TWI739764B - 同軸探針卡裝置 - Google Patents

Abstract

一種同軸探針卡裝置，包含一基板、複數探針座與複數探針。基板具有一穿孔，複數探針座設置於基板上且以基板之穿孔為中心而環繞穿孔呈輻射狀配置。各探針座具有一探針槽，探針槽相對於基板之表面傾斜且朝基板之穿孔的方向延伸，各探針係個別設置於各探針座之探針槽中。

Description

同軸探針卡裝置

本發明是關於一種探針卡裝置，特別是一種應用於積體電路測試之同軸探針卡裝置。

近年來，積體電路（integrated circuit）的應用已逐漸普及，在積體電路製作完成後，為了能篩選出不良品，通常會透過測試裝置將測試訊號傳送至積體電路來測試其功能是否符合預期，以控管積體電路的出廠良率。於此，習知的測試技術可藉由探針裝置直接與待測積體電路上的銲墊或是輸出入墊（I/O pad）直接接觸，藉由測試裝置經探針發送測試訊號至積體電路進行檢測，再由探針將測試結果回送至測試裝置進行分析。在各種用來測試積體電路之探針結構中，又以同軸探針最適合用於需要以高頻訊號進行測試之積體電路。

本發明所提出的一種同軸探針卡裝置主要包含基板、第一弧型探針座、第二弧型探針座、第一探針群組及第二探針群組。基板具有一穿孔，第一弧形探針座具有第一內弧面與相對於第一內弧面之第一外弧面，第一內弧面與第一外弧面自第一弧型探針座之一端延伸至另一端，第一弧型探針座以其一端固設於基板上且位於穿孔之一側，並以第一內弧面朝向穿孔。第二弧型探針座具有第二內弧面與相對於第二內弧面之第二外弧面，第二內弧面與第二外弧面自第二弧型探針座之一端延伸至另一端，第二弧型探針座以其一端固設於基板上且位於穿孔之另一側而與第一弧型探針座相對，並以第二內弧面朝向穿孔。第一探針群組包含複數第一探針，設置於第一弧型探針座，各第一探針自第一外弧面穿過第一內弧面而延伸至基板之穿孔。第二探針群組包含複數第二探針，設置於第二弧型探針座，各第二探針自第二外弧面穿過第二內弧面而延伸至基板之穿孔。

本發明還提出另一種同軸探針卡裝置，其主要包含基板、複數探針座與複數探針。基板具有一穿孔，複數探針座設置於基板上且以基板之穿孔為中心而環繞穿孔呈輻射狀配置。各探針座具有一探針槽，探針槽相對於基板之表面傾斜且朝基板之穿孔的方向延伸，各探針係個別設置於各探針座之探針槽中。

請參照圖1至圖4，分別為本發明第一實施例之立體示意圖圖、俯視示意圖、前視示意圖與側視示意圖，繪示出一探針卡裝置10，其主要包含基板11、第一弧型探針座12、第二弧型探針座13、第一探針群組14及第二探針群組15。

基板11具有穿孔11a，其位於基板11之中心。第一弧形探針座12具有第一內弧面121與相對於第一內弧面121之第一外弧面122，第一內弧面121與第一外弧面122自第一弧型探針座12之一端延伸至另一端。第一弧型探針座12係直立於基板11上而以其一端固設於基板11，且位於穿孔11a之一側，並以其第一內弧面121朝向穿孔11a。第二弧型探針座13具有第二內弧面131與相對於第二內弧面131之第二外弧面132，第二內弧面131與第二外弧面132自第二弧型探針座13之一端延伸至另一端。第二弧型探針座13以其一端固設於基板11上且位於穿孔11a之另一側而與第一弧型探針座12相對，並以其第二內弧面131朝向穿孔11a。

第一探針群組14包含複數第一探針141，設置於第一弧型探針座12上。各第一探針141自第一外弧面122穿過第一內弧面121而分別自不同的方位延伸至基板11之穿孔11a，各第一探針141與基板11的夾角係彼此不同且任二第一探針141彼此可不共平面。第二探針群組15包含複數第二探針151，設置於第二弧型探針座13，各第二探針151自第二外弧面132穿過第二內弧面131而分別自不同方位延伸至基板11之穿孔11a，各第二探針151與基板11的夾角係彼此不同且任二第二探針151彼此可不共平面。

