TWI620703B - 具有壓力感測器的滾輪及捲對捲裝置 - Google Patents

具有壓力感測器的滾輪及捲對捲裝置 Download PDF

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戴明吉
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Abstract

一種具有壓力感測器的滾輪,包括一壓力感測器附著在一滾輪上;及該壓力感測器包括多數個壓力感測單元分布於一薄層元件,且該壓力感測單元藉由金屬線彼此電性連接但不接觸。本發明更包括一種捲對捲裝置,包括有一具有壓力感測器的滾輪。

Description

具有壓力感測器的滾輪及捲對捲裝置
本發明係關於一種具有壓力感測器的滾輪及捲對捲裝置。
捲對捲裝置可使用重力控制捲軸的方式,以降低張力不均的問題。但捲對捲裝置在薄膜傳輸過程中,除了張力變化偵測,尚有速度變化偵測的監控及調校。在正常運作下,自動放捲及張力監控模組啟動時,搭配後端收捲模組進行傳動。於傳動過程中,因前後速度控制差異,所以可進行張力調整,待調整穩定後即可全線同步傳動。對於超薄玻璃基板的傳輸過程,張力與速度可透過設置於滾輪下方側的負載室(Load Cell)內的偵測器,偵測基板於傳輸過程中是否有發生破裂或微裂縫的情況。
目前現有的捲對捲裝置包括有收放捲機構、緩衝機構、撕覆膜機構、循邊定位機構及全罩式高濾清單元(HEPA DOWN FLOW),收放捲機構係以伺服馬達搭配負載室(Load Cell)穩定控制料捲張力。緩衝機構則以不停機方式持續生產。撕覆膜機構可撕開基板上的覆膜,亦可靈活搭配多種製程。循邊定位機構係以對邊控制糾邊系統(E.P.C.,Edge Position Control Systems)達到整齊收捲。全罩式高濾清單元則提升潔淨 度到最高。
本發明之目的係提供一種具有壓力感測器的滾輪及捲對捲裝置,藉由該壓力感測器包覆整個滾輪,該薄膜基板在該滾輪上移動時,可偵測該薄膜基板的電壓分布而得知壓力分布,如此電壓信號傳送至該控制器,以控制該馬達調整該滾輪,使該薄膜基板傳動均勻。而且知悉該滾輪壓力,可調整各生產線的滾輪,使生產平順,精確及快速。
本發明之又一目的係提供一種具有壓力感測器的滾輪及捲對捲裝置,可感測分布壓力較傳統使用負載室(Load Cell)的壓力感測器無法感測分布壓力,確實提升薄膜基板的傳輸效率,且持續性地監控與感測薄膜基板的傳送過程。
本發明具有壓力感測器的滾輪,包括一壓力感測器附著在一滾輪上;及該壓力感測器包括多數個壓力感測單元分布於一薄層元件,且該壓力感測單元彼此電性連接但不接觸。
在一實施例中,該薄層元件為一上下薄層中間設置多數個壓力感測單元陣列。
在一實施例中,該壓力感測單元為一方形、長方形片狀或條狀。
在一實施例中,該壓力感測器為一可撓式的壓力感測器或為一即時壓力感測器。
在一實施例中,該壓力感測器附著在該滾輪的表面上,或設置在該滾輪內,或附著在該滾輪內壁上。
在一實施例中,該滾輪為一中空結構,或非中空結構。
在一實施例中,該壓力感測器的多數個壓力感測單元係陣列式地排列,彼此以一金屬線電性連接,並於該壓力感測器的一端緣設有一微型IC電路與一訊號發射器。
在一實施例中,該壓力感測單元為不規則形狀排列。
在一實施例中,該壓力感測單元為一薄層的振動膜,該振動膜包括一壓電片附著在一金屬薄片上,該壓電片可包括多層壓電陶瓷片,並提供一交替變化的電壓予該金屬薄片,則振動膜會隨著電壓的變化產生上下彎曲。
在一實施例中,該振動膜為一壓電式感測器,或為一電阻式壓力感測器,或為一電容式壓力感測器。
本發明提供一種捲對捲裝置至少包括有一滾輪機構,該滾輪機構包括有一放捲滾輪、一第一中間滾輪、一第二中間滾輪、一第三中間滾輪及一收捲滾輪;及一壓力感測器,係分別設置於該第一中間滾輪、該第二中間滾輪及該第三中間滾輪上。
