TWI716645B

TWI716645B - 順應性單元

Info

Publication number: TWI716645B
Application number: TW106134422A
Authority: TW
Inventors: 宮下武志
Original assignee: 日商小金井股份有限公司
Priority date: 2016-10-05
Filing date: 2017-10-05
Publication date: 2021-01-21
Also published as: CN211278473U; US20200030996A1; US10864642B2; JPWO2018066284A1; TW201813791A; DE112017005053T5; JP6446606B2; WO2018066284A1

Abstract

一種順應性單元10，包括：支持板11、安裝板12以及固定盤22，其中固定盤22具備固定於支持板11的圓筒部24，而在圓筒部24的前端朝圓筒部的徑方向外側突出設置的環狀部25的前表面形成有環狀的圓弧面26。在環狀部25與支持板11之間配置有可動板31，且可動板31連結到安裝板12。安裝板12設有面對於圓弧面26的抵靠面37，且安裝板12在抵靠面37跟圓弧面26抵靠的位置與藉由抵靠面37與圓弧面26之間的間隙38而從圓弧面26遠離的位置之間可移動。

Description

順應性單元

本發明是關於用於在輸送並定位被輸送物時，吸收定位誤差的順應性單元。

為了將被輸送物從第一位置輸送到第二位置，使用如機器人手臂等的輸送裝置。輸送裝置上安裝有用於夾持被輸送物的夾持部件。例如，放置在第一位置的被輸送物被夾持部件夾持並移動到第二位置。當輸送裝置移動到各位置時，可能發生輸送裝置與各位置之間的相對位置偏差，即定位誤差。為了吸收這些定位誤差，在輸送裝置與夾持部件之間安裝順應性單元。順應性單元也稱為順應性模組。

當輸送裝置移動到各位置時，可能在水平方向、軸方向以及傾斜方向上發生定位誤差。水平方向的定位誤差是輸送裝置的中心軸相對於各位置的中心軸在正交方向上偏差的方向，即橫方向的位置偏差。軸方向的定位誤差是在第一和第二位置的各中心軸與輸送裝置的中心軸的同軸的狀態下，被輸送物接近各位置時的軸方向，即縱方向的位置偏差。傾斜方向的定位誤差是被輸送物的中心軸相對於各位置的中心軸傾斜的方向的位置偏差。

專利文獻1記載了一種調心裝置，其具有安裝在夾具上的安裝板以及安裝在移動部件的支持板。在該調心裝置中，安裝板在上述水平方向（即沿著支持板的方向，也就是X、Y方向）、軸方向（即Z方向）以及角度α的傾斜方向上可移動地安裝在支持板。為了將安裝板鎖定到支持板的原始位置也就是基準位置，在調心機構設置有具有液壓致動的活塞的鎖定機構。

專利文獻2記載了一種定位誤差吸收裝置，具有機器人安裝板以及卡盤安裝板。在該裝置中，卡盤安裝板沿著機器人安裝板的方向，也就是X方向、Y方向，被可滑動地安裝到機器人安裝板，雖然可以吸收水平方向的定位誤差，但是不能吸收縱方向的定位誤差。卡盤安裝板藉由具有活塞的鎖定機構鎖定到機器人安裝板的基準位置。

專利文獻3的圖12記載具有機器人手臂側的主體以及工作側的基部的順應性單元。在該順應性單元中，在主體與基部之間設置使基部圍繞三個軸旋轉的順應性機構。此外，藉由具備有磁石的原點復歸機構將基部返回到原點位置，並且藉由具備活塞部件的鎖定機構鎖定基座。在此順應性單元中，無法吸收縱方向的誤差。 [先前技術文獻]

[專利文獻] [專利文獻1]日本特開2000-94377號公報 [專利文獻2]日本特開平9-150391號公報 [專利文獻3]日本特開2003-103489號公報

