TWI622725B - 用於流體分配閥之光電檢測品質確保系統 - Google Patents

用於流體分配閥之光電檢測品質確保系統 Download PDF

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Abstract

本文描述對於如安裝在流體儲存及分配容器上之流體分配閥之品質確保判定有用之光電檢測系統、相關方法及儲存用於此類品質確保判定之機器可執行指令之非暫態電腦可讀取媒體。該光電檢測係可應用於流量控制閥,該流量控制閥係用於包括基於物理吸附劑及/或壓力調節的容器之流體儲存及分配組件,如用來供給用於半導體產品、平板顯示器及太陽能板之製造之處理流體。

Description

用於流體分配閥之光電檢測品質確保系統
本發明係與對於如安裝在流體儲存及分配容器上之流體分配閥之品質確保判定有用之光電檢測系統、相關方法及儲存用於此類品質確保判定之機器可執行指令之非暫態電腦可讀取媒體相關。
在包含流體儲存容器及閥頭組件之流體儲存及分配組件的使用上,其中之閥頭組件包含流量控制閥。可在完全開啟及完全關閉狀態之間操作流量控制閥,以便以有效果及有效率之方式執行流體分配操作係為極重要的。
在此類流量控制閥中,在完全開啟及完全關閉狀態之間可轉換之閥元件在關閉條件下必影響流體密封;且當該閥至少部分為開啟時,提供流體流量之精確調整,係隨閥腔室內之閥元件之特定位置而定。在如半導體產品、平板顯示器、及太陽能板之製造之應用中,這是特別關鍵的;其中被分配流體可能具有每單位體積之高成本之毒性或危險性,及 用於下游程序設備之流體利用要求可包含用於被分配流體之超高純度及/或臨界濃度要求。
在包含流量控制閥之流體儲存及分配組件之初始製 造時,及在一空條件中回傳流體組件至以新鮮流體重新填充容器之流體填充站(或設施)時,此類應用中之流量控制閥典型地被提交至品質確保檢測。此類的品質確保檢測典型地包含耗時及昂貴的人工、目視檢查活動。
本發明係與對於如安裝在流體儲存及分配容器上之 流體分配閥之品質確保判定有用之光電檢測系統、相關方法及儲存用於此類品質確保判定之機器可執行指令之非暫態電腦可讀取媒體相關。
在一態樣中,本揭示案係關於一種用於判定閥結構 之可接受度之光電檢測系統,該光電檢測系統包含:檢測站,調適該檢測站以定位用於光電成像之閥結構;光源,配置該光源以照射光於閥結構上;相機/透鏡組件,配置該相機/透鏡組件以接收光,該光係來自於閥結構與自光源照射於閥結構上之光之相互作用;且回應地產生光電成像輸出;中央處理單元,配置該中央處理單元以自相機/透鏡組件處接收光電成像輸出,且回應地產生檢測輸出,該檢測輸出指示閥結構是否滿足預先定義的可接受度標準。
在另一態樣中,本揭示案係關於一種用於判定閥結構之可接受度之方法,該方法包含: 自光源照射光至閥結構上,以引起該照射光與產生成像回應之該閥結構之相互作用;基於該成像回應,光電地產生光電成像輸出,及經由接收及處理該光電成像輸出之中央處理單元,電子化地產生檢測輸出,該檢測輸出指示閥結構是否滿足預先定義的可接受度標準。
在進一步的態樣中,本揭示案係關於一種非暫態電 腦可讀取媒體,當執行儲存於該非暫態電腦可讀取媒體中之機器可執行指令時,該機器可執行指令執行流體分配閥之品質確保判定,該流體分配閥包含閥結構,光照射到該閥結構上以產生成像回應,該成像回應光學地轉換為光電成像輸出,其中處理該光電成像輸出以產生檢測輸出,該檢測輸出指示閥結構是否滿足預先定義的可接受度標準。
於隨後之描述及附加之申請專利範圍中,將更充分 顯現本案之其他態樣、技術特徵及實施例。
100‧‧‧光電檢測系統
102‧‧‧檢測組件
104‧‧‧外罩
107‧‧‧檯
108‧‧‧托架
111‧‧‧檯座
112‧‧‧流體儲存及分配組件
115‧‧‧顯示幕
116‧‧‧流體儲存及分配組件
120‧‧‧閥頭組件
132‧‧‧中央處理單元
134‧‧‧相機/透鏡組件
136‧‧‧光源
138‧‧‧電源供應器
140‧‧‧夾具
