TWI615189B - 壓力檢測裝置、過濾器監控系統、檢測過濾器之過濾效能之方法以及檢測是否可拆卸過濾器之方法 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種壓力檢測裝置，包括基座、第一壓力感測器以及第二壓力感測器。基座具有第一連通管以及第二連通管，第一壓力感測器設置於第一連通管內，用以量測第一連通管的壓力以得到第一壓力值，第二壓力感測器設置於第二連通管內，用以量測第二連通管的壓力以得到第二壓力值，其中第一連通管之兩端係分別用以連接流體暫存容器與流體輸入管，第二連通管之兩端係分別用以連接流體暫存容器與流體輸出管。

Description

壓力檢測裝置、過濾器監控系統、檢測過濾器之過濾效能之方法以及檢測是否可拆卸過濾器之方法

本發明係關於一種壓力檢測裝置，尤指一種應用在流體輸送管線與過濾器之間的壓力檢測裝置，以及包含前述壓力檢測裝置的過濾器監控系統，與相關的過濾器效能檢測方法以及檢測是否可拆卸過濾器之方法。

在一般的生產、製程流程中，流體原料、清洗劑以及其他用於生產與製程的流體通常會透過管線來輸送至各設備以進行製程，甚至會利用自動化的輸送來提高生產效率。以半導體製程為例，大多數的製程必須使用特殊的流體，如光阻液、顯影液、蝕刻劑、去離子水等，而在輸送的過程中，流體通常會各自經過流體暫存容器，例如過濾器，以確保流體的潔淨度。

隨著現今科技的發展，大多數的產品（如電子產品、電子元件）的尺寸持續微縮，因此，各設備的任何問題或是極微小之缺陷都可能會影響產品品質，例如當過濾器效能降低時，便會影響到流體的純淨度，進而導致製程缺陷之發生。傳統的維護方式是定期更換或檢查設備，但此方式並無法即時掌握設備效能的狀況，也無法排除突發問題。此外，當進行設備維護或是更換裝置時，須將流體輸送的管線與設備分離，然而，由於流體的輸送需利用壓力推進，因此，於設備中或是管線中之流體會具有殘壓，使得維護人員在進行流體輸送的管線與設備分離時，常會有流體噴濺的意外發生，故如何提升維護過程的安全性也是現今業界欲解決的問題之一。

本發明之目的之一在於提供一種壓力檢測裝置，其透過壓力感測器的量測而得知流體輸送管線的壓力值，並將其應用於過濾器監控系統以及檢測過濾器之過濾效能之方法，以監控過濾器之效能，更將其應用於檢測是否可拆卸過濾器之方法，以提升維護過濾器之過程的安全性。

本發明之一實施例提供一種壓力檢測裝置，包括基座、第一壓力感測器以及第二壓力感測器。基座具有第一連通管以及第二連通管，第一壓力感測器設置於第一連通管內，用以量測第一連通管的壓力以得到第一壓力值，第二壓力感測器設置於第二連通管內，用以量測第二連通管的壓力以得到第二壓力值，其中第一連通管之兩端係分別用以連接流體暫存容器與流體輸入管，第二連通管之兩端係分別用以連接流體暫存容器與流體輸出管。

本發明之另一實施例提供一種過濾器監控系統，包括過濾器、流體輸入管（fluid inlet）、流體輸出管（fluid outlet）以及壓力檢測裝置。過濾器包括容器部（container）以及固定部，容器部具有開口，固定部設置於容器部之開口上，且與容器部接觸並覆蓋開口。流體輸入管以及流體輸出管設置於固定部上，且流體輸入管與流體輸出管分別連通於容器部之開口，其中流體輸入管係用來輸送流體至過濾器，而流體輸出管係用來將流體輸送出過濾器。壓力檢測裝置設置於固定部上，且壓力檢測裝置包括第一壓力感測器以及第二壓力感測器，第一壓力感測器用以量測流體輸入管的壓力以得到第一壓力值，第二壓力感測器用以量測流體輸出管的壓力以得到第二壓力值。

