TWI726322B - 觸控面板及其製作方法 - Google Patents

觸控面板及其製作方法 Download PDF

Info

Publication number
TWI726322B
TWI726322B TW108117920A TW108117920A TWI726322B TW I726322 B TWI726322 B TW I726322B TW 108117920 A TW108117920 A TW 108117920A TW 108117920 A TW108117920 A TW 108117920A TW I726322 B TWI726322 B TW I726322B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
layer
metal nanowire
conductive
touch sensing
sensing electrode
Prior art date
Application number
TW108117920A
Other languages
English (en)
Other versions
TW202036251A (zh
Inventor
蕭仲欽
練修成
徐政遠
游振宇
劉康宇
曹威娜
Original Assignee
英屬維京群島商天材創新材料科技股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 英屬維京群島商天材創新材料科技股份有限公司 filed Critical 英屬維京群島商天材創新材料科技股份有限公司
Publication of TW202036251A publication Critical patent/TW202036251A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI726322B publication Critical patent/TWI726322B/zh

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
    • G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
    • G06F3/044—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means
    • G06F3/0446—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means using a grid-like structure of electrodes in at least two directions, e.g. using row and column electrodes
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
    • G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
    • G06F3/0414—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means using force sensing means to determine a position
    • G06F3/04142—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means using force sensing means to determine a position the force sensing means being located peripherally, e.g. disposed at the corners or at the side of a touch sensing plate
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
    • G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
    • G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
    • G06F3/0412—Digitisers structurally integrated in a display
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/13338—Input devices, e.g. touch panels
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
    • G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
    • G06F3/0416—Control or interface arrangements specially adapted for digitisers
    • G06F3/04164—Connections between sensors and controllers, e.g. routing lines between electrodes and connection pads
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
    • G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
    • G06F3/044—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means
    • G06F3/0445—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means using two or more layers of sensing electrodes, e.g. using two layers of electrodes separated by a dielectric layer
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
    • G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
    • G06F3/047—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means using sets of wires, e.g. crossed wires
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F2203/00—Indexing scheme relating to G06F3/00 - G06F3/048
    • G06F2203/041—Indexing scheme relating to G06F3/041 - G06F3/045
    • G06F2203/04103—Manufacturing, i.e. details related to manufacturing processes specially suited for touch sensitive devices

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
  • Position Input By Displaying (AREA)
  • Structure Of Printed Boards (AREA)

Abstract

一種觸控面板，包括：基板，其具有顯示區與周邊區；第一觸控感應電極與第二觸控感應電極，設置於基板的顯示區；第一周邊線路與第二周邊線路，設置於基板的周邊區，其中，第一觸控感應電極層包括圖案化後的第一金屬奈米線層的第一部分，周邊線路包括共蝕刻處理後的導電層及第一金屬奈米線層的第二部分，導電層及第一金屬奈米線層的第二部分具有共同蝕刻面，第二觸控感應電極形成於絕緣層上並與第二周邊線路進行連接。

