TWI711956B

TWI711956B - 感測器薄膜、觸控感測器及該感測器的製造方法

Info

Publication number: TWI711956B
Application number: TW108130614A
Authority: TW
Inventors: 石井智大; 宮川雅司; 出口清之
Original assignee: 日商雙葉電子工業股份有限公司
Priority date: 2018-08-28
Filing date: 2019-08-27
Publication date: 2020-12-01
Also published as: TW202016716A; JP6796116B2; JP2020035088A; CN110865729A

Abstract

能夠防止立體成型由具有延伸性的基膜及電極部形成的感測器薄膜時止電極部斷裂，從而能夠提高立體成型的自由度。在基膜上用添加導電性材料與熱可塑性材料的電極材料形成電極部，為確保該電極部的絕緣性而形成由熱可塑性樹脂構成的絕緣層。對構成基膜與電極以及絕緣層的熱可塑性樹脂的組合來講，選擇的材料確保用於電極部、絕緣層的熱可塑性樹脂的玻璃化轉變溫度Tg2、Tg3比基膜的玻璃化轉變溫度Tg1低。

Description

感測器薄膜、觸控感測器及該感測器的製造方法

發明領域

本發明涉及一種基膜表面設有電極部的感測器薄膜、將該感測器薄膜成型為立體形狀的觸控感測器及該感測器的製造方法。

發明背景

以下專利文獻1公開了關於在一張基材的一側面形成有沿第一方向伸長的列電極與沿作為與第一方向相互交叉的方向的第二方向伸長的列電極的投影型電容觸控感測器的發明。

同時，以下專利文獻1公開的觸控感測器除直接作為平板狀面板使用的用途之外，還有成型為與目的相符的預定的立體形狀使用的情況。例如，具有將平板狀的薄膜感測器成型為半球狀的觸控感測器並安裝在汽車駕駛座以作為司機通過手指感觸進行操作的機構的情況。

這樣的半球狀或其他立體形狀的觸控感測器一般通過熱成型法成型，熱成型時需要一邊延伸各材料一邊成型。因此對使用材料而言，基膜使用例如PET薄膜/片、PC薄膜/片等，而電極使用熱成型時延伸的銅、銦等金屬、混有樹脂黏合劑的銀粉、PEDOT(聚乙烯二氧噻吩) 等。

並且，對熱成型法之一的真空成型而言，在真空容器內電極朝上地將薄膜感測器配置在模具上方，將容器吸成真空的同時用紅外線從電極側加熱，從薄膜感測器下方壓迫模具而延伸薄膜感測器以成型為立體形狀。

並且，成型後黏貼裝飾膜時，在形成有圖案的裝飾膜的下面形成OCA(Optical Clear Adhesive，光學透明黏合劑)作為膠，然後層疊在立體成型的薄膜感測器上並再次進行真空成型，便一體化為裝飾膜附著在薄膜感測器上的整體型形狀的觸控感測器。

現有技術文獻專利文獻

專利文獻1：日本特開2011-90443號公報

發明概要

在所述真空成型之類的熱成型法中，考慮到在成型工序中的延伸性而在薄膜感測器中使用延伸的材料，作為電極材料使用例如具有導電性的銀粉與熱可塑性的樹脂黏合劑混合的材料。

但是，在將基膜加熱成能夠延伸的程度的狀態下延伸成預定形狀時，會出現電極材料無法隨薄膜延伸，電極中一部分斷線的問題。另外，覆蓋電極的絕緣層同樣也具有無法隨薄膜延伸而出現斷裂的問題。

為了解決所述現有技術問題，本發明的目的是提供在立體成型形成有電極的感測器薄膜時能夠防止電極、絕緣層由於感測器薄膜的延伸而斷裂的感測器薄膜、對該薄膜進行立體成型得到的觸控感測器以及該感測器的製造方法。

根據本發明的第一方面的感測器薄膜，其特徵在於，包括：受熱延伸的基膜、用導電性材料中混入熱可塑性樹脂的電極材料形成且形成於所述基膜的至少一面的電極部、形成為覆蓋所述電極且由絕緣性樹脂材料構成的絕緣層，混入所述電極部的熱可塑性樹脂的玻璃化轉變溫度及構成所述絕緣層的絕緣性樹脂材料的玻璃化轉變溫度比所述基膜的玻璃化轉變溫度低。