在本實施例中，由於第一探針座12與第二探針座13係直立於基板11而以其一端固定於基板11上，因而使第一探針141與第二探針151可以自不同的空間方位延伸至基板11之穿孔11a，同時也可以讓各第一探針141與各第二探針151彼此之間保持等長度，甚至讓第一探針141亦可與第二探針151等長度。如此一來，第一探針141與第二探針151彼此間的阻抗差異可以達到最小化。

如圖3與圖4所示，各第一探針141具有一尖端141a，各第二探針151具有尖端151a，各第一探針141之尖端141a與各第二探針151之尖端151a穿過基板11之穿孔11a，以使其可以對位於穿孔11a下方之待側物進行針測。在本實施例中，所有第一探針141之尖端141a可以呈直線排列且位於同一水平面上，所有第二探針151之尖端151a亦可以呈直線排列且位於同一水平面上，且所有第一探針141之尖端141a所構成的直線可以平行於所有第二探針151之尖端151a所構成的直線。

在本實施例的其中一態樣中，每根第一探針141係與位於其相對側之第二探針151共平面，且與其餘之第二探針151不共平面，也就是說每根第一探針141至多僅與其中一根第二探針151共平面。但須特別說明的是，任二根第一探針141彼此間仍不共平面，任二根第二探針151彼此間亦不共平面。

需特別說明的是，由於每根第一探針141與基板11的夾角均不相同，同時每根第二探針151與基板11的夾角也均不相同，因此當操作員操作基板下降以使第一探針141之尖端141a與第二探針151之尖端151a碰觸待側物之焊墊時，每根第一探針141之尖端141a施加於焊墊上的壓力會有差異，每根第二探針151之尖端151a施加於焊墊上的壓力也會有差異，導致焊墊表面被探針穿透的程度可能會有不一致的情況。此種微小應力差異在多數測試條件下可以忽略。但若要進一步修正讓每根探針施加於焊墊上的應力能一致，可調整每根第一探針141或第二探針151的長度，或者是調整每根第一探針141或第二探針151的直徑，藉此讓每根探針施加於焊墊上的應力保持一致。依據材料力學上的計算，在探針材質保持不變的前提下，施加於焊墊上的壓力係與探針長度的3次方成反比以及與探針直徑的4次方成正比。其中第一探針141或第二探針151可為同軸結構，為緩衝針測時之應力，同軸探針的管徑越大，第一探針141或第二探針151的長度就需越長。

請參照圖5至圖8，分別為本發明第二實施例之立體示意圖圖、俯視示意圖、前視示意圖與側視示意圖，繪示出一探針卡裝置20，其主要包含基板21、複數探針座22與複數探針23。

基板21具有一穿孔21a，複數探針座22設置於基板21上且以基板21之穿孔21a為中心而環繞穿孔21a呈輻射狀配置。各探針座22具有一探針槽221，探針槽221相對於基板21之表面傾斜且朝基板21之穿孔21a的方向延伸，各探針23係個別設置於各探針座22之探針槽221中。

在本實施例中，由於複數探針座22係個別地設置於基板21上且以基板21之穿孔21a為中心而環繞穿孔21a呈輻射狀配置，因此各探針23的長度可以實質上彼此相同。此外，也因為每根探針23係設置於其專屬的探針座22上，因此倘若探針發生損壞而必須更換，可以僅更換損壞的該根探針即可。

在本實施例中，各探針23具有第一區段231與第二區段232，各探針23之第一區段231設置於各探針座22之探針槽221中，第二區段232相對第一區段231彎曲且穿過基板21之穿孔21a。其中各第一區段231或各第二區段232可為實質上等長。

在本實施例中，複數探針23可進一步區分為第一群組23a與第二群族23b，第一群組23a之探針23與第二群組23b之探針23彼此係相對於通過基板21之穿孔21a中心的一對稱軸線C1呈鏡像設置。再如圖6至圖8所示，第一群組23a之探針23之第二區段232的尖端232a係呈直線排列且位於同一水平面上，第二群組23b之探針23之第二區段232之尖端232a亦呈直線排列且位於同一水平面上。此外，第一群組23a之探針23之第二區段232之尖端232a所構成的直線可以平行於第二群組23b之探針23之第二區段232之尖端232a所構成的直線。

在本實施例中，各探針23係相對於基板21之穿孔21a呈輻射狀配置且個別相對於基板21的表面傾斜，其中任三根探針23之第二區段231彼此不共平面。

上述各實施例之同軸探針卡裝置之探針結構可以是經過特殊設計，茲列舉二例如下。

請參照圖9與圖10，分別為同軸探針卡裝置之同軸探針結構之第一範例的立體示意圖（一）與立體示意圖（二），繪示出適用於本發明之同軸探針卡裝置之同軸探針結構30，其主要包含探針本體31、第一金屬片32及第二金屬片33。

