TWI732470B - 光罩凸版檢測裝置、傳輸系統及光刻設備 - Google Patents

光罩凸版檢測裝置、傳輸系統及光刻設備 Download PDF

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Abstract

本發明公開一種光罩凸版檢測裝置、傳輸系統及光刻設備，其中，光罩凸版檢測裝置包含：測距感測器，被配置為位於版庫的一側；調節組件，被配置為驅動前述測距感測器運動以對前述版庫的多個版槽進行掃描，且使前述測距感測器發射的測距訊號經多個前述版槽中的光罩反射後，原路反射回前述測距感測器；檢測機構，分別與前述測距感測器及前述調節組件連接，且被配置為控制前述測距感測器及前述調節組件工作，並根據前述測距感測器在掃描多個前述版槽時的掃描位姿以及前述測距感測器測得的距離資訊，確定前述多個前述版槽是否存在凸版，無需人為檢查，提高凸版檢測效率。

Description

光罩凸版檢測裝置、傳輸系統及光刻設備
本發明係關於半導體製造領域，例如關於一種光罩凸版檢測裝置、傳輸系統及光刻設備。
光罩傳輸裝置用於將外部世界的光罩以一定的精度傳輸到光刻設備的內部世界，從而在曝光裝置完成對光罩上圖形的曝光。
光刻設備的內部世界中，光罩通常存儲在內部版庫中，內部版庫設有光罩架，光罩架設有多個用於容納光罩的版槽。圖1是光罩在內部版庫內的分佈示意圖，如圖1所示，光罩經光罩取放口11放置到內部版庫對應的位置。圖1中，光罩1及3為正常放置的光罩，完全位於內部版庫內，光罩2、4、5及6為放置不到位的光罩，光罩一側凸出於光罩取放口11，即通常所說的凸版現象。光罩凸版會導致後續光罩放置到光罩臺上時，位置發生偏差，降低曝光精度，因此需要檢測內部版庫中的光罩是否存在凸版現象。相關技術中的凸版檢測方案有以下兩種：
方案一：採用對射式感測器，在內部版庫上方或下方設有一個凸版檢測感測器，用來檢測所有槽是否存在凸版，任何一光罩存在凸版都會遮擋光路，導致感測器觸發，該方案只能檢測內部版庫是否存在凸版，無法確 定凸版存在哪個版槽，仍然需要人工進行檢查。
方案二：每個版槽對應一個凸版檢測感測器，用來檢測該版槽是否存在凸版。該方案需要多個凸版檢測感測器，硬體較為複雜，成本也更高。
本發明實施例提供一種光罩凸版檢測裝置、傳輸系統及光刻設備，結構簡單，能夠確定版庫中哪一個版槽存在凸版，無需人為檢查，提高凸版檢測效率且降低凸版檢測的成本。
第一方面，本發明實施例提供一種光罩凸版檢測裝置，其特徵係其包含：測距感測器，被配置為位於版庫的一側；調節組件，被配置為驅動前述測距感測器運動以對前述版庫的多個版槽進行掃描，且使前述測距感測器發射的測距訊號經多個前述版槽中的光罩反射後，原路反射回前述測距感測器；檢測機構，分別與前述測距感測器及前述調節組件連接，且被配置為控制前述測距感測器及前述調節組件工作，並根據前述測距感測器在掃描多個前述版槽時的掃描位姿以及前述測距感測器測得的距離資訊，確定前述多個前述版槽是否存在凸版。
可選的，前述調節組件包含編碼器、旋轉電機及反射鏡 組，前述編碼器以及前述旋轉電機分別與前述檢測機構連接，前述測距感測器被配置為位於前述版庫及前述反射鏡組之間，前述反射鏡組被配置為包含多個與前述版槽一一對應設置的反射鏡，前述旋轉電機被配置為控制前述測距感測器旋轉，以調節前述測距感測器的掃描角度，以使前述測距訊號經多個前述反射鏡反射至對應的前述版槽中，前述編碼器被配置為測量前述測距感測器的旋轉角度並回饋至前述檢測機構，以使前述檢測機構藉由前述旋轉電機調節前述測距感測器的掃描角度。