根據本發明的第二方面的感測器薄膜，其特徵在於，第一方面的感測器薄膜中所述熱塑型樹脂和所述絕緣性樹脂材料的玻璃化轉變溫度比所述基膜的玻璃化轉變溫度低10℃以上。

根據本發明的第三方面的觸控感測器，其特徵在於，通過對第一方面的感測器薄膜進行加熱立體成型為預定形狀而成。

根據本發明的第四方面的觸控感測器的製造方法，包括對第一方面的感測器薄膜進行加熱的步驟以及保持感測器薄膜的表面側與內面側具有壓差的狀態下，將通過加熱延伸的基膜壓至基台部使得立體成型的步驟。

根據本發明的感測器薄膜，在對感測器薄膜進行立體成型時，基膜被加熱到可延伸的溫度前，電極部和絕緣層都已軟化成可延伸的狀態，因此不會發生電極部隨著基膜的延伸斷裂的問題，能夠成型為預定的立體形狀。

1:感測器薄膜

2:基膜

3:電極部

4:黏合層

5:X電極

6:Y電極

7:絕緣層

8(8X、8Y):引線

9:引出部

10:裝飾薄膜

11:基台部

12:裝飾部

20:加熱成型裝置

21:真空腔

22:上框體

23:下框體

24:保持機構

25:加熱機構

26:升降台

27:模具

30:真空泵

31:加壓罐

32:第一管道

33:支管

34:供給管

35:切換部

36:第二管道

40:加熱成型裝置

41:框體

42:真空發生裝置

42a:抽吸孔

42b:抽吸管路

43:模具

44:保持機構

45:加熱機構

TS:觸控感測器

圖1中(a)是示出本發明的感測器薄膜的平概略面圖，(b)是示出該薄膜的層結構(單面結構)的基於Z-Z切斷線的概略剖面圖，(c)是該薄膜的層結構(雙面構造)的概略剖面圖；圖2中(a)是示出設在本發明的感測器薄膜的裝飾部的平面圖，(b)是該薄膜的基於Y-Y切斷線的概略剖面圖；圖3中(a)是作為用於對本發明的感測器薄膜進行立體成型的基台部的成型用模具的概略剖面圖，(b)是本發明的觸控感測器的真空成型工序中感測器薄膜成型後的成型用模具的概略斷面圖，(c)是該觸控感測器的真空成型工序中的裝飾成型後的成型用模具的概略斷面圖；圖4中(a)-(c)是示出第一實施方式的觸控感測器的製造工序的概念圖；圖5中(a)-(c)是示出第二實施方式的觸控感測器的製造工序的概念圖。

較佳實施例之詳細說明

以下參照附圖對本發明的實施方式進行詳細說明。

為了方便圖示和理解，本說明書所附的附圖有時根據適當的縮尺、縱橫尺寸比、形狀等示出而相比與實物有變更，但這只是一例而已，並不限定本發明的釋義。因此，本發明不限於通過附圖說明的實施方式，本領域述人員基於該方式能夠想到的能夠實施的其他方式、實施例及運用技術等均屬於本發明的範圍。

另外，本說明書中參照附圖的以下說明中，為了表示方向位置，使用了上、下、左、右等術語的情況下，這與使用者從所示附圖看到的上、下、左、右一致。

[1.關於觸控感測器的構成]

首先對本發明的觸控感測器TS的構成進行說明。

如圖1中(a)、圖1中(b)中任意一圖所示，本發明的觸控感測器TS以由能夠通過加熱到所定溫度軟化延伸的基膜2及形成於該基膜2的表面的電極部3構成的感測器薄膜1為主材料。

另外，對將感測器薄膜1立體成型為所定形狀得到的觸控感測器TS來講，將由OCA構成的黏合層4設置在基膜2的內面並通過該黏合層4附著在下述基台部11製成。

並且，感測器薄膜1在被加熱成可立體成型時軟化而具有延伸性，但不一定必須立體成型後使用，例如可以有直接以薄膜狀態使用的形態，作為增強材料以框體包圍感測器薄膜1的邊緣部的形態，黏貼在板材表面作為平板狀的板機器使用的形態等，用途不受特別限制。

