TWI714787B - 隔膜泵 - Google Patents

Abstract

可以提供一種對於流體的移送可提高吐出精度，且，抑制製造成本的隔膜泵。

隔膜泵，是具備：設有馬達的驅動裝置、及控制裝置。前述控制裝置，是可將前述馬達的第1失調狀態檢出者。前述控制裝置，是為了將前述馬達成為第1失調狀態，而以將隔膜或是可動構件至與外殼或是靜止構件抵觸為止往動或是復動的方式使前述驅動裝置作動。前述控制裝置，是將前述馬達的第1失調狀態檢出的情況時，將對於前述隔膜的往復動方向從與前述隔膜或是前述可動構件對應的前述外殼或是前述靜止構件的抵靠位置隔有規定距離的位置作為前述原點位置重新設定。前述控制裝置，是將前述原點位置重新設定之後，為了將前述隔膜至前述原點位置為止復動或是往動而使前述驅動裝置作動。

Description

隔膜泵

本發明，是有關於隔膜泵。

進行藥液等的流體的移送用的容積式往復動泵，已知隔膜泵(例如專利文獻1參照)。前述隔膜泵，多被使用在對於流體的移送被要求較高的吐出精度時，例如，半導體、液晶、有機EL、太陽電池、LED的製造時。

這種的隔膜泵，是具備：外殼、及隔膜、及驅動裝置、及檢出裝置。前述隔膜，是在前述外殼內形成泵室地配置，並且以使前述泵室的容積變化的方式以原點位置為基準可往復動地設置。

前述驅動裝置，是可將前述隔膜往復動。前述檢出裝置，是將前述隔膜的原點位置(活塞的基準位置)檢出。且，為了吐出精度的確保，是依據前述檢出裝置的檢出結果，進行有關於前述隔膜的原點復歸。

但是依據前述隔膜泵的話，因為是將前述檢出裝置所檢出的原點位置作為活塞的基準位置，所以在各製品之間，吐出精度會依存於前述檢出裝置的安裝精度和前述外殼的加工精度，而可能具有微妙的不同。且，因為 有必要準備前述檢出裝置，並設置在前述外殼等，所以會導致前述隔膜泵的製造成本的增大。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2007-23935號公報

本發明，是有鑑於此，其目的是提供一種對於流體的移送可提高吐出精度，且，可以抑制製造成本的隔膜泵。

本發明的隔膜泵，是移送流體用的隔膜泵，具備：收容靜止構件的外殼；及隔膜，是在前述外殼內形成泵室地配置，並且以使前述泵室的容積變化的方式以原點位置為基準可往復動地設置；及驅動裝置，是設有作為驅動源的馬達、及與前述隔膜連動的可動構件，可將前述隔膜往復動；及控制裝置，是為了將前述隔膜往動或是復動，而將前述驅動裝置控制用的控制裝置，可將前述馬達的第1失調狀態檢出；前述控制裝置，是為了將前述馬達成為第1失調狀態，以將前述隔膜或是前述可動構件至其與前述外殼或是前述靜止構件抵觸為止往動或是復動的方式使前述驅動裝置作動，將前述馬達的第1失調狀態檢出 的情況時，將對於前述隔膜的往復動方向從前述隔膜或是前述可動構件及對應其的前述外殼或是前述靜止構件的抵靠位置隔有規定距離的位置作為前述原點位置重新設定，將前述原點位置重新設定之後，為了將前述隔膜至前述原點位置為止復動或是往動而使前述驅動裝置作動。

依據此構成的話，在使用前述隔膜泵開始流體的移送之前，前述隔膜成為可實現在該隔膜泵所特有的正確的原點復歸。因此，對於流體的移送可以提高吐出精度。且，前述原點復歸用的檢出裝置是成為不需要。因此，可以抑制前述隔膜泵的製造成本。

依據本發明的別的態樣的話，前述馬達，是步進馬達。

依據本發明的進一步別的態樣的話，前述控制裝置，是可把握前述隔膜的往復動方向的位置，並且依據前述隔膜的位置，判別為前述隔膜是超過第1規定量地往動時、或是判別為前述隔膜是超過第2規定量地復動時，停止前述驅動裝置。