第1圖係根據本案之一實施例之光電檢測系統之示意表示。
第2圖係第1圖之該光電檢測系統之特寫透視圖。
第3圖係第1圖之檢測工具之部分剖開之特寫透視圖,顯示該工具之細節。
第4圖係藉由本案之光電檢測系統產生之閥結構數位影像,顯示由於使用漫射光及拋光表面產生之黑環,該黑環係指示符合要求之閥結構。
第5圖係藉由本案之光電檢測系統產生之閥結構數位影像;本圖相比於第4圖之閥結構影像,顯示指示不符合要求之閥結構之白環。
第6圖係藉由本案之光電檢測系統產生之0.500英吋之新製造閥結構之數位影像,其中閥結構之原始表面將光自光學儀器處反射走且顯示為黑,指示為可接受之閥結構。
第7圖係藉由本案之光電檢測系統產生之數位影像,本圖係關於在一段服務時期後之0.500英吋閥之閥結構,其中閥結構之受損密封表面散射經由光學儀器收集之光,且與第6圖之數位影像相較下,本圖之閥結構之受損密封表面顯示為較亮,指示不可接受但足以重工之閥結構為適合閥結構之修復。
第8圖係藉由本案之光電檢測系統產生之數位影像,本圖係關於在一段服務時期後之0.500英吋閥之閥結構,其中閥結構之顯著受損密封表面散射經由光學儀器收集之光,且與第6圖及第7圖之數位影像相較下,本圖之閥結構之顯著受損密封表面顯示為明亮且有光澤,指示閥結構太廣以致於需要報廢閥,因為不適合進行該閥之修復。
第9圖係藉由本案之光電檢測系統產生之0.250英吋之新製造閥結構之數位影像,其中閥結構之原始表面將光自光學儀器處反射走且顯示為黑,指示閥結構為可接受之閥結構。
第10圖係藉由本案之光電檢測系統產生之數位影像,本圖係關於在一段服務時期後0.250英吋閥之閥結構,其 中閥結構之受損密封表面散射經由光學儀器收集之光,且與第6圖之數位影像相較下,本圖之閥結構之受損密封表面顯示為較亮,指示不可接受但足以重工之閥結構為適合閥結構之修復。
第11圖係藉由本案之光電檢測系統產生之數位影像,本圖係關於在一段服務時期後之0.500英吋閥之閥結構,其中閥結構之受損密封表面散射經由光學儀器收集之光,及指示不可接受但足以重工之閥結構為適合閥結構之修復。
第12圖係藉由本案之光電檢測系統產生之數位影像,本圖係關於拋光後之第11圖之閥結構,顯示已偵測到之缺陷。
第13圖係藉由本案之光電檢測系統產生之數位影像,本圖係關於拋光及以纖維素擦拭墊擦拭後之第12圖之閥結構。
第14圖係藉由本案之光電檢測系統產生之數位影像,本圖係關於平閥之閥結構,該平閥之密封表面經由過度緊縮而被擠壓,導致如第15圖之放大圖所示之較大外徑及較小內徑。第15圖為第14圖的較大外徑及較小內徑之放大圖。
第16圖係藉由本案之光電檢測系統產生之數位影像,本圖係關於在廣泛服務後之老化閥之閥結構,其中如藉由光學系統之校準元件相對於密封表面黑環之相對位置所顯示(該相對位置如第17圖以放大尺度表示),當閥已老舊及/或閥先前已被拋光,密封表面向內移動。第17圖以放大尺度展示光學系統之校準元件相對於密封表面黑環之相對位置。
本發明係與對於如安裝在流體儲存及分配容器上之流體分配閥之品質確保判定有用之光電檢測系統、相關方法及儲存用於此類品質確保判定之機器可執行指令之非暫態電腦可讀取媒體相關。
在一態樣中,本揭示案係關於一種用於判定閥結構之可接收度之光電檢測系統,該光電檢測系統包含:檢測站,調適該檢測站以定位用於光電成像之閥結構;光源,配置該光源以照射光於閥結構上;相機/透鏡組件,配置該相機/透鏡組件以接收光,該光係來自於閥結構與自光源照射於閥結構上之光之相互作用;且回應地產生光電成像輸出;中央處理單元,配置該中央處理單元以自相機/透鏡組件處接收光電成像輸出,且回應地產生檢測輸出,該檢測輸出指示閥結構是否滿足預先定義的可接受度標準。
在此類光電檢測系統中,調適一實施例中之檢測站,以經由支架定位用於光電成像之閥結構,該支架配置用於保持包含閥頭組件(該閥頭組件包含該閥結構)之流體供應組件於用於光電成像之適當位置。