在一實施例中,該壓力感測器包括多數個壓力感測單元分布於一薄層元件,且該壓力感測單元彼此電性連接但不接觸。
在一實施例中,該薄層元件為一上下薄層中間設置多數個壓力感測單元陣列。
在一實施例中,該壓力感測單元為一方形、長方 形片狀或條狀。
在一實施例中,該壓力感測器為一可撓式的壓力感測器或為一即時壓力感測器。
在一實施例中,該壓力感測器附著在該第一中間滾輪、該第二中間滾輪及該第三中間滾輪的表面上,或設置在該第一中間滾輪、該第二中間滾輪及該第三中間滾輪內,或附著在該第一中間滾輪、該第二中間滾輪及該第三中間滾輪內壁上。
在一實施例中,該壓力感測器的多數個壓力感測單元係陣列式地排列,彼此以一金屬線電性連接,並於該壓力感測器的一端緣設有一微型IC電路與一訊號發射器。
本發明捲對捲裝置另一實施例係包括有至少一滾輪機構,包括有一放捲滾輪、一中間滾輪及一收捲滾輪,該壓力感測器附著在該中間滾輪上。
本發明捲對捲裝置又一實施例係包括有一架體,包括一縱向架體與一橫向架體;一捲放單元;多數個中間滾輪,包括一第一上中間滾輪、一第一下中間滾輪、一第二上中間滾輪、一第二下中間滾輪、一第三上中間滾輪;一收捲單元;及其中該捲放單元、前端雙夾滾輪、多數個中間滾輪、後端雙夾滾輪及該收捲單元設置於該架體上,該第一上中間滾輪與該第二上中間滾輪、該第三上中間滾輪設置在該橫向架體上,而該第一下中間滾輪與該第二下中間滾輪設置在該縱向架體;其中該捲放單元與收捲單元設置於該架體的前後端側。而該前端雙夾滾輪設置於該捲放單元與該第一上中間滾輪間,及該後端 雙夾滾輪設置於該收捲單元與該第三上中間滾輪間;其中該捲放單元係將一原料捲釋放的一薄膜基板經一前端雙夾滾輪送出,該薄膜基板再經該第一上中間滾輪後,及經該第一下中間滾輪、該第二上中間滾輪、該第二下中間滾輪、該第三上中間滾輪後,由該後端雙夾滾輪送出至該收捲單元收捲。
在一實施例中,該前端雙夾滾輪、該第一上中間滾輪、該第一下中間滾輪、該第二上中間滾輪、該第二下中間滾輪、該第三上中間滾輪及該後端雙夾滾輪均分別以馬達控制滾輪間距或位置,以調整薄膜基板的張力與鬆緊度。
101‧‧‧步驟
103‧‧‧步驟
105‧‧‧步驟
10‧‧‧壓力感測器
12‧‧‧壓力感測單元
14‧‧‧振動膜
142‧‧‧壓電片
144‧‧‧金屬薄片
20‧‧‧滾輪
22‧‧‧表面
24‧‧‧訊號發送器
30‧‧‧薄膜基板
40‧‧‧控制器
42‧‧‧訊號接收器
44‧‧‧微處理器
50‧‧‧捲對捲裝置
52‧‧‧滾輪機構
521‧‧‧放捲滾輪
522‧‧‧第一中間滾輪
524‧‧‧第二中間滾輪
526‧‧‧第三中間滾輪
528‧‧‧收捲滾輪
60‧‧‧滾輪機構
62‧‧‧放捲滾輪
64‧‧‧中間滾輪
66‧‧‧收捲滾輪
68‧‧‧馬達
70‧‧‧捲對捲裝置
71‧‧‧架體
711‧‧‧縱向架體
712‧‧‧橫向架體
72‧‧‧捲放單元
721‧‧‧前端雙夾滾輪
73‧‧‧中間滾輪
731‧‧‧第一上中間滾輪
732‧‧‧第一下中間滾輪
733‧‧‧第二上中間滾輪
734‧‧‧第二下中間滾輪
735‧‧‧第三上中間滾輪
74‧‧‧收捲單元
741‧‧‧後端雙夾滾輪
第1A、1B、1C、1D圖為本發明具有壓力感測器的滾輪之不同實施例示意圖。
第2A、2B圖為本發明壓力感測器的壓力感測單元之動作示意圖。
第3圖為本發明具有壓力感測器的滾輪之感測示意圖。
第4圖為本發明具有壓力感測器的滾輪之訊號傳輸示意圖。
第5圖為本發明具有壓力感測器的滾輪之滾輪機構示意圖。
第6圖為本發明具有壓力感測器的滾輪之系統流程示意圖。
第7圖為本發明具有壓力感測器的滾輪之控制示意圖。
第8圖為本發明具有壓力感測器的滾輪之滾輪機構調整示 意圖。