依據本發明的別的態樣的話，具備當前述驅動裝置被停止的情況時將警報發出的警報裝置。

依據本發明的話，可以提供一種隔膜泵，對於流體的移送可提高吐出精度，且，可以抑制製造成本。

1‧‧‧隔膜泵

2‧‧‧外殼

3‧‧‧隔膜

4‧‧‧驅動裝置

5‧‧‧控制裝置

27‧‧‧O形環推件(靜止構件)

28‧‧‧泵室

29‧‧‧軸支架(可動構件)

40‧‧‧馬達

42‧‧‧輸出軸(可動構件)

60‧‧‧警報裝置

[第1圖]本發明的一實施例的隔膜泵的側面剖面圖，顯示此隔膜泵的吐出過程終了時的狀態的側面剖面圖。

[第2圖]顯示第1圖的隔膜泵的吸入過程終了時的狀態的側面剖面圖。

[第3圖]第1圖的隔膜泵的方塊圖。

[第4圖]顯示第1圖的隔膜泵中的抵靠發生時的狀態的一例的側面剖面圖。

[第5圖]顯示第1圖的隔膜泵中的控制處理的一例的流動的流程圖。

[第6圖]第1圖的隔膜泵中的驅動裝置的一部分剖面圖。

[第7圖]顯示第1圖的隔膜泵中的抵靠發生時的狀態的別的例的側面剖面圖。

[第8圖]顯示第1圖的隔膜泵中的抵靠發生時的狀態的進一步別的例的側面剖面圖。

對於本發明的實施例一邊參照圖面一邊說明。

本發明的一實施例的隔膜泵1，是進行藥液等的流體的移送用的容積式往復動泵。前述隔膜泵1，是如第1圖及第2圖所示，具備：外殼2、及隔膜3、及驅動裝置 4，並且具備控制裝置5。

在以下的說明中，前後方向是指圖面上的上下方向，前進是指朝前方的移動，後退是指朝後方的移動。

前述外殼2，是收容靜止構件及可動構件。在本實施例中，前述外殼2，是具有內部空間。且，前述靜止構件，是被配置於前述內部空間，對於前述外殼2將靜止狀態保持地設置。前述靜止構件，是例如，具有後述的O形環推件27。

詳細的話，前述外殼2，是具有：汽缸11、及泵頭12。前述汽缸11，是例如，由SUS304等的不銹鋼所構成。前述汽缸11，是具有圓筒形狀，使軸方向成為前後方向地配置。

前述汽缸11，是具有通氣口13。前述通氣口13，是以朝與前述汽缸11的軸方向交叉的方向貫通的方式，被設置在該汽缸11的側部。前述通氣口13，是可與真空泵或是吸引器等的減壓裝置(無圖示)連接。

前述泵頭12，是例如，由PTFE(聚四氟乙烯)等的氟樹脂所構成。前述泵頭12，是具有與前述汽缸11大致同一內徑的有蓋圓筒形狀，與前述汽缸11同軸地配置。

前述泵頭12，是以將前述汽缸11的軸方向一方側(前側)的開口部閉塞的方式，被安裝於前述汽缸11的軸方向一端部(前端部)。由此，在前述外殼2內，形 成有被前述汽缸11及前述泵頭12包圍的第1內部空間14。

前述泵頭12，是具有吸入口15及吐出口16。前述吸入口15，是以朝與前述泵頭12的軸方向交叉的方向貫通的方式，被設置在該泵頭12的側部。前述吸入口15，是透過成為流體的供給源的規定的機器(無圖示)及吸入側的開閉閥及配管等被連接。

前述吐出口16，是以朝前述泵頭12的軸方向貫通的方式，被設置在該泵頭12的軸方向一端部(前端部)，即蓋部18。前述吐出口16，是被配置於前述蓋部18的徑方向中央部分，透過成為流體的供給目的地的規定的機器(無圖示)及吐出側的開閉閥及配管等被連接。