基膜2由加熱至所定溫度時軟化延伸且硬化後保障足夠的產品強度的熱可塑性樹脂材料(聚碳酸酯(PC)、丙烯酸系樹脂(PMMA)等)形成。

如圖1中(b)所示，電極部3由形成於基膜2的上面的X電極5和Y電極6構成。

如圖1中(a)所示，X電極5和Y電極6在俯視的情況下是分別向X方向(圖中的左右方向)和Y方向(圖中的上下方向)排列多列具有菱形或正方形的電極圖案且通過線狀圖案連接各電極圖案的構成。也就是說，X電極5和Y電極6在俯視的情況下各電極圖案彼此隔著微細的間隙組合成格子狀配置。該由X電極5和Y電極6形成的矩陣覆蓋觸控感測器TS的所有觸控面(操作面)。

X電極5和Y電極6由可作為電極使用的銅、銀、碳等導電性材料中添加有熱可塑性樹脂(例如聚酯系樹脂、丙烯酸系樹脂)的電極材料構成。對電極材料中熱可塑性樹脂的重量比來講，加入至少立體成型加熱時形成的圖案不斷線且不損害作為電極的功能的程度的量即可，雖然還取決於所用樹脂材料、導電性材料的相容性，但優選的是相對於總量占5~40重量%。

並且，為實現防止加熱延伸時一部分電極斷裂這一現有技術課題，本發明的感測器薄膜1著眼於X電極5和Y電極6中的熱可塑性樹脂和基膜2的玻璃化轉變溫度Tg，選擇確保添加的熱可塑性樹脂的玻璃化轉變溫度Tg2比基膜的玻璃化轉變溫度Tg1低的材料。

作為基膜2與熱可塑性樹脂材料的組合例，例如採用PC(玻璃化轉移點Tg1：約150℃)作為基膜2使用的情況下，選擇PVC(玻璃化轉變溫度Tg2：約80℃)、ABS(玻璃化轉變溫度Tg2：約100℃)作為熱可塑性樹脂。

並且，熱可塑性樹脂分為有結晶構造的結晶性樹脂(PE、PP、PET等)與無結晶構造的非晶性樹脂(PMMA、PC、PVC，PS、ABS等)，兩者的熱變形溫度，對熱變形溫度來講，前者取決於玻璃化轉變溫度Tg，後者取決於玻璃化轉變溫度Tg或熔點Tm，無論何種樹脂都最好以玻璃化轉變溫度Tg為基準進行選擇。

如上，基膜2與X電極5、Y電極6中添加的熱可塑性樹脂的組合是基膜2的玻璃化轉變溫度Tg1>熱可塑性樹脂的玻璃化轉變溫度Tg2這一關係成立的組合。因此，通過加熱達到基膜2的玻璃化轉變溫度Tg1之前先達到熱可塑性樹脂的玻璃化轉變溫度Tg2，因此電極材料成為可延伸的膠狀，立體成型時能夠從屬於基膜2的延伸。

並且，X電極5和Y電極6的引線8(8X、8Y)繞到基膜2的一側邊緣構成相隔所定間隔排列的引出部。如圖1中(b)所示，X電極5和Y電極6在層的厚度方向(圖1中(b)的上下方向上平行的層的層疊方向)中間間隔著絕緣層7，分別配置在不同的位置，彼此成為絕緣狀態。

絕緣層7是為了使形成於基膜2上的電極部3絕緣而形成的層。絕緣層7由使電極部3絕緣且對感測器薄膜1立體成型成為觸控感測器TS時不引起產品品質問題的具有熱可塑性的絕緣性樹脂材料構成的前提下不受特別限制，例如可以適當地選擇丙烯酸(PMMA)、聚乙烯(PE)、聚丙烯(PP)、聚碳酸酯(PC)、聚酯(PET)、聚氯乙烯(PVC)、聚苯乙烯(PS)、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯(ABS)等熱可塑性樹脂。

絕緣層7與電極部3中電極材料中添加的熱可塑性樹脂相同，在選擇要使用的絕緣性樹脂材料的基礎上，著眼於基膜2與絕緣性樹脂材料的玻璃化轉變溫度Tg，選擇確保絕緣性樹脂材料的玻璃化轉變溫度Tg3比基膜2的玻璃化轉移點Tg1低的材料。