探針本體31係呈圓條狀，其由外而內依序包含同軸設置之一外導體311、一絕緣層312與一內導體313，其中外導體311與內導體313之間係藉由絕緣層312而彼此絕緣隔離。探針本體31具有一端面31a、一周面31b與一斜切面31c。端面31a位於探針本體31之一端，其法線方向大致平行於探針本體31之軸向（長度方向），且外導體311、絕緣層312及內導體313均裸露於端面31a。周面31b係由外導體311之外表面所定義，斜切面31c自端面31a朝周面31b延伸而斜切過外導體311、絕緣層312與內導體313，使外導體311、絕緣層312以及內導體313局部裸露於斜切面31c。換言之，斜切面31c實質上係包含外導體311之切面、絕緣層312之切面以及內導體313之切面。

第一金屬片32包含一第一固定端321與一第一凸出端322。第一固定端321可以以焊接的方式固設於探針本體31之斜切面31c且電性連接於內導體313裸露於斜切面31c之部分；第一凸出端322凸出探針本體31之端面31a且具有一第一凸塊3221。第二金屬片33包含一第二固定端131與一第二凸出端332。第二固定端131可以以焊接的方式固設於探針本體31之斜切面31c且電性連接於外導體311裸露於斜切面31c之部分；第二凸出端332凸出探針本體31之端面31a且具有一第二凸塊3321。第一凸塊1221與第二凸塊1321用以針測接觸一待測物(DUT)。需特別說明的是，由於第一金屬片32與第二金屬片33係可分別被定義為用來傳輸測試訊號與接地或者分別被定義為用來接地與傳輸測試訊號，例如第一金屬片12用以傳輸測試訊號而第二金屬片13用以接地，因此第一金屬片32與第二金屬片33彼此不相連。

本範例之探針本體31之外導體311與內導體313的材質係為金屬，例如黃銅、鈹銅、鎢鋼、錸鎢等。至於絕緣層312的材質則可以是高分子複合材料，例如玻璃纖維，其具有良好的機械強度、絕緣性與耐候性，另外也可以是聚四氟乙烯（PTFE）或者是聚醚醚酮（PEEK）。

請參照圖11，為同軸探針結構之第一範例之探針本體31之端面31a的放大圖。第一範例之同軸探針結構30之探針本體31之端面31a與斜切面31c相連結處定義了一交線L1，第一凸塊3221之根部3221a與探針本體31之端面31a之中心的連線L2與交線L1垂直，亦即L1與L2之間的夾角θ₁ 為90度。第二凸塊3321之根部1321a與探針本體31之端面31a之中心的連線L3與交線L1不垂直，亦即L1與L3之間的夾角θ₂ 不為90度。上述端面31a的中心相當於端面31a的形狀中心（形心），例如當端面31a為圓形或橢圓形時，端面31a的中心即為圓心；當端面31a為正多邊形時，端面31a的中心即為各對角線的交點。須特別說明的是，同軸探針結構之第一範例之第一凸塊3221與第二凸塊3321之間的間距D1（邊緣至邊緣）係小於探針本體31之端面31a的中心至周面31b的垂直距離。

請參照圖12至圖14，分別為同軸探針卡裝置之同軸探針結構之第二範例之立體示意圖（一）、立體示意圖（二）及探針本體之端面的放大圖，繪示出同軸探針結構40，其主要包含探針本體31、第一金屬片42及第二金屬片43。第一金屬片42包含一第一固定端421與一第一凸出端422。第一固定端421可以以焊接的方式固設於探針本體31之斜切面31c且電性連接於內導體313裸露於斜切面31c之部分；第一凸出端422凸出探針本體31之端面31a且具有一第一凸塊4221。第二金屬片43包含一第二固定端431與一第二凸出端432。第二固定端431可以以焊接的方式固設於探針本體31之斜切面31c且電性連接於外導體311裸露於斜切面31c之部分；第二凸出端432凸出探針本體31之端面31a且具有一第二凸塊4321。如前述同軸探針結構之第一範例，第一金屬片42與第二金屬片43係可分別被定義為用以傳輸測試訊號與接地（或者相反），因此第一金屬片42與第二金屬片43彼此不相連。