前述驅動裝置4，是可將前述隔膜3往復動。在本實施例中，前述驅動裝置4，是具有可動構件也就是活塞21及軸22。前述活塞21及前述軸22，是各別在前述外殼2內可往復動地設置。

前述活塞21，是例如，由鋁合金所構成。前述活塞21，是具有包含凹狀部分的圓柱形狀，與前述外殼2(前述汽缸11)同軸地配置。前述活塞21，是在前述外殼2中被收容在前述第1內部空間14。

且前述活塞21，是在與前述外殼2(前述汽缸11及前述泵頭12)的內壁之間產生間隙地設置，並且朝前述外殼2的軸方向(前後方向)沿著前述外殼2的內壁可往復動地設置。

前述軸22，是例如，由硬化的高碳鉻軸承鋼 等的鋼材所構成。前述軸22，是與前述活塞21同軸地配置，透過O形環26朝軸方向可往復動地被貫設在將前述外殼2內區劃成前述第1內部空間14及第2內部空間24的隔壁25。

在此，前述O形環26，是藉由前述O形環推件27被保持於前述隔壁25。前述O形環推件27，是被收容於前述外殼2的靜止構件，例如，由不銹鋼所構成。前述O形環推件27，是在將前述軸22以不接觸的方式貫通的狀態下，被配置於前述外殼2的前述第2內部空間24。

前述軸22，是具有：位於前述第1內部空間14的軸方向一端部(前端部)、及位於前述第2內部空間24的軸方向另一端部(後端部)。前述軸22，是以與前述活塞21一體地往復動的方式，由前述軸方向一端部與前述活塞21連接。

前述驅動裝置4，具有作為前述可動構件的將前述軸22保持於前述外殼2用的軸支架29。前述軸支架29，是例如，由不銹鋼所構成。前述軸支架29，是被配置於前述外殼2的前述第2內部空間24，以將前述軸22及後述的輸出軸42結合的方式設置。

前述隔膜3，是在前述外殼2內形成泵室28地配置，並且以使前述泵室28的容積變化的方式以原點位置P1為基準可往復動地設置。前述隔膜3，是滾動隔膜。

在本實施例中，前述隔膜3，是例如，由PTFE(聚四氟乙烯)等的氟樹脂所構成。前述隔膜3，是具有 呈有蓋筒形狀的中央部分，以由此中央部分將前述活塞21從軸方向一方側(前側)覆蓋的方式設置。

詳細的話，前述隔膜3，是具有：抵接部31、及保持部32、及折返部33。前述抵接部31，是形成前述隔膜3的蓋部分者，以面臨前述泵室28且與前述外殼2的軸方向一端部(頂板部)即前述蓋部18相面對的方式被安裝於前述活塞21。

前述保持部32，是被配置於位於前述抵接部31的徑方向外側的前述隔膜3的外周端部，且被前述汽缸11及前述泵頭12挾持。前述折返部33，是具有可撓性者，在前述抵接部31及前述保持部32之間可變形地設置。

且前述隔膜3，是在藉由前述保持部32對於前述外殼2被位置固定的狀態下，將前述折返部33在前述外殼2的內壁及前述活塞21之間變形且將前述抵接部31的位置朝軸方向變化，且與前述活塞21一體地可往復動。

前述隔膜3，是將前述外殼2的第1內部空間14區劃成前述泵室28及減壓室38地設置。前述泵室28，是藉由前述隔膜3(前述抵接部31及前述折返部33)及前述泵頭12被包圍而形成。

因此，前述泵室28，是藉由伴隨與前述活塞21一體地往復動的前述隔膜3的位置的變化，即伴隨前述折返部33變形的前述抵接部31的位置的變化，而將該泵室28的容積變化(增大或是減少)。

在此，前述泵室28，是分別與前述吸入口15 及前述吐出口16連接，可以將從前述吸入口15被吸入的流體暫時地貯溜。前述減壓室38，是與前述通氣口13連接，可藉由前述減壓裝置被減壓。

