TWI662216B - Fluid controller - Google Patents

Fluid controller Download PDF

Info

Publication number
TWI662216B
TWI662216B TW104143496A TW104143496A TWI662216B TW I662216 B TWI662216 B TW I662216B TW 104143496 A TW104143496 A TW 104143496A TW 104143496 A TW104143496 A TW 104143496A TW I662216 B TWI662216 B TW I662216B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
valve stem
vertical movement
sleeve
valve
moving body
Prior art date
Application number
TW104143496A
Other languages
English (en)
Other versions
TW201636526A (zh
Inventor
谷川毅
山路道雄
藥師神忠幸
石橋圭介
柳田保昌
Original Assignee
日商富士金股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日商富士金股份有限公司 filed Critical 日商富士金股份有限公司
Publication of TW201636526A publication Critical patent/TW201636526A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI662216B publication Critical patent/TWI662216B/zh

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K1/00—Lift valves or globe valves, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces
    • F16K1/32—Details
    • F16K1/52—Means for additional adjustment of the rate of flow
    • F16K1/523—Means for additional adjustment of the rate of flow for limiting the maximum flow rate, using a stop
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
    • F16K31/12—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid
    • F16K31/122—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid the fluid acting on a piston
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K35/00—Means to prevent accidental or unauthorised actuation

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Fluid-Driven Valves (AREA)
  • Lift Valve (AREA)
  • Mechanically-Actuated Valves (AREA)

Abstract

提供一種流體控制器，其可於確保耐久性之基礎上，進行精度良好的流量調整。該流體控制器具備閥桿上下移動量上限值設定手段10，其設定閥桿8之伴隨於開閉的上下移動量之上限值，並具備閥桿上下移動量微調手段11，其可於上限值以下的範圍內使閥桿8之伴隨於開閉的上下移動量變化。

