TWI704350B - 探針頭及探針 - Google Patents

Abstract

一種探針頭包含探針座與探針。探針座包含第一、第二上導位板與下導位板，這些導位板分別具有第一、第二與第三導位孔。第一與第二上導位板之間具有容置空間。探針包含相連接的針尾、止擋部、針身與針尖。針尾抵靠第一上導位孔的內壁。止擋部位於容置空間，且其第一橫切面沿第一方向具有第一長度，其大於第二導位孔沿第一方向之第一寬度，止擋部沿針尾的延伸方向之投射至少部分落在第一上導位板。針身少部分位於第二上導位板與下導位板之間，其第二橫切面沿第一方向具有第三長度，並沿垂直於第一方向的第二方向具有大於第三長度的第二長度。

Description

探針頭及探針

本發明是關於一種探針頭及一種探針。

探針卡的主要功用是藉由其探針與待測物(如尚未封裝之晶粒)上的銲墊或者是凸塊直接接觸，配合周邊測試機台與軟體控制而達到測試的目的，並進一步篩選出不良品。測試的過程，通常是藉由測試機台發送測試訊號，經探針卡到待測物，再由待測物回送測試結果訊號，經探針卡到測試機台進行分析。

一般而言，探針卡上具有探針頭，用以固定一定數量的探針。在測試進行時，待測物被固定於測試機台，而多個探針則同時接觸待測物。

本發明之目的之一在於提供一種探針頭，其能避免掉針、脫針或針身因彎曲而相互觸碰的情況。

根據本發明的一實施方式，一種探針頭包含有一探針座以及複數個探針。探針座包含有一第一上導位板、一第二上導位板以及一下導位板，第二上導位板位於第一上 導位板與下導位板之間，第一上導位板與第二上導位板之間具有一容置空間，第一上導位板、第二上導位板以及下導位板分別具有複數個第一導位孔、複數個第二導位孔以及複數個第三導位孔，而探針分別穿越第一導位孔、第二導位孔與第三導位孔。探針則包含有一針尖、一針尾、一止擋部以及一針身。針尾至少部分抵靠第一上導位孔的內壁，針尾的一延伸方向與針尖的一延伸方向錯開。止擋部連接針尾，並位於容置空間，且在垂直於探針的一延伸方向上具有一第一橫切面，第一橫切面沿一第一方向具有一第一長度。此外，第二導位孔沿第一方向具有一第一寬度，第一長度大於對應之第二導位孔之第一寬度。止擋部沿對應之針尾的延伸方向之一投射至少部分落在第一上導位板上。針身則連接於止擋部與針尖之間，針身穿越對應之第二導位孔，且至少部分位於第二上導位板與下導位板之間，針身在垂直於針尾的延伸方向上具有一第二橫切面，第二橫切面沿一第二方向具有一第二長度，並沿第一方向具有一第三長度，第二方向垂直於第一方向，第二長度大於第三長度。

根據本發明的一實施方式，一種探針包含有一針尖、一針尾、一止擋部以及一針身。止擋部連接針尾，止擋部在垂直於針尾的一延伸方向上具有一第一橫切面，第一橫切面具有相對之兩第一直邊以及相對之兩第一弧邊，第一直邊沿一第一方向延伸，針身連接於止擋部與針尖之間，針身在垂直於延伸方向上具有一第二橫切面，第二橫切面具有相對之兩第二直邊以及相對之兩第二弧邊，第二直邊沿一第 二方向延伸，第二方向垂直於第一方向，其中，第一直邊彼此平行且相隔一第一直邊距，第一弧邊之間具有一第一最遠距離，第一最遠距離大於第一直邊距，且第二直邊彼此平行且相隔一第二直邊距，第二弧邊之間具有一第二最遠距離，第一最遠距離大於第二最遠距離，第二最遠距離大於第二直邊距，第二直邊距大於第一直邊距。