[發明所要解決的課題] 在被輸送物在第一位置被夾持並被輸送配置到第二位置的情況下，在各位置存在輸送裝置相對於被輸送物的預定位置的軸方向偏差的情況。因此，如專利文獻2和3所述，不能吸收軸方向，即縱方向，的位置偏差的順應性單元，無法安裝在輸送裝置上。

相較於此，在專利文獻1所記載的調心裝置，能夠吸收軸方向的位置偏差。然而，在該調心裝置中，調心盤具有在其內周部與工作板連接的圓筒部以及與活塞一體地設置且向工作板突出並點接觸工作板的中心部的抵靠桿。因此，調心裝置的軸方向尺寸的不得不增加，調心裝置不能小型化。另外，當工作板在接近支持板的方向上移動以進行調心時，由於工作板與抵靠桿的圓弧面碰撞，在抵靠桿和安裝板點接觸的部分因碰撞而發生磨損或劃痕。因此，無法提高裝置的耐久性。

本發明的目的在於提供可以小型化和提高耐久性的順應性單元。 [解決課題的手段]

本發明的順應性單元，包括：支持板，具備組納有在軸方向上可來回移動的活塞的壓力室，且該支持板安裝於輸送裝置；固定盤，具備：圓筒部，固定於該支持板；以及環狀部，在該圓筒部的前端朝該圓筒部的徑方向外側突出設置，其中在該環狀部的前表面形成有環狀的圓弧面；可動板，配置在該環狀部與該支持板之間；安裝板，設有面對於該圓弧面的抵靠面，在該抵靠面跟該圓弧面抵靠的位置與藉由該抵靠面與該圓弧面之間的間隙而從該圓弧面遠離的位置之間可移動地連結到該可動板，並安裝有夾持部件；以及基準位置復歸機構，位於該圓筒部的內側且配置在該活塞與該安裝板之間，將該安裝板鎖定在基準位置上，其中，當未供應流體到該壓力室時，該安裝板在沿著該支持板的平面方向、沿著該支持板的中心軸的軸方向以及相對於該中心軸傾斜的傾斜方向上可移動，並藉由供應流體到該壓力室將該安裝板鎖定在該基準位置。 [發明的效果]

安裝板在沿著支持板的平面方向、沿著支持板的中心軸的軸方向以及相對於中心軸傾斜的傾斜方向上移動。當安裝板朝向支持板軸方向移動時，抵靠面碰撞設置在固定盤的環狀部的圓弧面。當發生這種碰撞時，由於安裝板和固定盤為面接觸，可以抑制抵靠面和圓弧面的磨損或劃傷，並且可以提高順應性單元的耐久性。由於用於使順應性單元返回到原點位置（即基準位置）的基準位置復歸機構被配置在固定盤的圓筒部的內側，可以縮短順應性單元的軸方向上的長度，並且可以小型化順應性單元。

以下，參照附圖詳細說明本發明的實施形態。順應性單元10，如圖1至圖4所示般，包括支持板11以及安裝板12。如圖7所示，支持板11安裝在輸送裝置13上，安裝板12安裝有夾持部件14。輸送裝置13例如用於將配置在作為第一位置的組件收容部15的被輸送物W輸送到作為第二位置的組件承載部16。在本說明書中，於順應性單元10中，安裝在搬送裝置13的支持板11側為背面，安裝有夾持部件14的安裝板12側為前面。

支持板11具有外周面為圓形的部分，並且在背面側一體地設置未圖示的凸緣。如圖1所示，支持板11設置有安裝孔21，在支持板11的背面側開口。在支持板11上設置多個安裝孔21，支持板11藉由螺合到安裝孔21的未圖示的螺釘部件安裝到輸送裝置13。固定盤22固定在支持板11的前表面上。固定盤22包括通過螺釘部件23連結到支持板11的圓筒部24以及在圓筒部24的前端朝圓筒部24的徑方向外側突出並且在圓筒部24一體設置的環狀部25。在環狀部25的前表面形成環狀的圓弧面26。通過支持板11的徑方向中心並垂直於支持板11的線被定義為中心軸O。然後，圓弧面26為，以位於中心軸O同時位於支持板11的背面方向的中心點作為曲率半徑的中心的球面的一部分。因此，圓弧面26是朝向順應性單元10的前表面的凸表面。

