TWI693133B - 機械手臂校正系統和機械手臂校正方法 - Google Patents

機械手臂校正系統和機械手臂校正方法 Download PDF

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Abstract

提供一種機械手臂校正系統和機械手臂校正方法。機械手臂校正方法包括：由機械手臂執行對應於第一X-Y平面的第一行動；由感測器偵測機械手臂是否位於感測範圍內；在機械手臂執行第一行動期間，根據機械手臂離開感測範圍和重回感測範圍的時間點判斷第一行動的第一執行時間；以及比較第一執行時間和第一參考時間以判斷機械手臂是否需要被校正。

Description

機械手臂校正系統和機械手臂校正方法
本發明是有關於一種校正機械手臂的技術，且特別是有關於一種機械手臂校正系統和機械手臂校正方法。
長期的運作過程會導致機械手臂耗損。例如，機械手臂可能因機構磨損或材質老化等因素而使機械手臂的移動產生偏移。對於一些需要非常精準地機械手臂操作的製程，這些偏移往往會造成製程中出現異常。
有鑑於此，本發明提供一種機械手臂校正系統和機械手臂校正方法，可在機械手臂開啟後執行預設的行動，藉以對機械手臂進行校正。
本發明的機械手臂校正系統，包括機械手臂、感測器以及處理器。機械手臂執行對應於第一X-Y平面的第一行動。感測器，偵測機械手臂是否位於感測範圍內。處理器耦接機械手臂以 及感測器，其中處理器經配置以執行：在機械手臂執行第一行動期間，根據機械手臂離開感測範圍和重回感測範圍的時間點判斷第一行動的第一執行時間；以及比較第一執行時間和第一參考時間以判斷機械手臂是否需要被校正。
在本發明的一實施例中，上述的機械手臂校正系統更包括儲存媒體。儲存媒體耦接處理器，其中第一參考時間預儲存於儲存媒體中。
在本發明的一實施例中，在機械手臂執行完第一行動後，機械手臂在沿著Z軸移動並接著執行對應於第二X-Y平面的第二行動，並且處理器更經配置以執行：在機械手臂執行第二行動期間，根據機械手臂離開感測範圍和重回感測範圍的時間點判斷第二行動的第二執行時間；以及比較第二執行時間和第二參考時間以判斷機械手臂是否需要被校正。
在本發明的一實施例中，上述的處理器耦接至輸出裝置，並且處理器響應於判斷機械手臂需要被校正而通過輸出裝置發出提示。
在本發明的一實施例中，上述的感測器為雷射感測器，並且感測器經設置以將偵測用的雷射光束射向感測範圍。
本發明的機械手臂校正方法，適用於機械手臂，包括：由機械手臂執行對應於第一X-Y平面的第一行動；由感測器偵測機械手臂是否位於感測範圍內；在機械手臂執行第一行動期間，根據機械手臂離開感測範圍和重回感測範圍的時間點判斷第一行 動的第一執行時間；以及比較第一執行時間和第一參考時間以判斷機械手臂是否需要被校正。
在本發明的一實施例中，上述的機械手臂校正方法更包括：將第一參考時間預儲存於儲存媒體中。
在本發明的一實施例中，上述的機械手臂校正方法更包括：在機械手臂執行完第一行動後，由機械手臂沿著Z軸移動並接著執行對應於第二X-Y平面的第二行動；在機械手臂執行第二行動期間，根據機械手臂離開感測範圍和重回感測範圍的時間點判斷第二行動的第二執行時間；以及比較第二執行時間和第二參考時間以判斷機械手臂是否需要被校正。
在本發明的一實施例中，上述的機械手臂校正方法更包括：響應於判斷機械手臂需要被校正而通過輸出裝置發出提示。
在本發明的一實施例中，上述的感測器為雷射感測器，並且感測器經設置以將偵測用的雷射光束射向感測範圍。
基於上述，本發明的機械手臂校正系統可根據機械手臂預設之行動的執行時間判斷所述機械手臂是否需要被校正。
為讓本發明的上述特徵和優點能更明顯易懂，下文特舉實施例，並配合所附圖式作詳細說明如下。
10:機械手臂校正系統
100:處理器
200:儲存媒體
300:感測器
310:雷射光束
400:機械手臂
EP:感測範圍
S301、S303、S305、S307:步驟
圖1根據本發明的實施例繪示機械手臂校正系統的示意圖。
圖2根據本發明的實施例繪示機械手臂的俯視圖。
圖3根據本發明的實施例繪示機械手臂校正方法的流程圖。
為了使本發明之內容可以被更容易明瞭，以下特舉實施例做為本發明確實能夠據以實施的範例。另外，凡可能之處，在圖式及實施方式中使用相同標號的元件/構件/步驟，係代表相同或類似部件。
圖1根據本發明的實施例繪示機械手臂校正系統10的示意圖。機械手臂校正系統10包括處理器100、儲存媒體200、感測器300以及機械手臂400。