本發明之另一實施例提供一種檢測過濾器之過濾效能之方法，包括下列步驟。提供上述之過濾器監控系統，利用過濾器監控系統之第一壓力感測器量測第一壓力值，利用過濾器監控系統之第二壓力感測器量測第二壓力值，並根據第一壓力值以及第二壓力值判斷過濾器監控系統之過濾器之過濾效能是否正常。

本發明之另一實施例提供一種檢驗是否可拆卸過濾器之方法，包括下列步驟。提供上述之過濾器監控系統，且過濾器監控系統另包括流體排出管，設於固定部上，過濾器監控系統之壓力檢測裝置另包括第三壓力感測器，用以量測流體排出管的壓力以得到第三壓力值，其中流體排出管係用來將流體輸送出過濾器。接著，停止經由過濾器監控系統之流體輸入管輸送流體至過濾器，並根據第一壓力值、第二壓力值以及第三壓力值判斷是否可拆卸過濾器，當第一壓力值、第二壓力值以及第三壓力值相對於環境壓力之壓力差皆為0時，可以拆卸過濾器，而當第一壓力值、第二壓力值以及第三壓力值相對於環境壓力之壓力差不為0時，則利用流體排出管排除流體直到將殘壓排除，再拆卸過濾器。

本發明之壓力檢測裝置由於包括壓力感測器，因此可透過壓力感測器的量測而得知與流體暫存容器連通之流體輸送管線的壓力值。同樣的，本發明之過濾器監控系統由於包括壓力感測器，因此，可藉由壓力感測器而了解與過濾器相連之流體輸送管線的壓力值，並透過本發明之檢測過濾器之過濾效能之方法，利用壓力感測器所量測之壓力值以監控過濾器之過濾效能，另外，透過本發明之檢測是否可拆卸過濾器之方法，利用壓力感測器所量測之壓力值以確認流體是否具有殘壓，進而確認是否可拆卸過濾器，以提升維護過濾器之過程的安全性。

為使熟悉本發明所屬技術領域之一般技藝者能更進一步了解本發明，下文特列舉本發明之較佳實施例，並配合所附圖式，詳細說明本發明的構成內容及所欲達成之功效。

請參考第1圖，第1圖繪示本發明之壓力檢測裝置一實施例之立體示意圖。如第1圖所示，本實施例之壓力檢測裝置100包括基座110、第一壓力感測器PD1以及第二壓力感測器PD2。其中，基座110具有第一連通管112以及第二連通管114，可選擇性的，基座110可另具有第三連通管116，而第一連通管112、第二連通管114以及第三連通管116係分別用以連接一流體暫存容器與一流體輸送管線，舉例而言，第一連通管112之兩端可分別用以一連接流體暫存容器與一流體輸入管（fluid inlet），第二連通管114之兩端可分別用以連接該流體暫存容器與一流體輸出管（fluid outlet），而第三連通管116之兩端可分別用以連接該流體暫存容器與一流體排出（vent）管，但不以此為限，須說明的是，上述之流體輸入管係用來輸送流體至流體暫存容器，流體輸出管與流體排出管係用來將流體輸送出流體暫存容器。在本實施例中，第一壓力感測器PD1設置於第一連通管112內，用以量測第一連通管112內的壓力以得到第一壓力值，第二壓力感測器PD2設置於第二連通管114內，用以量測第二連通管114內的壓力以得到第二壓力值，可選擇性的，本實施例之壓力檢測裝置100可另包括第三壓力感測器PD3，而第三壓力感測器PD3設置於第三連通管116內，用以量測第三連通管116的壓力以得到第三壓力值，換句話說，第一壓力感測器PD1、第二壓力感測器PD2以及第三壓力感測器PD3可分別量測到與第一連通管112、第二連通管114以及第三連通管116所連接之流體輸送管線之壓力。