Description

觸控面板及其製作方法
本發明是關於一種觸控面板及其製作方法。
由於透明導體可同時具有光穿透性與適當的導電性，因而可應用於顯示面板或觸控面板相關的裝置中。一般而言，透明導體可以是各種金屬氧化物，例如氧化銦錫(Indium Tin Oxide，ITO)、氧化銦鋅(Indium Zinc Oxide，IZO)、氧化鎘錫(Cadmium Tin Oxide，CTO)或摻鋁氧化鋅(Aluminum-doped Zinc Oxide，AZO)。然而，這些金屬氧化物薄膜的某些特性已經受到挑戰，例如可撓性不足。在部份情況下，經圖案化的金屬氧化物薄膜也可能有容易被使用者觀察到的問題。因此，現今發展出了多種透明導體，例如利用奈米線等材料所製作的透明導體。
然而利用奈米線製作觸控電極，奈米線與周邊區的金屬引線在製程上及結構上都有許多待解決的問題，例如貼合製程時需要預留對位空間，使得產品無法滿足窄邊框的需求。
再一方面，利用奈米線所製作的觸控感應產品與其他光學元件的整合也是關注的重點。
因此在利用奈米線製作觸控感應電極的製程上、電極結構上必須依照材料特性重新設計，使產品達到較佳的表現。
本發明之部分實施方式，提出了解決前述問題的觸控面板製作方法，其具有高製作效率、線路阻抗低、顯示區之光學及電性特性良好的優勢。
本發明之部分實施方式提出一種觸控面板，具有顯示區與周邊區，觸控面板包括：基板；第一觸控感應電極，設置於基板的第一表面，並位於顯示區該第一觸控感應電極包括圖案化後的第一金屬奈米線層的第一部分；第一周邊線路與第二周邊線路，設置於基板的第一表面，並位於周邊區，且第一周邊線路電性連接第一觸控感應電極，第一周邊線路與第二周邊線路包括導電層及第一金屬奈米線層的第二部分，導電層及第一金屬奈米線層的第二部分具有共同蝕刻面；絕緣層，覆蓋第一觸控感應電極及第二周邊線路，其中該絕緣層包含對應該第二周邊線路設置的一導電穿孔；以及第二觸控感應電極，設置於絕緣層上，第二觸控感應電極包括圖案化後的第二金屬奈米線層，其中第二觸控感應電極通過導電穿孔電性連接第二周邊線路。
於本發明之部分實施方式中，第一金屬奈米線層的第二部分形成於基板的第一表面，導電層形成於金屬奈米線層的第二部分上，或者導電層形成於基板的第一表面，第一金屬奈米線層的第二部分形成於導電層的上表面。
於本發明之部分實施方式中，更包括底塗層，其設置於第一金屬奈米線層及/或第二金屬奈米線層。
於本發明之部分實施方式中，觸控面板具有一對第二周邊線路，絕緣層包含對應該對第二周邊線路設置的一對導電穿孔，第二觸控感應電極通過該對導電穿孔與該對第二周邊線路電性連接，且在絕緣層上構成一搭橋結構。
於本發明之部分實施方式中，更包括液晶材料層，形成於基板上與第一表面相對的第二表面。
於本發明之部分實施方式中，液晶材料層包括偏光液晶層及/或相位差液晶層。
本發明之部分實施方式提出一種觸控面板的製作方法，包含：製作由金屬奈米線所組成的第一金屬奈米線層於基板的第一表面上；製作導電層於第一金屬奈米線層上；進行第一圖案化步驟，包括：圖案化位於顯示區的第一金屬奈米線層，並同時圖案化位於周邊區的導電層與第一金屬奈米線層以形成第一周邊線路與第二周邊線路；移除位於顯示區的導電層，以暴露出第一金屬奈米線層經圖案化後所形成的第一觸控感應電極；製作絕緣層覆蓋第一觸控感應電極及第二周邊線路，其中絕緣層包含對應第二周邊線路設置的導電穿孔；製作 第二觸控感應電極於絕緣層上，第二觸控感應電極通過導電穿孔電性連接第二周邊線路。
於本發明之部分實施方式中，製作該第二觸控感應電極於該絕緣層上包括：製作由金屬奈米線所組成的第二金屬奈米線層於絕緣層上；以及進行第二圖案化步驟，以圖案化第二金屬奈米線層形成第二觸控感應電極。
於本發明之部分實施方式中，移除位於顯示區的導電層包括利用一第一蝕刻液將位於顯示區的導電層去除。
於本發明之部分實施方式中，進行第一圖案化步驟包括利用第二蝕刻液同時蝕刻導電層與第一金屬奈米線層。
於本發明之部分實施方式中，更包括形成液晶材料層於基板上與第一表面相對的第二表面，其中形成液晶材料層的方法包括塗佈及印刷。
本發明之部分實施方式提出一種觸控面板的製作方法，包含：製作導電層於基板的第一表面；移除位於顯示區的導電層；製作由金屬奈米線所組成的第一金屬奈米線層基板的第一表面及導電層的表面上；進行第一圖案化步驟，包括：圖案化位於顯示區的第一金屬奈米線層以形成第一觸控感應電極，並同時圖案化位於周邊區的導電層與第一金屬奈米線層以形成第一周邊線路與第二周邊線路；製作絕緣層覆蓋第一觸控感應電極及第二周邊線路，其中絕緣層包含對應第二周邊線路設置的導電穿孔；製作第二觸控感應電極於絕緣層上，第二觸控感應電極通過導電穿孔電性連接第二周邊線路。
於本發明之部分實施方式中，製作第二觸控感應電極於絕緣層上包括：製作由金屬奈米線所組成的第二金屬奈米線層於絕緣層上；以及進行第二圖案化步驟，以圖案化第二金屬奈米線層形成第二觸控感應電極。
於本發明之部分實施方式中，移除位於顯示區的導電層包括利用第一蝕刻液將位於顯示區的導電層去除。
於本發明之部分實施方式中，進行第一圖案化步驟包括利用第二蝕刻液同時蝕刻導電層與第一金屬奈米線層。
根據本發明之部分實施方式，進行一圖案化步驟包括利用一第二蝕刻液蝕刻導電層與金屬奈米線層。
100:觸控面板
110:基板
120A:導電層
120:周邊線路
122:第一側壁
136:非導電區域
140A:第一金屬奈米線層
140B:第二金屬奈米線層
140:金屬奈米線
142:第二側壁
160:絕緣層
161:導電穿孔
210:液晶材料層
D1:第一方向
D2:第二方向
PA:周邊區
PT1:第一周邊線路
PT2:第二周邊線路
TE1:第一觸控感應電極
TE2:第二觸控感應電極
VA:顯示區
圖1為根據本發明之部分實施方式之觸控面板的示意圖。
圖2為根據本發明之部分實施方式之觸控面板的製作方法的第一步驟示意圖。
圖3為根據本發明之部分實施方式之觸控面板的製作方法的第二步驟示意圖。
圖4為根據本發明之部分實施方式之觸控面板的製作方法的第三步驟示意圖。
圖4A為沿圖4的線A-A之剖面示意圖。
圖4B為沿圖4的線B-B之剖面示意圖。
圖4C為沿圖4的線C-C之剖面示意圖。
圖5為根據本發明之部分實施方式之觸控面板的製作方法的第四步驟示意圖。
圖5A為沿圖5的線A-A之剖面示意圖。
圖6為根據本發明之部分實施方式之觸控面板的製作方法的第五步驟示意圖。
圖6A為沿圖6的線A-A之剖面示意圖。
圖7為根據本發明之部分實施方式之觸控面板的示意圖。
圖8(A)-8(D)為根據本發明之部分實施方式之觸控面板的製作方法的步驟示意圖。
圖9為根據本發明之部分實施方式之觸控面板的示意圖。
以下將以圖式揭露本發明之多個實施方式，為明確說明起見，許多實務上的細節將在以下敘述中一併說明。然而，應瞭解到，這些實務上的細節不應用以限制本發明。也就是說，在本發明部分實施方式中，這些實務上的細節是非必要的。此外，為簡化圖式起見，一些習知慣用的結構與元件在圖式中將以簡單示意的方式為之。
