TWI739403B - 線性平台之誤差量測裝置與方法 - Google Patents

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Abstract

一種線性平台之誤差量測裝置與方法，其中誤差量測裝置包括光學量測組件、致動器及處理器。光學量測組件包括發光源、光學鏡及光電感測器，發光源發出光束並經由光學鏡傳遞至光電感測器上的感測區而形成第一光路，第一光路對應入射於感測區上的第一光點位置。移動平台移動一線性位移量而形成第二光路對應入射於感測區上的第二光點位置。處理器根據線性位移量及位置變化量計算移動平台之移動誤差量，並控制致動器驅動發光源、該光學鏡及該光電感測器中至少其一相對於移動平台進行相對運動，使光束再對應入射於感測區上的第一光點位置。

Description

線性平台之誤差量測裝置與方法
本發明係關於一種量測裝置與方法，特別是指一種線性平台之誤差量測裝置與方法。
隨著科技的進步與機械自動化的時代來臨，使得工具機在國防、航太、製造業等產業備受重用。對於工具機的線性平台來說，其移動平台的精密度對於產品的精度與良率具有決定性的影響，因此，線性平台的誤差量測技術扮演十分重要的角色。
關於線性平台之誤差量測，目前產業界常使用光學量測的方式達成，例如雷涉干涉儀、多光束校正儀或雷射三角測距法。然而，雷涉干涉儀與多光束校正儀存在價格昂貴與建構成本高等問題，雷射三角測距法的量測範圍受到感測器尺寸的限制而不利於長行程之量測，且雷射三角測距法的量測解析度與精度會隨著量測距離的增加而逐漸變差。
鑒於上述，於一實施例中，提供一種線性平台之誤差量測方法，包括以光學量測組件形成第一光路，其中光學量測組件包括發光源、光學鏡及光電感測器，發光源、光學鏡、光電感測器或其中之二設置於線性平台之移動平台上，第一光路由發光源發出光束並經由光學鏡傳遞至光電感測器上的感測區而形成，且第一光路對應入射於感測區上的第一光點位置；控制移動平台移動一線性位移量而使發光源之光束經由光學鏡傳遞至光電感測器上形成一第二光路，其中第二光路對應入射於感測區上的一第二光點位置，第一光點位置與第二光點位置之間具有一位置變化量；根據線性位移量與位置變化量計算移動平台之移動誤差量；以及以一致動器驅動發光源、光學鏡及光電感測器中至少其一相對於移動平台進行一相對運動，其中相對運動使光束再對應入射於感測區上的第一光點位置。
於另一實施例中，提供一種線性平台之誤差量測裝置，包括光學量測組件、致動器及處理器。光學量測組件包括發光源、光學鏡以及光電感測器，發光源、光學鏡、光電感測器或其中之二設置於線性平台之移動平台上，發光源發出光束並經由光學鏡傳遞至光電感測器上的感測區而形成一第一光路，第一光路對應入射於感測區上的一第一光點位置，其中移動平台移動一線性位移量而使發光源之光束經由光學鏡傳遞至光電感測器上形成一第二光路，第二光路對應入射於感測區上的一第二光點位置，第一光點位置與第二光點位置之間具有一位置變化量。致動器連接於發光源、光學鏡及光電感測器中至少其一。處理器連接於光電感測器，處理器根據線性位移量及位置變化量計算移動平台之移動誤差量，其中處理器更連接致動器、並控制致動器驅動發光源、光學鏡及光電感測器中至少其一相對於移動平台進行一相對運動，其中相對運動使光束再對應入射於感測區上的第一光點位置。
本發明實施例之線性平台之誤差量測裝置與方法，在根據移動平台之線性位移量及位置變化量計算移動平台之移動誤差量後，再以致動器驅動光學量測組件之發光源、光學鏡及光電感測器中至少其一相對於移動平台進行相對運動，使光束再次對應入射於感測區上的第一光點位置，使移動平台能夠繼續移動以進行誤差量測作業，避免光束偏離而超出光電感測器的感測範圍，達到在最少的建構成本下，實現長行程之誤差量測。
圖1與圖2為本發明誤差量測裝置第一實施例之硬體架構圖與光路示意圖。如圖1與圖2所示，本發明實施例之誤差量測裝置2用於量測線性平台1於運動過程中所產生的幾何誤差，並能在最少的建構成本下，實現長行程之誤差量測。
