TWI599629B - 去除聚醯亞胺之組成物、其用途及使用該組成物去除聚醯亞胺之方法 - Google Patents

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Description

去除聚醯亞胺之組成物、其用途及使用該組成物去除聚醯亞胺之方法
本揭露係關於一種去除聚醯亞胺之組成物、其用途及使用該組成物去除聚醯亞胺之方法，尤指一種包含有機鹼及非質子溶劑之去除聚醯亞胺之組成物、其用途及使用該組成物去除聚醯亞胺之方法。
於光電產業的製程上，特別是於液晶顯示器(LCD)的製程上，多使用凸板印刷形成聚醯亞胺層。當凸板印刷所使用的凸板(APR板)使用完畢後，一般是使用N-甲基□咯酮(1-Methyl-2-pyrrolidone, NMP)來清洗APR板，以去除APR板上多餘的聚醯亞胺。
然而，近年來，NMP已被歐洲視為高度關注物質(Substance of Very High Concern)，為一對環境、人體毒性較大且風險高的物質。此外，NMP之清洗效果也不如預期。因此，光電產業廠商，特別是LCD製造商，紛紛尋求一可取代或減量使用NMP的聚醯亞胺清洗劑，除了可避免對環境、人體造成危害外，更可提升聚醯亞胺的去除效率及去除效果。
有鑑於此，目前極需發展一種新穎的去除聚醯亞胺之組成物，其除了避免或減量使用對環境及人體造成危害的NMP外，更可提升聚醯亞胺的去除效率及去除效果。
本揭露之主要目的係在提供一種去除聚醯亞胺之組成物、其用途及使用該組成物去除聚醯亞胺之方法，其可於低溫下快速的去除基材上的聚醯亞胺(polyimide, PI)。
本揭露所提供的去除聚醯亞胺之組成物，包括：0.1~40重量百分比之有機鹼；以及5~95重量百分比之非質子溶劑。
此外，本揭露更提供前述組成物之用途，其係用於去除一基材上的聚醯亞胺。
再者，本揭露更提供使用前述組成物去除基材上的聚醯亞胺之方法，包括下列步驟：提供前述組成物以及一基材，其中基材上附著有聚醯亞胺；使用前述組成物清洗該基材以去除該基材上的聚醯亞胺；以及乾燥該基材。
本揭露所提供的組成物係包括有機鹼、非質子溶劑，其可有效的清除各種基材(如：印刷電路板、凸板(APR板)、或其他裝置)上多餘的聚醯亞胺；特別是，本揭露所提供的組成物可適用於使用聚醯亞胺的製程(特別是，於LCD面板生產製程)中，以在較低的溫度下，快速且有效的去除基材上多餘的聚醯亞胺。此外，於本揭露中，有機鹼主要是作為一濕潤劑，可破壞PI鍵結，以減少聚醯亞胺的去除時間；極性非質子溶劑則為溶解剝離的聚醯亞胺，以增加清洗效率。本揭露之組成物可選擇性的還包含水，水用於溶解有機鹼。在其他實施例中，亦可選擇性添加其他添加物，例如金屬腐蝕抑制劑。
於本揭露中，聚醯亞胺為一含有醯亞胺基的有機高分子材料，其主要是由雙胺類及雙酐類反應聚合成聚醯胺酸高分子 (Polyamic acid，簡稱PAA)，之後經過亞醯胺化(Imidization) 製程而形成聚醯亞胺高分子。其中，適用於本揭露之聚醯亞胺之種類並無特殊限制，可為由經不同取代基所取代或未取代之雙胺類及雙酐類所形成的聚醯亞胺高分子。
於本揭露中，有機鹼的含量可為0.1~40重量百分比，且較佳為0.1~10重量百分比。當有機鹼的含量低於0.1重量百分比時，則清洗時間過長，而無法快速的移除基材上的聚醯亞胺。當有機鹼的含量超過40重量百分比時，因會造成非質子溶劑的使用量減少，導致無法有效的移除基材上的聚醯亞胺。
於本揭露中，非質子溶劑的含量可為5~95重量百分比，且較佳為50~90重量百分比。當非質子溶劑過低時，則無法有效的移除基材上的聚醯亞胺。於本揭露的實施例中，有機鹼的含量低於或等於非質子溶劑的含量。
於本揭露中，有機鹼的種類並無特殊限制，可為至少一選自由氫氧化四甲基銨(Tetramethylammonium hydroxide, TMAH)、氫氧化四乙基銨(Tetraethylammonium hydroxide, TEAH)、氫氧化乙基三甲基銨(Ethyltrimethylammonium hydroxide, ETMAH)、單異丙醇胺(Monoisopropanolamine, MIPA)、乙醇胺(Ethanolamine, MEA)、甲胺(Monomethylamine, MMA)及二甘醇胺(Diglycolamine, DGA)所組成之群組。較佳為，有機鹼係TMAH、TEAH、MEA或其組合。
於本揭露中，非質子溶劑的種類並無特殊限制，可為至少一選自由二甲基甲醯胺(Dimethylformamide, DMF)、二甲基乙醯胺(Dimethylacetamide, DMAC)、二甲基亞□(Dimethyl sulfoxide, DMSO)、γ-丁□酯(Gamma-Butyrolactone, GBL)、1-乙基-2-□咯烷酮(1-Ethyl-2-pyrrolidinone, NEP)及環丁□(Sulfolane)所組成之群組。較佳為，非質子溶劑係DMSO、GBL、NEP、環丁□或其組合。