可選的，前述調節組件進一步包含鏡組固定機構，前述反射鏡組固定於前述鏡組固定機構上，且前述多個反射鏡垂直排列。
可選的，前述測距感測器被配置為位於前述版庫的光罩取放口的正前方，前述反射鏡的反射面被配置為朝向前述光罩取放口的所在平面且沿遠離前述光罩取放口的所在平面的方向向下傾斜設置。
可選的，前述掃描位姿包含前述測距感測器的位置及掃描角度，前述檢測機構被配置為： 若判定
Figure 109106094-A0305-02-0005-2
，則確定與前述掃描角度對應的前述版 槽存在凸版；其中，D1為前述測距感測器測得的測距訊號的往返距離，L2為與前述掃描角度對應的前述反射鏡上的反射點到前述光罩取放口所在平面的距離，θ 1為前述測距感測器的掃描角度，L1為前述測距感測器到前述反射點的水平距離。
可選的，前述測距感測器被配置為位於前述版庫的光罩取放口的側前方，前述反射鏡的反射面被配置為朝向版庫側壁的所在平面且沿遠離前述版庫側壁的所在平面的方向向下傾斜設置，前述版庫側壁為前 述版庫與前述光罩取放口相連的一個側面，前述測距感測器到前述光罩取放口所在平面的距離小於或等於預設距離。
可選的，前述預設距離小於或等於5mm。
可選的，前述掃描位姿包含前述測距感測器的位置及掃描角度，前述檢測機構被配置為： 若判定
Figure 109106094-A0305-02-0006-3
，則確定與前述掃描角度對應的前述版 槽存在凸版；其中，D2為前述測距感測器測得的測距訊號的往返距離，L4為與前述掃描角度對應的前述反射鏡上的反射點到前述光罩靠近前述測距感測器的一面的距離，θ 2為前述測距感測器的掃描角度，L3為前述測距感測器到前述反射點的水平距離。
可選的，前述編碼器為碼盤。
可選的，前述測距感測器為雷射測距感測器或紅外線測距感測器。
第二方面，本發明實施例提供一種光罩傳輸系統，其特徵係其包含至少一個版庫及如本發明第一方面任意所述的光罩凸版檢測裝置。
可選的，前述版庫及前述光罩凸版檢測裝置中的前述測距感測器一一對應設置。
第三方面，本發明實施例進一步提供一種光刻設備，其特徵係其包含如本發明第二方面任意所述的光罩傳輸系統。
本發明實施例提供的凸版檢測裝置，調節組件被配置為驅動測距感測器運動，以對版庫的多個版槽進行掃描，且使測距感測器發射的測距訊號經多個版槽中的光罩反射後，能夠原路反射回測距感測器。檢測機構被配置為控制測距感測器及調節組件工作，並根據測距感測器在掃描多個版槽時的掃描位姿以及測距感測器測得的距離資訊，確定多個版槽是否存在凸版。本發明實施例提供的凸版檢測裝置結構簡單，能夠確定版庫中哪一個版槽存在凸版，無需人為檢查，提高凸版檢測效率且降低凸版檢測的成本。
1~6:光罩
11:外部操作臺
12:第一外部版庫
13:第二外部版庫
14:第一內部版庫
15:第二內部版庫
16:第一光罩傳輸機構
17:光罩顆粒度檢測機構
18:第一光罩對準機構
19:第二光罩傳輸機構
20:第二光罩對準機構
21:控制主機殼
110:測距感測器
111:雷射發射端
112:雷射接收端
120:調節組件
122:導向桿
123:編碼器
124:旋轉電機
125:反射鏡
126:鏡組固定機構
130:檢測機構
200:版庫
201:光罩取放口
202:光罩
210:版槽
【圖1】是相關技術中光罩在內部版庫內的分佈示意圖。
【圖2】為一實施例提供的凸版檢測裝置的結構示意圖。
【圖3】為一實施例中凸版檢測裝置的檢測原理圖。
【圖4】為一實施例中凸版檢測裝置的檢測原理圖。
