TWI588606B - 感光性樹脂組成物 - Google Patents
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Description
本發明是有關感光性樹脂組成物。
在JP2010-140042-A中記載有一種感光性樹脂組成物,其中含有樹脂、光聚合性化合物、著色劑、N-苯甲醯氧基-1-(4-苯基硫基苯基)辛烷-1-酮-2-亞胺(商品名:Irgacure(註冊商標)OXE-01),並使用丙二醇單乙基醚醋酸酯作為溶劑。
就既有的感光性樹脂組成物而言,係有由該組成物所得到的圖案之硬度及黏(tack)性未必能令人滿足的情形。
本發明人等為解決上述問題而探討,結果發現含有某種溶劑的組成物可得到具有令人滿足之硬度及黏性的圖案。
即,本發明可提供以下[1]至[11]的發明。
[1]一種感光性樹脂組成物,其係含有(A)黏合劑樹脂、(B)聚合性化合物、(C)聚合起始劑及起始助劑、及(D)溶劑,(A)黏合劑樹脂的重量平均分子量為8,000以上
100,000以下,(C)聚合起始劑及起始助劑係至少含有肟系化合物、醯基膦氧化物系化合物與氧硫雜蒽酮系化合物,(D)溶劑在全部溶劑中含有70質量%以上且99質量%以下之溶解度參數8.0至9.1(cal/cm3)1/2的溶劑,在全部溶劑中含有1質量%以上30質量%以下之溶解度參數9.2至11.0(cal/cm3)1/2的溶劑。
[2]如[1]所述之感光性樹脂組成物,其中,(A)黏合劑樹脂之固形分酸價為80以上200以下。
[3]如[1]或[2]所述之感光性樹脂組成物,其中,以質量基準表示(A)黏合劑樹脂/(B)聚合性化合物時,(A)黏合劑樹脂與(B)聚合性化合物的比率為50/50以上80/20以下。
[4]如[1]至[3]中任一項所述之感光性樹脂組成物,進一步含有(E)著色劑。
[5]如[1]至[4]中任一項所述之感光性樹脂組成物,進一步含有(F)調平劑,調平劑之量為0.001質量%以上0.3質量%以下。
[6]一種圖案化塗膜,其是由[1]至[5]中任一項所述之感光性樹脂組成物所形成者。
[7]一種圖案化塗膜的製造方法,包含:將[1]至[5]中任一項所述之感光性樹脂組成物塗佈在支撐物上,並去除溶劑而形成塗膜的步驟,與將前述塗膜遮罩之後進行曝光,並以顯影液將前述塗膜未曝光的部分去除的步驟。
[8]一種圖案化塗膜的製造方法,僅包含:
將[1]至[5]中任一項所述之感光性樹脂組成物塗佈在支撐物上,並去除溶劑而形成塗膜的步驟,及將前述塗膜遮罩之後進行曝光,並以顯影液將前述塗膜未曝光的部分去除的步驟。
[9]一種圖案化塗膜的製造方法,包含:將[1]至[5]中任一項所述之感光性樹脂組成物塗佈在支撐物上,並去除溶劑而形成塗膜的步驟,將前述塗膜遮罩之後進行曝光,並以顯影液將前述塗膜未曝光的部分去除的步驟,及將經顯影液去除未曝光部分的塗膜保持在23℃以上200℃以下的溫度之步驟。
[10]一種濾色器,其係含有[6]所述之圖案化塗膜。
[11]一種濾色器,其係含有由[7]至[9]中任一項所述之製造方法而得的圖案化塗膜。
依據本發明,可提供一種感光性樹脂組成物,其可得到具有令人滿足的硬度及黏性的圖案。
本發明的感光性樹脂組成物係含有:(A)黏合劑樹脂、(B)聚合性化合物、(C)聚合起始劑及起始助劑,及(D)溶劑。
本發明的感光性樹脂組成物含有(A)黏合劑樹脂。(A)黏合劑樹脂係包含黏合劑樹脂(A1)(以下,也有稱為「樹脂(A1)」之情形),其係使具有環氧乙烷基(oxiranyl)
的不飽和化合物(b)(以下,也有稱為「(b)」之情形)對具有來自不飽和羧酸的結構單元之加成聚合物(a)(以下,也有稱為「(a)」之情形)反應而得者。
又,就(A)黏合劑樹脂而言,是不含後述的(E)著色劑的顏料分散液中之樹脂(黏合劑樹脂)者。
作為(a),可列舉例如:使不飽和羧酸(a1)(以下,也有稱為「(a1)」之情形)、與具有可和(a1)、(b)加成聚合的不飽和鍵之單體(a2)(以下,也有稱為「(a2)」之情形)進行加成聚合而得的加成聚合物。
具體而言,(a1)可列舉:丙烯酸、甲基丙烯酸、巴豆酸、鄰-乙烯苯甲酸、間-乙烯苯甲酸、對-乙烯苯甲酸等不飽和羧酸類;順丁烯二酸(maleic acid)、反丁烯二酸(fumaric acid)、檸康酸、中康酸、伊康酸、3-乙烯鄰苯二甲酸、4-乙烯鄰苯二甲酸、3,4,5,6-四氫鄰苯二甲酸、1,2,3,6-四氫鄰苯二甲酸、二甲基四氫鄰苯二甲酸、1,4-環己烯二羧酸等不飽和二羧酸類;。
甲基-5-降冰片烯-2,3-二羧酸、5-羧基雙環[2,2,1]戊-2-烯、5,6-二羧基雙環[2,2,1]戊-2-烯、5-羧基-5-甲基雙環[2,2,1]戊-2-烯、5-羧基-5-乙基雙環[2,2,1]戊-2-烯、5-羧基-6-甲基雙環[2,2,1]戊-2-烯、5-羧基-6-乙基雙環[2,2,1]戊-2-烯等含有羧基的雙環不飽和化合物類;琥珀酸單[2-(甲基)丙醯氧基乙基]、鄰苯二甲酸單[2-(甲基)丙醯氧基乙基]等2價以上的多元羧酸之不
飽和單[(甲基)丙烯醯氧基烷基]酯類;如α-(羥基甲基)丙烯酸的在同一分子中含有羥基及羧基的不飽和丙烯酸酯類等。
就共聚合反應性或就鹼溶解性而言,該等化合物之中係宜使用丙烯酸、甲基丙烯酸等。
此處,本說明書中的「(甲基)丙烯酸」是表示選自丙烯酸及甲基丙烯酸所成群組中的至少1種。「(甲基)丙烯醯基」及「(甲基)丙烯酸酯」等標示亦具有同義。
(a2)可列舉例如:(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸第二丁酯、(甲基)丙烯酸第三丁酯等(甲基)丙烯酸烷酯類;(甲基)丙烯酸環己酯、(甲基)丙烯酸2-甲基環己酯、三環[5.2.1.02.6]癸烷-8-基(甲基)丙烯酸酯(在該技術領域中的慣用名為(甲基)丙烯酸二環戊酯)、(甲基)丙烯酸二環戊基氧乙酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯等(甲基)丙烯酸環狀烷酯類;(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸苯甲酯等(甲基)丙烯酸芳酯或芳烷酯類;順丁烯二酸二乙酯、反丁烯二酸二乙酯、伊康酸二乙酯等二羧酸二酯;2-羥基乙基(甲基)丙烯酸酯、2-羥基丙基(甲基)丙烯酸酯等羥基烷酯類;聯環[2.2.1]戊-2-烯、5-甲基羥基[2.2.1]戊-2-烯、5-乙基聯環[2.2.1]戊-2-烯、5-羥基聯環[2.2.1]戊-2-烯、
5-羥基甲基聯環[2.2.1]戊-2-烯、5-(2’-羥基乙基)聯環[2.2.1]戊-2-烯、5-甲氧基聯環[2.2.1]戊-2-烯、5-乙氧基聯環[2.2.1]戊-2-烯、5,6-二羥基聯雙環[2.2.1]戊-2-烯、5,6-二(羥基甲基)聯環[2.2.1]戊-2-烯、5,6-二(2’-羥基乙基)聯環[2.2.1]戊-2-烯、5,6-二甲氧基聯環[2.2.1]戊-2-烯、5,6-二乙氧基聯環[2.2.1]戊-2-烯、5-羥基-5-甲基聯環[2.2.1]戊-2-烯、5-羥基-5-乙基聯環[2.2.1]戊-2-烯、5-羥基甲基-5-甲基聯環[2.2.1]戊-2-烯、5-第三丁氧基羰基聯環[2.2.1]戊-2-烯、5-環己基氧羰基聯環[2.2.1]戊-2-烯、5-苯氧基羰基聯環[2.2.1]戊-2-烯、5,6-雙(第三丁氧基羰基)聯環[2.2.1]戊-2-烯、5,6-雙(環己基氧羰基)聯環[2.2.1]戊-2-烯等聯環不飽和化合物類;N-苯基順丁烯二醯亞胺、N-環己基順丁烯二醯亞胺、N-苯甲基順丁烯二醯亞胺、N-琥珀醯亞胺基-3-順丁烯二醯亞胺苯甲酸酯、N-琥珀醯亞胺基-4-順丁烯二醯亞胺丁酸酯、N-琥珀醯亞胺基-6-順丁烯二醯亞胺己酸酯、N-琥珀醯亞胺基-3-順丁烯二醯亞胺丙酸酯、N-(9-吖啶基)順丁烯二醯亞胺等二羰基醯亞胺衍生物類;苯乙烯、α-甲基苯乙烯、間-甲基苯乙烯、對-甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、對-甲氧基苯乙烯、丙烯腈、甲基丙烯腈、氯乙烯、偏二氯乙烯、丙烯醯胺、甲基丙烯醯胺、醋酸乙烯、1,3-丁二烯、異戊二烯、2,3-二甲基-1,3-丁二烯等。
就(a2)而言,尤其宜為具有選自三環癸烷骨架及三環癸烯骨架所成群組中的至少一種骨架、與伸乙
性不飽和鍵的化合物(a2-1)(以下,也有稱為「(a2-1)」之情形)。如(a2)為(a2-1)時,可抑制因顯影而減少圖案之膜。
此處,本說明書中的「三環癸烷骨架」及「三環癸烯骨架」,分別是指以下的結構(分別在任意處具有結合鍵。)
具體而言,(a2-1)可列舉:(甲基)丙烯酸二環戊酯、(甲基)丙烯酸二環戊烯酯、(甲基)丙烯酸二環戊基氧基乙酯、(甲基)丙烯酸二環戊烯基氧乙酯。此等化合物,可各別單獨使用,也可將2種以上組合後使用。
(b)可列舉例如:具有使鏈式烯烴環氧化的結構與伸乙不飽和鍵的單體(b-1)(以下,也有稱為「(b-1)」之情形)、具有使環烯烴(cycloalkene)環氧化的結構與伸乙基性不飽和鍵的單體(b-2)(以下,也有稱為「(b-2)」之情形)。就反應性而言,(b)宜為(b-1)。
具體上,(b-1)可列舉:例如(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸β-甲基縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸β-乙基縮水甘油酯、縮水甘油基乙烯醚、鄰-乙烯基苯甲基縮水甘油基醚、間-乙烯基苯甲基縮水甘油基醚、對-乙烯基苯甲基縮水甘油基醚、α-甲基-鄰-乙烯基苯甲基縮水甘油基醚、α-甲基-間-乙烯基苯甲基縮水甘油基醚、α
-甲基-對-乙烯基苯甲基縮水甘油基醚、2,3-雙(縮水甘油基氧基甲基)苯乙烯、2,4-雙(縮水甘油基氧基甲基)苯乙烯、2,5-雙(縮水甘油基氧基甲基)苯乙烯、2,6-雙(縮水甘油基氧基甲基)苯乙烯、2,3,4-參(縮水甘油基氧基甲基)苯乙烯、2,3,5-參(縮水甘油基氧基甲基)苯乙烯、2,3,6-參(縮水甘油基氧基甲基)苯乙烯、3,4,5-參(縮水甘油基氧基甲基)苯乙烯、2,4,6-參(縮水甘油基氧基甲基)苯乙烯、JPH07-248625-A中所述之化合物等。
(b-2),可舉出:乙烯基環己烯單氧化物、1,2-環氧基-4-乙烯基環己烷(例如,CELOXIDE2000;大賽璐化學工業股份有限公司製)、丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯(例如,CyclomerA400;大賽璐化學工業股份有限公司製)、甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯(例如,CyclomerM100;大賽璐化學工業股份有限公司製)、式(I)表示的化合物、式(Ⅱ)表示的化合物等。
[式(I)及式(Ⅱ)中,R1及R2是表示相互獨立的氫原子或碳數1至4的烷基,該烷基中含有的氫原子也可以羥基取代。
X1及X2是表示相互獨立的單鍵、-R3-、*-R3-O-、*-R3-S-、*-R3-NH-。
R3是表示碳數1至6的烷二基(alkanediyl)。
*是表示與O的結合鍵。]
黏合劑樹脂(A1),例如可經由二階段的步驟製造。此時,例如可參考文獻「高分子合成的實驗法」(大津隆行著出版處化學同人股份有限公司第1版第1刷1972年3月1日發行)中所述之方法,及日本特開2001-89533號公報中所述之方法等製造。
黏合劑樹脂(A1)的製造中,首先,第一階段係得到(a1)與(a2)的加成聚合物。具體而言,可例示如:將預定量的(a1)及(a2)、聚合起始劑及溶劑等裝入反應容器中,以氮氣取代氧氣,在脫氧的氣體環境中進行攪拌、加熱、保溫的方法。此時使用的聚合起始劑及溶劑等並無特別限定,可任意使用該領域中通常使用的物質。作為聚合起始劑,可列舉例如:偶氮化合物(2,2’-偶氮雙異丁腈、2,2’-偶氮雙(2,4-二甲基戊腈)等)或有機過氧化物(苯甲醯基過氧化物)等,作為溶劑,只要是可溶解各單體之溶劑即可,可使用後述的溶劑等作為著色感光性樹脂組成物的溶劑。