處理器100耦接至儲存媒體200、感測器300以及機械手臂400。處理器100例如是中央處理單元(central processing unit，CPU)，或是其他可程式化之一般用途或特殊用途的微控制單元(micro control unit，MCU)、微處理器(microprocessor)、數位信號處理器(digital signal processor，DSP)、可程式化控制器、特殊應用積體電路(application specific integrated circuit，ASIC)、圖形處理器(graphics processing unit，GPU)、算數邏輯單元(arithmetic logic unit，ALU)、複雜可程式邏輯裝置(complex programmable logic device，CPLD)、現場可程式化邏輯閘陣列(field programmable gate array，FPGA)或其他類似元件或上述元件的組合。
儲存媒體200例如是任何型態的固定式或可移動式的隨機存取記憶體(random access memory，RAM)、唯讀記憶體(read-only memory，ROM)、快閃記憶體(flash memory)、硬碟(hard disk drive，HDD)、固態硬碟(solid state drive，SSD)或類似元件或上述元件的組合，而用於儲存可由機械手臂校正系統10或處理器100執行的多個模組或各種應用程式。
感測器300用以偵測機械手臂400是否位於特定位置。具體來說，感測器300為一雷射感測器，其經設置而將用以偵測機械手臂400的雷射光束310射向X-Y平面的特定位置，以在X-Y平面上形成感測範圍。圖2根據本發明的實施例繪示機械手臂400的俯視圖。如圖2所示，當機械手臂400處於感測範圍EP內的特定位置時，感測器300將可通過雷射光束310偵測到機械手臂400的存在。相對來說，當機械手臂400不處於感測範圍EP內的特定位置時，感測器300的雷射光束310將無法偵測到機械手臂400的存在。須注意的是，感測範圍EP的大小可與感測器300的設置位置或機械手臂400的外型有關。
請同時參照圖1和圖2，其中圖1和圖2中的X、Y和Z代表直角坐標系的三個座標軸。儲存媒體200可預儲存關聯於機械手臂之行動及其對應之參考時間的查找表，如表1所示，其中所述查找表可被視為是記載了機械手臂400之校正程序的表格。須注意的是，在本實施例中，表1記載的參考時間是從機械手臂400之校正程序起始後開始累計(但本發明不限於此)。若機械手 臂400具有偏移的現象，則對應於每個行動之偏移將會造成所述行動的執行時間與對應的參考時間之間的時間差。因此，越後面執行之行動將會累積對應於先前之行動的時間差。換句話說，越後面執行之行動的執行時間可能越偏離所述行動所對應的參考時間。
Figure 108121408-A0305-02-0008-1
在本實施例中，當機械手臂400啟動後，機械手臂校正系統10的處理器100可控制機械手臂400依序執行如表1所記載之行動，藉以進行機械手臂400的校正程序。
具體來說，在機械手臂400啟動後，處理器100可根據表1控制機械手臂400執行第一行動。在執行第一行動的過程中，機械手臂400會沿著X軸移動+10釐米，從而離開感測器300的感測範圍EP。接著，機械手臂400沿著X軸移動-10釐米以進行歸位。在機械手臂400歸位後，機械手臂400將重新回到感測器300的感測範圍EP，並且第一行動將結束。
在機械手臂400執行第一行動的期間，處理器100可根 據機械手臂400離開感測範圍EP和重回感測範圍EP的時間點判斷第一行動的第一執行時間。接著，處理器100可比較第一執行時間與表1中對應於第一行動的參考時間，藉以判斷機械手臂是否需要被校正。舉例來說，在機械手臂400執行第一行動的期間，若處理器100通過感測器300偵測到機械手臂400在第10.5秒時離開感測範圍EP，並且在第14.5秒時重回感測範圍EP，則處理器100可基於機械手臂400執行第一行動所使用的第一執行時間在參考時間9~15秒之內而判斷機械手臂400不存在偏移，或機械手臂400的偏移還未達到需要被校正的程度。相對來說，若處理器100通過感測器300偵測到機械手臂400在第10秒時離開感測範圍EP，並且在第15.5秒時重回感測範圍EP，則處理器100可基於機械手臂400執行第一行動所使用的第一執行時間在參考時間9~15秒之外而判斷機械手臂400需要進行校正。
