TWI663380B - 影像擷取系統及影像擷取方法 - Google Patents

Abstract

一種影像擷取系統及影像擷取方法，影像擷取系統包括基座、影像擷取裝置、移動裝置及觸發組件。影像擷取裝置用以朝向受測件。移動裝置連接基座及影像擷取裝置。移動裝置用以驅動影像擷取裝置連續接近或連續遠離受測件。觸發組件設置於移動裝置且電性連接於影像擷取裝置。觸發組件於影像擷取裝置連續接近或連續遠離受測件時依序產生並傳送多個觸發訊號至影像擷取裝置，以依序觸發影像擷取裝置擷取受測件的多個白光干涉條紋影像。

Description

影像擷取系統及影像擷取方法

本發明係關於一種影像擷取系統及影像擷取方法，特別是有關於一種擷取多個白光干涉條紋影像的影像擷取系統及影像擷取方法。

在科技日益發達的今日，對於電子零件或微機電系統的精密度要求亦日益增加。因此，需要感測所完成的電子零件或微機電系統之表面形狀、表面輪廓或表面粗糙度是否符合所期待的精密度要求。

於現有的技術中，有業者使用白光干涉儀等裝置擷取受測件的光線干涉影像。利用白光干涉儀獲得其鏡頭與受測件之間在不同距離時的光線干涉影像。根據此些光學干涉影像，運算出受測件的表面形狀。

然而，現有的白光干涉儀擷取多個受測件之光學干涉影像時，必須將鏡頭移動到指定位置，使其停止且待其穩定後才進行拍攝。如此的過程中，會花費諸多時間在等待上。且在等待的過程中，若是遇到環境變動，還可能造成影像擷取的異常。

有鑑於以上的問題，本發明提出一種影像擷取系統及影像擷取方法，藉以迅速而穩定地擷取多個白光干涉條紋影像。

本發明之一實施例提出一種影像擷取系統，用以檢測一受測件。影像擷取系統包括一基座、一影像擷取裝置、一移動裝置及一觸發組件。影像擷取裝置用以朝向受測件。移動裝置連接基座及影像擷取裝置。移動裝置用以驅動影像擷取裝置連續接近或連續遠離受測件。觸發組件設置於移動裝置且電性連接於影像擷取裝置。觸發組件於影像擷取裝置連續接近或連續遠離受測件時依序產生並傳送多個觸發訊號至影像擷取裝置，以依序觸發影像擷取裝置擷取受測件的多個白光干涉條紋影像。

本發明之一實施例提出一種影像擷取方法，用以檢測一受測件。影像擷取方法包括以下步驟。驅動一影像擷取裝置連續接近或連續遠離受測件，依序產生並傳送多個觸發訊號至影像擷取裝置。依序根據此些觸發訊號觸發影像擷取裝置擷取受測件的多個白光干涉條紋影像。

根據本發明之一實施例之影像擷取系統及影像擷取方法，藉由影像擷取裝置連續接近或連續遠離受測件的過程中，不停歇地擷取受測件的多個白光干涉條紋影像，以迅速而穩定地感測受測件的表面狀態。

以上之關於本發明內容之說明及以下之實施方式之說明係用以示範與解釋本發明之精神與原理，並且提供本發明之專利申請範圍更進一步之解釋。

以下在實施方式中詳細敘述本發明之實施例之詳細特徵以及優點，其內容足以使任何本領域中具通常知識者了解本發明之實施例之技術內容並據以實施，且根據本說明書所揭露之內容、申請專利範圍及圖式，任何本領域中具通常知識者可輕易地理解本發明相關之目的及優點。以下之實施例係進一步詳細說明本發明之觀點，但非以任何觀點限制本發明之範疇。

於本說明書之所謂的示意圖中，由於用以說明而可有其尺寸、比例及角度等較為誇張的情形，但並非用以限定本發明。於未違背本發明要旨的情況下能夠有各種變更。實施例及圖式之描述中所提及之上下前後方位為用以說明，而並非用以限定本發明。

請參照圖1、圖2及圖3，圖1繪示依照本發明之一實施例之影像擷取系統之立體示意圖，圖2繪示圖1之影像擷取系統之立體分解示意圖，圖3繪示圖1之影像擷取系統之移動裝置及觸發組件之前視剖面示意圖。為了說明上的方便，圖1及圖3中之移動裝置及觸發組件的比例有所調整而並非完全相同，但其原理相似，故能夠依影像擷取系統實際應用的情形而有所變更。