於本揭露中，所使用的溶劑可減量使用N-甲基□咯酮(1-Methyl-2-pyrrolidone, NMP)或不使用NMP。於習知移除聚醯亞胺的製程中，多使用NMP移除聚醯亞胺。然而，近年來NMP已被歐洲視為高度關注物質(Substance of Very High Concern)，為一對環境、人體毒性較大且風險高的物質；此外，單獨使用NMP之清洗效果也不如預期。於本揭露中，透過使用特殊的有機鹼及非質子溶劑，除了可減量或避免使用NMP，更可提升移除PI的清洗效率及效果。
於本揭露至少一實施態樣中，有機鹼係TMAH、TEAH、MEA或其組合，而非質子溶劑係DMSO、GBL、NEP、環丁□或其組合。較佳為，有機鹼係TMAH、TEAH或其組合，而非質子溶劑係DMSO、GBL、NEP、環丁□或其組合。於此實施態樣中，較佳為，有機鹼的含量為0.1~10重量百分比，而非質子溶劑的含量為50~90重量百分比。
於本揭露中，任何上方殘留有聚醯亞胺的基材，均可使用本揭露之組成物移除基材上的聚醯亞胺。較佳為，基材具有一多層結構，其中一層為黏著層。
此外，於本揭露中，組成物可無須於高溫下，而可於低溫下清洗基材。較佳為，於20~50°C的溫度下清洗基材。此外，清洗時間也無特殊限制，可低於或等於50分鐘。
以下係藉由特定的具體實施例說明本揭露之實施方式，熟習此技藝之人士可由本說明書所揭示之內容輕易地了解本揭露之其他優點與功效。本揭露亦可藉由其他不同的具體實施例加以施行或應用，本說明書中的各項細節亦可針對不同觀點與應用，在不悖離本創作之精神下進行各種修飾與變更。
實施例
本實施例提供一種去除基材上的聚醯亞胺之方法。於本實施例中，係使用本揭露之去除聚醯亞胺之組成物清洗APR板上的聚醯亞胺；然而，適用於本揭露之基材並不限於本實施例所使用的APR板。本實施例之清洗方法約略包括下列步驟。
首先，提供一APR板，其為於LCD之製程上，將配向膜材料(PI)均勻轉印於玻璃基板上之模具，其剖面結構如圖1所示。一般而言，APR板具有一多層結構，由下往上包括一PET層11 (厚度約300 μm)、一黏著層12、另一PET層13 (厚度約200 μm)、另一黏著層14及一圖案化層15 (厚度約2400 μm)；其中，圖案化層15上設有複數凸部151。然而，本揭露並不僅限於此。
於塗佈PI組成物的製程中，圖1所示之APR板大多搭配滾輪合併使用。例如，如圖2所示，將APR板21組設於印刷滾輪22上；透過一分配器25將PI組成物塗佈於一網紋滾輪24上，並透過一整平滾輪23將網紋滾輪24上的PI組成物整平。當印刷滾輪22、整平滾輪23及網紋滾輪24轉動時，APR板21上的凸部151(如圖1所示)可將網紋滾輪24凹槽□PI組成物擠壓出來並帶走；而被APR板21帶走而附著於APR板21上的PI組成物可再轉印至基板26上，以形成一PI膜261。
當完成前述以APR板21形成PI膜261之製程後，則將進行清洗APR板21的步驟。於本實施例中，先將APR板21浸泡於放置有本揭露之去除聚醯亞胺之組成物之容器中，並於一預定溫度(20~50°C)下，選擇性的使用超音波震盪，清洗APR板21；在此，清洗時間並無特殊限制，可為10分鐘至2小時，而在某些實施例中，可低於50分鐘，較佳約30-50分鐘。而後，將以去除聚醯亞胺之組成物清洗過的APR板21以清水清洗或其他方式清洗，以去除APR板21上的聚醯亞胺之組成物。最後，烘乾或以其他方式乾燥清洗後的APR板21。
測試例
於本測試例中，主要步驟係約略如下所示。
首先，先將如下式(I)所示的PI類聚合物之組成物塗佈於一玻璃或APR板上，並將試片放置於一適當溫度，以去除PI類聚合物之組成物中的溶劑；而後，再將試片切成小塊。 (I)
接著，將小塊試片浸泡於放置有本揭露之去除聚醯亞胺之組成物之容器中，清洗時搭配超音波震盪，於25°C或45°C下，清洗一段時間。而後，於室溫下使用DI水清洗小塊試片30秒；再以空氣吹乾清洗後的小塊試片。最後，以顯微鏡或肉眼觀察清洗後的小塊試片；結果係整理如下表1及2，其中○表示清洗效果良好，△表示清洗效果中等，而Ｘ表示清洗效果不佳。
其中，PI溶解評估是將上述浸泡於本揭露之去除聚醯亞胺之組成物的小塊試片的各種測試例，在45°C、5分鐘時，以肉眼觀察其溶液中是有產生懸浮液，如有懸浮顆粒，表示溶解效果不佳。
表1：APR板之清洗結果 <TABLE border="1" borderColor="#000000" width="_0008"><TBODY><tr><td> 　 </td><td> 有機鹼(wt%) </td><td> 非質子溶劑(wt%) </td><td> 水(wt%) </td><td> 45°C下清洗效果 </td><td> 25°C下清洗效果 </td><td> PI溶解評估 </td></tr><tr><td> 10分鐘 </td><td> 2分鐘 </td><td> 10分鐘 </td><td> 2分鐘 </td><td> 45°C, 5分鐘 </td></tr><tr><td> 實驗例1 </td><td> MEA </td><td> 5 </td><td> 環丁□ </td><td> 75 </td><td> 20 </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td></tr><tr><td> 實驗例2 </td><td> MEA </td><td> 5 </td><td> NEP </td><td> 75 </td><td> 20 </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td></tr><tr><td> 實驗例3 </td><td> MIPA </td><td> 5 </td><td> DMSO </td><td> 75 </td><td> 20 </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> △ </td><td> ○ </td></tr><tr><td> 實驗例4 </td><td> MIPA </td><td> 1 </td><td> NEP </td><td> 75 </td><td> 24 </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td></tr><tr><td> 實驗例5 </td><td> TMAH </td><td> 1 </td><td> DMSO </td><td> 75 </td><td> 24 </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td></tr><tr><td> 實驗例6 </td><td> TMAH </td><td> 1 </td><td> GBL </td><td> 75 </td><td> 24 </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td></tr><tr><td> 實驗例7 </td><td> TAMH </td><td> 10 </td><td> 環丁□ </td><td> 70 </td><td> 20 </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td></tr><tr><td> 實驗例8 </td><td> TEAH </td><td> 1 </td><td> GBL </td><td> 75 </td><td> 24 </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td></tr><tr><td> 實驗例9 </td><td> TEAH </td><td> 5 </td><td> DMSO </td><td> 70 </td><td> 25 </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td></tr><tr><td> 實驗例10 </td><td> TEAH </td><td> 10 </td><td> NEP </td><td> 75 </td><td> 15 </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td></tr><tr><td> 實驗例11 </td><td> MEA </td><td> 5 </td><td> DMSO </td><td> 75 </td><td> 20 </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td></tr><tr><td> 實驗例12 </td><td> MEA </td><td> 0.1 </td><td> 環丁□ </td><td> 75 </td><td> 24.9 </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td></tr><tr><td> 實驗例13 </td><td> TMAH </td><td> 10 </td><td> GBL </td><td> 85 </td><td> 5 </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td></tr><tr><td> 實驗例14 </td><td> TMAH </td><td> 15 </td><td> GBL </td><td> 80 </td><td> 5 </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td></tr><tr><td> 實驗例15 </td><td> TMAH </td><td> 30 </td><td> GBL </td><td> 65 </td><td> 5 </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td></tr><tr><td> 實驗例16 </td><td> TMAH </td><td> 40 </td><td> NMP </td><td> 40 </td><td> 20 </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td></tr><tr><td> 實驗例17 </td><td> MEA </td><td> 30 </td><td> 環丁□ </td><td> 5 </td><td> 65 </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td></tr><tr><td> 