TWI716730B - 用於生物或化學分析之設備及其使用方法 - Google Patents

用於生物或化學分析之設備及其使用方法 Download PDF

Info

Publication number
TWI716730B
TWI716730B TW107131236A TW107131236A TWI716730B TW I716730 B TWI716730 B TW I716730B TW 107131236 A TW107131236 A TW 107131236A TW 107131236 A TW107131236 A TW 107131236A TW I716730 B TWI716730 B TW I716730B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
biological
chemical analysis
circuit
sensor
analysis according
Prior art date
Application number
TW107131236A
Other languages
English (en)
Other versions
TW201934199A (zh
Inventor
達倫 席蓋爾
光海 陳
保羅 克里夫利
Original Assignee
美商伊路米納有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 美商伊路米納有限公司 filed Critical 美商伊路米納有限公司
Publication of TW201934199A publication Critical patent/TW201934199A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI716730B publication Critical patent/TWI716730B/zh

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L1/00—Enclosures; Chambers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
    • B01L3/50—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
    • B01L3/502—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures
    • B01L3/5027—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip
    • B01L3/502715—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip characterised by interfacing components, e.g. fluidic, electrical, optical or mechanical interfaces
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
    • B01L3/50—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
    • B01L3/502—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures
    • B01L3/5027—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip
    • B01L3/502707—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip characterised by the manufacture of the container or its components
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C12—BIOCHEMISTRY; BEER; SPIRITS; WINE; VINEGAR; MICROBIOLOGY; ENZYMOLOGY; MUTATION OR GENETIC ENGINEERING
    • C12Q—MEASURING OR TESTING PROCESSES INVOLVING ENZYMES, NUCLEIC ACIDS OR MICROORGANISMS; COMPOSITIONS OR TEST PAPERS THEREFOR; PROCESSES OF PREPARING SUCH COMPOSITIONS; CONDITION-RESPONSIVE CONTROL IN MICROBIOLOGICAL OR ENZYMOLOGICAL PROCESSES
    • C12Q1/00—Measuring or testing processes involving enzymes, nucleic acids or microorganisms; Compositions therefor; Processes of preparing such compositions
    • C12Q1/68—Measuring or testing processes involving enzymes, nucleic acids or microorganisms; Compositions therefor; Processes of preparing such compositions involving nucleic acids
    • C12Q1/6813—Hybridisation assays
    • C12Q1/6834—Enzymatic or biochemical coupling of nucleic acids to a solid phase
    • C12Q1/6837—Enzymatic or biochemical coupling of nucleic acids to a solid phase using probe arrays or probe chips
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J19/0046—Sequential or parallel reactions, e.g. for the synthesis of polypeptides or polynucleotides; Apparatus and devices for combinatorial chemistry or for making molecular arrays
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00274—Sequential or parallel reactions; Apparatus and devices for combinatorial chemistry or for making arrays; Chemical library technology
    • B01J2219/00718—Type of compounds synthesised
    • B01J2219/0072—Organic compounds
    • B01J2219/0074—Biological products
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2200/00—Solutions for specific problems relating to chemical or physical laboratory apparatus
    • B01L2200/06—Fluid handling related problems
    • B01L2200/0647—Handling flowable solids, e.g. microscopic beads, cells, particles
    • B01L2200/0663—Stretching or orienting elongated molecules or particles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2200/00—Solutions for specific problems relating to chemical or physical laboratory apparatus
    • B01L2200/06—Fluid handling related problems
    • B01L2200/0689—Sealing
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2200/00—Solutions for specific problems relating to chemical or physical laboratory apparatus
    • B01L2200/16—Reagents, handling or storing thereof
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2300/00—Additional constructional details
    • B01L2300/06—Auxiliary integrated devices, integrated components
    • B01L2300/0627—Sensor or part of a sensor is integrated
    • B01L2300/0663—Whole sensors
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2300/00—Additional constructional details
    • B01L2300/08—Geometry, shape and general structure
    • B01L2300/0887—Laminated structure
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2400/00—Moving or stopping fluids
    • B01L2400/06—Valves, specific forms thereof
    • B01L2400/0633—Valves, specific forms thereof with moving parts
    • B01L2400/0655—Valves, specific forms thereof with moving parts pinch valves
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L9/00—Supporting devices; Holding devices
    • B01L9/52—Supports specially adapted for flat sample carriers, e.g. for plates, slides, chips
    • B01L9/527—Supports specially adapted for flat sample carriers, e.g. for plates, slides, chips for microfluidic devices, e.g. used for lab-on-a-chip

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Clinical Laboratory Science (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Hematology (AREA)
  • Zoology (AREA)
  • Wood Science & Technology (AREA)
  • Proteomics, Peptides & Aminoacids (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Bioinformatics & Cheminformatics (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Biotechnology (AREA)
  • Biophysics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Microbiology (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Genetics & Genomics (AREA)
  • Apparatus Associated With Microorganisms And Enzymes (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
  • Automatic Analysis And Handling Materials Therefor (AREA)
  • Prostheses (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

將具有用於外部電連接的電互連部的電路和在管芯上的感測器(一或多個)與層疊歧管組合，以在感測器(一或多個)的活性表面上輸送液體試劑。層疊歧管包括流體通道(一或多個)以及介於管芯和流體通道(一或多個)之間的被密封的介面。本發明還揭示一種方法，該方法包括組裝具有流體通道(一或多個)的層疊歧管、將管芯上的感測器(一或多個)附接到電路、使該電路包括電互連部、將平坦化層附接到電路等步驟，其中平坦化層包括用於管芯的切口。該方法進一步包括將密封粘接劑置於管芯的側部、將層疊歧管附接到電路、將介於管芯和流體通道(一或多個)之間的介面密封等步驟。