於本實施例中，影像擷取系統1用以檢測受測件OT。影像擷取系統1包括基座11、定位裝置12、工作台13、移動裝置14、影像擷取裝置15、觸發組件16及控制器（圖未示）。基座11較佳選用具有防震功能的基座11。控制器可連接至定位裝置12、移動裝置14、影像擷取裝置15及觸發組件16且控制此些的作動。

於本實施例中，定位裝置12設置於基座11。工作台13設置於定位裝置12。控制器可控制定位裝置12驅動工作台13相對於基座11移動。工作台13用以承載受測件OT。

於本實施例中，定位裝置12包括傾斜定位器121、X方向定位器122及Y方向定位器123。傾斜定位器121設置於基座11，X方向定位器122設置於傾斜定位器121，Y方向定位器123設置於X方向定位器122。X方向及Y方向實質上為二互不平行的方向，且X方向在包含Y方向的一平面上的投影較佳垂直Y方向，惟於其他實施例中亦可為其他二方向。傾斜定位器121、X方向定位器122及Y方向定位器123之設置順序不以上述方式為限，於其他實施例中亦可以其他順序設置。

於本實施例中，工作台13可設置於Y方向定位器123。傾斜定位器121用以調整工作台13相對於基座11之傾斜角度。X方向定位器122用以調整工作台13相對於基座11在X方向上之相對位置。Y方向定位器123用以調整工作台13相對於基座11在Y方向上之相對位置。於其他實施例中若以其他順序設置定位裝置12時，工作台13可設置於定位裝置12中最遠離基座11的元件。定位裝置12及工作台13的設置與否不以此為限，於其他實施例中亦可依情況省略。

移動裝置14連接基座11及影像擷取裝置15。於本實施例中，移動裝置14包括軌道件141及移動件142。軌道件141設置於基座11。控制器可控制移動件142帶動影像擷取裝置15（例如，影像擷取裝置15可設置於移動件142）。於本實施例中，移動裝置14之軌道件141具有凹槽140及形成凹槽140之二個壁面140a、140b。移動件142設置於軌道件141且可沿凹槽140相對於軌道件141在Z方向上移動。Z方向不與X方向及Y方向平行，較佳實質上垂直於X方向及Y方向，且Z方向可實質上為鉛直方向，但不以此為限，於其他實施例中亦可為其他方向。軌道件141及移動件142的相對移動距離可達60公釐（mm），而驅動速率可達120公釐／秒鐘（mm/s）。於本實施例中，移動裝置14可驅動影像擷取裝置15以固定的驅動速率連續接近或連續遠離受測件OT。

影像擷取裝置15包括光源151及物鏡152。光源151可發出白光，且用以照射受測件OT以提供光線照明。物鏡152之入光側150用以朝向受測件OT，以接收來自受測件OT之影像的光線。影像擷取裝置15具有最長曝光時間為每幀1／213秒鐘以下。藉由將最長曝光時間定為每幀1／213秒鐘以下，影像擷取裝置15可迅速而穩定地擷取受測件OT的多個影像。影像擷取系統1應用於白光干涉儀時，此些影像可為白光干涉條紋影像。

觸發組件16設置於移動裝置14且電性連接於影像擷取裝置15。於影像擷取裝置15連續接近或連續遠離受測件OT時，觸發組件16可依序產生並傳送多個觸發訊號至影像擷取裝置15，以依序觸發影像擷取裝置15擷取受測件OT的多個影像。或者，觸發組件16亦可依序產生並傳送多個觸發訊號至控制器，控制器再根據觸發訊號依序觸發影像擷取裝置15擷取受測件OT的多個影像。控制器亦可接收影像擷取裝置15所擷取的多個影像，並對於此些影像進行影像解讀處理。

於本實施例中，觸發組件16包括多個光訊號產生器161及多個光訊號接收器162。光訊號產生器161排列設置於其中一個壁面140a，光訊號接收器162排列設置於其中另一個壁面140b。各光訊號產生器161及各光訊號接收器162彼此相面對。在各光訊號產生器161及各光訊號接收器162之間未被移動件142遮擋的情況下，各光訊號產生器161所產生的光訊號會被各光訊號接收器162接收。

