TWI694238B - 應用於多軸工具機的幾何誤差量測方法 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種幾何誤差量測方法，其係應用於一多軸工具機，其中多軸工具機包含至少一旋轉軸。幾何誤差量測方法包含：提供一偵測元件；提供至少三顆標準校正球；以至少一旋轉軸驅動至少三顆標準校正球轉動；以偵測元件量測各標準校正球之一實際位置；透過一座標轉換矩陣，計算各標準校正球之實際位置與一定義平面位置之一差值；以及透過一一階泰勒展開式展開此差值，並以一最小平方法進行計算，求得對應至少一旋轉軸之一幾何誤差。藉此，得以簡易方式準確測得旋轉軸之幾何誤差。

Description

應用於多軸工具機的幾何誤差量測方法

本發明係關於一種幾何誤差量測方法，更特別言之，本發明係關於一種採用偵測元件結合三顆標準校正球，且應用於多軸工具機的幾何誤差量測方法。

許多機構組件及金屬加工件皆需使用工具機進行加工製造，而五軸工具機為常見的精密加工器械。通常使用之五軸工具機，包含二個旋轉軸，以及可線性位移之三個線性軸。因此，相較於三軸工具機，五軸工具機更適合加工具複雜幾何結構及表面形貌之組件，例如渦輪葉輪(impellers)或風發電葉片(blades)等。隨著對加工件之精度要求逐漸提高時，對五軸工具機之加工效率及精度之要求亦逐漸提高。因此，對五軸工具機的幾何誤差的控制相當重要。

依據ISO國際標準230-7，對五軸工具機之旋轉軸的幾何誤差，主要可分為二大類。一類為與旋轉軸位置命令無關的幾何誤差(Position Independent Geometric Errors，PIGEs)，另一類為與旋轉軸位置命令相關的幾何 誤差(Position Dependent Geometric Errors，PDGEs)。理想上，旋轉軸僅具有單一自由度，但由於組裝以及零件的加工精度及公差，造成旋轉軸在每個不同的旋轉角度下，形成多個自由度的幾何誤差。

習知已有多種量測五軸工具機之旋轉軸之幾何誤差，並加以補償的方法，例如R-TEST、Laser R-TEST、Ball-Bar或non-ball等幾何誤差量測方法(系統)。然而，此等量測方法(系統)皆僅能針對五軸工具機旋轉軸之PIGEs進行量測，未有能有效量測五軸工具機旋轉軸之PDGEs。因此，發展一種能同時量測PIGEs及PDGEs之量測方法仍為當務之急。

本發明係提供一種幾何誤差量測方法，其係利用偵測元件量測三顆標準校正球於旋轉平台上的位置，因旋轉軸運行時產生多自由度的幾何誤差，造成三顆標準校正球的位置產生偏差，透過座標轉換矩陣、一階泰勒展開式以及最小平方法等數學計算方法，建立三顆標準校正球的偏差與旋轉軸的幾何誤差的關係式，進而達到估測多軸工具機之旋轉軸的幾何誤差的目的。

依據本發明一實施方式，提供一種幾何誤差量測方法，其係用於一多軸工具機，以量測多軸工具機之至少一旋轉軸的一幾何誤差。幾何誤差量測方法包含：提供一偵測元件；提供至少三顆標準校正球；以至少一旋轉軸驅動至 少三顆標準校正球轉動；以偵測元件量測各標準校正球之一實際位置，取得實際位置與定義平面位置間之一實際差值；將由幾何誤差推得之實際位置與定義平面位置間之一推測差值經一階泰勒展開式展開；以及以一最小平方法計算實際差值與推測差值，求得對應至少一旋轉軸之幾何誤差之解。

於上述實施方式的幾何誤差量測方法中，多軸工具機包含一旋轉平台。旋轉平台受至少一旋轉軸驅動而旋轉。至少三顆標準校正球裝設於旋轉平台上。

於上述實施方式的幾何誤差量測方法中，各標準校正球相對旋轉平台之一機械座標位置相異。

於上述實施方式的幾何誤差量測方法中，至少三顆標準校正球不共線且構成一平面。

於上述實施方式的幾何誤差量測方法中，多軸工具機包含二旋轉軸。偵測元件包含二量測路徑，各量測路徑由其中一旋轉軸旋轉、另一旋轉軸靜止所構成。

於上述實施方式的幾何誤差量測方法中，取得至少一旋轉軸之幾何誤差係透過偵測及計算於二量測路徑中，定義平面與各標準校正球位於各實際位置時之一中心位置之實際差值與推測差值。