關於本文中所使用之「約」、「大約」或「大致」，一般是指數值之誤差或範圍於百分之二十以內，較好地是於百分之十以內，更佳地是於百分之五以內。文中若無明確說明，所提及的數值皆視為近似值，即具有如「約」、「大約」或「大致」所表示的誤差或範圍。另外，本文所使用的「圖案 (pattern)」、「圖形」、「圖樣」所指的均為相同或相似的涵義，而為了方便說明，下文中可能會交互使用，特此說明。
本發明實施例提供一種觸控面板100，如圖1所示，其包含基板110、周邊線路120、由第一金屬奈米線層140A所組成的第一觸控感應電極TE1、由第二金屬奈米線層140B所組成的第二觸控感應電極TE2以及設置在第一、第二觸控感應電極TE1、TE2之間的絕緣層160(如圖6A所示)，且第一、第二觸控感應電極TE1、TE2與周邊線路120電性連接，周邊線路120可由導電層120A與第一金屬奈米線層140A所組成(如圖6A所示)。上述的周邊線路120、第一觸控感應電極TE1以及第二觸控感應電極TE2的數量可為一或多個，而以下各具體實施例及圖式中所繪製的數量僅為解說之用，並未限制本發明。
請參閱圖1，基板110可具有顯示區VA與周邊區PA，周邊區PA設置於顯示區VA的側邊，例如周邊區PA則可為設置於顯示區VA的四周(即涵蓋右側、左側、上側及下側)的框型區域，但在其他實施例中，周邊區PA可為一設置於顯示區VA的左側及下側的L型區域。又如圖1所示，本實施例共有七組第一周邊線路PT1以及左右各五組第二周邊線路PT2設置於基板110的周邊區PA；而第一觸控感應電極TE1或第二觸控感應電極TE2大致設置於基板110的顯示區VA。
本實施方式的觸控面板的製作方法可包括以下步驟：提供基板110；設置由金屬奈米線140所組成之第一金屬 奈米線層140A於基板110上；設置導電層120A於第一金屬奈米線層140A上；進行圖案化步驟以形成第一觸控感應電極TE1，並同時形成周邊線路120。本實施方式的觸控面板的製作方法之具體製程為：首先，參考圖2，提供一基板110，於本發明之部分實施方式中，基板110理想上為透明基板，詳細而言，可以為一硬式透明基板或一可撓式透明基板，其材料可以選自玻璃、壓克力(polymethylmethacrylate；PMMA)、聚氯乙烯(polyvinyl Chloride；PVC)、聚丙烯(polypropylene；PP)、聚對苯二甲酸乙二醇酯(polyethylene terephthalate；PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯(polyethylene naphthalate；PEN)、聚碳酸酯(polycarbonate；PC)、聚苯乙烯(polystyrene；PS)等透明材料。
接著，同樣參考圖2，在基板110上製作第一金屬奈米線層140A與導電層120A，第一金屬奈米線層140A可至少由金屬奈米線140所組成。在本實施例的第一金屬奈米線層140A之具體作法為：將具有金屬奈米線140之分散液或漿料(ink)以塗佈方法成型於基板110的第一表面上(如上表面)，並加以乾燥使金屬奈米線140覆著於基板110的表面；換言之，金屬奈米線140會因上述的乾燥固化步驟而成型為一設置於基板110上的第一金屬奈米線層140A。而基板110上可定義有顯示區VA與周邊區PA(如圖1)，周邊區PA設置於顯示區VA的側邊；而所述的第一金屬奈米線層140A可包括成型於顯示區VA的第一部分與成型於周邊區PA的第二部分，更詳細的說，在 顯示區VA中，第一金屬奈米線層140A的第一部分可直接成形於基板110的表面上；而在周邊區PA中，第一金屬奈米線層140A的第二部分亦可直接成形於基板110的表面上。
在本發明之實施例中，上述具有金屬奈米線140之分散液可為溶劑，如水、醇、酮、醚、烴或芳族溶劑(苯、甲苯、二甲苯等等)；上述分散液亦可包含添加劑、介面活性劑或黏合劑，例如羧甲基纖維素(carboxymethyl cellulose；CMC)、2-羥乙基纖維素(hydroxyethyl Cellulose；HEC)、羥基丙基甲基纖維素(hydroxypropyl methylcellulose；HPMC)、磺酸酯、硫酸酯、二磺酸鹽、磺基琥珀酸酯、磷酸酯或含氟界面活性劑等等。而所述的金屬奈米線(metal nanowires)層，例如可為奈米銀線(silver nanowires)層、奈米金線(gold nanowires)層或奈米銅線(copper nanowires)層所構成；更詳細的說，本文所用之「金屬奈米線(metal nanowires)」係為一集合名詞，其指包含多個元素金屬、金屬合金或金屬化合物(包括金屬氧化物)之金屬線的集合，其中所含金屬奈米線之數量，並不影響本發明所主張的保護範圍；且單一金屬奈米線之至少一個截面尺寸(即截面的直徑)小於500nm，較佳小於100nm，且更佳小於50nm；而本發明所稱之為”線(wire)”的金屬奈米結構，主要具有高的縱橫比，例如介於10至100,000之間，更詳細的說，金屬奈米線之縱橫比(長度：截面之直徑)可大於10，較佳大於50，且更佳大於100；金屬奈米線可以為任何金屬，包括(但不限於)銀、金、銅、鎳 及鍍金之銀。而其他用語，諸如絲(silk)、纖維(fiber)、管(tube)等若同樣具有上述的尺寸及高縱橫比，亦為本發明所涵蓋之範疇。
而所述的含有金屬奈米線140之分散液或漿料可以用任何方式成型於基板110之表面，例如但不限於：網版印刷、噴頭塗佈、滾輪塗佈等製程；在一種實施例中，可採用捲對捲(roll to roll)製程將含有金屬奈米線140之分散液或漿料塗佈於連續供應的基板110之表面。而在上述的固化/乾燥步驟之後，溶劑等物質被揮發，而金屬奈米線140以隨機的方式分布於基板110的表面；較佳的，金屬奈米線140會固著於基板110之表面上而不至脫落而形成所述的第一金屬奈米線層140A，且金屬奈米線140可彼此接觸以提供連續電流路徑，進而形成一導電網路(conductive network)。
於本發明之部分實施方式中，金屬奈米線140可以是奈米銀線(Silver nanowires)或奈米銀纖維(Silver nanofibers)，其可以具有平均約20至100奈米的直徑，平均約20至100微米的長度，較佳為平均約20至70奈米的直徑，平均約20至70微米的長度(即縱橫比為1000)。於部分實施方式中，金屬奈米線140的直徑可介於70奈米至80奈米，而長度約8微米。