藉由本實施例如上設置的移動裝置14、影像擷取裝置15及觸發組件16，當移動件142相對於軌道件141朝負Z方向（於本實施例中亦即接近受測件OT）或朝正Z方向（於本實施例中亦即遠離受測件OT）以驅動速率連續移動時，各光訊號產生器161所產生且傳送至各光訊號接收器162之光訊號依序受到移動件142遮斷，使得各光訊號接收器162依序未接收到光訊號，而依序產生並傳送觸發訊號至影像擷取裝置15。影像擷取裝置15依序受到多次觸發而擷取受測件OT的多個影像。各光訊號產生器161及各光訊號接收器162的設置位置不以此為限，於其他實施例中亦可部分或全部相互對調。而且，因影像擷取裝置15的最長曝光時間為每幀1／213秒鐘以下，故影像擷取裝置15可迅速而穩定地擷取受測件OT的多個影像。

於本實施例中，光訊號產生器161及光訊號接收器162的數量雖分別例示為五個，但不以此為限，於其他實施例中亦可依需求設置不同數量的光訊號產生器161及光訊號接收器162。

請參照圖1、圖3及圖4，圖4繪示依照本發明之影像擷取方法之時序示意圖。

於圖4之時間點t0之前，影像擷取系統1中之控制器可驅動承載受測件OT之工作台13移動至基準位置，藉以將受測件OT的位置歸零。此外，還可將移動件142移動至基準位置，藉以將影像擷取裝置15的位置歸零。於受測件OT的位置及影像擷取裝置15的位置歸零之後即可開始進行影像擷取。如圖4所示，自時間點t0開始，驅動移動件142相對於軌道件141連續移動並加速至前述的驅動速率，進而使影像擷取裝置15連續接近或連續遠離工作台13及受測件OT。

詳言之，於移動件142移動至第一個光訊號產生器161及第一個光訊號接收器162之間時，亦即於圖4之時間點t1，第一個光訊號產生器161傳送至第一個光訊號接收器162的光訊號被移動件142遮斷，而產生第一個觸發訊號，並將此第一個觸發訊號傳送至影像擷取裝置15。經過訊號傳遞時間ΔT1之後，於圖4之時間點t2，影像擷取裝置15開始接收來自受測件OT之影像的光線，其中訊號傳遞時間ΔT1為自光訊號接收器162產生觸發訊號至影像擷取裝置15開始擷取影像之間所需的時間。

自圖4之時間點t2經過取像時間ΔT2後，於圖4之時間點t3，影像擷取裝置15停止接收來自受測件OT之影像的光線以完成擷取受測件OT之第一個影像。取像時間ΔT2可包括影像擷取裝置15進行對焦、調整亮度、開啟快門及關閉快門所需要的時間。而開啟快門至關閉快門的時間為小於或等於前述的最長曝光時間。

於圖4之時間點t3之後，影像擷取系統1中之控制器可對於第一個影像進行影像解讀處理。

自時間點t3經過等待時間ΔT3之後，於第二個光訊號產生器161傳送至第二個光訊號接收器162的光訊號被移動件142遮斷時，亦即於圖4之時間點t1’，第二個光訊號接收器162產生第二個觸發訊號，並將此第二個觸發訊號傳送至影像擷取裝置15。影像擷取系統1重複自上述時間點t1開始之步驟，至所擷取之受測件OT之影像的數量達到所需要的數量。

自時間點t0至所擷取之受測件OT之影像的數量達到所需要的數量之過程中，移動件142較佳持續以驅動速率相對於軌道件141連續移動而並未停歇，依序遮斷由光訊號產生器161發射至光訊號接收器162的多個光訊號，以於短時間內多次致動影像擷取裝置15。

另外，影像擷取裝置15亦可依據需求跳過第二個觸發訊號，不在接收到第二個觸發訊號擷取影像，而在接收到第三個觸發訊號時才擷取影像。

因此，影像擷取系統1能迅速而穩定地對受測件OT擷取多個影像，進而迅速而穩定地感測受測件OT的表面狀態。

另請參照圖5，繪示依照本發明之另一實施例之移動裝置及觸發組件之側視剖面示意圖。圖5所示之實施例與圖3所示之實施例的差異在於，以圖5所示之移動裝置24及觸發組件26分別取代圖3所示之移動裝置14及觸發組件16。於本實施例中，移動裝置24包括軌道件241及移動件242。移動件242設置於軌道件241且可相對於軌道件241在Z方向上移動。軌道件241可設置於圖1之基座11，圖1之影像擷取裝置15可設置於移動件242。觸發組件26包括光訊號產生接收器261及多個光反射鏡262。光訊號產生接收器261設置於移動件242且朝向軌道件241。光訊號產生接收器261之訊號產生部261a及訊號接收部261b彼此相鄰，且二者彼此間的相對位置關係不以圖5中所示者為限，亦可以上下左右的位置關係彼此相鄰。多個光反射鏡262排列設置於軌道件241且朝向移動件242。