在本實施例中，壓力檢測裝置100之基座110之材料可為鐵氟龍（Teflon），以避免所輸送之流體破壞基座110，但不以此為限。另外，由於第一壓力感測器PD1、第二壓力感測器PD2以及第三壓力感測器PD3分別設置於第一連通管112、第二連通管114以及第三連通管116內，因此，壓力感測器在尺寸的選擇上必須小於連通管的管徑。除此之外，在本實施例中，流體暫存容器可為過濾器，例如半導體製程中的化學過濾器，用以過濾流體（例如化學藥劑），提升流體的潔淨度與品質，但不以此為限。

請參考第2圖，第2圖繪示本發明過濾器監控系統之一實施例之示意圖。如第2圖所示，本實施例之過濾器監控系統200包括過濾器210、流體輸入管222、流體輸出管224以及壓力檢測裝置100，以下將依序介紹上述元件之結構以及彼此之相對設置關係。過濾器210包括容器部（container）212以及固定部214，容器部212具有開口212a，使流體可以輸入與輸出過濾器210之容器部212，可選擇性的，可於容器部212之開口212a上設置複數個連接孔，而各連接孔可分別與不同之流體輸送管線對應連通；而固定部214設置於容器部212之開口212a上，且與容器部212接觸並覆蓋開口212a，用以固定容器部212，須說明的是，容器部212與固定部214並非一體成形，而是可互相分離，以利於容器部212的更換。流體輸入管222以及流體輸出管224設置於固定部214上，且流體輸入管222與流體輸出管224分別連通於過濾器210之容器部212之開口212a，其中流體輸入管222係用來輸送流體至過濾器210，而流體輸出管224係用來將流體輸送出過濾器210。本實施例之過濾器監控系統200可另包括流體排出管226，設置於固定部214上，且流體排出管226連通於過濾器210之容器部212之開口212a，其中流體排出管226係用來將流體輸送出過濾器210。壓力檢測裝置100設置於固定部214上，且壓力檢測裝置100包括第一壓力感測器PD1以及第二壓力感測器PD2，第一壓力感測器PD1用以量測流體輸入管222中流體的壓力以得到第一壓力值，第二壓力感測器PD2用以量測流體輸出管224中流體的壓力以得到第二壓力值，另外，壓力檢測裝置100也可如第1圖所示之壓力檢測裝置100，包括基座110、第一壓力感測器PD1以及第二壓力感測器PD2，而基座110設置於過濾器210與流體輸入管222和流體輸出管224之間，並具有第一連通管112以及第二連通管114，不再贅述。此外，可選擇性的，壓力檢測裝置100可另包括第三壓力感測器PD3，用以量測流體排出管226中流體的壓力以得到第三壓力值，同樣的，基座110也可另具有第三連通管116，不再贅述。因此，當第1圖所示之壓力檢測裝置100應用於本發明過濾器監控系統200中時，第一連通管112之兩端係分別與過濾器210和流體輸入管222相接，第二連通管114之兩端分別與過濾器210與流體輸出管224相接，第三連通管116之兩端分別與過濾器210與流體排出管226相接，藉此，第一、第二及第三壓力檢測器PD1、PD2、PD3可分別量測得到流體輸入管222、流體輸出管224及流體排出管226中的壓力值。

請參考第3圖，第3圖繪示本發明之流體輸送之流程圖。如第3圖所示，於製程中，如流體原料等流體會由流體供應端所供應（步驟FT1），並可藉由加壓幫浦將流體加壓輸送，再透過流體輸入管222輸送至過濾器210（步驟FT2、FT3），也就是說，流體會藉由加壓幫浦所提供之壓力，依序通過流體輸入管222以及第一連通管112而到達過濾器210。接著，過濾器210會將所通過之流體過濾（步驟FT4），使得提升流體品質。最後，從過濾器210中輸出之流體會透過流體輸出管224而輸送至使用端（步驟FT5、FT6），使得高品質的流體被後續製程所使用。另外，由於流體在輸送的過程中，可能會由於流體本身的性質、高溫或輸送時的壓力差等狀況而產生微泡沫，進而影響流體之流量以及使用端的製程使用，因此，可利用流體排出管226將具有微泡沫之流體輸送至另一流體收集處，以減少微泡沫對於使用端之影響。另須說明的是，在流體於流體輸入管222中處於固定流量的狀況下，當流體通過過濾器210時，會造成流體的壓力產生特定的改變，因此，流體輸入管222中之流體壓力與流體輸出管224中之流體壓力會產生特定的壓差，亦即第一壓力值與第二壓力值會有特定的壓力差，相對的，當過濾器210產生阻塞或是損壞時，過濾效能則會減弱，壓差因而產生偏移。