Description

流體控制器
本發明係關於一種流體控制器，尤其是關於適宜在連續地反復開閉的用途所使用之流體控制器。
關於連續地反復開閉的用途所使用之流體控制器方面，已知一種稱為直接接觸式隔膜閥者(專利文獻1)。
此種流體控制器，係為氣動驅動式，經常使用於半導體製造裝置中，被要求能對應高溫且具高耐久性。此外，通常使用於複數條管路中，在該情況下，還要求每條氣體管路之流量(Cv值)沒有差異。
於專利文獻1中，為了確保耐久性(連續開閉動作次數)，提出了將閥桿(stem)之伴隨於開閉的上下移動量(隔膜的變形量)設定為既定值之方法。
[先前技術文獻] [專利文獻]
專利文獻1：日本特開2007-64333號公報
根據各氣體管路上之閥的位置、或閥的個體差，流量(Cv值)分別有微妙之不同。尤其是，於半導體製造裝置之情況，鄰近處理室而使用之閥，因其Cv值，會對製造之半導體直接產生影響。然而，若依氣體管路等分別對閥之Cv值進行調整，則有可能產生調整為較能確保閥之耐久性之閥桿的上下移動量大的移動量之個體。藉此，隔膜(及閥)之耐久性有可能降低。亦即，有時會有於確保耐久性之後，才可對流量進行調整的情況。於以1個調整構造對Cv值的調整量進行調整之情況，沒法對以下事項進行確認：有將調整時之閥桿的上下移動量變更了何種程度、或經調整之結果是否變得較能確保耐久性之閥桿的上下移動量大。
本發明之目的在於，提供一種流體控制器，其可於確保耐久性之基礎上，進行精度良好的流量調整。
本發明之流體控制器，係具備：本體，其設置有流體通道；閥蓋，其設置於本體之上方；套管，其設置於閥蓋之上方；閥體，其開閉流體通道；閥桿，其藉由上升或下降使閥體朝開或閉方向移動；及致動器，其使閥桿上下移動，該流體控制器之特徵在於具備：閥桿上下移動量上限值設定手段，其設定閥桿之伴隨於開閉的上下移動量之上限值；及閥桿上下移動量微調手段，其可於上限值以下的範圍內對閥桿之伴隨於開閉的上下移動量進行調整。
由於能藉由閥桿上下移動量上限值設定手段 設定閥桿上下移動量的上限值，因此，藉由對閥桿上下移動量進行微調，可建構成無法將移動量設定於超過能確保耐久性之上限。在此，藉由對閥桿上下移動量進行調整，決定出Cv值。其中，需要對Cv值進行微調，此微調係利用閥桿上下移動量微調手段，藉由於預先設定的閥桿上下移動量之上限值以下的範圍內變化而進行。藉由此微調，可精度良好地將Cv值設定為目標值。於Cv值隨著使用而變化，產生對Cv值進行調整之需要時，也藉由閥桿上下移動量微調手段，對閥桿上下移動量進行微調。因此，於調整Cv值時，不會有將閥桿上下移動量設定為超過用以確保耐久性的閥桿上下移動量上限值之情況。藉此，可於確保耐久性之基礎上，進行精度良好的流量調整。
閥桿上下移動量上限值設定手段之閥桿上下移動量的上限值，係於流體控制器出貨時被設定，即使於使用狀態中，也被維持在出貨時的設定值。閥桿上下移動量微調手段之閥桿上下移動量，係於流體控制器出貨時被暫時設定，在使用狀態下，由使用者方面設定為合理值。
流體控制器例如為金屬隔膜閥，但不限於此。此外，流體控制器可為平常時關閉之狀態的構成，也可為平常時開啟的狀態之構成。
閥桿上下移動量微調手段，具有藉由使環柄旋轉而上下移動的移動體，閥桿上下移動量之上限值，係藉由變更閥桿與套管之距離而可獲得，閥桿上下移動 量的微調，係藉由使與閥桿設為一體之致動器驅動軸與移動體的距離變化而可獲得。
藉由如此設定，可容易藉由閥桿上下移動量微調手段進行調整。
較佳為，與閥桿設為一體之致動器驅動軸的上端部，係插入設於移動體的軸插入孔，在位於軸插入孔之下方的致動器驅動軸的部分上設置有凸緣部，致動器驅動軸之凸緣部之上面與移動體的下面之距離被設為閥桿上下移動量，閥桿上下移動量上限值設定手段，具備形成有陽螺紋之套管的下方突出部、設置於閥蓋之頂壁的陰螺紋、及防鬆螺帽。
如此一來，能以簡單的構成獲得閥桿上下移動量上限值設定手段及閥桿上下移動量微調手段。
較佳為，閥桿上下移動量微調手段具備：環柄，其於內周設置有陰螺紋且可旋轉地被支撐於套管；移動體，其於外周設置有陽螺紋且螺合於環柄的內周；及導引手段，其可防止移動體對套管旋轉並可使移動體朝上下方向移動。
此外，更佳為，具備移動體固定手段，該移動體固定手段係阻止閥桿上下移動量設定後之移動體的移動。
導引手段例如包含設於移動體且朝上下方向延長的導引槽、及自徑向外側面向導引槽的導引銷，但不限於此。此外，移動體固定手段，例如藉由使用一或複數個固定螺絲，且將固定螺絲螺合於設在移動體的螺 孔，使固定螺絲之下端抵接於套管之上面而可獲得，但不限於此。
閥桿上下移動量微調手段，也可為藉由使環柄旋轉，使移動體一面與環柄一體旋轉一面上下移動之構成，但藉由將環柄之旋轉轉換為移動體的上下移動而進行，螺紋部變鬆的可能性、或於波紋管等產生扭轉應力的可能性消失，可防止起因於螺紋部的鬆弛之精度降低、及起因於扭轉應力之耐久性的降低。
