TWI669404B - 金屬蒸鍍遮罩結構 - Google Patents
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Abstract
一種金屬蒸鍍遮罩結構，係設置有具開口結構之圖形部、圖形部側方用以焊接於框架之焊接部，以及圖形部與焊接部之間之連接部，前述之圖形部之厚度小於焊接部之厚度，而連接部兩側之厚度分別相等於圖形部與焊接部，且連接部之厚度由焊接部朝向圖形部呈漸縮狀，利用遮罩具有多種不同厚度之區域，讓遮罩於拉撐定位時，不會產生斷裂之問題發生。
Description
一種金屬蒸鍍遮罩結構，尤指具有不同厚度，進而防止拉撐定位時產生斷裂之遮罩結構。
請參閱第一圖與第二圖所示，一般金屬蒸鍍遮罩A是以金屬薄料作為基材，係具有圖形部A1以及圖形部A1兩端設置之焊接部A2，由於高解析度之金屬蒸鍍遮罩A其厚度往往低於20um，而焊接部A2焊接於金屬框架時厚度需待於20um，因此必須於焊接部A2上設置增厚部A3來滿足此條件，然而此種作法具有下列缺失：
(一)金屬蒸鍍遮罩A於金屬框架上進行精密拉撐定位時，因應力會集中在圖形部A1與焊接部A2連接處，極為容易產生斷裂之情形。
(二)金屬蒸鍍遮罩A在製作時，至少需要兩次製程才能完成，增加了製造的困難度，且會降低生產良率。
本發明之主要目的乃在於，利用遮罩具有多種不同厚度之區域，讓遮罩於拉撐定位時，不會產生斷裂之問題發生。
本發明之次要目的乃在於，利用電鑄設備一體長出具有多種厚度之遮罩，方便生產以及提高良率。
為達上述目的，本發明之金屬蒸鍍遮罩結構係設置有具開口結構之圖形部、圖形部側方用以焊接於框架之焊接部，以及圖形部與焊接部之間之連接部，前述之圖形部之厚度小於焊接部之厚度，而連接部兩側之厚度分別相等於圖形部與焊接部，且連接部之厚度由焊接部朝向圖形部呈漸縮狀。
前述之金屬蒸鍍遮罩結構，其中該遮罩之圖形部、焊接部與連接部係以電鑄設備一體長出所製成。
前述之金屬蒸鍍遮罩結構，其中該電鑄設備具有陽極基板以及陰極組，陰極組具有不導電之基板以及基板表面所設置之具導電性質的導電層，讓金屬以導電層為背景沉積於導電層表面形成遮罩之圖形部、焊接部與連接部。
前述之金屬蒸鍍遮罩結構，其中該電鑄設備之導電層係具有一個以上阻抗不同之區域，使遮罩之圖形部、焊接部與連接部產生不同之厚度。
前述之金屬蒸鍍遮罩結構，其中該電鑄設備之陽極基板為複數設置，使陽極基板與導電層之間產生電場強度不同之區域，使遮罩之圖形部、焊接部與連接部產生不同之厚度。
請參閱第三圖所示，由圖中可清楚看出，本發明之遮罩10係設置有具開口結構之圖形部11，圖形部11側方用以焊接於框架之焊接部12，以及圖形部11與焊接部12之間之連接部13，其中：
該圖形部11之厚度小於焊接部12之厚度。
該連接部13兩側之厚度分別相等於圖形部11與焊接部12，且連接部13之厚度由焊接部12朝向圖形部11呈漸縮狀。
藉上，當遮罩10拉撐並將焊接部12焊接定位於框架時，因連接部13之厚度由焊接部12朝向圖形部11呈漸縮狀，由於連接部13之厚度變化為漸進式，使圖形部11與焊接部12之間沒有明顯厚度交界位置，分散遮罩10於拉撐定位時所產生之應力，進而可避免習知技術中斷裂陵線的產生，有效改善遮罩10拉撐斷裂的問題，並可將拉力傳遞變異降低到最小，增加遮罩10拉撐時的平行度。
請參閱第四圖所示，由圖中可清楚看出，本發明之遮罩10係利用電鑄設備20所製成，該電鑄設備20具有陽極基板21以及陰極組22，陰極組22具有不導電之基板221以及基板221表面所設置之具導電性質的導電層222，讓金屬以導電層222為背景沉積於導電層222表面一體形成遮罩10之圖形部11、焊接部12與連接部13。再者，該導電層222係具有一個以上阻抗不同之區域，控制電流通過導電層222各區之比例，使遮罩10之圖形部11、焊接部12與連接部13產生不同之厚度。再者，導電層222各區阻抗之變化可利用材質、厚度或形狀進行搭配變化。
請參閱第五圖所示，由圖中可清楚看出，該電鑄設備20之陽極基板21’為複數設置，使陽極基板21’與導電層222之間產生電場強度不同之區域，讓遮罩10於成形時，其圖形部11、焊接部12與連接部13產生不同之厚度。
10‧‧‧遮罩
11‧‧‧圖形部
12‧‧‧焊接部
13‧‧‧連接部
20‧‧‧電鑄設備
21、21’‧‧‧陽極基板
22‧‧‧陰極組
221‧‧‧基板
222‧‧‧導電層
第一圖係為習知遮罩之俯視圖。 第二圖係為習知遮罩之剖視圖。 第三圖係為本發明遮罩之示意圖。 第四圖係為本發明第一種電鑄方式之示意圖。 第五圖係為本發明第二種電鑄方式之示意圖。
Claims (2)