所述線性平台1可為各式工具機上之線性運動平台，例如線性平台1可為線性滑軌、滾珠螺桿或滾珠花鍵等。線性平台1具有一移動平台10，舉例來說，假設線性平台1為一線性滑軌時（如圖1與圖2所示），移動平台10為設置於軌道上之滑移平台；假設線性平台1為一滾珠螺桿時，移動平台10則為能彼此相對運動之螺桿或螺帽。
如圖1與圖2所示，誤差量測裝置2包括光學量測組件20、致動器30及處理器40。在一些實施例中，致動器30是能將控制訊號轉換成具有推動被控物之動力裝置，例如致動器30可為交直流馬達、步進馬達或氣液壓馬達以控制被控物進行旋轉運動，或者致動器30亦可為氣液壓缸或直線馬達以控制被控物進行直線運動；處理器40可為可程式化之微處理器（Microprocessor）、數位訊號處理器（Digital Signal Processor，DSP）、可程式化控制器、特殊應用積體電路（Application Specific Integrated Circuits，ASIC）、可程式化邏輯裝置（Programmable Logic Device，PLD）或其他類似裝置。
如圖1與圖2所示，光學量測組件20包括一發光源21、一光學鏡22以及一光電感測器23。在一些實施例中，發光源21可為雷射光源，例如發光源21為氣體雷射發射器、二氧化碳雷射發射器、液態雷射發射器、固態雷射發射器或半導體雷射發射器等各式雷射光發射器；光學鏡22可為反射稜鏡、折射稜鏡、平凸透鏡、平凹透鏡或平面反射鏡等；光電感測器23可為感光耦合元件（charge-coupled device, CCD）、互補式金屬氧化物半導體（Complementary Metal-Oxide Semiconductor, CMOS）、互補式金屬氧化物半導體主動像素傳感器（CMOS Active pixel sensor）或位置感測器（Position Sensitive detector, PSD）等。
上述光學量測組件20之發光源21、光學鏡22、光電感測器23或者其中之二者可設置於線性平台1的移動平台10上，且發光源21能發出光束B並經由光學鏡22傳遞至光電感測器23上的感測區231。處理器40連接於光電感測器23以根據光束B入射於感測區231的位置變化量，計算移動平台10於移動時所產生的誤差。
此外，處理器40更連接於致動器30，在計算取得誤差後，處理器40再控制致動器30驅動發光源21、光學鏡22及光電感測器23中的至少一者相對於移動平台10進行相對運動（例如旋轉運動或直線運動），以避免光束B偏離而超出光電感測器23的感測範圍，達到在最少的建構成本下，實現長行程之誤差量測。以下即配合圖式詳細說明本發明實施例之誤差量測方法以及誤差量測裝置2之各硬體之間如何協同運作。
如圖3所示，為本發明誤差量測方法一實施例之步驟流程圖，在線性平台1之誤差量測的過程中，首先以光學量測組件20形成第一光路P1（步驟S01）。請對照圖2所示，在本實施例中，光學量測組件20之光學鏡22為一反射鏡並設置於線性平台1之移動平台10上，使光學鏡22能與移動平台10同步移動，發光源21與光電感測器23則分別設置於移動平台10外的一固定平台11上，發光源21發出光束B後，可經由光學鏡22的反射而傳遞至光電感測器23上的感測區231以形成第一光路P1，且第一光路P1對應入射於感測區231上的第一光點位置S1，其中第一光點位置S1較佳是位在感測區231的中心區域，例如第一光點位置S1可為感測區231的中心位置（如圖2所示）。
在一些實施例中，光學量測組件20可更包括有其他鏡片，且鏡片設置於光學鏡22與光電感測器23之間，使發光源21發出的光束B可依序經由光學鏡22反射再經過鏡片而入射於光電感測器23的感測區231。如圖2所示，在本實施例中，光學量測組件20更包括多個鏡片24、25，其中鏡片24、25可分別為折射稜鏡、平凸透鏡或平凹透鏡，且鏡片24與鏡片25可為相同或不同類型之透鏡，使發光源21發出光束B可依序經由光學鏡22反射再經過鏡片24、25的折射後入射於感測區231。
除了上述圖2的實施例之外，光學量測組件20還可有其他的配置方式，具體而言，光學量測組件20之發光源21、光學鏡22及光電感測器23只要其中一者或其中二者設置於線性平台1的移動平台10上即可，此分別舉例如下。