環柄包含：外筒體，其為以手握持的部分；內筒體，其嵌入外筒體內；及軸體，其嵌入內筒體內，且於套管之內周形成有陰螺紋，於內筒體形成有螺合於套管之陰螺紋的陽螺紋，於軸體之外周形成有螺距較套管的陰螺紋之螺距小的陽螺紋，於移動體的內周形成有螺合於軸體之陽螺紋的陰螺紋。
如此一來，可精度更良好地進行微調。
根據本發明之流體控制器，藉由閥桿上下移動量上限值設定手段將閥桿上下移動量設定為上限值，以確保耐久性，且Cv值之微調，係藉由閥桿上下移動量微調手段，使閥桿上下移動量在上限值以下之範圍內變化而進行，因此能於確保耐久性之基礎上，進行精度良好之流量調整。
1‧‧‧流體控制器
2‧‧‧本體
2a‧‧‧流體流入通道
2b‧‧‧流體流出通道
2c‧‧‧凹口部
3‧‧‧閥蓋
4‧‧‧套管
6‧‧‧隔膜(閥體)
8‧‧‧閥桿
9‧‧‧致動器
10‧‧‧閥桿上下移動量上限值設定手段
11‧‧‧閥桿上下移動量微調手段
31‧‧‧驅動軸(致動器驅動軸)
31d‧‧‧上端部
41‧‧‧環柄
41b‧‧‧陰螺紋
42‧‧‧移動體
43‧‧‧導引手段
46b‧‧‧陽螺紋
61‧‧‧閥桿上下移動量微調手段
62‧‧‧套管
62a‧‧‧陰螺紋
64‧‧‧環柄
65‧‧‧移動體
66‧‧‧導引手段
71‧‧‧外筒體
72‧‧‧內筒體
72a‧‧‧陽螺紋
73‧‧‧軸體
73a‧‧‧陽螺紋
77a‧‧‧陰螺紋
第1圖為顯示本發明之流體控制器的一實施形態之 縱剖視圖。
第2圖為第1圖之主要構成部分即閥桿上下移動量微調手段的放大縱剖視圖。
第3圖為顯示藉由閥桿上下移動量微調手段使閥桿上下移動量自第2圖之狀態變化的狀態之放大縱剖視圖。
第4圖為本發明之流體控制器的第二實施形態之主要構成部分即閥桿上下移動量微調手段之放大縱剖視圖。
下面，參照圖式說明本發明之實施形態。於以下的說明中，設上下為圖的上下。
第1至第3圖顯示本發明之流體控制器的一實施形態。
流體控制器(1)係稱為直接接觸式金屬隔膜閥者，如第1圖所示，其具備：塊狀本體(2)，其具有流體流入通道(2a)、流體流出通道(2b)及朝上方開口的凹口部(2c)；圓筒形閥蓋(bonnet)(3)，其下端部螺合於本體(2)的凹口部(2c)上部且朝上方延長；套管(casing)(4)，其設置於閥蓋(3)之上方；環形之合成樹脂製隔膜座(5)，其設置於流體流入通道(2a)之周緣；金屬製隔膜(閥體)(6)，其被推壓於隔膜座(5)或自隔膜座(5)分離而對流體流入通道(2a)進行開閉；閥桿(stem)(8)，其經由隔膜壓桿(7)將隔膜(6)推壓於隔膜座(5)或自隔膜座(5)分離；致動器(9)，其收納於套管(4)內且使閥桿(8)上下移動；閥桿上下移動量上限值設定手段(10)，其設定閥桿上下移動量的上限值；及閥桿上下移動量微調手段(11)，其使閥桿 上下移動量在上限值以下之範圍內變化。
閥蓋(3)具有頂壁(21)，頂壁(21)係於中央部設置有可供閥桿(8)上下移動地插通之貫通孔(21a)。於貫通孔(21a)之周緣部設置有朝下方突出的圓筒形下方突出緣部(21b)。於貫通孔(21a)及下方突出緣部(21b)之內周設置有陰螺紋(21c)。
套管(4)包含下套管部(22)、及下端部螺合於下套管部(22)之上套管部(23)。
下套管部(22)具有底壁(24)及圓筒形的周壁(25)，該底壁(24)係於中央部設置有可供閥桿(8)上下移動地插通的貫通孔(24a)。於貫通孔(24a)之周緣部設置有朝下方突出的圓筒形之下方突出部(26)。於下方突出部(26)之下部外周形成有陽螺紋(26a)，防鬆螺帽(27)被螺合於陽螺紋(26a)之上部。陽螺紋(26a)之下部，係與形成在閥蓋(3)之頂壁(21)的陰螺紋(21c)螺合。
上套管部(23)具有圓筒形的周壁(28)及頂壁(29)。於頂壁(29)之中央部設置有貫通孔(29a)。於貫通孔(29a)之周緣部設置有朝上方突出的圓筒形之上方突出部(30)。
於閥蓋(3)之下端面與本體(2)的凹口部(2c)底面之間配置有壓桿適配器(12)，隔膜(6)之外周緣部，係被保持於壓桿適配器(12)與本體(2)的凹口部(2c)底面之間。
隔膜(6)係設為上凸之圓弧狀為自然狀態的球殼狀。隔膜(6)例如由鎳合金薄板構成，且被裁切成圓 形，形成為使中央部朝上方突起之球殼狀。隔膜(6)也可由不鏽鋼薄板構成、或者由不鏽鋼薄板及鎳鈷合金薄板的層積體構成。
於閥桿(8)之下端附近設置有凸緣(8a)，於凸緣(8a)與閥蓋(3)之頂壁(21)的外周緣部之間配置有使閥桿(8)朝下方偏置的壓縮螺旋彈簧(偏置構件)(13)。流體控制器(1)藉由壓縮螺旋彈簧(13)而於平常時(致動器(9)非動作時)被保持於關閉狀態。
