CN208383076U - 一种基板异常检测装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提出一种基板异常检测装置，包括支撑板、粘贴于支撑板下方的耐刮伤层、调节支撑板高度位置的线性马达、连接支撑板和线性马达的连接器、位于耐刮伤层下方且用于测距的至少一个间距感应器以及与用于处理间距感应器测得的数据的监测系统；所述支撑板可随着连接器上下移动；所述监测系统与间距感应器连接。本实用新型提供一种基板异常检测装置，通过检测基板与掩膜板之间的间距数值，进而可以判定基板有无异常，当间距数值超出预警阈值时，检测装置会报警，及时拦截住异常基板，防止掩膜板被刮伤。
Description
技术领域
本实用新型涉及显示器制造领域，具体地说是涉及一种基板异常检测装置。
背景技术
在紫外光垂直配向技术(UV2A)工艺中使用掩膜板进行光配向时，掩膜板和基板间距只有几百微米，基板稍有不平就会剐蹭到掩膜板。当掩膜板的遮光膜被刮透时，该掩膜板则因无法正常使用而直接报废，严重影响到生产现场的调度，同时采购新掩膜板也会提高生产成本。另外，若遮光膜被刮透但未被检出，再使用该掩膜板进行生产时则会产生大批量的曝光不良品，引起较为严重的品质异常事故。目前产线中还无一套有效装置能在线检出来料基板的异常，实现异常基板的及时拦截而预防掩膜板的刮伤。
实用新型内容
为解决上述问题，本实用新型提出一种基板异常检测装置，旨在解决光配向过程中掩膜板容易被刮伤的问题。
本实用新型提出一种基板异常检测装置，包括支撑板、粘贴于支撑板下方的耐刮伤层、调节支撑板高度位置的线性马达、连接支撑板和线性马达的连接器、位于耐刮伤层下方且用于测距的至少一个间距感应器以及与用于处理间距感应器测得的数据的监测系统；所述支撑板可随着连接器上下移动；所述监测系统与间距感应器连接。
进一步，所述支撑板的表面呈平整状。
进一步，所述间距感应器为三个，三个间距感应器的高度一致且不在同一直线上。
进一步，所述间距感应器可发射光线和接收反射回的光线来确定间距的数值。
进一步，所述耐刮伤层为可更换的耐刮伤层。
进一步，所述监测系统可对间距感应器检测值进行逻辑运算并发出异常警报。
本实用新型提供一种基板异常检测装置，通过检测基板与掩膜板之间的间距数值，进而可以判定基板有无异常，当间距数值超出预警阈值时，检测装置会报警，及时拦截住异常基板，防止掩膜板被刮伤。
附图说明
图1为本实用新型基板异常检测装置侧视图；
图2为本实用新型基板异常检测装置正视图；
图3为本实用新型基板异常检测装置俯视图；
图4为本实用新型基板异常检测装置工作状态示意图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例，进一步阐明本实用新型，应理解这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围，在阅读了本实用新型之后，本领域技术人员对本实用新型的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。
本实用新型提出一种基板异常检测装置，如图1至图3所示，包括支撑板(Holder)103、耐刮伤层104、线性马达101、连接器102、多个间距感应器(Gap Sensor)201以及监测系统203；支撑板103为铝型材或大理石，上下移动高度精确至微米级，为保证监测的精确度，支撑板103的大小与实际掩膜板大小相当；线性马达101可以上下移动，精准控制支撑板103的高度位置；耐刮伤层104材料为特氟龙胶带，耐刮伤层104粘贴于支撑板103的下表面，支撑板103的下表面平整且不易变形，耐刮伤层104可以手动更换；连接器102连接支撑板103和线性马达101，使支撑板103可随线性马达101上下移动；间距感应器201位于耐刮伤层104下方，每个支撑板103下至少设置三个不在同一直线的间距感应器201，用于确定一个平面的平整度，间距感应器201检测原理为感应器发出光线投射至被检测物表面，再通过接收被检测物表面反射回的光线来确定间距感应器与被检测物表面的距离；监测系统203接收并处理间距感应器201检测的数值，当数值超出正常预警范围时，发出警报和设备停止运行指令，监测系统203通过信号线202与间距感应器201连接以实现数据传输。
图4为本实用新型基板异常检测装置工作状态示意图，基板异常检测装置安装于光配向设备曝光部Head之前，为实现基板全覆盖检测，需按照基板的最大宽度并列安装多个基板异常检测装置。在基板301进行光配向前，线性马达101下降支撑板103的高度，使耐刮伤层104下表面与正常曝光掩膜板下表面处于同一水平面。无基板时，Gap Sensor201检测Gap Sensor201至耐刮伤层104下表面距离为H1。基板301经气浮平台302传送至基板异常检测装置时，Gap Sensor201检测Gap Sensor201至基板301下表面距离为H2，GapSensor201至基板301上表面距离为H3。H1、H2和H3经信号线202传送至监测系统203。监测系统203计算基板301上表面与耐刮伤层104下表面间距(即实际光配向曝光时基板上表面与掩膜板之间距离)H＝H1-H3，基板301厚度D＝H3-H2。当H值或D值超过预警值时，监测系统203发出预警，同时发出停机指令，设备立即停止运行，进行人工确认实际基板状况，从而实现异常基板的及时拦截。