Description

用於生物或化學分析之設備及其使用方法
本發明涉及用於生物或化學分析的具有層疊歧管的試劑盒，及相關組裝方法。
目前用於生物或化學分析的試劑盒不能以高效的方式處理液體試劑。例如，從試劑存放區域經常規歧管到管芯的流體路徑太長，該管芯包括半導體感測器(一或多個)。這種結構會拖慢分析且造成大量洗滌試劑用於每一個迴圈。
因此，需要更高效的流體路徑設計。
通過在一個態樣提供一種設備可克服現有技術方法的缺點，且提供額外優點。該設備包括電路和在聯接到電路的管芯上的至少一個感測器，電路包括用於外部電連接的電互連部，和附接到電路的層疊歧管，以在至少一個感測器的活性表面上方輸送液體試劑，層疊歧管包括至少一個流體通道，在管芯和至少一個流體通道之間的介面被密封。
根據另一態樣，提供一種方法。方法組裝層疊歧管，該層疊歧管包括至少一個流體通道，將管芯上的至少一個感測器附接到電路，該電路包 括電互連部，和將平坦化層附接到電路，該平坦化層包括用於管芯的切口。方法進一步包括將密封粘接劑置於管芯的側部，將層疊歧管附接到電路，和將管芯和至少一個流體通道之間的介面密封，該層疊歧管和經附接的電路一起構成一元件。
100:試劑盒
102:試劑轉動器
103:流體開口/入口
104:試劑盒本體
105:流體開口
106:層疊歧管
107:泵
108:電路
109:無源電子器件
110:電互連部
111:夾閥
112:封蓋層
114:粘接層
115:流體路徑
116:流體分配層
117:通道
118:粘接層
119:流動單元
120:基板層
121:孔
122:粘接層
123:開口
124:平坦化層
125:開口
126:連結層
130:連結層
132:切口
134:感測器
136:流動單元通道
138:活性表面
140:管芯
141:介面
142:密封區域
144:橋接粘接劑
146:結構粘接劑
148:引線連結部
150:引線連結部包封件
152:線
156:流動線
從針對附圖做出的各種態樣的以下詳細描述可理解本發明的這些和其他目的、特徵和優點，其中：圖1是根據本發明的一或多個態樣的試劑盒的一個例子的立體圖，該試劑盒具有感測器和層疊歧管，可用於例如生物或化學分析。
圖2是根據本發明的一或多個態樣的圖1的層疊歧管的一個例子的分解視圖，顯示了層疊歧管的各個層。
圖3是根據本發明的一或多個態樣的與層疊歧管和電路有關的感測器的一個例子的立體圖。
圖4是根據本發明的一或多個態樣的經過圖3的線截取的感測器區域截面的一個例子的立體圖。
圖5-10顯示了構成圖1的試劑盒的各階段。圖5是根據本發明的一或多個態樣的電路的一個例子的立體圖，感測器與該電路附接。
圖6根據本發明的一或多個態樣顯示了例如經由使用包括壓敏粘接劑的連結層將平坦化層附接到圖5的電路。
圖7根據本發明的一或多個態樣顯示了將橋接粘接劑分配到圖6的結構並使其固化。
圖8根據本發明的一或多個態樣顯示例如經由包括壓敏粘接劑的連結層(圖2)將層疊歧管(例如針對圖2所述)附接到圖7的電路的一個例 子。
圖9根據本發明的一或多個態樣顯示了形成與圖8連結的引線的一個例子，將引線連結部包封並附接流動單元通道。
圖10根據本發明的一或多個態樣顯示了將圖9的結構連接到試劑轉動器和試劑盒本體的一個例子。
參考附圖示出的非限制性例子在下文更完整地解釋本發明的一些態樣和其某些特徵、優點和細節。公知材料、製造工具、處理技術等的描述被省略，以便不會不必要地妨礙相關細節。但是，應該理解，詳細描述和具體例子儘管顯示了本發明的一些態樣但是僅是通過例子給出的，而不是限制性的。本領域技術人員從本發明可以在下文的本發明原理的精神和/或範圍內得知各種替換、修改、添加和/或配置。
在說明書和申請專利範圍中使用的近似性語言可以用於修飾任何定量表示，其可允許改變而不會造成與之相關的基本功能的改變。因而，被例如“約”或“基本上”這樣的一或多個術語修飾的值並不限於具體給出的精確值。在一些情況下，近似性語言可以對應於用於測量該值的儀器精確度。
本文使用的術語目的僅是描述具體例子而不是限制性的。如在本文使用的，單數形式“一”和“該”目的是也包括複數形式，除非在上下文清楚地有其他表示。進一步應理解，術語“包括”(和任何形式的包括)、“具有”(和任何形式的具有)、“包含”(和任何形式的包含)、以及含有(和任何形式的含有)是開放性術語。因此，“包括”、“具有”、“包含”或“含有”一或多個步驟或元件的方法或裝置擁有該一或多個步驟或元件，但不限於僅擁有該一或多個步驟或元件。同樣，“包括”、“具有”、“包含” 或“含有”一或多個特徵的方法步驟或裝置元件擁有該一或多個特徵，但不限於僅擁有該一或多個特徵。進而，以一定方式配置的裝置或結構是至少以該範式配置的，但是也可以以未列出的方式配置。
如在本文使用的，術語“連接”在用於兩個物理元件時是指兩個物理元件之間的直接連接。但是，術語“聯接”可意味著直接連接或通過一或多個中間元件連接。
如在本文使用的，術語“可以”和“可”表明：一組情況中的發生可能性；特定性質、特性或功能的存在；和/或通過表明與修飾動詞關聯的一或多個能力或可能性而修飾另一動詞。因而，使用“可以”和“可”表明修飾的術語顯然適合、能或適用於所指出的能力、功能或用途，同時表明在一些情況下修飾術語可能不適合、能或適用。例如，在一些情況下，事件或能力是可期的，而在其他情況下事件或能力不能發生──這種區別是通過術語“可以”和“可”限定的。
如在本文使用的，除非另有說明，近似性術語“約”、“基本上”等用於數值，例如測量值、尺寸等，意味著存在該數值的正負百分之十的可能變化。
如在本文使用的，術語“連結”表示使用粘接劑或連結劑通過加熱過程或壓力將兩物體牢固地連在一起。如在本文使用的，術語“附接”是指使用或不使用緊固件(例如螺紋件、粘接劑或連結劑等)將兩物體連在一起。由此，術語“連結”是術語“附接”的下位概念。