在光訊號產生接收器261之訊號產生部261a未移動至光反射鏡262時，光訊號產生接收器261之訊號接收部261b未收到光訊號。

當移動件242相對於軌道件241朝負Z方向或朝正Z方向以驅動速率連續移動時，訊號產生部261a依序移動至各光反射鏡262。各光反射鏡262依序將光訊號反射至訊號接收部261b，使得訊號接收部261b依序接收到光訊號，而依序產生並傳送觸發訊號至影像擷取裝置15。影像擷取裝置15依序受到多次觸發而擷取圖1之受測件OT的多個影像。

另請參照圖6，繪示依照本發明之另一實施例之移動裝置及觸發組件之側視剖面示意圖。圖6所示之實施例與圖3所示之實施例的差異在於，以圖6所示之移動裝置34及觸發組件36分別取代圖3所示之移動裝置14及觸發組件16。於本實施例中，移動裝置34包括軌道件341及移動件342。移動件342設置於軌道件341且可相對於軌道件341在Z方向上移動。軌道件341可設置於圖1之基座11，圖1之影像擷取裝置15可設置於移動件342。觸發組件36包括光訊號產生接收器361及多個光反射鏡362。光反射鏡362設置於移動件342且朝向軌道件341。多個光訊號產生接收器361排列設置於軌道件341且朝向移動件342。

在光反射鏡362未移動至光訊號產生接收器361時，光訊號產生接收器361未收到自身所產生的光訊號。

當移動件342相對於軌道件341朝負Z方向或朝正Z方向以驅動速率連續移動時，光反射鏡362依序移動至各光訊號產生接收器361。各光反射鏡362依序將光訊號產生接收器361所產生光訊號反射回光訊號產生接收器361，使得光訊號產生接收器361依序接收到光訊號，而依序產生並傳送觸發訊號至影像擷取裝置15。影像擷取裝置15依序受到多次觸發而擷取圖1之受測件OT的多個影像。

另請參照圖7，繪示依照本發明之另一實施例之移動裝置及觸發組件之側視剖面示意圖。圖7所示之實施例與圖3所示之實施例的差異在於，以圖7所示之移動裝置44及觸發組件46分別取代圖3所示之移動裝置14及觸發組件16。於本實施例中，移動裝置44包括軌道件441及移動件442。移動件442設置於軌道件441且可相對於軌道件441在Z方向上移動。軌道件441可設置於圖1之基座11，圖1之影像擷取裝置15可設置於移動件442。觸發組件46包括光訊號產生器461及多個光訊號接收器462。光訊號產生器461設置於移動件442且朝向軌道件441。多個光訊號接收器462排列設置於軌道件441且朝向移動件442。

在光訊號產生器461未移動至光訊號接收器462時，光訊號接收器462未收到光訊號產生器461所產生的光訊號。

當移動件442相對於軌道件441朝負Z方向或朝正Z方向以驅動速率連續移動時，光訊號產生器461依序移動至各光訊號接收器462。各光訊號接收器462依序接收到光訊號，而依序產生並傳送觸發訊號至影像擷取裝置15。影像擷取裝置15依序受到多次觸發而擷取圖1之受測件OT的多個影像。

另請參照圖8，繪示依照本發明之另一實施例之移動裝置及觸發組件之側視剖面示意圖。圖8所示之實施例與圖3所示之實施例的差異在於，以圖8所示之移動裝置54及觸發組件56分別取代圖3所示之移動裝置14及觸發組件16。於本實施例中，移動裝置54包括軌道件541及移動件542。移動件542設置於軌道件541且可相對於軌道件541在Z方向上移動。軌道件541可設置於圖1之基座11，圖1之影像擷取裝置15可設置於移動件542。觸發組件56包括多個光訊號產生器561及光訊號接收器562。多個光訊號產生器561排列設置於軌道件541且朝向移動件542。光訊號接收器562設置於移動件542且朝向軌道件541。