於上述實施方式的幾何誤差量測方法中，標準校正球之數量為四顆以上。

於上述實施方式的幾何誤差量測方法中，偵測元件可為一觸發式探頭或一連續式探頭。

100:多軸工具機

101:主軸

102:偵測元件

103:標準校正球

104:旋轉平台

RCS:參考座標系

PCS:偵測元件座標系

EXC:於X-軸方向徑向運動產生的誤差

EYC:於Y-軸方向徑向運動產生的誤差

EZC:Z-軸軸向運動產生的誤差

XCS:X-軸座標系

YCS:Y-軸座標系

ZCS:Z-軸座標系

ACS:A-軸座標系

CCS:C-軸座標系

MCS:機器座標系

EAC:繞X-軸傾斜運動產生的誤差

EBC:繞Y-軸傾斜運動產生的誤差

ECC:旋轉時產生的角位置誤差

Z_p:偵測元件與其載具之長度和

Z₁:機器座標系與Y-軸座標系之距離

S101、S102、S103、S104、S105、S106:步驟

第1圖繪示依據本發明一實施例之幾何誤差量測方法的流程示意圖；第2圖繪示應用第1圖實施例之幾何誤差量測方法的一種多軸工具機之軸向示意圖；第3圖繪示第2圖實施例中之多軸工具機於C-軸所產生的與旋轉軸位置相關的幾何誤差(Position Dependent Geometric Errors，PDGEs)示意圖；第4圖繪示依據本發明一實施例的幾何誤差量測方法之偵測元件及標準校正球的配置示意圖；第5圖繪示依據本發明一實施例的幾何誤差量測方法之座標系定義示意圖；第6圖繪示依據本發明之幾何誤差量測方法之標準校正球的量測點示意圖；第7圖繪示依據本發明一實施例之偵測元件之第一量測路徑示意圖；第8圖繪示依據本發明一實施例之偵測元件之第二量測路徑示意圖；以及第9圖繪示依據本發明一實施例中，與旋轉軸位置相關的幾何誤差對標準校正球的實際位置的影響的示意圖。

下將參照圖式說明本發明之複數個實施例。為明確說明起見，許多實務上的細節將在以下敘述中一併說明。然而，應瞭解到，這些實務上的細節不應用以限制本發明。也就是說，在本發明部分實施例中，這些實務上的細節是非必要詳細描述的。此外，為簡化圖式起見，一些習知慣用的結構與元件在圖式中將以簡單示意的方式繪示之。

請參照第1圖，其繪示依據本發明一實施例之幾何誤差量測方法的流程示意圖。本發明提供一種幾何誤差量測方法，其係應用於一多軸工具機，以量測多軸工具機之至少一旋轉軸的一幾何誤差。幾何誤差量測方法包含下列步驟：步驟S101係提供一偵測元件；步驟S102係提供至少三顆標準校正球；步驟S103係以至少一旋轉軸驅動至少三顆標準校正球轉動；步驟S104係以偵測元件量測各標準校正球之一實際位置，取得實際位置與定義平面位置間之一實際差值；步驟S105係將由幾何誤差推得之實際位置與定義平面位置間之一推測差值經一階泰勒展開式展開；步驟S106係以一最小平方法計算實際差值與推測差值，求得對應至少一旋轉軸之幾何誤差之解。

請續參照第2圖，其係繪示應用第1圖實施例之幾何誤差量測方法的一種多軸工具機100之軸向示意圖。此係使用一種CNC五軸工具機為展示例，但不以此為限。在此種多軸工具機100中，包含三個線性移動軸(X-軸、Y-軸、Z-軸)以及二個旋轉軸(C-軸、A-軸)。

請續參照第3圖，其繪示第2圖實施例中之多軸工具機100於C-軸所產生的與旋轉軸位置相關的幾何誤差(Position Dependent Geometric Errors，PDGE)的示意圖。依據ISO 230-7國際標準，於多軸工具機100中，各旋轉軸(C-軸、A-軸)，各自具有六個與旋轉軸位置命令相關的幾何誤差。第3圖中，對應C-軸的六個與旋轉軸位置相關的幾何誤差分別表示為EXC、EYC、EZC、EAC、EBC以及ECC。其中，EXC為於X-軸方向徑向運動產生的誤差；EYC為於Y-軸方向徑向運動產生的誤差；EZC為Z-軸軸向運動產生的誤差；EAC為繞X-軸傾斜運動產生的誤差；EBC為繞Y-軸傾斜運動產生的誤差；ECC為旋轉時產生的角位置誤差。類似地，對於多軸工具機100的A-軸而言，亦同樣具備此六個與旋轉軸位置相關的幾何誤差。因此，對於具有二旋轉軸的多軸工具機100而言，共具有12個與旋轉軸位置相關的幾何誤差。