對附圖做出以下參考，為了便於理解，附圖未按比例繪製，其中相同附圖標記在不同圖中表示相同或相似部件。
本發明涉及生物或化學分析，且更具體，涉及具有連接到層疊歧管(laminated manifold)的感測器(一或多個)的電路，用於將液體試劑高 效輸送到感測器(一或多個)的活性表面。
圖1是試劑盒(cartridge)100的一個例子，其例如可以用於生物或化學分析。在一個例子中，試劑盒可以實現測序，例如DNA測序，例如合成測序(sequencing-by-synthesis)或下一代測序(也稱為高通量測序)。在另一例子中，試劑盒可以用於實現基因分型(genotyping)。本領域技術人員應知，基因分型涉及通過使用生物測定來檢查個體的DNA序列並將其與另一個體的序列或參考序列比較，從而確定個體遺傳組合(基因型)中的差異。試劑盒(其可以是可消耗或可再次使用的)包括試劑轉動器(reagent rotor)102、試劑盒本體104(具有在試劑盒本體內部的泵107)、用於輸送試劑的層疊歧管106、和電路108，該電路具有用於試劑盒的各種功能的無源電子器件109和用於外部電連接的電互連部110。根據本發明的一或多個態樣，層疊歧管用於將液體試劑輸送到感測器(圖2中的134)的活性表面。雖然該例子中的泵在試劑盒內部，但是應理解泵可以替代地存在於試劑盒的表面上或在試劑盒的外部。
從存放部(該例子中的轉動器102)而來的試劑的流體流動經由泵107啟動。泵從轉動器抽取液體試劑，通過層疊歧管106並通過流體開口103達到感測器(圖2的134)的活性表面(圖3的138)上方的流動單元119。液體試劑離開流動單元達到類似臂狀的枝狀部(通道117)。液體試劑通過例如位於試劑盒底部的夾閥(pinch valve)111的陣列返回到泵。夾閥可以是常閉的，使得在泵吸入時哪一個夾閥打開將決定枝狀部的哪一個臂用於返回。從通道117而來的任何多餘流體通過流體路徑115和流體開口105返回到泵。微流控泵保持試劑(一種或多種)流動通過試劑盒，以用於傳感。在一個例子中，泵採取自吸式微泵(self-priming micro-pump)的形式。
感測器的功能(一或多個)的非限制性例子例如包括，光傳感(例如具有預定的被傳感波長範圍)，檢測一種或多種物質(例如生物或化學 物質)的存在，和檢測某物的濃度變化(例如離子濃度)。感測器例如可以是基於半導體(例如積體電路)的，其各種裝置可以是平面或非平面的(例如是基於鰭式場效電晶體(FinFET)的)。在一個例子中，感測器可以是CMOS(互補金屬氧化物半導體)圖像感測器。本領域技術人員應理解，CMOS圖像感測器的電路包括無源電子元件，例如時鐘和定時產生電路，類比-數位轉換器等，以及光電檢測器陣列(用於將光子(光)轉換為電子，其隨後被轉換為電壓)。在另一例子中，感測器可以是CCD(電荷耦合裝置)，另一類型的圖像感測器。
如本領域技術人員應理解的，“CMOS”是指用於製造積體電路的技術。如在本文使用的，“CMOS感測器”和“CMOS圖像感測器”是指使用CMOS技術製造的感測器。名字中的“互補”態樣是指在使用CMOS技術製造的積體電路(IC)中包含n型和p型金屬氧化物半導體場效應管(MOSFET)。每一個MOSFET具有帶柵極電介質的金屬柵極，例如氧化物(因此，是名字中的“金屬氧化物”部分)和在柵極下方的半導體材料(對應於名字中的“半導體”)。IC被製造在管芯(die)上，其是在製造之後被切出的半導體基底或晶片的一部分，且使用CMOS技術製造的IC特徵在於，例如，高雜訊免疫性和低靜態功率消耗(電晶體中之一總是關閉的)。
在一個例子中，CMOS圖像感測器例如可以包括數百萬光電檢測器，也稱為圖元。每一個圖元包括從光蓄積電荷的光電感測器、將蓄積的電荷轉換為電壓的放大器、和圖元選擇開關。每一個圖元例如也可以包括單獨微透鏡以捕捉更多的光，或具有其他增強器件以改善圖像，例如雜訊減少。
將提供使用CMOS技術製造半導體裝置的一個製造例子。例如以p型半導體基底開始，NMOS區域可以被保護，而n型阱(n-type well)形成在PMOS區域中。這可以例如使用一或多個版印刷過程實現。薄柵極氧化物和柵 極(例如多晶矽)可以隨後形成在NMOS和PMOS區域中。N+型摻雜物區域可以在偽柵極(dummy gate)的任一側上形成在NMOS區域的p型基底中(即形成源極和漏極)，且在PMOS區域中形成作為本體(這裡是阱)接觸部的n+型摻雜物的一個區域。這例如可以使用掩膜實現。掩膜和摻雜的同一過程可以隨後用於在PMOS區域中形成源極和漏極，並在NMOS區域中形成本體接觸部(body contact)。隨後可以執行金屬化操作，以形成接到NMOS和PMOS電晶體的各區域(即本體、源極、漏極和柵極)的端子。不同於CCD，CMOS圖像感測器可以以很小直至零的額外成本在同一晶片上包括其他電路，在晶片上提供例如圖像穩定和圖像壓縮的功能。
圖2是圖1的層疊歧管106的一個例子的分解視圖。層疊包括封蓋層112，其例如可以是聚合物膜(例如聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)或聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA))，且在一個例子中可以具有例如約100微米到約700微米的厚度，而在另一例子中可以具有約100微米到約400微米的厚度。層疊歧管還包括用於分配液體試劑(一種或多種)的流體分配層116，其在一個例子中可以具有例如約200微米到約1000微米的厚度，而在另一例子中可以具有約300微米到約700微米的厚度。流體分配層116例如可以是具有低自體螢光或沒有自體螢光的材料，例如薄塑膠膜或玻璃。