第9圖為本發明捲對捲裝置之一示範實施例示意圖。
請參閱第1A、1B、1C、1D圖為本發明本發明具有壓力感測器的滾輪之不同實施例示意圖,本發明係適用於捲對捲裝置或其它可適用的滾輪機構,且為具有壓力感測器10的滾輪20或具有即時壓力感測器10的滾輪20。在一實施例中,該壓力感測器10包括多數個壓力感測單元12陣列分布於一薄層元件(圖中未示),且該壓力感測單元12彼此電性連接但不接觸。該薄層元件可為一上下薄層中間設置多數個壓力感測單元12陣列。該壓力感測單元12可為片狀,例如方形、長方形等等,或條狀等。該壓力感測器10可為一可撓式的壓力感測器(Flexible Pressure Sensor),或一即時壓力感測器。該壓力感測器10可附著在該滾輪20的表面22上,如第1A圖所示,或者設置在該滾輪20內,如第1B圖所示,或者附著在該滾輪20內壁上,如第1C圖所示。
在另一實施例中,該壓力感測器10可為多數個條狀壓力感測器,並環繞地附著在該滾輪20的表面22上。
在一實施例中,該滾輪20可為中空結構,或非中空結構。因此,該壓力感測器10可設置在該滾輪20的滾輪壁內,且靠近該滾輪20的表面22,以能感測到薄膜基板30被接觸為範圍。因此,如上述之設計,使該壓力感測器10可維持感應的靈敏度。
在一實施例中,該壓力感測器10的多數個壓力感 測單元12可陣列式地排列,彼此電性連接,例如以金屬線連接,並於該壓力感測器10的一端緣具有微型IC電路與訊號發射器,如第4圖所示。在另一實施例中,該壓力感測單元12可為不規則形狀排列。
請參閱第2A、2B圖為本發明壓力感測器的壓力感測單元之動作示意圖,該壓力感測單元12可為一薄層的振動膜14,該振動膜14包括一壓電片142附著在一金屬薄片144上。該壓電片142可包括多層壓電陶瓷片。在一實施例中,當給予一電壓使該金屬薄片144為負,該壓電片142為正,則該壓電片142伸展,該金屬薄片144跟著伸展,因此,該振動膜14會向上彎曲,形成如第2A圖的(a)狀態。當給予一電壓使該壓電片142負,該金屬薄片144為正,則該壓電片142收縮,該金屬薄片144跟著收縮,因此,該振動膜14會向下彎曲,形成如第2A圖的(b)狀態。如第2B圖所示,當多層的振動膜14利用交替變化的電壓,則振動膜14會隨著電壓的變化產生上下彎曲。因此,當觸動該壓力感測單元12,觸發電壓變化時,則該振動膜14會產生變化,進而發出一訊號,告知有異況。
在一實施例中,本發明的振動膜14可為一壓電式感測器,或亦可為電阻式壓力感測器,或亦可為電容式壓力感測器等等,本發明之精神不限於此。
在一實施例中,該振動膜14的壓電係數可為D33,該陶瓷為500PC/N(pico-coulomb/newton),PVDF聚偏氟乙烯為18-32PC/N(10-9庫倫/牛頓)。
請參閱第3圖為本發明具有壓力感測器的滾輪之 感測示意圖,如第1A圖所示的滾輪20與壓力感測器10。當一薄膜基板30貼附在該滾輪20上,同時也貼附在該壓力感測器10及該壓力感測單元12上。該薄膜基板30與該滾輪20的接觸面的張力分布要均勻,該薄膜基板30的傳送才能穩定。反之,於該薄膜基板30的張力不平均,會在滾輪20兩側產生不同的張力,因此,當該壓力感測單元12受到薄膜基板30的張力不均影響,則會傳出異常訊號,告知該薄膜基板30發生傳送問題。告知方式可為警示燈或警示聲或數值異常通知等等。
請參閱第4圖為本發明具有壓力感測器的滾輪之訊號傳輸示意圖,本發明當於該薄膜基板30傳送過程中因壓力分布不均的問題,則該壓力感測器10的訊號發送器24(附在一軟性電路板上)會將壓力不均的訊號即時發送到訊號接收器42(附在另一電路板上,例如控制器40內等)予以接收,並發出警示訊號。在一實施例中,引起傳送過程中的問題包括薄膜基板30的張力、前後端滾輪的速度、塵粒、薄膜基板位置、薄膜基板鬆緊度等等問題。訊號發送器24與訊號接收器42為一般習知技藝,在此不予贅述。在一實施例中,薄膜基板的張力、前後端滾輪的速度、塵粒、薄膜基板位置、薄膜基板鬆緊度均對應有警示器,如警示燈或警示聲或數值異常通知等等。