致動器(9)具有：驅動軸(31)，其藉由將下端部螺合於閥桿(8)之上端部而被固定於閥桿(8)；上下之活塞(32)(33)，其外周面可滑動地密接於套管(4)之內周面，且內周面可滑動密接於驅動軸(31)的外周面；及對面板(34)，其被配置於此等之中間。上下之活塞(32)(33)的下側，係作為操作空氣導入室(35)(36)，於驅動軸(31)設置有用以將操作空氣送入操作空氣導入室(35)(36)的軸向通道(31a)及徑向通道(31b)(31c)。
閥桿(8)的外徑，係較驅動軸(31)之外徑大，閥桿(8)之上端面(8b)，係較驅動軸(31)之外徑突出於徑向外側。閥桿(8)係以於閥桿(8)之上端面(8b)與下套管部(22)的下方突出部(26)之下面之間具有閥桿上下移動量A之方式設定其尺寸(上下方向之長度等)。
於閥桿(8)朝上方移動時，藉由閥桿(8)之上端面(8b)抵接於下套管部(22)的下方突出部(26)之下面，阻止閥桿(8)超過此以上之朝上方的移動。於鬆開防鬆螺帽(27)的狀態下，藉由使下套管部(22)旋轉，可將閥桿上下 移動量A、即閥桿(8)之朝上方的移動量的上限值設定為需求值。藉由形成有陽螺紋(26a)之套管的下方突出部(26)、設於閥蓋(3)之頂壁(21)的陰螺紋(21c)及防鬆螺帽(27)，構成設定閥桿上下移動量A之上限值的閥桿上下移動量上限值設定手段(10)。
作為閥桿上下移動量A之上限值，係設定為能確保需求之耐久性的值。在此，閥桿上下移動量A，係與流量(Cv值)有相關連，因此，為了獲得需求之Cv值，需要變更閥桿上下移動量A。藉由變更以閥桿上下移動量上限值設定手段(10)獲得之閥桿上下移動量A，可進行Cv值之調整，但於此情況下，耐久性也隨之變化。因此，為了既不變更藉由閥桿上下移動量上限值設定手段(10)獲得之閥桿上下移動量A，又可進行用以獲得需求的Cv值之閥桿上下移動量的變更，使用閥桿上下移動量微調手段(11)。
如第2及第3圖所示，閥桿上下移動量微調手段(11)具備：圓筒形之環柄(41)；圓筒形之移動體(42)，其伴隨於環柄(41)之旋轉而上下移動；導引手段(43)，其可防止移動體(42)之相對於套管(4)的旋轉，並可使移動體(42)朝上下方向移動；環柄壓環(44)，其將環柄(41)可旋轉地支撐於套管(4)；及2個固定螺絲(45)(移動體固定手段)，其阻止閥桿上下移動量設定後之移動體(42)的移動。
環柄(41)係於下端部具有凸緣部(41a)，於環柄(41)之上部的內周形成有陰螺紋(41b)。環柄(41)之下 部，係間隔若干之間隙嵌合於上套管部(23)之上方突出部(30)的外周，環柄(41)之下端，係由上套管部(23)之頂壁(29)的上面所支承。
移動體(42)包含上側之大徑部(46)、及內徑與大徑部(46)相同且外徑較小之下側的小徑部(47)，大徑部(46)之下面，係由上套管部(23)之上方突出部(30)的上面所支承。
於大徑部(46)之內周設置有用以導入操作空氣的配管連接部(46a)。於大徑部(46)之外周形成有螺合於環柄(41)的陰螺紋(41b)之陽螺紋(46b)。於大徑部(46)設置有貫通於上下方向的2個螺孔，於各螺孔內螺合有作為移動體固定手段之固定螺絲(45)。
於小徑部(47)之內周，以與配管連接部(46a)相連之方式設置有供驅動軸(31)的上端部(31d)插入之貫通孔(47a)。於小徑部(47)之外周設置有朝上下方向延長的導引槽(48)。
於上套管部(23)之上方突出部(30)，以自徑向外側面向導引槽(48)之方式，設置具有朝與上下方向正交的方向延長之軸的導引銷(49)。於除了導引銷(49)之前端部之外的外周設置有陽螺紋，且藉由螺合於設置在上套管部(23)的上方突出部(30)之螺孔，將導引銷(49)固定於上套管部(23)。導引銷(49)之前端部被嵌入導引槽(48)內，藉此，移動體(42)構成為不可對上套管部(23)旋轉且可上下方向移動。如此，藉由導引槽(48)及導引銷(49)構成了導引手段(43)，該導引手段(43)係構成為可防止移 動體(42)對套管(4)旋轉並可使移動體(42)朝上下方向移動。
環柄壓環(44)具備下側之薄壁部(50)、及外徑與薄壁部(50)相等且內徑較小的上側之厚壁部(51)。於薄壁部(50)之內周設置有陰螺紋(50a)。於厚壁部(51)之上端部設置有朝徑向的內側突出之環形突出緣部(51a)。環柄壓環(44)被螺合於上套管部(23)之周壁(28)，且厚壁部(51)之下面，係由上套管部(23)之頂壁(29)的上面所支承。
厚壁部(51)之環形突出緣部(51a)，經由塗佈有氟樹脂(例如，鐵氟龍(註冊商標))之墊圈(摩擦降低構件)(52)，被支承於環柄(41)之凸緣部(41a)的上面。塗佈有氟樹脂之墊圈(52)，其摩擦係數小，因此可容易使環柄(41)旋轉。