用於層116的材料的非限制性例子包括：PMMA，例如可從新澤西帕西波尼的Evonit Corporation商購；磷化鉻(CoP)膜，例如可從加利福尼亞洛杉磯的American Elements商業可獲得；環烯烴共聚物(COC)，例如可從肯塔基州路易斯維爾的Zeon Chemicals L.P.商購；和硼矽酸鹽玻璃，例如可從紐約州埃爾姆斯福德的Schott North America Inc.商購。通過層116限定用於大塊或相對稠的流體的流體路徑通過通道117。通道大小設置為以低阻力實現的流體流動，例如具有約0.25mm到約1mm的寬度。在封蓋層和流體分配層之間的是粘接層114，其在一個例子中可以具有約20微米 到約50微米的厚度，而在另一例子中具有約25微米的厚度。在一個例子中，粘接層可以包括壓敏粘接劑，用於在壓力下牢固地將層直接附接在壓敏粘接劑的上方和下方。層114的粘接劑的非限制性例子包括丙烯酸或矽樹脂粘接劑。壓敏粘接劑例如可以是單面粘接帶的一部分，其例如可以包括在其上具有粘接劑的剛性塑膠襯裡(例如PET)。這種粘接帶例如可從明尼蘇達州聖保羅的3M公司或從賓夕法尼亞的洛克穀的Adhesives Research Inc.商購。本領域技術人員應理解，壓敏粘接劑在壓力下時形成連結，而不需要溶劑、水或熱。
圖2的層疊歧管進一步包括基板層120，且基板層可以包括孔121，以及層118和122，所述層與層116中的開口123和125重疊，允許試劑(一種或多種)從層116中的通道到達感測器的活性表面(圖3的138)。在一個例子中，開口的尺寸類似於通道。基板層可以具有一厚度，該厚度例如在一個例子中為約50微米到約70微米，而另一例子中為約60微米。基板層120例如可以是聚合物膜(例如PET或PMMA)。在感測器上方的流體流動從流體分配層的通道中的相對稠的流動轉變為相對稀的流體流動，這提供了對流體的高效使用。在感測器上方的流體路徑通過圖4中的流動線156顯示。在一個例子中，僅經過感測器上方的流體的化學反應(例如螢光反應)可以被用戶觀察到。在流體分配層和基板層之間的是粘接層118，其在一個例子中可以具有例如約20微米到約50微米的厚度，而在另一例子中具有約25微米的厚度。在一個例子中，層118可以可以包括壓敏粘接劑，用於在壓力下牢固地將層直接附接在壓敏粘接劑的上方和下方。層118的粘接劑的非限制性例子包括丙烯酸或矽樹脂粘接劑。壓敏粘接劑例如可以是雙面粘接帶的一部分，其例如可以包括在其上具有粘接劑的剛性塑膠襯裡(例如PET)。這種粘接帶可商購，如上所述。根據本發明的一或多個態樣，該結構進一步包括平坦化層(planarizatioh layer)124，以為層疊歧管提供支撐並為電路108提供均勻表面，其例如在一個例子中可以 具有約500微米到約700微米的厚度，而在另一例子中具有約600微米的厚度。在一個例子中，平坦化層與管芯具有大約相同的厚度。在一個例子中，平坦化層124的材料包括擠出塑膠，例如PET、聚丙烯或聚碳酸脂。基板層120和平坦化層124之間的是粘接層122，其在在一個例子中例如可以具有約20微米到約50微米的厚度，而在另一例子中可以具有約25微米的厚度。在一個例子中，層122可以可以包括壓敏粘接劑，用於在壓力下牢固地將層直接附接在壓敏粘接劑的上方和下方。層122的粘接劑的非限制性例子包括丙烯酸或矽樹脂粘接劑。壓敏粘接劑例如可以是雙面粘接帶的一部分，其例如可以包括在其上具有粘接劑的剛性塑膠襯裡(例如PET)。這種粘接帶可商購，如上所述。
層疊歧管106可以例如經由連結層126連結到電路108，該連結層例如可以包括壓敏粘接劑，其在一個例子中例如約50微米到約70微米的厚度，而在另一例子中具有約60微米的厚度。層126的粘接劑的非限制性例子包括丙烯酸或矽樹脂粘接劑。壓敏粘接劑例如可以是單面粘接帶的一部分，其例如可以包括在其上具有粘接劑的剛性塑膠襯裡(例如PET)。這種粘接帶可商購，如上所述。電路可以是可撓的或剛性的(例如PCB板)且在一個例子中例如具有約200微米到約300微米的厚度，而在另一例子中具有約250微米的厚度。
平坦化層124和連結層126包括用於電路上的感測器134的切口132，使得在試劑接觸活性表面時活性表面(圖3的138)可以基本上與層疊歧管共面。最後，電路經由連結層130連結到試劑盒本體104，其可以包括壓敏粘接劑且在一個例子中例如可以具有約50微米到約150微米的厚度，而在另一例子中具有約100微米的厚度。層130的粘接劑的非限制性例子包括丙烯酸或矽樹脂粘接劑。壓敏粘接劑例如可以是雙面粘接帶的一部分，其例如可以包括在其上具有粘接劑的剛性塑膠襯裡(例如PET)。這種粘接帶可商購，如上所述。
圖3是與層疊歧管106和電路108有關的感測器134的一個例子的 立體圖。感測器的活性表面和圍繞感測器且在感測器上方的層疊歧管結構(即圖2的流體分配層116)(在該處引入試劑(一種或多種))構成流動單元。流動單元通道136將液體試劑(一種或多種)輸送到位於管芯140上的感測器(一或多個)的活性表面138，且隨後將液體試劑(一種或多種)攜帶離開感測器。物質(一種或多種)(例如生物或化學物質(一種或多種))可以被引入到用於通過感測器的活性表面進行晶片上傳感的空間中。在基於半導體的情況下，感測器可以被製造在矽基底(例如矽晶片)上，其在從矽晶片切割時成為管芯。管芯的厚度取決於矽晶片的尺寸(直徑)。例如，具有51mm直徑的標準矽晶片可以具有約275微米的厚度，而具有300mm直徑的標準矽晶片可以具有約775微米的厚度。如在本文使用的，感測器(一或多個)的活性區域是指將接觸試劑(一種或多種)以用於傳感的感測器表面。在管芯上可以存在多於一個的感測器，且不同感測器可以被包括在同一管芯上。流動單元通道例如可以包括矽酸鹽玻璃(例如鋁矽酸鹽玻璃)。在密封區域142密封管芯。