置600於第1搬送裝置300的移送裝置310，將搭載基材W的托盤WP從第1作業場所WS1搬送至機器人320的面前。進一步地，控制裝置600於機器人320，將托盤WP上的基材W搬送至第2作業場所WS2的目的位置亦即暫置台330上的既定位置。

接著，於步驟S102中，如圖8所示地，控制裝置600根據搬送感測器340的檢測訊號，檢測出暫置台330上的基材W的存在。檢測到之後，控制裝置600於機器人100的機器臂120A及120B，將末端效果器110A及110B移動至第2搬送裝置400的配置台410的上方。上述配置台410為位於機器人的正面的既定位置上的配置台，控制裝置600根據搬送感測器440的檢測訊號，檢測出該配置台410的存在。進一步地，控制裝置600於機器人100的機器臂120A及120B，將末端效果器110A及110B下降，於把持部116A及116B使用把持爪1161及1162(參照圖3與圖4)把持配置台410上的2個磁石420。於步驟S102以後，把持部116A及116B的把持爪1161及1162以及吸附部111A及111B均指向下方。

接著，於步驟S103中，如圖9所示地，控制裝置600於機器臂120A及120B，將把持磁石420的末端效果器110A及110B移動至暫置台330上的基材W的長邊方向DW1的兩端的上方，以末端效果器110A及110B保持基材W。具體而言，控制裝置600預先驅動負壓產生裝置700(參照圖5)。控制裝置600藉由使基材W上方的末端效果器110A及110B下降，於吸附部111A及111B接近或是接觸基材W的兩端的時機點時打開開閉閥(未圖示)，使吸附部111A及111B吸附基材W。

接著，於步驟S104中，如圖10所示，控制裝置600於機器臂120A及120B，將基材W移動至位置檢測裝置200，使位置檢測裝置200感測到基材W。例如，控制裝置600藉由以使緣部W1靠近感測器201a及201b之方式使基材W移動，讓感測器201a及201b檢測到緣部W1。進一步地，控制裝置600藉由以使緣部W2靠近感測器201c之方式使基材W移動，讓感測器201c檢測到緣部W2。

接著，於步驟S105中，控制裝置600根據感測器201a~201c的檢測結果，檢測出吸附部111A及111B與基材W之間的相對位置關係，亦即，檢測出末端效果器110A及110B與基材W之間的相對位置關係。

接著，於步驟S106中，控制裝置600於機器臂120A及120B，將保持基材W的末端效果器110A及110B移動至配置台410的上方。上述配置台410為於步驟S102中除去磁石420的配置台。進一步地，如圖11所示地，控制裝置600於機器臂120A及120B，使末端效果器110A及110B下降，將基材W載置於配置台410的配置面410a上的既定位置。控制裝置600根據力感測器117A及117B的檢測訊號，可檢測出基材W與配置台410之間的接觸。此時，控制裝置600根據以步驟S105所檢測出的位置關係，對相對於配置台410的基材W進行定位。

接著，於步驟S107中，如圖12所示地，控制裝置600於第1機器臂120A，將第1末端效果器110A朝向第2末端效果器110B移動。具體而言，控制裝置600將第1吸附部111A於基材W的長邊方向DW1上，朝向第2吸附部111B移動。 此時，控制裝置600根據以步驟S105所檢測出的位置關係，使基材W的緣部W3的位置與配置台410上的既定位置重合。緣部W3為緣部W2的相反側的基材W的緣部。

接著，於步驟S108中，如圖13所示地，控制裝置600於第2機器臂120B，將第2末端效果器110B朝向第1末端效果器110A移動。具體而言，控制裝置600將第2吸附部111B於長邊方向DW1上，朝向第1吸附部111A移動。此時，控制裝置600根據以步驟S105所檢測出的位置關係，使基材W的緣部W2的位置與配置台410上的既定位置重合。藉此，基材W以於中央往上鼓出的方式撓曲。

接著，於步驟S109中，控制裝置600於機器臂120A及120B，將末端效果器110A及110B下降，一邊使吸附部111A及111B被按壓變形，一邊使把持部116A及116B接近至配置台410。進一步地，控制裝置600解除把持部116A及116B的把持，使個別的磁石420載置於基材W上。於吸附部111A及111B被按壓保持在既定位置的狀態下，利用磁石420的重量與磁力將基材W固定於配置台上。藉由使吸附部111A及111B接近配置台410，使磁石420的安定載置成為可能。