在光訊號接收器562未移動至光訊號產生器561時，光訊號接收器562未收到光訊號產生器561所產生的光訊號。

當移動件542相對於軌道件541朝負Z方向或朝正Z方向以驅動速率連續移動時，光訊號接收器562依序移動至各光訊號產生器561。各光訊號接收器562依序接收到光訊號，而依序產生並傳送觸發訊號至影像擷取裝置15。影像擷取裝置15依序受到多次觸發而擷取圖1之受測件OT的多個影像。

另請參照圖9，繪示依照本發明之另一實施例之移動裝置及觸發組件之側視剖面示意圖。圖9所示之實施例與圖3所示之實施例的差異在於，以圖9所示之移動裝置64及觸發組件66分別取代圖3所示之移動裝置14及觸發組件16。於本實施例中，移動裝置64包括軌道件641及移動件642。移動件642設置於軌道件641且可相對於軌道件641在Z方向上移動。軌道件641可設置於圖1之基座11，圖1之影像擷取裝置15可設置於移動件642。觸發組件66包括光訊號產生器661、光訊號接收器662及多條光纖663。光訊號產生器661設置於移動件642且朝向軌道件641。光訊號接收器662設置於軌道件641。各光纖663具有第一端663a及第二端663b，多個第一端663a排列設置於軌道件641且朝向移動件642，多個第二端663設置成朝向光訊號接收器662。

在光訊號產生器661未移動至光纖663之第一端663a時，光訊號接收器662未收到光訊號產生器661所產生的光訊號。

當移動件642相對於軌道件641朝負Z方向或朝正Z方向以驅動速率連續移動時，光訊號產生器661依序移動至各光纖663之各第一端663a。各第一端663a將光訊號傳遞至各第二端663b，以使光訊號接收器662依序接收到光訊號。光訊號接收器662依序產生並傳送觸發訊號至影像擷取裝置15。影像擷取裝置15依序受到多次觸發而擷取圖1之受測件OT的多個影像。

另請參照圖10，繪示依照本發明之另一實施例之移動裝置及觸發組件之側視剖面示意圖。圖10所示之實施例與圖3所示之實施例的差異在於，以圖10所示之移動裝置74及觸發組件76分別取代圖3所示之移動裝置14及觸發組件16。於本實施例中，移動裝置74包括軌道件741及移動件742。移動件742設置於軌道件741且可相對於軌道件741在Z方向上移動。軌道件741可設置於圖1之基座11，圖1之影像擷取裝置15可設置於移動件742。觸發組件76包括光訊號產生器761、光訊號接收器762及多條光纖763。光訊號產生器761設置於軌道件741。光訊號接收器762設置於移動件742且朝向軌道件741。各光纖763具有第一端763a及第二端763b，多個第一端763a排列設置於軌道件741且朝向移動件742，多個第二端763b設置成朝向光訊號產生器761。

光訊號產生器761所產生的光訊號自各光纖763之第二端763b傳遞至各第一端763a。在光訊號接收器762未移動至光纖763之第一端763a時，光訊號接收器762未收到光訊號產生器761所產生的光訊號。

當移動件742相對於軌道件741朝負Z方向或朝正Z方向以驅動速率連續移動時，光訊號接收器762依序移動至各光纖763之各第一端763a，以使光訊號接收器762依序接收到光訊號。光訊號接收器762依序產生並傳送觸發訊號至影像擷取裝置15。影像擷取裝置15依序受到多次觸發而擷取圖1之受測件OT的多個影像。

另請參照圖11，繪示依照本發明之另一實施例之移動裝置及觸發組件之側視剖面示意圖。圖11所示之實施例與圖3所示之實施例的差異在於，以圖11所示之移動裝置84及觸發組件86分別取代圖3所示之移動裝置14及觸發組件16。於本實施例中，移動裝置84包括軌道件841及移動件842。移動件842設置於軌道件841且可相對於軌道件841在Z方向上移動。軌道件841可設置於圖1之基座11，圖1之影像擷取裝置15可設置於移動件842。觸發組件86包括光學尺861及位移感測器862。光學尺861設置於軌道件841且可具有多個刻度。位移感測器862設置於移動件842且可朝向光學尺861感測此些刻度。位移感測器862藉由感測此些刻度相對於位移感測器862的位移狀態，推算位移感測器862相對於光學尺861的位移狀態。位移感測器862用以於每移動一段距離產生並傳送觸發訊號。