實驗例18 </td><td> TMAH </td><td> 30 </td><td> 環丁□ </td><td> 5 </td><td> 65 </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td></tr><tr><td> 實驗例19 </td><td> MEA </td><td> 1 </td><td> GBL </td><td> 95 </td><td> 4 </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> △ </td></tr><tr><td> 實驗例20 </td><td> TMAH+TEAH </td><td> 10 </td><td> GBL </td><td> 80 </td><td> 10 </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td></tr><tr><td> 實驗例21 </td><td> MEA+MIPA </td><td> 10 </td><td> GBL </td><td> 80 </td><td> 10 </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> △ </td></tr><tr><td> 比較例1 </td><td> TMAH </td><td> 1 </td><td> BDG </td><td> 75 </td><td> 24 </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> Ⅹ </td></tr><tr><td> 比較例2 </td><td> TMAH </td><td> 40 </td><td> GBL </td><td> 40 </td><td> 20 </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> Ⅹ </td></tr><tr><td> 比較例3 </td><td> - </td><td> 0 </td><td> NMP </td><td> 100 </td><td> - </td><td> ○ </td><td> Ⅹ </td><td> Ⅹ </td><td> Ⅹ </td><td> ○ </td></tr><tr><td> 比較例4 </td><td> - </td><td> 0 </td><td> GBL </td><td> 100 </td><td> - </td><td> ○ </td><td> Ⅹ </td><td> Ⅹ </td><td> Ⅹ </td><td> ○ </td></tr><tr><td> 比較例6 </td><td> TMAH </td><td> 60 </td><td> NMP </td><td> 20 </td><td> 20 </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> Ⅹ </td><td> ○ </td></tr><tr><td> 比較例7 </td><td> TMAH </td><td> 60 </td><td> 環丁□ </td><td> 20 </td><td> 20 </td><td> ○ </td><td> Ⅹ </td><td> ○ </td><td> Ⅹ </td><td> ○ </td></tr><tr><td> 比較例8 </td><td> TMAH </td><td> 60 </td><td> DMSO </td><td> 20 </td><td> 20 </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> Ⅹ </td><td> ○ </td></tr><tr><td> 比較例9 </td><td> TMAH </td><td> 60 </td><td> GBL </td><td> 20 </td><td> 20 </td><td> Ⅹ </td><td> Ⅹ </td><td> Ⅹ </td><td> Ⅹ </td><td> Ⅹ </td></tr><tr><td> 比較例10 </td><td> TMAH </td><td> 80 </td><td> GBL </td><td> 10 </td><td> 10 </td><td> Ⅹ </td><td> Ⅹ </td><td> Ⅹ </td><td> Ⅹ </td><td> Ⅹ </td></tr></TBODY></TABLE>