根據本發明的一實施方式，一種探針包含有一針尖、一針尾以及一止擋部。止擋部連接於針尖與針尾之間，止擋部在垂直於針尾的一延伸方向上具有一第一橫切面，第一橫切面具有相對之兩第一直邊以及相對之兩第一弧邊，第一直邊沿一方向延伸，其中，第一直邊彼此平行且相隔一第一直邊距，第一弧邊之間具有一第一最遠距離，針尖與針尾在垂直於延伸方向上具有一第二橫切面，第二橫切面呈正方形且具有一邊長，邊長平行於平行於第一直邊延伸的方向，且大於第一直邊距而小於第一最遠距離。

100‧‧‧探針頭

110‧‧‧探針座

111‧‧‧上導位板

111a‧‧‧第一上導位板

111b‧‧‧第二上導位板

113‧‧‧下導位板

120‧‧‧探針

121‧‧‧止擋部

1211‧‧‧第一直邊

1212‧‧‧第一弧邊

1213‧‧‧第一抵接面

1214‧‧‧第二抵接面

126‧‧‧針身

1261‧‧‧第二直邊

1262‧‧‧第二弧邊

127‧‧‧針尖

128‧‧‧針尾

A、B‧‧‧容置空間

C1‧‧‧第一橫切面

C2‧‧‧第二橫切面

C3‧‧‧第三橫切面

D1‧‧‧第一方向

D2‧‧‧第二方向

DE‧‧‧延伸方向

G1‧‧‧第一導位孔

G2‧‧‧第二導位孔

G3‧‧‧第三導位孔

H1‧‧‧最遠距離(長度)

H2‧‧‧最遠距離(長度)

H3‧‧‧長度(直邊距離)

H4‧‧‧長度(直邊距離)

S‧‧‧邊長

WA111a、WB111a、WA111b、WB111b‧‧‧寬度

X‧‧‧直徑

Y‧‧‧長度

Z‧‧‧軸心

第1圖為繪示依照本發明一實施方式之探針頭的正視剖面圖，其中上導位板以及下導位板未被錯開。

第2圖為繪示第1圖之探針頭的側視剖面圖。

第3圖為繪示第1圖之探針的上視圖。

第4圖為繪示第1圖之探針頭的正視剖面圖，其中上導位板以及下導位板彼此錯開。

第5圖為繪示第1圖之探針與第一導位孔及第二導位孔的局部放大立體示意圖。

第6~8圖為繪示依照本發明另一實施方式之探針的立體示意圖。

以下將以圖式揭露本發明之複數個實施方式，為明確說明起見，許多實務上的細節將在以下敘述中一併說明。然而，應瞭解到，這些實務上的細節不應用以限制本發明。也就是說，在本發明部分實施方式中，這些實務上的細節是非必要的。此外，為簡化圖式起見，一些習知慣用的結構與元件在圖式中將以簡單示意的方式繪示之。且若實施上為可能，不同實施例的特徵係可以交互應用。

請參照第1~2圖。第1圖為繪示依照本發明一實施方式之探針頭100的正視剖面圖，其中上導位板111以及下導位板113未被錯開。第2圖為繪示第1圖之探針頭100的側視剖面圖。更具體說明，第1圖與第2圖的視角彼此成90度。在本實施方式中，如第1~2圖所示，探針頭100包含探針座110以及複數個探針120。探針座110包含上導位板111以及下導位板113，上導位板111包含第一上導位板111a以及第二上導位板111b，第二上導位板111b位於第一上導位板111a與下導位板113之間，第一上導位板111a、第二上導位板111b以及下導位板113分別具有複數個第一導位孔G1、複數個第二導位孔G2以及複數個第三導位孔G3。第一上導位板111a與第二上導位板111b彼此固定，而 第一導位孔G1分別與對應之第二導位孔G2對齊。在把探針120安裝至探針座110時，探針120順序穿越第一導位孔G1、對應之第二導位孔G2與對應之第三導位孔G3。得注意的是，如第1~2圖所示，上導位板111以及下導位板113未被錯開，而這階段是將探針120放入探針座110中所進行的植針的程序，在此階段中，上導位板111與下導位板113的外邊緣並不對齊。