於流體控制器(1)之開啟狀態(藉由操作空氣加壓的狀態)下，環柄(41)之操作變重，但藉由設置塗佈有氟樹脂之墊圈(52)，使得在開啟狀態下的操作性變佳。再者，進行氟樹脂塗佈之素材，可為PPS等的樹脂，也可為金屬(SUS、鋁、鐵等)製的墊圈，此外，也可取代墊圈(52)，使用止推軸承等之摩擦降低構件。並且，也可為藉由使用滾珠軸承等而使摩擦係數降低的構造。
於第1及第2圖所示之狀態下，固定螺絲(45)被螺合於移動體(42)之大徑部(46)的各螺孔，各固定螺絲(45)之下端抵接於上套管部(23)的上方突出部(30)之上面。因此，移動體(42)之上下移動被阻止。藉由將各固定螺絲(45)鬆開，移動體(42)變得可上下移動。
於驅動軸(31)之上端部(31d)被插入設置於移動體(42)的小徑部(47)之內周的貫通孔(47a)之狀態下，於驅動軸(31)之上端部(31d)附近、即位於貫通孔(47a)之下方的驅動軸(31)的部分設置有凸緣部(53)。藉此，於驅動軸(31)之凸緣部(53)的上面與移動體(42)之小徑部(47)的下面之間，設定有第2圖中以B顯示之閥桿上下移動量(在與第1圖中以A顯示者不同的部位以不同之值設定的閥桿上下移動量)。
於閥桿(8)朝上方移動時，藉由驅動軸(31)之凸緣部(53)的上面抵接於移動體(42)之小徑部(47)的下面，阻止閥桿(8)之超過此以上的朝上方之移動。於將2個固定螺絲(45)鬆開的狀態下，藉由使環柄(41)旋轉，如第3圖所示，可將閥桿上下移動量(閥桿(8)之朝上方的移動量的上限值)設定為需求值B，(例如，較第2圖小的值)。
在此，閥桿上下移動量B及B’之大小，係設定為閥桿上下移動量A之大小以下。於設定時，首先，於流體控制器(1)出貨時或流體控制器(1)的使用時，與使用條件及必要流量無關，將閥桿上下移動量A設定為作為高耐久閥能確認耐久性的最大值，然後，在考慮使用條件及必要流量下，對閥桿上下移動量B或B’進行設定。
流體控制器(1)之使用者，為了使每條使用氣體管路的Cv值一致等之目的，需要對閥桿上下移動量進行調整，此時，設定為對閥桿上下移動量B或B’進行微調，但不變更閥桿上下移動量A。藉此，可於耐久性不會低於設定值的狀態下，精度良好地調整Cv值。為了容易進 行微調，移動體(42)之陽螺紋(46b)及環柄(41)的陰螺紋(41b)的螺距，例如被設定為0.5~0.75。
如上述，藉由閥桿上下移動量微調手段(11)進行之閥桿上下移動量B或B’的微調，係將環柄(41)之旋轉轉換為移動體(42)的上下移動而進行，因此與藉由旋轉移動體而進行閥桿上下移動量的調整比較，螺紋部變鬆之可能性、或於波紋管等產生扭轉應力的可能性消失，可防止起因於螺紋部之鬆弛的精度降低及起因於扭轉應力之耐久性的降低。
閥桿上下移動量上限值設定手段(10)及閥桿上下移動量微調手段(11)，不限於上述構成。於第4圖中顯示閥桿上下移動量微調手段之第二實施形態作為其中一例。
此閥桿上下移動量微調手段(61)具備：筒狀之調整手段收納用套管(以下，簡稱為「套管」)(62)，其固定於致動器收納用套管(4)之頂部；筒狀之環柄(64)，其可旋轉地被支撐於套管(62)；移動體(65)，其隨環柄(64)之旋轉而上下移動；及導引手段(66)，其可防止移動體(65)對套管(62)旋轉，並可使移動體(65)朝上下方向移動。
套管(62)具有抵接於致動器收納用套管(4)之頂部的凸緣(62c)，此凸緣(62c)之部分，藉由複數個(例如3個)螺絲(63)，被固定於致動器收納用套管(4)。
環柄(64)具備：外筒體(71)，其為以手握持之部分；內筒體(72)，其自下側嵌入外筒體(71)內；及軸體 (73)，其自下側嵌入內筒體(72)內。
軸體(73)係以其上端部朝上方突出之方式插通於內筒體(72)，藉由將螺合於軸體(73)之上端部的螺帽(74)鎖緊，將軸體(73)與內筒體(72)結合。此外，外筒體(71)與內筒體(72)，係藉由將固定螺絲(75)擰入設於外筒體(71)之貫通於徑向的螺孔(71a)而被結合。如此，藉由旋轉環柄(64)之外筒體(71)，內筒體(72)及軸體(73)也被一體旋轉。
於套管(62)之上部與外筒體(71)的下部之間設置有空間，於此空間部分中，筒狀的儀錶(67)被嵌合於套管(62)之上部外周面，藉由螺合於套管(62)之上部的蓋形螺帽(68)而被固止。
此外，於空間部分中之較外筒體(71)內的蓋形螺帽(68)靠上面的部分設置有環形的擋止部(69)。擋止部(69)可上下移動地嵌合於內筒體(72)之外周，且於上下方向既定之位置被定位後，藉由固定螺絲(70)被固定於內筒體(72)。擋止部(69)係於環柄(64)下降時抵接於蓋形螺帽(68)之上面，藉此，限制在流體控制器(1)全閉時環柄(64)下降。