請再參考第2圖，並同時參考第1圖，如第1圖至第2圖所示，本實施例之壓力檢測裝置100可另包括訊號輸出單元120，設置於基座110上，而訊號輸出單元120電性連接於第一壓力感測器PD1、第二壓力感測器PD2以及第三壓力感測器PD3，並且，本實施例之過濾器監控系統200可另包括訊號傳輸線CL，電性連接於訊號輸出單元120，因此第一壓力感測器PD1、第二壓力感測器PD2以及第三壓力感測器PD3所測得的第一壓力值、第二壓力值以及第三壓力值可藉由訊號輸出單元120輸出，並透過訊號傳輸線CL傳輸至過濾器監控系統200的一監控裝置230，舉例而言，監控裝置230可包括監控單元232，例如錯誤偵測與判斷（Fault detection and classification, FDC）單元，用以監控第一壓力值、第二壓力值以及第三壓力值之變化，但不以此為限。此外，訊號輸出單元120也可透過訊號傳輸線CL與使用端之製程設備240電性連接，使得訊號輸出單元120可將訊號直接傳遞至使用端之製程設備240。在本實施例中，監控裝置230也可透過另一訊號傳輸線與使用端之製程設備240電性連接，當監測發現第一壓力值與第二壓力值或第三壓力值的壓差改變時，可即時連動至製程設備240，例如暫停製程設備240之製程。另外，本實施例之過濾器監控系統200可另包括顯示器234，電性連接於監控裝置230或包含於監控裝置230，用以持續顯示各壓力值。在變化實施例中，顯示器234也可直接設置在壓力檢測裝置100上，例如設置在基座110上。

除此之外，由於在流體供應端所提供之流體流量可能會因為各種因素產生不可預期的流量變化，而流體之流量大小會直接影響流體流經過濾器210所造成之壓力差，因此，本發明過濾器監控系統200可選擇性地另包括流量計設置於流體輸入管222端，用以量測流體輸入管222所輸送之流體流量，以得到流體流量值，並將流體流量值傳送至監控裝置230，以同時監控流體之壓力與流量之變化，進而更精確的監控過濾器210之過濾效能。

請參考第4圖，並同時參考第2圖及第3圖，第4圖繪示本發明檢測過濾器之過濾效能的方法流程圖。如第2圖與第4圖所示，本實施例之檢測過濾器210之過濾效能之方法包括下列步驟。首先，進行步驟410，提供如第2圖所述的過濾器監控系統200，並進行如第3圖所示之流體輸送，接著，進行步驟420，利用第一壓力感測器PD1量測流體輸入管222中之流體壓力而得到第一壓力值，利用第二壓力感測器PD2量測流體輸出管224中之流體壓力而得到第二壓力值，再進行步驟440，根據第一壓力值以及第二壓力值判斷過濾器210之過濾效能是否正常，其判斷方式可透過壓力檢測裝置100自動判定或是由現場人員依據顯示器234進行判定。另外，壓力檢測裝置100也可將第一壓力值、第二壓力值傳送至監控裝置230（如步驟430），以進行自動判定。判斷過濾器監控系統200之過濾器210之過濾效能是否正常係根據第一壓力值與第二壓力值之壓力差來進行判斷，也就是說，當第一壓力值與第二壓力值之壓力差大於或小於某一預設值範圍時，即表示過濾器210之過濾效能發生變異，需進行步驟450，立即停止輸送流體給使用端之製程設備240以停止製程，並進行過濾器210之維修。此外，當第一壓力值與第二壓力值之壓力差大於或小於某一預設值範圍時，可透過監控裝置230或壓力檢測裝置100自動進行步驟450，並可進一步發出警報，甚至自動停止流體輸送與使用端之製程設備240，以避免未潔淨化之流體影響使用端之製程而使得產品良率降低，另一方面，監控裝置230除了自動判定之外，還可進一步進行壓力值的長時間監控，以分析過濾器210之使用狀況，並計算過濾器210之壽命，而提升維護效果。

