TWI652617B - 模組化自動加藥機用於顯示用藥比例之操作系統及其方法 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種模組化自動加藥機用於顯示用藥比例之操作系統，模組化自動加藥機設有複數個泵浦，每一泵浦連通一藥劑容器以輸出藥液至一晶圓切割機，且每一泵浦與每一晶圓切割機間連通有一切割水管路，模組化自動加藥機配置有觸控顯示器，操作系統包含：一控制模組及一用藥比例監控模組，控制模組電連接觸控顯示器，用藥比例監控模組用於監測各泵浦輸出藥液量及切割水管路的輸出量，並分別產生一藥液輸出值及一切割水初始值，接著將各藥液輸出值與各切割水輸出值轉換成一用藥比例訊號，藉由觸控顯示器顯示輸出至晶圓切割機之用藥比例。

Description

模組化自動加藥機用於顯示用藥比例之操作系統及其方法

本發明為一種控制機台顯示用藥比例之操作系統及其方法，尤指一種模組化自動加藥機用於顯示用藥比例之操作系統及其方法。

按，隨著現代科技日益發達，半導體及相關電子產業之相關製程伴隨重要性，其中半導體在晶圓切割時需透過自動加藥機進行輸送藥液，而傳統的自動加藥機在操作上具有諸多缺點，如中華民國專利第M500358號揭示一種模組化自動加藥機，其上層機台設有操控面板，其中，操控面板包含燈源指示燈及開關，於操作輸出藥液時，只能啟動開關對應控制泵浦，燈源指示燈用來辨識電力供給狀態。

然而，上述的操控面板無法供操作者觀察泵浦的作業狀態，而且無法隨意調控變更泵浦的各項作業型態，因此前述的模組化自動加藥機只能提供單純輸出藥液的功能；除此之外，傳統的操控面板並無法提供顯示泵浦輸出至晶圓切割機的用藥比例資訊，操作者只能將泵浦輸出的藥液量與切割水管輸出的切割水量進行手動計算，也只能大略得知藥液與晶圓切割機的切割水之用藥比例資訊，而且配合不同的晶圓切割機，其用藥比例資訊也有所不同，進而造成操作者無法立馬得知機台的用藥比例資訊，在提供資訊上實為不方便性；故上述的操控系統具有諸多不完善的功能，有待相關業者解決之。

為解決上述操控面板之不完善之問題，本發明提供一種模組化自動加藥機用於顯示用藥比例之操作系統及其方法，其能精確顯示輸出至晶圓切割機之藥液與切割水間的用藥比例之功效。

本發明之一項實施例提供一種模組化自動加藥機用於顯示用藥比例之操作系統，模組化自動加藥機包含一機體以及一觸控顯示器，機體設有複數個泵浦，每一泵浦連通一藥劑容器以輸出藥液至一晶圓切割機，且每一泵浦與每一晶圓切割機間連通有一切割水管路，觸控顯示器配置於機體，觸控顯示器分別監控顯示泵浦，模組化自動加藥機用於顯示用藥比例之操作系統包含：一控制模組，其電連結觸控顯示器；一輸出設定模組，其電連結控制模組，輸出設定模組用於設定各泵浦的一藥液初始設定值；以及一用藥比例監控模組，其電連結控制模組，用藥比例監控模組包含一藥液輸出監測單元、一切割水輸出監測單元及一計算單元，藥液輸出監測單元用於監測各泵浦輸出藥液量，據以各別產生一藥液輸出值，切割水輸出監測單元用於接收切割水管路之一切割水初始值，並分別監測切割水管路輸出切割水量，並據以各別產生一切割水輸出值，計算模組接收各藥液輸出值及對應的各切割水輸出值，並且轉換成一用藥比例訊號，藉由觸控顯示器顯示。