另外，基材W於長邊方向DW1上可能存在尺寸公差。藉由將基材於撓曲狀態下進行配置，可與尺寸公差無關地將基材W的緣部W2及W3配置於配置台410上的既定位置。因此，可於正確的位置對基材W的緣部W2及W3進行壓接處理。

接著，於步驟S110中，控制裝置600於機器臂120A及120B，將末端效果器110A及110B上升。進一步地，如圖14所示，控制裝置600透過搬送感測器450的檢測訊號檢測出配置台410上的基材W的存在，於移送裝置430的移送台431，將配置台410移動至移送裝置510的移送台511。進一步地，控制裝置600透過搬送感測器520的檢測訊號檢測出移送裝置510上的配置台410的存在，將移送裝置510上的配置台410往第4作業場所WS4搬送。另外，控制裝置600檢測到移送 台511上的配置台410時，於搬送裝置430，使下一個配置台410搬送至機器人100面前的既定位置。

透過如上所述的步驟S101~S110的處理，機器人系統1將從第1作業場所WS1搬送至第3作業場所WS3的基材W，配置於從第2作業場所WS2搬送至第3作業場所WS3的配置台410，再將載置基材W的配置台410往第4作業場所WS4搬送。進一步地，控制裝置600在步驟S103的處理完成後，與步驟S104的處理平行地，實施步驟S101以後的處理，進一步地，在完成步驟S110的處理後，藉由實施步驟S102的處理，可將托盤WP上的複數個基材W連續地搬送至第4作業場所WS4。

(變形例)

以下說明變形例的末端效果器的構成。本變形例的末端效果器具有使把持爪1161及1162昇降的構成。以下，就與實施型態不同的要點為中心進行說明，適當省略與實施型態相同的要點。

圖15及圖16係表示變形例的第1末端效果器110A1之構成之一例的立體圖。圖15表示把持爪1161及1162上昇的狀態，圖16表示把持爪1161及1162下降的狀態。本變形例的第1末端效果器110A1之構成，於實施型態的末端效果器110A及110B同樣地，具有與本變形例的第2末端效果器對照的構成。因此，以下僅針對第1末端效果器110A1進行說明，省略第2末端效果器的說明。

如圖15及圖16所示地，第1末端效果器110A1包含吸附部111A、基部112A、旋轉支持部113A、旋轉裝置115A、把持部116A、力感測器117A(未圖示)、昇降支持部118A、把持支持部114A1、以及昇降裝置119A。吸附部111A、基部112A、旋轉支持部113A、旋轉裝置115A、把持部116A、以及力感測器117A的構成與實施型態相同。

昇降支持部118A由剖面形狀為L自行的板狀構件構成，包含互為 略垂直的板狀部1181及1182。第1板狀部1181構成為與旋轉支持部113A的對向部1133自由拆裝地接合。第2板狀部1182於中間部1132的側方以從對向部1133遠離的方式於與第1方向D1A反對的方向延伸。第2板狀部1182與第5軸S5a略為平行。

昇降裝置119A安裝在位於昇降支持部118A的第1板狀部1181的相反側的第2板狀部1182。昇降裝置119A以其昇降軸119Aa於第1方向D1A及其相反方向沿軸方向移動的方式構成。昇降裝置119A包含以電力作為動力源的電動馬達等，於本實施型態包含伺服馬達。進一步地，昇降裝置119A具備將伺服馬達的旋轉驅動力變換為直線驅動力並傳遞至昇降軸119Aa的傳遞機構(未圖示)。另外，昇降裝置119A具備線性致動器、螺線管等其他的驅動裝置亦可。昇降裝置119A為移動裝置之一例。