另外，在本實施例中，由於第三壓力感測器PD3可量測流體排出管226中的流體壓力而得到第三壓力值，因此，不只可利用第一壓力值與第二壓力值之壓力差作為過濾器210效能之判斷依據，也可利用第一壓力值與第三壓力值之壓力差作為過濾器210效能之判斷依據。

請參考第5圖，並同時參考第2圖，第5圖繪示本發明檢驗是否可拆卸過濾器的方法流程圖。如第2圖與第5圖所示，本實施例檢驗是否可拆卸過濾器210之方法包括下列步驟：首先，進行步驟510，提供如第2圖所示之過濾器監控系統200，並停止流體輸送，接著進行步驟520，利用第一壓力感測器PD1、第二壓力感測器PD2與第三壓力感測器PD3分別量測流體輸入管222、流體輸出管224與流體排出管226之流體壓力而得到第一壓力值、第二壓力值與第三壓力值，再進行步驟540，根據第一壓力值、第二壓力值以及第三壓力值判斷是否可拆卸過濾器監控系統200之過濾器210，其中判斷是否可拆卸過濾器監控系統200之過濾器210可透過壓力檢測裝置100自動判定或是由現場人員依據顯示器234進行判定。另外，壓力檢測裝置100也可將第一壓力值、第二壓力值以及第三壓力值傳送至監控裝置230（如步驟530），以進行自動判定，或是由現場人員依據顯示器234進行判定。

具體而言，若於可拆卸過濾器210之狀況下，流體輸送管線中的流體不具有殘壓，因此，第一壓力值、第二壓力值以及第三壓力值皆約為一特定的數值，例如第一壓力值、第二壓力值以及第三壓力值相對於環境壓力之壓力差係為0帕斯卡（Pa），故在此狀況下，可以進行步驟550，安全的拆卸過濾器210並進行維護。另一方面，當流體輸送管線中的流體具有殘壓時，例如第一壓力值、第二壓力值以及第三壓力值的其中之一相對於環境壓力之壓力差不為0帕斯卡，即判斷為不可拆卸過濾器210，則需進行步驟560，可利用流體排出管226排除流體直到將殘壓排除，但排除流體殘壓之方法不以此為限。本實施例之過濾器監控系統200之流體排出管226可具有閥門，而當判斷為不可拆卸過濾器210時，可將閥門開啟，使得第一壓力值、第二壓力值以及第三壓力值可透過流體排出管226而受到調整，當調整至流體不具有殘壓時，再進行步驟550，安全的拆卸過濾器210並進行維護。

綜上所述，本發明之壓力檢測裝置由於包括壓力感測器，因此可透過壓力感測器的量測而得知與流體暫存容器連通之流體輸送管線的壓力值。同樣的，本發明之過濾器監控系統由於包括壓力感測器，因此，可藉由壓力感測器而了解與過濾器相連之流體輸送管線的壓力值，並透過本發明之檢測過濾器之過濾效能之方法，利用壓力感測器所量測之壓力值以監控過濾器之過濾效能，另外，透過本發明之檢測是否可拆卸過濾器之方法，利用壓力感測器所量測之壓力值以確認流體是否具有殘壓，進而確認是否可拆卸過濾器，以提升維護過濾器之過程的安全性。 以上所述僅為本發明之較佳實施例，凡依本發明申請專利範圍所做之均等變化與修飾，皆應屬本發明之涵蓋範圍。