在移動件842未相對於軌道件841移動時，位移感測器862未產生亦未發出觸發訊號。

當移動件842相對於軌道件841朝負Z方向或朝正Z方向以驅動速率連續移動時，位移感測器862於每移動一段距離依序產生並傳送觸發訊號至影像擷取裝置15。影像擷取裝置15依序受到多次觸發而擷取圖1之受測件OT的多個影像。

另請參照圖12，繪示依照本發明之另一實施例之移動裝置及觸發組件之側視剖面示意圖。圖12所示之實施例與圖3所示之實施例的差異在於，以圖12所示之移動裝置94及觸發組件96分別取代圖3所示之移動裝置14及觸發組件16。於本實施例中，移動裝置94包括軌道件941及移動件942。移動件942設置於軌道件941且可相對於軌道件941在Z方向上移動。軌道件941可設置於圖1之基座11，圖1之影像擷取裝置15可設置於移動件942。觸發組件96包括多個機械開關961。多個機械開關961排列設置於軌道件941且朝向移動件942。

在移動件942未抵壓機械開關961時，機械開關961未產生亦未發出觸發訊號。

當移動件942相對於軌道件941朝負Z方向或朝正Z方向以驅動速率連續移動且依序抵壓於機械開關961時，機械開關961依序產生並傳送觸發訊號至影像擷取裝置15。影像擷取裝置15依序受到多次觸發而擷取圖1之受測件OT的多個影像。

另外，以上雖分別以圖3及圖5至圖12描述多種觸發組件，但不以上述為限。於其他實施例中，亦可依需求而任意混用圖3及圖5至圖12所示之觸發組件。

綜上所述，本發明之一實施例之影像擷取系統及影像擷取方法，藉由影像擷取裝置連續接近或連續遠離受測件的過程中，不停歇地擷取受測件的多個影像，以迅速而穩定地感測受測件的表面狀態。藉由影像擷取裝置之最長曝光時間可為每幀1／213秒鐘以下，使影像擷取裝置得拍攝清晰的受測件影像。當將影像擷取系統應用於白光干涉儀或其他有擷取多個受測件影像之需求的設備時，能夠在短時間內獲得清晰的多個影像，以利迅速推算受測件之資訊。

雖然本發明以前述之實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明。在不脫離本發明之精神和範圍內，所為之更動與潤飾，均屬本發明之專利保護範圍。關於本發明所界定之保護範圍請參考所附之申請專利範圍。