如圖9所示，為本發明誤差量測裝置第二實施例之硬體架構圖，本實施例與上述圖2之實施例差異在於，光學量測組件20之光學鏡22為一反射鏡並與光電感測器23設置於固定平台11上，發光源21則設置在移動平台10上而能與移動平台10同步移動，且發光源21同樣能發出光束B並經由光學鏡22的反射傳遞至光電感測器23以形成光路。
如圖10所示，為本發明誤差量測裝置第三實施例之硬體架構圖，本實施例與上述圖2之實施例差異在於，光學量測組件20之光學鏡22為一反射鏡並與發光源21設置於固定平台11上，光電感測器23則設置在移動平台10上而能與移動平台10同步移動，且發光源21同樣能發出光束B並經由光學鏡22的反射傳遞至光電感測器23以形成光路。
如圖11所示，為本發明誤差量測裝置第四實施例之硬體架構圖，本實施例與上述圖2之實施例差異在於，光學量測組件20之光學鏡22為一反射鏡且單獨設置於固定平台11上，發光源21與光電感測器23則設置在移動平台10上而能與移動平台10同步移動，且發光源21同樣能發出光束B並經由光學鏡22的反射傳遞至光電感測器23以形成光路。
如圖12所示，為本發明誤差量測裝置第五實施例之硬體架構圖，本實施例與上述圖2之實施例差異在於，光學量測組件20之光學鏡22’為一透鏡並設置在移動平台10上而能與移動平台10同步移動，發光源21與光電感測器23則設置於移動平台10外且分別位於光學鏡22’的相對二側，使發光源21同樣能發出光束B並經由光學鏡22的折射而傳遞至光電感測器23以形成光路。
由上述圖9至圖12之實施例可見，光學量測組件20之發光源21、光學鏡22及光電感測器23只要其中一者或其中二者設置於線性平台1的移動平台10上，都能使發光源21發出之光束B經由光學鏡22傳遞至光電感測器23，在此即不逐一列舉，上述圖式中相同的標號用於表示相同或相似的元件。
接著，如圖3所示，在步驟S01後，控制移動平台10移動一線性位移量L而使發光源21之光束B經由光學鏡22傳遞至光電感測器23上形成第二光路P2（步驟S02）。請對照圖2與圖5所示，移動平台10可受到控制而朝遠離發光源21與光電感測器23的方向（如箭號A1所示，也就是遠離固定平台11的方向）移動一線性位移量L，由於光學鏡22會隨著移動平台10同步移動（在圖9至圖11的實施例中則是發光源21、光電感測器23或其組合隨著移動平台10同步移動），因而改變發光源21發出之光束B入射於光學鏡22的位置而產生不同於第一光路P1（如圖2所示）之第二光路P2（如圖5所示），第二光路P2對應入射於感測區231上的第二光點位置S2，且第一光點位置S1與第二光點位置S2之間具有一位置變化量。
請對照圖2與圖5所示，在此，第一光點位置S1為感測區231的中心位置，第二光點位置S2偏離感測區231的中心位置而與第一光點位置S1之間具有位置變化量，也就是說，發光源21發出之光束B入射於感測區231的位置，會隨著移動平台10的移動而產生變化。
在一些實施例中，上述移動平台10的線性位移量L可視實際量測需求而定，主要以第二光點位置S2不超出感測區231的感測範圍為考量。舉例來說，假設移動平台10的總行程為15mm，在步驟S02中，移動平台10每次移動之線性位移量L可為1.5mm、2mm或3mm，也就是說，線性位移量L小於移動平台10的總行程，並且使得第二光點位置S2雖偏離感測區231的中心位置（即第一光點位置S1），但仍能在感測區231的感測範圍內。再如圖5所示，所述第二光點位置S2較佳是鄰近於感測區231的邊界232，使移動平台10每次移動之線性位移量L能夠最大化而加速量測的效率，但此並不侷限。
在一些實施例中，移動平台10可直接由處理器40進行控制或者由其他外部裝置進行控制。舉例來說，處理器40可連接用以驅動移動平台10的馬達，以由處理器40控制移動平台10移動線性位移量L。
接著，如圖3所示，在步驟S02後，根據線性位移量L及位置變化量計算移動平台10之一移動誤差量（步驟S03）。請對照圖5所示，處理器40可連接於光電感測器23以取得上述第一光點位置S1與第二光點位置S2之間的位置變化量，並將位置變化量代入數學模型，以計算出移動平台10在移動線性位移量L後之移動誤差量（例如定位誤差量、直度誤差量或角度誤差量）。