在一實施例中,於該薄膜基板30的鬆緊度問題,可能導致該薄膜基板30的傳送與滾輪20的捲收無法正常,因此,當該壓力感測單元12受到該薄膜基板30過鬆或太緊的影響,則會傳出異常訊號,告知該薄膜基板30發生薄膜基板鬆緊度產生問題,需要調整兩滾輪20間的距離,容後再述。
在一實施例中,藉由該壓力感測器10包覆整個滾輪20,該薄膜基板30在該滾輪20上移動時,可偵測該薄膜基板30的電壓分布而得知壓力分布,如此電壓信號傳送至該控制器40,以控制該馬達調整該滾輪20,使該薄膜基板30傳動均勻。而且知悉該滾輪20壓力,可調整各生產線的滾輪20,使生產平順,精確及快速。
因此,本發明可感測分布壓力較傳統使用負載室(Load Cell)的壓力感測器無法感測分布壓力,確實提升薄膜基板的傳輸效率,且持續性地監控與感測薄膜基板的傳送過程。
請參閱第5圖為本發明捲對捲裝置之滾輪機構示意圖,本實施例為一示範實施例,本發明精神不限於此。本發明捲對捲裝置50包括有一滾輪機構52,該滾輪機構52包括有一放捲滾輪521、一第一中間滾輪522、一第二中間滾輪524、一第三中間滾輪526及一收捲滾輪528,該放捲滾輪521將該薄膜基板30釋放,經該第一中間滾輪522、該第二中間滾輪524、該第三中間滾輪526及該收捲滾輪528收捲該薄膜基板30。其中該壓力感測器10分別設置於該第一中間滾輪522、該第二中間滾輪524及該第三中間滾輪526。因此,該第一中間滾輪522、該第二中間滾輪524及該第三中間滾輪526可用以感測該第一中間滾輪522、該第二中間滾輪524、該第三中間滾輪526上經過的該薄膜基板30的張力、滾輪速度、薄膜基板的鬆緊度等等。當有異常發生,該薄膜基板30在該滾輪20上移動時,可偵測該薄膜基板30的電壓分布而得知壓力分布,如此電壓信號傳送至該控制器40,以控制該馬達調整該滾輪20,使該薄膜基板30在 傳動均勻。在一實施例中,該中間滾輪可為一個或多數個中間滾輪,視設計需求。
在一實施例中,本發明捲對捲系統尚可包括緩衝機構、撕覆膜機構、循邊定位機構及全罩式高濾清單元等等(圖中未示),在此不予贅述。
請參閱第6圖為本發明具有壓力感測器的滾輪之系統流程示意圖,本發明系統流程圖係首先量測軸向壓力分布,此為步驟101。如第3圖所示中央處的壓力軸向線。因為該滾輪20上的壓力感測器10(壓力感測單元12)會偵測該滾輪20的軸向壓力分布,因此,步驟103用以判斷壓力分布是否合於範畴內,例如壓力分布是否在10%以下。如果不在範畴內,則進入步驟105,依據所發生的問題,例如薄膜基板30的張力、前後端滾輪20的速度、塵粒、薄膜位置、薄膜鬆緊度等等,調整薄膜基板的張力、調整前後端滾輪的速度或間距、調整薄膜基板位置、調整薄膜基板鬆緊度或清除塵粒等。接著,檢查是否已符合範畴內,如果是,則結束流程並重新啟動步驟101。其中滾輪20的間距調整可包括放捲滾輪、中間滾輪與收捲滾輪等的間距調整。
請參閱第7圖為本發明具有壓力感測器的滾輪之控制示意圖,當該滾輪20上的壓力感測器10的壓力感測單元12受到壓力分布不均的影響,會由訊號發送器24發送訊號給控制器40的訊號接收器42,經該控制器40的微處理器44處理與判斷是例如薄膜基板30的張力、前後端滾輪20的速度、塵粒、薄膜基板位置、薄膜基板鬆緊度等因素影響壓力分布不均,再發送 控制訊號,例如調整薄膜基板30的張力、前後端滾輪20的速度、塵粒、薄膜基板位置、薄膜基板鬆緊度等,以解決壓力分布不均的問題。