在上述的描述中，由於處理器100需要根據機械手臂400離開或重回感測範圍EP的時間點來判斷機械手臂400是否需要被校正。因此，針對X軸的各個行動(例如：表1所示的第一行動或第四行動)都需要被配置為可使機械手臂400完全地離開感測器300的感測範圍EP。若處理器100通過感測器300偵測到機械手臂400沿著X軸移動的行動但所述行動並未使機械手臂400離開感測範圍EP，則處理器100可據此判斷所述行動為無效的行動。
在執行完第一行動後，處理器100可根據表1而控制機 械手臂400執行第二行動。處理器100可基於機械手臂400執行第二行動所使用的第二執行時間在參考時間14~20秒之內而判斷機械手臂400不存在偏移，或機械手臂400的偏移還未達到需要被校正的程度。相對來說，處理器100可基於機械手臂400執行第二行動所使用的第二執行時間在參考時間14~20秒之外而判斷機械手臂400需要進行校正。
在上述的描述中，由於處理器100需要根據機械手臂400離開或重回感測範圍EP的時間點才能判斷機械手臂400是否需要被校正。因此，針對Y軸的各個行動(例如：表1所示的第二行動或第五行動)都需要被配置為可使機械手臂400完全地離開感測器300的感測範圍EP。若處理器100通過感測器300偵測到機械手臂400沿著Y軸移動的行動但所述行動並未使機械手臂400離開感測範圍EP，則處理器100可據此判斷所述行動為無效的行動。
在執行完對應於X-Y平面的第一行動和第二行動後，處理器100可控制機械手臂400執行第三行動，進而使得機械手臂400沿著Z軸移動-15釐米。第三行動並包括機械手臂400的歸位指示，因此，在機械手臂400沿著Z軸移動-15釐米後，第三行動即會結束。在執行第三行動的期間，機械手臂400將不會離開感測器300的感測範圍EP。因此，處理器100將無法根據機械手臂400離開感測範圍EP或重回感測範圍EP的時間點來判斷機械手臂400是否需要被校正。相對來說，處理器100將通過感測器300 的雷射光束310直接地測量出機械手臂400在Z軸移動的距離。處理器100可基於機械手臂400執行第三行動所使用的第三執行時間在參考時間19~30秒之內而判斷機械手臂400不存在偏移，或機械手臂400的偏移還未達到需要被校正的程度。相對來說，處理器100可基於機械手臂400執行第三行動所使用的第三執行時間在參考時間19~30秒之外而判斷機械手臂400需要進行校正。
在執行完第三行動後，處理器100可控制機械手臂400依序執行如表1所示的第四行動、第五行動、...等行動，直到機械手臂400的校正程序結束為止。須注意的是，雖然在本實施例中，第四行動與第一行動相同(但兩者分別對應於不同的X-Y平面)，但本發明不限於此。舉例來說，第四行動可以是與第一行動不同的「沿著X軸移動+20釐米」。
在一些實施例中，處理器100可耦接至諸如螢幕或揚聲器等輸出裝置。響應於處理器100判斷機械手臂400需要被校正，處理器100將可通過所述輸出裝置發出提示以指示操作人員對機械手臂400進行校正。
圖3根據本發明的實施例繪示機械手臂校正方法的流程圖，其中所述機械手臂校正方法適用於一機械手臂，並且所述機械手臂校正方法可由如圖1所示的機械手臂校正系統10實施。在步驟S301中，由機械手臂400執行對應於第一X-Y平面的第一行動。在步驟S303中，由感測器300偵測機械手臂400是否位於感 測範圍EP內。在步驟S305中，在機械手臂400執行第一行動期間，根據機械手臂400離開感測範圍EP和重回感測範圍EP的時間點判斷第一行動的第一執行時間。在步驟S307中，比較第一執行時間和第一參考時間以判斷機械手臂400是否需要被校正。
綜上所述，本發明的機械手臂校正系統可通過雷射光束感測器偵測機械手臂執行預設之行動的執行時間，再根據查找表來判斷所述行動的執行時間是否在誤差範圍之內。若所述行動的執行時間超出的誤差範圍，則處理器可判斷機械手臂可能需要被校正，並且將判斷結果通知給機械手臂的操作員。
雖然本發明已以實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本發明的精神和範圍內，當可作些許的更動與潤飾，故本發明的保護範圍當視後附的申請專利範圍所界定者為準。
S301、S303、S305、S307:步驟