在前述隔膜泵1中，前述驅動裝置4，是具有作為驅動源的馬達40。在本實施例中，前述驅動裝置4，是除了前述活塞21、前述軸22及前述馬達40以外，進一步具有前述可動構件也就是前述輸出軸42。

前述馬達40，是脈衝馬達(步進馬達)。前述馬達40，是被設置在前述外殼2的軸方向另一方側(後側)。前述輸出軸42，是螺軸(給進螺栓)。前述輸出軸42，是對於前述馬達40的旋轉軸連動地連接。

前述輸出軸42，是在從前述馬達40側朝前述外殼2內突出的狀態下朝軸方向可往復動地設置。前述輸出軸42，是與前述軸22同軸地配置，由軸方向一端部(前端部)透過前述軸22的軸方向另一端部(後端部)及前述軸支架29被連接。

且前述驅動裝置4，是以透過前述輸出軸42及前述活塞21等可將前述隔膜3朝軸方向(前後方向)往復移動的方式，將前述馬達40的旋轉運動轉換成直線運動並可從前述輸出軸42朝前述軸22傳達。

且在前述驅動裝置4中，是使用編碼器45(第3圖參照)。前述編碼器45，是被安裝於前述馬達40的旋轉軸。前述編碼器45，是前述馬達40的驅動控制用者，將與前述馬達40的旋轉同步的脈衝訊號輸出。

前述控制裝置5，是為了將前述隔膜3對於前述原點位置P1往動或是復動，而將前述驅動裝置4控制用者。又，在此，前述隔膜3的往復動之中的往動是朝前方(前述泵室28的容積減少的方向)的移動(前進)，復動是朝相反的後方(前述泵室28的容積增大的方向)的移動(後退)。

如第3圖所示，前述控制裝置5，是透過控制器(控制基板)47與前述馬達40連接，並且與前述編碼器45連接。前述控制裝置5，是為了將前述馬達40驅動控制，而可以將驅動脈衝訊號輸出。

且前述控制裝置5，是在前述隔膜泵1的運轉時為了流體的移送而將吸入過程及吐出過程交互進行，並以將前述隔膜3朝前述外殼2的軸方向往復動的方式進行前述馬達40的驅動控制。

在前述吸入過程中，前述馬達40是負旋轉，以將前述隔膜3朝前述泵室28的容積增大的方向(從第1圖所示的狀態朝第2圖所示的狀態)變位的方式透過前述活塞21復動。此時，前述控制裝置5，也進行將前述吸入側的開閉閥打開，且，將前述吐出側的開閉閥關閉的控制。由此，流體是成為朝前述泵室28通過前述吸入口15被吸入。

另一方面，在前述吐出過程中，前述馬達40是正旋轉，以將前述隔膜3朝前述泵室28的容積減少的方向(從第2圖所示的狀態朝第1圖所示的狀態)變位的方式 透過前述活塞21往動。此時，前述控制裝置5，也進行將前述吸入側的開閉閥關閉，將前述吐出側的開閉閥打開的控制。由此，流體是成為從前述泵室28通過前述吐出口16被吐出。又，在本實施例中，吐出完成時的隔膜3的位置是成為前述原點位置P1。

<原點復歸過程其1>

在前述隔膜泵1中，前述控制裝置5，是為了將前述馬達40成為第1失調狀態，而以將前述隔膜3與前述外殼2(前述泵頭12)抵觸為止往動的方式將前述馬達40(前述驅動裝置4)作動(正旋轉)。

在本實施例中，在朝前述隔膜泵1的電源投入時，使用前述馬達40，如第4圖所示，將前述隔膜3的抵接部31與前述外殼2的頂板部(前述泵頭12的蓋部18)抵觸，而出現前述馬達40的第1失調(旋轉的偏離、空轉)狀態。

前述控制裝置5，是可將前述驅動裝置4的馬達40的第1失調狀態檢出。在本實施例中，前述控制裝置5，是藉由前述泵頭12的蓋部18與前述隔膜3的抵接部31的抵觸的發生而可以將第1失調狀態檢出。