表2：玻璃之清洗結果 <TABLE border="1" borderColor="#000000" width="_0009"><TBODY><tr><td> 　 </td><td> 有機鹼(wt%) </td><td> 溶劑(wt%) </td><td> 水(wt%) </td><td> 45°C下清洗效果 </td><td> 25°C下清洗效果 </td><td> PI溶解評估 </td></tr><tr><td> 1分鐘 </td><td> 10秒 </td><td> 1分鐘 </td><td> 10秒 </td><td> 45°C, 5分鐘 </td></tr><tr><td> 實驗例1 </td><td> MEA </td><td> 5 </td><td> 環丁□ </td><td> 75 </td><td> 20 </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td></tr><tr><td> 實驗例2 </td><td> MEA </td><td> 5 </td><td> NEP </td><td> 75 </td><td> 20 </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td></tr><tr><td> 實驗例3 </td><td> MIPA </td><td> 5 </td><td> DMSO </td><td> 75 </td><td> 20 </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> △ </td><td> ○ </td></tr><tr><td> 實驗例4 </td><td> MIPA </td><td> 1 </td><td> NEP </td><td> 75 </td><td> 24 </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td></tr><tr><td> 實驗例5 </td><td> TMAH </td><td> 1 </td><td> DMSO </td><td> 75 </td><td> 24 </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td></tr><tr><td> 實驗例6 </td><td> TMAH </td><td> 1 </td><td> GBL </td><td> 75 </td><td> 24 </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td></tr><tr><td> 實驗例7 </td><td> TAMH </td><td> 10 </td><td> 環丁□ </td><td> 70 </td><td> 20 </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td></tr><tr><td> 實驗例8 </td><td> TEAH </td><td> 1 </td><td> GBL </td><td> 75 </td><td> 24 </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td></tr><tr><td> 實驗例9 </td><td> TEAH </td><td> 5 </td><td> DMSO </td><td> 70 </td><td> 25 </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td></tr><tr><td> 實驗例10 </td><td> TEAH </td><td> 10 </td><td> NEP </td><td> 75 </td><td> 15 </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td></tr><tr><td> 實驗例11 </td><td> MEA </td><td> 5 </td><td> DMSO </td><td> 75 </td><td> 20 </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td></tr><tr><td> 實驗例12 </td><td> MEA </td><td> 0.1 </td><td> 環丁□ </td><td> 75 </td><td> 24.9 </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td></tr><tr><td> 實驗例13 </td><td> TMAH </td><td> 10 </td><td> GBL </td><td> 85 </td><td> 5 </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td></tr><tr><td> 實驗例14 </td><td> TMAH </td><td> 15 </td><td> GBL </td><td> 80 </td><td> 5 </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td></tr><tr><td> 實驗例15 </td><td> TMAH </td><td> 30 </td><td> GBL </td><td> 65 </td><td> 5 </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td></tr><tr><td> 