【圖5】為一實施例中凸版檢測裝置的檢測原理圖。
【圖6】為一實施例提供的一種光罩傳輸系統的結構示意圖。
在本發明的描述中，除非另有明確的規定及限定，術語「相連」、「連接」、「固定」應做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或成一體；可以是機械連接，也可以是電連接；可以是 直接相連，也可以藉由中間媒介間接相連，可以是兩個元件內部的連通或兩個元件的相互作用關係。對於所屬技術領域中具有通常知識者而言，可以具體情況理解上述術語在本發明中的具體含義。
在本發明中，除非另有明確的規定及限定，第一特徵在第二特徵之「上」或之「下」可以包含第一及第二特徵直接接觸，也可以包含第一及第二特徵不是直接接觸而是藉由其等之間的另外的特徵接觸。而且，第一特徵在第二特徵「之上」、「上方」及「上面」包含第一特徵在第二特徵正上方及斜上方，或僅僅表示第一特徵水平高度高於第二特徵。第一特徵在第二特徵「之下」、「下方」及「下面」包含第一特徵在第二特徵正下方及斜下方，或僅僅表示第一特徵水平高度小於第二特徵。
本實施例提供一種光罩凸版檢測裝置，圖2為本實施例提供的凸版檢測裝置的結構示意圖，如圖2所示，凸版檢測裝置包含：測距感測器110、調節組件120及檢測機構130。調節組件120與測距感測器110連接，用於驅動測距感測器110運動，以對版庫的多個版槽進行掃描，且使測距感測器110發射的測距訊號經多個版槽中的光罩反射後，能夠原路反射回測距感測器110。檢測機構130分別與測距感測器110及調節組件120通訊連接，用於控制測距感測器110及調節組件120工作，並根據測距感測器110在掃描多個版槽時的掃描位姿以及測距感測器110測得的距離資訊，確定多個版槽是否存在凸版。
以下結合具體實施例對本實施例的檢測原理進行說明：圖3為本實施例中一種凸版檢測裝置的檢測原理圖，如圖3所示，在本實施例中，可選的，測距感測器110位於版庫200的光罩取放口201的 正前方，測距感測器110沿垂直於光罩取放口201所在的平面的X方向發射測距訊號，調節組件120驅動測距感測器110沿垂直於光罩202的Z方向運動。示例性的，調節組件120可以包含驅動電機及導向桿122，導向桿122沿Z方向佈置，驅動電機驅動測距感測器110沿導向桿122運動，並記錄測距感測器110的位置資訊。測距感測器110對版庫200內的多個版槽210進行掃描，測距感測器110發射的測距訊號經多個版槽210中的光罩202反射後，原路反射回測距感測器110。檢測機構130接收測距感測器110測得的距離資訊及測距感測器110的位置資訊，當測距感測器110測得的距離小於光罩取放口201所在的平面到測距感測器110的距離時，結合此時測距感測器110在Z方向的位置資訊，可以確定哪個版槽210存在凸版。
本實施例提供的凸版檢測裝置，調節組件120用於驅動測距感測器110運動，以對版庫200內的多個版槽210進行掃描，且使測距感測器110發射的測距訊號經多個版槽210中的光罩202反射後，能夠原路反射回測距感測器110。檢測機構130用於控制測距感測器110及調節組件120工作，並根據測距感測器110在掃描多個版槽210時的掃描位姿以及測距感測器110測得的距離資訊，確定多個版槽210是否存在凸版。本實施例提供的凸版檢測裝置結構簡單，能夠確定版庫200中哪一個版槽210存在凸版，無需人為檢查，提高凸版檢測效率。