在一個例子中，根據本發明的一或多個態樣，每一個密封區域例如包括橋接粘接劑144、結構粘接劑146和例如使用金線的引線連結部(wire bonding)148，其被引線連結部包封件150覆蓋。管芯可以通過粘接劑附接到電路108，粘接劑例如是分散型紫外光固化粘接劑(dispersed ultraviolet-curable adhesive)或壓敏粘接帶(例如丙烯酸或矽粘接劑)。電路和感測器之間的電連接可以以多種方式實現，例如低溫引線連結部，其防止管芯暴露至高溫。引線連結部是相對小的且可以是經超聲焊接的線，其實現感測器和電路之間的電連接。這些電連接可以例如被分散在所述線上的粘接劑(例如紫外光(UV)固化粘接劑)保護，其在被UV光固化並轉變為固體形式時完全包封所述線。可商購的UV固化粘接劑例如可以從康涅狄格州的托靈頓的Dymax Corporation獲得。管芯140和歧管的流體通道之間的介面141被密封，使得感測器的活性表面接觸層疊歧管中的流 體(一種或多種)，同時讓液體與電路的電互連部和其他態樣(其在導電液體存在的情況下可能會短路)隔離。
圖4是經過圖3的線152截取的感測器區域的截面的一個例子的立體圖。根據本發明的一或多個態樣，如所示的，來自試劑貯存器(例如在如圖1所示的試劑轉動器102中)的入口103經由泵(圖1的107)的力將試劑分配到流動管線156，流動管線連接到感測器的活性表面138上方的流動單元通道136。
圖5-10顯示了構造圖1的試劑盒100的各階段。圖5是根據本發明的一或多個態樣的與之附接了(例如連結在一起)感測器134的電路108的一個例子的立體圖。
圖6顯示根據本發明的一或多個態樣例如通過使用連結層126將平坦化層124附接到圖5的電路108。
圖7顯示了根據本發明的一或多個態樣將橋接粘接劑144分配到圖6的結構並使其固化。
圖8顯示根據本發明的一或多個態樣例如經由使用連結層122(圖2)將層疊歧管106(例如針對圖2所述)附接到圖7的電路108上的平坦化層124的一個例子。
根據本發明的一或多個態樣，圖9顯示了圖8的引線連結部148的一個例子，例如是低溫引線連結部，例如經由引線連結部包封件150包封該引線連結部，並附接流動單元通道136，該流動單元通道是在感測器相反側上的流體路徑的V-形延伸部，用於將試劑(一種或多種)輸送到感測器的活性表面以用於傳感。引線連結部可以包括金屬，例如鋁、銅、銀或金。
根據本發明的一或多個態樣，圖10了顯示例如通過使用連結層130(圖2)進行連結而將圖9的結構附接到試劑轉動器102和試劑盒本體104的 一個例子，該連結層130可以包括粘接劑(例如之前所述的壓敏粘接劑)。
在第一態樣，上文公開了一種設備。該設備包括電路和在附接到電路的管芯上的感測器(一或多個)，電路包括用於外部電連接的電互連部，和附接到電路的層疊歧管，以將液體試劑輸送到感測器(一或多個)的活性表面上方，層疊歧管包括流體通道(一或多個)，在管芯和流體通道(一或多個)之間的介面被密封。
在一個例子中，感測器(一或多個)例如可以包括半導體。在另一例子中，感測器(一或多個)可以例如採取互補金氧半導體(CMOS)感測器(例如CMOS圖像感測器)的形式。
在一個例子中，第一態樣的設備中的層疊歧管例如可以包括多個層，其例如可以包括頂部封蓋層、流體分配層、基板層和底部平坦化層。在一個例子中，電路例如可以連結平坦化層，且平坦化層例如可以具有的厚度約為感測器(一或多個)和管芯的總厚度。
在一個例子中，壓敏粘接劑例如可以在層疊歧管的多個層的鄰近層之間。
在一個例子中，層疊歧管的鄰近層例如可以經由緊固件或螺紋件機械地連接。
在一個例子中，第一態樣的設備例如可以是試劑盒的一部分，例如是用於生物分析的試劑盒。
在一個例子中，第一態樣的設備例如可以是試劑盒的一部分，例如是用於化學分析的試劑盒。
在一個例子中，第一態樣的設備例如可以是試劑盒的一部分，且試劑盒例如可以進一步包括聯接到層疊歧管的試劑存放和輸送系統，以及試劑盒本體和聯接到試劑存放和輸送系統的試劑泵。
在一個例子中，第一態樣的設備中的層疊歧管例如可以具有用於管芯的切口(一或多個)。在一個例子中，管芯例如可以是引線連結到電路。
在一個例子中，在第一態樣的設備使用時，可以例如經由層疊歧管在感測器(一或多個)的活性表面上方輸送試劑。在一個例子中，僅感測器(一或多個)的活性表面(一或多個)暴露至試劑。
在第二態樣，上文公開了一種方法。方法包括組裝層疊歧管，層疊歧管包括流體通道(一或多個)，將具有感測器(一或多個)的管芯附接到電路，該電路包括電互連部。方法進一步包括將平坦化層附接到電路，該平坦化層包括用於管芯的切口，將密封粘接劑置於管芯的側部，將層疊歧管附接到電路，且將管芯和流體通道(一或多個)之間的介面密封，層疊歧管和經附接的電路一起成為一元件。
在一個例子中，方法例如可以進一步包括將元件附接到試劑盒。
在一個例子中，在第二態樣的方法中組裝層疊歧管例如可以包括層疊一些層，且層例如可以包括頂部封蓋層、流體分配層、基板層、和底部平坦化層。在一個例子中，層疊例如可以包括在鄰近層之間使用粘接劑(例如壓敏粘接劑)。
在一個例子中，第二態樣的方法例如可以進一步包括使用元件進行測序。
在一個例子中，第二態樣的方法例如可以進一步包括使用元件進行基因分型。
儘管已經在本文描述並顯示了本發明的幾個態樣，但是本領域技術人員可以理解替換的態樣以實現相同目的。因而，所附申請專利範圍之目 的是涵蓋所有這種替換態樣。
應理解，前述原理的所有組合(只要這種原理不會互相不一致)應被認為是本文公開的本發明主題的一部分。具體說，在本發明中出現的要求保護的主題的所有組合也被認為是本文公開的本發明主題的一部分。
100:試劑盒
102:試劑轉動器
103:流體開口/入口
104:試劑盒本體
105:流體開口
106:層疊歧管
107:泵
108:電路
109:無源電子器件
110:電互連部
111:夾閥
115:流體路徑
117:通道
119:流動單元