把持支持部114A1由剖面形狀為L自行的板狀構件構成，包含互為略垂直的板狀部1143及1144。第1板狀部1143安裝於昇降軸119Aa的第1方向D1A的端部，把持支持部114A1與昇降軸119Aa一起於第1方向D1A及其相反方向上移動。第2板狀部1144位於相對於昇降裝置119A與昇降支持部118A的相反側，從第1板狀部1143於第1方向D1A及其相反方向上延伸。第2板狀部1144與昇降支持部118A的第2板狀部1182隔著昇降裝置119A而對向。

把持部116A安裝在位於昇降裝置119A的反對側的把持支持部114A1的第2板狀部1144。把持部116A的把持爪1161及1162於第1方向D1A延伸，於第2方向D2Aa及D2Ab上排列。把持部116A與第1吸附部111A於與第5軸S5a及第2方向D2Aa及D2Ab略垂直的水平方向上排列配置。

如上所述的第1末端效果器110A1中，昇降裝置119A可使把持部116A於第1方向D1A及其相反方向上移動。例如，如圖15所示地，於沿著第1方向D1A的高度位置上，昇降裝置119A藉由使把持部116A於第1方向D1A的相反方向上昇，可使把持爪1161及1162的前端的高度位置，位於較吸附部111A的前端更靠 與第1方向D1A的相反方向上位移後上方的高度位置。另外，如圖16所示地，昇降裝置119A藉由使把持部116A於第1方向D1A下降，可使把持爪1161及1162的前端的高度位置，位於較吸附部111A的前端更靠於第1方向D1A上位移後下方的高度位置，或是位於與吸附部111A的前端同等的高度位置。

因此，第1末端效果器110A1於將利用吸附部111A所保持的基材W載置於配置台4140上的狀態中，透過使昇降裝置119A動作，可將由把持爪1161及1162保持的磁石420放置於基材W之上。此時，無須如實施型態般，使第1末端效果器110A1下降來按壓變形吸附部111A的前端部。

另外，本變形例的末端效果器雖具有使把持爪1161及1162昇降的構成，但不以此為限，具有使吸附部111A及111B昇降的構成亦可。此時，末端效果器構成為具備與昇降裝置119A相同的昇降裝置，利用該昇降裝置使吸附部111A及111B昇降亦可。另外，末端效果器具有使把持爪1161及1162昇降的構成，以及具有使吸附部111A及111B昇降的構成亦可。

(其他實施型態)

以上說明了本發明的實施型態之一例，然而本發明並不限定於上述實施型態以及變形例。亦即於本發明的範圍內可有各種變形及改良。例如，將各種變形施加於實施型態及變形例，以及將不同實施型態及變形例中的構成要素組合而構築的型態，亦包含於本發明之範圍。

例如，於實施型態與變形例中，機器人100雖構成為具有機器臂120A及120B的雙臂機器人，但不以此為限。例如機器人100僅具備一個臂亦可，具備三個以上的臂亦可。例如，機器臂120A及120搭載於不同的機器人亦可。

另外，於實施型態與變形例中，構成為第1末端效果器與第2末端效果器分別安裝於第1機器臂120A及第2機器臂120B上，但並不以此為限。例如，第1末端效果器與第2末端效果器一體化亦可。亦即，1個末端效果器上具備第1及 第2吸附部、第1及第2把持部、第1及第2旋轉裝置，進一步地，具備第1及第2昇降裝置亦可。於此情況中，基部112A及112B以連結構件等相互連結亦可，一體化亦可。於前者的情形時，於連結構件上設置以使基部112A及112B的間隔變動之方式將連結構件伸縮的伸縮裝置亦可。例如，伸縮裝置具備滾珠螺桿及齒條構造等構成的伸縮機構，以及具備驅動伸縮機構的電動馬達等驅動裝置亦可。

另外，於實施型態與變形例中，末端效果器110A、110B、110A1的吸附部111A及111B雖構成為藉由產生負壓而吸附物體的方式構成，但不以此為限。例如，吸附部構成為以黏貼力使物體附著亦可。再者，吸附部具備以具有可撓性的橡膠或是樹脂構成的吸盤，利用吸盤的推壓來吸附物體的構成亦可。進一步地，為了增加吸附力，於吸盤的吸附面設置空氣吸引機構亦可。