第4圖繪示依據本發明一實施例的幾何誤差量測方法之偵測元件(touch-trigger probe)102及標準校正球103的配置示意圖。當進行量測旋轉軸(此以C-軸為例)之PDGE時，先將偵測元件102裝設於多軸工具機100的主軸(spindle)101上。同時，將三顆標準校正球103裝設於旋轉平台104上。此外，此三顆標準校正球103不共線，並構成一平面。且各標準校正球相對旋轉平台104之一機械座標位置相異。量測時，驅動旋轉平台104繞C-軸旋轉，令三顆標準校正球103轉動，並以偵測元件102分別接觸各顆標準校 正球103進行量測。於可能的實施例中，偵測元件102可為一觸發式探頭或一連續式探頭。需知本發明中之旋轉軸，其數量及位置並無特別限制。本發明係以三顆標準校正球103取代被加工件之位置，並透過旋轉軸驅動三顆標準校正球103轉動，以模擬實際加工狀況，並量測旋轉軸轉動時所產生之幾何誤差。旋轉軸(C-軸或A-軸)實際上可設置必要之驅動元件以驅動例如旋轉平台104繞其轉動，並以偵測元件102分別對各顆標準校正球103進行量測。另需提及，亦可能存在有其他種類之多軸工具機100，因此旋轉軸之位置，亦未必如第4圖實施例位於旋轉平台104之位置，亦有可能位於如第4圖實施例中之主軸101位置。再者，於同一位置之旋轉軸之數量亦無特別限制。舉例而言，第4圖實施例中，旋轉平台104可同時繞C-軸及A-軸轉動。

請參照第5圖，其繪示依據本發明一實施例的幾何誤差量測方法之座標系的定義示意圖，並請一併參照第2圖及第4圖實施例。為便於簡化說明，預先定義多個座標系，包含機器座標系MCS、參考座標系RCS、偵測元件座標系PCS、X-軸座標系XCS、Y-軸座標系YCS、Z-軸座標系ZCS，A-軸座標系ACS以及C-軸座標系CCS。機器座標系MCS與Z-軸座標系ZCS彼此重疊，並被定義於多軸工具機100之工具鼻頭(tool nose)。當使用偵測元件102進行誤差量測時，其被設置於機器的主軸101上，且其偵測元件座標系PCS被定義於偵測元件102尖端。參數z _p 為偵測元件102與其載具(holder)之長度和，亦為偵測元件座標系PCS 與Z-軸座標系ZCS之距離。此外，X-軸座標系XCS、Y-軸座標系YCS、Z-軸座標系ZCS以及A-軸座標系ACS相互重疊，並被定義於A-軸與C-軸之軸線交界處(intersection)。參數z ₁為機器座標系MCS與Y-軸座標系YCS之距離。

以下續說明如何得到旋轉軸(C-軸及A-軸)之位置相關的幾何誤差。需先說明的是，由於線性移動軸(X-軸、Y-軸、Z-軸)的幾何誤差較小，且較為容易被量測及補償，因此可忽略。於本發明中，將著墨於旋轉軸(C-軸及A-軸)旋轉時之幾何誤差量測。對於A-軸，其於旋轉時所產生六個位置相關的幾何誤差(PDGE)定義為δx _A 、δy _A 、δz _A 、εx _A 、εy _A 以及εz _A 。類似地，對C-軸而言，六個位置相關的幾何誤差(PDGE)定義為δx _C 、δy _C 、δz _C 、εx _C 、εy _C 及εz _C 。同時，此些位置相關的幾何誤差係分別對應A-軸及C-軸之運動命令(command)。另外，為便於說明，後於本說明書中，與旋轉軸位置相關的幾何誤差皆以PDGEs稱之。

為求得PDGEs，必須先建立一動態誤差模型。此動態誤差模型，可透過座標變換(例如：齊次座標轉換)而得到。於多軸工具機100中，轉換矩陣可被用以表示偵測元件102所在之座標系與C-軸所在之座標系，並且亦同時考量到具有PDGE或不具PDGE的狀況，如下述式(1)：

上述式(1)中，^UT_V表示由V座標系轉換至U座標系。k為ideal(理想狀態)時，表示不具PDGE的狀況，k為real(真實狀態)時，表示具有PDGE的狀況。