1‧‧‧影像擷取系統

11‧‧‧基座

12‧‧‧定位裝置

121‧‧‧傾斜定位器

122‧‧‧X方向定位器

123‧‧‧Y方向定位器

13‧‧‧工作台

14、24、34、44、54、64、74、84、94‧‧‧移動裝置

140‧‧‧凹槽

140a、140b‧‧‧壁面

141、241、341、441、541‧‧‧軌道件

641、741、841、941‧‧‧軌道件

142、242、342、442、542‧‧‧移動件

642、742、842、942‧‧‧移動件

15‧‧‧影像擷取裝置

150‧‧‧入光側

151‧‧‧光源

152‧‧‧物鏡

16、26、36、46、56、66、76、86、96‧‧‧觸發組件

161、461、561、661、761‧‧‧光訊號產生器

162、462、562、662、762‧‧‧光訊號接收器

261、361‧‧‧光訊號產生接收器

261a‧‧‧訊號產生部

261b‧‧‧訊號接收部

262、362‧‧‧光反射鏡

663、763‧‧‧光纖

663a、763a‧‧‧第一端

663b、763b‧‧‧第二端

861‧‧‧光學尺

862‧‧‧位移感測器

961‧‧‧機械開關

OT‧‧‧受測件

t0、t1、t2、t3、t1’‧‧‧時間點

ΔT1‧‧‧訊號傳遞時間

ΔT2‧‧‧取像時間

ΔT3‧‧‧等待時間

圖1繪示依照本發明之一實施例之影像擷取系統之立體示意圖。 圖2繪示圖1之影像擷取系統之立體分解示意圖。 圖3繪示圖1之影像擷取系統之移動裝置及觸發組件之前視剖面示意圖。 圖4繪示依照本發明之影像擷取方法之時序示意圖。 圖5繪示依照本發明之另一實施例之移動裝置及觸發組件之側視剖面示意圖。 圖6繪示依照本發明之另一實施例之移動裝置及觸發組件之側視剖面示意圖。 圖7繪示依照本發明之另一實施例之移動裝置及觸發組件之側視剖面示意圖。 圖8繪示依照本發明之另一實施例之移動裝置及觸發組件之側視剖面示意圖。 圖9繪示依照本發明之另一實施例之移動裝置及觸發組件之側視剖面示意圖。 圖10繪示依照本發明之另一實施例之移動裝置及觸發組件之側視剖面示意圖。 圖11繪示依照本發明之另一實施例之移動裝置及觸發組件之側視剖面示意圖。 圖12繪示依照本發明之另一實施例之移動裝置及觸發組件之側視剖面示意圖。

Claims (10)

1. 一種影像擷取系統，用以檢測一受測件，該影像擷取系統包括：一基座；一影像擷取裝置，用以朝向該受測件；一移動裝置，連接該基座及該影像擷取裝置，該移動裝置用以驅動該影像擷取裝置連續接近或連續遠離該受測件；以及一觸發組件，設置於該移動裝置且電性連接於該影像擷取裝置，該觸發組件於該影像擷取裝置連續接近或連續遠離該受測件時依序產生並傳送多個觸發訊號至該影像擷取裝置，以依序觸發該影像擷取裝置擷取該受測件的多個白光干涉條紋影像。
2. 如請求項1所述之影像擷取系統，其中該移動裝置包括一軌道件及一移動件，該軌道件設置於該基座，該移動件設置於該軌道件且可相對於該軌道件移動，該影像擷取裝置設置於該移動件。
3. 如請求項2所述之影像擷取系統，其中該觸發組件包括一光學尺及一位移感測器，該光學尺設置於該基座，該位移感測器設置於該影像擷取裝置且朝向該光學尺感測位移，該位移感測器用以於每移動一段距離產生並傳送該觸發訊號。
4. 如請求項2所述之影像擷取系統，其中該觸發組件包括一光訊號產生接收器及多個光反射鏡，該光訊號產生接收器設置於該移動件且朝向該軌道件，該些光反射鏡排列設置於該軌道件且朝向該移動件。
5. 如請求項2所述之影像擷取系統，其中該觸發組件包括多個光訊號產生接收器及一光反射鏡，該光反射鏡設置於該移動件且朝向該軌道件，該些光訊號產生接收器排列設置於該軌道件且朝向該移動件。
6. 如請求項2所述之影像擷取系統，其中該觸發組件包括一光訊號產生器及多個光訊號接收器，該光訊號產生器設置於該移動件且朝向該軌道件，該些光訊號接收器排列設置於該軌道件且朝向該移動件。
7. 如請求項2所述之影像擷取系統，其中該觸發組件包括一光訊號接收器及多個光訊號產生器，該光訊號接收器設置於該移動件且朝向該軌道件，該些光訊號產生器排列設置於該軌道件且朝向該移動件。
8. 如請求項2所述之影像擷取系統，其中該觸發組件包括一光訊號產生器、一光訊號接收器及多條光纖，該光訊號產生器及該光訊號接收器之其中一者設置於該移動件且朝向該軌道件，該光訊號產生器及該光訊號接收器之其中另一者設置於該軌道件，各該光纖具有一第一端及一第二端，該些第一端排列設置於該軌道件且朝向該移動件，該些第二端設置成朝向該光訊號產生器及該光訊號接收器之其中另一者。
9. 如請求項2所述之影像擷取系統，其中該軌道件具有一凹槽及形成該凹槽之二個壁面，該移動件設置於該軌道件且可沿該凹槽相對於該軌道件移動，該影像擷取裝置設置於該移動件，該觸發組件包括多個光訊號產生器及多個光訊號接收器，該些光訊號產生器排列設置於其中一個該壁面，該些光訊號接收器排列設置於其中另一個該壁面，各該光訊號產生器及各該光訊號接收器彼此相面對。
10. 一種影像擷取方法，用以檢測一受測件，該影像擷取方法包括：驅動一影像擷取裝置連續接近或連續遠離該受測件，依序產生並傳送多個觸發訊號至該影像擷取裝置；以及依序根據該些觸發訊號觸發該影像擷取裝置擷取該受測件的多個白光干涉條紋影像。