同時,所得的加成聚合物,可直接使用反應後的溶液,亦可使用經濃縮或稀釋的溶液,也可以使用以再沉澱等方法而取出的固體(粉體)。
相對於構成加成聚合物的全部結構單元之合計莫耳數,來自(a1)及(a2)的結構單元之比率宜為以下的
範圍。
來自(a1)的結構單元:5至50莫耳%(以10至45莫耳%更佳)
來自(a2)的結構單元:50至95莫耳%(以55至90莫耳%更佳)
接著,在第二階段,是使來自所得的加成聚合物(a1)之部分羧酸與(b)反應。就(b)而言,因反應性高、不易殘留未反應的(b),而宜以(b-1)為(b)。
承上所述,具體而言,是將燒瓶內的氣體環境由氮氣成為空氣,並將相對於(a1)之莫耳數為5至80莫耳%的(b)、相對於(a1)、(b)及(a2)的合計量為0.001至5質量%的反應觸媒(例如參(二甲基胺基甲基)酚等),及相對於(a1)、(b)及(a2)的合計量為0.001至5質量%的聚合抑制劑(例如氫醌等)放入燒瓶內,通常係以60至130℃使其反應1至10小時,可得樹脂(A1)。又,與聚合條件相同,可考量由製造設備或聚合所產生的發熱量等,而適宜的調整裝入的方法或反應溫度。
又,此時,相對於(a)之莫耳數,(b)之莫耳數宜為10至75莫耳%,並以15至70莫耳%為更佳。藉由使(b)之莫耳數在此範圍內,而有使保存安定性、耐溶劑性及耐熱性之平衡良好的傾向。
黏合劑樹脂(A1)的具體例,可列舉:使(甲基)丙烯酸縮水甘油酯對(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸二環戊烯酯之共聚物反應而得的樹脂、使(甲基)丙烯酸縮水甘
油酯對(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸苯甲酯之共聚物反應而得的樹脂、使(甲基)丙烯酸縮水甘油酯對(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸環己酯之共聚物反應而得的樹脂、使(甲基)丙烯酸縮水甘油酯對(甲基)丙烯酸/苯乙烯之共聚物反應而得的樹脂、使(甲基)丙烯酸縮水甘油酯對(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸甲酯之共聚物反應而得的樹脂、使(甲基)丙烯酸縮水甘油酯對(甲基)丙烯酸/N-環己基順丁烯二醯亞胺之共聚物反應而得的樹脂、使(甲基)丙烯酸縮水甘油酯對巴豆酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯之共聚物反應而得的樹脂;使(甲基)丙烯酸縮水甘油酯對巴豆酸/(甲基)丙烯酸苯甲酯之共聚物反應而得的樹脂、使(甲基)丙烯酸縮水甘油酯對巴豆酸/(甲基)丙烯酸環己酯之共聚物反應而得的樹脂、使(甲基)丙烯酸縮水甘油酯對巴豆酸/苯乙烯之共聚物反應而得的樹脂、使(甲基)丙烯酸縮水甘油酯對巴豆酸/巴豆酸甲酯之共聚物反應而得的樹脂、使(甲基)丙烯酸縮水甘油酯對巴豆酸/N-環己基順丁烯二醯亞胺之共聚物反應而得的樹脂;使(甲基)丙烯酸縮水甘油酯對順丁烯二酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯之共聚物反應而得的樹脂、使(甲基)丙烯酸縮水甘油酯對順丁烯二酸/(甲基)丙烯酸苯甲酯之共聚物反應而得的樹脂、使(甲基)丙烯酸縮水甘油酯對順丁烯二酸/(甲基)丙烯酸環己酯之共聚物反應而得的樹脂、使(甲基)丙烯酸縮水甘油酯對順丁烯二酸/苯乙烯之共聚物反應而得的樹脂、使(甲基)丙烯酸縮水甘油酯對順丁
烯二酸/順丁烯二酸甲酯之共聚物反應而得的樹脂、使(甲基)丙烯酸縮水甘油酯對順丁烯二酸/N-環己基順丁烯二醯亞胺之共聚物反應而得的樹脂;使(甲基)丙烯酸縮水甘油酯對(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/(甲基)丙烯酸二環戊酯之共聚物反應而得的樹脂、使(甲基)丙烯酸縮水甘油酯對(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/(甲基)丙烯酸苯甲酯之共聚物反應而得的樹脂、使(甲基)丙烯酸縮水甘油酯對(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/(甲基)丙烯酸環己酯之共聚物反應而得的樹脂、使(甲基)丙烯酸縮水甘油酯對(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/苯乙烯之共聚物反應而得的樹脂、使(甲基)丙烯酸縮水甘油酯對(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/(甲基)丙烯酸甲酯之共聚物反應而得的樹脂、使(甲基)丙烯酸縮水甘油酯對(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/N-環己基順丁烯二醯亞胺之共聚物反應而得的樹脂;使甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯對(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯之共聚物反應而得的樹脂、使甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯對(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸苯甲酯之共聚物反應而得的樹脂、使甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯對(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸環己酯之共聚物反應而得的樹脂、使甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯對(甲基)丙烯酸/苯乙烯之共聚物反應而得的樹脂、使甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯對(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸甲酯之共聚物反應而得的樹脂、使甲基
丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯對(甲基)丙烯酸/N-環己基順丁烯二醯亞胺之共聚物反應而得的樹脂;使甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯對巴豆酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯之共聚物反應而得的樹脂、使甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯對巴豆酸/(甲基)丙烯酸苯甲酯之共聚物反應而得的樹脂、使甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯對巴豆酸/(甲基)丙烯酸環己酯之共聚物反應而得的樹脂、使甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯對巴豆酸/苯乙烯之共聚物反應而得的樹脂、使甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯對巴豆酸/巴豆酸甲酯之共聚物反應而得的樹脂、使甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯對巴豆酸/N-環己基順丁烯二醯亞胺之共聚物反應而得的樹脂;使甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯對順丁烯二酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯之共聚物反應而得的樹脂、使甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯對順丁烯二酸/(甲基)丙烯酸苯甲酯之共聚物反應而得的樹脂、使甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯對順丁烯二酸/(甲基)丙烯酸環己酯之共聚物反應而得的樹脂、使甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯對順丁烯二酸/苯乙烯之共聚物反應而得的樹脂、使甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯對順丁烯二酸/順丁烯二酸甲酯之共聚物反應而得的樹脂、使甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯對順丁烯二酸/N-環己基順丁烯二醯亞胺之共聚物反應而得的樹脂;使甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯對(甲
基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/(甲基)丙烯酸二環戊酯之共聚物反應而得的樹脂、使甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯對(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/(甲基)丙烯酸苯甲酯之共聚物反應而得的樹脂、使甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯對(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/(甲基)丙烯酸環己酯之共聚物反應而得的樹脂、使甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯對(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/苯乙烯之共聚物反應而得的樹脂、使甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯對(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/(甲基)丙烯酸甲酯之共聚物反應而得的樹脂、使甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯對(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/N-環己基順丁烯二醯亞胺之共聚物反應而得的樹脂等。
另外,作為黏合劑樹脂(A1),是以使(b)對(a1)、(a2-1)與(a2-1)以外的(a2)共聚合而得的加成聚合物反應而得的樹脂為更佳。藉由使黏合劑樹脂(A1)為上述構成,而有使所得的圖案與基板的密著性及耐溶劑性有變優異的傾向。
加成聚合物(a)包含(a1)、(a2-1)與(a2-1)以外的(a2)時,來自(a2-1)及(a2-1)以外的(a2)的結構單元的比率,宜為10:90至60:40,並以10:90至40:60更佳,而以10:90至30:70又更佳。
使(b)對(a1)、(a2-1)與(a2-1)以外的(a2)共聚合而得的加成聚合物反應而得的樹脂,具體上可列舉:使(甲基)丙烯酸縮水甘油酯對(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/(甲基)丙烯酸苯甲酯之共聚物反應而得的樹脂、使
