TWI698272B - 廢氣處理系統 - Google Patents

Abstract

一種廢氣處理系統，包含一入口洗滌單元、一連通於該入口洗滌單元的反應單元，及一連通於該反應單元的出口洗滌單元。該入口洗滌單元包括一界定出一第一內空間的入口本體，及一設置於該入口本體的入口輔助模組。該入口輔助模組具有一設置於該入口本體且具有一朝向該第一內空間之第一通口的入口殼部、一設置於該入口殼部且具有一連通於該第一內空間之第一採樣孔的第一採樣管、一連接於該第一採樣管的第一氣壓感測器，及一經與第一採樣孔朝向同側之該第一通口與該第一內空間連通的第一氮氣供應管，能不影響壓力檢測地對該第一內空間供應氮氣。

Description

廢氣處理系統

本發明是有關於一種工業製程的汙染物處理設備，特別是指一種廢氣處理系統。

參閱圖1，為一現有的廢氣處理設備1，包含一適用於與前端製造設備(圖未示)連通的入口洗滌單元11、一與該入口洗滌單元11連通的反應單元12、一與該反應單元12連通的出口洗滌單元13，及一用於盛接洗滌廢水的水槽14。該入口洗滌單元11包括一界定出一內空間100的本體110、一設置於該本體110且連通於該內空間100的氮氣供應管111，及一與該氮氣供應管111相間隔地設置於該本體110，且用以偵測該內空間100之氣壓值的壓力偵測模組112。該氮氣供應管111用以對該內空間100供應氮氣，由於所述氮氣屬於化學反應的惰性氣體，除了能配合額外導入之反應氣體而調整氣體濃度，還能在不產生化學反應的情況下促進該內空間100中的氣體流動，並且提供氣體運動的額外動能，藉此降低廢氣中之粉塵顆粒沾附於該本體110之內壁面的機會。

然而，為了確實偵測該內空間100中的氣體壓力，該壓力偵測模組112勢必需要直接採樣該內空間100中的氣體，因此雖然透過該氮氣供應管111能減少粉塵顆粒沾附於該本體110的情況，但卻難以保障該壓力偵測模組112不被廢氣的粉塵顆粒影響。當該壓力偵測模組112沾附廢氣的粉塵顆粒，甚至被所述粉塵顆粒阻塞，當然會影響壓力偵測的準確性，對於依靠該內空間100中之壓力值而執行判斷的自動化運作而言，勢必也會產生不良的影響，甚至可能影響到該廢氣處理設備1運作的安全性。

因此，本發明之目的，即在提供一種能確保壓力偵測正常運作的廢氣處理系統。

於是，本發明廢氣處理系統，包含一入口洗滌單元、一連通於該入口洗滌單元下游的反應單元，及一連通於該反應單元下游的出口洗滌單元。

該入口洗滌單元包括一界定出一第一內空間的入口本體，及一設置於該入口本體的入口輔助模組。該入口輔助模組具有一設置於該入口本體且具有一朝向該第一內空間之第一通口的入口殼部、一設置於該入口殼部且具有一連通於該第一內空間且與該第一通口朝向同側之第一採樣孔的第一採樣管、一連接於該第一採 樣管的第一氣壓感測器，及一連接於該入口殼部且經該第一通口連通於該第一內空間的第一氮氣供應管。

本發明之功效在於：該第一採樣管之該第一採樣孔是與該入口殼部的該第一通口朝向同側，因此該第一氮氣供應管輸入該第一內空間的氮氣，不會直接反向注入該第一採樣孔或該第一通口，除了能發揮避免廢氣粉塵沾附於該入口本體之內壁的基本功能以外，也能在輸出的同時提供使廢氣粉塵遠離該第一通口、該第一採樣孔的動能，防止廢氣粉塵累積，藉此優化該第一氣壓感測器透過該第一採樣管偵測氣壓的精準度。

2:入口洗滌單元

21:入口本體

210:第一內空間

22:入口輔助模組

221:入口殼部

222:第一採樣管

223:第一氣壓感測器

224:第一氮氣供應管

228:第一採樣孔

229:第一通口

299:入口腔室

3:反應單元

4:出口洗滌單元

41:出口本體

410:第二內空間

42:出口輔助模組

421:出口殼部

422:第二採樣管

423:第二氣壓感測器

424:第二氮氣供應管

428:第二採樣孔

429:第二通口

499:出口腔室

本發明之其他的特徵及功效，將於參照圖式的實施方式中清楚地呈現，其中：圖1是一示意圖，說明一現有的廢氣處理設備；圖2是一示意圖，說明本發明廢氣處理系統的一第一實施例；圖3是一局部放大的立體圖，說明該第一實施例的一入口輔助模組；圖4是一側視角度的剖視圖，輔助圖3說明該入口輔助模組的一第一採樣管、一第一氮氣供應管，及一入口殼部；圖5是一示意圖，說明本發明廢氣處理系統的一第二實施例； 圖6是一局部放大的立體圖，說明該第二實施例的一出口輔助模組；及圖7是一側視角度的剖視圖，輔助圖6說明該出口輔助模組的一第二採樣管、一第二氮氣供應管，及一出口殼部。

在本發明被詳細描述之前，應當注意在以下的說明內容中，類似的元件是以相同的編號來表示。

參閱圖2，本發明廢氣處理系統之一第一實施例，包含一入口洗滌單元2、一連通於該入口洗滌單元2下游的反應單元3，及一連通於該反應單元3下游的出口洗滌單元4。要先行說明的是，該入口洗滌單元2及該出口洗滌單元4，主要是藉由在內部噴灑洗滌液體而處理廢氣，而在該反應單元3中，則是針對處理之廢氣的成分提供反應氣體，藉由特定化學反應而生成相對較無害的物質，但此部分之廢氣處理流程並非本發明之主要技術訴求，故後續不再贅述。