圖4為一實施例中另一種凸版檢測裝置的檢測原理圖，可選的，如圖2及圖4所示，在該實施例中，調節組件120包含編碼器123、旋轉電機124及反射鏡組，編碼器123以及旋轉電機124分別與檢 測機構130連接，測距感測器110位於版庫200及反射鏡組之間，反射鏡組包含多個反射鏡125，多個反射鏡125與多個版槽210一一對應設置。測距感測器110位於版庫200的光罩取放口201的正前方，反射鏡125的反射面朝向光罩取放口201的所在平面並沿遠離前述光罩取放口的所在平面的方向向下傾斜設置，與Z方向呈預設夾角β。
如圖4所示的實施例中，反射鏡組位於測距感測器110的上方。
旋轉電機124用於控制測距感測器110旋轉，以調節測距感測器110的掃描角度，使測距訊號經反射鏡125反射，沿垂直於光罩取放口201所在的平面的X方向照射對應的版槽210，編碼器123用於測量測距感測器110的旋轉角度並回饋至檢測機構130，以使檢測機構130藉由旋轉電機124調節測距感測器110的掃描角度。其中，測距感測器110的掃描角度為測距感測器110的雷射出射方向與水平面的夾角。
示例性的，以圖4中由下至上第一層版槽的檢測為例，對本實施例的檢測原理進行說明。要使測距訊號經反射鏡125反射，垂直於光罩取放口201所在的平面，則測距感測器110的掃描角度θ應該等於測距訊號在反射鏡125上的入射角α的兩倍，而測距訊號在反射鏡125上的入射角α等於該反射鏡125的反射面與Z方向的夾角β，那麼需要保證測距感測器110的掃描角度θ為反射鏡125的反射面與Z方向的夾角β的兩倍。在具體實施例中，可預先設定多個反射鏡125的反射面與Z方向的夾角，多個反射鏡125的反射面與Z方向的夾角不同，在檢測過程中，旋轉電機124控制測距感測器110旋轉，編碼器123測量測距感測器110的旋 轉角度並回饋至檢測機構130，實現對測距感測器110的掃描角度θ的控制，使得掃描角度θ等於對應的反射鏡125的反射面與Z方向的夾角β的兩倍，測距感測器110發射的測距訊號，經對應的反射鏡125反射後，垂直於光罩取放口201所在的平面照射對應的版槽210，並原路返回至測距感測器110，從而完成對多個版槽210進行掃描。
可選的，掃描位姿包含測距感測器110的位置及掃描角度，檢測機構130被配置為： 若判定
Figure 109106094-A0305-02-0011-4
，則確定與掃描角度對應的版槽210存 在凸版；如圖4所示，其中，D1為測距感測器110測得的測距訊號的往返距離，L2為與掃描角度對應的反射鏡125上的反射點到光罩取放口201所在平面的距離，θ 1為測距感測器110的掃描角度，L1為測距感測器 110到反射點的水平距離。可選的，若
Figure 109106094-A0305-02-0011-7
，則確定與 掃描角度對應的版槽210中無光罩，若
Figure 109106094-A0305-02-0011-6
，則確定與 掃描角度對應的版槽210中光罩位置擺放正確，不存在凸版。
圖5為一實施例提供的又一種凸版檢測裝置的檢測原理圖，可選的，如圖5所示，在該實施例中，調節組件120包含編碼器123、旋轉電機124及反射鏡組，編碼器123以及旋轉電機124分別與檢測機構130連接，測距感測器110位於版庫200及反射鏡組之間，反射鏡組包含與多個版槽210一一對應設置的多個反射鏡125。測距感測器110位於版庫200的光罩取放口201的側前方，反射鏡125的反射面朝向版庫側壁的所在平面且沿遠離前述版庫側壁的所在平面的方向向下傾斜設置，與Z方向呈預設夾角β。其中，版庫側壁為版庫200與光罩取放口201相 連的一側面，測距感測器110到光罩取放口201所在平面的距離小於或等於預設距離。