本發明之又一項實施例提供一種模組化自動加藥機用於顯示用藥比例之操作方法，模組化自動加藥機包含一機體以及一觸控顯示器，機體設有複數個泵浦及一控制器，每一泵浦連通一藥劑容器以輸出藥液至一晶圓切割機，且每一泵浦與每一晶圓切割機間連通有一切割水管路，控制器包含一用藥比例監控模組及一機台調校模組，觸控顯示器配置於機體，觸控顯示器監控顯示泵浦，模組化自動加藥機用於顯示用藥比例之操作方法包含下列步驟：操作設定值步驟：操作者於觸控顯示器觸控連接每一泵浦作業，並設定一藥液初始設定值，每一泵浦根據藥液初始設定值由藥劑容器輸出藥液至晶圓切割機，切割水管路根據切割機的切割水初始設定值開始輸出切割水至晶圓切割機；以及顯示用藥比例步驟：藉由用藥比例監控模組開始監測每一泵浦輸出的藥液量及切割水管路輸出的切割水量，據以分別產生一藥液輸出值及一切割水輸出值，並且同時接收切割水管路的一切割水初始設定值，接著用藥比例監控模組把取得各藥液輸出值及切割水輸出值，各別轉換成一用藥比例訊號，再藉由觸控顯示器顯示。

藉此，本發明能夠將輸出至晶圓切割機之藥液與切割水進行轉換成用藥比例資訊，並透過觸控顯示器顯示，進而當切割水量固定的情況下，提供操作者馬上了解每一泵浦輸出的藥液量，達到有效取得用藥比例資訊的便利性。

為便於說明本發明於上述發明內容一欄中所表示的中心思想，茲以具體實施例表達。實施例中各種不同物件係按適於列舉說明之比例，而非按實際元件的比例予以繪製，合先敘明。

請參閱圖1至圖6所示，本發明提供一種模組化自動加藥機用於顯示用藥比例之操作系統，其中，模組化自動加藥機包含一機體200以及一觸控顯示器300，機體200設有複數個泵浦210，每一泵浦210分別連接一藥劑容器以輸出藥液至一晶圓切割機220，且每一泵浦210與每一晶圓切割機220間運用三通接頭連通有一切割水管路230，切割水管路230用於輸出晶圓切割機220運作時所需的切割水，使切割水與藥液相互混合輸出至晶圓切割機220，其中，每一泵浦210的輸出管路中設有藥液流量感測器，每一切割水管路230中設有切割水流量感測器，觸控顯示器300配置於機體200的頂部前側面，觸控顯示器300監控顯示泵浦210，供操作者以觸控方式分別調控各泵浦210。

模組化自動加藥機用於顯示用藥比例之操作系統包含一控制器100，控制器100電連結觸控顯示器300，控制器100包含一控制模組10、一輸出設定模組20、一用藥比例監控模組30、一機台調校模組40、更改模組50、一授權模組60及一傳輸模組70，而控制模組10電連結輸出設定模組20、用藥比例監控模組30、機台調校模組40、更改模組50、授權模組60及傳輸模組70。

控制模組10可為軟體、硬體或其組合，在此不加以限制。控制模組10用於接收操作者施加於觸控顯示器300之一觸控訊號，並控制各泵浦210的作業狀態。

輸出設定模組20用於設定各泵浦210的一藥液初始設定值，於本發明實施例中，藥液初始設定值主要用來控制設定各泵浦210輸出的藥液量。

用藥比例監控模組30係用來監測各泵浦210及切割水管路230所輸出的藥液量及切割水量，並將藥液量與切割水量整合轉換成一用藥比例資訊，再透過觸控顯示器300加以顯示。

具體而言，用藥比例監控模組30包含一藥液輸出監測單元31、一切割水輸出監測單元32及一計算單元33，藥液輸出監測單元31用於接收各泵浦210的輸出管路中藥液流量感測器發送的訊號，並監測各泵浦210每分鐘輸出的藥液量，據以各別產生一藥液輸出值，切割水輸出監測單元32用於接收切割水管路230中切割水流量感測器發送的訊號，並監測切割水管路230每分鐘輸出的切割水量，據以各別同時產生一切割水輸出值，於本發明實施例中，藥液輸出值單位為每分鐘之毫升量(ml/min)，切割水輸出值單位為每分鐘之公升量(L/min)，但不限於此。