作為基膜2與絕緣性樹脂材料的組合例，例如採用PC(玻璃化轉移點Tg1：約150℃)作為基膜2使用的情況下，選擇PVC(玻璃化轉變溫度Tg2：約80℃)、ABS(玻璃化轉變溫度Tg2：約100℃)作為絕緣性樹脂材料。

並且如上所述，作為絕緣性樹脂材料的熱可塑性樹脂分為結晶性樹脂與非晶性樹脂，無論何種樹脂都最好以玻璃化轉變溫度Tg為基準進行選擇。

如上所述，基膜2與構成絕緣層7的絕緣性樹脂材料的組合是基膜2的玻璃化轉變溫度Tg1>絕緣性樹脂材料的玻璃化轉變溫度Tg3這一關係成立的組合。因此，通過加熱達到基膜2的玻璃化轉變溫度Tg1之前先達到絕緣性樹脂材料的玻璃化轉變溫度Tg3，因此基膜2軟化到可延伸程度之前絕緣層7已經軟化成可延伸的膠狀，絕緣層7能夠從屬於基膜2的延伸。

並且，立體成型時絕緣層7軟化至能夠充分延伸的狀態，因此延伸時電極部3隨著絕緣層7與基膜2的延伸被拉伸，電極部3收到的張力均勻。因此形成電極部3的各電極的導電性材料的粒子均可保持導通狀態延伸而不斷線。

並且，選擇作為電極部3的電極材料添加的熱可塑性樹脂與作為絕緣層7使用的絕緣性樹脂材料時，優選的是選擇玻璃化轉變溫度Tg2、Tg3分別比基膜2的玻璃化轉變溫度Tg1低10℃以上的材料。這是因為玻璃化轉變溫度Tg隨著使用的材料、配比多多少少有些偏差，因此考慮該偏差而使得具有充分確保玻璃化轉變溫度Tg的溫度差的溫度裕度。

如圖2中(a)或圖2中(b)所示，設置於感測器薄膜1的裝飾部12旨在提高外觀性，根據需要在立體成型後的感測器薄膜1表面形成裝飾薄膜10。該裝飾部12根據感測器薄膜1的使用目的及審美性由具有所定色彩、透光性或非透光性的要素或具有任意花紋及圖案的要素構成。

針對上述構成例，在此示出一個具體的尺寸例。基膜2的厚度為0.3mm左右，電極部3的X電極5與Y電極6的厚度分別是5~10μm左右，絕緣層7的厚度為20~30μm左右，黏合層4的厚度為50μm左右。

並且，關於本發明的感測器薄膜1的結構，除了如圖1中(b)所示的感測器薄膜1的層結構為在基膜2的一面(圖中上面(表面)側)形成介有絕緣層7的電極部3的單面結構的形態以外，例如還可以採用如圖1中(c)所示的構造層，即以基膜2為中心在其一面(圖中上面(表面)側)形成X電極5並形成覆蓋該表面的絕緣層7，在另一面(圖中下面(內面)側)形成Y電極6並形成覆蓋該表面的絕緣層7的雙面結構。

[2.觸控感測器的製造方法]

接下來對採用所述感測器薄膜1的觸控感測器TS的製造方法進行說明。

首先對本發明的觸控感測器TS的製造方法進行概略說明，之後對製造方法的形態例(第一實施方式、第二實施方式)分別進行說明。

<2-1.製造方法概略>

首先參照圖3對本發明的觸控感測器TS製造方法進行概略說明。

本實施方式的觸控感測器TS是通過熱成型法立體成型獲得的，作為為了得到其立體形狀的同時保持獲得的立體形狀而將感測器薄膜1成型成所定形狀的模具，具有作為被附著的對象的基台部11。

如圖3中(a)所示，若將在偏離球的中心的位置將球平面切斷得到的兩個立體中大的立體視為基台部11，若想將覆蓋在基台部11的感測器薄膜1全面緊貼在基台部11的曲面而附著，只對感測器薄膜1加壓基台部11是不夠的。並且，對於繞著擠進基台部11的平坦的底面側的曲面，感測器薄膜1恐怕不能充分貼緊。對此，可邊加熱邊通過模壓進行成型使得沿著模具的曲面形狀良好地成型。

如圖3中(b)所示，通過下述真空成型方法，加熱軟化感測器薄膜1使得成為穩定的可延伸狀態，在該基台部11的曲面形狀的表面，相對於基台部11強壓感測器薄膜1以通過黏合層4附著到曲面。