Claims (20)

  1. 一種用於生物或化學分析之設備，其包括：電路和附接到該電路的管芯上的至少一感測器，該電路包括用於外部電連接的電互連部；和層疊歧管，其係附接到該電路，以在該至少一感測器的活性表面的上方輸送液體試劑，該層疊歧管包括至少一流體通道，其中介於該管芯和該至少一流體通道之間的介面係被密封。
  2. 如請求項1所述的用於生物或化學分析之設備，其中該至少一感測器包括半導體。
  3. 如請求項2所述的用於生物或化學分析之設備，其中該至少一感測器包括互補金屬氧化物半導體(CMOS)感測器。
  4. 如請求項1所述的用於生物或化學分析之設備，其中該層疊歧管包括複數個層，該等層包括：頂部封蓋層；流體分配層；基板層；和底部平坦化層。
  5. 如請求項4所述的用於生物或化學分析之設備，其中該電路係連結到該底部平坦化層，且其中該底部平坦化層具有的厚度約為該至少一感測器和管芯的總厚度。
  6. 如請求項4所述的用於生物或化學分析之設備，其中該等層中的鄰近層之間為壓敏(pressure-sensitive)粘接劑。
  7. 如請求項4所述的用於生物或化學分析之設備，其中該等層中的鄰近層係機械性連接。
  8. 如請求項1所述的用於生物或化學分析之設備，其中該設備是用於生物分析的試劑盒的一部分。
  9. 如請求項1所述的用於生物或化學分析之設備，其中該設備是用於化學分析的試劑盒的一部分。
  10. 如請求項1所述的用於生物或化學分析之設備，其中該設備是試劑盒的一部分，且其中該試劑盒進一步包括：試劑存放和輸送系統，其係聯接到該層疊歧管；和試劑盒本體和試劑泵，該試劑泵係聯接到該試劑存放和輸送系統。
  11. 如請求項1所述的用於生物或化學分析之設備，其中該層疊歧管具有用於該管芯的至少一切口。
  12. 如請求項11所述的用於生物或化學分析之設備，其中該管芯被引線連結到該電路。
  13. 如請求項1所述的用於生物或化學分析之設備，其中在使用時，經由該層疊歧管而在該至少一感測器的該活性表面的上方輸送試劑。
  14. 如請求項13所述的用於生物或化學分析之設備，其中僅有該至少一感測器的該活性表面係暴露至該試劑。
  15. 一種用於製造一用於生物或化學分析之設備的方法，其包括：組裝層疊歧管，該層疊歧管包括至少一流體通道；將管芯上的至少一感測器附接到電路，該電路包括電互連部；將平坦化層附接到該電路，該平坦化層包括用於該管芯的切口；將密封粘接劑置於該管芯的側部；將該層疊歧管附接到該電路；和將該管芯和該至少一流體通道之間的介面密封；其中該層疊歧管和被附接的電路共同構成一組件。
  16. 如請求項15所述的用於製造一用於生物或化學分析之設備的方法，進一步包括將該組件附接到試劑盒的步驟。
  17. 如請求項15所述的用於製造一用於生物或化學分析之設備的方法，其中組裝該層疊歧管包括層疊複數個層的步驟，其中該等層包括：頂部封蓋層；流體分配層；基板層；和底部平坦化層。
  18. 如請求項17所述的用於製造一用於生物或化學分析之設備的方法，其中層疊該等層的步驟包括在該等層的鄰近層之間使用壓敏粘接劑。
  19. 如請求項15所述的用於製造一用於生物或化學分析之設備的方法，其進一步包括使用該組件進行測序的步驟。
  20. 如請求項15所述的用於製造一用於生物或化學分析之設備的方法，其進一步包括使用該組件進行基因分型(genotyping)的步驟。
TW107131236A 2018-02-03 2018-09-06 用於生物或化學分析之設備及其使用方法 TWI716730B (zh)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US201862626022P 2018-02-03 2018-02-03
US62/626,022 2018-02-03
NL2020616 2018-03-19
NL2020616A NL2020616B1 (en) 2018-02-03 2018-03-19 Cartridge with laminated manifold
??2020616 2018-03-19