接著藥液輸出監測單元31及切割水輸出監測單元32將藥液輸出值及切割水輸出值回饋至計算單元33，此時計算單元33將各藥液輸出值與對應的各切割水輸出值轉換成一用藥比例訊號，藉由觸控顯示器300顯示，其中，計算單元33將各藥液輸出值與對應的各切割水輸出值以比例或比值運算方式轉換成用藥比例訊號。

如圖3及圖5所示，用藥比例訊號顯示為2000，意味著計算單元33將切割水輸出值之單位從每分鐘之公升量(l/min)轉換成每分鐘之毫升量(ml/min)，接著把同單位的藥液輸出值與切割水輸出值進行比例轉換，例如藥液輸出值為4.2(ml/min)，切割水輸出值為8400(ml/min)，此時藥液輸出值與切割水輸出值轉換的用藥比例資訊為4.2：8400，進一步轉換成1：2000，而計算單元33會直接顯示2000的數字，讓操作者一目了然得知輸出至晶圓切割機220的藥液輸出值與切割水輸出值間比例關係。

機台調校模組40具有一藥液補償單元41、一切割水補償單元42及一調校單元43，藥液補償單元41用於設定一藥液補償值，切割水補償單元42用於設定一切割水補償值，調校單元43根據手動輸入的藥液補償值及切割水補償值，此時各藥液輸出值及切割水輸出值各別與藥液補償值及切割水補償值進行加減計算，使各藥液輸出值及各切割水輸出值調校至與對應的各藥液初始設定值及各切割水初始設定值相互一致，以符合正確的用藥比例資訊。

一更改模組50，其包含一定量單元51、一定率單元52及一切換單元53，定量單元51係為固定對應泵浦210的藥液初始設定值，使對應設定的泵浦210每分鐘固定輸出藥液量，定率單元52用於固定設定用藥比例訊號，此時各泵浦210需配合用藥比例訊號並且搭配切割水管路230輸出的切割水量，進而自動調整各泵浦210輸出的藥液量，切換單元53供操作者選擇切換各泵浦210之定量單元51及定率單元52，切換單元53據以產生一更改訊號。

授權模組60用於判斷調整更改模組50的操作者是否具有授權資格，授權模組60包含一登入單元61及一授權判斷單元62，當授權模組60接收更改訊號時，操作者需先上傳一授權驗證資料給登入單元61，授權判斷單元62判斷授權驗證資料是否具有一授權權限，並產生一授權訊號以調控泵浦210，以避免操作者隨意變更各泵浦210的作業狀態，其中，授權驗證資料係為密碼資料。

當更改模組50確認取得授權訊號時，傳輸模組70會進一步將更改模組50產生的更改訊號傳輸至對應的其中一泵浦210進行變更執行，其中，傳輸模組70的傳輸方式為無線傳輸方式或有線傳輸方式其中一種。

此外，請參閱圖2至圖6所示，本發明提供一種模組化自動加藥機用於顯示用藥比例之操作方法，其包含下列步驟：

操作設定值步驟S1：首先操作者於觸控顯示器300觸控連接每一泵浦210作業，並在每一泵浦210設定藥液初始設定值，此時每一泵浦210根據藥液初始設定值每分鐘輸出藥液至晶圓切割機220。

顯示用藥比例步驟S2：藉由用藥比例監控模組30開始監測每一泵浦210及切割水管路230輸出的藥液量及切割水量，據以分別產生藥液輸出值及切割水輸出值，並且同時接收切割水管路230的切割水初始設定值，接著用藥比例監控模組30把取得各藥液輸出值及切割水輸出值，各別轉換成用藥比例訊號，再藉由觸控顯示器300顯示。

輸出調校步驟S3：機台調校模組40設定有一藥液補償值及一切割水補償值，機台調校模組40根據手動輸入藥液補償值及切割水補償值，各藥液輸出值及切割水輸出值各別與設定的藥液補償值及切割水補償值進行加減計算，經過調校後各藥液輸出值及各切割水輸出值與對應的各藥液初始設定值及各切割水初始設定值相互一致，以符合正確的用藥比例資訊。