在一實施例中，可設置一底塗層(overcoat，圖未示)於第一金屬奈米線層140A上，經過固化後，使底塗層與第一金屬奈米線層140A構成複合結構層。在一實施例中，可將 合適的聚合物或其混和物以塗佈方法成型於第一金屬奈米線層140A上，所述之聚合物會滲入金屬奈米線140之間而形成填充物，並施以固化步驟以形成底塗層，換言之，金屬奈米線140可視為嵌入底塗層之中。在一具體實施例，固化步驟可為：利用加熱烘烤的方式(溫度在約60℃到約150℃)將上述聚合物或其混和物形成底塗層於第一金屬奈米線層140A上。本發明並不限定底塗層與第一金屬奈米線層140A之間的實體結構，例如底塗層與第一金屬奈米線層140A可為兩層結構的堆疊，或者底塗層與第一金屬奈米線層140A可相互組合而形成一複合層。優選的，金屬奈米線140為嵌入底塗層之中而形成複合型態，並在後續的製程中被圖案化。
上述的聚合物較佳的可賦予金屬奈米線140某些特定的化學、機械及光學特性，例如提供金屬奈米線140與基板110之黏著性，或是較佳的實體機械強度，故底塗層又可被稱作基質(matrix)。又一方面，使用某些特定的聚合物製作底塗層，使金屬奈米線140具有額外的抗刮擦及磨損之表面保護，採用諸如聚丙烯酸酯、環氧樹脂、聚胺基甲酸酯、聚矽烷、聚矽氧、聚(矽-丙烯酸)等可使金屬奈米線140具有較高的表面強度以提高耐刮能力。再者，前述聚合物中可添加交聯劑、聚合抑制劑、穩定劑(例如但不限於抗氧化劑、紫外光穩定劑(UV stabilizers))、界面活性劑或上述之類似物或混合物以提高複合結構CS的抗紫外線能力或達成較長保存期限。
在本實施例的導電層120A之具體作法為：將金屬 材料以適當的製程成型於第一金屬奈米線層140A上。例如但不限於，將導電性良好的金屬(例如單層的銀、銅、或多層材料，如鉬/鋁/鉬、銅/鎳、鈦/鋁/鈦、鉬/鉻)成型於第一金屬奈米線層140A上。相似於第一金屬奈米線層140A，導電層120A可包括成型於顯示區VA的第一部分與成型於周邊區PA的第二部分，而導電層120A的第一部分在後續的製程中被移除，導電層120A的第二部分與第一金屬奈米線層140A的第二部分在後續的製程中被圖案化而形成周邊線路120。
接著進行第一次圖案化步驟，其主要針對導電層120A與第一金屬奈米線層140A進行圖案化以形成第一觸控感應電極TE1的圖樣，並同時針對位於周邊區PA的導電層120A與第一金屬奈米線層140A進行圖案化以形成周邊線路120，如圖3。本實施例具體可包括以下步驟：先將感光材料(例如光阻)進行曝光/顯影(即熟知的微影製程)定義出位於顯示區VA的第一觸控感應電極TE1的圖案以及位於周邊區PA的周邊線路120的圖案；接著，進行蝕刻，以在顯示區VA上製作出由第一金屬奈米線層140A(即第一金屬奈米線層140A的第一部分)所構成的第一觸控感應電極TE1的圖樣；並在周邊區PA上製作出由第一金屬奈米線層140A(即第一金屬奈米線層140A的第二部分)與導電層120A(即導電層120A的第二部分)所構成的周邊線路120。
在一實施例中，採用可同時蝕刻第一金屬奈米線層140A與導電層120A的蝕刻液(即第一蝕刻液)，以在同一工 序中製作第一觸控感應電極TE1與周邊線路120，因此可以最少的對位次數(例如一次)完成顯示區VA之第一觸控感應電極TE1與周邊區PA的周邊線路120的連接，故可避免傳統多次對位造成的良率不高，也可節省對位製程所需預留的對位公差，使周邊線路120的寬度盡可能的縮減，以滿足顯示器的窄邊框需求。
根據一具體實施例，在第一金屬奈米線層140A為奈米銀層，導電層120A為銅層的情況下，第一蝕刻液可用於蝕刻銅與銀，例如蝕刻液的主成分為HNO3(比例為5%~15%)及H3PO4(比例55%~70%)，以在同一製程中移除銅材料與銀材料。在另一具體實施例中，可在蝕刻液的主成分之外加入添加物，例如蝕刻選擇比調整劑，以調整蝕刻銅與蝕刻銀的速率；舉例而言，可在主成分為HNO3(比例為5%~15%)及H3PO4(比例55%~70%)中添加5%~10%的Benzotriazole(BTA)，以解決銅的過蝕刻問題。
接著進行第二次圖案化步驟，其主要針對導電層120A進行圖案化以移除位於顯示區VA的金屬材料，並暴露出第一金屬奈米線層140A經圖案化後所形成的第一觸控感應電極TE1。本實施例具體可包括以下步驟：先將感光材料(例如光阻)進行曝光/顯影(即熟知的黃光製程)定義出圖案以裸露出位於顯示區VA的導電層120A之第一部分；接著，進行蝕刻，將位於顯示區VA的導電層120A之第一部分移除，以使顯示區VA上露出第一金屬奈米線層140A(此時第一金屬奈米線層 140A已具有圖樣，即為第一觸控感應電極TE1)。
在上述的蝕刻步驟中，舉例來說，在第一金屬奈米線層140A為奈米銀層，而導電層120A為銅層的情況下，第二蝕刻液可用於蝕刻銅，而第二蝕刻液對於奈米銀腐蝕速率明顯較低，以避免奈米銀層受到銅蝕刻液的影響。在一具體實施例中，銅蝕刻液的主成分為CH3COOH及NH4OH，此蝕刻液組份對奈米銀線的蝕刻速率遠低於對銅的蝕刻速率(例如兩者蝕刻速率比為1：100至1：10000)。在一實施例中，在經過上述蝕刻液處理之後，第一金屬奈米線層140A的電阻值變化在10%以下。
在一變化實施例中，可先移除位於顯示區VA的導電層120A步驟；接著進行第二次圖案化步驟，其主要針對位於顯示區VA的第一金屬奈米線層140A進行圖案化以形成第一觸控感應電極TE1，並同時針對位於周邊區PA的導電層120A與第一金屬奈米線層140A進行圖案化以形成周邊線路120。
圖4即顯示上述兩步驟的圖案化之後的結構，在顯示區VA上具有第一金屬奈米線層140A(即第一金屬奈米線層140A的第一部分)所構成的第一觸控感應電極TE1；並在周邊區PA上形成由第一金屬奈米線層140A(即第一金屬奈米線層140A的第二部分)與導電層120A(即導電層120A的第二部分)所構成的周邊線路120。另外，請同時參考圖4、圖4A及圖4B，周邊線路120可包括第一周邊線路PT1及第二周邊線路 PT2，第一觸控感應電極TE1電性連接於第一周邊線路PT1，而第二周邊線路PT2會與後續步驟製成的第二觸控感應電極TE2相連接。第二周邊線路PT2不限定在第二觸控感應電極TE2的兩側，也可只形成在第二觸控感應電極TE2的一側。
接著，製作絕緣層160，並於製作絕緣層160中製作導電穿孔161，如圖5所示。在一實施例中，可利用絕緣材料，如SiO2等覆蓋於前述的第一金屬奈米線層140A與導電層120A上；換言之，位於顯示區VA之第一觸控感應電極TE1與位於周邊區PA的周邊線路120(包含第一、第二周邊線路PT1/PT2)上均覆蓋有絕緣層160。在一實施例中，絕緣層160可僅覆蓋第一觸控感應電極TE1與第二周邊線路PT2。
絕緣層160的材料可完全或部分的填入第一金屬奈米線層140A或導電層120A中被蝕刻出的空隙。另外，絕緣層160中可利用黃光製程或雷射製程製作導電穿孔161，導電穿孔161對應部分的周邊線路120，以利後續製作的電極結構藉由導電穿孔161與周邊線路120進行連接。如圖5A所示，導電穿孔161對應第二周邊線路PT2，並裸露出第二周邊線路PT2。導電穿孔161的位置大致位於顯示區VA與周邊區PA的交界處，其可是具體需求調整其位置。