於內筒體(72)之下部外周形成有陽螺紋(72a)，於軸體(73)之下部外周也形成有陽螺紋(73a)。於套管(62)之上部內周形成有與內筒體(72)的陽螺紋(72a)對應之陰螺紋(62a)，套管(62)與內筒體(72)，係以可相對旋轉之方式螺合。
移動體(65)包含形成有陰螺紋(77a)之螺紋構 件(77)、及支承壓縮螺旋彈簧(偏置構件)(76)的彈簧支承構件(78)。螺紋構件(77)與彈簧支承構件(78)分別為獨立之構件。
移動體(65)之螺紋構件(77)，係設為有底圓筒形，於其內周形成有螺合於環柄(64)的軸體(73)之陽螺紋(73a)的陰螺紋(77a)。螺紋構件(77)係於其上端部被插入內筒體(72)的下端部之狀態下，螺合於軸體(73)之陽螺紋(73a)。
環柄(64)之軸體(73)的陽螺紋(73a)及移動體(65)之螺紋構件(77)的陰螺紋(77a)(第1螺合)，係設定為螺距較套管(62)之陰螺紋(62a)及內筒體(72)的陽螺紋(72a)(第2螺合)的螺距小。第1及第2螺合之螺旋方向，係設定為於使環柄(64)旋轉而下降時以使移動體(65)下降。
彈簧支承構件(78)，係可上下移動地插入設於套管(62)之下端部的向下開口之凹口部(62b)。彈簧支承構件(78)之下部，係於較套管(62)之凸緣(62c)的下面靠下方位置，被插入設於致動器收納用套管(4)之頂壁的貫通孔(4a)內。壓縮螺旋彈簧(76)係配置於設在彈簧支承構件(78)之上端部的凸緣部(78a)與致動器收納用套管(4)之頂壁的上面之間，使彈簧支承構件(78)朝上方偏置。若螺紋構件(77)下降，則彈簧支承構件(78)被壓下而與螺紋構件(77)一體下降，若螺紋構件(77)上升，則彈簧支承構件(78)藉由壓縮螺旋彈簧(76)之彈性力，與螺紋構件(77)一體上升。
於彈簧支承構件(78)設置有供驅動軸(31)之 上端部(31d)插入的軸插入孔(78b)。驅動軸(31)係設定為與第1實施形態相同的形狀，於驅動軸(31)之凸緣部(53)的上面與移動體(65)之彈簧支承構件(78)的下面之間，設定有與第2圖中以B所示的閥桿上下移動量對應之閥桿上下移動量C。藉由使螺紋構件(77)及彈簧支承構件(78)(即移動體(65))下降，則閥桿上下移動量C變小，藉由使螺紋構件(77)及彈簧支承構件(78)(即移動體(65))上升，則上下移動量C變大。
於致動器收納用套管(4)設置有配管連接部(4b)，驅動軸(31)之軸向通道(31a)連通於配管連接部(4b)。
於螺紋構件(77)之外周設置有朝上下方向延長的導引槽(77b)，於套管(62)上以自徑向外側面向導引槽(77b)之方式設置有具有朝與上下方向正交的方向延長之軸的導引銷(79)。於除了導引銷(79)的前端部之外的外周設置有陽螺紋，藉由螺合於設在套管(62)的螺孔，導引銷(79)被固定於套管(62)。導引銷(79)之前端部被嵌入導引槽(77b)內，藉此，移動體(65)之螺紋構件(77)，被構成對套管(62)不可旋轉且可上下方向移動。如此，藉由導引槽(77b)及導引銷(79)而構成導引手段(66)，該導引手段(66)可防止移動體(65)之螺紋構件(77)對套管(62)旋轉並可使移動體(65)朝上下方向移動。
根據第2實施形態之閥桿上下移動量微調手段(61)，藉由使環柄(64)的外筒體(71)朝下降的方向旋轉，內筒體(72)及軸體(73)一面與外筒體(71)一體旋轉一面下降。螺合於軸體(73)之移動體(65)的螺紋構件(77)，於 藉由導引手段(66)阻止旋轉的狀態下下降。此時，藉由將第1螺合(環柄(64)之軸體(73)的陽螺紋(73a)與移動體(65)之螺紋構件(77)的陰螺紋(77a)的螺合)，設定為螺距較第2螺合(套管(62)之陰螺紋(62a)與內筒體(72)的陽螺紋(72a)的螺合)的螺距小，移動體(65)之螺紋構件(77)下降螺距差的量。因此，與第1實施形態比較，可進行精度更良好之微調。
再者，於上述中，作為流體控制器(1)，例示了氣動驅動式的直接接觸式金屬隔膜閥，但上述閥桿上下移動量上限值設定手段(10)及閥桿上下移動量微調手段(11)的適用對象，不限於此，其可適用於需要進行閥桿上下移動量之調整的各種閥等。
此外，於上述中，以閥桿(8)與下套管部(22)之下方突出部(26)之間的長度設定閥桿上下移動量上限值設定手段(10)，且藉由環柄(41)對閥桿上下移動量微調手段(11)進行調整，但也可相反地進行。
[產業上之可利用性]
根據本發明，於適宜在連續地反復開閉的用途所使用的流體控制器中，可進行精度良好之流量調整，因此可貢獻流體控制器之性能提高。