詳細的話，前述控制裝置5，是為了前述馬達40的驅動控制，將藉由前述編碼器45被輸出的脈衝訊號取得，依據所取得的脈衝訊號(脈衝數)，可檢出將前述隔膜3往復動的前述馬達40的旋轉量(旋轉角度)等。

前述控制裝置5，是使用前述馬達40將前述隔膜3往動的情況時，如第4圖所示，前述抵接部31與前述泵頭12的蓋部18抵接時，成為可把握前述馬達40的旋轉量的偏離發生。

具體而言，前述控制裝置5，是將從前述編碼器45獲得的脈衝訊號及驅動脈衝訊號比較，就可把握前述馬達40的旋轉量的偏離(依據驅動脈衝訊號的對於假定旋轉量的差)的發生。且，前述控制裝置5，是判別為此偏離是第1規定值以上的情況時，成為可以將前述馬達40的第1失調狀態檢出。

進一步，前述控制裝置5，是將前述馬達40的第1失調狀態檢出的情況時，將前述馬達40的作動停止，將對於前述隔膜3的往復動方向(前後方向)從對於前述外殼2的前述隔膜3的抵靠位置(前述蓋部18的內面)隔有規定的第1距離(後方)的位置作為前述原點位置P1重新設定。

在本實施例中，前述控制裝置5，是每次朝前述隔膜泵1進行電源投入，就將前述原點位置P1重新設定。又，如此將前述原點位置P1再設定的時期，不限定於電源投入時，其他的時期也可以。

且前述控制裝置5，是將前述原點位置P1重新設定之後，以將前述隔膜3至此原點位置P1為止復動的方式可將前述驅動裝置4作動(負旋轉)。且，前述控制裝置5，是至前述原點位置P1為止復動之後，開始前述隔膜3 的往復動。

即，在前述隔膜泵1中，如第5圖所示，前述控制裝置5，是朝例如前述隔膜泵1的電源投入後(S1)，為了使前述馬達40的第1失調狀態發生而使該馬達40作動(S2)。且，前述控制裝置5，是判別前述馬達40的第1失調狀態的發生的有無(S3)。

前述控制裝置5，是直到將前述馬達40的第1失調狀態的發生檢出為止使前述馬達40作動，將此檢出的情況時，對應前述抵靠位置將前述原點位置P1重新設定(S4)。其後，前述控制裝置5，是對於前述隔膜3以使原點復歸進行的方式將前述馬達40(前述驅動裝置4)作動(S5)。

又，前述控制裝置5，是將前述隔膜3至前述原點位置P1為止復動時，前述吸入側的開閉閥被打開，以使前述吐出側的開閉閥被關閉的方式進行控制。由此，流體是成為朝前述泵室28通過前述吸入口15被吸入。

藉由這種構成，在使用前述隔膜泵1開始流體的移送之前，前述隔膜3可實現在該隔膜泵1所特有的正確的原點復歸。因此，可以提高吐出精度。且，前述原點復歸用的檢出裝置是成為不需要。因此，可以抑制前述隔膜泵1的製造成本。

<原點復歸過程其2>

且在本實施例中，如第6圖所示，作為前述可動構件 的前述驅動裝置4的輸出軸42的軸方向另一方側(後側)，是朝陷沒方向為軸方向也就是前述馬達40的凹部49可往復動地被插入。因此，可取代前述隔膜3，使用前述輸出軸42將前述原點位置P1重新設定也可以。

即，在此情況下，藉由前述控制裝置5，為了將前述馬達40成為第1失調狀態，如第7圖所示，以將前述輸出軸42至其與前述凹部49(詳細的話為其底部)抵觸為止復動的方式使前述驅動裝置4作動(負旋轉)，將前述馬達40的第1失調狀態檢出。

且其檢出後，藉由前述控制裝置5，將對於前述輸出軸42的往復動方向從前述輸出軸42及前述凹部49的抵靠位置隔有規定的第2距離(前方)的位置作為前述原點位置P1重新地設定，為了將前述輸出軸42進而將前述隔膜3至前述原點位置P1為止往動而使前述馬達40作動。