第二範例之同軸探針結構40與第一範例之同軸探針結構30的主要差異在於其第一金屬片42之第一凸塊4221之根部4221a與探針本體31之端面31a之中心的連線L4與交線L1不垂直，亦即L4與L1之間的夾角θ₃ 不為90度或者是大於90度。第二凸塊4321之根部4321a與探針本體31之端面31a之中心的連線L5與交線L1不垂直，亦即L1與L5之夾角θ₄ 不為90度或者是小於90度。

須特別說明的是，同軸探針結構之第二範例之第一凸塊4221與第二凸塊4321之間的間距D2（邊緣至邊緣）係大於探針本體31之端面31a的中心至周面31b的垂直距離。執行積體電路測試時，如果同軸探針結構之用來傳輸測試訊號的導體部位與相鄰之另一同軸探針結構之用來接地的導體部位過於接近，將會受到干擾。因此在某些針測過程中，相鄰同軸探針結構之間會間隔一個以上的待測元件（DUT）的距離，使相鄰同軸探針結構之間不會相互干擾。以同軸探針結構之第二範例來說，倘若第二範例之第一金屬片42係定義為用來傳輸測試訊號，第二金屬片43係用來接地，則藉由讓第一金屬片42之第一凸塊4221之根部4221a與探針本體31之端面31a之中心的連線L4與交線L1不垂直，也就是讓第一凸塊4221偏離探針本體311(或內導體313)之軸向，可讓原先較遠離探針本體311(或內導體313)之軸向或位於外導體313長度延伸方向之第二凸塊4321的位置可以朝探針本體31(或內導體313)之軸向靠近，同時還可以進一步縮小第二金屬片43的體積，從而避免用來接地的第二金屬片43的面積過大而干擾相鄰同軸探針結構的測試訊號。也就是說，同軸探針結構之第二範例可以讓同軸探針結構間更加緊密排列，因此不須以間隔一個以上的待測元件（DUT）來進行針測，而可以做到連續測試，進而提高針測的產能。此外，上述偏軸的設計可以使第一凸塊4221與第二凸塊4321之間的距離大於、小於或等於同軸探針結構的半徑，端視所使用的同軸探針結構的大小及測試(墊)間距的需求來進行選擇。

請再參照圖9與圖11，於第一範例中，第一金屬片32之第一固定端321與第二金屬片33之第二固定端131均未凸出於探針本體31之斜切面31c外，以避免相鄰同軸探針結構之間彼此干擾。請再參照圖12與圖13，於同軸探針結構之第二範例中，第一金屬片42之第一固定端421與第二金屬片43之第二固定端431同樣亦未凸出於探針本體31之斜切面31c外，以避免相鄰同軸探針結構之間彼此干擾，但在其他不同情況或考量下亦可為凸出。

請再參照圖10，第一範例之第一金屬片32之第一凸出端322與第二金屬片33之第二凸出端332沿平行於斜切面31c之方向上相隔一間隙G1，其中間隙G1可以是等寬或者是不等寬。此外，當間隙G1不等寬時，間隙G1可以是隨著遠離探針本體31之端面31a而漸縮。需特別說明的是，間隙G1的大小取決於第一金屬片32與第二金屬片33之厚度，在一實施態樣中，無論間隙G1是否等寬，其寬度的最小值係在第一金屬片32與第二金屬片33之厚度的五分之一至十分之一之間。實驗發現，若是間隙G1之寬度的最小值大於第一金屬片32與第二金屬片33之厚度的五分之一，則高頻特性將下降。然而若是間隙G1之寬度的最小值小於第一金屬片32與第二金屬片33之厚度的十分之一，則將導致製程難度上升而使良率或可靠度下降，亦即間隙G1的選擇係根據第一金屬片12與第二金屬片13之厚度、測試頻率需求與製程良率(或可靠度)作整體考量。同樣地，請再參照圖13，同軸探針結構第二範例之第一金屬片42之第一凸出端422與第二金屬片43之第二凸出端432沿平行於斜切面31c之方向上相隔一間隙G2，間隙G2的特徵如前述的間隙G1，於此不再重複贅述。