(甲基)丙烯酸縮水甘油酯對(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/(甲基)丙烯酸環己酯之共聚物反應而得的樹脂、使(甲基)丙烯酸縮水甘油酯對(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/苯乙烯之共聚物反應而得的樹脂、使(甲基)丙烯酸縮水甘油酯對(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/(甲基)丙烯酸甲酯之共聚物反應而得的樹脂、使(甲基)丙烯酸縮水甘油酯對(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/N-環己基順丁烯二醯亞胺之共聚物反應而得的樹脂;使(甲基)丙烯酸縮水甘油酯對巴豆酸/(甲基)丙烯酸二環戊烯酯/(甲基)丙烯酸苯甲酯之共聚物反應而得的樹脂、使(甲基)丙烯酸縮水甘油酯對巴豆酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/(甲基)丙烯酸環己酯之共聚物反應而得的樹脂、使(甲基)丙烯酸縮水甘油酯對巴豆酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/苯乙烯之共聚物反應而得的樹脂、使(甲基)丙烯酸縮水甘油酯對巴豆酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/巴豆酸甲酯之共聚物反應而得的樹脂、使(甲基)丙烯酸縮水甘油酯對巴豆酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/N-環己基順丁烯二醯亞胺之共聚物反應而得的樹脂;使(甲基)丙烯酸縮水甘油酯對順丁烯二酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/(甲基)丙烯酸苯甲酯之共聚物反應而得的樹脂、使(甲基)丙烯酸縮水甘油酯對順丁烯二酸/(甲基)丙烯酸二環戊烯酯/(甲基)丙烯酸環己酯之共聚物反應而得的樹脂、使(甲基)丙烯酸縮水甘油酯對順丁烯二酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/苯乙烯之共聚物反應而得的樹
脂、使(甲基)丙烯酸縮水甘油酯對順丁烯二酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/順丁烯二酸甲酯之共聚物反應而得的樹脂、使(甲基)丙烯酸縮水甘油酯對順丁烯二酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/N-環己基順丁烯二醯亞胺之共聚物反應而得的樹脂;使(甲基)丙烯酸縮水甘油酯對(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/(甲基)丙烯酸二環戊酯/(甲基)丙烯酸苯甲酯之共聚物反應而得的樹脂、使(甲基)丙烯酸縮水甘油酯對(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/(甲基)丙烯酸二環戊酯/(甲基)丙烯酸環己酯之共聚物反應而得的樹脂、使(甲基)丙烯酸縮水甘油酯對(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/(甲基)丙烯酸二環戊酯/苯乙烯之共聚物反應而得的樹脂、使(甲基)丙烯酸縮水甘油酯對(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/(甲基)丙烯酸二環戊酯/(甲基)丙烯酸甲酯之共聚物反應而得的樹脂、使(甲基)丙烯酸縮水甘油酯對(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/(甲基)丙烯酸二環戊酯/N-環己基順丁烯二醯亞胺之共聚物反應而得的樹脂;使甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯對(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/(甲基)丙烯酸苯甲酯之共聚物反應而得的樹脂、使甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯對(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/(甲基)丙烯酸環己酯之共聚物反應而得的樹脂、使甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯對(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/苯乙烯之共聚物反應而得的樹脂、使甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯對(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/(甲基)
丙烯酸甲酯之共聚物反應而得的樹脂、使甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯對(甲基)丙烯酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/N-環己基順丁烯二醯亞胺之共聚物反應而得的樹脂;使甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯對巴豆酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/(甲基)丙烯酸苯甲酯之共聚物反應而得的樹脂、使甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯對巴豆酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/(甲基)丙烯酸環己酯之共聚物反應而得的樹脂、使甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯對巴豆酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/苯乙烯之共聚物反應而得的樹脂、使甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯對巴豆酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/巴豆酸甲酯之共聚物反應而得的樹脂、使甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯對巴豆酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/N-環己基順丁烯二醯亞胺之共聚物反應而得的樹脂;使甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯對順丁烯二酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/(甲基)丙烯酸苯甲酯之共聚物反應而得的樹脂、使甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯對順丁烯二酸/(甲基)丙烯酸二環戊烯酯/(甲基)丙烯酸環己酯之共聚物反應而得的樹脂、使甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯對順丁烯二酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/苯乙烯之共聚物反應而得的樹脂、使甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯對順丁烯二酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/順丁烯二酸甲酯之共聚物反應而得的樹脂、使甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯對順丁烯二酸/(甲基)丙烯酸二環戊酯/N-
環己基順丁烯二醯亞胺之共聚物反應而得的樹脂;使甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯對(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/(甲基)丙烯酸二環戊烯酯/(甲基)丙烯酸苯甲酯之共聚物反應而得的樹脂、使甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯對(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/(甲基)丙烯酸二環戊酯/(甲基)丙烯酸環己酯之共聚物反應而得的樹脂、使甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯對(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/(甲基)丙烯酸二環戊酯/苯乙烯之共聚物反應而得的樹脂、使甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯對(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/(甲基)丙烯酸二環戊酯/(甲基)丙烯酸甲酯之共聚物反應而得的樹脂、使甲基丙烯酸3,4-環氧基環己基甲酯對(甲基)丙烯酸/順丁烯二酸酐/(甲基)丙烯酸二環戊酯/N-環己基順丁烯二醯亞胺之共聚物反應而得的樹脂等。
此等的黏合劑樹脂(A1)可單獨使用,也可將2種以上組合後使用。
黏合劑樹脂(A1)換算成聚苯乙烯的重量平均分子量(Mw)為8,000至100,000,宜為10,000至50,000。樹脂(A1)的重量平均分子量在前述範圍時,將有使塗佈性及黏性變得良好的傾向,同時在顯影時不易造成膜厚減損,並且在顯影時非畫素部分的移除性良好。
黏合劑樹脂(A1)的酸價,宜為50至200mg-KOH/g,並以60至190mg-KOH/g為更佳,而以80至180mg-KOH/g又更佳。酸價是測定用以中和黏合劑樹脂
(A1)1g時所需要的氫氧化鉀之量(mg)的值,可藉由使用氫氧化鉀水溶液滴定時而求得。
本發明的感光性樹脂組成物中所包含的黏合劑樹脂(A),雖然宜僅由前述的黏合劑樹脂(A1)構成,但只要是不損及本發明的效果之程度,即可含有其他的樹脂。這種樹脂可列舉例如:環氧樹脂、丙烯酸樹脂、胺酯樹脂、聚酯樹脂、聚醯亞胺樹脂、聚烯烴樹脂、酚醛清漆(novolac)樹脂、聚胺樹脂等。
如黏合劑樹脂(A)含有黏合劑樹脂(A1)以外的樹脂時,相對於黏合劑樹脂(A),黏合劑樹脂(A1)的含量宜為1至80質量%,並以1至50質量%更佳。
本發明的感光性樹脂組成物含有(B)聚合性化合物。(B)聚合性化合物,只要是藉由光或熱的作用而使(C)聚合起始劑所產生的活性自由基、藉由酸等而開始聚合之化合物,即無特別的限定。(B)聚合性化合物,可舉出具有聚合性的碳-碳不飽和鍵之化合物等,並宜使用單官能單體、2官能單體、3官能以上的多官能單體。
單官能單體之具體例,可舉出:壬基苯基卡必醇丙烯酸酯、丙烯酸2-羥基-3-苯氧基丙酯、2-乙基己基卡必醇丙烯酸酯、丙烯酸2-羥基乙酯、N-乙烯基吡咯啶酮等。
而且,2官能單體之具體例,可舉出:1,6-己二醇(甲基)丙烯酸酯、乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、三乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、雙酚A