實驗例16 </td><td> TMAH </td><td> 40 </td><td> NMP </td><td> 40 </td><td> 20 </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td></tr><tr><td> 實驗例17 </td><td> MEA </td><td> 30 </td><td> 環丁□ </td><td> 5 </td><td> 65 </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td></tr><tr><td> 實驗例18 </td><td> TMAH </td><td> 30 </td><td> 環丁□ </td><td> 5 </td><td> 65 </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td></tr><tr><td> 實驗例19 </td><td> MEA </td><td> 1 </td><td> GBL </td><td> 95 </td><td> 4 </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td></tr><tr><td> 實驗例20 </td><td> TMAH+TEAH </td><td> 10 </td><td> GBL </td><td> 80 </td><td> 10 </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td></tr><tr><td> 實驗例21 </td><td> MEA+MIPA </td><td> 10 </td><td> GBL </td><td> 80 </td><td> 10 </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td></tr><tr><td> 比較例1 </td><td> TMAH </td><td> 1 </td><td> BDG </td><td> 75 </td><td> 24 </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> Ⅹ </td></tr><tr><td> 比較例2 </td><td> TMAH </td><td> 40 </td><td> GBL </td><td> 40 </td><td> 20 </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> ○ </td><td> Ⅹ </td></tr><tr><td> 比較例3 </td><td> - </td><td> 0 </td><td> NMP </td><td> 100 </td><td> - </td><td> ○ </td><td> Ⅹ </td><td> Ⅹ </td><td> Ⅹ </td><td> ○ </td></tr><tr><td> 比較例4 </td><td> - </td><td> 0 </td><td> GBL </td><td> 100 </td><td> - </td><td> △ </td><td> Ⅹ </td><td> Ⅹ </td><td> Ⅹ </td><td> ○ </td></tr><tr><td> 比較例6 </td><td> TMAH </td><td> 60 </td><td> NMP </td><td> 20 </td><td> 20 </td><td> ○ </td><td> △ </td><td> ○ </td><td> Ⅹ </td><td> ○ </td></tr><tr><td> 比較例7 </td><td> TMAH </td><td> 60 </td><td> 環丁□ </td><td> 20 </td><td> 20 </td><td> ○ </td><td> △ </td><td> ○ </td><td> Ⅹ </td><td> ○ </td></tr><tr><td> 比較例8 </td><td> TMAH </td><td> 60 </td><td> DMSO </td><td> 20 </td><td> 20 </td><td> Ⅹ </td><td> Ⅹ </td><td> Ⅹ </td><td> Ⅹ </td><td> ○ </td></tr><tr><td> 比較例9 </td><td> TMAH </td><td> 60 </td><td> GBL </td><td> 20 </td><td> 20 </td><td> Ⅹ </td><td> Ⅹ </td><td> Ⅹ </td><td> Ⅹ </td><td> Ⅹ </td></tr><tr><td> 比較例10 </td><td> TMAH </td><td> 80 </td><td> GBL </td><td> 10 </td><td> 10 </td><td> Ⅹ </td><td> Ⅹ </td><td> Ⅹ </td><td> Ⅹ </td><td> Ⅹ </td></tr></TBODY></TABLE>