另外，於實施型態與變形例中，末端效果器110A、110B、110A1的吸附部111A及111B個別的數量雖設為1個，但不以此為限，為2個以上亦可。

另外，於實施型態與變形例中，作為可適用本發明的機械裝置，雖然例示了產業用機器人亦即機器人100，但可適用本發明的機械裝置為產業用機器人以外的機器人亦可。例如，該機械裝置為服務機器人、建設機械、隧道挖掘機、起重機、貨物搬送車、以及人形機器人亦可。服務機器人為看護、醫療、清掃、警衛、引導、救助、調理、提供商品等使用於各種服務業的機器人。

另外，本發明的技術為控制方法亦可。例如，本發明之一實施型態的控制方法，其用於利用具備於與第1方向交叉的方向上相鄰地配置的第1吸附部及第1把持部的第1機器臂，與具備於與第1方向交叉的方向上相鄰地配置的第2吸附部及第2把持部的第2機器臂來搬送主構件的控制方法，其包含：使上述第1機器臂與上述第2機器臂動作，以使上述第1把持部與上述第2把持部分別把持位於上述第1方向上的第1輔助構件與第2輔助構件之步驟；使上述第1機器臂與上述第2機器臂動作，於上述第1把持部與上述第2把持部分別把持位於上述第 1方向上的上述第1輔助構件與上述第2輔助構件之狀態下，使上述第1吸附部與上述第2吸附部吸附並保持位於上述第1方向上的上述主構件之步驟；使上述第1機器臂與上述第2機器臂動作，將被吸附的上述主構件移動並載置於搬送目的地的配置面上之步驟；以及分別使上述第1把持部與上述第2把持部解除把持，將上述第1輔助構件與上述第2輔助構件配置於上述主構件上之步驟。上述控制方法中，CPU、LSI(Large-Scale Integration、大型積體電路)等電路由IC卡或是獨立的模組等實現亦可。

另外，本發明的技術為執行上述控制方法的程式亦可，為技術上述程式的非暫時性的電腦可讀取媒體亦可。另外，無須多言地上述程式可透過網際網路等傳送媒體流通。

另外，上述說明中所使用的序數、數量等數字，均為用來具體說明本發明技術的例示，本發明不受限於所例示的數字。另外，構成要素之間的聯接關係，為用來具體說明本發明技術的例示，本發明的實現功能所建構的連接關係不受限於此。

另外，功能方塊圖中功能方塊的分割僅為一例，以複數個功能方塊作為一個功能方塊而實現、將一個功能方塊分割為複數個、及/或將部分功能移至其他功能方塊亦可。另外，將具有類似功能的複數個功能方塊以單一的硬體或軟體平行處理或依時序處理亦可。

110A:(第1)末端效果器

111A:(第1)吸附部

112A:基部

1121:長邊部

1122:短邊部

113A:(第1)旋轉支持部

1131、1133:對向部

1132:中間部

114A:把持支持部

1141、1142:(第1、第2)板狀部

115A:(第1)旋轉裝置

116A:(第1)把持部

1161、1162:把持爪

1163:把持驅動裝置

117A:力感測器

123A、124A:連桿

D1A:第1方向

D2Aa、D2Ab:第2方向

S4a:第4軸

S5a:第5軸

Claims (20)