該實施例的檢測原理與圖4中所示的檢測原理類似，預先設定多個反射鏡125的反射面與Z方向的夾角，多個反射鏡125的反射面與Z方向的夾角不同，在檢測過程中，旋轉電機124控制測距感測器110旋轉，編碼器123測量測距感測器110的旋轉角度並回饋至檢測機構130，實現對測距感測器110的掃描角度θ的控制，使得掃描角度θ等於對應的反射鏡125的反射面與Z方向的夾角β的兩倍，測距感測器110發射的測距訊號，經對應的反射鏡125反射後，沿垂直於版庫側壁所在平面的Y方向照射對應的版槽210，並原路返回至測距感測器110，從而完成對多個版槽210進行掃描。
如圖5所示的實施例中，反射鏡組位於測距感測器110的上方。
可選的，掃描位姿包含測距感測器110的位置及掃描角度，檢測機構130被配置為： 若判定
Figure 109106094-A0305-02-0012-10
，則確定與掃描角度對應的版槽210存 在凸版；其中，D2為測距感測器110測得的測距訊號的往返距離，L4為與掃描角度對應的反射鏡125上的反射點到光罩靠近測距感測器110的一面的距離，θ 2為測距感測器110的掃描角度，L3為測距感測器110到反 射點的水平距離。可選的，若判定
Figure 109106094-A0305-02-0012-8
，則確定與掃描 角度對應的版槽210中光罩位置擺放正確，不存在凸版，或者確定與掃描角度對應的版槽210中無光罩。
可選的，預設距離小於或等於5mm。即圖5所示的實施例 中的凸版檢測裝置能夠檢測凸出光罩取放口201所在的平面與測距感測器的距離小於或等於5mm的光罩。在一實施例中，預設距離可以根據實際的光罩的擺放精度的需要設置。
可選的，編碼器123為碼盤，碼盤是指測量角位移的數位編碼器，用於測量測距感測器110的旋轉角度並回饋至檢測機構130，以調整測量測距感測器110的掃描角度。碼盤具有分辨能力強、測量精度高及工作可靠等優點，是測量軸轉角位置的一種常用的位移感測器。
可選的，如圖4及圖5所示，調節組件120進一步包含鏡組固定機構126，反射鏡組固定於鏡組固定機構126上，反射鏡組包含多個反射鏡125，且多個反射鏡125垂直排列，即沿Z方向排列。示例性的，沿Z方向，由下至上，多個反射鏡與Z方向的夾角分別為16.5°、26°、31°、34°、36°及37.5°，則旋轉電機124驅動測距感測器110旋轉，對應的掃描角度分別為33°、52°、62°、68°、72°及75°，分別對應版庫200中由下至上的六個版槽210。
掃描一次可得六組距離及角度資料(D，θ)，其中角度代表當前測距感測器110的掃描角度(取值33°、52°、62°、68°、72°及75°)，距離D為測距感測器110測得的測距訊號的往返距離。根據上述實施例所述的檢測原理，判斷對應的版槽210是否存在凸版。
可選的，測距感測器110為雷射測距感測器或紅外線測距感測器。在本發明的上述實施例中，測距感測器110為雷射測距感測器，如圖2所示，雷射測距感測器110包含雷射發射端111及雷射接收端112。
本實施例進一步提供一種光罩傳輸系統，包含至少一個版庫200及上述任意實施例所述的光罩凸版檢測裝置。圖6為本實施例提供的一種光罩傳輸系統的結構示意圖，如圖6所示，光罩傳輸系統包含：第一外部版庫12及第二外部版庫13、第一內部版庫14及第二內部版庫15、第一光罩傳輸機構16、外部操作臺11及控制主機殼21，第一外部版庫12及第二外部版庫13與外部操作臺11對接，存儲由外部操作臺11送入的裝有光罩的光罩盒，第一光罩傳輸機構16用於完成光罩在第一外部版庫12及第二外部版庫13與第一內部版庫14及第二內部版庫15之間的流轉；第一內部版庫14及第二內部版庫15分別對應設置上述實施例所述的光罩凸版檢測裝置。
