TWM510537U - 用於晶圓切割機之自動化加藥機 - Google Patents

Description

用於晶圓切割機之自動化加藥機

本創作係關於一種加藥機，尤指一種用於晶圓切割機之自動化加藥機。

按，隨著現代科技日益發達，半導體及相關電子產業之相關製程亦日趨重要，而半導體產業主要係具有晶圓(Wafer)產出、晶圓之積體電路製造(Wafer fabrication)、以及晶圓切割(Wafer dicing)與構裝(Wafer package)等三大製程，其中，晶圓切割係藉由晶圓切割機之切割區，將製造完成之晶圓切割成片狀的晶粒(dice)，之後再藉由晶圓切割機之清洗區將該些晶粒清洗乾淨。

然而，晶圓切割機於切割時，必須使用一切割用水，而切割用水係由一加藥機所提供之藥液與一管路之去離子水混合而成，但，目前之加藥機主要係以人工方式操作其開始供給、暫停、以及停止供給之動作，因此，存在著人工操作失誤的風險，容易造成加藥失誤、或是不需供給而未停止之情形發生。

藉此，如何提供一種改良式之加藥機，以克服上述缺點，係相關產業必須解決之課題。

為解決上述課題，本創作提供一種用於晶圓切割機之自動化加藥機，其可依晶圓切割機之需求，自動地供給藥液、或是停止供給藥液之動作。

為達到上述目的，本創作之用於晶圓切割機之自動化加藥機，其包含：一機台，其包含一控制單元、一藥液容器及與控制單元電連接之一泵浦，其中，控制單元係可供一晶圓切割機電連接，藥液容器裝有一藥液，泵浦具有一輸入管路連通藥液容器、以及一輸出管路連通晶圓切割機，而控制單元可接收晶圓切割機之一供給指令及一停止指令，以分別控制泵浦將藥液供給至晶圓切割機、以及控制泵浦停止動作；以及一輸出管路感測器，其電連接控制單元，並設於輸出管路中，若輸出管路感測器感測異常，控制單元可傳送一警示訊號至晶圓切割機，令晶圓切割機之切割作業中止。

其中，更包含有一輸入管路感測器，其電連接控制單元，並設於輸入管路中，若輸入管路感測器感測異常，控制單元亦會傳送警示訊號至晶圓切割機。

其中，更包含有一電連接控制單元之液位感測裝置，其設於藥液容器內，若感測藥液之液位過低，控制單元亦會傳送警示訊號。

其中，更包含有一藥液警示器，其設於機台，並電連接液位感測裝置，若感測藥液之液位過低，用於發出一提醒警示效果。

其中，更包含一泵浦警示器，其設於機台，並電連接泵浦，若泵浦發生異常狀況，用於發出一提醒警示效果。

藉由上述，本創作可達成功效之一，係控制單元可接收晶圓切割機之供給指令及停止指令，藉以可依晶圓切割機之需求，自動地供給藥液、或是停止供給藥液之動作，以達到自動化供給之功能，進而免除了人工操作失誤的風險，避免加藥失誤、或是不需供給而未停止造成藥液浪費之情形發生。

藉由上述，本創作可達成功效之二，係本創作之輸出管路感測器、輸入管路感測器或液位感測裝置感測異常時，控制單元皆會傳送警示訊號至晶圓切割機，令晶圓切割機之切割作業中止，藉此，本創作可有效且即時地監控加藥作業之狀況，以免造成晶圓切割機無藥液之供給而使晶圓受損。

藉由上述，本創作可達成功效之三，係藉由藥液警示器及泵浦警示器，當發生異常狀況時，操作人員可立即判斷何處發生異常，以利於操作人員進行修繕之作業。

為便於說明本創作於上述新型內容一欄中所表示的中心思想，茲以具體實施例表達。實施例中各種不同物件係按適於列舉說明之比例，而非按實際元件的比例與以繪製，合先敘明。

請參閱圖1至圖4所示，本創作提供一種用於晶圓切割機200之自動化加藥機100，其包含：

一機台10，其內部包含一控制單元20、一藥液容器30及與控制單元20電連接之一泵浦40，其中，控制單元20係可供一晶圓切割機200電連接，而藥液容器30裝有一藥液31，且泵浦40具有一輸入管路41連通藥液容器30、以及一輸出管路42連通晶圓切割機200，而控制單元20係可接收晶圓切割機200之一供給指令及一停止指令，若接收到供給指令時，控制單元20可控制泵浦40將藥液容器30內之藥液31供給至晶圓切割機200，而若接收到停止指令時，控制單元20可控制泵浦40停止動作。

較佳者，泵浦40之輸出管路42係藉由一三通接頭43分別與一切割水管路45及一末端管路46相連接，且輸出管路42與三通接頭43之間具有一逆止閥44，如圖1所示，而切割水管路45係用以輸送去離子水，末端管路46係連通於晶圓切割機200，藉此，藥液31即可與去離子水依比例混合成一切割用水後輸送至晶圓切割機200，以供晶圓切割機200進行切割作業時使用。