並且如圖3中(c)所示，從感測器薄膜1上覆蓋薄膜狀的裝飾部12，加熱軟化裝飾部12使得成為可延伸狀態，例如採用真空成型對著基台部11相對強壓裝飾部12以附著到感測器薄膜1的表面。裝飾部12成型成基台部11的曲面形狀，覆蓋感測器薄膜1且通過黏合層4附著於感測器薄膜1。如此，觸控感測器TS就得立體成型。

並且，在此參照的圖3中(b)、圖3中(c)的感測器薄膜1的電極3部不同於圖1中(b)所示。優先考慮到圖示的簡潔性，顯示的是省略了X電極5、Y電極6及絕緣層7之後的單層結構。

通過所述成型過程獲得的觸控感測器TS成為感測器薄膜1附著到基台部11的大致半球形狀的表面，其表面通過以裝飾薄膜10為最外層的裝飾部12賦予所定的外觀性的立體形狀的產品。該立體形狀的觸控感測器TS可適用於與基台部11的大致半球形狀或大小相對應的用途，還可適用於與其裝飾薄膜10的外觀性相對應的各種用途。例如，該大致半球形狀的觸控感測器TS可作為設置在汽車控制台等處作為司機只需用手指觸控便可操作駕駛設備的機構使用。

<2-2.第一實施方式>

(第一實施方式的加熱成型裝置的構成)

下面對第一實施方式的觸控感測器TS的製造方法中使用的加熱成型裝置20進行說明。

在第一實施方法的製造方法中，通過作為熱成型法之一的真空成型進行觸控感測器TS的成型。如圖4中(a)所示，加熱成型裝置20具有真空腔21。該真空腔為長方體形狀的框體，通過高度方向的中心部分的水平分割平面被分為大致相同形狀的上框體22和下框體23。

上框體22與下框體23能夠通過圖中未示出的驅動及移動引導機構，根據需要向上下方向相向移動。在本實施方式中，下框體23固定在所定位置，上框體22能夠通過圖中未示出的驅動及移動引導機構對於下框體23相對地向上下方向移動。通過相對於下框體23上下移動上框體22開閉真空腔21，上框體22與下框體23閉合時，真空腔21的內部相對外界成為氣密狀態。

在真空腔21的外側，上框體22與下框體23分割面的延長面附近，隔著真空腔21的至少兩個位置設有隔著保持薄膜狀的感測器薄膜1的保持機構24。在處於打開狀態的上框體22與下框體23之間配置被保持機構24保持的感測器薄膜1並使上框體22與下框體23成為閉合狀態的情況下，能夠在成為氣密狀態的真空腔21內部大致中央部分配置感測器薄膜1。

在真空腔21的上框體22中，其上面設有加熱機構25。該加熱機構25使用即使在真空狀態也能夠對感測器薄膜1加熱的紅外線加熱器，能夠向被保持機構24保持的感測器薄膜1的上面照射紅外線以對感測器薄膜1進行加熱。

並且，在真空腔21的下框體23中，其底面設有升降台26。升降台26上設有相當於觸控感測器TS基台部11的模具27，能夠在成型工序中在所需時間點從待機位置上升至成型位置。該升降台26能夠通過設置在升降台26上的模具27從下方向上壓迫上升被保持機構24保持的感測器薄膜1。

進一步地，在真空腔21的外部設有作為能夠通過抽吸真空腔21內的空氣形成真空氛圍(或減壓氛圍)的機構的真空泵30。並且，真空腔21的外部設有作為向真空腔21內部提供空氣形成大氣壓氛圍(或其以上的加壓氛圍)的機構的加壓罐31。真空泵30的抽吸口經由第一管道32與下框體23內部連通，能夠對下框體23的內部進行抽吸。

從該第一管道32分出了支管33，該支管33與連接於加壓罐31的供給口的供給管34通過切換部35同軸連接。並且上框體22連通有第二管道36，該第二管道36連接於切換部35。因此，能夠通過將切換部35切換到上下方向中的任意一個方向選擇性地執行連接真空泵30與切換部35對上框體22內部抽出的操作和連接加壓罐31與切換部35向上框體22內部供給空氣的操作。

(第一實施方式的製造工序)