本实施例中基板301厚度D＝300微米，基板301上表面与掩膜板间距H为250微米，D和H预警阈值均为±20微米，基板301通过气浮平台302传送，基板301下表面与GapSensor201间距H2正常为50微米。基板301进行光配向前支撑板103需下降至耐刮伤层104下表面与Gap Sensor201的间距为600微米(H1＝300(D)+250(H)+50(H2)微米)。当H值或D值超过预警值(250±20时)，监测系统203发出预警，同时发出停机指令，设备立即停止运行，进行人工确认实际基板状况，从而实现异常基板的及时拦截。
本实用新型提供一种基板异常检测装置，通过检测基板与掩膜板之间的间距数值，进而可以判定基板有无异常，当间距数值超出预警阈值时，检测装置会报警，及时拦截住异常基板，防止掩膜板被刮伤。
Claims (6)
1.一种基板异常检测装置，其特征在于：包括支撑板、粘贴于支撑板下方的耐刮伤层、调节支撑板高度位置的线性马达、连接支撑板和线性马达的连接器、位于耐刮伤层下方且用于测距的至少一个间距感应器以及与用于处理间距感应器测得的数据的监测系统；所述支撑板可随着连接器上下移动；所述监测系统与间距感应器连接。
2.根据权利要求1所述的基板异常检测装置，其特征在于：所述支撑板的表面呈平整状。
3.根据权利要求1所述的基板异常检测装置，其特征在于：所述间距感应器为三个，三个间距感应器的高度一致且不在同一直线上。
4.根据权利要求3所述的基板异常检测装置，其特征在于：所述间距感应器可发射光线和接收反射回的光线来确定间距的数值。
5.根据权利要求1所述的基板异常检测装置，其特征在于：所述耐刮伤层为可更换的耐刮伤层。
6.根据权利要求1所述的基板异常检测装置，其特征在于：所述监测系统可对间距感应器检测值进行逻辑运算并发出异常警报。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201820793067.9U CN208383076U (zh) | 2018-05-25 | 2018-05-25 | 一种基板异常检测装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201820793067.9U CN208383076U (zh) | 2018-05-25 | 2018-05-25 | 一种基板异常检测装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN208383076U true CN208383076U (zh) | 2019-01-15 |
Family
ID=64971969
Family Applications (1)
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| CN201820793067.9U Active CN208383076U (zh) | 2018-05-25 | 2018-05-25 | 一种基板异常检测装置 |
Country Status (1)
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110945641A (zh) * | 2019-10-30 | 2020-03-31 | 长江存储科技有限责任公司 | 用于校准粒子束的垂直度的方法以及应用于半导体制造工艺的系统 |
| WO2020173404A1 (zh) * | 2019-02-28 | 2020-09-03 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 掩模版凸版检测装置、传输系统及光刻设备 |
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2018
- 2018-05-25 CN CN201820793067.9U patent/CN208383076U/zh active Active
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| WO2020173404A1 (zh) * | 2019-02-28 | 2020-09-03 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 掩模版凸版检测装置、传输系统及光刻设备 |
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