接著，製作第二觸控感應電極TE2於絕緣層160上，並使第二觸控感應電極TE2連接於對應的周邊線路120。具體而言，本步驟可包括：製作第二金屬奈米線層140B於絕緣層160上；圖案化第二金屬奈米線層140B以形成第二觸控感 應電極TE2。前述製作奈米線層與圖案化的步驟均可參照前文實施方式，於此不再贅述。另外，第二金屬奈米線層140B的材料可全部或部分填入於導電穿孔161，使圖案化第二金屬奈米線層140B後所成形的第二觸控感應電極TE2連接於設置於基板110上的周邊線路120。在一實施例中，可採用硝酸作為蝕刻液進行第二金屬奈米線層140B的圖案化。
請參考圖6A，第二觸控感應電極TE2可藉由導電穿孔161的結構連接於設置於基板110上的第二周邊線路PT2。在本實施例中，單一第二觸控感應電極TE2對應有一對(a pair)或一組第二周邊線路PT2；相對的，絕緣層160包含對應該對第二周邊線路PT2設置的一對導電穿孔161，而單一第二觸控感應電極TE2通過該對導電穿孔161與該對第二周邊線路PT2電性連接，第二觸控感應電極TE2即在絕緣層160上構成一搭橋結構；換言之，搭橋結構的兩端分別連接該對第二周邊線路PT2。
至此，即可完成本發明實施例的觸控面板100。請參考圖6，本發明實施例的觸控面板100，其包含基板110、由導電層120A與第一金屬奈米線層140A所組成的周邊線路120、由第一金屬奈米線層140A所組成的第一觸控感應電極TE1、、由第二金屬奈米線層140B所組成的第二觸控感應電極TE2以及設置於第一觸控感應電極TE1與第二觸控感應電極TE2之間的絕緣層160，第一觸控感應電極TE1與第二觸控感應電極TE2可電性連接周邊線路120，第一金屬奈米線層 140A及/或第二金屬奈米線層140B包括金屬奈米線140。另外，導電層120A與第一金屬奈米線層140A會經過一次共蝕刻步驟，以同時(指在同一蝕刻步驟中)形成設置於基板上表面的第一觸控感應電極TE1與周邊線路120。
詳細而言，本發明的部分實施方式中周邊線路120可包括連接不同軸向電極的第一、第二周邊線路PT1/PT2；以結構而言，第一、第二周邊線路PT1/PT2是由圖案化後的兩層導電結構所組成的複合結構層，其包括導電層120A及位於導電層120A與基板110之間的第一金屬奈米線層140A，構成周邊線路120的導電層120A及第一金屬奈米線層140A(即第一金屬奈米線層140A的第二部分)具有共同蝕刻面(co-planar etch-surface)。而第一觸控感應電極TE1為第一金屬奈米線層140A圖樣化之後所形成，也就是說，第一金屬奈米線層140A在顯示區VA形成第一觸控感應電極TE1，而在周邊區PA形成周邊線路120的下層結構，故藉由第一金屬奈米線層140A的導電性，第一觸控感應電極TE1可與周邊線路120達成電性連接以進行訊號的傳輸。另外，藉由絕緣層160，第一金屬奈米線層140A與第二金屬奈米線層140B可相互電性隔絕，而圖案化後製成的第一觸控感應電極TE1與第二觸控感應電極TE2所傳遞的訊號可以不相互影響，例如沿第一方向D1排列的第一觸控感應電極TE1可用於傳遞外部控制訊號，沿第二方向D2排列的第二觸控感應電極TE2可用於傳遞觸控感應訊號。
請參考圖4及圖4C所示，在周邊區PA中，相鄰周邊線路120之間具有非導電區域136(此處以第二周邊線路PT2做示例性的說明)，以電性阻絕相鄰周邊線路120進而避免短路。也就是說，相鄰導電層120A的第一側壁122之間具有非導電區域136，相鄰金屬奈米線層140A的第二側壁142之間也形成有非導電區域136，而在本實施例中，非導電區域136為一間隙，以隔絕相鄰周邊線路120。而在一實施例中，可採用前述的蝕刻法制作上述的間隙，故第一側壁122與第二側壁142為一共同蝕刻面，也就是說第一側壁122與第二側壁142是在同一個蝕刻步驟中利用同一蝕刻液所成型；或者也可先蝕刻出第一側壁122，再蝕刻出第二側壁142。在一實施例中，金屬奈米線層140A的第二側壁142會因上述的蝕刻步驟而不會有所述的金屬奈米線存在於其上；再者，導電層120A及金屬奈米線層140A會具有相同或近似的圖樣與尺寸，如均為長直狀等的圖樣，且寬度相同或近似。
相似的，在顯示區VA中，相鄰第一觸控感應電極TE1之間具有非導電區域136，以電性阻絕相鄰第一觸控感應電極TE1進而避免短路。相鄰第二觸控感應電極TE2之間亦具有非導電區域136。在一實施例中，可採用上述的蝕刻法制作相鄰第一觸控感應電極TE1之間的間隙或相鄰第二觸控感應電極TE2之間的間隙。
本實施方式中，第一觸控感應電極TE1與第二觸控感應電極TE2以交錯式的排列設置。舉例而言，第一觸控感 應電極TE1為沿第一方向D1延伸的長條型電極，第二觸控感應電極TE2為沿第二方向D2延伸的長條型電極，彼此形成交錯結構。在其他實施方式中，第一觸控感應電極TE1及/或第二觸控感應電極TE2可以具有適當的形狀，例如相互串接的四邊形或六邊形結構，而不應本文實施例限制本發明的範圍。
在本實施方式中，顯示區VA的第一觸控感應電極TE1及/或第二觸控感應電極TE2較佳地具有導電性與透光性，因此，用來製作第一觸控感應電極TE1及/或第二觸控感應電極TE2的奈米線層較佳地具有以下特性：可見光(例如波長介於約400nm-700nm)之光穿透率(Transmission)可大於約80%，且表面電阻率(surface resistance)在約10至1000歐姆/平方(ohm/square)之間；較佳地，奈米線層的可見光(例如波長介於約400nm-700nm)之光穿透率(Transmission)大於約85%，且表面電阻率(surface resistance)在約50至500歐姆/平方(ohm/square)之間。
在一實施例中，在前述所完成的觸控面板100更可搭配以下製程。請參考圖7，可在基板110相對於上述觸控電極的第二表面(如下表面)製作液晶材料層210。在一實施例中，前述所完成的觸控面板100可整合液晶材料層210而形成具光學功能的觸控面板，例如液晶材料層210可作為提供偏光功能的光學功能層(故亦可稱作偏光液晶層)，本實施例即可形成具偏光功能的觸控面板。又或者，可製作兩層液晶材料層210，一者提供偏光功能(故亦可稱作偏光液晶層)、另一則提 供調整光相位差值的功能(故亦可稱作相位差液晶層)，即可整合成複合式的光學功能層，以同時提供觸控感應、偏光及調整相位差值功能。
在一實施例中，偏光液晶層是直接將含有聚合性液晶之組合物塗佈於基板的第二表面，並經固化後成型。其中，聚合性液晶之組合物可包含反應性液晶化合物和二色性染料。當反應性液晶化合物經反應(光幅照或熱量幅照)而聚合時，其可維持液晶配置並形成聚合物網狀結構，而二色性染料則可提供偏光性質。