舉例來說，如圖13所示，在本實施例中，光學量測組件20是以多個鏡組與多個感測器為例，以量測多自由度的誤差。具體而言，如圖13所示，相較於圖2之實施例來說，光學量測組件20除了包括上述光學鏡22與光電感測器23之外，光學量測組件20更包括有分光鏡26、角隅稜鏡27、四分之一波片28A、分光鏡28B、多個反射鏡29A、29B、29C及多個額外的光電感測器23A、23B。在本實施例中，光學鏡22、角隅稜鏡27及其中一個分光鏡28B設置在移動平台10上，光學量測組件20的其他元件則設置在固定平台11上，其中發光源21發出光束B後，是先經由分光鏡26分成二道光束，第一道光束經由多個反射鏡29A、29B、29C反射而入射於光學鏡22，再經由光學鏡22的反射而傳遞至光電感測器23上。第二道光束則穿過四分之一波片28A、分光鏡28B形成二道分光，其中一道分光穿過分光鏡28B入射於角隅稜鏡27，再經由角隅稜鏡27轉折而入射至光電感測器23A上，另一道分光則經過分光鏡28B反射而由分光鏡26反射並傳遞至光電感測器23B，處理器40可連接上述多個光電感測器23、23A、23B，以根據各光電感測器23、23A、23B上之入射光的位置變化量，計算移動平台10於移動時所產生之多自由度的移動誤差量（如定位誤差、直度誤差以及角度誤差等）。
承上，舉例來說，處理器40可利用光線追跡法找出位置變化量與移動誤差量之間的關係而得到方程式如下： X PSD1= F X1(δx, δy, δz, εx, εy, εz) Y PSD1= F Y1(δx, δy, δz, εx, εy, εz) X PSD2= F X2(δx, δy, δz, εx, εy, εz) Y PSD2= F Y2(δx, δy, δz, εx, εy, εz) X PSD3= F X3(δx, δy, δz, εx, εy, εz) Y PSD3= F Y3(δx, δy, δz, εx, εy, εz) 上述方程式中的X PSD1與 Y PSD1分別為光電感測器23B所感測的位置變化量，X PSD2與Y PSD2分別為光電感測器23A所感測的位置變化量，X PSD3與Y PSD3分別為光電感測器23所感測的位置變化量，δx, δy, δz分別為不同軸向之水平或垂直移動誤差量，εx, εy, εz分別為不同軸向之角度移動誤差量，再由以上結果根據泰勒一階展開式即可求解獲得在線性位移量L內之移動平台10之多個自由度的移動誤差量，表示如下： δx =f x(X PSD1, X PSD2, X PSD3, Y PSD1, Y PSD2, Y PSD3) δy =f y(X PSD1, X PSD2, X PSD3, Y PSD1, Y PSD2, Y PSD3) δz =f z(X PSD1, X PSD2, X PSD3, Y PSD1, Y PSD2, Y PSD3) εx =g x(X PSD1, X PSD2, X PSD3, Y PSD1, Y PSD2, Y PSD3) εy =g y(X PSD1, X PSD2, X PSD3, Y PSD1, Y PSD2, Y PSD3) εz =g z(X PSD1, X PSD2, X PSD3, Y PSD1, Y PSD2, Y PSD3)
然而，上述實施例僅為舉例，光學量測組件20亦可包括一個鏡組與一個感測器（如圖2所示，即上述光學鏡22與光電感測器23），以量測單自由度的移動誤差量。
接著，如圖3所示，在步驟S03後（即計算完移動平台10之移動誤差量後），以致動器30驅動發光源21、光學鏡22及光電感測器23中的至少其一相對於移動平台10進行相對運動（步驟S04），其中相對運動可使發光源21發出之光束B再次對應入射於感測區231上的第一光點位置S1。