<原點復歸過程其3>

且在本實施例中，前述驅動裝置4的軸支架29，雖是作為前述可動構件被具備，但以與前述外殼2側的前述O形環推件27接近或是分離的方式，與前述隔膜3一體地可往復動地設置。因此，使用前述軸支架29將前述原點位置P1重新設定也可以。

即，在此情況下，藉由前述控制裝置5，為了將前述馬達40成為第1失調狀態，如第8圖所示，以將前述軸支架29至其與前述O形環推件27(詳細的話為後端部) 抵觸為止往動的方式使前述驅動裝置4作動(正旋轉)，將前述馬達40的第1失調狀態檢出。

且其檢出後，藉由前述控制裝置5，將對於前述輸出軸42的往復動方向從前述軸支架29及前述O形環推件27的抵靠位置隔有規定的第3距離(後方)的位置作為前述原點位置P1重新地設定，為了將前述軸22進而將前述隔膜3至前述原點位置P1為止往動而使前述馬達40作動。

又，採用此構成的情況，如第8圖所示，在前述隔膜3與前述外殼2的頂板部(前述泵頭12的蓋部18)抵觸之前，有必要以使前述軸支架29與前述O形環推件27抵觸的方式，將前述隔膜3及前述驅動裝置4設於前述外殼2。

<異常檢出>

且在本實施例中，前述控制裝置5，可把握有關於前述隔膜3的往復動方向的位置。詳細的話，前述控制裝置5，是藉由前述編碼器45將前述馬達40的旋轉量檢出，依據其檢出結果可以把握前述隔膜3的位置。

且前述控制裝置5，是在前述的原點復歸過程、吸入過程、吐出過程等的實行中，依據前述隔膜3的位置判別為該隔膜3是超過第1規定量地往動(前進)時，停止前述馬達40(前述驅動裝置4)。

前述控制裝置5，是在同樣的過程等的實行中，依據前述隔膜3的位置判別為該隔膜3是超過第2規定 量地復動(後退)時，停止前述馬達40(前述驅動裝置4)。在此，前述第1規定量及前述第2規定量，是被適宜設定的值，相同的值也可以，不同的值也可以。

對於此，具體而言，在前述的原點復歸過程其1的實行中，藉由前述控制裝置5，而以至將前述隔膜3與前述泵頭12的蓋部18抵觸為止往動的方式使前述馬達40作動的情況時，被判別為前述隔膜3在前述抵觸發生之前的階段是超過前述第1規定量朝前方移動時，在其時點使前述馬達40被停止，前述隔膜3是停止往動。

且前述控制裝置5，是可將前述驅動裝置4的馬達40的第2失調狀態檢出。在本實施例中，前述控制裝置5，是由朝前述泵室28被吸入的流體的黏度較高所起因而使前述隔膜3的往復移動被阻礙的情況、或是垃圾等嚙入前述軸22及前述隔壁25之間所起因使前述隔膜3的往復移動被阻礙的情況時，可以將第2失調狀態檢出。

具體而言，前述控制裝置5，是在前述的原點復歸過程、吸入過程、吐出過程等的實行中，將從前述編碼器45獲得的脈衝訊號及驅動脈衝訊號比較，就可把握前述馬達40的旋轉量的偏離(依據驅動脈衝訊號的對於假定旋轉量的差)的發生。且，前述控制裝置5，是判別為此偏離是第2規定值以上的情況時，就可以將前述馬達40的第2失調狀態檢出。又，前述第2規定值，是設定成比將前述馬達40的第1失調狀態檢出用的前述第1規定值更大的值。

進一步，前述控制裝置5，是將前述馬達40的第2失調狀態檢出的情況時，停止前述馬達40(前述驅動裝置4)。

即，藉由前述控制裝置5，以至將前述隔膜3重新設定的前述原點位置P1為止復動的方式使前述馬達40作動的情況時，依據藉由任何的原因(例如從前述吸入口15朝前述泵室28被吸入的流體的黏度較高)使前述隔膜3的後退被阻礙而使第2失調狀態被檢出時，以在其時點使前述隔膜3的復動停止的方式使前述馬達40被停止。