在環狀部25的背面側的環狀面27與支持板11之間形成有環狀的空間28，可動板31配置於空間28。可動板31在空間28內可移動。可動板31的移動方向是，中心軸O的徑方向，即沿著支持板11的平面方向、沿著中心軸O的軸方向、相對於中心軸O傾斜的傾斜方向以及以中心軸O作為中心旋轉的方向，可動板31在這些方向中的任何方向上可移動。平面方向為X軸方向以及Y軸方向，Y軸方向為與X軸方向垂直的方向，軸向為Z軸方向，傾斜方向為R方向，旋轉方向為θ。

可動板31包括基部33以及從該基部33向徑方向外側突出的連結部34。該基部33設置有滑動面32，滑動面32在平面方向上可滑動地與環狀面27接觸。安裝板12以覆蓋固定盤22的前表面的方式連結到可動板31。安裝板12藉由多個螺釘部件35連結到連結部34。多個定位銷36嵌入在可動板31與安裝板12之間。

抵靠面37面對於圓弧面26設置在安裝板12。抵靠面37是凹面，並且抵靠面37的傾斜方向上的面積大於圓弧面26。在可動板31的滑動面32抵靠環狀部25的環狀面27的狀態下，在抵靠面37與圓弧面26之間形成間隙38。該間隙38小於形成在連結部34與支持板11之間的間隙39。

當安裝板12向軸方向接近支持板11時，抵靠面37抵靠圓弧面26，即鄰接並接觸。以這種方式，在抵靠面37抵靠圓弧面26的位置與安裝板12藉由間隙38遠離圓弧面26的位置之間，安裝板12在軸方向可移動。抵靠面37透過間隙38面對圓弧面26時，安裝板12在平面方向上可移動，進一步在傾斜方向也可移動。在抵靠面37接觸圓弧面26的狀態下，安裝板12被圓弧面26導引並且傾斜移動。

圖1表示安裝板12位於以下位置的狀態：在抵靠面37與圓弧面26之間形成間隙38，並且安裝板12的中心軸與支持板11的中心軸O為同軸的位置，即基準位置。圖2表示抵靠面37接觸圓弧面26的狀態。圖3表示在抵靠面37接觸圓弧面26的狀態下，安裝板12被圓弧面26導引並傾斜移動的狀態。在如圖1所示抵靠面37透過間隙38面對於圓弧面26時，以及在如圖2所示抵靠面37接觸圓弧面26的狀態下，安裝板12為可旋轉的。

在支持板11上設置有底的汽缸孔41。汽缸孔41的中心軸與中心軸O同軸，汽缸孔41在支持板11的前表面開口。活塞42以在軸方向上可來回運動的方式組納在汽缸孔41中，並且藉由汽缸孔41在支持板11形成組納有活塞42的壓力室43。調心突起44在活塞42的前端向徑方向外側突出設置。多個基準位置復歸機構45，配置在調心突起44與安裝板12之間。基準位置復歸機構45，位於圓筒部24的內側，包括有固定於調心突起44的保持部46以及面對於保持部46並固定於安裝板12的收容部47。基準位置復歸機構45，如圖5所示，在圓周方向上以等間隔地設置三個。雖然保持部46是與活塞42分離的部件並安裝在活塞42上，保持部46也可以與活塞42一體形成。同樣地，收容部47是與安裝板12分離的部件並安裝在安裝板12上，收容部47也可以與安裝板12一體形成。

在保持部46形成有面對於收容部47的錐形面48，錐形面48從中心部向前表面逐漸增加內徑，如此向前表面逐漸擴大。在收容部47形成有面對於錐形面48的錐形面49，錐形面49從中心部向背表面逐漸增加內徑，如此向背表面逐漸擴大。鋼球51設置在保持部46與收容部47之間。當活塞42到達後退極限位置時，鋼球51的直徑大於保持部46與收容部47之間的距離。藉此，鋼球51不會從收容部47脫離。