藉此，本發明具有下列特點：

一、輸出至晶圓切割機220的藥液與切割水，並透過用藥比例監控模組30進行轉換成用藥比例資訊，再藉由觸控顯示器300顯示，進而提供操作者馬上了解泵浦210輸出的藥液量，達到有效取得用藥比例資訊的便利性。

二、操作者可於更改模組50選擇切換成定量單元51及定率單元52，其中，定率單元52用於固定設定用藥比例資訊，此時泵浦210會依據切割水輸出值與用藥比例資訊進行計算每分鐘應該輸出多少藥液量，俾使操作者不需要自行手動計算，泵浦210即可自動計算輸出藥液量。

三、若操作者觸控連接其中一泵浦210並對應調控泵浦210作業的，此時操作者需先上傳授權驗證資料，通過判斷授權驗證資料是否具有授權權限，並產生授權訊號才可對應調控泵浦210，由於泵浦210的藥液輸出量會影響晶圓切機之用藥比例資訊，因此授權權限可避免操作者隨意變更或誤觸各泵浦210的作業狀態及藥液初始設定值，據以輸出至晶圓切割機220的用藥比例資訊能夠更精確。

對於所屬技術領域之人許多改良及變化在不脫離本發明之範疇和精神內是明顯地。本發明之其他實施例對於所屬技術領域之人從說明書思考及於此所揭露本發明之作法係明顯地。說明書及實施例僅為例示性，本發明之真實範疇及精神將於以下申請專利範圍指出。

200‧‧‧機體

42‧‧‧切割水補償單元

210‧‧‧泵浦

43‧‧‧調校單元

220‧‧‧晶圓切割機

50‧‧‧更改模組

230‧‧‧切割水管路

51‧‧‧定量單元

300‧‧‧觸控顯示器

52‧‧‧定率單元

100‧‧‧控制器

53‧‧‧切換單元

10‧‧‧控制模組

60‧‧‧授權模組

20‧‧‧輸出設定模組

61‧‧‧登入單元

30‧‧‧用藥比例監控模組

62‧‧‧授權判斷單元

31‧‧‧藥液輸出監測單元

70‧‧‧傳輸模組

32‧‧‧切割水輸出監測單元

S1‧‧‧操作設定值步驟

33‧‧‧計算單元

S2‧‧‧顯示用藥比例步驟

40‧‧‧機台調校模組

S3‧‧‧輸出調校步驟

41‧‧‧藥液補償單元

圖1係機體與觸控顯示器的相對位置示意圖。 圖2係為本發明之系統方塊圖。 圖3係為本發明之架構方塊圖。 圖4係為本發明之操作流程圖。 圖5係為本發明之使用介面示意圖(一)，表示觸控顯示器顯示監控各泵浦的作業狀態介面。 圖6係為本發明之使用介面示意圖(二)，表示觸控顯示器顯示點選連接泵浦的調控介面。

Claims (10)