Claims (4)

  1. 一種流體控制器，係具備：本體，其設置有流體通道；閥蓋，其設置於前述本體之上方；套管，其設置於前述閥蓋之上方；閥體，其開閉前述流體通道；閥桿，其藉由上升或下降使前述閥體朝開或閉方向移動；及致動器，其使前述閥桿上下移動，該流體控制器之特徵在於具備：閥桿上下移動量上限值設定手段，其用於設定閥桿之伴隨於開閉的上下移動量之上限值；及閥桿上下移動量微調手段，其用於在上限值以下的範圍對前述閥桿之伴隨於開閉的上下移動量進行調整，前述閥桿上下移動量微調手段，具有環柄及依前述環柄旋轉而上下移動的移動體，前述閥桿的上下移動量之上限值，係藉由變更前述閥桿與前述套管之距離而可獲得，前述閥桿的上下移動量之微調，係藉由使與前述閥桿設為一體之致動器驅動軸與前述移動體的距離變化而可獲得。
  2. 如請求項1之流體控制器，其中與前述閥桿設為一體之前述致動器驅動軸的上端部，係插入設於前述移動體的軸插入孔，在位於前述軸插入孔之下方的前述致動器驅動軸的部分上設置有凸緣部，前述致動器驅動軸之前述凸緣部的上面與前述移動體的下面之距離設為閥桿上下移動量，前述閥桿上下移動量上限值設定手段具備：形成有陽螺紋之前述套管的下方突出部、設置於前述閥蓋之頂壁的陰螺紋、及防鬆螺帽。
  3. 如請求項1之流體控制器，其中前述閥桿上下移動量微調手段進一步具備：導引手段，其用於防止移動體對前述套管旋轉且使移動體朝上下方向移動，前述環柄係內周設置有陰螺紋且被支撐成可對前述套管旋轉；前述移動體係外周設置有陽螺紋且螺合於前述環柄的內周。
  4. 如請求項1之流體控制器，其中前述環柄包含：外筒體，其為以手握持的部分；內筒體，其嵌入前述外筒體內；及軸體，其嵌入前述內筒體內，且於前述套管之內周形成有陰螺紋，於前述內筒體形成有陽螺紋，其螺合於前述套管之陰螺紋，於前述軸體之外周形成有陽螺紋，其螺距小於前述套管的陰螺紋之螺距，於前述移動體的內周形成有陰螺紋，其螺合於前述軸體之陽螺紋。
TW104143496A 2014-12-25 2015-12-24 Fluid controller TWI662216B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014-262534 2014-12-25
JP2014262534A JP6491878B2 (ja) 2014-12-25 2014-12-25 流体制御器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201636526A TW201636526A (zh) 2016-10-16
TWI662216B true TWI662216B (zh) 2019-06-11