在一實施例中,例如薄膜基板30的的鬆緊度或滾輪20速度產生問題,藉由調整滾輪20的間距(距離),或調整滾輪20速度改善。
在一實施例中,薄膜基板30的張力不均、薄膜基板位置不正確、塵粒等則需停機調整改善之。
請參閱第8圖為本發明具有壓力感測器的滾輪之滾輪機構調整示意圖,本實施例之滾輪機構調整為一示範例,本發明精神不限於此一滾輪機構的結構,亦可能為其它滾輪機構,本示範例為參考說明用。
該滾輪機構60包括有一放捲滾輪62、一中間滾輪64及一收捲滾輪66,該壓力感測器10附著在該中間滾輪64上。而該薄膜基板30則由該放捲滾輪62釋放,經該中間滾輪64後,由該收捲滾輪66捲收。因此,當該薄膜基板30的的鬆緊度或滾輪20速度發生問題,藉由馬達68分別調整該放捲滾輪62、該收捲滾輪66的間距(距離),或調整該放捲滾輪62或該收捲滾輪66速度以調整改善該薄膜基板30的的鬆緊度或滾輪速度的問題。馬達68係分別由控制器40發出的訊號控制。
請參閱第9圖為本發明捲對捲裝置之一示範實施例示意圖,本發明為捲對捲裝置70包括一架體71、一捲放單元72、多數個中間滾輪73及一收捲單元74,該捲放單元74係將一原料捲釋放的薄膜基板30經一前端雙夾滾輪721送出,該薄膜 基板30再經一第一上中間滾輪731後,再經一第一下中間滾輪732、一第二上中間滾輪733、一第二下中間滾輪734、一第三上中間滾輪735後,由一後端雙夾滾輪741送出至該收捲單元74收捲。捲對捲裝置的機構包括該捲放單元72、前端雙夾滾輪721、多數個中間滾輪73、後端雙夾滾輪741及該收捲單元74設置於該架體71上,該架體71包括一縱向架體711與一橫向架體712,其中該第一上中間滾輪731與該第二上中間滾輪733、該第三上中間滾輪735設置在該橫向架體712上,而該第一下中間滾輪732與該第二下中間滾輪734設置在該縱向架體711。其中該捲放單元72與收捲單元74可另外設置於該架體71的前後端側。而該前端雙夾滾輪721設置於該捲放單元72與該第一上中間滾輪731間,及該後端雙夾滾輪741設置於該收捲單元74與該第三上中間滾輪735間。
在一實施例中,該前端雙夾滾輪721、該第一上中間滾輪731、該第一下中間滾輪732、該第二上中間滾輪733、該第二下中間滾輪734、該第三上中間滾輪735及該後端雙夾滾輪741均可分別以馬達控制滾輪20間距或位置,以調整薄膜基板30的張力與鬆緊度。
在一示範實施例中,本發明可依據需要,在該前端雙夾滾輪721、該第一上中間滾輪731、該第一下中間滾輪732、該第二上中間滾輪733、該第二下中間滾輪734、該第三上中間滾輪735及該後端雙夾滾輪741的任一或全部或部分滾輪20上設置該壓力感測器10,以隨時能即時感測滾輪20上的薄膜基板30是否有異常。
綜上所述,本發明於滾輪上設置壓力感測器包括例如片狀壓力感測單元陣列,以感測該薄膜基板上的壓力分布是否均勻,以達到提升薄膜基板的傳輸效率,且持續性地監控與感測薄膜基板的傳送過程。同時,該薄膜基板在該滾輪上移動時,可偵測該薄膜基板的電壓分布而得知壓力分布,如此電壓信號傳送至該控制器,以控制該馬達調整該滾輪,使該薄膜基板傳動均勻。而且知悉該滾輪壓力,可調整各生產線的滾輪,使生產平順,精確及快速。

Claims (17)

  1. 一種具有壓力感測器的滾輪,包括:一壓力感測器附著在一滾輪上;及其中該壓力感測器包括多數個壓力感測單元分布於一薄層元件,且該壓力感測單元彼此電性連接但不接觸。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之具有壓力感測器的滾輪,其中該薄層元件包括一上下薄層中間設置多數個壓力感測單元陣列,該壓力感測器為一可撓式的壓力感測器或一即時壓力感測器。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之具有壓力感測器的滾輪,其中該壓力感測單元包括一方形、長方形片狀、條狀或不規則形狀排列。