具體而言，探針120包含針尖127、針尾128、止擋部121以及針身126。針尖127用以接觸待測物(圖未示)，而針尾128則用以接觸探針卡的空間轉換裝置(圖未示)。止擋部121連接針尾128，且位於第一上導位板111a與第二上導位板111b之間的容置空間B。在實務的應用中，止擋部121沿探針120(或針尾128)的延伸方向DE具有長度Y，長度Y的範圍為約25微米與約200微米之間。然而，應了解到，以上所舉止擋部121的長度Y的範圍僅為例示，並非用以限制本發明，本發明所屬技術領域中具有通常知識者，應視實際需要，適當設計止擋部121的長度Y。針身126連接於止擋部121與針尖127之間，且針身126穿越對應之第二導位孔G2，並至少部分位於第二上導位板111b與下導位板113之間所定義的容置空間A內。在本實施方式中，探針120為直針，針尖127與針尾128在同一軸線上。再者，第一上導位板111a與第二上導位板111b之間的容置空間B，用以容置複數個探針120的止擋部121。止擋部121的長度Y小於容置空間B的高度，容置空間B的高度為第一上導位板111a面 朝第二上導位板111b的一面到第二上導位板111b面朝第一上導位板111a的一面之間的距離。

如第1圖所示，止擋部121在垂直於探針120的延伸方向DE上具有第一橫切面C1。請參照第3圖，其為繪示第1圖的探針120的上視圖。在本實施方式中，由於止擋部121沿延伸方向DE的外形是一致的，因此，第一橫切面C1的形狀相同於止擋部121從上觀之的形狀，如第3圖所示，止擋部121的第一橫切面C1具有相對之兩第一直邊1211以及相對之兩第一弧邊1212，第一直邊1211沿第一方向D1延伸。

再者，第一橫切面C1的第一直邊1211彼此平行且相隔長度H4，故亦可稱之為直邊距離H4，第一橫切面C1的第一弧邊1212之間則具有長度H1，或定義為最遠距離H1。具體而言，最遠距離H1為第一弧邊1212之間通過探針120之軸心Z的距離。在本實施方式中，最遠距離H1大於長度H4。

另外，如第1圖所示，針身126在垂直於探針120的延伸方向DE上具有第二橫切面C2。相似地，在本實施方式中，由於針身126沿延伸方向DE的外形是一致的，因此，第二橫切面C2的形狀相同於針身126從上觀之的形狀，如第3圖所示，針身126的第二橫切面C2具有相對之兩第二直邊1261以及相對之兩第二弧邊1262，第二直邊1261沿第二方向D2延伸，第二方向D2垂直於第一方向D1。

再者，第二橫切面C2的第二直邊1261彼此平行 且以長度H3所相隔，故亦可稱之為直邊距離H3，第二橫切面C2的第二弧邊1262之間則具有長度H2，或定義為最遠距離H2。具體而言，最遠距離H2為第二弧邊1262之間通過探針120之軸心Z的距離。在本實施方式中，最遠距離H1大於最遠距離H2，最遠距離H2大於長度H3，而長度H3則大於長度H4。

值得注意的是，由於針身126在第二方向D2上的最遠距離H2大於在第一方向D1上的長度H3，因此，相較於第二方向D2，針身126較容易朝第一方向D1彎曲。如此一來，當多支探針120同時接觸待測物而使探針120受壓時，探針120的針身126偏向朝相同的第一方向D1彎曲，因而針身126因彎曲而相互觸碰的情況能夠有效避免。

進一步而言，如第1圖所示，針尾128在垂直於延伸方向DE上具有第三橫切面C3。在本實施方式中，由於針尾128沿延伸方向DE的外形是一致的，因此，第三橫切面C3的形狀相同於針尾128從上觀之的形狀，如第3圖所示，針尾128的第三橫切面C3呈圓形，且具有直徑X，直徑X大於長度H3，而小於最遠距離H2。在本實施方式中，針尖127的横切面亦為圓形，其直徑亦可相同於針尾128的直徑X。