在光電檢測系統中之光源可為任何適當之類型;並且舉例而言,該光源可包含自由白熾燈、發光二極體、雷射、紫外燈及紅外燈組成之群組選擇之照明設備。因此,光源可為發射可見光類型、紅外線輻射類型、紫外線輻射類型或其他適當之光輸出;當該光源照射於閥結構上,可產生響應標記(response signature),該響應標記相關於閥結構之特徵、品 質及狀態。
在光電檢測系統中之中央處理單元同樣地可為任何適當之類型;並且舉例而言,中央處理單元可包含產生比色檢測輸出之處理器,該比色檢測輸出係指示閥結構是否滿足預先定義的可接受度標準。該比色檢測輸出可為提供適當檢測結果之任何色彩或色彩組合。舉例而言,比色檢測輸出可包含當閥結構滿足預先定義的可接受度標準時之綠色輸出,及當閥結構不滿足預先定義的可接受度標準時之紅色輸出。
在光電檢測系統中之中央處理單元可為任何適當之類型;並且舉例而言,中央處理單元可包含儲存機器可執行指令之非暫態電腦可讀取媒體,該機器可執行指令用於判定閥結構之可接受度。該中央處理單元可包含儲存可接受閥結構之標準之資料庫之非暫態電腦可讀取媒體。可調適中央處理單元以處理來自相機/透鏡組件之光電成像輸出,從而用可接受閥結構之標準來判定光電成像輸出之一致性,以回應地產生檢測輸出,該檢測輸出指示閥結構是否滿足預先定義的可接受度標準。
在各實施例中,光電檢測系統更包含轉運裝置,調適該轉運裝置以將包含被評估閥結構之流體供應組件由檢測站移動至多個接收區域中的一個,隨流體供應組件之閥結構與預先定義的可接受度標準之匹配程度而定。舉例而言,接收區域可包含用於接收流體供應組件之第一區域,該流體供應組件之閥結構滿足預先定義之可接受度標準;及用於接收流體供應組件之第二區域,該流體供應組件之閥結構不滿足 預先定義之可接受度標準。可選擇地,接收區域可包含用於接收流體供應組件之第三區域,該流體供應組件之閥結構不滿足預先定義之可接受度標準,但在預先定義之足夠接近預先定義之可接受度標準之標準中,以使該閥結構可被重工,以產生滿足預先定義之可接受度標準之重工閥結構。
在另一態樣中,本揭示案係關於一種用於判定閥結構之可接受度之方法,該方法包含:自光源照射光至閥結構上,以引起該照射光與產生成像回應之閥結構之相互作用;基於該成像回應,光電地產生光電成像輸出,及經由接收及處理光電成像輸出之中央處理單元,電子化地產生檢測輸出,該檢測輸出指示閥結構是否滿足預先定義的可接受度標準。
在此方法中,閥結構可為流體供應組件之閥頭組件之元件。或者,閥結構可為流體控制閥本身之內部閥腔室結構。
可以任何適當之光源執行此方法。例如,該任何適當之光源為自由白熾燈、發光二極體、雷射、紫外燈及紅外燈組成之群組選擇之照明設備。如前所述,本案之品質確保判定使用之光源可發射可見光、紅外線輻射、紫外線輻射或任何其他適當之電磁輻射。
可執行此方法以產生檢測輸出。該檢測輸出包含指示閥結構是否滿足預先定義的可接受度標準之比色檢測輸出。例如,比色檢測輸出包含當閥結構滿足預先定義的可接 受度標準時之綠色輸出,及當閥結構不滿足預先定義的可接受度標準時之紅色輸出。
可以中央處理單元實施此方法,該中央處理單元包含儲存機器可執行指令之非暫態電腦可讀取媒體,該機器可執行指令用於判定閥結構可接受度。中央處理單元可包含儲存可接受閥結構之標準之資料庫之非暫態電腦可讀取媒體。 可調適中央處理單元以處理光電成像輸出,從而用可接受之閥結構標準判定光電成像輸出之一致性,以回應地產生檢測輸出,該檢測輸出指示閥結構是否滿足預先定義的可接受度標準。
在產生檢測輸出後,該方法可更包含機械式地將包含閥結構之流體供應組件移動至多個接收區域中的一個,隨流體供應組件之閥結構與預先定義的可接受度標準之匹配程度而定。如前所述,接收區域可包含用於接收流體供應組件之第一區域,該流體供應組件之閥結構滿足預先定義之可接受度標準;及用於接收流體供應組件之第二區域,該流體供應組件之閥結構不滿足預先定義之可接受度標準;及可選擇地,接收區域可包含用於接收流體供應組件之第三區域,該流體供應組件之閥結構不滿足預先定義之可接受度標準,但在預先定義之足夠接近預先定義之可接受度標準之範圍中,以使該閥結構可被重工,以產生滿足預先定義之可接受度標準之重工閥結構。