Claims (8)

  1. 一種機械手臂校正系統，包括：機械手臂，執行對應於第一X-Y平面的第一行動；感測器，偵測所述機械手臂是否位於感測範圍內；以及處理器，耦接所述機械手臂以及所述感測器，其中所述處理器經配置以執行：在所述機械手臂執行所述第一行動期間，根據所述機械手臂離開所述感測範圍和重回所述感測範圍的時間點判斷所述第一行動的第一執行時間；以及比較所述第一執行時間和第一參考時間以判斷所述機械手臂是否需要被校正，其中在所述機械手臂執行完所述第一行動後，所述機械手臂在沿著Z軸移動並接著執行對應於第二X-Y平面的第二行動，並且所述處理器更經配置以執行：在所述機械手臂執行所述第二行動期間，根據所述機械手臂離開所述感測範圍和重回所述感測範圍的時間點判斷所述第二行動的第二執行時間；以及比較所述第二執行時間和第二參考時間以判斷所述機械手臂是否需要被校正。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的機械手臂校正系統，更包括：儲存媒體，耦接所述處理器，其中所述第一參考時間預儲存 於所述儲存媒體中。
  3. 如申請專利範圍第1項所述的機械手臂校正系統，其中所述處理器耦接至輸出裝置，並且所述處理器響應於判斷所述機械手臂需要被校正而通過所述輸出裝置發出提示。
  4. 如申請專利範圍第1項所述的機械手臂校正系統，其中所述感測器為雷射感測器，並且所述感測器經設置以將偵測用的雷射光束射向所述感測範圍。
  5. 一種機械手臂校正方法，適用於機械手臂，包括：由所述機械手臂執行對應於第一X-Y平面的第一行動；由感測器偵測所述機械手臂是否位於感測範圍內；在所述機械手臂執行所述第一行動期間，根據所述機械手臂離開所述感測範圍和重回所述感測範圍的時間點判斷所述第一行動的第一執行時間；比較所述第一執行時間和第一參考時間以判斷所述機械手臂是否需要被校正；在所述機械手臂執行完所述第一行動後，由所述機械手臂沿著Z軸移動並接著執行對應於第二X-Y平面的第二行動；在所述機械手臂執行所述第二行動期間，根據所述機械手臂離開所述感測範圍和重回所述感測範圍的時間點判斷所述第二行動的第二執行時間；以及比較所述第二執行時間和第二參考時間以判斷所述機械手臂是否需要被校正。
  6. 如申請專利範圍第5項所述的機械手臂校正方法，更包括：將所述第一參考時間預儲存於儲存媒體中。
  7. 如申請專利範圍第5項所述的機械手臂校正方法，更包括：響應於判斷所述機械手臂需要被校正而通過輸出裝置發出提示。
  8. 如申請專利範圍第5項所述的機械手臂校正方法，其中所述感測器為雷射感測器，並且所述感測器經設置以將偵測用的雷射光束射向所述感測範圍。
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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW201501890A (zh) * 2013-04-05 2015-01-16 Sigenic Pte Ltd 在使用機器人手臂機器操作中檢測位置漂移裝置及方法

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06149327A (ja) * 1992-11-12 1994-05-27 Fanuc Ltd リアルタイム位置補正方法
KR100224862B1 (ko) * 1997-08-20 1999-10-15 윤종용 로봇 암의 캘리브레이션 장치 및 방법
TWI301441B (en) * 2006-06-06 2008-10-01 Powerchip Semiconductor Corp Wireless 3d position auto-offset system for robot arms
TW200826223A (en) * 2006-12-01 2008-06-16 Foxsemicon Integrated Tech Inc Transfer robot with automatic calibration function
JP2008141098A (ja) * 2006-12-05 2008-06-19 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板搬送装置の検査装置および基板処理装置
TW201509617A (zh) * 2013-09-14 2015-03-16 Nat Univ Chung Hsing 機械手臂精度量測系統及其量測方法
JP6415190B2 (ja) * 2014-09-03 2018-10-31 キヤノン株式会社 ロボット装置、ロボット制御プログラム、記録媒体、およびロボット装置の制御方法
JP2016078149A (ja) * 2014-10-15 2016-05-16 キヤノン株式会社 ロボット装置の制御方法及びロボット装置、プログラム及び記録媒体
CN104690736B (zh) * 2015-02-12 2017-03-08 成都天马微电子有限公司 机械手臂及其检测系统和检测方法
JP6996177B2 (ja) * 2017-09-11 2022-01-17 セイコーエプソン株式会社 ロボット、力センサーのオフセット補正装置、及び、ロボットの制御方法

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW201501890A (zh) * 2013-04-05 2015-01-16 Sigenic Pte Ltd 在使用機器人手臂機器操作中檢測位置漂移裝置及方法

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