TWM514105U - 晶圓切割機之自動添加藥劑系統 - Google Patents

Description

晶圓切割機之自動添加藥劑系統

本創作涉及一種晶圓切割機之自動添加藥劑系統，用於對晶圓切割過程中清洗藥劑添加的自動化控制，屬於IC(積體電路)測試領域。

一般半導體元件，如晶粒(Die)是以半導體材料製作而成未經封裝的一小塊積體電路本體，通常情況下，積體電路是以大批方式經光刻等多項步驟，製作在大片的半導體晶圓上，然後再分割成方型小片，這一方型小片就稱為晶粒，每個晶粒就是一個積體電路的複製品。

而晶圓在切割時，需要加入清洗藥劑，作業員通過手動打開閥門向切割機台中注入清洗藥劑。然而，由於人工作業的不可控因素，作業員在作業時可能會出現忘記向切割機中注入清洗藥劑或是在加入清洗藥劑之後忘記關閉閥門，如此，會因清洗藥劑的未添加或過量加入而導致產品異常，此外，過量的添加清洗藥劑，還會造成了資源浪費。

因此，為了避免以上弊端，一種晶圓切割機之自動添加藥劑系統亟待出現。

為了解決上述技術問題，本創作的目的在於提供一種晶圓切割機之自動添加藥劑系統，避免人員手動加藥而造成的產品異常或藥劑浪費。

為了實現上述目的，本創作的技術方案如下：一種晶圓切割機之自動添加藥劑系統，包括加藥閥門，該自動添加藥劑系統還包括切割控制器、電磁閥、繼電器以及氣簾模組，所述切割控制器、電磁閥和繼電器依次串接，所述加藥閥門和氣簾模組再分別與所述繼電器連接；所述切割控制器與所述電磁閥形成可以閉合或斷開的控制電路一，所述繼電器、加藥閥門和氣簾模組形成可以閉合或斷開的控制電路二，所述控制電路一閉合時，所述控制電路二亦閉合，所述加藥閥門和氣簾模組同時打開；所述控制電路一斷開時，所述控制電路二亦斷開，所述加藥閥門和氣簾模組同時關閉。

較佳的，所述切割控制器連接有一觸控螢幕，所述觸控螢幕上設置有用於控制氣簾參數和加藥閥門開啟及關閉參數的按鈕。

與習知技術相比，本創作提供的晶圓切割機之自動添加藥劑系統至少具有以下優點：本創作針對手動開啟加藥閥門方式進行改善，將加藥閥門和氣簾模組經由繼電器與電磁閥相連接，通過電磁閥同時控制加藥閥門與氣簾模組的開啟，實現自動添加藥劑的目的，從而避免人員手動加藥而造成的產品異常或藥劑浪費。

11‧‧‧切割控制器

12‧‧‧電磁閥

13‧‧‧繼電器

14‧‧‧加藥閥門

15‧‧‧氣簾模組

A‧‧‧控制電路一

B‧‧‧控制電路二

為了更清楚地說明本創作結構特徵和技術要點，下面結合附圖和具體實施方式對本創作進行詳細說明。

圖1為本創作實施例所揭露的一種晶圓切割機之自動添加藥劑系統的結構示意圖；以及圖2為本創作實施例所揭露的一種晶圓切割機之自動添加藥劑系統的連接示意圖。

下面將結合本實施例中的附圖，對實施例中的技術方案進行具體、清楚、完整地描述。

參見圖1所示，本創作一較佳實施例揭露了一種晶圓切割機之自動添加藥劑系統，包括加藥閥門14，自動添加藥劑系統還包括切割控制器11、電磁閥12、繼電器13以及氣簾模組15，切割控制器11、電磁閥12和繼電器13依次串接，加藥閥門14和氣簾模組15再分別與繼電器13連接。

切割控制器11與電磁閥12形成可以閉合或斷開的控制電路一A，繼電器13、加藥閥門14和氣簾模組15形成可以閉合或斷開的控制電路二B，控制電路一A閉合時，控制電路二B亦閉合，加藥閥門14和氣簾模組15同時打開，藉此可以同時進行加藥和氣簾吹氣的作業；控制電路一A斷開時，控制電路二B亦斷開，加藥閥門14和氣簾模組15同時關閉，藉此可以停止加藥和氣簾吹氣的作業。

參見圖2所示，具體的，繼電器13具有四個接口，分別標記為1、2、3和4，接口1和2與電磁閥12相連接，切割控制器11與電磁閥12相連接，從而形成上述控制電路一A，接口3與加藥閥門14和氣簾模組15相連接，接口4與220V電源正極/負極連接，加藥閥門14與220V電源負極/正極連接，從而形成上述控制電路二B。

較佳的，切割控制器11連接一觸控螢幕，觸控螢幕上設置有用於同時控制設置氣簾參數與加藥閥門開啟及關閉的按鈕。通過觸控螢幕，可以設置加藥參數及氣簾參數及氣簾開啟、關閉的時間等參數。

本創作工作原理如下： 電磁閥12若由切割控制器11控制打開後，即切割控制器11控制電磁閥12通電吸合，切割控制器11與電磁鐵形成的控制電路一A導通，此時繼電器13通電吸合，在繼電器13的接口1和2的兩端具有20V電壓，接口3和4短接，因而接通加藥閥門14及氣簾模組15，形成閉合的控制電路二B，此時加藥閥門14和氣簾模組15同時打開，可以向切割機自動注入藥劑及壓縮氣體。

電磁閥12若由切割控制器11控制關閉，則控制電路一A斷開，由 此，繼電器13的接口1和2無電壓，接口3和4斷開，則控制電路二B斷開，此時加壓閥門和氣簾模組15同時關閉不工作。

通過以上技術方案，本創作針對手動開啟加藥閥門方式進行改 善，將加藥閥門和氣簾模組15經由繼電器與電磁閥相連接，通過電磁閥同時控制加藥閥門與氣簾模組15的開啟，實現自動添加藥劑的目的，從而避免人員手動加藥而造成的產品異常或藥劑浪費。

上述具體實施方式，僅為說明本創作的技術構思和結構特徵，目 的在於讓熟悉此項技術的相關人士能夠據以實施，但以上所述內容並不限制本創作的保護範圍，凡是依據本創作的精神實質所作的任何等效變化或修飾，均應落入本創作的保護範圍之內。

11‧‧‧切割控制器

12‧‧‧電磁閥

13‧‧‧繼電器

14‧‧‧加藥閥門

15‧‧‧氣簾模組

A‧‧‧控制電路一

B‧‧‧控制電路二

Claims (2)

1. 一種晶圓切割機之自動添加藥劑系統，包括加藥閥門，其特徵在於：該自動添加藥劑系統還包括切割控制器、電磁閥、繼電器以及氣簾模組，所述切割控制器、電磁閥和繼電器依次串接，所述加藥閥門和氣簾模組再分別與所述繼電器連接；所述切割控制器與所述電磁閥形成可以閉合或斷開的控制電路一，所述繼電器、加藥閥門和氣簾模組形成可以閉合或斷開的控制電路二，所述控制電路一閉合時，所述控制電路二亦閉合，所述加藥閥門和氣簾模組同時打開；所述控制電路一斷開時，所述控制電路二亦斷開，所述加藥閥門和氣簾模組同時關閉。
2. 根據申請專利範圍第1項所述的晶圓切割機之自動添加藥劑系統，其中，所述切割控制器連接有一觸控螢幕，所述觸控螢幕上設置有用於控制所述氣簾參數和所述加藥閥門開啟及關閉參數的按鈕。