以下對第一實施方式中觸控感測器TS的製造工序按順序進行說明。

如圖4中(a)所示，打開真空腔21，將被保持機構24保持的感測器薄膜1配置在上框體22與下框體23的分割面內。此時配置成絕緣層7面向加熱機構25，黏合層4面向模具。

如圖4中(b)所示，閉合真空腔21，將切換部35切換到與真空泵30連通的支管33一側並啟動真空泵30。真空泵30經由第一管道32對下框體23的內部抽吸的同時，經由第二管道對上框體22的內部抽吸。真空腔21內部達到所需真空狀態後啟動加熱機構25加熱感測器薄膜1。由於該加熱是通過紅外線進行，因此在真空中也可以加熱感測器薄膜1。

如圖4中(c)所示，在加熱的同時升高升降台26，通過模具27將感測器薄膜1壓上去。同時將切換部35切換到與加壓罐31連通的供給管34一側，從加壓罐31向上框體22內部供給空氣。被均勻加熱而整體呈現穩定的延伸性的感測器薄膜1被模具27從下方推送上來。與此同時，感測器薄膜1通過向上框體22內部供給空氣形成的大氣壓狀態或加壓狀態與下框體23的減壓狀態之間的壓力差從上方被壓向模具27。如此，薄膜狀的感測器薄膜1能夠在不破裂的情況下穩定地延伸附著於模具27的表面，成為沿著模具27的立體形狀成型的觸控感測器TS。

並且，圖4作為不同於圖3中說明的例的變形例，作為基台部11的模具27採用倒圓錐形的立體，但就基台部11及模具27而言，作為三維立體形狀的觸控感測器TS的芯的基台部、模具的形狀不受限制，可以採用滿足需要的任意形狀的基台部及模具。

如圖4所示，在倒圓錐形的模具27的表面中，面積不同且互相平行的兩個圓形面中面積大的圓形面、連接兩個圓形面的各圓周且展開後呈扇形的兩個側周面形成觸控感測器TS的操作區域。也就是說通過用模具27延伸成型感測器薄膜1，在一側圓形面和側周面黏付感測器薄膜1，使感測器薄膜1的電極部3至少配置在最終成為操作區域的一側圓形面及側周面上，將感測器薄膜1的操作區域構成為不同於圖3的示例的上述立體形狀。

並且，完成圖4中(c)所示的成型工序後，將感測器薄膜1中沒有附著於模具27的部分切斷成圓形使得在與面積小的另一側圓形面相隔的適當位置包圍另一側的圓形面，捨棄從模具27切掉的部分。也就是說將感測器薄膜1中沒有附著於模具27的部分的一部分作為與附著於模具27的部分相連的領狀部分保留。並且，對於該感測器薄膜1的領狀部分，當採用將該感測器薄膜1設置到其他機構的所定位置以形成一體化設備的機構時，不僅能夠提高組裝性及作為設備的構造上的一體型，而且提高其他機構與感測器薄膜1相連接的部分的審美性，具有優良的美觀性。

並且，雖然圖中並未示出，感測器薄膜1附著於模具27後切除丟棄感測器薄膜1中沒有附著於模具27的外緣部分，將被附著感測器薄膜1的模具27再次配置於升降台26上，下一次用保持機構24將裝飾部12保持成裝飾部12朝向加熱機構25的狀態，然後重複圖4中(a)~圖4中(c)的工序。

如此一來，附著於模具27的感測器薄膜1的表面被疊加附著裝飾部12。裝飾部12附著於感測器薄膜1後切除丟棄裝飾部12中沒有附著於模具27及感測器薄膜1的外緣部分即可得到形成有裝飾部12且具有模具27的立體形狀的觸控感測器TS。

並且，在上述工序中，感測器薄膜1的真空成型及裝飾部12的真空成型是分開進行的，但是也可以在感測器薄膜1上疊加裝飾部12的狀態下通過一次真空成型製造觸控感測器TS。

<2-3.第二實施方式>

以下對第二實施方式的觸控感測器TS的製造方法進行說明。

如圖5所示，第二實施方式中的加熱成型裝置40由用板狀部件構成的框體41、配置在框體41下方作為基台部11的模具43大致配置在中央附近的真空發生裝置42、圖中未示出的通過驅動及移動機構將感測器薄膜1壓向模具43的保持機構44構成。