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201934199A TW201934199A (zh) 2019-09-01
TWI716730B true TWI716730B (zh) 2021-01-21

Family

ID=63294175

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW107131236A TWI716730B (zh) 2018-02-03 2018-09-06 用於生物或化學分析之設備及其使用方法

Country Status (18)

Country Link
US (3) US10518263B2 (zh)
EP (1) EP3521455B1 (zh)
JP (1) JP7308754B2 (zh)
KR (1) KR20200117834A (zh)
CN (2) CN209530888U (zh)
AU (1) AU2019215048B2 (zh)
BR (1) BR112019020524B1 (zh)
CA (1) CA3056309A1 (zh)
IL (1) IL269172B2 (zh)
MX (1) MX2019014780A (zh)
NL (1) NL2020616B1 (zh)
PE (1) PE20200275A1 (zh)
PH (1) PH12019502203A1 (zh)
SA (1) SA519410769B1 (zh)
SG (1) SG11201908310XA (zh)
TW (1) TWI716730B (zh)
WO (1) WO2019152677A1 (zh)
ZA (1) ZA201905979B (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL2020616B1 (en) * 2018-02-03 2019-08-14 Illumina Inc Cartridge with laminated manifold

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6772513B1 (en) * 2002-06-27 2004-08-10 Sandia Corporation Method for making electro-fluidic connections in microfluidic devices
CN101213427A (zh) * 2006-02-17 2008-07-02 霍尼韦尔国际公司 超低压力降流动感测器
TWI311061B (en) * 2002-01-15 2009-06-21 Philip Morris Usa Inc Aerosol generator for drug formulation and method for generating an aerosol with the same
TWI330403B (en) * 2003-05-14 2010-09-11 Nantero Inc Sensor platform using a horizontally oriented nanotube element
CN101842668A (zh) * 2007-06-25 2010-09-22 集成感应系统公司 微流体装置及用于微流体装置的微管
TW201400811A (zh) * 2012-03-08 2014-01-01 Chang He Bio Medical Science Yangzhou Co Ltd 用於改進疾病檢測的微器件
CN104034656A (zh) * 2013-03-08 2014-09-10 台湾积体电路制造股份有限公司 可扩展的生物芯片及其制造方法