如表1及表2的結果顯示，當以本揭露之去除聚醯亞胺之組成物清洗基材時，可有效且快速的去除基材上的聚醯亞胺。在基板為APR板的測試例中，在室溫如25°C下，以本揭露之特定比例之組成物清洗，約2分鐘即可有效清洗基材上之聚醯亞胺。此外，在某些的測試例中，在45°C下，清洗5分鐘的實驗中，可達到良好的PI溶解效果。又，在清洗玻璃基材的測試例中，甚至僅須在10秒到1分鐘的時間，即可有效清洗基材上之聚醯亞胺。此外，在某些的測試例中，在45°C下，清洗5分鐘的實驗中，亦可達到良好的PI溶解效果。
上述實施例僅係為了方便說明而舉例而已，本揭露所主張之權利範圍自應以申請專利範圍所述為準，而非僅限於上述實施例。
<TABLE border="1" borderColor="#000000" width="_0010"><TBODY><tr><td> 11, 13 </td><td> PET層 </td><td> 12, 14 </td><td> 黏著層 </td></tr><tr><td> 15 </td><td> 圖案化層 </td><td> 151 </td><td> 凸部 </td></tr><tr><td> 21 </td><td> APR板 </td><td> 22 </td><td> 印刷滾輪 </td></tr><tr><td> 23 </td><td> 整平滾輪 </td><td> 24 </td><td> 網紋滾輪 </td></tr><tr><td> 25 </td><td> 分配器 </td><td> 26 </td><td> 基板 </td></tr><tr><td> 261 </td><td> PI膜 </td><td>   </td><td>   </td></tr></TBODY></TABLE>
圖1為本揭露實施例所使用之APR板之剖面示意圖。 圖2為本揭露實施例之APR板之使用示意圖。
<TABLE border="1" borderColor="#000000" width="_0011"><TBODY><tr><td> 11, 13 </td><td> PET層 </td><td> 12, 14 </td><td> 黏著層 </td></tr><tr><td> 15 </td><td> 圖案化層 </td><td> 151 </td><td> 凸部 </td></tr></TBODY></TABLE>

Claims (17)

  1. 一種去除聚醯亞胺之組成物，用以去除一基材上之聚醯亞胺，包括：0.1~40重量百分比之有機鹼；以及5~95重量百分比之非質子溶劑。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之組成物，其中，該組成物還包含餘量的水或添加物。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之組成物，其中該有機鹼的含量為0.1~10重量百分比。
  4. 如申請專利範圍第1項所述之組成物，其中該非質子溶劑的含量為50~90重量百分比。
  5. 如申請專利範圍第1項所述之組成物，其中該有機鹼係至少一選自由TMAH、TEAH、ETMAH、MIPA、MEA、MMA及DGA所組成之群組。
  6. 如申請專利範圍第5項所述之組成物，其中該有機鹼係TMAH、TEAH、MEA或其組合。
  7. 如申請專利範圍第1項所述之組成物，其中該非質子溶劑係至少一選自由DMF、DMAC、DMSO、GBL、NEP及環丁碸所組成之群組。
  8. 如申請專利範圍第7項所述之組成物，其中該非質子溶劑係DMSO、GBL、NEP、環丁碸或其組合。
  9. 如申請專利範圍第1項所述之組成物，其中該有機鹼係TMAH、TEAH、MEA或其組合，而該非質子溶劑係DMSO、GBL、NEP、環丁碸或其組合。
  10. 如申請專利範圍第9項所述之組成物，其中該有機鹼的含量為0.1~10重量百分比，而該非質子溶劑的含量為50~90重量百分比。
  11. 如申請專利範圍第1項所述之組成物，其中該基材具有一多層結構，其中一層為黏著層。
  12. 如申請專利範圍第1項所述之組成物，其中該有機鹼的含量低於或等於非質子溶劑的含量。
  13. 一種如申請專利範圍第1至12項任一項之去除聚醯亞胺之組成物之用途，係用於去除一基材上的聚醯亞胺。
  14. 一種去除基材上的聚醯亞胺之方法，包括下列步驟：提供一如申請專利範圍第1至12項任一項之去除聚醯亞胺之組成物以及一基材，而該基材上附著有聚醯亞胺；使用該組成物清洗該基材以去除該基材上的聚醯亞胺；以及乾燥該基材。
  15. 如申請專利範圍第14項所述之方法，其中該基材具有一多層結構，其中一層為黏著層。
  16. 如申請專利範圍第14項所述之方法，其中使用該組成物清洗該基材以去除該基材上的聚醯亞胺之步驟係於20~50℃的溫度下進行。
  17. 如申請專利範圍第14項所述之方法，其中使用該組成物清洗該基材以去除該基材上的聚醯亞胺之步驟，其清洗時間低於或等於50分鐘。
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