1. 一種保持裝置，其具備：第1吸附部，其構成為吸附主構件；第1把持部，其於與第1方向交叉的方向上與上述第1吸附部相鄰地配置，且構成為把持第1輔助構件；第2吸附部，其構成為吸附上述主構件；以及第2把持部，其於與上述第1方向交叉的方向上與上述第2吸附部相鄰地配置，且構成為把持第2輔助構件；上述第1吸附部及上述第1把持部，分別以吸附及把持位於上述第1方向的上述主構件及上述第1輔助構件之方式被定向；上述第2吸附部及上述第2把持部，分別以吸附及把持位於上述第1方向的上述主構件及上述第2輔助構件之方式被定向。
2. 如請求項1所述的保持裝置，其中上述第1吸附部及上述第1把持部配置於第1機器臂。
3. 如請求項1所述的保持裝置，其進一步具備：第1支持部，其支持上述第1吸附部及上述第1把持部；第1基部，其與上述第1支持部可旋轉地連結；以及第1旋轉裝置，其構成為使上述第1支持部旋轉。
4. 如請求項1所述的保持裝置，其中上述第2吸附部及上述第2把持部配置於第2機器臂。
5. 如請求項1所述的保持裝置，其中上述第1吸附部、上述第1把持部、上述第2吸附部及上述第2把持部，配置於一個機器臂上。
6. 如請求項1所述的保持裝置，其進一步具備： 第2支持部，其支持上述第2吸附部及上述第2把持部；第2基部，其與上述第2支持部可旋轉地連結；以及第2旋轉裝置，其構成為使上述第2支持部旋轉。
7. 如請求項1至6中任一項所述的保持裝置，其進一步具備：第1移動裝置及第2移動裝置，其等構成為分別使上述第1把持部及上述第2把持部於上述第1方向上移動。
8. 如請求項1至6中任一項所述的保持裝置，其中上述第1吸附部及上述第2吸附部包含可伸縮的部分。
9. 一種控制方法，其用於利用具備於與第1方向交叉的方向上相鄰的第1吸附部及第1把持部的第1機器臂、和具備於與上述第1方向交叉的方向上相鄰的第2吸附部及第2把持部的第2機器臂來搬送主構件，其包含：使上述第1機器臂及上述第2機器臂動作，以使上述第1把持部及上述第2把持部分別把持位於上述第1方向上的第1輔助構件及第2輔助構件之步驟；使上述第1機器臂及上述第2機器臂動作，於使上述第1把持部及上述第2把持部分別把持上述第1輔助構件及上述第2輔助構件之狀態下，使上述第1吸附部及上述第2吸附部吸附並保持位於上述第1方向上的上述主構件之步驟；使上述第1機器臂及上述第2機器臂動作，將被吸附的上述主構件移動並載置於搬送目的地的配置面上之步驟；以及分別使上述第1把持部及上述第2把持部解除把持，將上述第1輔助構件及上述第2輔助構件配置於上述主構件上之步驟。
10. 如請求項9所述的控制方法，其進一步包含：使上述第1機器臂及上述第2機器臂動作，以使檢測上述主構件之位置的位置檢測裝置，檢測被吸附的上述主構件之步驟；以及根據上述位置檢測裝置的檢測結果，使上述第1機器臂及上述第2機器臂動 作，以調節上述配置面上的上述第1吸附部與上述第2吸附部之間的間隔之步驟。
11. 如請求項9或10所述的控制方法，其中上述第1吸附部及上述第1把持部，係透過第1支持部及第1基部而安裝於上述第1機器臂；上述第1支持部支持上述第1吸附部及上述第1把持部；上述第1基部，係與上述第1支持部可旋轉地連結且安裝於上述第1機器臂；上述第1支持部係構成為透過第1旋轉裝置而旋轉；上述第2吸附部及上述第2把持部，係透過第2支持部及第2基部而安裝於上述第2機器臂；上述第2支持部支持上述第2吸附部及上述第2把持部；上述第2基部，係與上述第2支持部可旋轉地連結且安裝於上述第2機器臂；上述第2支持部係構成為透過第2旋轉裝置而旋轉。
12. 如請求項9或10所述的控制方法，其進一步包含：藉由構成為分別使上述第1把持部及上述第2把持部於上述第1方向上移動的第1移動裝置及第2移動裝置使上述第1把持部及上述第2把持部於上述第1方向上移動，來將由上述第1把持部及上述第2把持部把持的上述第1輔助構件及上述第2輔助構件載置於上述主構件上之步驟。
13. 如請求項9或10所述的控制方法，其進一步具備：藉由使上述第1機器臂及上述第2機器臂動作，將包含可伸縮部分的上述第1吸附部及上述第2吸附部推壓至上述主構件而收縮，將由上述第1把持部及上述第2把持部把持的上述第1輔助構件及上述第2輔助構件載置於上述主構件上之步驟。