Family Cites Families (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000146910A (ja) * 1998-09-02 2000-05-26 Sankyo Co Ltd 電気泳動システム
WO2002028532A2 (en) * 2000-10-06 2002-04-11 Protasis Corporation Microfluidic substrate assembly and method for making same
US6827095B2 (en) 2000-10-12 2004-12-07 Nanostream, Inc. Modular microfluidic systems
US6653124B1 (en) * 2000-11-10 2003-11-25 Cytoplex Biosciences Inc. Array-based microenvironment for cell culturing, cell monitoring and drug-target validation
JP3985454B2 (ja) * 2001-01-19 2007-10-03 株式会社日立製作所 電気泳動装置
US6786708B2 (en) * 2002-07-18 2004-09-07 The Regents Of The University Of Michigan Laminated devices and methods of making same
US20080047836A1 (en) * 2002-12-05 2008-02-28 David Strand Configurable Microfluidic Substrate Assembly
AU2003302264A1 (en) 2002-12-20 2004-09-09 Biotrove, Inc. Assay apparatus and method using microfluidic arrays
CA3171720C (en) 2002-12-26 2024-01-09 Meso Scale Technologies, Llc. Methods for conducting electrochemiluminescence measurements
US7246524B1 (en) * 2005-05-02 2007-07-24 Sandia Corporation MEMS fluidic actuator
US8293524B2 (en) * 2006-03-31 2012-10-23 Fluxion Biosciences Inc. Methods and apparatus for the manipulation of particle suspensions and testing thereof
US7491145B2 (en) 2006-06-19 2009-02-17 Magna Powertrain Usa, Inc. Dynamic traction control system
US7737392B2 (en) * 2006-11-09 2010-06-15 The Board Of Trustees Of The University Of Illinois Photonic crystal sensors with integrated fluid containment structure, sample handling devices incorporating same, and uses thereof for biomolecular interaction analysis
US8173080B2 (en) * 2008-02-14 2012-05-08 Illumina, Inc. Flow cells and manifolds having an electroosmotic pump
WO2010148252A1 (en) 2009-06-17 2010-12-23 Jody Vykoukal Method and apparatus for quantitative microimaging
EP2488366B1 (en) 2009-10-12 2018-09-05 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Laminate manifolds for mesoscale fluidic systems
CN102762289B (zh) 2009-12-18 2016-08-03 艾博特健康公司 生物流体分析卡盒
EP2490005A1 (en) * 2011-02-18 2012-08-22 Koninklijke Philips Electronics N.V. Microfluidic resistance network and microfluidic device
US20120210580A1 (en) * 2011-02-23 2012-08-23 Dietl Steven J Method of assembling an inkjet printhead
US20130044431A1 (en) * 2011-08-18 2013-02-21 Harris Corporation Liquid cooling of stacked die through substrate lamination
US9213043B2 (en) * 2012-05-15 2015-12-15 Wellstat Diagnostics, Llc Clinical diagnostic system including instrument and cartridge
WO2015183871A1 (en) * 2014-05-27 2015-12-03 Illumina, Inc. Systems and methods for biochemical analysis including a base instrument and a removable cartridge
JP6822755B2 (ja) * 2015-04-30 2021-01-27 キヤノンメディカルシステムズ株式会社 核酸検出器および核酸検出カセット
GB201518993D0 (en) * 2015-10-27 2015-12-09 Randox Lab Ltd Improvements relating to analysis of biochips
NL2020616B1 (en) * 2018-02-03 2019-08-14 Illumina Inc Cartridge with laminated manifold

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI311061B (en) * 2002-01-15 2009-06-21 Philip Morris Usa Inc Aerosol generator for drug formulation and method for generating an aerosol with the same
US6772513B1 (en) * 2002-06-27 2004-08-10 Sandia Corporation Method for making electro-fluidic connections in microfluidic devices
TWI330403B (en) * 2003-05-14 2010-09-11 Nantero Inc Sensor platform using a horizontally oriented nanotube element
CN101213427A (zh) * 2006-02-17 2008-07-02 霍尼韦尔国际公司 超低压力降流动感测器
CN101842668A (zh) * 2007-06-25 2010-09-22 集成感应系统公司 微流体装置及用于微流体装置的微管
TW201400811A (zh) * 2012-03-08 2014-01-01 Chang He Bio Medical Science Yangzhou Co Ltd 用於改進疾病檢測的微器件
CN104034656A (zh) * 2013-03-08 2014-09-10 台湾积体电路制造股份有限公司 可扩展的生物芯片及其制造方法

Also Published As

Publication number Publication date
US11565252B2 (en) 2023-01-31
US20190240660A1 (en) 2019-08-08
MX2019014780A (es) 2020-08-03
EP3521455A1 (en) 2019-08-07
PH12019502203A1 (en) 2020-10-05
CN110116026B (zh) 2021-03-23
JP7308754B2 (ja) 2023-07-14
CN110116026A (zh) 2019-08-13
IL269172A (en) 2019-11-28
RU2019128587A3 (zh) 2022-03-03
RU2019128587A (ru) 2022-03-03
US10518263B2 (en) 2019-12-31
CN209530888U (zh) 2019-10-25
CA3056309A1 (en) 2019-08-08
PE20200275A1 (es) 2020-02-04
IL269172B1 (en) 2024-06-01
BR112019020524A2 (pt) 2020-09-01
AU2019215048B2 (en) 2023-05-11
AU2019215048A1 (en) 2019-10-03
US20200108390A1 (en) 2020-04-09
BR112019020524B1 (pt) 2022-04-19
TW201934199A (zh) 2019-09-01
NL2020616B1 (en) 2019-08-14
KR20200117834A (ko) 2020-10-14
IL269172B2 (en) 2024-10-01
JP2021513050A (ja) 2021-05-20
WO2019152677A1 (en) 2019-08-08
EP3521455B1 (en) 2020-07-01
SG11201908310XA (en) 2019-10-30
ZA201905979B (en) 2020-11-25
US20230158493A1 (en) 2023-05-25
SA519410769B1 (ar) 2022-11-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9101929B2 (en) Microfluidic system for purposes of analysis and diagnosis and corresponding method for producing a microfluidic system
US9324586B2 (en) Chip-packaging module for a chip and a method for forming a chip-packaging module
TW201423101A (zh) 生物場效電晶體裝置與生物場效電晶體的製造方法
KR101504898B1 (ko) 마이크로 플루이딕 패키지
KR20210072815A (ko) Mems 패키징 구조 및 이의 제조 방법
US20220106186A1 (en) Mems package structure and manufacturing method therefor
US20230076887A1 (en) Structure and Method to Use Active Surface of a Sensor
US20230158493A1 (en) Cartridge with laminated manifold
US11667518B2 (en) MEMS packaging structure and manufacturing method therefor
KR102610649B1 (ko) 후면 컨택을 갖는 화학 센서를 구비한 미세유체 칩
RU2776014C2 (ru) Картридж с многослойным коллектором
WO2017061214A1 (ja) 半導体イオンセンサ