在支持板11上設有與壓力室43連通的空氣通路52，透過空氣通路52從外部供給並排出壓縮空氣。當作為流體的壓縮空氣被供應到壓力室43時，活塞42朝向安裝板12突出。藉此，鋼球51被夾緊在保持部46與收容部47之間，並且定位於兩個錐形面48、49的中心部。

圖4表示鋼球51被夾緊在保持部46與收容部47之間的狀態。在該狀態下，安裝板12的中心軸與支持板11的中心軸O一致。然後，藉由基部33推壓環狀部25，安裝板12在沿著支持板11的平面方向上定位，並被鎖定在基準位置。另一方面，當壓力室43內的壓縮空氣被排出到外部時，安裝板12成為在任意方向上可移動。如此，當未供應流體到壓力室43內時，安裝板12在沿著支持板11的平面方向、沿著支持板11以及活塞42的中心軸O的軸方向、相對於中心軸O傾斜的傾斜方向以及以中心軸O為中心的旋轉方向中的任何方向上都可移動。並且，供應流體到壓力室43後，如圖4所示，則安裝板12被鎖定在基準位置。在鎖定狀態下，抵靠面37透過間隙38面對於圓弧面26。

圖7是表示設置有順應性單元10的部件輸送裝置的一例的輸送流程圖。夾持被輸送物W的夾持部件14，透過順應性單元10安裝在輸送裝置13。在圖7中，輸送裝置13例如將配置在作為第一位置的組件收容部15的被輸送物W輸送到作為第二位置的組件承載部16。

圖7表示被輸送物W的中心軸P，即定位的中心軸，在組件收容部15傾斜並配置在收容孔17的情況。圖7（A）表示輸送裝置13接近被輸送物W的狀態。圖7（B）表示輸送裝置13向被輸送物W接近移動並且夾持部件14碰撞被輸送物W的狀態。夾持部件14在與被輸送物W接觸的位置更向下移動時，安裝板12在軸方向朝支持板11接近移動。安裝板12的向支持板11接近的移動，如圖2所示，藉由安裝板12碰撞固定盤22來限制。在這種狀態下，當被輸送物W被夾持部件14夾持時，如圖7（C）所示，安裝板12傾斜移動。此時，如圖3所示，安裝板12的抵靠面37由固定盤22的圓弧面26導引使安裝板12在R方向傾斜移動，即擺動。當安裝板12與固定盤22碰撞時，抵靠面37和圓弧面26以面接觸的方式相互碰撞。藉此，可以抑制由於碰撞而引起的兩者磨損發生。

圖7（D）表示輸送裝置13向遠離組件收容部15的方向移動並將被輸送物W從組件收容部15移除的狀態。被輸送物W從收容孔17取出，並藉由輸送裝置13輸送到第二位置，例如組件承載部16。在被輸送物W從收容孔17取出後的狀態下，將流體從外部供給到壓力室43。藉此，如圖4所示，鋼球51被夾緊在保持部46與收容部47之間，安裝板12的中心軸變成與支持板11的中心軸O同軸，同時在抵靠面37與圓弧面26之間形成間隙38。此狀態是安裝板12被鎖定在基準位置的狀態。

圖7（E）表示藉由輸送裝置13將被輸送物W向組件承載部16的收容孔18接近移動的狀態。被輸送物W向收容孔18接近移動時，壓力室43內的壓縮空氣排出至外部，解除安裝板12的鎖定。圖7（E）中，支持板11的中心軸O有相對於收容孔18的中心軸Q，即定位的中心軸，在水平方向上偏差的情況。在這種情況下，如圖7（F）所示，當將輸送裝置13向組件承載部16接近，則安裝板12相對於支持板11在水平方向上偏移，被輸送物W被插入收容孔18並定位。被輸送物W被插入到收容孔18時，安裝板12在軸方向上向支持板11接近移動，並且抵靠面37與圓弧面26碰撞。在組件承載部16的收容孔18傾斜的情況下，如圖7（C）所示，安裝板12傾斜移動。然後，被輸送物W被插入到收容孔18中。由於抵靠面37和圓弧面26接觸，所以在安裝板12傾斜的狀態下可以將被輸送物W壓入收容孔18。其中，在將具有方形橫截面的被輸送物W插入方孔的情況下，當被輸送物W相對於方孔在旋轉方向上偏差時，藉由安裝板12旋轉，被輸送物W可以插入方孔中。