本實施例的相位差液晶層是先以光配向材料來在偏光層液晶上形成具有兩種配向方向的光配向層，並再將含有聚合性液晶之組合物塗佈於光配向層上，進而再經固化後成型。
上述製作偏光液晶層及相位差液晶層所使用的塗佈方式可包括狹縫塗覆、刮刀塗覆、凹版塗覆、棒式塗覆、輥式塗覆、旋塗、噴塗、網版印刷、凹版印刷、平版印刷、點膠印刷等。此外，製作偏光液晶層及相位差液晶層所使用的固化方式可包括熱固化或光固化。在一種實施例中，可採用捲對捲(roll to roll)製程來進行上述塗佈及固化步驟。補充說明的是，在實際設計中，偏光液晶層為了符合所需的偏光值，而相位差液晶層為了符合所需的相位差值，分別可以設計為多個積層的結構，在此並非為本發明所限制。
本實施例的觸控面板在整合偏光液晶層之後，可 提供偏光功能，並且在整合相位差液晶層之後，可進一步提供較佳的影像可見度，整體在同一基板上構成一體化設計，如此一來，當本實施例的觸控面板應用於具顯示功能的電子裝置時，可以有效達到薄型化的效果。值得一提的是，本實施例是先完成觸控面板的製作，再於觸控面板的基板上未設置觸控感應電極的一側來形成偏光液晶層及/或相位差液晶層，對此，可以避免因觸控感應電極製程中的高溫、強酸、強鹼等環境因素而造成元件(例如液晶層)損壞。
本發明實施方式提出另一種觸控面板的製作方法，其與前述第一製作方法的差異主要至少在於：在本實施例中，先製作導電層120A於周邊區PA；再製作第一金屬奈米線層140A，而後再根據前述的方法進行圖案化步驟形成第一觸控感應電極TE1與周邊線路120；再製作絕緣層160；最後製作第二觸控感應電極TE2。
具體做法可舉例如下：如圖8A，先製作導電層120A於基板110的一表面(如上表面)；再經過蝕刻製程移除位於顯示區VA的導電層120A，而殘留的導電層120A則大致位於周邊區PA，上述即為第一次圖案化製程(如圖8B)。接著，製作第一金屬奈米線層140A於周邊區PA與顯示區VA，第一金屬奈米線層140A的第一部分直接成形於基板110的表面上，第一金屬奈米線層140A的第二部分覆蓋於導電層120A(如圖8C)；接著以共蝕刻製程進行第二次圖案化製程。而在圖案化步驟中，位於顯示區VA上的第一金屬奈米線層140A經過蝕刻 處理形成第一觸控感應電極TE1；位於周邊區PA上的導電層120A與金屬奈米線層140A同樣藉由蝕刻處理形成而達成圖案化，以形成周邊線路120(如圖8D)。接著，製作絕緣層160與第二觸控感應電極TE2；此兩步驟的具體實施方法類同於前述實施例，於此不再贅述。
圖9即為根據圖8(A)-(D)的製作方法所製作的觸控面板示意圖。本實施例的具體內容可參考前文，在此不再贅述。相較於圖6A，如圖9所示的結構，位於周邊區PA的周邊線路120為第一金屬奈米線層140A在上、導電層120A在下的雙層結構(以基板110為基準)，也就是說，在這種結構下，即使利用前述的底塗層保護金屬奈米線140，金屬奈米線140與導電層120A仍是直接接觸的，因此兩者之間具有較低的接觸阻抗，進而可以提高傳遞觸控訊號的損耗及失真。
同於前述實施例，可在基板110的另一表面(如下表面)上製作液晶材料層210，於此不再贅述。
在一實施例中，前述所形成之金屬奈米線140可進一步進行後處理以提高其導電度，此後處理可為包括如加熱、電漿、電暈放電、UV臭氧或壓力之過程步驟。例如，在固化形成第一、第二金屬奈米線層140A、140B之步驟後，可利用滾輪施加壓力於其上，在一實施例中，可藉由一或多個滾輪向金屬奈米線層施加50至3400psi之壓力，較佳為可施加100至1000psi、200至800psi或300至500psi之壓力。於部分實施方式中，可同時進行加熱與壓力之後處理；詳言之，所 形成之金屬奈米線140可經由如上文所述之一或多個滾輪施加壓力，並同時加熱，例如由滾輪施加之壓力為10至500psi，較佳為40至100psi；同時將滾輪加熱至約70℃與200℃之間，較佳至約100℃與175℃之間，其可提高第一、第二金屬奈米線層140A、140B的導電度。於部分實施方式中，金屬奈米線140較佳可暴露於還原劑中進行後處理，例如由奈米銀線組成之金屬奈米線140較佳可暴露於銀還原劑中進行後處理，銀還原劑包括硼氫化物，如硼氫化鈉；硼氮化合物，如二甲基胺基硼烷(DMAB)；或氣體還原劑，諸如氫氣(H2)。而所述的暴露時間約10秒至約30分鐘，較佳約1分鐘至約10分鐘。而上述施加壓力之步驟可依實際的需求實施在適當的步驟中。
本發明的不同實施例的結構、材料、製程可相互引用，並不為上述各具體實施方式的限制。
本發明之部分實施方式中，應用於雙軸觸控感應電極的周邊金屬層鍍膜製程可減至單次，即可與絕緣層上下的第一、第二觸控感應電極相連接，達到簡化製程的效果。
本發明之部分實施方式中，初始製程可視需求由金屬奈米線層或金屬層(即導電層)開始，故製程具有彈性。
本發明之部分實施方式中，在周邊區的導電層可直接與金屬奈米線層直接接觸而形成周邊線路，因此，整體來說，由於金屬奈米線層中的金屬奈米線與周邊線路會形成一種直接接觸且低阻抗的訊號傳遞路徑，其用於傳輸觸控感應電極與外部控制器之間的控制訊號及觸控感應訊號，而由於其低阻 抗之特性，實有助於降低訊號傳輸的耗損，從而解決傳統結構中接觸阻抗過高的問題。
本發明之部分實施方式中，可形成一低阻抗之周邊導電線路，以提升觸控訊號之傳輸能力，進而減少傳遞觸控訊號的損耗及失真。
本發明之部分實施方式中，周邊線路之複合結構層能在單一次的蝕刻製程中形成，故應用於觸控面板之製造，可簡化周邊線路之圖案化製程，進而具備製程簡單、快速、低製造成本之效。
本發明之部分實施方式中，周邊線路之複合結構層能在單一次的蝕刻製程中形成，故可降低製程中所需的對位次數，進而避免對位步驟中產生的錯誤，以提升製程良率。
本發明之部分實施方式中，周邊線路之複合結構層能在單一次的蝕刻製程中形成，故可節省製程中所預留的對位誤差空間，故可有效降低周邊區的寬度。
本發明之部分實施方式中，將光學功能層製作於基板的另一側面(相對於觸控感應電極)，可構成同時具有觸控功能與光學功能的高整合性產品。
本發明之部分實施方式中，所述的製程可結合卷對卷生產技術，進行連續式、大量批次進行單面/雙面電極結構的觸控面板之製作。
雖然本發明已以多種實施方式揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何熟習此技藝者，在不脫離本發明之精 神和範圍內，當可作各種之更動與潤飾，因此本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。
110‧‧‧基板
120‧‧‧周邊線路
VA‧‧‧顯示區
PA‧‧‧周邊區
TE1‧‧‧第一觸控感應電極
D1‧‧‧第一方向
D2‧‧‧第二方向
140A‧‧‧第一金屬奈米線層
PT1‧‧‧第一周邊線路
PT2‧‧‧第二周邊線路