綜合上述有關探針120的尺寸關係，應滿足以下的不等式：H1>H2>X>H3>H4

請參照第4圖，其為繪示第1圖之探針頭100的 正視剖面圖，其中探針座110的上導位板111以及下導位板113彼此錯開，以完成探針頭100的組裝。值得注意的是，在此階段中，上導位板111與下導位板113的外邊緣彼此對齊。然而，應了解到，以上所舉上導位板111與下導位板113的外邊緣彼此對齊與否僅為例示，並非用以限制本發明，需要看上導位板111與下導位板113的外邊緣設計，除了前述方式，在植針階段上導位板111與下導位板113的外邊緣可以設計成對齊，在組裝完成之後為不對齊狀態，或者在植針階段和組裝完成階段，上導位板111與下導位板113的外邊緣都設計為不對齊，只要可以組裝成探針頭100並與探針卡其他元件進行組裝即可。

在本實施方式中，如第4圖所示，由於上導位板111以及下導位板113沿第一方向D1彼此錯開，因此第二導位孔G2與第三導位孔G3亦沿第一方向D1彼此錯開，使得探針120的針身126相對針尖127及針尾128挫曲(buckling)變形，而針尾128與針尖127分別朝相反方向至少部分抵靠第一上導位孔G1及第三導位孔G3的內壁。在此情況下，針尾128的延伸方向與針尖127的延伸方向錯開，針尖127與針尾128實質上彼此平行。

值得注意的是，如第4圖所示，止擋部121具有相對之第一抵接面1213以及第二抵接面1214，第一抵接面1213在第一方向D1上鄰接針尾128，第二抵接面1214在第一方向D1上鄰接針身126，第一抵接面1213配置以至少部分面對第一上導位板111a面朝第二上導位板111b的一面， 第二抵接面1214配置以至少部分面對第二上導位板111b面朝第一上導位板111a的一面。

換句話說，止擋部121沿第一方向D1的最遠距離H1大於第二導位孔G2沿第一方向D1的寬度WA111b，因此，止擋部121無法通過第二上導位板111b的第二導位孔G2。也就是說，藉由止擋部121在第一方向D1上凸出於針身126的部分(亦即第二抵接面1214)抵壓向第二上導位板111b，探針120不會朝待測物的方向意外地掉出於探針座110之外，或者說探針120不會從針尖127朝遠離針尾128的方向掉出探針座110(業界稱之為“掉針”)。換句話說，第二導位孔G2的寬度WA111b與止擋部121的最遠距離H1的尺寸關係，應滿足以下的不等式：H1>WA111b

在實務的應用中，止擋部121的最遠距離H1比針身126的長度H3大於約2微米。如此一來，在止擋部121與針身126皆對稱於探針120之軸心Z的情況下，止擋部121相對針身126在第一方向D1上凸出超過約1微米左右。然而，應了解到，以上所舉止擋部121在第一方向D1凸出於針身126的尺寸大小僅為例示，並非用以限制本發明，本發明所屬技術領域中具有通常知識者，應視實際需要，適當設計止擋部121在第一方向D1凸出於針身126的尺寸大小。

另外，如第4圖所示，由於探針座110的上導位板111以及下導位板113彼此錯開使探針120的針身126挫曲變形，針尾128與針尖127不在同一軸線上，而針尾128、 止擋部121及針身126的一部份沿第一方向D1靠向第一導位孔G1及第二導位孔G2的一側，使得針尾128及針身126的一部份能夠分別沿第一方向D1抵靠第一上導位板111a及第二上導位板111b，止擋部121在第一方向D1上凸出於針尾128及針身126的凸出部分能夠於第一上導位板111a及第二上導位板111b之間的容置空間B移動，而止擋部121的凸出部分(即第一抵接面1213)沿延伸方向DE的投射至少部分落在第一上導位板111a上並能配置以抵壓向第一上導位板111a，從而防止探針120從針尾128朝遠離針尖127的方向意外地脫離探針座110(業界稱之為“脫針”)。