可選的，該光罩傳輸系統進一步包含第一光罩對準機構18，用於消除外部世界的光罩傳輸過程中的初始位置偏差；第二光罩傳輸機構19，用於完成與第一光罩傳輸機構16的光罩交接以及與光罩台的光罩交接；第二光罩對準機構20，用於校正第二光罩傳輸機構19與光罩台交接過程中的光罩的位置；光罩顆粒度檢測機構17，用於在第一光罩傳輸機構16將光罩從第一外部版庫12或第二外部版庫13傳送至第一內部版庫14或第二內部版庫15之前，對光罩的表面進行顆粒度檢測。
本實施例提供的光罩傳輸系統的工作流程為：裝有光罩的光罩盒從外部操作臺11被放入第一外部版庫12或第二外部版庫13後，第一光罩傳輸機構16從第一外部版庫12或第二外部版庫13取出光罩， 經光罩顆粒度檢測機構17檢測合格後，送入第一內部版庫14或第二內部版庫15中，光罩凸版檢測裝置對第一內部版庫14及第二內部版庫15中的光罩進行凸版檢測，對存在凸版的版槽210進行提示或控制第一光罩傳輸機構16調整凸版的位置，使凸版符合擺放要求。第一光罩傳輸機構16從第一內部版庫14或第二內部版庫15中取出光罩，經第一光罩對準機構18位置校正後，與第二光罩傳輸機構19完成交接，將光罩轉移至第二光罩傳輸機構19上；第二光罩傳輸機構19經第二光罩對準機構20位置校正後，與光罩台交接，將光罩傳送至光罩臺上，以進行光刻工藝。
本實施例進一步提供一種光刻設備，包含上述實施例所述的光罩傳輸系統。
於本說明書的描述中，需要理解的是，術語「上」、「下」、「右」、等方位或位置關係為基於圖式所示的方位或位置關係，僅是為了便於描述及簡化操作，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造及操作，因此不能理解為對本發明的限制。此外，術語「第一」、「第二」，僅僅用於在描述上加以區分，並沒有特殊的含義。
在本說明書的描述中，參考術語「一實施例」、「示例」等的描述意指結合該實施例或示例描述的具體特徵、結構、材料或者特點包含於本發明的至少一個實施例或示例中。在本說明書中，對上述術語的示意性表述不一定指的是相同的實施例或示例。
此外，應當理解，雖然本說明書按照實施方式加以描述，但並非每個實施方式僅包含一個獨立的技術手段，說明書的此種敘述方式 僅僅是為清楚起見，所屬技術領域中具有通常知識者應當將說明書作為一個整體，多個實施例中的技術手段也可以適當組合，形成所屬技術領域中具有通常知識者可以理解的其他實施方式。
本發明要求申請日為2019年2月28日、申請號為201910151508.4的中國專利申請的優先權，該發明的全部內容藉由引用結合在本發明中。
110:測距感測器
111:雷射發射端
112:雷射接收端
120:調節組件
123:編碼器
124:旋轉電機
130:檢測機構

Claims (13)

  1. 一種光罩凸版檢測裝置，其特徵係前述檢測裝置包含：測距感測器，被配置為位於版庫的一側；調節組件，被配置為驅動前述測距感測器運動以對前述版庫的多個版槽進行掃描，且使前述測距感測器發射的測距訊號經多個前述版槽中的光罩反射後，原路反射回前述測距感測器；檢測機構，分別與前述測距感測器及前述調節組件連接，且被配置為控制前述測距感測器及前述調節組件工作，並根據前述測距感測器在掃描多個前述版槽時的掃描位姿以及前述測距感測器測得的距離資訊，確定前述多個版槽是否存在凸版。