在進一步的態樣中,本揭示案係關於一種非暫態電腦可讀取媒體,當執行於儲存於該非暫態電腦可讀取媒體中 之機器可執行指令時,該機器可執行指令執行流體分配閥之品質確保判定,該流體分配閥包括閥結構,光照射於閥結構上以產生成像回應,該成像回應光學地轉換為光電成像輸出,其中處理該光電成像輸出以產生檢測輸出,該檢測輸出指示閥結構是否滿足預先定義的可接受度標準。
可設置此非暫態電腦可讀取媒體,以便光電成像輸出之處理包含關聯該光電成像輸出與用於經歷品質確保判定之一類型之閥之流體分配閥基線資訊,該類型之閥之流體分配閥基線資訊係來自於用於多個閥類型之流體分配閥基線資訊之資料庫。
本揭露案之特徵、態樣及實例將在後續對第1-17圖的描述的上下文中被更進一步地鑑別。
第1圖係根據本案之一實施例之光電檢測系統100之示意表示。該系統包含檢測組件102,該檢測組件102包含外罩104及顯示幕114;該檢測組件102放在檯106上以構成檢測站。檯106之檯面在該檯面前端部分具有切口,以容納流體儲存及分配組件112之容器位置,使該網及該容器之閥頭組件向上延伸超過檯面表面,其中該容器定位於檯座110上,該檯座110嵌入於固定在檯面底面之托架108中。第1圖亦顯示等待經由檢測組件102之品質確保測試之流體儲存及分配組件116。
可識別第1圖所示之檢測站包含手動放置連續流體儲存及分配組件在檯座110上之托架108中,以用於品質確保判定;然後手動將流體組件自托架移除以容納將經歷品質 確保操作之下個連續流體組件。
或者,可建造、配置及調適該檢測站,以自動化傳送及定位在托架中之用於品質確保判定之連續流體組件,及隨後自動將已檢測之流體組件自檢測站之托架移除,及傳輸至取決於品質確保操作結果之特定區域。
舉例而言,光電檢測系統可更包含傳送及傳輸系統。該傳送及傳輸系統輸送流體組件至檢測站,且使該流體組件之閥組件經歷品質確保判定,隨後傳輸滿足品質確保標準之流體組件至第一保留區域,及傳輸不滿足品質確保標準之流體組件至第二保留區域。之後可重工第二保留區域內之流體組件,如藉由自此組件之容器移除閥頭組件,及以替代閥頭組件取代該移除閥頭組件,隨後再次提交該流體組件進行品質確保判定。
第2圖係第1圖之光電檢測系統之特寫透視圖,顯示該光電檢測系統之特徵。如圖所示,檢測組件102包含外罩104,該外罩104包含如下文更全面地描述之光學及電子組件部分。檢測組件102包含顯示幕114;舉例而言,該顯示幕114可包含用於顯示資料及/或品質確保判定結果之液晶顯示幕或其他視覺輸出屏幕。流體組件圖示在托架108中,該托架108以檯座110支撐,及流體組件之閥頭組件120藉由此配置定位,以用於品質確保判定。
第3圖係第1圖之檢測工具之部分剖開之特寫透視圖,顯示工具之細節。第3圖之檢測組件102圖解說明外罩104被部分剖離,以顯示該外罩內之光學及電子組件,及顯示 被定位以用於品質確保判定之流體組件112。檢測組件之元件包含操作性連結至電源供應器138之中央處理單元132、光源136、相機/透鏡組件134、及藉由夾具140以定位用於品質確保判定之流體組件112之閥組件,以使閥噴嘴可對準光源及相機/透鏡組件。
調適光源136以提供用於照射於閥結構上之低角度散射光,以便相機/透鏡組件134可相對於一或多個標準(或基準)影像,紀錄提供閥結構之品質確保區別之閥結構影像,從而決定閥結構是滿足可接受度標準還是不通過此類標準。因此,儲存標準(或基準)影像於資料庫或中央處理單元132中之其他電子儲存媒體,且自相機傳送在藉由光源提供之選定照明條件下之藉由相機/透鏡組件紀錄之影像,至用於比較該影像與標準(或基準)影像之中央處理單元,該標準(或基準)影像係用於經歷品質確保判定之流體組件及閥頭組件。