類似地，由Y-軸所在之座標系轉換至偵測元件102所在之座標系之轉換矩陣可表示為式(2)：

其中tran(x _cmd ,y _cmd ,z _cmd )為對應沿x軸、y軸及z軸方向位移的姿態矩陣(pose matrix)，x_cmd、y_cmd及z_cmd表各相對應軸向之運動命令。

理想狀態下，由A-軸所在座標系轉換至Y-軸所在座標系之轉換矩陣可用旋轉矩陣表示如式(3)：

為對應x軸單位方向向量之旋轉矩陣。

類似地，理想狀態下，由C-軸所在座標系轉換至A-軸所在座標系之轉換矩陣可用旋轉矩陣表示如式(4)：

為對應z軸單位方向向量之旋轉矩陣。

當存在有PDGEs時，亦即於真實狀態下，二旋轉軸(C-軸、A-軸)之轉換矩陣可分別表示如式(5)及式(6)，式(5)表示由A-軸所在之座標系轉換至Y-軸所在之座標系之轉換矩陣、式(6)表示由C-軸所在之座標系轉換至Y-軸所在之座標系之轉換矩陣：

請參照第6圖，其繪示依據本發明之幾何誤差量測方法之標準校正球103的量測點示意圖。當進行量測旋轉軸之PDGEs時，利用偵測元件102分別接觸各顆標準校正球103之五個不同方向之量測點進行量測。此時，各顆標準校正球103相對於機器座標系的位置p(a _cmd ,c _cmd ,s)可表示為下式(7)：

其中，t _k (a _cmd ,c _cmd ,s)表示偵測元件102及標準校正球103之間的接觸位置相對於機器座標系於不同之k量測點，r _sphere (s)表示標準校正球103之直徑。

為求得多軸工具機100因旋轉平台104傾斜所造成的旋轉軸(C-軸或A-軸)的PDGE，二量測路徑被定義。A-軸角位置可以a_j表示，C-軸角位置可以c_j表示。第7圖中，第一量測路徑表示A-軸運動，C-軸靜止的狀況。第一量測路徑的每個實際位置，可以如式(8)的a_j表示。舉例而言，第7圖中，實際位置在a_j=-90°，c_j=0°。

a _i ={30°,20°,10°,0°,-10°,-20°,-30°,-40°,-50°,-60°,-70°,-80°,-90°} (8)

類似地，第8圖中，第二量測路徑表示C-軸運動，A-軸靜止的狀況。第二量測路徑的每個實際位置，可以如式(9)的c_j表示。

c _j ={0°,30°,60°,90°,120°,150°,180°,210°,240°,270°,300°,330°,360°} (9)

本發明中，三顆標準校正球103被裝設於旋轉平台104上，以量測多軸工具機100中，各旋轉軸(C-軸及A-軸)在各實際位置之PDGEs。更詳而言之，係偵測及計算於第一量測路徑或第二量測路徑中，假設幾何誤差為零時的一定義平面(基準平面)與當幾何誤差不為零時三顆標準校正球位於實際位置時的中心位置之實際差值與推測差值。由於幾何學中，一平面至少由三點構成，故至少三顆標準校正球103為必須。欲獲得更精確之量測結果，則數量更多的標 準校正球103可被使用，例如使用四顆以上之標準校正球103。

接續說明如何求得A-軸及C-軸在第一量測路徑及第二量測路徑的12個PDGEs。請參照第9圖，其繪示依據本發明一實施例中，與旋轉軸位置相關的幾何誤差對標準校正球103的實際位置的影響的示意圖。在取得A-軸及C-軸的角位置之前，必須先定義量測參考位置，此時A-軸及C-軸的角位置為0。量測參考位置可以下式(10)表示之：

當幾何誤差為零時(即理想狀態下)，驅動旋轉平台104繞C-軸及A-軸旋轉後(即A-軸及C-軸的角位置不為0時)，三顆標準校正球103可被驅動而轉至一定義平面位置，其可由上述式(10)推得如下式(11)所示：

當多軸工具機100實際運作時，三顆標準校正球103的實際位置，將因旋轉軸的PDGE的影響，產生方向(orientation)及位置(position)上的誤差。因此，當幾何誤 差不為零時，三顆標準校正球103相對於機器座標系的各實際位置，可以下式(12)表示：