並且，框體41設有對感測器薄膜1加熱的加熱機構45。在第一實施方式中，採用用於在真空中加熱感測器薄膜1的紅外線加熱器，但本實施方式是在大氣中加熱，因此作為加熱機構45的構成不局限於紅外線加熱器，例如可採用電熱線加熱器等可以加熱感測器薄膜1的裝置。因此第二實施方式相比於第一實施方式在加熱成型裝置40方面可選擇餘地更大。

對真空發生裝置42來講，被配置模具43的表面有多個抽吸孔42a，通過保持機構44將感測器薄膜1移動至成型位置後從抽吸管路42b抽吸空氣的情況下，從位於感測器薄膜1的內面的抽吸孔42a抽吸形成真空。從而能夠利用感測器薄膜1的表面與內面的差壓附著於基台部11上。

(第二實施方式的製造工序)

以下對第二實施方式中觸控感測器TS的製造工序按順序進行說明。

如圖5中(a)所示，在通過保持機構44將感測器薄膜1保持成絕緣層7面向加熱機構45且黏合層4面向模具的狀態下，啟動加熱機構加熱感測器薄膜1。該加熱過程在大氣中進行。

如圖5中(b)所示，保持機構44下降到所定的成型位置後，如圖5中(c)所示，被均勻加熱而整體呈現穩定的延伸性的感測器薄膜1壓到模具43，啟動真空發生裝置42開始抽吸。這時，感測器薄膜1的表面(絕緣層7側)為大氣壓狀態，作為真空發生裝置42側的感測器薄膜1的內面(黏合層4側)成為減壓狀態，通過該差壓從上方向模具43 下壓感測器薄膜1。因此薄膜狀的感測器薄膜1不破裂，能夠在穩定地延伸的同時附著於模具43的表面製成沿著模具43的立體形狀成型的觸控感測器TS。

圖5作為不同於圖3說明的例子的變形例，作為基台部11的模具43採用倒圓錐形的立體，但基台部11及模具43可以像第一實施方式一樣，作為三維立體形狀的觸控感測器TS的芯的基台部、模具的形狀不受限制，可以採用滿足需要的任意形狀的基台部及模具。

並且，雖然圖中沒有示出，但可以像第一實施方式一樣，感測器薄膜1附著於模具43後切除丟棄感測器薄膜1中沒有附著於模具43的外緣部分，將被附著感測器薄膜1的模具43再次配置於真空發生裝置42，下一次用保持機構44將裝飾部12保持成裝飾部12朝向加熱機構45的狀態，然後重複圖5中(a)~圖5中(c)的工序。

如此一來，附著於模具43且黏合的感測器薄膜1的表面被疊加附著黏合裝飾部12。裝飾部12附著於感測器薄膜1後切除丟棄裝飾部12中沒有附著於模具43及感測器薄膜1的外緣部分即可得到形成有裝飾部12且具有模具43的立體形狀的觸控感測器TS。

[3.作用與效果]

如上所述，所述感測器薄膜1是在基膜2上用添加有導電性材料與熱可塑性樹脂的電極材料形成電極部3，為確保電極部3的絕緣性而形成由熱可塑性樹脂構成的絕緣層7，對構成基膜2與電極部3及絕緣層7的熱可塑性樹脂的組合來講，選擇用於電極部3與絕緣層7的熱可塑性樹脂的玻璃化轉變溫度Tg2、Tg3比基膜2的玻璃化轉變溫度Tg1低的各材料。

因此，立體成型感測器薄膜1時，在基膜2被加熱到可延伸的溫度前，電極部3及絕緣層7已經軟化成可延伸狀態，因此電極部3能夠隨著基膜2的延伸立體成型而不會發生斷線。

並且，由於選擇確保用於電極部3和絕緣層7的熱可塑性樹脂的玻璃化轉變溫度Tg2、Tg3低於基膜2的玻璃化轉變溫度Tg1的各材料，因此在加熱延伸時，絕緣層7先於基膜2軟化，形成於基膜2與絕緣層7之間的電極部3隨著基膜2和絕緣層7的延伸拉伸而延伸。因此電極部3受到的張力均勻，形成電極部3中的各電極的導電性材料粒子都能夠保持著通電狀態延伸而不發生延伸。