光源可為任何適當類型。光源可包含白熾燈源、LED光源、紅外線輻射源、或其他產生輸出之照明設備,該輸出照射於閥結構上以產生可被相機/透鏡組件134偵測出的照明影像。配置相機/透鏡組件以傳送已偵測影像至用於影像處理之中央處理單元132,以比較該已偵測影像與標準(或基準)影像,以決定經歷品質確保判定之閥結構是滿足還是不通過用於閥結構之可接受度標準。可配置中央處理單元132,以用任何適當之方式處理來自相機/透鏡組件134之影像信號。
舉例而言,來自閥結構之影像資料可建立為自相關函數,該自相關函數之後被傅立葉轉換以產生照明功率頻 譜,該照明功率頻譜係用於與基準(或標準)頻譜之數位比較,該基準(或標準)頻譜係用於可接受之閥結構;以使中央處理單元輸出品質確保判定,例如視覺輸出於顯示幕114(見第1圖及第2圖)。舉例而言,視覺輸出可包含比色輸出,該比色輸出以綠色指示描述滿足品質確保標準、以黃色指示描述邊緣性地滿足品質確保標準、及以紅色指示描述不通過品質確保標準。
中央處理單元可包含處理器以經由位址/資料匯流排緩和記憶體,其中該處理器可包含任何市售或客製微處理器,且其中該記憶體包含軟體指令及資料,該軟體指令及資料用以實施該中央處理單元之功能。記憶體可包含(但無限制)快取記憶體、ROM、PROM、EPROM、EEPROM、快閃記憶體、SRAM及DRAM。記憶體可包含用於中央處理單元之不同種類之軟體及資料;該軟體包含作業系統、應用程式、輸入/輸出裝置之驅動程式,及該資料例如包含頻譜資料、影像剖面、或其他影像資料形式之可接受閥結構之資料庫。
中央處理單元包含儲存機器可執行指令之非暫態電腦可讀取媒體;當藉由處理器執行該等機器可執行指令時,該等機器可執行指令執行對在品質確保操作中之被評估閥結構之品質確保判定,如相對於預先定義標準或其他可接受標準接受或拒絕被評估閥結構。意欲廣義解釋本文所使用的術語「標準(criteria)」,該術語「標準(criteria)」包含單一標準,及多個品質確保條件、值或特性。
第4圖係藉由本案之光電檢測系統產生之閥結構數 位影像,顯示來自於使用漫射光及拋光表面之黑環,該黑環係指示符合要求之閥結構。
第5圖係藉由本案之光電檢測系統產生之閥結構數位影像;本圖相比於第4圖之閥結構影像,顯示指示不符合要求之閥結構之白環。
第6圖係藉由本案之光電檢測系統產生之0.500英吋之新製造閥結構之數位影像,其中閥結構之原始表面將光自光學儀器處反射走且顯示為黑,指示為可接受之閥結構。 藉由透鏡/相機組件掃描的影像顯示於第6圖左側,該第6圖左側顯示個別掃描部分,分別評估每個個別掃描部分之特性、品質或條件,如藉由被放在閥結構上之個別矩形掃描元件所顯示;為比較目的,顯示沒有於上方放置矩形掃描元件陣列之已掃描影像於第6圖右側。
第7圖係藉由本案之光電檢測系統產生之數位影像,本圖係關於在一段服務時期後0.500英吋閥之閥結構,其中閥結構之受損密封表面散射經由光學儀器收集之光,且與第6圖之數位影像相較下,本圖之閥結構之受損密封表面顯示為較亮,指示不可接受但足以重工之閥結構為適合閥結構之修復。
第8圖係藉由本案之光電檢測系統產生之數位影像,本圖係關於在一段服務時期後0.500英吋閥之閥結構,其中閥結構之顯著受損之密封表面散射經由光學儀器收集之光,且與第6圖及第7圖之數位影像相較下,本圖之閥結構之顯著受損密封表面顯示為明亮且有光澤,指示閥結構太廣 以致於需要報廢閥,因為不適合進行該閥之修復。
第9圖係藉由本案之光電檢測系統產生之0.250英吋之新製造閥結構之數位影像,其中閥結構之原始表面將光自光學儀器處反射走且顯示為黑,指示閥結構為可接受之閥結構。
第10圖係藉由本案之光電檢測系統產生之數位影像,本圖係關於在一段服務時期後0.250英吋閥之閥結構,其中閥結構之受損密封表面散射經由光學儀器收集之光,且與第6圖之數位影像相較下,本圖之閥結構之受損密封表面顯示為較亮,指示不可接受但足以重工之閥結構為適合閥結構之修復。
第11圖係藉由本案之光電檢測系統產生之數位影像,本圖係關於在一段服務時期後0.500英吋閥之閥結構,其中閥結構之受損密封表面散射經由光學儀器收集之光,及指示不可接受但足以重工之閥結構為適合閥結構之修復。
第12圖係藉由本案之光電檢測系統產生之數位影像,本圖係拋光後之第11圖之閥結構,顯示已偵測到之缺陷。