同時參閱圖2至圖4，該入口洗滌單元2包括一界定出一第一內空間210的入口本體21，及一設置於該入口本體21的入口輔助模組22。該入口輔助模組22具有一設置於該入口本體21且具有一朝向該第一內空間210之第一通口229的入口殼部221、一設置於 該入口殼部221且具有一連通於該第一內空間210且與該第一通口229朝向同側之第一採樣孔228的第一採樣管222、一連接於該第一採樣管222的第一氣壓感測器223，及一連接於該入口殼部221且經該第一通口229連通於該第一內空間210的第一氮氣供應管224。

其中，該入口殼部221圍繞界定出一入口腔室299，該第一氮氣供應管224連通於該入口腔室299。也就是說，該第一氮氣供應管224供應氮氣時，會經由該第一通口229直接注入該第一內空間210，而不會反向注入該第一採樣管222，因而不會影響到該第一採樣管222採樣氣體而偵測氣壓的作業。除此之外，由該第一氮氣供應管224輸出氮氣的同時，也能在該第一通口229甚至該第一採樣孔228的周遭，產生遠離而往該第一內空間210的氣體動能，有利於使廢氣粉塵遠離該第一通口229及該第一採樣孔228，自然能防止粉塵的累積，在維持該第一採樣管222暢通的情況下，優化壓力偵測的精準度。

參閱圖5至圖7，為本發明廢氣處理系統的一第二實施例，與該第一實施例的差別在於：該出口洗滌單元4包括一界定出一第二內空間410的出口本體41，及一設置於該出口本體41的出口輔助模組42，該出口輔助模組42具有一設置於該出口本體41且具有一朝向該第二內空間410之第二通口429的出口殼部421、一設置於該出口殼部421且具有一連通於該第二內空間410且與該第二通 口429朝向同側之第二採樣孔428的第二採樣管422、一連接於該第二採樣管422的第二氣壓感測器423，及一連接於該出口殼部421且經該第二通口429連通於該第二內空間410的第二氮氣供應管424。其中，該出口殼部421圍繞界定出一出口腔室499，該第二氮氣供應管424連通於該出口腔室499。

雖然當廢氣經由該反應單元3處理後，含有的粉塵顆粒量會大幅降低，但為了確保本第二實施例整體運作的正常，仍可在該出口洗滌單元4也設置該出口輔助模組42，藉由與該第一實施例之該入口輔助模組22相同的模式，避免該第二通口429及該第二採樣孔428累積粉塵，確保氣壓偵測的精準度，即可藉由該第二內空間410中的氣壓數值形成另一層的確保，在該出口洗滌單元4產生運作異常時，即時執行必要處置，進一步提高本第二實施例整體正常運作的確保層級。

綜上所述，本發明廢氣處理系統，由於該第一通口229與該第一採樣孔228是朝向同側，因此自該第一氮氣供應管224輸入該第一內空間210的氮氣，除了能發揮避免廢氣粉塵沾附於該入口本體21之內壁的功能，還能提供使廢氣粉塵遠離該第一通口229及該第一採樣孔228的動能，有效防止廢氣粉塵累積，藉此優化該第一氣壓感測器223偵測氣壓的精準度，故確實能達成本發明之目的。

惟以上所述者，僅為本發明之實施例而已，當不能以此限定本發明實施之範圍，凡是依本發明申請專利範圍及專利說明書內容所作之簡單的等效變化與修飾，皆仍屬本發明專利涵蓋之範圍內。

2:入口洗滌單元

21:入口本體

210:第一內空間

22:入口輔助模組

221:入口殼部

222:第一採樣管

223:第一氣壓感測器

224:第一氮氣供應管

3:反應單元

4:出口洗滌單元

41:出口本體

410:第二內空間

Claims (4)

1. 一種廢氣處理系統，包含： 一入口洗滌單元，包括一界定出一第一內空間的入口本體，及一設置於該入口本體的入口輔助模組，該入口輔助模組具有一設置於該入口本體且具有一朝向該第一內空間之第一通口的入口殼部、一設置於該入口殼部且具有一連通於該第一內空間且與該第一通口朝向同側之第一採樣孔的第一採樣管、一連接於該第一採樣管的第一氣壓感測器，及一連接於該入口殼部且經該第一通口連通於該第一內空間的第一氮氣供應管； 一反應單元，連通於該入口洗滌單元下游；及 一出口洗滌單元，連通於該反應單元下游。
2. 如請求項1所述的廢氣處理系統，其中，該出口洗滌單元包括一界定出一第二內空間的出口本體，及一設置於該出口本體的出口輔助模組，該出口輔助模組具有一設置於該出口本體且具有一朝向該第二內空間之第二通口的出口殼部、一設置於該出口殼部且具有一連通於該第二內空間且與該第二通口朝向同側之第二採樣孔的第二採樣管、一連接於該第二採樣管的第二氣壓感測器，及一連接於該出口殼部且經該第二通口連通於該第二內空間的第二氮氣供應管。
3. 如請求項1所述的廢氣處理系統，其中，該入口輔助模組的該入口殼部圍繞界定出一入口腔室，該第一氮氣供應管連通於該入口腔室。
4. 如請求項2所述的廢氣處理系統，其中，該出口輔助模組的該出口殼部圍繞界定出一出口腔室，該第二氮氣供應管連通於該出口腔室。

Images