- 一種金屬蒸鍍遮罩結構，該遮罩係以電鑄設備一體長出所製成，係設置有具開口結構之圖形部、圖形部側方用以焊接於框架之焊接部，以及圖形部與焊接部之間之連接部，其特徵在於：該圖形部之厚度小於焊接部之厚度，而連接部兩側之厚度分別相等於圖形部與焊接部，且連接部之厚度由焊接部朝向圖形部呈漸縮狀，而電鑄設備具有陽極基板以及陰極組，陰極組具有不導電之基板以及基板表面所設置之具導電性質的導電層，讓金屬以導電層為背景沉積於導電層表面形成遮罩之圖形部、焊接部與連接部，且導電層係具有一個以上阻抗不同之區域，使遮罩之圖形部、焊接部與連接部產生不同之厚度。
- 如請求項1述之金屬蒸鍍遮罩結構，其中該電鑄設備之陽極基板為複數設置，使陽極基板與導電層之間產生電場強度不同之區域，使遮罩之圖形部、焊接部與連接部產生不同之厚度。
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Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103589993A (zh) * | 2013-10-09 | 2014-02-19 | 昆山允升吉光电科技有限公司 | 一种蒸镀用掩模板的制作方法 |
| US20150059643A1 (en) * | 2013-09-05 | 2015-03-05 | Zhongshan Aiscent Technologies, Inc. | Type of fine metal mask (ffm) used in oled production and the method of manufacturing it |
| US20160322571A1 (en) * | 2015-04-28 | 2016-11-03 | Samsung Display Co., Ltd. | Mask frame assembly for thin layer deposition, method of manufacturing the same, and method of manufacturing display apparatus by using the mask frame assembly |
| TW201702766A (zh) * | 2015-04-21 | 2017-01-16 | Hokuriku Roka Co Ltd | 遮罩之形成方法、利用其之印刷電路基板之製造方法、電鑄零件之製造方法及網版印刷製版之製造方法 |
| WO2018097533A1 (ko) * | 2016-11-22 | 2018-05-31 | 주식회사 티지오테크 | 프레임 일체형 마스크 및 그 제조방법 |
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2018
- 2018-06-06 TW TW107119464A patent/TWI669404B/zh active
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20150059643A1 (en) * | 2013-09-05 | 2015-03-05 | Zhongshan Aiscent Technologies, Inc. | Type of fine metal mask (ffm) used in oled production and the method of manufacturing it |
| CN103589993A (zh) * | 2013-10-09 | 2014-02-19 | 昆山允升吉光电科技有限公司 | 一种蒸镀用掩模板的制作方法 |
| TW201702766A (zh) * | 2015-04-21 | 2017-01-16 | Hokuriku Roka Co Ltd | 遮罩之形成方法、利用其之印刷電路基板之製造方法、電鑄零件之製造方法及網版印刷製版之製造方法 |
| US20160322571A1 (en) * | 2015-04-28 | 2016-11-03 | Samsung Display Co., Ltd. | Mask frame assembly for thin layer deposition, method of manufacturing the same, and method of manufacturing display apparatus by using the mask frame assembly |
| WO2018097533A1 (ko) * | 2016-11-22 | 2018-05-31 | 주식회사 티지오테크 | 프레임 일체형 마스크 및 그 제조방법 |
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