第13圖係藉由本案之光電檢測系統產生之數位影像,本圖係拋光及以纖維素擦拭墊擦拭後之第12圖之閥結構。
第14圖係藉由本案之光電檢測系統產生之數位影像,本圖係用於平閥之閥結構,該平閥之密封表面經由過度緊縮而被擠壓,導致如第15圖之放大圖所示之較大外徑及較小內徑。
第16圖係藉由本案之光電檢測系統產生之數位影 像,本圖係關於在廣泛服務後老化閥之閥結構,其中如光學系統之校準元件相對於密封表面黑環之相對位置所顯示(該相對位置與如第17圖以放大尺度表示),當閥已老舊及/或閥先前已被拋光,密封表面向內移動。
將認知到的是可配置本案之光電檢測系統,以產生個別閥結構之連續影像,該個別閥結構之連續影像係用於藉由中央處理單元進行通過/不通過接受度之視覺判定;該視覺判定係與藉由自光源將光照射於受評估閥結構上之照射產生之反射、散射、亮度、暗度及/或其他光學特徵有關,其中藉由中央處理單元評估多個像素或影像區域之此類特徵。在此類應用中,基於與預先定義之可接受度標準比較之平均數、均值或其他代表值,可使用體現於中央處理單元之軟體中之影像處理演算法以產生輸出,以提供檢測系統之操作員視覺呈現,該視覺呈現係指示通過/不通過判定。檢測系統之操作員之後可標記或以其他方式識別流體供應組件之接受或不接受狀態,及放置流體供應組件於特定位置上,該特定位置反應其接受或不接受狀態。
或者,可配置光電檢測系統之工作站使其完全自動化,以依順序地推進個別的流體供應組件至檢測站,放置該流體供應組件於用於閥結構之光學成像之位置,光學成像該閥結構進而自動運輸該閥結構至適當之拒絕、重工或接受組件之位置處,取決於哪一個此類狀態特徵被適用於指定之個別流體供應組件。
因此,將認知到的是,可於組件、佈局及操作內廣 泛地改變本案之光電檢測系統,以提供就緒及可重現性之判定,該判定係特定之閥結構是否適用於流體儲存及分配操作。雖然已描述檢測系統之關於閥之閥結構檢測,該閥已安裝於對應流體供應組件之容器;將認知到的是可在固定閥頭組件至對應流體供應組件之容器前,檢測閥結構。
進一步地說,雖然本案係針對食物供應組件之閥結構之光電檢測,應理解的是,基於本文之揭露,本案之視覺檢測系統、方法及軟體容許實施各式各樣的其他結構、材料等之光電檢測,如本案所屬技藝領域中具有通常知識者自身將要建議的。
雖然本文已說明本案之特定態樣、特徵及說明性實施例,應理解的是本案之功用並不因此而受限制,而是如本案所屬技藝領域中具有通常知識者自身基於本文之敘述將要建議的,擴展及包含眾多其他變化、修改及替代實施例。相應地,意欲廣義理解及解釋如下文主張之發明為包含所有在本發明之精神及範圍內之此類變化、修改及替代實施例。

Claims (20)

  1. 一種用於判定一閥結構可接受度之光電檢測系統,該光電檢測系統包括:一檢測站,調適該檢測站以定位用於光電成像之該閥結構;一光源,配置該光源以照射光於該閥結構上;一相機及透鏡成像組件,配置該相機/透鏡組件以接收光,該光係來自於該閥結構與自該光源照射於該閥結構上之光之相互作用,且回應地產生一光電成像輸出;一中央處理單元,配置該中央處理單元以自該成像組件處接收該光電成像輸出,且回應地產生一檢測輸出,該檢測輸出指示該閥結構是否滿足預先定義的可接受度標準,其中接收來自該成像組件之該光電成像輸出的該中央處理單元將該光電成像輸出之影像資料構成為一自相關函數(autocorrelation function),該自相關函數接著經傅立葉(Fourier)轉換以產生照明功率頻譜,該照明功率頻譜係用於與可接受之閥結構之基準頻譜的數位比較,且其中該檢測輸出包括作為輸出於一顯示幕之一視覺輸出的一品質確保判定。
  2. 如請求項1所述之光電檢測系統,其中調適該檢測站以定位用於光電成像之該閥結構,該檢測站包含用於保持一流體供應組件於用於光電成像之該位置之一支架,該流體供應組件包含一閥頭組件,該閥頭組件包含該閥結構。
  3. 如請求項1所述之光電檢測系統,其中該光源包含:自由白熾燈、發光二極體、雷射、紫外燈及紅外燈組成之群組選擇之一照明設備。