的雙(丙醯氧基乙基)醚、3-甲基戊二醇二(甲基)丙烯酸酯等。
3官能以上的多官能單體之具體例,可舉出:三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、新戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、新戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二新戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二新戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、新戊四醇三(甲基)丙烯酸酯與酸酐的反應物、二新戊四醇五(甲基)丙烯酸酯與酸酐的反應物、大阪有機化學公司製之V#1000、V#802、STAR-501,或共榮社化學股份有限公司製的UA-306H、UA-306T、UA-306I,第一工業製藥公司製的New Frontier R-1150等聚胺酯丙烯酸酯等。其中,尤宜使用2官能單體、3官能以上的多官能單體。
同時,也可添加下述的聚合性化合物。
(B)聚合性化合物可單獨使用,也可同時使用二種以上。
相對於感光性樹脂組成物之固形分,(B)聚合性化合物的含量宜為1至50質量%,以5至30質量%為更佳。同時,以質量基準表示(A)黏合劑樹脂/(B)聚合性化合物時,(A)黏合劑樹脂與(B)聚合性化合物的比例宜為50/50以上80/20以下。
使(A)黏合劑樹脂與(B)聚合性化合物的比例在前述範圍時,因為有得到抑制黏性、且無色斑的濾色
器之傾向,故而佳。
本發明的感光性樹脂組成物係含有(C)聚合起始劑及起始助劑。
(C)聚合起始劑及起始助劑,可舉出活性自由基產生劑、產酸劑、聚合促進劑、增感劑等。活性自由基產生劑可藉由光或熱的作用而產生活性自由基。(C)聚合起始劑及起始助劑係含有肟系化合物、醯基膦氧化系化合物及氧硫雜蒽酮系化合物。
前述肟系化合物,可舉出具有式(C-1)表示部分結構的化合物。下式中,*表示結合鍵。
此種肟系化合物,可列舉例如:N-苯甲醯氧基-1-(4-苯基硫基苯基)丁烷-1-酮-2-亞胺、N-苯甲醯氧基-1-(4-苯基硫基苯基)辛烷-1-酮-2-亞胺、N-苯甲醯氧基-1-(4-苯基硫基苯基)-3-環戊基丙烷-1-酮-2-亞胺、N-乙醯氧基-1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲醯基)-9H-咔唑-3-基]乙烷-1-亞胺、N-乙醯氧基-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-(3,3-二甲基-2,4-二環戊基甲基氧)苯甲醯基)-9H-咔唑-3-基]乙烷-1-亞胺、N-乙醯氧基-1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲醯基)-9H-咔唑-3-基]-3-環戊基丙烷-1-亞胺、N-苯甲醯氧基-1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲醯基)-9H-咔唑-3-基]-3-環戊基丙烷-1-亞胺等化合物,或
Irgacure(註冊商標)OXE01、OXE02(以上為BASF公司製),N-1919(註冊商標)(ADEKA公司製)等市售品等。其中,尤宜為Irgacure(註冊商標)OXE01(BASF公司製)。
前述醯基膦氧化物系化合物,可舉出:2,4,6-三甲基苯甲醯基二苯基膦氧化物、雙(2,4,6-三甲基苯甲醯基)-苯基膦氧化物等。也可使用Lucirin(註冊商標)TPO(BASF公司製)、Irgacure(註冊商標)819(BASF公司製)等市售品。
前述氧硫雜蒽酮系化合物,可列舉例如:2-異丙基氧硫雜蒽酮、4-異丙基氧硫雜蒽酮、2,4-二乙基氧硫雜蒽酮、2,4-二氯氧硫雜蒽酮、1-氯-4-丙氧基氧硫雜蒽酮等。其中,尤宜為2,4-二乙基氧硫雜蒽酮。
此外,只要是不損及本發明的效果之程度,亦可進一步併用此領域中通常使用的聚合起始劑或聚合起始助劑,該聚合起始劑或聚合起始助劑,可列舉例如:苯乙酮系化合物、聯咪唑系化合物、三系化合物、苯偶姻系化合物、二苯甲酮系化合物、蒽系化合物、胺系化合物、噻唑啉系化合物、烷氧蒽系化合物、羧酸系化合物等。
前述苯乙酮系化合物,可列舉:二乙氧基苯乙酮、2-羥基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酮、苯甲基二甲基縮醛、2-羥基-1-[4-(2-羥基乙氧基)苯基]-2-甲基丙烷-1-酮、1-羥基-環己基苯基酮、2-甲基-1-(4-甲基硫基苯基)-2-嗎林基丙烷-1-酮、2-苯甲基-2-二甲基胺基-1-(4-嗎林基苯基)丁烷-1-酮、2-(2-甲基苯甲基)-2-二甲基胺基-1-(4-嗎林基苯基)-
丁酮、2-(3-甲基苯甲基)-2-二甲基胺基-1-(4-嗎林基苯基)-丁酮、2-(4-甲基苯甲基)-2-二甲基胺基-1-(4-嗎林基苯基)-丁酮、2-(2-乙基苯甲基)-2-二甲基胺基-1-(4-嗎林基苯基)-丁酮、2-(2-丙基苯甲基)-2-二甲基胺基-1-(4-嗎林基苯基)-丁酮、2-(2-丁基苯甲基)-2-二甲基胺基-1-(4-嗎林基苯基)-丁酮、2-(2,3-二甲基苯甲基)-2-二甲基胺基-1-(4-嗎林基苯基)-丁酮、2-(2,4-二甲基苯甲基)-2-二甲基胺基-1-(4-嗎林基苯基)-丁酮、2-(2-氯苯甲基)-2-二甲基胺基-1-(4-嗎林基苯基)-丁酮、2-(2-溴苯甲基)-2-二甲基胺基-1-(4-嗎林基苯基)-丁酮、2-(3-氯苯甲基)-2-二甲基胺基-1-(4-嗎林基苯基)-丁酮、2-(4-氯苯甲基)-2-二甲基胺基-1-(4-嗎林基苯基)-丁酮、2-(3-溴苯甲基)-2-二甲基胺基-1-(4-嗎林基苯基)-丁酮、2-(4-溴苯甲基)-2-二甲基胺基-1-(4-嗎林基苯基)-丁酮、2-(2-甲氧基苯甲基)-2-二甲基胺基-1-(4-嗎林基苯基)-丁酮、2-(3-甲氧基苯甲基)-2-二甲基胺基-1-(4-嗎林基苯基)-丁酮、2-(4-甲氧基苯甲基)-2-二甲基胺基-1-(4-嗎林基苯基)-丁酮、2-(2-甲基-4-甲氧基苯甲基)-2-二甲基胺基-1-(4-嗎林基苯基)-丁酮、2-(2-甲基-4-溴苯甲基)-2-二甲基胺基-1-(4-嗎林基苯基)-丁酮、2-(2-溴-4-甲氧基苯甲基)-2-二甲基胺基-1-(4-嗎林基苯基)-丁酮、2-羥基-2-甲基-1-[4-(1-甲基乙烯基)苯基]丙烷-1-酮等寡聚物。
前述的聯咪唑系化合物,可列舉:2,2’-雙(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基聯咪唑、2,2’-雙(2,3-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基聯咪唑(例如,參照JPH06-75372-A、
JPH06-75373-A等)、2,2’-雙(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基聯咪唑、2,2’-雙(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四(烷氧基苯基)聯咪唑、2,2’-雙(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四(二烷氧基苯基)聯咪唑、2,2’-雙(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四(三烷氧基苯基)聯咪唑(例如,參照JPS48-38403-B、JPS62-174204-A等)、4,4’,5,5’-位的苯基經羧烷氧基取代的咪唑化合物(例如,參照JPH07-10913-A等)等,尤宜為2,2’-雙(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基聯咪唑、2,2’-雙(2,3-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基聯咪唑。
前述的三系化合物,可列舉:2,4-雙(三氯甲基)-6-(4-甲氧基苯基)-1,3,5-三、2,4-雙(三氯甲基)-6-(4-甲氧基萘基)-1,3,5-三、2,4-雙(三氯甲基)-6-向日葵基-1,3,5-三、2,4-雙(三氯甲基)-6-(4-甲氧基苯乙烯基)-1,3,5-三、2,4-雙(三氯甲基)-6-[2-(5-甲基呋喃-2-基)乙烯基]-1,3,5-三、2,4-雙(三氯甲基)-6-[2-(呋喃-2-基)乙烯基]-1,3,5-三、2,4-雙(三氯甲基)-6-[2-(4-二乙基胺基-2-甲基苯基)乙烯基]-1,3,5-三、2,4-雙(三氯甲基)-6-[2-(3,4-二甲氧基苯基)醚基]-1,3,5-三等。
前述的苯偶姻系化合物,可列舉例如:苯偶姻、苯偶姻甲醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻異丙醚、苯偶姻異丁醚等。
前述的二苯甲酮系化合物,可列舉例如:二苯甲酮、鄰-苯甲醯基苯甲酸甲酯、4-苯基二苯甲酮、4-苯甲醯基-4’-甲基二苯基硫醚、3,3’,4,4’-四(第三丁基過氧羰基)二苯甲酮、2,4,6-三甲基二苯甲酮等。
前述的蒽系化合物,可列舉例如:9,10-二甲氧基蒽、2-乙基-9,10-二甲氧基蒽、9,10-二乙氧基蒽、2-乙基-9,10-二乙氧基蒽等。
前述的胺系化合物,可列舉例如:三乙醇胺、甲基二乙醇胺、三異丙醇胺、4-二甲基胺基苯甲酸甲酯、4-二甲基胺基苯甲酸乙酯、4-二甲基胺基苯甲酸異戊酯、苯甲酸2-二甲基胺基乙酯、4-二甲基胺基苯甲酸2-乙基己酯、N,N-二甲基對甲苯胺、4,4’-雙(二甲基胺基)二苯甲酮(通稱米其勒酮(Michler’s ketone))、4,4’-雙(二乙基胺基)二苯甲酮、4,4’-雙(乙基甲基胺基)二苯甲酮等,其中尤宜為4,4’-雙(二乙基胺基)二苯甲酮。
噻唑啉系化合物,可舉出式(Ⅲ-1)至式(Ⅲ-3)表示的化合物等。
前述的烷氧蒽系化合物,可列舉例如:9,10-
二甲氧基蒽、2-乙基-9,10-二甲氧基蒽、9,10-二乙氧基蒽、2-乙基-9,10-二乙氧基蒽等。
羧酸化合物,可列舉:苯基硫基醋酸、甲基苯基硫基醋酸、乙基苯基硫基醋酸、甲基乙基苯基硫基醋酸、二甲基苯基硫基醋酸、甲氧基苯基硫基醋酸、二甲氧基苯基硫基醋酸、氯苯基硫基醋酸、二氯苯基硫基醋酸、N-苯基甘胺酸、苯氧基醋酸、萘硫基醋酸、N-萘基甘胺酸、萘氧基醋酸等。
其他,作為(C)聚合起始劑,尚可例示市售的商品名「EAB-F」(保土谷化學工業股份有限公司製)等。
同時,(C)聚合起始劑之中,可使用JP2002-544205-A中所述的聚合起始劑作為具有可鏈轉移的基之聚合起始劑。
前述具有可鏈轉移的基之聚合起始劑,也可使用作為前述共聚物之構成成分(A3)。而且,所得的共聚物也可使用作為(A)黏合劑樹脂。
(C)聚合起始劑,可列舉例如:上述的胺系化合物、噻唑啉系化合物、烷氧基蒽系化合物、羧酸系化合物、市售的商品名「EAB-F」等。
相對於感光性樹脂組成物的固形分,肟系化合物、醯基膦氧化物系化合物、氧硫雜蒽酮系化合物係分別宜為1至20質量%。而且,(C)聚合起始劑及起始助劑的含量,相對於(A)黏合劑樹脂及(B)聚合性化合物的合計量之質量分率,宜為0.1至40質量%,並以1至30質
量%為更佳。
(C)聚合起始劑及起始助劑的含量為前述的範圍時,感光性樹脂組成物會變成高靈敏度,而使用前述感光性樹脂組成物而形成的濾色器的畫素之部分的強度、和前述畫素的表面之平滑性會有變得良好的傾向,故為佳。
本發明的感光性樹脂組成物,宜進一步含有(E)著色劑。這種(E)著色劑,可列舉出顏料及染料,但就耐熱性、耐光性之點而言,宜含有顏料。
顏料可舉出有機顏料及無機顏料,可舉出以色度指數(colour index)(The Society of Dyes and Colourists出版)分類為顏料的化合物。