100‧‧‧壓力檢測裝置
110‧‧‧基座
112‧‧‧第一連通管
114‧‧‧第二連通管
116‧‧‧第三連通管
120‧‧‧訊號輸出單元
200‧‧‧過濾器監控系統
210‧‧‧過濾器
212‧‧‧容器部
212a‧‧‧開口
214‧‧‧固定部
222‧‧‧流體輸入管
224‧‧‧流體輸出管
226‧‧‧流體排出管
230‧‧‧監控裝置
232‧‧‧監控單元
234‧‧‧顯示器
240‧‧‧使用端之製程設備
410～450、510～560、FT1～FT6‧‧‧步驟
CL‧‧‧訊號傳輸線
PD1‧‧‧第一壓力感測器
PD2‧‧‧第二壓力感測器
PD3‧‧‧第三壓力感測器

第1圖繪示本發明之壓力檢測裝置一實施例之立體示意圖。 第2圖繪示本發明之過濾器監控系統一實施例之示意圖。 第3圖繪示本發明之流體輸送之流程圖。 第4圖繪示本發明之檢測過濾器之過濾效能的方法流程圖。 第5圖繪示本發明之檢驗是否可拆卸過濾器的方法流程圖。

100‧‧‧壓力檢測裝置

110‧‧‧基座

112‧‧‧第一連通管

114‧‧‧第二連通管

116‧‧‧第三連通管

120‧‧‧訊號輸出單元

200‧‧‧過濾器監控系統

210‧‧‧過濾器

212‧‧‧容器部

212a‧‧‧開口

214‧‧‧固定部

222‧‧‧流體輸入管

224‧‧‧流體輸出管

226‧‧‧流體排出管

230‧‧‧監控裝置

232‧‧‧監控單元

234‧‧‧顯示器

240‧‧‧使用端之製程設備

CL‧‧‧訊號傳輸線

PD1‧‧‧第一壓力感測器

PD2‧‧‧第二壓力感測器

PD3‧‧‧第三壓力感測器

Claims (15)