如上所述，當安裝板12向支持板11靠近移動，則抵靠面37與圓弧面26碰撞。與在抵靠桿的前端面和安裝板線接觸的常規順應性單元相比，上述順應性單元10因為是彼此表面碰撞，可以抑制抵靠面37和圓弧面26的磨損或劃傷的發生，能夠提高順應性單元10的耐久性。此外，在順應性單元10中，活塞42上沒有設置抵靠桿，基準位置復歸機構45配置在固定盤22的圓筒部24的內側，可動板31配置在固定盤22的環狀部25與支持板11之間。因此，可以縮短順應性單元10的軸方向的長度，能夠小型化順應性單元10。

如圖5所示，在可動板31上形成有多個通孔53。通孔53在圓周方向上相隔等間隔地形成四個在可動板31上。藉由各通孔53，可動板31的基部33的部分是圓弧面形狀的可動側的凹口部54。如圖1所示，固定側的凹口部55形成在固定盤22的外周面，各凹口部55對應於可動側的凹口部54。調心銷56配置成穿過通孔53並且抵靠兩個凹口部54、55。

如圖1所示，固定盤22的外周面形成有固定側的環狀槽57，可動板31的基部33的外周面形成有可動側的環狀槽58。環狀槽57上安裝有環圈狀的調心彈簧部件61，調心彈簧部件61是固定側的第一調心彈簧部件。同樣地，環狀槽58上安裝有環圈狀的調心彈簧部件62，調心彈簧部件62是可動側的第二調心彈簧部件。各調心彈簧部件61、62由可彈性變形的部件形成，如金屬製的彈簧材料或橡膠等。

在各調心銷56的徑方向外側部形成有卡合凹部63。兩個調心彈簧部件61、62與各調心銷56的卡合凹部63卡合。調心銷56的兩個端部比卡合凹部63更向徑方向外側部突出，並且構成用於防止調心彈簧部件61、62從調心銷56脫離的止動件。藉由調心彈簧部件61、62，朝向固定盤22的中心軸的彈簧力透過可動板31施加到安裝板12。固定盤22被連結到支持板11，使得固定盤22的中心軸和支持板11的中心軸O成為同軸。因此，如圖3所示，當安裝板12相對於支持板11傾斜移動後，對安裝板12的傾斜方向上的外力被去除時，藉由調心彈簧部件61、62，向安裝板12的中心軸和支持板11的中心軸O的同軸位置，即基準位置，自動地施加調心力到安裝板12。如圖1所示，為了使調心銷56不干涉安裝板12傾斜移動，在安裝板12的背表面形成有帶底孔64，並且在支持板11的前表面形成有帶底孔64a。

壓縮螺旋彈簧65作為彈簧部件設置在活塞42與安裝板12之間。壓縮螺旋彈簧65的背表面側的部分進入設置在活塞42的收容槽66。壓縮螺旋彈簧65對安裝板12施加遠離固定盤22的方向的彈簧力，並且吸收當抵靠面37抵靠圓弧面26時的衝擊力。藉此，能夠抑制由於抵靠面37與圓弧面26的面接觸而導致的兩者的表面的磨損或劃傷，同時可以通過壓縮螺旋彈簧65來抑制兩者的表面的磨損或劃傷。