1. 一種模組化自動加藥機用於顯示用藥比例之操作系統，該模組化自動加藥機包含一機體以及一觸控顯示器，該機體設有複數個泵浦，每一泵浦連通一藥劑容器以輸出藥液至一晶圓切割機，且每一泵浦與每一晶圓切割機間連通有一切割水管路，該觸控顯示器配置於該機體，該觸控顯示器分別監控顯示該等泵浦，該模組化自動加藥機用於顯示用藥比例之操作系統包含： 　　一控制模組，其電連結該觸控顯示器； 　　一輸出設定模組，其電連結該控制模組，該輸出設定模組用於設定各該泵浦的一藥液初始設定值；以及 　　一用藥比例監控模組，其電連結該控制模組，該用藥比例監控模組包含一藥液輸出監測單元、一切割水輸出監測單元及一計算單元，該藥液輸出監測單元用於監測各該泵浦輸出藥液量，據以各別產生一藥液輸出值，該切割水輸出監測單元用於接收該等切割水管路之一切割水初始值，並分別監測該等切割水管路輸出切割水量，並據以各別產生一切割水輸出值，該計算模組接收各該藥液輸出值及對應的各該切割水輸出值，並且轉換成一用藥比例訊號，藉由該觸控顯示器顯示。
2. 如請求項1所述之模組化自動加藥機用於顯示用藥比例之操作系統，其中，該計算單元將各該藥液輸出值與對應的各該切割水輸出值以比例或比值運算方式轉換成該用藥比例訊號。
3. 如請求項1所述之模組化自動加藥機用於顯示用藥比例之操作系統，更包含一機台調校模組，其電連結該控制模組，該機台調校模組具有一藥液補償單元、一切割水補償單元及一調校單元，該藥液補償單元用於設定一藥液補償值，該切割水補償單元用於設定一切割水補償值，該調校單元根據輸入該藥液補償值及該切割水補償值，使各該藥液輸出值及各該切割水輸出值調校至與對應的各該藥液初始設定值及各該切割水初始設定值相互一致。
4. 如請求項1所述之模組化自動加藥機用於顯示用藥比例之操作系統，更包含一更改模組，該更改模組包含一定量單元及一定率單元，該定量單元用於固定對應各該泵浦之藥液初始設定值，該定率單元用於固定設定各該用藥比例訊號。
5. 如請求項4所述之模組化自動加藥機用於顯示用藥比例之操作系統，該更改模組更包含一切換單元，該切換單元以供選擇切換該定量單元及該定率單元，並據以產生一更改訊號。
6. 如請求項5所述之模組化自動加藥機用於顯示用藥比例之操作系統，更包含一授權模組，其電連結該控制模組，該授權模組包含一登入單元及一授權判斷單元，該授權模組接收該更改訊號並上傳一授權驗證資料給該登入單元，該授權判斷單元判斷該授權驗證資料是否具有一授權權限並產生一授權訊號。
7. 如請求項6所述之模組化自動加藥機用於顯示用藥比例之操作系統，更包含一傳輸模組，其電連接該調控模組，當該調控模組取得該授權訊號時該傳輸模組將該觸控訊號傳輸至對應的其中一泵浦變更執行。
8. 一種模組化自動加藥機用於顯示用藥比例之操作方法，該模組化自動加藥機包含一機體以及一觸控顯示器，該機體設有複數個泵浦及一控制器，每一泵浦連通一藥劑容器以輸出藥液至一晶圓切割機，且每一泵浦與每一晶圓切割機間連通有一切割水管路，該控制器包含一用藥比例監控模組及一機台調校模組，該觸控顯示器配置於該機體，該觸控顯示器監控顯示該等泵浦，該模組化自動加藥機用於顯示用藥比例之操作方法包含下列步驟： 　　操作設定值步驟：操作者於該觸控顯示器觸控連接每一泵浦作業，並分別設定一藥液初始設定值，每一泵浦根據該藥液初始設定值由該藥劑容器輸出藥液至該晶圓切割機；以及 　　顯示用藥比例步驟：藉由該用藥比例監控模組開始監測每一泵浦輸出的藥液量及該切割水管路輸出的切割水量，據以分別產生一藥液輸出值及一切割水輸出值，並且同時接收每一切割水管路的一切割水初始設定值，接著該用藥比例監控模組把取得各該藥液輸出值及對應的該切割水輸出值，各別轉換成一用藥比例訊號，再藉由該觸控顯示器顯示。
9. 如請求項8所述之模組化自動加藥機用於顯示用藥比例之操作方法，其中，該計算單元將各該藥液輸出值與對應的各該切割水輸出值以比例或比值運算方式轉換成該用藥比例訊號。
10. 如請求項8所述之模組化自動加藥機用於顯示用藥比例之操作方法，於該顯示用藥比例步驟後更包含一步驟： 　　輸出調校步驟：該機台調校模組設定有一藥液補償值及一切割水補償值，該機台調校模組根據輸入該藥液補償值及該切割水補償值，各該藥液輸出值與該藥液補償值進行計算，各該切割水輸出值與該切割水補償值，經過調校後各該藥液輸出值與各該切割水輸出值與對應的各該藥液初始設定值及各該切割水初始設定值相互一致。