在實務的應用中，止擋部121的最遠距離H1比針尾128的直徑X大於約2微米。如此一來，在止擋部121與針尾128皆對稱於探針120之軸心Z的情況下，止擋部121相對針尾128在第一方向D1上凸出超過約1微米左右。然而，應了解到，以上所舉止擋部121在第一方向D1凸出於針尾128的尺寸大小僅為例示，並非用以限制本發明，本發明所屬技術領域中具有通常知識者，應視實際需要，適當設計止擋部121在第一方向D1凸出於針尾128的尺寸大小。

請參照第5圖，其為繪示第1圖之探針120與第一導位孔G1及第二導位孔G2的局部放大立體示意圖。在本實施方式中，如第5圖所示，第二導位孔G2的形狀為矩形，如上所述，針身126具有彼此平行的兩第二直邊1261，第二導位孔G2可防止針身126相對第二上導位板111b轉動，並且，第二導位孔G2具有沿第二方向D2的寬度WB111b，而 寬度WB111b大於針身126的最遠距離H2，以使針身126可穿越第二導位孔G2。換句話說，第二導位孔G2的寬度WB111b與針身126的最遠距離H2的尺寸關係，應滿足以下的不等式：WB111b>H2

另外，如第5圖所示，第一導位孔G1的形狀亦為矩形，其具有沿第一方向D1的寬度WA111a以及沿第二方向D2的寬度WB111a。具體而言，第一導位孔G1的寬度WA111a大於止擋部121的最遠距離H1，以使止擋部121可以穿越第一導位孔G1。換句話說，第一導位孔G1的寬度WA111a與止擋部121的最遠距離H1的尺寸關係，應滿足以下的不等式：WA111a>H1

再者，第一導位孔G1的寬度WB111a大於針身126的最遠距離H2，以使針身126可以穿越第一導位孔G1。換句話說，第一導位孔G1的寬度WB111a與針身126的最遠距離H2的尺寸關係，應滿足以下的不等式：WB111a>H2

請參照第6圖，其為繪示依照本發明另一實施方式之探針120的立體示意圖。在本實施方式中，如第6圖所示，探針120的針尖127的橫切面可根據實際需要，設計為相同於針身126的第二橫切面C2並將之旋轉90度。換句話 說，針尖127的橫切面亦具有相對的兩直邊，在此情況下，下導位板113上對應的第三導位孔G3則設計呈矩形，以配合針尖127的形狀，從而防止針尖127相對下導位板113旋轉。值得注意的是，由於針尖127的橫切面相同於針身126的第二橫切面C2並旋轉90度，因此，相較於第一方向D1，針身126較容易朝第一方向D1彎曲。如此一來，當多支探針120同時接觸待測物而使探針120受壓時，探針120的針身126偏向朝相同的第一方向D1彎曲，因而針身126因彎曲而相互觸碰的情況能夠有效避免。

請參照第7圖，其為繪示依照本發明再一實施方式之探針120的立體示意圖。在本實施方式中，如第7圖所示，探針120的針尖127的橫切面相同於針身126的第二橫切面C2。也就是說，根據實際需要，探針120的針尖127可為針身126的延伸。

請參照第8圖，其為繪示依照本發明又一實施方式之探針120的立體示意圖。在本實施方式中，根據實際需要，如第8圖所示，針尾128、針身126與針尖127皆具有相同的正方形橫切面。也就是說，探針120的針尖127為針身126的延伸。再者，針尾128、針身126與針尖127的邊長S，平行於第一方向D1或第二方向D2，且大於止擋部121的長度H4，而小於止擋部121的最遠距離H1。

再者，為配合針尾128、針身126與針尖127皆具有相同的正方形橫切面，在本實施方式中，上述的寬度WA111a與寬度WB111a彼此相同，以使第一導位孔G1的形 狀亦形成正方形，而且寬度WA111a與寬度WB111a均大於止擋部121的最遠距離H1，以讓止擋部121能夠穿越第一導位孔G1。在實務的應用中，第一導位孔G1的寬度WA111a與寬度WB111a，可能會因為工藝上的限制而產生誤差，以使兩者偏差例如約±1um~±3um。