在設置有調心彈簧部件61、62以及壓縮螺旋彈簧65的順應性單元10中，不論組件收容部或組件承載部是傾斜的、或垂直的，都可以定位被輸送物。

為了限制安裝板12的旋轉量，止動銷67在環狀部25從圓弧面26向前方突出。止動銷67的突出部向設置在安裝板12的背表面上的凹部68突出。凹部68的內徑比止動銷67的外徑大，當安裝板12在θ方向上旋轉時，止動銷67藉由接觸凹部68的內表面，限制安裝板12的旋轉量。作為旋轉方向的止動機構，止動銷67可以被設置在安裝板12上，凹部68也可以設置在環狀部25。如此，在順應性單元10設置止動機構，則即使在未設置調心銷56以及調心彈簧部件61、62的形態的順應性單元10中，也可以防止安裝板12過度旋轉、傾斜移動。

本發明不限於上述實施形態，在不脫離本發明的要旨的情況下可以有各種變化。使用此順應性單元10的部件輸送裝置不限於圖7所示的情況，而是可以應用於各種類型的部件輸送裝置。 [產業利用性]

此順應性單元用於輸送並定位被輸送物。

10‧‧‧順應性單元11‧‧‧支持板12‧‧‧安裝板13‧‧‧輸送裝置14‧‧‧夾持部件15‧‧‧組件收容部16‧‧‧組件承載部17、 18‧‧‧收容孔21‧‧‧安裝孔22‧‧‧固定盤23‧‧‧螺釘部件24‧‧‧圓筒部25‧‧‧環狀部26‧‧‧圓弧面27‧‧‧環狀面28‧‧‧空間31‧‧‧可動板32‧‧‧滑動面33‧‧‧基部34‧‧‧連結部35‧‧‧螺釘部件36‧‧‧定位銷37‧‧‧抵靠面38‧‧‧間隙39‧‧‧間隙41‧‧‧汽缸孔42‧‧‧活塞43‧‧‧壓力室44‧‧‧調心突起45‧‧‧基準位置復歸機構46‧‧‧保持部47‧‧‧收容部48‧‧‧錐形面49‧‧‧錐形面51‧‧‧鋼球52‧‧‧空氣通路53‧‧‧通孔54‧‧‧可動側的凹口部55‧‧‧固定側的凹口部56‧‧‧調心銷57‧‧‧固定側的環狀槽58‧‧‧可動側的環狀槽61、62‧‧‧調心彈簧部件63‧‧‧卡合凹部64、64a‧‧‧帶底孔65‧‧‧壓縮螺旋彈簧66‧‧‧收容槽67‧‧‧止動銷68‧‧‧凹部θ‧‧‧旋轉方向A‧‧‧割面線B‧‧‧割面線O‧‧‧中心軸P‧‧‧被輸送物的中心軸Q‧‧‧收容孔的中心軸R‧‧‧傾斜方向W‧‧‧被輸送物X、Y、Z‧‧‧方向

圖1是表示一實施形態的順應性單元的剖面圖。圖2是表示安裝板的抵靠面抵靠到與固定盤的圓弧面的狀態下的順應性單元的剖面圖。圖3是表示在抵靠面抵靠到圓弧面的狀態下，安裝板相對於固定盤傾斜移動的狀態的順應性單元的剖面圖。圖4是表示將安裝板鎖定在基準位置的狀態下的順應性單元的剖面圖。圖5是沿圖1的A-A線的剖面圖。圖6是沿圖1的B-B線的剖面圖。圖7（A）至圖7（F）是表示設置有順應性單元的部件輸送裝置的一例的輸送流程圖。