具體而言,有機顏料可列舉例如:C.I.顏料黃1、3、12、13、14、15、16、17、20、24、31、53、83、86、93、94、109、110、117、125、128、137、138、139、147、148、150、153、154、166、173、194、214等黃色顏料;C.I.顏料橙13、31、36、38、40、42、43、51、55、59、61、64、65、71、73等橙色顏料;C.I.顏料紅9、97、105、122、123、144、149、166、168、176、177、180、192、209、215、216、224、242、254、255、264、265等紅色顏料;C.I.顏料藍15、15:3、15:4、15:6等藍色顏料;C.I.顏料紫1、19、23、29、32、36、38等紫色顏料;C.I.顏料綠7、36、58等綠色顏料;
C.I.顏料棕23、25等棕色顏料;C.I.顏料黑1、7等黑色顏料等。
其中,尤以C.I.顏料黃138、139、150;C.I.顏料紅177、242、254;C.I.顏料紫23;C.I.顏料藍15:3、15:6;及C.I.顏料綠7、36、58為更佳。此等顏料可單獨使用,也可將2種以上混合後使用。
前述顏料,也可視需要而施予松香處理、使用經導入酸性基或鹽性基的顏料衍生物或顏料分散劑等而進行的表面處理、以高分子化合物等對顏料表面進行的接枝處理、藉由硫酸微粒化等進行的微粒化處理,或為去除不純物而藉由有機溶劑或水等的清洗處理、藉由離子性不純物的離子交換法而進行的去除處理等。此外,顏料宜為粒徑均勻者。藉由含有顏料分散劑並進行分散處理,而可到得顏料均勻地分散在溶液中的狀態之顏料分散液。
前述顏料分散劑,可使用市售的界面活性劑,可列舉例如:聚矽氧(silicone)系、氟系、酯系、陽離子系、陰離子系、非離子系、兩性離子系、聚酯系、聚胺系、聚丙酸系等界面活性劑等。前述界面活性劑,可列舉:例如除了聚氧伸乙基烷基醚類、聚氧伸乙基烷基苯基醚類、聚乙二醇二酯類、山梨聚醣脂肪酸酯類、脂肪酸改質聚酯類、三級胺改質聚胺酯類、聚伸乙基亞胺類等之外,尚有商品名KP(信越化學工業股份有限公司製)、Flowlen(共榮社化學股份有限公司製)、Solpserse(Zeneca股份有限公司製)、EFKA(BASF公司製)、Ajisper(註冊商
標)(Ajinomoto Fine-Techno股份有限公司製)、Disperbyk(BYK-Chemie公司製)等。此等界面活性劑可單獨使用,也可將2種以上組合後使用。
使用顏料分散劑時,相對於顏料,其使用量宜為100質量%以下,並以5至50質量%為更佳。顏料分散劑的使用量在前述範圍時,有得到均勻分散狀態的顏料分散液之傾向。
相對於感光性樹脂組成物的固形分,(E)著色劑的含量宜為5至60質量%,並以5至45質量%為更佳。(E)著色劑的含量在前述範圍時,可得到所期望的分光和色濃度。
本發明的感光性樹脂組成物中之(D)溶劑,係含有溶解度參數為8.0至9.1(cal/cm3)1/2的溶劑與溶解度參數為9.2至11.0(cal/cm3)1/2的溶劑。
溶解度參數為8.0至9.1(cal/cm3)1/2的溶劑,可列舉:乙二醇單異丁基醚、二乙二醇單2-乙基己基醚、二丙二醇單正丙基醚、二丙二醇單正丁基醚、三丙二醇單正丙基醚、三丙二醇單正丁基醚、乙二醇二甲基醚、二乙二醇二甲基醚、二乙二醇二乙基醚、二乙二醇二正丁基醚、三乙二醇二甲基醚、二乙二醇乙基甲基醚、二乙二醇單正丁基醚醋酸酯、丙二醇單甲基醚醋酸酯、二丙二醇單甲基醚醋酸酯、乙基-3-乙氧基丙酸酯、醋酸正丙酯、丙酸正丙酯、丙酸正丁酯、丙酸正戊酯、甲基異丁酮、環己烷、甲苯、醋酸乙酯、醋酸丁酯、四氫呋喃、四氯化碳、2-戊酮等。其中就
溶解性而言,其宜為丙二醇單甲基醚醋酸酯。
溶解度參數為9.2至11.0(cal/cm3)1/2的溶劑,可列舉:乙二醇單丙基醚、乙二醇單異丙基醚、乙二醇單正丁基醚、乙二醇單己基醚、乙二醇單苯基醚、乙二醇單苯甲基醚、乙二醇單芳基醚、二乙二醇單甲基醚、二乙二醇單正丁基醚、二乙二醇單己基醚、二乙二醇單2-乙基己基醚、二乙二醇單苯甲基醚、三乙二醇單甲基醚、三乙二醇單乙基醚、三乙二醇單正丁基醚、聚乙二醇單甲基醚、丙二醇單甲基醚、丙二醇單正丙基醚、丙二醇單正丁基醚、丙二醇單第三丁基醚、丙二醇單苯基醚、二丙二醇單甲基醚、三丙二醇單甲基醚、乙二醇單正丁基醚醋酸酯、丙二醇二醋酸酯、甲基-3-甲氧基丙酸酯、乳酸甲酯、乳酸丁酯、環己酮(cyclohexanone)、二丙酮醇(diacetone alcohol)、1-丙醇、1-丁醇、甲基乙基酮、二烷、二氯甲烷、氯仿、二甲基亞碸、丙酮、碳酸二甲酯、1,1,2,2-四氯乙烷等。其中,就溶解性而言,尤宜為丙二醇單甲基醚。
相對於感光性樹脂組成物中的全部溶劑,(D)溶劑之含量宜為溶解度參數8.0至9.1(cal/cm3)1/2的溶劑在70質量%以上99質量%以下,溶解度參數為9.2至11.0(cal/cm3)1/2的溶劑在1質量%以上30質量%以下,並以溶解度參數8.0至9.1(cal/cm3)1/2的溶劑在70質量%以上97質量%以下,溶解度參數9.2至11.0(cal/cm3)1/2的溶劑在3質量%以上30質量%以下更佳。溶劑之質量%之比率為前述範圍時,有使塗佈時的平坦性變成良好的傾向。
溶解度參數可以下式求得。
溶解度參數=(△E/V)1/2
△E:凝聚能(蒸發焓(enthalpy))、V:莫耳體積
在合成(A)黏合劑樹脂之際使用(D)溶劑,以調整作為感光性樹脂組成物之際,也可使溶解度參數8.0至9.1(cal/cm3)1/2的溶劑在70質量%以上99質量%以下,溶解度參數9.2至11.0(cal/cm3)1/2的溶劑在1質量%以上30質量%以下。
相對於感光性樹脂組成物,(D)溶劑之含量宜為60至95質量%,並以70至90質量%為更佳。換言之,感光性樹脂組成物的固形分宜為5至40質量%,並以10至30質量%為更佳。(D)溶劑之含量在前述範圍時,塗佈時的平坦性會有變得良好的傾向。
本發明的感光性樹脂組成物,也可含有(F)界面活性劑。界面活性劑,可列舉例如:聚矽氧系界面活性劑、氟系界面活性劑、具有氟原子的聚矽氧系界面活性劑等。藉由含有界面活性劑,塗佈時的平坦性會有變得良好的傾向。
聚矽氧系界面活性劑,可舉出具有矽氧烷鍵的界面活性劑。具體上,可列舉:Toray Silicone DC3PA、同系列之SH7PA、同系列之DC11PA、同系列之SH21PA、同系列之SH28PA、同系列之SH29PA、同系列之SH30PA、聚醚改質聚矽氧油SH8400(商品名:東麗.道康寧(Toray
Dow Corning)股份有限公司製:KP321、KP322、KP323、KP324、KP326、KP340、KP341(信越化學工業股份有限公司製));TSF400、TSF401、TSF410、TSF4300、TSF4440、TSF4445、TSF4446、TSF4452、TSF4460(Momentive Performance Materials Japan合同公司製)等。
氟系界面活性劑,可舉出具有氟碳鏈的界面活性劑。具體而言,可列舉:Fluorinert(註冊商標)FC430、同系列之FC431(住友3M股份有限公司製);Megafac(註冊商標)F142D、同系列之F171、同系列之F172、同系列之F173、同系列之F177、同系列之F183、同系列之R30(DIC股份有限公司製);EFTop(註冊商標)EF301、同系列之EF303、同系列之EF351、同系列之EF352(三菱材料電子化成股份有限公司製);Surflon(註冊商標)S381、同系列之S382、同系列之SC101、同系列之SC105(旭硝子股份有限公司製)、E5844(大金工業股份有限公司製)等。
具有氟原子的聚矽氧系界面活性劑,可舉出具有矽氧烷鍵及氟碳鏈的界面活性劑。具體上,可列舉:Megafac(註冊商標)R08、同系列之BL20、同系列之F475、同系列之F477、同系列之F443(DIC股份有限公司製)等。尤宜為Megafac(註冊商標)F475。
相對於感光樹脂組成物,界面活性劑宜為0.001質量%以上0.3質量%以下,並以0.002質量%以上0.2質量%以下更佳,而以0.01質量%以上0.1質量%以下尤佳。藉由使界面活性劑含在此範圍中,可使塗膜的平坦
性變得良好。
本發明的感光性樹脂組成物,也可視需要而含有填充劑、其他的高分子化合物、密著促進劑、抗氧化劑、紫外線吸收劑、光安定劑、鏈轉移劑等各種添加劑。
本發明的感光性樹脂組成物,可視需要而在(E)著色劑、(D)溶劑、和其他的成分之存在下,使(A)黏合劑樹脂、(B)聚合性化合物及(C)聚合起始劑與起始助劑混合而得。
此外,在混合顏料作為(E)著色劑時,可例如藉由以下的步驟進行調製。
首先,將顏料預先與(D)溶劑混合,利用珠磨機(beads mill)等使其分散直至顏料的平均粒徑成為0.2μm以下的程度。此時,也可視需要而調配顏料分散劑、(A)黏合劑樹脂的一部分或全部。在所得的顏料分散液中,也可將(A)黏合劑樹脂的殘留、(B)聚合性化合物或(C)聚合起始劑等視需要而使用的其他成分,以及視需要而追加的溶劑添加至成為預定的濃度,而得感光性樹脂組成物。
將本發明的感光性樹脂組成物塗佈在基板的方法,可列舉例如:擠出塗佈法、直式凹板塗佈(direct gravure coating)法、反式凹板(Reverse Gravure coating)塗佈法、CAP(帽式)塗佈法、模式塗佈法等。此外,也可使用浸塗機(dip-coater)、輥塗塗機、棒塗機、旋塗機、狹縫旋塗機、狹縫塗佈機(也可稱為台式塗佈機(die coater)、簾流塗佈機(curtain flow coater)、非旋塗式塗佈機(spinless
coater))、噴墨等塗佈裝置進行塗佈。其中,宜使用狹縫塗佈機、旋塗機、輥塗機等進行塗佈。
使塗佈於基板的膜乾燥之方法,可列舉例如:加熱乾燥、自然乾燥、通風乾燥、減壓乾燥等方法,也可將複數種方法組合而進行乾燥。
乾燥溫度宜為10至120℃,並以25至100℃更佳;而且,加熱時間宜為10秒至60分鐘,並以30秒至30分鐘更佳。
減壓乾燥,宜在50至150Pa的壓力下,以20至25℃的溫度範圍進行。
乾燥後的塗膜之厚度並無特別限定,可依使用的材料、用途等而適宜調整,例如0.1至20μm,尤宜為1至6μm。
乾燥後的塗膜,可經由用以形成目的圖案之光罩而進行曝光。此時,光罩上之圖案形狀並無特別限定,可使用配合目的用途的圖案形狀。
曝光時所使用的光源,宜為產生250至450nm的波長之光的光源。例如,使用能阻濾波長帶未達350nm的光之濾光器,或使用能將436nm附近、408nm附近、365nm附近的光取出的帶通(band pass)濾光器,以將此等波長帶選擇性地取出。具體而言,光源可舉出:水銀燈、發光二極體、金屬鹵素燈、鹵素燈等。
為使平行光線均勻的照射於曝光面全體,並使遮罩與基材的對準正確的位置,宜使用遮罩對準器、步進器
(stepper)等裝置。
曝光後,使塗膜接觸顯影液,而藉由使預定部位,例如使未曝光部分溶解而顯影,得到圖案。顯影液雖然也可使用有機溶劑,但就塗膜的曝光部分不易因顯影液而溶解或膨潤,而可得到良好形狀的圖案而言,宜使用鹼性化合物的水溶液。
顯影方法,為覆液(puddle)法、浸漬法、噴霧法等均可。且在顯影時可使基板傾斜成任意的角度。
前述鹼性化合物,可列舉:氫氧化鈉、氫氧化鉀、磷酸氫二鈉、磷酸二氫鈉、磷酸氫二銨、磷酸二氫銨、磷酸二氫鉀、矽酸鈉、矽酸鉀、碳酸鈉、碳酸鉀、碳酸氫鈉、硼酸鈉、硼酸鉀、銨等無機鹼性化合物;氫氧化四甲基銨、氫氧化2-羥基乙基三甲基銨、單甲基胺、二甲基胺、三甲基胺、單乙基胺、二乙基胺、三乙基胺、單異丙基胺、二異丙基胺、乙醇胺等有機鹼性化合物。其中,尤宜為氫氧化鉀、碳酸氫鈉及氫氧化四甲基銨。
此等無機及有機鹼性化合物的水溶液之濃度,宜為0.01至10質量%,並以0.03至5質量%更佳。
前述鹼性化合物的水溶液,也可含有界面活性劑。