因此，三顆標準校正球103的定義平面位置與實際位置之間的關係，可以下式(13)表示：

由於PDGE的量值通常相當微小，因此PDGE的高階項次具有較小的影響。基於此，可利用一階泰勒展開式套用於上述式(13)而得到式(14)：

其中E_t表示旋轉軸(A-軸及C-軸)之PDGE。

承上，於第一量測路徑中，三顆標準校正球103的定義平面位置與實際位置之實際差值與推測差值，可以下式(15)表示：

其中dP(a _cmd ,c _cmd ,s)表示由偵測元件102量測之實際位置與定義平面位置間之一實際差值，

表示由PDGE推得之實際位置與定義平面位置間之推測差值經一階泰勒展開式展開之結果。類似地，於第二量測路徑中，三顆標準校正球103的定義平面位置與實際位置之實際差值與推測差值，可以下式(16)表示：

接續，最小平方法被使用來進行對多軸工具機100中，旋轉軸於每個實際位置的PDGEs的推估，可以下式(17)表示之：

其中，I表示第一量測路徑；II表示第二量測路徑；

表示殘差平方和，以最小平方法計算實際差值與推測差值，可求得對應至少一旋轉軸之幾何誤差之解。

更詳而言之，最小平方法係應用於一過度確定系統，即其中存在比未知數更多的方程組，以迴歸分析求得近似解的標準方法。由於每個實際位置，皆會量測三個標準校正球103，得到九個量測值。因此，利用上述式(17)中，使殘差平方和

最小，得出一組和此九個量測值最匹配 之直線方程組，亦即尋得於最佳狀況下，可大致符合之線性方程組變數，即為PDGEs數值。

對於旋轉軸之幾何誤差量測，習知之方法中，認為量測一點可得到x、y、z三方向之讀值，僅需求解6個誤差量，因此僅需量測任意不相關的兩點，建構出六條方程組，即可得到幾何誤差。然而，此種方法實際上並無法求得PDGE。本發明之方法，係量測三顆標準校正球103所建構而成之平面，於旋轉軸旋轉時，因PDGE的影響造成之改變，並分析而得到PDGE。因至少三點方能建構一平面，因此若需量測平面之姿態變化，則至少需量測三點。透過實際模擬及量測資料，已證實本發明之方法可準確量得PDGE。

雖然本發明內容已以實施方式揭露如上，然其並非用以限定本發明內容，任何所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本發明內容的精神和範圍內，當可作些許的更動與潤飾，故本發明內容的保護範圍當視後附的申請專利範圍所界定者為準。

S101、S102、S103、S104、S105、S106:步驟

Claims (8)

1. 一種幾何誤差量測方法，其係應用於一多軸工具機，以量測該多軸工具機之至少一旋轉軸的一幾何誤差，該幾何誤差量測方法包含：提供一偵測元件；提供至少三顆標準校正球；以該至少一旋轉軸驅動該至少三顆標準校正球轉動，假設該幾何誤差為零時，該至少三顆標準校正球轉至一定義平面位置，當該幾何誤差不為零時，該至少三顆標準校正球轉至一實際位置；以該偵測元件量測各該標準校正球之該實際位置，取得該實際位置與該定義平面位置間之一實際差值；將由該幾何誤差推得之該實際位置與該定義平面位置間之一推測差值經一一階泰勒展開式展開；以及以一最小平方法計算該實際差值與該推測差值，求得對應該至少一旋轉軸之該幾何誤差之解。
2. 如申請專利範圍第1項所述的幾何誤差量測方法，其中該多軸工具機包含一旋轉平台，該旋轉平台受該至少一旋轉軸驅動而旋轉，該至少三顆標準校正球裝設於該旋轉平台上。
3. 如申請專利範圍第2項所述的幾何誤差量測方法，其中各該標準校正球相對該旋轉平台之一機械座標位置相異。
4. 如申請專利範圍第1項所述的幾何誤差量測方法，其中該至少三顆標準校正球不共線且構成一平面。
5. 如申請專利範圍第1項所述的幾何誤差量測方法，其中該多軸工具機包含二該旋轉軸，該偵測元件包含二量測路徑，各該量測路徑分別對應其中一該旋轉軸旋轉、另一該旋轉軸靜止之狀態。
6. 如申請專利範圍第5項所述的幾何誤差量測方法，其中取得該至少一旋轉軸之該幾何誤差係透過偵測及計算於該二量測路徑中，該定義平面與各該標準校正球位於各該實際位置時之一中心位置之該實際差值與該推測差值。
7. 如申請專利範圍第1項所述的幾何誤差量測方法，其中該標準校正球之數量為四顆以上。
8. 如申請專利範圍第1項所述的幾何誤差量測方法，其中該偵測元件為一觸發式探頭或一連續式探頭。

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