10‧‧‧順應性單元

11‧‧‧支持板

12‧‧‧安裝板

21‧‧‧安裝孔

22‧‧‧固定盤

23‧‧‧螺釘部件

24‧‧‧圓筒部

25‧‧‧環狀部

26‧‧‧圓弧面

27‧‧‧環狀面

28‧‧‧空間

31‧‧‧可動板

32‧‧‧滑動面

33‧‧‧基部

34‧‧‧連結部

35‧‧‧螺釘部件

36‧‧‧定位銷

37‧‧‧抵靠面

38‧‧‧間隙

39‧‧‧間隙

41‧‧‧汽缸孔

42‧‧‧活塞

43‧‧‧壓力室

44‧‧‧調心突起

45‧‧‧基準位置復歸機構

46‧‧‧保持部

47‧‧‧收容部

48‧‧‧錐形面

49‧‧‧錐形面

51‧‧‧鋼球

52‧‧‧空氣通路

53‧‧‧通孔

54‧‧‧可動側的凹口部

55‧‧‧固定側的凹口部

56‧‧‧調心銷

57‧‧‧固定側的環狀槽

58‧‧‧可動側的環狀槽

61、62‧‧‧調心彈簧部件

63‧‧‧卡合凹部

64、64a‧‧‧帶底孔

65‧‧‧壓縮螺旋彈簧

66‧‧‧收容槽

67‧‧‧止動銷

68‧‧‧凹部

θ‧‧‧旋轉方向

A‧‧‧割面線

B‧‧‧割面線

O‧‧‧中心軸

R‧‧‧傾斜方向

Z‧‧‧方向

Claims

一種順應性單元，包括：安裝於輸送裝置的支持板以及安裝有夾持部件的安裝板，該安裝板在沿著該支持板的平面方向、沿著該支持板的中心軸的軸方向以及相對於該中心軸傾斜的傾斜方向上可移動地安裝於該支持板；該順應性單元還包括：活塞，以在軸方向上可來回運動的方式安裝於設在該支持板的壓力室；固定盤，具備：固定於該支持板的圓筒部，以及在該圓筒部的前端朝該圓筒部的徑方向外側突出設置的環狀部，且在該環狀部的前表面形成環狀的圓弧面；可動板，包括：配置在該環狀部與該支持板之間的環狀的基部，以及從該基部向徑方向外側突出且連結於該安裝板的連結部；抵靠面，面對於該圓弧面且設於該安裝板，並在接觸該圓弧面的狀態下導引該安裝板的傾斜方向的移動；彈簧部件，安裝於該活塞與該安裝板之間，對該安裝板施加遠離該固定盤的方向的彈簧力；以及基準位置復歸機構，位於該圓筒部的內側且配置在該活塞與該安裝板之間，將該安裝板鎖定在基準位置上；其中，藉由環狀的該圓弧面導引該安裝板的傾斜方向的移動，且藉由比該圓弧面更靠近徑方向內側的該基準位置復歸機構將該安裝板鎖定。
如申請專利範圍第1項所述的順應性單元，該圓弧面為，以位於該支持板的中心軸同時位於該支持板的背面方向的中心點作為曲率半徑的中心的球面的一部分。
如申請專利範圍第1項所述的順應性單元，該順應性單元包括：調心銷，配置在形成於該固定盤的外周面的固定側的凹口部以及在連著該凹口部且形成於該可動板的凹口部；第一調心彈簧部件，安裝在形成於該固定盤的環狀槽，並且卡合於該調心銷；以及第二調心彈簧部件，安裝在形成於該可動板的環狀槽，並且卡合於該調心銷，與該第一調心彈簧部件一同向該固定盤的中心軸對該可動板施加彈簧力。
如申請專利範圍第1項所述的順應性單元，該可動板包括有滑動面，該滑動面與該環狀部的環狀面在該平面方向上可滑動地接觸，在該滑動面離開該環狀面且該抵靠面接觸該圓弧面的狀態下，該安裝板被該圓弧面導引而傾斜移動。
如申請專利範圍第1項所述的順應性單元，該順應性單元還包括：環狀面，設在該固定盤的該環狀部的背面；以及滑動面，設在該可動板的該基部；在解除該安裝板的鎖定時，在該抵靠面跟該圓弧面抵靠的位置與該滑動面抵靠該環狀面並在該抵靠面及該圓弧面之間形成有間隙的位置之間，該安裝板相對該固定盤，在該軸方向、該平面方向以及該傾斜方向上可移動。