另外，上述的寬度WA111b與寬度WB111b亦彼此相同，以使第二導位孔G2的形狀亦形成正方形。而且，寬度WA111b與寬度WB111b小於止擋部121的最遠距離H1，以使第二上導位板111b能夠承托止擋部121，而寬度WA111b與寬度WB111b則大於針身126與針尖127的邊長S，以讓針身126與針尖127能夠穿越第二導位孔G2。因此，在本實施方式中，探針120的尺寸關係應滿足以下的不等式：WA111a=WB111a>H1>WA111b=WB111b>S>H4

綜上所述，本發明上述實施方式所揭露的技術方案至少具有以下優點：

(1)由於針身在第二方向上的最遠距離H2大於在第一方向上的長度H3，因此，相較於第二方向，針身較容易朝第一方向彎曲。如此一來，當多支探針同時接觸待測物而使探針受壓時，探針的針身偏向朝相同的第一方向彎曲，因而針身因彎曲而相互觸碰的情況能夠有效避免。

(2)止擋部沿第一方向的最遠距離H1大於第二導位孔沿第一方向的寬度，因此，止擋部無法通過第二上導位板的第二導位孔。也就是說，藉由止擋部在第一方向上凸 出於針身的部分抵壓向第二上導位板，探針不會朝待測物的方向意外地掉出於探針座之外。

(3)由於探針座的第二上導位板以及下導位板彼此錯開而使探針的針身相對針尾彎折，因此，針尾至少部分抵靠第一導位孔的內壁，使得止擋部凸出於針尾的部分能夠抵壓向第一上導位板，換句話說，止擋部凸出於針尾的部分設置在第一上導位板與第二導位板之間的容置空間中，從而防止探針朝探針卡的方向意外地脫離探針座。

雖然本發明已以實施方式揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何熟習此技藝者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作各種之更動與潤飾，因此本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

111‧‧‧上導位板

111a‧‧‧第一上導位板

111b‧‧‧第二上導位板

120‧‧‧探針

121‧‧‧止擋部

1213‧‧‧第一抵接面

126‧‧‧針身

128‧‧‧針尾

D1‧‧‧第一方向

D2‧‧‧第二方向

DE‧‧‧延伸方向

G1‧‧‧第一導位孔

G2‧‧‧第二導位孔

H1‧‧‧最遠距離(長度)

H2‧‧‧最遠距離(長度)

H3‧‧‧長度(直邊距離)

H4‧‧‧長度(直邊距離)

WA111a、WB111a、WA111b、WB111b‧‧‧寬度

Claims (12)