Family

ID=56150232

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW104143496A TWI662216B (zh) 2014-12-25 2015-12-24 Fluid controller

Country Status (6)

Country Link
US (1) US10132415B2 (zh)
JP (1) JP6491878B2 (zh)
KR (1) KR101919679B1 (zh)
CN (1) CN106662270B (zh)
TW (1) TWI662216B (zh)
WO (1) WO2016104203A1 (zh)

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11098819B2 (en) 2016-11-08 2021-08-24 Fujikin Incorporated Valve device, flow control method using the same, and semiconductor manufacturing method
KR102237042B1 (ko) 2016-11-30 2021-04-08 가부시키가이샤 후지킨 밸브장치, 이 밸브장치를 사용한 유량제어방법 및 반도체 제조방법
JP7015111B2 (ja) * 2017-01-31 2022-02-08 株式会社キッツエスシーティー バルブ用アクチュエータとこれを備えたダイヤフラムバルブ
JP6929098B2 (ja) * 2017-03-30 2021-09-01 株式会社キッツエスシーティー メタルダイヤフラムバルブ
JP7148989B2 (ja) * 2017-07-04 2022-10-06 株式会社フジキン アクチュエータ、バルブ、流体供給システム、および半導体製造装置
WO2019059043A1 (ja) 2017-09-25 2019-03-28 株式会社フジキン バルブ装置、流量調整方法、流体制御装置、流量制御方法、半導体製造装置および半導体製造方法
US11512993B2 (en) 2017-09-25 2022-11-29 Fujikin Incorporated Valve device, adjustment information generating method, flow rate adjusting method, fluid control system, flow rate control method, semiconductor manufacturing system and semiconductor manufacturing method
US11242934B2 (en) 2018-03-09 2022-02-08 Fujikin Incorporated Valve device
JP7202597B2 (ja) * 2018-07-31 2023-01-12 株式会社フジキン アクチュエータおよびこれを用いたバルブ装置
US11598430B2 (en) * 2019-01-31 2023-03-07 Fujikin Incorporated Valve device, flow rate control method, fluid control device, semiconductor manufacturing method, and semiconductor manufacturing apparatus using the valve device
JP7352971B2 (ja) * 2019-01-31 2023-09-29 株式会社フジキン バルブ装置、流量制御方法、流体制御装置、半導体製造方法、および半導体製造装置
KR20210126724A (ko) * 2019-02-19 2021-10-20 가부시키가이샤 후지킨 밸브
JP7365033B2 (ja) * 2019-04-26 2023-10-19 株式会社フジキン バルブ装置
JP7300160B2 (ja) * 2019-06-28 2023-06-29 株式会社フジキン バルブ
US20230417341A1 (en) 2020-11-13 2023-12-28 Asco Sas Valve system
WO2023188822A1 (ja) 2022-03-30 2023-10-05 株式会社フジキン バルブ装置

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5188338A (en) * 1991-01-11 1993-02-23 Masako Kiyohara Fluid flow controller
JP2000283328A (ja) * 1999-03-30 2000-10-13 Fujikin Inc 流体制御器
US20020195148A1 (en) * 2000-02-12 2002-12-26 Gemu Gebruder Muller Apparatebau Gmbh & Co. Kg Hand drive for shut-off members
TW200636179A (en) * 2005-03-01 2006-10-16 Fujikura Rubber Ltd A normally-closed valve having a flow-volume fine adjusting mechanism
JP2007064333A (ja) * 2005-08-30 2007-03-15 Fujikin Inc ダイレクトタッチ型メタルダイヤフラム弁

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3006913B2 (ja) * 1991-05-09 2000-02-07 清原 まさ子 流体制御器
JP3287663B2 (ja) * 1993-09-17 2002-06-04 清原 まさ子 制御器
JP3020501U (ja) * 1995-07-14 1996-02-02 株式会社ベンカン 流量調整機構付自動弁
TWI324664B (en) * 2004-02-10 2010-05-11 Fujikin Kk Fluid controller
KR100980237B1 (ko) * 2005-12-02 2010-09-09 씨케이디 가부시키 가이샤 유량조정밸브
JP4517371B2 (ja) * 2006-12-25 2010-08-04 Ｓｍｃ株式会社 流量調整弁
WO2008096646A1 (ja) * 2007-02-06 2008-08-14 Fujikin Incorporated 流体制御器
CN103097789A (zh) * 2010-08-20 2013-05-08 Ckd株式会社 流体控制装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5188338A (en) * 1991-01-11 1993-02-23 Masako Kiyohara Fluid flow controller
JP2000283328A (ja) * 1999-03-30 2000-10-13 Fujikin Inc 流体制御器
US20020195148A1 (en) * 2000-02-12 2002-12-26 Gemu Gebruder Muller Apparatebau Gmbh & Co. Kg Hand drive for shut-off members
TW200636179A (en) * 2005-03-01 2006-10-16 Fujikura Rubber Ltd A normally-closed valve having a flow-volume fine adjusting mechanism
JP2007064333A (ja) * 2005-08-30 2007-03-15 Fujikin Inc ダイレクトタッチ型メタルダイヤフラム弁

Also Published As

Publication number Publication date
KR101919679B1 (ko) 2018-11-16
US20170234438A1 (en) 2017-08-17
CN106662270B (zh) 2019-09-06
CN106662270A (zh) 2017-05-10
US10132415B2 (en) 2018-11-20
WO2016104203A1 (ja) 2016-06-30
TW201636526A (zh) 2016-10-16
JP6491878B2 (ja) 2019-03-27
JP2016121776A (ja) 2016-07-07
KR20170010824A (ko) 2017-02-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI662216B (zh) Fluid controller
EP3123263B1 (en) Double port pressure regulator with floating seat
US9970567B2 (en) Actuator apparatus with internal tubing and anti-rotation mechanism
CN105546208B (zh) 减压阀
TWI662212B (zh) Fluid controller
JP2012525544A (ja) 流体調整器のための自己整合バネ座および自己整合バネ座を備える流体調整器
US7175157B2 (en) Fluid controller
KR20090107544A (ko) 유체 제어기
US20200278044A1 (en) Quick Change Valve Trim Assembly
TWI684721B (zh) 流體控制器
KR102069391B1 (ko) 유량 조정 장치
TW201408919A (zh) 隔膜閥
EP3268644B1 (en) Adjustable trunnion valve and related methods
CN110630758A (zh) 一种粗细调针形开关