Claims (20)

  1. 一種觸控面板，具有一顯示區與一周邊區，包含：一基板；一第一觸控感應電極，設置於該基板的一第一表面，並位於該顯示區，該第一觸控感應電極包括圖案化後的一第一金屬奈米線層的一第一部分；一第一周邊線路與一第二周邊線路，設置於該基板的該第一表面，並位於該周邊區，且該第一周邊線路電性連接該第一觸控感應電極，該第一周邊線路與該第二周邊線路包括一導電層及該第一金屬奈米線層的一第二部分，該導電層及該第一金屬奈米線層的該第二部分具有共同蝕刻面；一絕緣層，覆蓋該第一觸控感應電極及該第二周邊線路，其中該絕緣層包含對應該第二周邊線路設置的一導電穿孔；以及一第二觸控感應電極，設置於該絕緣層上，該第二觸控感應電極包括圖案化後的一第二金屬奈米線層，其中該第二觸控感應電極通過該導電穿孔電性連接該第二周邊線路。
  2. 如請求項1所述之觸控面板，其中該第一金屬奈米線層的該第二部分形成於該基板的該第一表面，該導電層形成於該金屬奈米線層的該第二部分上，或者該導電層形成於該基板的該第一表面，該第一金屬奈米線層的該第二部分形成於該導電層的上表面。
  3. 如請求項1所述之觸控面板，其中更包括一底塗層，其設置於該第一金屬奈米線層及/或該第二金屬奈米線層。
  4. 如請求項1所述之觸控面板，其中該觸控面板具有一對所述的第二周邊線路，該絕緣層包含對應該對第二周邊線路設置的一對所述的導電穿孔，該第二觸控感應電極通過該對導電穿孔與該對第二周邊線路電性連接，且在該絕緣層上構成一搭橋結構。
  5. 如請求項1所述之觸控面板，更包括一液晶材料層，形成於該基板上與該第一表面相對的一第二表面。
  6. 如請求項5所述之觸控面板，其中該液晶材料層包括偏光液晶層及/或相位差液晶層。
  7. 一種觸控面板的製作方法，該觸控面板具有一顯示區及一周邊區，該觸控面板的製作方法包括：製作由金屬奈米線所組成的一第一金屬奈米線層於一基板的一第一表面上；製作一導電層於該第一金屬奈米線層上；進行一第一圖案化步驟，包括：圖案化位於該顯示區的該第一金屬奈米線層，並同時圖案化位於該周邊區的該導電 層與該第一金屬奈米線層以形成一第一周邊線路與一第二周邊線路；移除位於該顯示區的該導電層，以暴露出該第一金屬奈米線層經圖案化後所形成的一第一觸控感應電極；製作一絕緣層覆蓋該第一觸控感應電極及該第二周邊線路，其中該絕緣層包含對應該第二周邊線路設置的一導電穿孔；以及製作一第二觸控感應電極於該絕緣層上，該第二觸控感應電極通過該導電穿孔電性連接該第二周邊線路。
  8. 如請求項7所述之觸控面板的製作方法，其中該製作該第二觸控感應電極於該絕緣層上包括：製作由金屬奈米線所組成的一第二金屬奈米線層於該絕緣層上；以及進行一第二圖案化步驟，以圖案化該第二金屬奈米線層形成該第二觸控感應電極。
  9. 如請求項7所述之觸控面板的製作方法，其中該進行第一圖案化步驟包括利用一第一蝕刻液同時蝕刻該導電層與該第一金屬奈米線層。
  10. 如請求項9所述之觸控面板的製作方法，其中該移除位於該顯示區的該導電層包括利用一第二蝕刻液將位於該顯示區的該導電層去除。
  11. 如請求項7所述之觸控面板的製作方法，其中該觸控面板具有一對所述的第二周邊線路，該絕緣層包含對應該對第二周邊線路設置的一對所述的導電穿孔，該第二觸控感應電極通過該對導電穿孔與該對第二周邊線路電性連接，且在該絕緣層上構成一搭橋結構。
  12. 如請求項7所述之觸控面板的製作方法，更包括：形成一液晶材料層於該基板上與該第一表面相對的一第二表面，其中該形成該液晶材料層的方法包括塗佈及印刷。
  13. 如請求項12所述之觸控面板的製作方法，其中該液晶材料層包括偏光液晶層及/或相位差液晶層。
  14. 一種觸控面板的製作方法，該觸控面板具有一顯示區及一周邊區，該觸控面板的製作方法包括：製作一導電層於該基板的一第一表面；移除位於該顯示區的該導電層；製作由金屬奈米線所組成的一第一金屬奈米線層於該基板的該第一表面及該導電層的表面上；進行一第一圖案化步驟，包括：圖案化位於該顯示區的該第一金屬奈米線層以形成一第一觸控感應電極，並同時圖案化位於該周邊區的該導電層與該第一金屬奈米線層以形成一第一周邊線路與一第二周邊線路； 製作一絕緣層覆蓋該第一觸控感應電極及該第二周邊線路，其中該絕緣層包含對應該第二周邊線路設置的一導電穿孔；以及製作一第二觸控感應電極於該絕緣層上，該第二觸控感應電極通過該導電穿孔電性連接該第二周邊線路。
  15. 如請求項14所述之觸控面板的製作方法，其中該製作該第二觸控感應電極於該絕緣層上包括：製作由金屬奈米線所組成的一第二金屬奈米線層於該絕緣層上；以及進行一第二圖案化步驟，以圖案化該第二金屬奈米線層形成該第二觸控感應電極。
  16. 如請求項14所述之觸控面板的製作方法，其中該移除位於該顯示區的該導電層包括利用一第一蝕刻液將位於該顯示區的該導電層去除。
  17. 如請求項16所述之觸控面板的製作方法，其中該進行第一圖案化步驟包括利用一第二蝕刻液同時蝕刻該導電層與該第一金屬奈米線層。
  18. 如請求項14所述之觸控面板的製作方法，其中該觸控面板具有一對所述的第二周邊線路，該絕緣層包含對應該對第二周邊線路設置的一對所述的導電穿孔，該第 二觸控感應電極通過該對導電穿孔與該對第二周邊線路電性連接，且在該絕緣層上構成一搭橋結構。
  19. 如請求項14所述之觸控面板的製作方法，更包括：形成一液晶材料層於該基板上與該第一表面相對的一第二表面，其中該形成該液晶材料層的方法包括塗佈及印刷。
  20. 如請求項19所述之觸控面板的製作方法，其中該液晶材料層包括偏光液晶層及/或相位差液晶層。
TW108117920A 2019-03-22 2019-05-23 觸控面板及其製作方法 TWI726322B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910223160.5A CN111722743A (zh) 2019-03-22 2019-03-22 触控面板及其制作方法
CN201910223160.5 2019-03-22