界面活性劑,可列舉:聚氧乙烯烷基醚、聚氧乙烯芳基醚、聚氧乙烯烷基芳基醚、其他的聚氧乙烯衍生物、氧乙烯/氧丙烯嵌段共聚物、山梨醇酐脂肪酸酯、聚氧乙烯山梨醇酐脂肪酸酯、聚氧乙烯山梨醇脂肪酸酯、甘油脂肪酸
酯、聚氧乙烯脂肪酸酯、聚氧乙烯烷基胺等非離子系界面活性劑;月桂基醇硫酸酯鈉、油基醇硫酸酯鈉、月桂基硫酸鈉、月桂基硫酸銨、十二烷基苯磺酸鈉、十二烷基萘磺酸鈉等陰離子系界面活性劑;硬脂胺鹽酸鹽(stearylamine hydrochloride)、月桂基三甲基氯化銨等陽離子系界面活性劑等。
鹼性化合物的水溶液中之界面活性劑的濃度,宜為0.01至10質量%,並以0.05至8質量%更佳,而以0.1至5質量%尤佳。
在本發明中,也可省略在顯影後進行加溫並保持的步驟。而且,如有需要也可加入進行加溫並保持的步驟。
本發明中進行加溫並保持的步驟之溫度,通常是23℃以上200℃以下,尤宜為25℃以上180℃以下,而以25℃以上160℃以下為更佳,而以25℃以上120℃以下為又更佳。進行加溫並保持的時間,通常是1至300分鐘,尤宜為1至180分鐘,而以1至60分鐘更佳。
省略進行加溫並保持的步驟時,可因減少步驟數而降低製造成本。而且,省略進行加溫並保持的步驟時,可使用薄膜基板而製造可撓式顯示器。
本發明的感光性組成物,可得到色濃度、亮度、對比、靈敏度、解析度、耐熱性等良好的圖案,及含有該圖案的濾色器。而且,此等濾色器或圖案,係可以
已周知的態樣而利用在具備此等而作為其構成部分的一部分之顯示裝置,例如:已周知的液晶顯示裝置、有機EL裝置、固體攝影元件、電子紙等著色圖像相關的機器上。
在配備攪拌裝置、滴液漏斗、冷凝器、溫度計、導氣管的燒瓶中,加入丙二醇單甲基醚醋酸酯67重量份、丙二醇單甲基醚33重量份,一邊進行氮取代一邊攪拌並昇溫至120℃。接著,在包含甲基丙烯酸三環癸酯11重量份、甲基丙烯酸苯甲酯31重量份、甲基丙烯酸23重量份的單體混合物中,添加PerbutylO(第三丁基過氧-2-乙基己酸酯,ter-butyl peroxy-2-ethylhexanoate)(日本油脂股份有限公司製),其量是相對於單體混合物100重量份的1重量份。將之由滴液漏斗耗時2小時滴入燒瓶中,並且,以120℃攪拌2小時,得到共聚物。接著,將燒瓶內取代成空氣,在上述共聚物的溶液中投入甲基丙烯酸縮水甘油酯10重量份、三苯基膦0.46重量份及甲基氫醌0.08重量份,以120℃繼續反應直至固形分酸價成為150KOHmg/g而結束反應,由於加入丙二醇單甲基醚醋酸酯75重量份、丙二醇單甲基醚5重量份,而得不揮發成分30%的可鹼顯影之圖案樹脂(Mw:30000)溶液A1。
在配備攪拌裝置、滴液漏斗、冷凝器、溫度計、導氣管的燒瓶中,加入丙二醇單甲基醚醋酸酯67重量份、丙二
醇單甲基醚33重量份,一邊進行氮取代一邊攪拌並昇溫至120℃。接著,在包含甲基丙烯酸三環癸酯10重量份、甲基丙烯酸苯甲酯34重量份、甲基丙烯酸20重量份的單體混合物中,添加PerbutylO(第三丁基過氧-2-乙基己酸酯,ter-butyl peroxy-2-ethylhexanoate)(日本油脂股份有限公司製),其量是相對於單體混合物100重量份的1重量份。將之由滴液漏斗耗時2小時滴入燒瓶中,並且,以120℃攪拌2小時,得到共聚物。接著,將燒瓶內取代成空氣,在上述共聚物的溶液中投入甲基丙烯酸縮水甘油酯10重量份、三苯基膦0.44重量份及甲基氫醌0.08重量份,並以120℃繼續反應直至固形分酸價成為130KOHmg/g而結束反應,藉由加入丙二醇單甲基醚醋酸酯74重量份、丙二醇單甲基醚5重量份,而得到不揮發成分30%的可鹼顯影之圖案樹脂(Mw:30000)溶液A2。
在配備攪拌機、溫度計、迴流冷凝器、滴液漏斗及氮氣導入管的燒瓶中,導入丙二醇單甲基醚醋酸酯182g,使燒瓶內的氣體環境由空氣變成氮氣之後,昇溫至100℃,之後將在包含甲基丙烯酸苯甲酯70.5g(0.40莫耳)、甲基丙烯酸43.0g(0.5莫耳)、三環癸烷骨架的單甲基丙烯酸酯(日立化成股份有限公司製FA-513M)22.0g(0.10莫耳)及丙二醇單甲基醚醋酸酯136g的混合物中添加有偶氮雙異丁腈3.6g的溶液由滴液漏斗耗時2小時滴入燒瓶內,並以100
℃繼續攪拌5小時。接著,使燒瓶內的周圍環氣體環境由氮氣成為空氣,並將甲基丙烯酸縮水甘油酯35.5g[0.25莫耳,(相對於本反應中所使用的甲基丙烯酸的羧基為50莫耳%)]、參(二甲基胺基甲基酚)0.9g及氫醌0.145g投入燒瓶內,以110℃繼續反應6小時,得到固形分酸價為79mgKOH/g的黏合劑樹脂溶液A3(Mw:13000)。
在配備攪拌機、溫度計、迴流冷凝器、滴液漏斗及氮氣導入管的燒瓶中,導入丙二醇單甲基醚醋酸酯591份,使燒瓶內的氣體環境由空氣變成氮氣之後,昇溫至110℃後,在包含甲基丙烯酸苯甲酯17.6份、甲基丙烯酸縮水甘油酯113.7份及三環癸烷骨架的單甲基丙烯酸酯(日立化成股份有限公司製FA-513M)22.0份的單體混合物中,將已在丙二醇單甲基醚醋酸酯153份中添加有偶氮雙異丁腈3.6份的溶液中,由滴液漏斗耗時2小時滴入燒瓶中,並且,以100℃繼續攪拌2小時。接著,使燒瓶內的周圍環氣體環境由氮氣成為空氣,並將甲基丙烯酸68.9份、參(二甲基胺基甲基酚)0.9g及氫醌0.145份投入燒瓶內,以110℃繼續反應6小時,直至固形分酸價為1mgKOH/g而結束反應。
接著加入四氫鄰苯二甲酸酐53.3份、三乙基胺0.8份,以120℃使其反應3.5小時,得到固形分37.9%、酸價為68.6mgKOH/g(換算固形分)的黏合劑樹脂溶液A4(Mw:7900)。
在配備迴流冷卻器、滴液漏斗及攪拌機的1L燒瓶內流通適量的氮而成為氮氣環境,並加入丙二醇單甲基醚醋酸酯100份,一邊攪拌一邊加熱至85℃。接著,在該燒瓶內利用滴液泵耗時約5小時滴下於丙二醇單甲基醚醋酸酯40重量份中溶解有甲基丙烯酸19重量份、丙烯酸3,4-環氧基三環[5.2.1.02.6]癸酯(式(I-1)表示的化合物及式(Ⅱ-1)表示的化合物171重量份的溶液。另一方面,將在丙二醇單甲基醚醋酸酯120重量份中溶解有聚合起始劑2,2’-偶氮雙(2,4-二甲基戊腈)26重量份的溶液,利用另外的滴液泵耗時約5小時滴下至燒瓶內。聚合起始劑滴畢之後,保持在同樣的溫度大約3小時,然後冷卻至室溫後,得到固形分43.5重量%、酸價為52mgKOH/g(換算固形分)的黏合劑樹脂溶液A5(Mw:8000)。
合成例中所得的黏合劑樹脂溶液之重量平均分子量(Mw)之測定,是使用GPC法,並以下述的條件進行。
裝置:K2479(島津製作所股份有限公司製)
管柱:SHIMADZU Shin-pack GPC-80M
管柱溫度:40℃
溶劑:THF(四氫呋喃)
流速:1.0mL/分鐘
檢測器:RI
將混合有著色劑(E):C.I.顏料紅242 15份、著色劑(E):C.I.顏料紅177 20份、丙烯酸系顏料分散劑 14份、黏合劑樹脂溶液(A1)(換算成固形分) 10份、及丙二醇單甲基醚醋酸酯 191份,並利用珠磨機使顏料充分分散的顏料分散液,與黏合劑樹脂溶液(A1) 280份;聚合性化合物(B):甘油1,3-二甘油酯二丙烯酸酯(GDDA;Aldrich公司製) 40份;聚合起始劑(C):N-苯甲醯氧基-1-(4-苯基硫基苯基)辛烷-1-酮-2-亞胺(Irgacure(註冊商標)OXE-01;BASF日本公司製) 4.0份;聚合起始劑(C):雙(2,4,6-三甲基苯甲醯基)苯基膦氧化物(Irgacure(註冊商標)819;BASF日本公司製) 8.0份;聚合起始助劑(C):二乙基氧硫雜蒽酮(KAYACURE(註冊商標)DETX-S;日本化藥股份有限公司製) 4.0份;
溶劑(D):丙二醇單甲基醚醋酸酯 409份;以及界面活性劑(F):聚醚改質聚矽氧油(Toray Silicone SH8400;Toray Dow Corning股份有限公司製) 0.5份進行混合,而得到感光性樹脂組成物1。
所得的感光性樹脂組成物之溶劑在全部溶劑中丙二醇單甲基醚醋酸酯為92.7質量%,丙二醇單甲基醚為7.3質量%。而且,黏合劑樹脂(A1)與聚合性化合物(B)之比率,以換算固形分時為70/30。
將混合有著色劑(E):C.I.顏料綠58 43份、著色劑(E):C.I.顏料黃138 24份、丙烯酸系顏料分散劑 12份、黏合劑樹脂溶液(A1)(換算成固形分) 26份、及丙二醇單甲基醚醋酸酯 390份並利用珠磨機使顏料充分分散的顏料分散液,與黏合劑樹脂溶液(A1) 133份;聚合性化合物(B):二新戊四醇六丙烯酸酯KAYARAD(註冊商標)DPHA(日本化藥公司製) 44份;聚合起始劑(C):N-苯甲醯氧基-1-(4-苯基硫基苯基)辛烷
-1-酮-2-亞胺(Irgacure(註冊商標)OXE-01;BASF日本公司製) 11份;聚合起始劑(C):雙(2,4,6-三甲基苯甲醯基)苯基膦氧化物(Irgacure(註冊商標)819;BASF日本公司製) 8.8份;聚合起始助劑(C):二乙基氧硫雜蒽酮(KAYACURE(註冊商標)DETX-S;日本化藥股份有限公司製) 11份;溶劑(D):丙二醇單甲基醚醋酸酯 322份;以及界面活性劑(F):聚醚改質聚矽氧油(Toray Silicone SH8400;Toray Dow Corning股份有限公司製) 0.5份進行混合,而得到感光性樹脂組成物2。
所得的感光性樹脂組成物之溶劑,在全部溶劑中之丙二醇單甲基醚醋酸酯為96.4質量%,丙二醇單甲基醚為3.6質量%。而且,黏合劑樹脂(A1)與聚合性化合物(B)之比率,換算成固形分為60/40。
將混合有著色劑(E):C.I.顏料藍15:6 27份、著色劑(E):C.I.顏料紫23 0.5份、丙烯酸系顏料分散劑 10份、
黏合劑樹脂溶液(A1)(換算成固形分) 8.3份及丙二醇單甲基醚醋酸酯 140份,並利用珠磨機使顏料充分分散的顏料分散液,與黏合劑樹脂溶液(A1) 248份;聚合性化合物(B):二新戊四醇六丙烯酸酯KAYARAD(註冊商標)DPHA(日本化藥公司製) 35份;聚合起始劑(C):N-苯甲醯氧基-1-(4-苯基硫基苯基)辛烷-1-酮-2-亞胺(Irgacure(註冊商標)OXE-01;BASF日本公司製) 5.8份;聚合起始劑(C):雙(2,4,6-三甲基苯甲醯基)苯基膦氧化物(Irgacure(註冊商標)819;BASF日本公司製) 9.4份;聚合起始助劑(C):二乙基氧硫雜蒽酮(KAYACURE(註冊商標)DETX-S;日本化藥股份有限公司製) 4.7份;溶劑(D):丙二醇單甲基醚醋酸酯 507份;以及界面活性劑(F):聚醚改質聚矽氧油(Toray Silicone SH8400;Toray Dow Corning股份有限公司製) 0.5份進行混合,而得到感光性樹脂組成物3。
所得的感光性樹脂組成物之溶劑,在全部溶劑中之丙二醇單甲基醚醋酸酯為93.7質量%,丙二醇單甲基醚為6.3質量%。而且,黏合劑樹脂(A1)與聚合性化合物(B)之比
率,換算成固形分為70/30。
將混合有著色劑(E):C.I.顏料藍15:6 27份、著色劑(E):C.I.顏料紫23 0.5份、丙烯酸系顏料分散劑 10份、黏合劑樹脂溶液(A1)(換算成固形分) 7.4份、及丙二醇單甲基醚醋酸酯 140份,並利用珠磨機使顏料充分分散的顏料分散液,與黏合劑樹脂溶液(A2) 209份;聚合性化合物(B):二新戊四醇六丙烯酸酯KAYARAD(註冊商標)DPHA(日本化藥公司製) 47份;聚合起始劑(C):N-苯甲醯氧基-1-(4-苯基硫基苯基)辛烷-1-酮-2-亞胺(Irgacure(註冊商標)OXE-01;BASF日本公司製) 5.8份;聚合起始劑(C):雙(2,4,6-三甲基苯甲醯基)苯基膦氧化物(Irgacure(註冊商標)819;BASF日本公司製) 9.4份;聚合起始助劑(C):二乙基氧硫雜蒽酮(KAYACURE(註冊商標)DETX-S;日本化藥股份有限公司製) 4.7份;溶劑(D):丙二醇單甲基醚醋酸酯 530份;
以及界面活性劑(F):聚醚改質聚矽氧油(Toray Silicone SH8400;Toray Dow Corning股份有限公司製) 0.5份進行混合,而得到感光性樹脂組成物4。