  4. 如請求項1所述之光電檢測系統,其中該中央處理單元包含一處理器,該處理器產生一比色檢測輸出,該比色檢測輸出指示該閥結構是否滿足預先定義的可接受度標準。
  5. 如請求項4所述之光電檢測系統,其中該比色檢測結果輸出包含當一閥結構滿足該預先定義的可接受度標準之一綠色輸出,及包含當一閥結構不滿足該預先定義的可接受度標準的一紅色輸出。
  6. 如請求項1所述之光電檢測系統,其中該中央處理單元包含一非暫態電腦可讀取媒體,該非暫態電腦可讀取媒體儲存用於判定一閥結構之可接受度之機器可執行指令。
  7. 如請求項1所述之光電檢測系統,其中該中央處理單元包含一非暫態電腦可讀取媒體,該非暫態電腦可讀取媒體儲存可接受閥結構之標準之一資料庫。
  8. 如請求項1所述之光電檢測系統,其中調適該中央處理單元以處理來自該成像組件之該光電成像輸出,從而判定該 光電成像輸出與可接受閥結構之該標準之一致性,以回應地產生該檢測輸出,該檢測輸出指示該閥結構是否滿足預先定義的可接受度標準。
  9. 如請求項1所述之光電檢測系統,更包含一轉運裝置,調適該轉運裝置以將一流體供應組件由該檢測站移動至多個接收區域中的一個,隨該流體供應組件之一閥結構與該預先定義的可接受度標準之匹配程度而定。
  10. 一種用於判定一閥結構之可接受度之方法,該方法包含以下步驟:自一光源照射光至該閥結構上,以引起該照射光與產生一成像回應之該閥結構之一相互作用;基於該成像回應,光電地產生一光電成像輸出;及經由接收及處理該光電成像輸出之一中央處理單元,電子化地產生一檢測輸出,該檢測輸出指示該閥結構是否滿足預先定義的可接受度標準,其中在產生該檢測輸出中,接收該光電成像輸出的該中央處理單元將該光電成像輸出之影像資料構成為一自相關函數,該自相關函數接著經傅立葉轉換以產生照明功率頻譜,該照明功率頻譜係用於與可接受之閥結構之基準頻譜的數位比較,且其中該檢測輸出包括作為輸出於一顯示幕之一視覺輸出的一品質確保判定。
  11. 如請求項10所述之方法,其中該閥結構係一流體供應組件之一閥頭組件之一元件。
  12. 如請求項10所述之方法,其中該光源包含:自由白熾燈、發光二極體、雷射、紫外燈及紅外燈組成之群組選擇之一照明設備。
  13. 如請求項10所述之方法,其中該檢測輸出包含一比色檢測輸出,該比色檢測輸出指示該閥結構是否滿足預先定義的可接受度標準。
  14. 如請求項13所述之方法,其中該比色檢測輸出包含當一閥結構滿足該預先定義的可接受度標準之一綠色輸出,及包含當一閥結構不滿足該預先定義的可接受度標準的一紅色輸出。
  15. 如請求項10所述之方法,其中該中央處理單元包含一非暫態電腦可讀取媒體,該非暫態電腦可讀取媒體儲存用於判定一閥結構的可接受度之機器可執行指令。
  16. 如請求項10所述之方法,其中該中央處理單元包含一非暫態電腦可讀取媒體,該非暫態電腦可讀取媒體儲存可接受之閥結構標準之一資料庫。
  17. 如請求項10所述之方法,其中調適該中央處理單元以處理該光電成像輸出,從而判定該光電成像輸出與可接受閥結構之該標準之一致性,以回應地產生該檢測輸出,該檢測輸出指示該閥結構是否滿足預先定義的可接受度標準。
  18. 如請求項10所述之方法,該方法更包含以下步驟:在產生該檢測輸出後,機械式地移動包含該閥結構之一流體供應組件至多個接收區域中的一個,隨該流體供應組件之一閥結構與該預先定義的可接受度標準之匹配程度而定。
  19. 一種非暫態電腦可讀取媒體,該非暫態電腦可讀取媒體儲存機器可執行指令,當執行該等機器可執行指令時,該等機器可執行指令執行一流體分配閥之一品質確保判定,該流體分配閥包含一閥結構,光照射到該閥結構上以產生一成像回應,該成像回應光電地轉換為一光電成像輸出,其中根據該等機器可執行指令處理該光電成像輸出以產生一檢測輸出,該檢測輸出指示該閥結構是否滿足預先定義的可接受度標準,在產生該檢測輸出中包括將該光電成像輸出之影像資料構成為一自相關函數,該自相關函數接著經傅立葉轉換以產生照明功率頻譜,該照明功率頻譜係用於與可接受之閥結構之基準頻譜的數位比較,且其中該檢測輸出包括作為輸出於一顯示幕之一視覺輸出的該品質確保判定。