此外，機台10之上部側緣具有一電源指示燈13、及設於電源指示燈13旁之一泵浦開關14，其中，電源指示燈13係電連接控制單元20，用於顯示機台10之啟閉情形，而泵浦開關14係電連接泵浦40，用以控制泵浦40之啟閉、以及顯示泵浦40之啟閉情形。

一輸出管路感測器50，其電連接控制單元20，並設於泵浦40之輸出管路42中，而輸出管路感測器50係設於相對之逆止閥44旁，並朝向泵浦40，如圖1所示，用以感測藥液31之流量及壓力。

一輸入管路感測器90，其電連接控制單元20，並設於泵浦40之輸入管路41中，如圖1所示，亦係用以感測藥液31之流量及壓力，若輸出管路感測器50或輸入管路感測器90感測異常時，即可間接得知泵浦40是否發生異常狀況，或是管路是否發生破損之情形，此時，控制單元20可傳送一警示訊號至晶圓切割機200，令相對之晶圓切割機200之切割作業中止。

一液位感測裝置60，其電連接控制單元20，並設於藥液容器30內，而液位感測裝置60具有一第一感測器61及一第二感測器62，用以感測藥液31之液位高度，其中，第二感測器62係鄰近於藥液容器30底部，第一感測器61之水平高度係大於第二感測器62，如圖3所示。

一藥液警示器70，其電連接液位感測裝置60，並設於機台10之電源指示燈13旁，當第一感測器61感測藥液31液位下降時，藥液警示器70即可發出一提醒警示效果，且提醒警示效果可係一警示聲、一閃爍燈光、或警示聲與閃爍燈光之組合，而當第二感測器62感測藥液31之液位過低，此時，控制單元20則會傳送警示訊號至所有晶圓切割機200，令所有晶圓切割機200切割作業中指，而藥液警示器70亦會發出提醒警示效果，因此，藉由液位感測裝置60搭配藥液警示器70之設計，使得本創作具有兩階段藥液31液位之警示功能。

一泵浦警示器80，其設於機台10之頂部側緣，並與泵浦開關14位於同一側，而泵浦警示器80係電連接泵浦40，若泵浦40發生異常狀況，用於發出一提醒警示效果，而提醒警示效果亦可係一警示聲、一閃爍燈光、或警示聲與閃爍燈光之組合。

以上即為本創作之結構及形狀概述，並將本創作之使用方法及所能達成之功效原理陳述如下：

本創作可依晶圓切割機200之多寡，自由增減泵浦40之數量，並依泵浦40數量，設置相對之泵浦開關14、泵浦警示器80、輸入管路41、輸出管路42、輸入管路感測器90及輸出管路感測器50即可，而於較佳實施例中，本創作最多可放置四個泵浦40，以對應四台晶圓切割機200。

另，本創作之控制單元20其電連接有一電源連接埠11及至少一訊號連接埠12，其中，電源連接埠11係設於機台10之底部側緣，如圖2及圖4所示，以供一電源插頭(圖中未示)之一端插設，藉以當電源插頭之另一端插設於任一供電插座(圖中未示)時，即可提供本創作所需之電力，而訊號連接埠12之數量係與晶圓切割機200相同，並亦係設於機台10之底部側緣，用以供各晶圓切割機200一對一電連接，俾使各晶圓切割機200電連接於控制單元20。

當本創作欲開始運作時，首先，依據各晶圓切割機200需求之藥液31濃度，設定各晶圓切割機200相對之泵浦40每分鐘的作動次數及流量，而當各晶圓切割機200開始進行切割作業時，即傳送供給指令至控制單元20，控制單元20接收各晶圓切割機200之供給指令後，即可控制相對之泵浦40將藥液31供給至各晶圓切割機200。

之後，若各晶圓切割機200切割作業完成，或不需要藥液31之供給時，即會傳送停止指令至控制單元20，而控制單元20接收到停止指令後，即可控制相對之泵浦40停止動作，以停止藥液31供給，而此時，各切割水管路45係仍可持續輸送去離子水至各晶圓切割機200中，以保持各晶圓切割機200切割區域之濕潤度，用以降低粉塵，亦可清潔各晶圓切割機200管路。

因此，本創作可依各晶圓切割機200之切割作業需求，自動地供給藥液31、或是停止供給藥液31之動作，以達到自動化供給之功能，進而免除了人工操作失誤的風險，避免加藥失誤、或是不需供給而未停止造成藥液31浪費之情形發生。

此外，若有任一輸出管路感測器50或任一輸入管路感測器90感測異常，即可間接得知是否有任一泵浦40發生異常狀況，或是否有任一管路發生破損之情形，而當有任一輸出管路感測器50、輸入管路感測器90或液位感測裝置60感測異常時，控制單元20皆會傳送警示訊號至相對之晶圓切割機200，令相對之晶圓切割機200之切割作業中止，藉此，本創作可有效且即時地監控加藥作業之狀況，以免造成各晶圓切割機200於切割作業時因無藥液31之供給而使晶圓受損。