  2. 如申請專利範圍第1項所記載之光罩凸版檢測裝置，其中，前述調節組件包含編碼器、旋轉電機及反射鏡組，前述編碼器以及前述旋轉電機分別與前述檢測機構連接，前述測距感測器被配置為位於前述版庫及前述反射鏡組之間，前述反射鏡組被配置為包含多個與前述版槽一一對應設置的反射鏡，前述旋轉電機被配置為控制前述測距感測器旋轉，以調節前述測距感測器的掃描角度，以使前述測距訊號經多個前述反射鏡反射至對應的前述版槽中，前述編碼器被配置為測量前述測距感測器的旋轉角度並回饋至前述檢測機構，以使前述檢測機構藉由前述旋轉電機調節前述測距感測器的掃描角度。
  3. 如申請專利範圍第2項所記載之光罩凸版檢測裝置，其中，前述調節組件進一步包含鏡組固定機構，前述反射鏡組固定於前述鏡組固定機構上，且前述多個反射鏡垂直排列。
  4. 如申請專利範圍第3項所記載之光罩凸版檢測裝置，其中，前述測距感測器被配置為位於前述版庫的光罩取放口的正前方，前述反射鏡的反射面被配置為朝向前述光罩取放口的所在平面且沿遠離前述光罩取放口的所在平面的方向向下傾斜設置。
  5. 如申請專利範圍第4項所記載之光罩凸版檢測裝置，其中，前述掃描位姿包含前述測距感測器的位置及掃描角度，前述檢測機構被配置為： 若判定
    Figure 109106094-A0305-02-0019-12
    ，則確定與前述掃描角度對應的前述版 槽存在凸版；其中，D1為前述測距感測器測得的測距訊號的往返距離，L2為與前述掃描角度對應的前述反射鏡上的反射點到前述光罩取放口所在平面的距離，θ1為前述測距感測器的掃描角度，L1為前述測距感測器到前述反射點的水平距離。
  6. 如申請專利範圍第3項所記載之光罩凸版檢測裝置，其中，前述測距感測器被配置為位於前述版庫的光罩取放口的側前方，前述反射鏡的反射面被配置為朝向版庫側壁的所在平面且沿遠離前述版庫側壁的所在平面的方向向下傾斜設置，前述版庫側壁為前述版庫與前述光罩取放口相連的一個側面，前述測距感測器到前述光罩取放口所在平面的距離小於或等於預設距離。
  7. 如申請專利範圍第6項所記載之光罩凸版檢測裝置，其中，前述預設距離小於或等於5mm。
  8. 如申請專利範圍第6項所記載之光罩凸版檢測裝置，其中，前述掃描位姿包含前述測距感測器的位置及掃描角度，前述檢測機構被配置為： 若判定
    Figure 109106094-A0305-02-0020-14
    ，則確定與前述掃描角度對應的前述版 槽存在凸版；其中，D2為前述測距感測器測得的測距訊號的往返距離，L4為與前述掃描角度對應的前述反射鏡上的反射點到前述光罩靠近前述測距感測器的一面的距離，θ2為前述測距感測器的掃描角度，L3為前述測距感測器到前述反射點的水平距離。
  9. 如申請專利範圍第2項所記載之光罩凸版檢測裝置，其中，前述編碼器為碼盤。
  10. 如申請專利範圍第1項所記載之光罩凸版檢測裝置，其中，前述測距感測器為雷射測距感測器或紅外線測距感測器。
  11. 一種光罩傳輸系統，其特徵係其包含至少一個版庫及如申請專利範圍第1至10項中任一項所記載之光罩凸版檢測裝置。
  12. 如申請專利範圍第11項所記載之光罩傳輸系統，其中，前述版庫及前述光罩凸版檢測裝置中的前述測距感測器一一對應設置。
  13. 一種光刻設備，其特徵係其包含如申請專利範圍第11或12項所記載之光罩傳輸系統。
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