1. 一種壓力檢測裝置，包括： 一基座，該基座具有一第一連通管以及一第二連通管； 一第一壓力感測器，設置於該第一連通管內，用以量測該第一連通管的壓力以得到一第一壓力值；以及 一第二壓力感測器，設置於該第二連通管內，用以量測該第二連通管的壓力以得到一第二壓力值； 其中該第一連通管之兩端係分別用以連接一流體暫存容器與一流體輸入管，該第二連通管之兩端係分別用以連接該流體暫存容器與一流體輸出管。
2. 如請求項1所述之壓力檢測裝置，其中該基座另具有一第三連通管，該壓力檢測裝置另包括一第三壓力感測器，該第三連通管之兩端係分別用以連接該流體暫存容器與一流體排出管，且該第三壓力感測器設置於該第三連通管內，並用以量測該第三連通管的壓力以得到一第三壓力值。
3. 如請求項1所述之壓力檢測裝置，其另包括一訊號輸出單元，設置於該基座上，該訊號輸出單元電性連接於該第一壓力感測器以及該第二壓力感測器，並用以傳輸該第一壓力值以及該第二壓力值至一監控裝置。
4. 如請求項1所述之壓力檢測裝置，其中該流體暫存容器係為一過濾器（filter）。
5. 一種過濾器監控系統，包括： 一過濾器，其包括： 一容器部（container），該容器部具有一開口；以及 一固定部，設置於該容器部之該開口上，該固定部與該容器部接觸並覆蓋該開口； 一流體輸入管（fluid inlet）與一流體輸出管（fluid outlet），設置於該固定部上，且該流體輸入管與該流體輸出管分別連通於該開口，其中該流體輸入管係用來輸送流體至該過濾器，而該流體輸出管係用來將流體輸送出該過濾器；以及 一壓力檢測裝置，設置於該固定部上，且該壓力檢測裝置包括： 一第一壓力感測器，用以量測該流體輸入管的壓力以得到一第一壓力值；以及 一第二壓力感測器，用以量測該流體輸出管的壓力以得到一第二壓力值。
6. 如請求項5所述之過濾器監控系統，其中該壓力檢測裝置另包括一基座設置於該過濾器與該流體輸入管之間以及該過濾器與該流體輸出管之間，該基座具有一第一連通管以及一第二連通管，該第一連通管之兩端係分別用以連接該過濾器與該流體輸入管，該第二連通管之兩端係分別用以連接該過濾器與該流體輸出管。
7. 如請求項6所述之過濾器監控系統，其另包含一流體排出（vent）管，設置於該固定部上，且該流體排出管連通於該開口，而該壓力檢測裝置另包括一第三壓力感測器，用以量測該流體排出管內的壓力，而該基座另具有一第三連通管，該第三連通管之兩端係分別用以連接該過濾器與該流體排出管。
8. 如請求項5所述之過濾器監控系統，其另包括一訊號傳輸線，電性連接於該第一壓力感測器以及該第二壓力感測器，該壓力檢測裝置可透過該訊號傳輸線將該第一壓力值與該第二壓力值傳送至一監控裝置，用以監控該第一壓力值與該第二壓力值之變化。
9. 一種檢測過濾器之過濾效能之方法，包括： 提供如請求項5所述的一過濾器監控系統； 利用該過濾器監控系統之該第一壓力感測器量測該第一壓力值； 利用該過濾器監控系統之該第二壓力感測器量測該第二壓力值；以及 根據該第一壓力值以及該第二壓力值判斷該過濾器監控系統之該過濾器之過濾效能是否正常。
10. 如請求項9所述之檢測過濾器之過濾效能之方法，其中判斷該過濾器之過濾效能是否正常係根據該第一壓力值與該第二壓力值之壓力差來進行判斷。
11. 如請求項9所述之檢測過濾器之過濾效能之方法，其中該過濾器監控系統另包括一流體排出管，設置於該過濾器之該固定部上，且該流體排出管連通於該過濾器之該開口，而該過濾器監控系統之該壓力檢測裝置另包括一第三壓力感測器，用以量測該流體排出管內的壓力以得到一第三壓力值。
12. 如請求項11所述之檢測過濾器之過濾效能之方法，其中判斷該過濾器監控系統之該過濾器之過濾效能是否正常另包括根據該第一壓力值與該第三壓力值之壓力差來進行判斷。
13. 如請求項9所述之檢測過濾器之過濾效能之方法，其中該過濾器監控系統另包括一訊號傳輸線，電性連接於該第一壓力感測器以及該第二壓力感測器，該過濾器監控系統之該壓力檢測裝置透過該訊號傳輸線將該第一壓力值與該第二壓力值傳送至一監控裝置，用以監控該第一壓力值與該第二壓力值之變化。
14. 如請求項13所述之檢測過濾器之過濾效能之方法，其中當該第一壓力值與該第二壓力值之壓力差大於或小於某一預設值範圍時，該監控裝置發出一警報。
15. 一種檢驗是否可拆卸過濾器之方法，包括： 提供如請求項5所述的一過濾器監控系統，且該過濾器監控系統另包括一流體排出管設於該固定部上，該過濾器監控系統之該壓力檢測裝置另包括一第三壓力感測器，用以量測該流體排出管的壓力以得到一第三壓力值，其中該流體排出管係用來將流體輸送出該過濾器； 停止經由該過濾器監控系統之該流體輸入管輸送流體至該過濾器；以及 根據該第一壓力值、該第二壓力值以及該第三壓力值判斷是否可拆卸該過濾器，當該第一壓力值、該第二壓力值以及該第三壓力值相對於環境壓力之壓力差皆為0時，可以拆卸該過濾器，而當該第一壓力值、該第二壓力值以及該第三壓力值相對於環境壓力之壓力差不為0時，則利用該流體排出管排除流體直到將殘壓排除，再拆卸該過濾器。