1. 一種探針頭，包含：一探針座，包含一第一上導位板、一第二上導位板以及一下導位板，該第二上導位板位於該第一上導位板與該下導位板之間，該第一上導位板與該第二上導位板之間具有一容置空間，該第一上導位板、該第二上導位板以及該下導位板分別具有複數個第一導位孔、複數個第二導位孔以及複數個第三導位孔；以及複數個探針，分別穿越對應之該些第一導位孔、對應之該些第二導位孔與對應之該些第三導位孔，每一該些探針包含：一針尖；一針尾，至少部分抵靠該第一上導位孔的內壁，該針尾的一延伸方向與該針尖的一延伸方向錯開；一止擋部，連接該針尾，並位於該容置空間，且在垂直於該探針的一延伸方向上具有一第一橫切面，該第一橫切面沿一第一方向具有一第一長度，每一該些第二導位孔沿該第一方向具有一第一寬度，該第一長度大於對應之該第二導位孔之該第一寬度，該止擋部沿對應之該針尾的該延伸方向之一投射至少部分落在該第一上導位板上；以及一針身，連接於該止擋部與該針尖之間，該針身穿越對應之該第二導位孔，且至少部分位於該第二上導位板與該下導位板之間，該針身在垂直於該針尾的該延伸方向上具有一第二橫切面，該第二橫切面沿一 第二方向具有一第二長度，並沿該第一方向具有一第三長度，該第二方向垂直於該第一方向，該第二長度大於該第三長度，其中每一該些第一導位孔沿該第一方向具有一第二寬度，該第二寬度大於該第一長度，每一該些第一導位孔沿該第二方向具有一第三寬度，該第三寬度大於該第二長度。
2. 如請求項1所述之探針頭，其中該些第一導位孔分別與對應之該第二導位孔對齊，該些第二導位孔與該些第三導位孔沿該第一方向彼此錯開，使得該針尾的該延伸方向與該針尖的該延伸方向錯開。
3. 如請求項1所述之探針頭，其中每一該些止擋部具有相對之一第一抵接面以及一第二抵接面，該第一抵接面在該第一方向上鄰接該針尾，該第二抵接面在該第一方向上鄰接該針身，該第一抵接面配置以至少部分面朝該第一上導位板面朝該第二上導位板的一面，該第二抵接面配置以至少部分面朝該第二上導位板面朝該第一上導位板的一面。
4. 如請求項1所述之探針頭，其中該針尾在垂直於該針尾的該延伸方向上具有一第三橫切面，該第三橫切面呈圓形，且具有一直徑，該第一橫切面沿該第二方向具有一第四長度，其中，該第一長度大於該第二長度，該第二長度大於該直徑，該直徑大於該第三長度，該第三 長度大於該第四長度。
5. 如請求項1所述之探針頭，其中該第二寬度大於該第一寬度。
6. 如請求項1所述之探針頭，其中每一該些第二導位孔沿該第二方向具有一第四寬度，該第四寬度大於該第二長度。
7. 如請求項1所述之探針頭，其中每一該些第二導位孔呈矩形，每一該些第二橫切面具有彼此平行的兩直邊。
8. 如請求項1所述之探針頭，其中每一該些針尖具有與對應之該第二橫切面相同之一橫切面。
9. 如請求項1所述之探針頭，其中每一該些第三導位孔呈矩形。
10. 一種探針，包含：一針尖；一針尾；一止擋部，連接該針尾，該止擋部在垂直於該針尾的一延伸方向上具有一第一橫切面，該第一橫切面具有相對之兩第一直邊以及相對之兩第一弧邊，該些第一直邊沿一 第一方向延伸；以及一針身，連接於該止擋部與該針尖之間，該針身在垂直於該延伸方向上具有一第二橫切面，該第二橫切面具有相對之兩第二直邊以及相對之兩第二弧邊，該些第二直邊沿一第二方向延伸，該第二方向垂直於該第一方向，其中，該些第一直邊彼此平行且相隔一第一直邊距離，該些第一弧邊之間具有一第一最遠距離，該第一最遠距離大於該第一直邊距離，其中，該些第二直邊彼此平行且相隔一第二直邊距離，該些第二弧邊之間具有一第二最遠距離，該第一最遠距離大於該第二最遠距離，該第二最遠距離大於該第二直邊距離，該第二直邊距離大於該第一直邊距離。
11. 如請求項10所述之探針，其中該針尾在垂直於該延伸方向上具有一第三橫切面，該第三橫切面呈圓形，且具有一直徑，該直徑大於該第二直邊距離，而小於該第二最遠距離。
12. 一種探針，包含：一針尖；一針尾；以及一止擋部，連接於該針尖與該針尾之間，該止擋部在垂直於該針尾的一延伸方向上具有一第一橫切面，該第一橫切面具有相對之兩第一直邊以及相對之兩第一弧邊，該些第一直邊沿一方向延伸， 其中，該些第一直邊彼此平行且相隔一第一直邊距離，該些第一弧邊之間具有一第一最遠距離，該針尖與該針尾在垂直於該延伸方向上具有一第二橫切面，該第二橫切面呈正方形且具有一邊長，該邊長平行於該些第一直邊延伸的該方向，且大於該第一直邊距離而小於該第一最遠距離。

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