請再參照圖11，於第一範例中，第一凸塊3221相對於第一金屬片32之表面彎曲而與第一金屬片32之表面定義一第一夾角θ₅ ，第二凸塊3321相對於第二金屬片33之表面彎曲而與第二金屬片33之表面定義一第二夾角θ₆ 。θ₅ 實質上等於θ₆ ，且θ₅ 與θ₆ 係可在120度至135度之範圍間。請再參照圖14，於同軸探針結構之第二範例中，第一凸塊4221相對於第一金屬片42之表面彎曲而與第一金屬片42之表面定義一第一夾角θ₅ ，第二凸塊4321相對於第二金屬片43之表面彎曲而與第二金屬片43之表面定義一第二夾角θ₆ 。同樣的，θ₅ 實質上等於θ₆ ，且θ₅ 與θ₆ 係可在120度至135度之範圍間。上述第一凸塊相對於第一金屬片彎曲以及第二凸塊相對於第二金屬片彎曲的原因在於進行針測時，必須透過操作員觀測第一凸塊與第二凸塊是否已經對準待測物之銲墊，倘若第一凸塊與第二凸塊未彎曲，則下針的時候攝影機的視野會被探針本體所阻擋，導致操作員不易觀察到第一凸塊與第二凸塊是否已經對準待測物之銲墊。然而，倘若具有其他方式（例如安設具有不同觀測角度的攝影機）可以判斷或觀測第一凸塊與第二凸塊是否已對準待測物之銲墊，則第一凸塊與第二凸塊亦可不相對於第一金屬片與第二金屬片彎曲。此外第一凸塊4221或第二凸塊4321用以接觸待測物之端面亦可與待測物或第一金屬片42(或第二金屬片43)之間具有小於10度之一夾角，而可不與之完全平行。

雖然本發明已以實施例揭露如上然其並非用以限定本發明，任何所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作些許之更動與潤飾，故本發明之保護範圍當視後附之專利申請範圍所界定者為準。

10、20‧‧‧探針卡裝置 11、21‧‧‧基板 11a、21a‧‧‧穿孔 12‧‧‧第一弧型探針座 121‧‧‧第一內弧面 122‧‧‧第一外弧面 13‧‧‧第二弧型探針座 131‧‧‧第二內弧面 132‧‧‧第二外弧面 14‧‧‧第一探針群組 141‧‧‧第一探針 141a‧‧‧尖端 15‧‧‧第二探針群組 151‧‧‧第二探針 151a‧‧‧尖端 22‧‧‧探針座 221‧‧‧探針槽 23‧‧‧探針 231‧‧‧第一區段 232‧‧‧第二區段 232a‧‧‧尖端 23a‧‧‧第一群組 23b‧‧‧第二群組 30、40‧‧‧同軸探針結構 31‧‧‧探針本體 31a‧‧‧端面 31b‧‧‧周面 31c‧‧‧斜切面 311‧‧‧外導體 312‧‧‧絕緣層 313‧‧‧內導體 32、42‧‧‧第一金屬片 33、43‧‧‧第二金屬片 321、421‧‧‧第一固定端 322、422‧‧‧第一凸出端 3221、4221‧‧‧第一凸塊 3221a、4221a‧‧‧第一凸塊之根部 331、431‧‧‧第二固定端 332、432‧‧‧第二凸出端 3321、4321‧‧‧第二凸塊 3321a、4321a‧‧‧第二凸塊之根部 C1‧‧‧對稱軸線 D1、D2‧‧‧間距 G1、G2‧‧‧間隙 L1‧‧‧交線 L2~L5 ‧‧‧連線 θ1~θ2‧‧‧夾角 θ5‧‧‧第一夾角 θ6‧‧‧第二夾角

[圖1] 為本發明第一實施例之立體示意圖。 [圖2] 為本發明第一實施例之俯視示意圖。 [圖3] 為本發明第一實施例之前視示意圖。 [圖4] 為本發明第一實施例之側視示意圖。 [圖5] 為本發明第二實施例之立體示意圖。 [圖6] 為本發明第二實施例之俯視示意圖。 [圖7] 為本發明第二實施例之前視示意圖。 [圖8] 為本發明第二實施例之側視示意圖。 [圖9] 為同軸探針卡裝置之同軸探針結構之第一範例的立體示意圖（一）。 [圖10] 為同軸探針卡裝置之同軸探針結構之第一範例的立體示意圖（二）。 [圖11] 為同軸探針卡裝置之同軸探針結構之第一範例之探針本體之端面的放大圖。 [圖12] 為同軸探針卡裝置之同軸探針結構之第二範例的立體示意圖（一）。 [圖13] 為同軸探針卡裝置之同軸探針結構之第二範例的立體示意圖（二）。 [圖14] 為同軸探針卡裝置之同軸探針結構之第二範例之探針本體之端面的放大圖。