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW202036251A TW202036251A (zh) 2020-10-01
TWI726322B true TWI726322B (zh) 2021-05-01

Family

ID=69189925

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW108117920A TWI726322B (zh) 2019-03-22 2019-05-23 觸控面板及其製作方法
TW108206526U TWM586818U (zh) 2019-03-22 2019-05-23 觸控面板

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW108206526U TWM586818U (zh) 2019-03-22 2019-05-23 觸控面板

Country Status (5)

Country Link
US (1) US11061501B2 (zh)
JP (1) JP6856793B2 (zh)
KR (1) KR20200113174A (zh)
CN (1) CN111722743A (zh)
TW (2) TWI726322B (zh)

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111722743A (zh) * 2019-03-22 2020-09-29 英属维尔京群岛商天材创新材料科技股份有限公司 触控面板及其制作方法
CN112346602A (zh) * 2019-08-08 2021-02-09 英属维尔京群岛商天材创新材料科技股份有限公司 触控面板及其制作方法
CN112860091A (zh) * 2019-11-26 2021-05-28 英属维尔京群岛商天材创新材料科技股份有限公司 触控面板及其制作方法
CN111029390B (zh) * 2019-12-23 2022-05-27 武汉天马微电子有限公司 一种显示面板、其驱动方法及显示装置
CN113126829B (zh) * 2019-12-31 2023-10-20 宸美（厦门）光电有限公司 触控面板及其制作方法
CN114385018A (zh) * 2020-10-20 2022-04-22 宸美（厦门）光电有限公司 接触结构、电子装置、和制造接触结构的方法
CN114385020B (zh) * 2020-10-21 2024-04-19 宸美（厦门）光电有限公司 触控面板及触控装置
CN114385019A (zh) * 2020-10-21 2022-04-22 宸美（厦门）光电有限公司 触控面板及触控装置
CN114442832A (zh) * 2020-11-04 2022-05-06 宸美（厦门）光电有限公司 触控面板及其制造方法
TWI762042B (zh) * 2020-11-19 2022-04-21 大陸商天材創新材料科技（廈門）有限公司 奈米銀線保護層結構及其製備方法
US11640210B2 (en) 2020-11-27 2023-05-02 Tpk Advanced Solutions Inc. Touch panel and touch device
US11543902B2 (en) 2020-11-27 2023-01-03 Tpk Advanced Solutions Inc. Touch panel and touch device
US20220177717A1 (en) * 2020-12-09 2022-06-09 Tpk Advanced Solutions Inc. Contact structure, electronic device, and method of manufacturing contact structure
US11675448B2 (en) * 2020-12-11 2023-06-13 Tpk Advanced Solutions Inc. Touch panel and method for forming the same
US11513638B2 (en) 2020-12-18 2022-11-29 Cambrios Film Solutions Corporation Silver nanowire protection layer structure and manufacturing method thereof
CN114816134A (zh) * 2021-01-29 2022-07-29 宸美（厦门）光电有限公司 触控感应器及其制造方法
US11474649B2 (en) 2021-03-05 2022-10-18 Tpk Advanced Solutions Inc. Touch sensor and manufacturing method thereof

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2017068744A1 (ja) * 2015-10-21 2017-04-27 凸版印刷株式会社 電極剥離フィルム、電極付きカラーフィルタ基板、およびこれらの製造方法
US9703434B2 (en) * 2013-12-30 2017-07-11 Samsung Display Co., Ltd. Touch sensing device and display device including the same
TW201805793A (zh) * 2016-05-31 2018-02-16 三星顯示器有限公司 顯示裝置
TW201807472A (zh) * 2016-07-29 2018-03-01 南韓商三星顯示器有限公司 顯示裝置
US20180074357A1 (en) * 2016-09-12 2018-03-15 Boe Technology Group Co., Ltd. Touch panel and manufacturing method therefor, display apparatus
TW201816569A (zh) * 2016-07-29 2018-05-01 南韓商三星顯示器有限公司 顯示設備
TWM586818U (zh) * 2019-03-22 2019-11-21 英屬維京群島商天材創新材料科技股份有限公司 觸控面板

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5178590B2 (ja) * 2009-03-09 2013-04-10 株式会社ジャパンディスプレイイースト タッチパネル
CN104007864B (zh) * 2013-02-27 2017-09-12 宸鸿科技(厦门)有限公司 触控面板及其制作方法
CN104049814A (zh) * 2013-03-13 2014-09-17 北京京东方光电科技有限公司 一种触控模组及其制造方法
JP6131165B2 (ja) * 2013-10-09 2017-05-17 富士フイルム株式会社 タッチパネル用積層体
JP6204858B2 (ja) * 2014-03-25 2017-09-27 富士フイルム株式会社 タッチパネルモジュールおよび電子機器
CN203930738U (zh) * 2014-06-12 2014-11-05 宸鸿科技(厦门)有限公司 一种触控面板
JP5878593B2 (ja) * 2014-07-04 2016-03-08 アルプス電気株式会社 入力装置の製造方法
JP5801947B1 (ja) * 2014-09-05 2015-10-28 グンゼ株式会社 タッチパネル
KR102316212B1 (ko) * 2015-04-30 2021-10-22 삼성디스플레이 주식회사 터치 센서 및 이의 제조 방법
KR102414140B1 (ko) * 2015-11-17 2022-06-30 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치 및 이의 제조 방법
JP6676450B2 (ja) * 2016-04-15 2020-04-08 Ｎｉｓｓｈａ株式会社 タッチセンサ及びタッチセンサの製造方法
KR20180079055A (ko) * 2016-12-30 2018-07-10 엘지디스플레이 주식회사 스트레처블 터치 스크린, 이의 제조 방법 및 이를 이용한 표시 장치
WO2018180938A1 (ja) * 2017-03-30 2018-10-04 シャープ株式会社 表示装置、及び、表示装置の製造方法
CN112346602A (zh) * 2019-08-08 2021-02-09 英属维尔京群岛商天材创新材料科技股份有限公司 触控面板及其制作方法

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9703434B2 (en) * 2013-12-30 2017-07-11 Samsung Display Co., Ltd. Touch sensing device and display device including the same
WO2017068744A1 (ja) * 2015-10-21 2017-04-27 凸版印刷株式会社 電極剥離フィルム、電極付きカラーフィルタ基板、およびこれらの製造方法
TW201805793A (zh) * 2016-05-31 2018-02-16 三星顯示器有限公司 顯示裝置
TW201807472A (zh) * 2016-07-29 2018-03-01 南韓商三星顯示器有限公司 顯示裝置
TW201816569A (zh) * 2016-07-29 2018-05-01 南韓商三星顯示器有限公司 顯示設備
US20180074357A1 (en) * 2016-09-12 2018-03-15 Boe Technology Group Co., Ltd. Touch panel and manufacturing method therefor, display apparatus
TWM586818U (zh) * 2019-03-22 2019-11-21 英屬維京群島商天材創新材料科技股份有限公司 觸控面板

Also Published As

Publication number Publication date
JP6856793B2 (ja) 2021-04-14
KR20200113174A (ko) 2020-10-06
US11061501B2 (en) 2021-07-13
CN111722743A (zh) 2020-09-29
US20200301557A1 (en) 2020-09-24
TWM586818U (zh) 2019-11-21
TW202036251A (zh) 2020-10-01
JP2020155119A (ja) 2020-09-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI726322B (zh) 觸控面板及其製作方法
TWI732161B (zh) 觸控面板及其製作方法
TWI734196B (zh) 觸控面板、其製作方法與觸控感測器卷帶
TWM594737U (zh) 電極結構及其觸控面板
TWI788640B (zh) 觸控面板及其製作方法
US11249605B2 (en) Touch panel and manufacturing method thereof
TWI749832B (zh) 蝕刻液、觸控面板及其製作方法
TWI749630B (zh) 觸控面板及其製作方法
US11630541B2 (en) Touch panel and manufacturing method thereof
US20140232957A1 (en) Touch panel device and method for manufacturing the same
TWI743883B (zh) 觸控面板及其製作方法
TWM599944U (zh) 觸控面板
TWM604962U (zh) 觸控面板及其裝置
TWI760092B (zh) 觸控感應器及其製造方法
CN210955009U (zh) 触控面板
US20210200383A1 (en) Etching solution, touch panel and manufacturing method thereof
US20220301739A1 (en) Optically consistent transparent conductor and manufacturing method thereof
TW202234425A (zh) 光學一致透明導體及其製造方法
TW202206990A (zh) 觸控面板及其裝置
TWM606042U (zh) 觸控面板及其裝置