所得的感光性樹脂組成物之溶劑,在全部溶劑中之丙二醇單甲基醚醋酸酯為94.7質量%,丙二醇單甲基醚為5.3質量%。而且,黏合劑樹脂(A2)與聚合性化合物(B)之比率,換算成固形分時為60/40。
將混合有著色劑(E):C.I.顏料藍15:6 27份、著色劑(E):C.I.顏料紫23 0.5份、丙烯酸系顏料分散劑 10份、黏合劑樹脂溶液(A1)(換算成固形分) 7.4份、及丙二醇單甲基醚醋酸酯 140份,並利用珠磨機使顏料充分分散的顏料分散液,與黏合劑樹脂溶液(A1) 268份;聚合性化合物(B):二新戊四醇六丙烯酸酯KAYARAD(註冊商標)DPHA(日本化藥公司製) 29份;聚合起始劑(C):N-苯甲醯氧基-1-(4-苯基硫基苯基)辛烷
-1-酮-2-亞胺(Irgacure(註冊商標)OXE-01;BASF日本公司製) 5.8份;聚合起始劑(C):雙(2,4,6-三甲基苯甲醯基)苯基膦氧化物(Irgacure(註冊商標)819;BASF日本公司製) 9.4份;聚合起始助劑(C):二乙基氧硫雜蒽酮(KAYACURE(註冊商標)DETX-S;日本化藥股份有限公司製) 4.7份;溶劑(D):丙二醇單甲基醚醋酸酯 494份;以及界面活性劑(F):聚醚改質聚矽氧油(Toray Silicone SH8400;Toray Dow Corning股份有限公司製) 0.5份進行混合,而得到感光性樹脂組成物5。
所得的感光性樹脂組成物之溶劑,在全部溶劑中之丙二醇單甲基醚醋酸酯為93.2質量%,丙二醇單甲基醚為6.8質量%。而且,黏合劑樹脂(A1)與聚合性化合物(B)之比率,換算成固形分時為75/25。
將混合有著色劑(E):C.I.顏料藍15:6 27份、著色劑(E):C.I.顏料紫23 0.5份、丙烯酸系顏料分散劑 10份、
黏合劑樹脂溶液(A1)(換算成固形分) 8.3份、及丙二醇單甲基醚醋酸酯 140份,並利用珠磨機使顏料充分分散的顏料分散液,與黏合劑樹脂溶液(A1) 248份;聚合性化合物(B):二新戊四醇六丙烯酸酯KAYARAD(註冊商標)DPHA(日本化藥公司製) 35份;聚合起始劑(C):N-苯甲醯氧基-1-(4-苯基硫基苯基)辛烷-1-酮-2-亞胺(Irgacure(註冊商標)OXE-01;BASF日本公司製) 5.8份;聚合起始劑(C):雙(2,4,6-三甲基苯甲醯基)苯基膦氧化物(Irgacure(註冊商標)819;BASF日本公司製) 9.4份;聚合起始助劑(C):二乙基氧硫雜蒽酮(KAYACURE(註冊商標)DETX-S;日本化藥股份有限公司製) 4.7份;溶劑(D):丙二醇單甲基醚 190份溶劑(D):丙二醇單甲基醚醋酸酯 317份;以及界面活性劑(F):聚醚改質聚矽氧油(Toray Silicone SH8400;Toray Dow Corning股份有限公司製) 0.5份進行混合,而得到感光性樹脂組成物6。
所得的感光性樹脂組成物之溶劑,在全部溶劑中之丙二醇單甲基醚醋酸酯為70.7質量%,丙二醇單甲基醚為
29.3質量%。而且,黏合劑樹脂(A2)與聚合性化合物(B)之比率,換算成固形分時為70/30。
將混合有著色劑(E):C.I.顏料藍15:6 27份、著色劑(E):C.I.顏料紫23 0.5份、丙烯酸系顏料分散劑 10份、黏合劑樹脂溶液(A1)(換算成固形分) 8.3份、及丙二醇單甲基醚醋酸酯 140份,並利用珠磨機使顏料充分分散的顏料分散液,與黏合劑樹脂溶液(A1) 248份;聚合性化合物(B):二新戊四醇六丙烯酸酯KAYARAD(註冊商標)DPHA(日本化藥公司製) 35份;聚合起始劑(C):N-苯甲醯氧基-1-(4-苯基硫基苯基)辛烷-1-酮-2-亞胺(Irgacure(註冊商標)OXE-01;BASF日本公司製) 5.8份;聚合起始劑(C):2,4,6-三甲基苯甲醯基-二苯基膦氧化物(Lucirin(註冊商標)TPO;BASF日本公司製) 9.4份;聚合起始助劑(C):二乙基氧硫雜蒽酮(KAYACURE(註冊商標)DETX-S;日本化藥股份有限公司製) 4.7份;
溶劑(D):丙二醇單甲基醚 190份溶劑(D):丙二醇單甲基醚醋酸酯 317份;以及界面活性劑(F):聚醚改質聚矽氧油(Toray Silicone SH8400;Toray Dow Corning股份有限公司製) 0.5份進行混合,而得到感光性樹脂組成物7。
所得的感光性樹脂組成物之溶劑,在全部溶劑中之丙二醇單甲基醚醋酸酯為70.7質量%,丙二醇單甲基醚為29.3質量%。而且,黏合劑樹脂(A2)與聚合性化合物(B)之比率,換算成固形分時為70/30。
將混合有著色劑(E):C.I.顏料綠36 55份、著色劑(E):C.I.顏料黃150 24份、丙烯酸系顏料分散劑 10份、黏合劑樹脂溶液(A3)(換算成固形分) 20份、及丙二醇單甲基醚醋酸酯 260份,並利用珠磨機使顏料充分分散的顏料分散液,與黏合劑樹脂溶液(A3)(換算固形分) 46份;聚合性化合物(B):二新戊四醇六丙烯酸酯
KAYARAD(註冊商標)DPHA(日本化藥公司製) 57份;聚合起始劑(C):N-苯甲醯氧基-1-(4-苯基硫基苯基)辛烷-1-酮-2-亞胺(Irgacure(註冊商標)OXE-01;BASF日本公司製) 15份;聚合起始助劑(C):4,4’-二(N,N-二乙基胺基)苯并酮(EAB-F(註冊商標)保土谷化學股份有限公司製) 5份;溶劑(D):丙二醇單甲基醚醋酸酯 500份;以及界面活性劑(F):聚醚改質聚矽氧油(Toray Silicone SH8400;Toray Dow Corning股份有限公司製) 0.5份;環氧樹脂:SUMI-EPOXY ESCN-195XL(住友化學股份有限公司製) 6.1份進行混合,而得到感光性樹脂組成物8。
所得的感光性樹脂組成物之溶劑,在全部溶劑中之丙二醇單甲基醚醋酸酯為100質量%。而且,黏合劑樹脂(A3)與聚合性化合物(B)之比率,換算成固形分時為46/57。
將混合有著色劑(E):C.I.顏料藍15:6 27份、著色劑(E):C.I.顏料紫23 0.5份、丙烯酸系顏料分散劑 10份、
黏合劑樹脂溶液(A1)(換算固形分) 7.4份、及丙二醇單甲基醚醋酸酯 140份,並利用珠磨機使顏料充分分散的顏料分散液,與黏合劑樹脂溶液(A1) 274份;聚合性化合物(B):二新戊四醇六丙烯酸酯KAYARAD(註冊商標)DPHA(日本化藥公司製) 38份;聚合起始劑(C):N-苯甲醯氧基-1-(4-苯基硫基苯基)辛烷-1-酮-2-亞胺(Irgacure(註冊商標)OXE-01;BASF日本公司製) 6.4份;聚合起始助劑(C):二乙基氧硫雜蒽酮(KAYACURE(註冊商標)DETX-S;日本化藥股份有限公司製) 2.6份;溶劑(D):丙二醇單甲基醚醋酸酯 489份;以及界面活性劑(F):聚醚改質聚矽氧油(Toray Silicone SH8400;Toray Dow Corning股份有限公司製) 0.5份進行混合而得到感光性樹脂組成物9。
所得的感光性樹脂組成物之溶劑,在全部溶劑中之丙二醇單甲基醚醋酸酯為93.0質量%,丙二醇單甲基醚為7.0質量%。而且,黏合劑樹脂(A1)與聚合性化合物(B)之比率,換算成固形分為70/30。
將混合有著色劑(E):C.I.顏料藍15:6 27份、著色劑(E):C.I.顏料紫23 0.5份、丙烯酸系顏料分散劑 10份、黏合劑樹脂溶液(A4)(換算成固形分) 7.4份、及丙二醇單甲基醚醋酸酯 140份,並利用珠磨機使顏料充分分散的顏料分散液,與黏合劑樹脂(A4)(換算固形分) 197份;聚合性化合物(B):二新戊四醇六丙烯酸酯KAYARAD(註冊商標)DPHA(日本化藥公司製) 35份;光聚合起始劑(C):N-苯甲醯氧基-1-(4-苯基硫基苯基)辛烷-1-酮-2-亞胺(Irgacure(註冊商標)OXE-01;BASF日本公司製) 5.8份;光聚合起始劑(C):雙(2,4,6-三甲基苯甲醯基)苯基膦氧化物(Irgacure(註冊商標)819;BASF日本公司製) 9.4份;聚合起始助劑(C):二乙基氧硫雜蒽酮(KAYACURE(註冊商標)DETX-S;日本化藥股份有限公司製) 4.7份;溶劑(F):丙二醇單甲基醚醋酸酯 559份;以及
界面活性劑(F):聚醚改質聚矽氧油(Toray Silicone SH8400;Toray Dow Corning股份有限公司製) 0.5份進行混合而得到感光性樹脂組成物10。
所得的感光性樹脂組成物之溶劑,在全部溶劑中之丙二醇單甲基醚醋酸酯為100質量%。而且,黏合劑樹脂(A1)與聚合性化合物(B)之比率,換算成固形分為70/30。
將混合有著色劑(E):C.I.顏料藍15:6 27份、著色劑(E):C.I.顏料紫23 0.5份、丙烯酸系顏料分散劑 10份、黏合劑樹脂溶液(A5)(換算成固形分) 7.4份、及丙二醇單甲基醚醋酸酯 140份,並利用珠磨機使顏料充分分散的顏料分散液,與黏合劑樹脂溶液(A5) 171份;聚合性化合物(B):二新戊四醇六丙烯酸酯KAYARAD(註冊商標)DPHA(日本化藥公司製) 35份;光聚合起始劑(C):N-苯甲醯氧基-1-(4-苯基硫基苯基)辛烷-1-酮-2-亞胺(Irgacure(註冊商標)OXE-01;BASF日本公司製) 5.8份;
光聚合起始劑(C):雙(2,4,6-三甲基苯甲醯基)苯基膦氧化物(Irgacure(註冊商標)819;BASF日本公司製) 9.4份;聚合起始助劑(C):二乙基氧硫雜蒽酮(KAYACURE(註冊商標)DETX-S;日本化藥股份有限公司製) 4.7份;溶劑(F):丙二醇單甲基醚醋酸酯 584份;以及界面活性劑(F):聚醚改質聚矽氧油(Toray Silicone SH8400;Toray Dow Corning股份有限公司製) 0.5份進行混合而得到感光性樹脂組成物11。
所得的感光性樹脂組成物之溶劑,在全部溶劑中之丙二醇單甲基醚醋酸酯為100質量%。而且,黏合劑樹脂(A1)與聚合性化合物(B)之比率,換算成固形分為70/30。
將著色劑(E):C.I.顏料藍15:6 27份、著色劑(E):C.I.顏料紫23 0.5份、丙烯酸系顏料分散劑 10份、黏合劑樹脂溶液(A1)(換算成固形分) 8.3份、及
丙二醇單甲基醚醋酸酯 140份,並利用珠磨機使顏料充分分散的顏料分散液,與黏合劑樹脂溶液(A1) 248份;聚合性化合物(B):二新戊四醇六丙烯酸酯KAYARAD(註冊商標)DPHA(日本化藥公司製) 35份;聚合起始劑(C):N-苯甲醯氧基-1-(4-苯基硫基苯基)辛烷-1-酮-2-亞胺(Irgacure(註冊商標)OXE-01;BASF日本公司製) 5.8份;聚合起始劑(C):雙(2,4,6-三甲基苯甲醯基)苯基膦氧化物(Irgacure(註冊商標)819;BASF日本公司製) 9.4份;聚合起始助劑(C):二乙基氧硫雜蒽酮(KAYACURE(註冊商標)DETX-S;日本化藥股份有限公司製) 4.7份;溶劑(D):丙二醇單甲基醚 231份;溶劑(D):丙二醇單甲基醚醋酸酯 275份;以及界面活性劑(F):聚醚改質聚矽氧油(Toray Silicone SH8400;Toray Dow Corning股份有限公司製) 0.5份進行混合而得到感光性樹脂組成物12。
所得的感光性樹脂組成物之溶劑,在全部溶劑中之丙二醇單甲基醚醋酸酯為65.0質量%,丙二醇單甲醚為35.0質量%。而且,黏合劑樹脂(A1)與聚合性化合物(B)之比率,換算成固形分為70/30。
將PET膜(Toray製lumirror75-T-60)貼合在2平方公寸(square inch)的玻璃板上,製作基板。以旋塗法,將上述所得的感光性樹脂組成物塗佈在基板的PET膜側,並在加熱板上以80℃預烘烤2分鐘。放冷後,將已塗佈該硬化性組成物的基板,利用曝光機(TME-150RSK;topcon股份有限公司製),在大氣氣體環境下,以150mJ/cm2的曝光量(365nm基準)將光照射在基板全面。又,使用形成有10至100μm的線隙圖案(line and space pattern)之遮罩作為光罩。照射光後,在含有非離子系界面活性劑0.12%與氫氧化鉀0.04%的水系顯影液中,以23℃浸泡50秒並進行顯影,經純水清洗後,得到圖案化塗膜。所得的圖案化塗膜之膜厚,在以膜厚測定裝置(DEKTAK3;日本真空技術股份有限公司製)測定時,為2μm。