請對照圖5所示，具體而言，由於移動平台10移動線性位移量L後，發光源21發出之光束B入射於感測區231的位置會由原本的第一光點位置S1（如圖2所示）偏離至第二光點位置S2（如圖5所示），因此，一般來說，若要控制移動平台10繼續移動以進行長行程的量測時，光束B入射於感測區231的位置即會持續偏離而超出感測區231的感測範圍，導致無法進行量測的情形。
藉此，本發明實施例透過致動器30驅動發光源21、光學鏡22及光電感測器23中的至少其中一者，例如處理器40可進一步連接於致動器30以發出控制訊號控制致動器30作動，使發光源21發出之光束B再次對應入射於感測區231上的第一光點位置S1，因此，移動平台10即可繼續移動以進行誤差量測作業，而不會發生光束B偏離而超出光電感測器23之感測範圍的情形，達到在最少的建構成本下（只需要增加致動器30的設置），實現長行程之誤差量測。
舉例來說，如圖4所示，在步驟S04後，可持續重覆上述步驟S02～步驟S04而達到長行程之誤差量測。例如在步驟S04後，處理器40可繼續控制移動平台10再朝遠離固定平台11的方向再移動一位移量（位移量可與上述線性位移量L相同或不同）而產生位置變化量，接著處理器40再根據位置變化量計算移動平台10在移動該位移量後之移動誤差量，計算完移動誤差量後，處理器40再控制致動器30驅動發光源21、光學鏡22及光電感測器23中的至少其一相對於移動平台10進行相對運動，調整發光源21發出之光束B再次對應入射於感測區231上的第一光點位置S1，以進行移動平台10下一段行程的誤差量測作業（例如再次重覆步驟S02～步驟S04），實現長行程誤差量測之目的。
上述步驟S04可透過多種不同的方式達成，以下即分別配合圖式說明。
如圖6所示，致動器30可連接於光學鏡22，用以控制光學鏡22相對於移動平台10進行相對運動（例如旋轉運動或線性運動）。請對照圖3、圖5及圖6所示，在本實施例中，處理器40連接於致動器30，在步驟S03後，處理器40可控制致動器30驅動光學鏡22相對於移動平台10進行旋轉運動（如圖6之箭號A2所示），因而改變發光源21發出之光束B入射於光學鏡22的位置而產生不同於第二光路P2（如圖5所示）之第三光路P3（如圖6所示），第三光路P3可使發光源21之光束B再此對應入射於感測區231上的第一光點位置S1，使移動平台10能夠進行下一段行程之誤差量測作業。
或者，在另一實施例中，如圖7所示，致動器30亦可連接於發光源21，用以控制發光源21相對於移動平台10進行相對運動（例如旋轉運動或線性運動）。請對照圖3、圖5及圖7所示，在本實施例中，於步驟S03後，處理器40可控制致動器30驅動發光源21相對於移動平台10進行旋轉運動（如圖7之箭號A3所示），因而改變發光源21發出之光束B入射於光學鏡22的位置而產生不同於第二光路P2（如圖5所示）之第三光路P4（如圖7所示），第三光路P4使發光源21之光束B再此對應入射於感測區231上的第一光點位置S1，使移動平台10能夠進行下一段行程之誤差量測作業。
又或者，在另一實施例中，如圖8所示，致動器30亦可連接於光電感測器23，用以控制光電感測器23相對於移動平台10進行相對運動（例如線性運動）。請對照圖3、圖5及圖8所示，在本實施例中，於步驟S03後，處理器40可控制致動器30驅動光電感測器23相對於移動平台10進行線性運動（如圖8之箭號A4所示），使光電感測器23之感測區231的中心位置（即第一光點位置S1）移動並對應至發光源21的光束B，而能在不改變第二光路P2的情況下，使發光源21之光束B再此對應入射於感測區231上的第一光點位置S1。
在一些實施例中，上述致動器30亦可連接並同時驅動發光源21、光學鏡22及光電感測器23的至少其中二者相對於移動平台10進行相對運動，以改變光路而使光束B再此對應入射於感測區231上的第一光點位置S1，達到大幅減少每個元件（發光源21、光學鏡22及光電感測器23）之移動量而更利於移動平台10之長行程誤差量測。
如圖3與圖5所示，在步驟S04中，處理器40亦可根據第一光點位置S1與第二光點位置S2之間的位置變化量計算一運動參數（例如旋轉角度或線性移動距離）並控制致動器30根據運動參數驅動發光源21、光學鏡22及光電感測器23中至少其一進行上述相對運動。舉例來說，上述位置變化量越大時，處理器40所計算之運動參數可使致動器30驅動發光源21或光學鏡22的旋轉角度越大（如圖6與圖7所示）、或者使致動器30驅動光電感測器23的線性移動距離越大（如圖8所示）。