  20. 如請求項19所述之非暫態電腦可讀取媒體,其中該光電 成像輸出之該處理包含:關聯該光電成像輸出與用於經歷該品質確保判定之一類型之一閥之流體分配閥基線資訊,該流體分配閥基線資訊係來自於用於多個閥類型之流體分配閥基線資訊之一資料庫。
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10180248B2 (en) 2015-09-02 2019-01-15 ProPhotonix Limited LED lamp with sensing capabilities
US10880331B2 (en) * 2019-11-15 2020-12-29 Cheman Shaik Defeating solution to phishing attacks through counter challenge authentication

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20080186481A1 (en) * 2007-02-06 2008-08-07 Chien-Lung Chen Optical vision inspection apparatus

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3680966A (en) * 1971-03-12 1972-08-01 Iris Corp Apparatus and method for shell inspection
DE3347645C1 (de) 1983-12-30 1985-10-10 Dr.-Ing. Ludwig Pietzsch Gmbh & Co, 7505 Ettlingen Verfahren und Einrichtung zum opto-elektronischen Pruefen eines Flaechenmusters an einem Objekt
US5279729A (en) 1989-03-20 1994-01-18 Murata Kikai Kabushiki Kaisha Bobbin sorting device
JPH03188358A (ja) * 1989-12-19 1991-08-16 Hajime Sangyo Kk 物体の表面検査装置
EP0443700A3 (en) * 1990-02-21 1991-10-16 Mitsubishi Jukogyo Kabushiki Kaisha Method for counting living cells of microbes and apparatus therefor
IL99823A0 (en) * 1990-11-16 1992-08-18 Orbot Instr Ltd Optical inspection method and apparatus
CN2859539Y (zh) * 2005-12-14 2007-01-17 中国印钞造币总公司 硬币成品表面质量在线检测装置
CN101013079B (zh) * 2007-02-07 2010-11-10 浙江大学 小型物料数字化检测和分级装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20080186481A1 (en) * 2007-02-06 2008-08-07 Chien-Lung Chen Optical vision inspection apparatus

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