以雷射顯微鏡(Axio Imager MAT Carl Zeiss公司製)觀察所得的圖案化塗膜,將解析的最小尺寸作為解析度。解析度越高時,越可使用於高精細的濾色器之製造上。
以雷射顯微鏡(Axio Imager MAT Carl Zeiss公司製)觀察所得的圖案化塗膜,圖案上無水痕者為○(未見顯影不均)、有水痕者為×(可見顯影不均),以進行評估。在可見到顯影不均之情形下,當用於製造濾色器時,會產生色斑。
在前述形成於基板上的圖案處,滴下1mL的丙二醇單
甲基醚醋酸酯,靜置30秒之後,利用旋轉塗佈機以旋轉數1000rpm使其旋轉10秒,振掉圖案上的丙二醇單甲基醚醋酸酯。
於與丙二醇單甲基醚醋酸酯的接觸前後測定的膜厚值,係依照下述式計算出膜厚保持率。膜厚保持率越高表示硬化性良好,在使用於濾色器的製造時,可防止混色、改善顯影不均。
(膜厚保持率)(%)=(接觸後的膜厚)/(接觸前的膜厚)
將PET膜(Toray製lumirror-75-T-60)貼合在2平方公寸的玻璃板上,製作基板。以旋塗法將上述所得的感光性樹脂組成物塗佈在基板的PET膜側,並在加熱板上以80℃預烘烤2分鐘。放冷後,利用曝光機(TME-150RSK;topcon股份有限公司製),將已塗佈該硬化性組成物的基板在大氣氣體環境下,以150mJ/cm2的曝光量(365nm基準)將光照射在基板全面。又,係不使用光罩而進行全面的曝光。所得的全塗膜之膜厚,在以膜厚測定裝置(DEKTAK3;日本真空技術股份有限公司製)測定時,為2μm。
依照JIS K5600-5-6,對所得的全塗膜進行膠帶剝離試驗(百格刀試驗(cross cut test)),評估與PET膜之密著性。結果如表1、2中所示。
依照JIS K5400,利用鉛筆筆畫硬度試驗機(股份有限公司安田精機製作所製)對所得的全塗膜進行鉛筆硬度試驗。又,荷重為1,000g。
使用膜塗佈機(film applicator)(太佑機材股份有限公司製AP75),將上述所得的感光性樹脂組成物塗佈在5平方公分的PET膜(Toray製lumirror75-T60)上,並在加熱板上以80℃預烘烤2分鐘。放冷後,在已塗佈該硬化性組成物的面上,貼合未經塗佈的5平方公分的PET膜(Toray製lumirror75-T60)之後,將未經塗佈的5平方公分的PET膜(Toray製lumirror75-T60)剝離。經塗佈的PET膜上無斑點,並且無轉印至未經塗佈的PET膜者為○(未見到黏性);而經塗佈的PET膜上有斑點,並且有轉印至未經塗佈的PET膜者為×(可見到黏性),以進行評估。在可見到黏性之情形下,當使用於製造濾色器時,會產生色斑。
依照本發明,可提供具有可令人滿足的硬度及黏性的圖案之感光性樹脂組成物。
藉由使用本發明的感光性樹脂組成物,可得到顯影不均經改善的高解析度之圖案。依據本發明而得的圖案,係有用於使用在液晶顯示器或有機EL顯示裝置、電子紙顯示裝置等中作為顯示用的濾色器。
Claims (11)
- 一種感光性樹脂組成物,其係含有(A)黏合劑樹脂、(B)聚合性化合物、(C)聚合起始劑及起始助劑及(D)溶劑;(A)黏合劑樹脂的重量平均分子量為8,000以上100,000以下,(C)聚合起始劑及起始助劑至少含有肟系化合物、醯基膦氧化物系化合物與氧硫雜蒽酮系化合物,(D)溶劑為,在全部溶劑中含有70質量%以上99質量%以下之溶解度參數8.0至9.1(cal/cm3)1/2的溶劑,在全部溶劑中含有1質量%以上30質量%以下之溶解度參數9.2至11.0(cal/cm3)1/2的溶劑,其中,前述溶解度參數為9.2至11.0(cal/cm3)1/2的溶劑,係選自由乙二醇單丙基醚、乙二醇單異丙基醚、乙二醇單正丁基醚、乙二醇單己基醚、乙二醇單苯基醚、乙二醇單苯甲基醚、乙二醇單芳基醚、二乙二醇單甲基醚、二乙二醇單正丁基醚、二乙二醇單己基醚、二乙二醇單2-乙基己基醚、二乙二醇單苯甲基醚、三乙二醇單甲基醚、三乙二醇單乙基醚、三乙二醇單正丁基醚、聚乙二醇單甲基醚、丙二醇單甲基醚、丙二醇單正丙基醚、丙二醇單正丁基醚、丙二醇單第三丁基醚、丙二醇單苯基醚、二丙二醇單甲基醚、三丙二醇單甲基醚、乙二醇單正丁基醚醋酸酯、丙二醇二醋酸酯、甲基-3-甲氧基丙酸酯、乳酸甲酯、乳酸丁酯、環己酮(cyclohexanone)、二丙酮醇(diacetone alcohol)、1-丙醇、1-丁醇、甲基乙基酮、二烷、二氯甲烷、氯 仿、二甲基亞碸、丙酮、碳酸二甲酯、1,1,2,2-四氯乙烷所組成群組之溶劑。
- 如申請專利範圍第1項所述之感光性樹脂組成物,其中,(A)黏合劑樹脂之固形分酸價為80以上200以下。
- 如申請專利範圍第1項所述之感光性樹脂組成物,其中,以質量基準表示(A)黏合劑樹脂/(B)聚合性化合物時,(A)黏合劑樹脂與(B)聚合性化合物的比率為50/50以上80/20以下。
- 如申請專利範圍第1項所述之感光性樹脂組成物,進一步含有(E)著色劑。
- 如申請專利範圍第1項所述之感光性樹脂組成物,進一步含有(F)調平劑,調平劑之量為0.001質量%以上0.3質量%以下。
- 一種圖案化塗膜,其是申請專利範圍第1至5項中任一項所述之感光性樹脂組成物所形成者。
- 一種圖案化塗膜的製造方法,包含:將申請專利範圍第1至5項中任一項所述之感光性樹脂組成物塗佈在支撐物上,並去除溶劑而形成塗膜的步驟;與將前述塗膜遮罩之後進行曝光,並以顯影液將前述塗膜未曝光的部分去除的步驟。
- 一種圖案化塗膜的製造方法,僅包含:將申請專利範圍第1至5項中任一項所述之感光性樹脂組成物塗佈在支撐物上,並去除溶劑而形成塗 膜的步驟,與將前述塗膜遮罩之後進行曝光,並以顯影液將前述塗膜未曝光的部分去除的步驟。
- 一種圖案化塗膜的製造方法,包含:將申請專利範圍第1至5項中任一項所述之感光性樹脂組成物塗佈在支撐物上,並去除溶劑而形成塗膜的步驟;將前述塗膜遮罩之後進行曝光,並以顯影液將前述塗膜未曝光的部分去除的步驟;及將經顯影液去除未曝光部分後的塗膜保持在23℃以上200℃以下的溫度之步驟。
- 一種濾色器,其係含有申請專利範圍第6項所述之圖案化塗膜。
- 一種濾色器,其係含有以申請專利範圍第7項所述之製造方法而得的圖案化塗膜。
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TW200305617A (en) * | 2001-08-21 | 2003-11-01 | Mitsubishi Chem Corp | Curable resin composition for die coating, color filter, process for producing color filter, and liquid crystal display device |
TW200844656A (en) * | 2007-03-29 | 2008-11-16 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | Colored photosensitive resin composition, black matrix, color filter and liquid crystal display |
TW200905386A (en) * | 2007-04-27 | 2009-02-01 | Fujifilm Corp | Colored photopolymerizable composition, color filter using the same and method of producing color filter |
TW201114843A (en) * | 2009-06-25 | 2011-05-01 | Jsr Corp | Coloring composition, color filter and color liquid crystal display element |
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JP4505353B2 (ja) * | 2005-03-01 | 2010-07-21 | 富士フイルム株式会社 | 染料含有ネガ型硬化性組成物、カラーフィルタおよびその製造方法 |
TW200710572A (en) * | 2005-05-31 | 2007-03-16 | Taiyo Ink Mfg Co Ltd | Photocuring/thermosetting resin composition, curing/setting product thereof and printed wiring board obtained using the same |
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JP2007310060A (ja) * | 2006-05-17 | 2007-11-29 | Fujifilm Corp | 感光性樹脂組成物、及び感光性フィルム、並びに、永久パターン形成方法、及びプリント配線板 |
JP2007333885A (ja) * | 2006-06-13 | 2007-12-27 | Toyo Ink Mfg Co Ltd | 感光性着色組成物及び該組成物を用いて形成できるカラーフィルタ |
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JP2010026362A (ja) * | 2008-07-23 | 2010-02-04 | Toyo Ink Mfg Co Ltd | 半透過型液晶表示装置のカラ−フィルタ用感光性着色組成物、それを用いたカラ−フィルタの製造方法、該方法で製造されたカラ−フィルタ、及び半透過型液晶表示装置 |
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---|---|---|---|---|
TW200305617A (en) * | 2001-08-21 | 2003-11-01 | Mitsubishi Chem Corp | Curable resin composition for die coating, color filter, process for producing color filter, and liquid crystal display device |
TW200844656A (en) * | 2007-03-29 | 2008-11-16 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | Colored photosensitive resin composition, black matrix, color filter and liquid crystal display |
TW200905386A (en) * | 2007-04-27 | 2009-02-01 | Fujifilm Corp | Colored photopolymerizable composition, color filter using the same and method of producing color filter |
TW201114843A (en) * | 2009-06-25 | 2011-05-01 | Jsr Corp | Coloring composition, color filter and color liquid crystal display element |
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