20‧‧‧探針卡裝置

21‧‧‧基板

21a‧‧‧穿孔

22‧‧‧探針座

221‧‧‧探針槽

23‧‧‧探針

231‧‧‧第一區段

232‧‧‧第二區段

232a‧‧‧尖端

Claims (16)

1. 一種同軸探針卡裝置，包含：一基板，具有一穿孔；一第一弧形探針座，具有一第一內弧面與相對於該第一內弧面之一第一外弧面，該第一內弧面與該第一外弧面自該第一弧型探針座之一端延伸至另一端，該第一弧型探針座以其一端固設於該基板上且位於該穿孔之一側，並以該第一內弧面朝向該穿孔；一第二弧型探針座，具有一第二內弧面與相對於該第二內弧面之一第二外弧面，該第二內弧面與該第二外弧面自該第二弧型探針座之一端延伸至另一端，該第二弧型探針座以其一端固設於該基板上且位於該穿孔之另一側而與該第一弧型探針座相對，並以該第二內弧面朝向該穿孔；一第一探針群組，包含複數第一探針，設置於該第一弧型探針座，各該第一探針自該第一外弧面穿過該第一內弧面而延伸至該基板之穿孔；及一第二探針群組，包含複數第二探針，設置於該第二弧型探針座，各該第二探針自該第二外弧面穿過該第二內弧面而延伸至該基板之穿孔。
2. 如請求項1所述之同軸探針卡裝置，其中各該第一探針的長度彼此相同，各該第二探針的長度亦彼此相同。
3. 如請求項2所述之同軸探針卡裝置，其中各該第一探針與各該第二探針分別具有一尖端，各該第一探針之尖端與各該第二探針之尖端穿過該穿孔。
4. 如請求項3所述之同軸探針卡裝置，其中該些第一探針之尖端呈直線排列且位於同一水平面上，該些第二探針之尖端亦呈直線排列且位於同一水平面上。
5. 如請求項4所述之同軸探針卡裝置，其中該些第一探針之尖端所構成的直線平行於該些第二探針之尖端所構成的直線。
6. 如請求項1至5任一項所述之同軸探針卡裝置，其中任二該第一探針彼此不共平面，任二該第二探針彼此亦不共平面。
7. 如請求項6所述之同軸探針卡裝置，其中，每一該第一探針與其中一該第二探針共平面，且與其餘之該些第二探針不共平面。
8. 如請求項1至5任一項所述之同軸探針卡裝置，其中，每一該第一探針與其中一該第二探針共平面，且與其餘之該些第二探針不共平面。
9. 如請求項8所述之同軸探針卡裝置，其中任二該第一探針彼此不共平面，任二該第二探針彼此亦不共平面。
10. 一種同軸探針卡裝置，包含：一基板，具有一穿孔；複數探針座，設置於該基板上且以該穿孔為中心而環繞該穿孔呈輻射狀配置，各該探針座具有一探針槽，該探針槽相對於該基板之表面傾斜且朝該穿孔之方向延伸；及複數探針，個別設置於各該探針座之探針槽中，其中各該探針包含一探針本體，該探針本體由外而內依序包含同軸設置之一外導體、一絕緣層 與一內導體，該外導體與該內導體之間藉由該絕緣層而彼此絕緣隔離，該探針本體部分穿過該基板之該穿孔。
11. 如請求項10所述之同軸探針卡裝置，其中各該探針的長度彼此相同。
12. 如請求項11所述之同軸探針卡裝置，其中各該探針具有一第一區段與一第二區段，該第一區段設置於該探針槽中，該第二區段相對該第一區段彎曲且穿過該穿孔。
13. 如請求項12所述之同軸探針卡裝置，其中該些探針區分為一第一群組與一第二群族，該第一群組之該些探針與該第二群組之該些探針彼此呈鏡像設置。
14. 如請求項13所述之同軸探針卡裝置，其中該第一群組之該些探針之第二區段的尖端呈直線排列且位於同一水平面上，各該第二群組之該些探針之第二區段之尖端亦呈直線排列且位於同一水平面上。
15. 如請求項14所述之同軸探針卡裝置，其中該第一群組之該些探針之第二區段之尖端所構成的直線平行於該第二群組之該些探針之第二區段之尖端所構成的直線。
16. 如請求項12所述之同軸探針卡裝置，其中任三該探針之該第二區段彼此不共平面。

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