再者，當發生異常狀況時，本創作藉由藥液警示器70及各泵浦警示器80之提醒警示效果，操作人員可立即判斷何處、或何者泵浦40發生異常狀況，以利於操作人員進行修繕之作業，可節省許多找尋異常點之人力及時間。

以上所舉實施例僅用以說明本創作而已，非用以限制本創作之範圍。舉凡不違反本創作精神所從事的種種修改或改變，俱屬本創作申請專利範圍。

100‧‧‧自動化加藥機
200‧‧‧晶圓切割機
10‧‧‧機台
11‧‧‧電源連接埠
12‧‧‧訊號連接埠
13‧‧‧電源指示燈
14‧‧‧泵浦開關
20‧‧‧控制單元
30‧‧‧藥液容器
31‧‧‧藥液
40‧‧‧泵浦
41‧‧‧輸入管路
42‧‧‧輸出管路
43‧‧‧三通接頭
44‧‧‧逆止閥
45‧‧‧切割水管路
46‧‧‧末端管路
50‧‧‧輸出管路感測器
60‧‧‧液位感測裝置
61‧‧‧第一感測器
62‧‧‧第二感測器
70‧‧‧藥液警示器
80‧‧‧泵浦警示器
90‧‧‧輸入管路感測器

圖1係本創作用於晶圓切割機之示意圖。 圖2係本創作之外觀示意圖。 圖3係本創作之側視及局部剖視圖。 圖4係圖2之局部放大圖。

100‧‧‧自動化加藥機

200‧‧‧晶圓切割機

10‧‧‧機台

20‧‧‧控制單元

30‧‧‧藥液容器

40‧‧‧泵浦

41‧‧‧輸入管路

42‧‧‧輸出管路

43‧‧‧三通接頭

44‧‧‧逆止閥

45‧‧‧切割水管路

46‧‧‧末端管路

50‧‧‧輸出管路感測器

60‧‧‧液位感測裝置

90‧‧‧輸入管路感測器

Claims (10)

1. 一種用於晶圓切割機之自動化加藥機，其包含：         一機台，其包含一控制單元、一藥液容器及與該控制單元電連接之一泵浦，其中，該控制單元係可供一晶圓切割機電連接，該藥液容器裝有一藥液，該泵浦具有一輸入管路連通該藥液容器、以及一輸出管路連通該晶圓切割機，而該控制單元可接收該晶圓切割機之一供給指令及一停止指令，以分別控制該泵浦將該藥液供給至該晶圓切割機、以及控制該泵浦停止動作；以及         一輸出管路感測器，其電連接該控制單元，並設於該輸出管路中，若該輸出管路感測器感測異常，該控制單元可傳送一警示訊號至該晶圓切割機，令該晶圓切割機之切割作業中止。
2. 如請求項1所述之用於晶圓切割機之自動化加藥機，其中，更包含有一輸入管路感測器，其電連接該控制單元，並設於該輸入管路中，若該輸入管路感測器感測異常，該控制單元亦會傳送該警示訊號至該晶圓切割機。
3. 如請求項1所述之用於晶圓切割機之自動化加藥機，其中，該輸出管路係藉由一三通接頭分別與一切割水管路及一末端管路相連接，該切割水管路係用以輸送去離子水，該末端管路係連通於該晶圓切割機。
4. 如請求項3所述之用於晶圓切割機之自動化加藥機，其中，該輸出管路與該三通接頭之間具有一逆止閥。
5. 如請求項1所述之用於晶圓切割機之自動化加藥機，其中，更包含有電連接該控制單元之一液位感測裝置，其設於該藥液容器內，若感測該藥液之液位過低，該控制單元亦會傳送該警示訊號。
6. 如請求項5所述之用於晶圓切割機之自動化加藥機，其中，該液位感測裝置具有一第一感測器及一第二感測器，該第二感測器係鄰近於該藥液容器底部，該第一感測器之水平高度係大於該第二感測器。
7. 如請求項5所述之用於晶圓切割機之自動化加藥機，其中，更包含有一藥液警示器，其設於該機台，並電連接該液位感測裝置，若感測該藥液之液位過低，用於發出一提醒警示效果。
8. 如請求項1或7所述之用於晶圓切割機之自動化加藥機，其中，更包含有一泵浦警示器，其設於該機台，並電連接該泵浦，若該泵浦發生異常狀況，用於發出一提醒警示效果。
9. 如請求項1所述之用於晶圓切割機之自動化加藥機，其中，更包含有一泵浦開關，其設於該機台，並電連接該泵浦，用以控制該泵浦之啟閉、以及顯示該泵浦之啟閉情形。
10. 如請求項1所述之用於晶圓切割機之自動化加藥機，其中，更包含有一電源指示燈，其設於該機台，並電連接該控制單元，用於顯示該機台之啟閉情形。