  4. 如申請專利範圍第1項所述之具有壓力感測器的滾輪,其中該壓力感測器附著在該滾輪的表面上,或設置在該滾輪內,或附著在該滾輪內壁上。
  5. 如申請專利範圍第1項所述之具有壓力感測器的滾輪,其中該滾輪為一中空結構,或非中空結構。
  6. 如申請專利範圍第1項所述之具有壓力感測器的滾輪,其中該壓力感測器的多數個壓力感測單元係陣列式地排列,彼此以一金屬線電性連接,並於該壓力感測器的一端緣設有一微型IC電路與一訊號發射器。
  7. 如申請專利範圍第1項所述之具有壓力感測器的滾輪,其中該壓力感測單元為一薄層的振動膜,該振動膜包括一壓電片附著在一金屬薄片上,該壓電片可包括多層壓電陶瓷片,並 提供一交替變化的電壓予該金屬薄片,則振動膜會隨著電壓的變化產生上下彎曲。
  8. 如申請專利範圍第7項所述之具有壓力感測器的滾輪,其中該振動膜為一壓電式感測器、壓阻式壓力感測器或一電容式壓力感測器。
  9. 一種捲對捲裝置,至少包括:一滾輪機構,包括有一放捲滾輪、一第一中間滾輪、一第二中間滾輪、一第三中間滾輪及一收捲滾輪;及一壓力感測器,係分別設置於該第一中間滾輪、該第二中間滾輪及該第三中間滾輪上。
  10. 如申請專利範圍第9項所述之捲對捲裝置,其中該壓力感測器包括多數個壓力感測單元分布於一薄層元件,且該壓力感測單元彼此電性連接但不接觸,該壓力感測器為一可撓式的壓力感測器或一即時壓力感測器。
  11. 如申請專利範圍第10項所述之捲對捲裝置,其中該薄層元件包括一上下薄層中間設置多數個壓力感測單元陣列。
  12. 如申請專利範圍第9項所述之捲對捲裝置,其中該壓力感測單元包括一方形、長方形片狀或條狀。
  13. 如申請專利範圍第9項所述之捲對捲裝置,其中該壓力感測器附著在該第一中間滾輪、該第二中間滾輪及該第三中間滾輪的表面上,或設置在該第一中間滾輪、該第二中間滾輪及該第三中間滾輪內,或附著在該第一中間滾輪、該第二中間滾輪及該第三中間滾輪內壁上。
  14. 如申請專利範圍第9項所述之捲對捲裝置,其中該壓力感測器的多數個壓力感測單元係陣列式地排列,彼此以一金屬線電性連接,並於該壓力感測器的一端緣設有一微型IC電路與一訊號發射器。
  15. 一種捲對捲裝置,包括:至少一滾輪機構,包括有一放捲滾輪、一中間滾輪及一收捲滾輪,該壓力感測器附著在該中間滾輪上。
  16. 一種捲對捲裝置,包括:一架體,包括一縱向架體與一橫向架體;一捲放單元;多數個中間滾輪,包括一第一上中間滾輪、一第一下中間滾輪、一第二上中間滾輪、一第二下中間滾輪、一第三上中間滾輪;一收捲單元;及其中該捲放單元、前端雙夾滾輪、多數個中間滾輪、後端雙夾滾輪及該收捲單元設置於該架體上,該第一上中間滾輪與該第二上中間滾輪、該第三上中間滾輪設置在該橫向架體上,而該第一下中間滾輪與該第二下中間滾輪設置在該縱向架體;其中該捲放單元與收捲單元設置於該架體的前後端側,而該前端雙夾滾輪設置於該捲放單元與該第一上中間滾輪間,及該後端雙夾滾輪設置於該收捲單元與該第三上中間滾輪間;其中該捲放單元係將一原料捲釋放的一薄膜基板經一前端雙夾滾輪送出,該薄膜基板再經該第一上中間滾輪後,及經 該第一下中間滾輪、該第二上中間滾輪、該第二下中間滾輪、該第三上中間滾輪後,由該後端雙夾滾輪送出至該收捲單元收捲。
  17. 如申請專利範圍第16項所述之捲對捲裝置,其中該前端雙夾滾輪、該第一上中間滾輪、該第一下中間滾輪、該第二上中間滾輪、該第二下中間滾輪、該第三上中間滾輪及該後端雙夾滾輪均分別以馬達控制滾輪間距或位置,以調整薄膜基板的張力與鬆緊度。
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