此外，圖9至圖12之實施例同樣可進行上述步驟S01～步驟S04。具體而言，在圖9至圖12之實施例中，由於發光源21、光學鏡22、22’及光電感測器23中的至少一者設置於移動平台10，因此，移動平台10移動後同樣能改變光路而使感測區231上產生位置變化量，以根據位置變化量計算移動平台10之移動誤差量，並且在計算完移動誤差量後，可控制致動器30驅動發光源21、光學鏡22、22’及光電感測器23中的至少其中一者相對於移動平台10進行相對運動，以調整光束B再次對應入射於感測區231上的初始位置（即上述第一光點位置S1），使移動平台10能夠進行下一段行程之誤差量測作業，在此則不重覆贅述。
雖然本發明的技術內容已經以較佳實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何熟習此技藝者，在不脫離本發明之精神所作些許之更動與潤飾，皆應涵蓋於本發明的範疇內，因此本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。
1:線性平台 10:移動平台 L:線性位移量 11:固定平台 2:誤差量測裝置 20:光學量測組件 21:發光源 22、22’:光學鏡 23、23A、23B:光電感測器 231:感測區 232:邊界 24、25:鏡片 26:分光鏡 27:角隅稜鏡 28A:四分之一波片 28B:分光鏡 29A、29B、29C:反射鏡 B:光束 P1:第一光路 P2:第二光路 P3、P4:第三光路 S1:第一光點位置 S2:第二光點位置 30:致動器 40:處理器 A1～A4:箭號 S01:以光學量測組件形成第一光路 S02:控制移動平台移動一線性位移量而使發光源之光束經由光學鏡傳遞至光電感測器上形成第二光路 S03:根據線性位移量與位置變化量計算移動平台之移動誤差量 S04:以致動器驅動發光源、光學鏡及光電感測器中至少其一相對於移動平台進行相對運動
[圖1] 係本發明誤差量測裝置第一實施例之硬體架構圖。 [圖2] 係本發明誤差量測裝置第一實施例之光路示意圖。 [圖3] 係本發明誤差量測方法一實施例之步驟流程圖。 [圖4] 係本發明誤差量測方法另一實施例之步驟流程圖。 [圖5] 係本發明誤差量測裝置第一實施例之第二光路示意圖。 [圖6] 係本發明誤差量測裝置第一實施例之光學鏡調整示意圖。 [圖7] 係本發明誤差量測裝置第一實施例之發光源調整示意圖。 [圖8] 係本發明誤差量測裝置第一實施例之光電感測器調整示意圖。 [圖9] 係本發明誤差量測裝置第二實施例之硬體架構圖。 [圖10] 係本發明誤差量測裝置第三實施例之硬體架構圖。 [圖11] 係本發明誤差量測裝置第四實施例之硬體架構圖。 [圖12] 係本發明誤差量測裝置第五實施例之硬體架構圖。 [圖13] 係本發明誤差量測裝置第六實施例之硬體架構圖。
1:線性平台
10:移動平台
11:固定平台
2:誤差量測裝置
20:光學量測組件
21:發光源
22:光學鏡
23:光電感測器
231:感測區
24、25:鏡片
B:光束
P1:第一光路
S1:第一光點位置
30:致動器
40:處理器

Claims (18)

  1. 一種線性平台之誤差量測方法，包括： (a)以一光學量測組件形成一第一光路，其中該光學量測組件包括一發光源、一光學鏡以及一光電感測器，該發光源、該光學鏡、該光電感測器或其中之二設置於一線性平台之一移動平台上，該第一光路係由該發光源發出一光束並經由該光學鏡傳遞至該光電感測器上的一感測區而形成，且該第一光路對應入射於該感測區上的一第一光點位置； (b)控制該移動平台移動一線性位移量而使該發光源之該光束經由該光學鏡傳遞至該光電感測器上形成一第二光路，其中該第二光路對應入射於該感測區上的一第二光點位置，該第一光點位置與該第二光點位置之間具有一位置變化量； (c)根據該線性位移量與該位置變化量計算該移動平台之一移動誤差量；以及 (d)以一致動器驅動該發光源、該光學鏡及該光電感測器中至少其一相對於該移動平台進行一相對運動，其中該相對運動使該光束再對應入射於該感測區上的該第一光點位置。