且在本實施例中，前述隔膜泵1，是具備當前述驅動裝置4(前述馬達40)停止的情況時將警報發出的警報裝置60。前述控制裝置5，是如前述，判別為前述隔膜3是超過第1規定量地往動的情況、判別為前述隔膜3是超過第2規定量地復動的情況、或是將第2失調狀態檢出的情況時，就停止前述馬達40(前述驅動裝置4)，並且使前述警報裝置60作動。

前述警報裝置60，是可喚起前述隔膜泵1的操作者注意到前述驅動裝置4的停止即可，例如，可將警報標示顯示的機器，可將警報音輸出的機器、或是可將警報標示顯示且將警報音輸出的機器。

藉由這種構成，在本實施例中，可發現前述隔膜3的異常的發生，依據其異常的發生可防止前述隔膜泵1中的驅動部破損。尤其是，因為使用前述警報裝置60，所以對於前述隔膜3的異常的發生可以當場(立即) 告知。

在前述的實施例中，前述驅動裝置4和前述控制裝置5的構造的構成和功能性的構成，可以依據本發明的主旨適宜地變更。例如，對於原點復歸過程中的第1失調狀態的檢出方法，不限定於原點復歸過程其1~其3所顯示的方法，重要的是，前述控制裝置5，是藉由將前述隔膜3或是前述可動構件至其與前述外殼2或是前述靜止構件抵觸為止往動或是復動而可將第1失調狀態檢出即可。且，前述馬達40，是脈衝馬達(步進馬達)以外的馬達也可以。

Claims (4)

1. 一種隔膜泵，是移送流體用的隔膜泵，具備：收容靜止構件的外殼；及隔膜，是在前述外殼內形成泵室地配置，並且以使前述泵室的容積變化的方式以原點位置為基準可往復動地設置；及驅動裝置，是設有作為驅動源的馬達、安裝在前述馬達之旋轉軸並輸出與前述馬達之旋轉同步之脈衝訊號的編碼器、及與前述隔膜連動的可動構件，可將前述隔膜往復動；及控制裝置，是為了將前述隔膜往動或是復動，而將前述驅動裝置控制用的控制裝置，其比較從前述編碼器得到的脈衝數與使前述馬達驅動的驅動脈衝數，當雙方之脈衝數所顯示之前述馬達之旋轉量的偏離為既定值以上的情況時，將前述馬達的失調狀態檢出；前述控制裝置，是以將前述隔膜或是前述可動構件與前述外殼或是前述靜止構件抵觸為止往動或是復動的方式使前述驅動裝置作動，當前述馬達之旋轉量的偏離為第1既定值以上的情況時，將前述馬達的第1失調狀態檢出，將前述馬達的第1失調狀態檢出的情況時，將對於前述隔膜的往復動方向從前述隔膜或是前述可動構件及對應 其的前述外殼或是前述靜止構件的抵靠位置隔有規定距離的位置作為前述原點位置重新設定，將前述原點位置重新設定之後，使前述驅動裝置作動來將前述隔膜至前述原點位置為止復動或是往動，當前述馬達之旋轉量的偏離為比第1既定值還大之第2既定值的情況時，將前述馬達的第2失調狀態檢出，將前述馬達的第2失調狀態檢出的情況時，使前述驅動裝置停止。
2. 如申請專利範圍第1項的隔膜泵，其中，前述馬達，是步進馬達。
3. 如申請專利範圍第1或2項的隔膜泵，其中，前述控制裝置，是可把握前述隔膜的往復動方向的位置，並且依據前述隔膜的位置，判別為前述隔膜是超過第1規定量地往動時、或是判別為前述隔膜是超過第2規定量地復動時，停止前述驅動裝置。
4. 如申請專利範圍第3項的隔膜泵，其中，具備當前述驅動裝置被停止的情況時將警報發出的警報裝置。

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