14. 一種控制裝置，其執行如請求項9至13中任一項所述的控制方法。
15. 一種機器人系統，其具備：第1機器臂；第2機器臂；第1吸附部及第1把持部，於與第1方向交叉的方向上相鄰地配置於上述第1機器臂；第2吸附部及第2把持部，於與上述第1方向交叉的方向上相鄰地配置於上述第2機器臂；以及控制裝置，其控制上述第1機器臂、上述第2機器臂、上述第1把持部及上述第2把持部的動作；上述第1吸附部、上述第1把持部、上述第2吸附部及上述第2把持部以吸附或把持位於上述第1方向的主構件及第1輔助構件之方式被定向；上述控制裝置構成為：藉由使上述第1機器臂及上述第2機器臂動作，使上述第1把持部及上述第2把持部分別把持位於上述第1方向上的第1輔助構件及第2輔助構件；於把持著上述第1輔助構件及上述第2輔助構件時，藉由使上述第1機器臂及上述第2機器臂動作，使上述第1吸附部及上述第2吸附部吸附並保持位於上述第1方向上的上述主構件；藉由使上述第1機器臂及上述第2機器臂動作，將被吸附的上述主構件移動並載置於搬送目的地的配置面上；分別使上述第1把持部及上述第2把持部解除把持，將上述第1輔助構件及上述第2輔助構件配置於上述主構件上。
16. 一種機器人系統，其具備：機器臂；第1吸附部及第1把持部，於與第1方向交叉的方向上相鄰地配置於上述機器 臂；第2吸附部及第2把持部，於與上述第1方向交叉的方向上相鄰地配置於上述機器臂；以及控制裝置，其控制上述機器臂、上述第1把持部及上述第2把持部的動作；上述第1吸附部、上述第1把持部、上述第2吸附部及上述第2把持部以吸附或把持位於上述第1方向的主構件及輔助構件之方式被定向；上述控制裝置構成為：藉由使上述機器臂動作，以使上述第1把持部及上述第2把持部，分別把持位於上述第1方向上的第1輔助構件及第2輔助構件；於把持著上述第1輔助構件及上述第2輔助構件時，藉由使上述機器臂動作，使上述第1吸附部及上述第2吸附部吸附並保持位於上述第1方向上的上述主構件；藉由使上述機器臂動作，將被吸附的上述主構件移動並載置於搬送目的地的配置面上；分別使上述第1把持部及上述第2把持部解除把持，將上述第1輔助構件及上述第2輔助構件配置於上述主構件上。
17. 如請求項15或16所述的機器人系統，其進一步具備：位置檢測裝置，其檢測上述主構件的位置且將檢測結果輸出至上述控制裝置；上述控制裝置根據上述位置檢測裝置的檢測結果，檢測出上述主構件相對於上述第1吸附部及上述第2吸附部的相對位置，並根據上述相對位置使上述機器臂動作，調節上述配置面上的上述第1吸附部及上述第2吸附部的位置。
18. 如請求項15或16所述的機器人系統，其中上述第1吸附部及上述第1把持部，係透過第1支持部及第1基部而安裝於上 述機器臂；上述第1支持部支持上述第1吸附部及上述第1把持部；上述第1基部，係與上述第1支持部可旋轉地連結且安裝於上述機器臂；上述第1支持部係構成為透過第1旋轉裝置而旋轉；上述第2吸附部及上述第2把持部，係透過第2支持部及第2基部而安裝於上述機器臂；上述第2支持部支持上述第2吸附部及上述第2把持部；上述第2基部，係與上述第2支持部可旋轉地連結且安裝於上述機器臂；以及上述第2支持部係構成為透過第2旋轉裝置而旋轉。
19. 如請求項15或16所述的機器人系統，其中上述機器臂進一步具備：第1移動裝置及第2移動裝置，其等構成為分別使上述第1把持部及上述第2把持部於上述第1方向上移動；上述控制裝置，構成為：藉由上述第1移動裝置及上述第2移動裝置使上述第1把持部及上述第2把持部於上述第1方向上移動，來將由上述第1把持部及上述第2把持部把持的上述第1輔助構件及上述第2輔助構件載置於上述主構件上。
20. 如請求項15或16所述的機器人系統，其中上述第1吸附部及上述第2吸附部包含可伸縮部分；上述控制裝置，構成為：藉由使上述機器臂動作，將上述吸附部推壓至上述主構件並收縮，來將由上述第1把持部及上述第2把持部把持的上述第1輔助構件及上述第2輔助構件載置於上述主構件上。

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