  2. 如請求項1所述之線性平台之誤差量測方法，其中該步驟(d)包括：根據該位置變化量計算一運動參數，該致動器係根據該運動參數驅動該發光源、該光學鏡及該光電感測器中至少其一進行該相對運動。
  3. 如請求項1所述之線性平台之誤差量測方法，其中該步驟(d)中之該致動器係驅動該發光源、該光學鏡及該光電感測器中至少其二進行該相對運動。
  4. 如請求項1所述之線性平台之誤差量測方法，其中該步驟(d)中之該致動器係驅動該發光源或該光學鏡相對該移動平台進行該相對運動而形成一第三光路，該第三光路使該光束再對應入射於該感測區上的該第一光點位置。
  5. 如請求項4所述之線性平台之誤差量測方法，其中該相對運動為一旋轉運動或一線性運動。
  6. 如請求項1所述之線性平台之誤差量測方法，其中該步驟(d)中之該致動器係驅動該光電感測器相對該移動平台進行該相對運動，使該第二光路對應入射於該感測區上的該第一光點位置。
  7. 如請求項1所述之線性平台之誤差量測方法，其中該步驟(b)中之該第二光點位置鄰近該感測區的一邊界。
  8. 如請求項1所述之線性平台之誤差量測方法，其中該步驟(a)中之該光學鏡為一反射鏡並設置於該移動平台上，該發光源與該光電感測器設置於該移動平台外。
  9. 如請求項1所述之線性平台之誤差量測方法，其中該步驟(a)中之該發光源與該光電感測器設置於該移動平台上，該光學鏡為一反射鏡並設置於該移動平台外。
  10. 一種線性平台之誤差量測裝置，包括： 一光學量測組件，包括一發光源、一光學鏡以及一光電感測器，該發光源、該光學鏡、該光電感測器或其中之二設置於一線性平台之一移動平台上，該發光源發出一光束並經由該光學鏡傳遞至該光電感測器上的一感測區而形成一第一光路，該第一光路對應入射於該感測區上的一第一光點位置； 其中，該移動平台移動一線性位移量而使該發光源之該光束經由該光學鏡傳遞至該光電感測器上形成一第二光路，該第二光路對應入射於該感測區上的一第二光點位置，該第一光點位置與該第二光點位置之間具有一位置變化量； 一致動器，連接於該發光源、該光學鏡及該光電感測器中至少其一；以及 一處理器，連接於該光電感測器，該處理器根據該線性位移量及該位置變化量計算該移動平台之一移動誤差量； 其中，該處理器更連接該致動器、並控制該致動器驅動該發光源、該光學鏡及該光電感測器中至少其一相對於該移動平台進行一相對運動，該相對運動使該光束再對應入射於該感測區上的該第一光點位置。
  11. 如請求項10所述之線性平台之誤差量測裝置，其中該處理器係根據該位置變化量計算一運動參數、並控制該致動器根據該運動參數驅動該發光源、該光學鏡及該光電感測器中至少其一進行該相對運動。
  12. 如請求項10所述之線性平台之誤差量測裝置，其中該處理器係控制該致動器驅動該發光源、該光學鏡及該光電感測器的至少其中二者進行該相對運動。
  13. 如請求項10所述之線性平台之誤差量測裝置，其中該處理器係控制該致動器驅動該發光源或該光學鏡進行該相對運動而形成一第三光路，該第三光路使該光束再對應入射於該感測區上的該第一光點位置。
  14. 如請求項13所述之線性平台之誤差量測裝置，其中該相對運動為一旋轉運動或一線性運動。
  15. 如請求項10所述之線性平台之誤差量測裝置，其中該處理器係控制該致動器驅動該光電感測器進行該相對運動，使該第二光路對應入射於該感測區上的該第一光點位置。
  16. 如請求項10所述之線性平台之誤差量測裝置，其中該第二光點位置鄰近該感測區的一邊界。
  17. 如請求項10所述之線性平台之誤差量測裝置，其中該光學鏡為一反射鏡並設置於該移動平台上，該發光源與該光電感測器設置於該移動平台外。
  18. 如請求項10所述之線性平台之誤差量測裝置，其中該發光源與該光電感測器設置於該移動平台上，該光學鏡為一反射鏡並設置於該移動平台外。
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