TWI586948B - 用於判定最小光束點之大小及位置的系統及方法 - Google Patents

用於判定最小光束點之大小及位置的系統及方法 Download PDF

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Description

用於判定最小光束點之大小及位置的系統及方法
本發明大體上係關於照明光束之領域，且更特定言之係關於一種用於判定與一照明光束之一最小光束點有關的至少一特徵之系統及方法。
許多現代度量系統依賴於自至少一照明源放射之照明與被分析之一樣本之表面之間的互動之光學分析。由一照明源提供之一照明光束之特徵由於照明源組件之惡化或移動而可隨時間變化。因此，可能需要不時地重新校準照明源以補償照明光束特徵(諸如最小光束點大小及/或位置、光束焦散線等等)之變化。
對於現場校準一照明源而言，用於量測照明光束特徵之當前方法耗時且通常不切實際。例如，量測照明光束特徵之一當前方法必須使照明自沈積在一晶圓上之粒子散射以使用經適當對準之散射收集光學器件分析缺陷。因此，將有利的是提供一種處理先前缺陷之照明光束特徵化之方法。
本發明之一實施例係針對一種用於判定自一照明源放射之一照明光束之至少一特徵之系統，其包含經組態以自一照明源接收照明之一基板。該基板可包含在空間上沿一選定掃描路徑分佈之複數個孔 隙。該照明源可經組態以在一選定時間間隔內照明選定數目個孔隙。該複數個孔隙可進一步在空間上在實質上垂直於該掃描路徑之一方向上彼此偏離。一致動器可經組態以致動該基板以移動該複數個孔隙通過自該照明源放射之一照明光束。該複數個孔隙之分佈可容許具有一第一強度位準之一第一照明部分行進通過一第一孔隙且具有至少一額外強度位準之至少一額外照明部分行進通過至少一額外孔隙。一偵測器可經組態以接收行進通過該複數個孔隙之至少一孔隙之至少一照明部分。通信地耦合至該偵測器之一計算系統可經組態以：接收由該偵測器接收自一第一孔隙之一第一照明部分之一第一強度位準；接收由該偵測器接收自至少一額外孔隙之至少一額外照明部分之至少一額外強度位準；及藉由比較該第一照明部分之該第一強度位準與該至少一額外照明部分之該至少一額外強度位準來判定自該照明源放射之該照明光束之至少一特徵。
本發明之另一實施例係針對一種判定自一照明源放射之一照明光束之至少一特徵之方法，其包含以下步驟：提供一基板，該基板包含在空間上沿一選定掃描路徑分佈之複數個孔隙以容許該照明源在一選定時間間隔內照明選定數目個孔隙，該複數個孔隙進一步在空間上在實質上垂直於該掃描路徑之一方向上彼此偏離，容許具有一第一強度位準之一第一照明部分行進通過一第一孔隙且具有至少一額外強度位準之至少一額外照明部分行進通過至少一額外孔隙；致動該基板以移動該複數個孔隙通過自該照明源放射之一照明光束；利用一偵測器接收行進通過該複數個孔隙之至少一照明部分之至少一孔隙；接收由該偵測器接收自一第一孔隙之一第一照明部分之一第一強度位準；接收由該偵測器接收自至少一額外孔隙之至少一額外強度位準之至少一額外照明部分；及藉由比較該第一照明部分之該第一強度位準與該至少一額外照明部分之該至少一額外強度位準來判定自該照明源放射之 該照明光束之至少一特徵。
本發明之另一實施例係針對一種校準該照明源之方法，其包含以下步驟：在至少一額外時間內致動該基板以移動該複數個孔隙通過自該照明源放射之該照明光束；在該至少一額外時間內利用一偵測器接收行進通過該複數個孔隙之至少一孔隙之至少一照明部分；在該至少一額外時間內接收由該偵測器接收自一第一孔隙之一第一照明部分之一第一強度位準；在該至少一額外時間內接收由該偵測器接收自至少一額外孔隙之至少一額外照明部分之至少一額外強度位準；藉由在該至少一額外時間內比較該第一照明部分之該第一強度位準與該至少一額外照明部分之該至少一額外強度位準而在該至少一額外時間內判定自該照明源放射之該照明光束之至少一特徵；藉由比較在一第一時間內判定之自該照明源放射之該照明光束之該至少一特徵與在該至少一額外時間內判定之自該照明源放射之該照明光束之該至少一特徵來判定依據時間而變之該至少一特徵之一變化速率；及利用依據時間而變之該至少一特徵之已判定之變化速率補償自該照明源放射之該照明光束之該至少一特徵之一預期變化。
本發明之另一實施例係針對一種判定自一照明源放射之一照明光束之至少一特徵之方法，其包含以下步驟：提供一基板，該基板包含在空間上沿一選定掃描路徑分佈之複數個孔隙以容許該照明源在一選定時間間隔內照明選定數目個孔隙，該複數個孔隙進一步在空間上在實質上垂直於該掃描路徑之一方向上彼此偏離，容許具有一第一強度位準之一第一照明部分行進通過一第一孔隙且具有至少一額外強度位準之至少一額外照明部分行進通過至少一額外孔隙；致動該基板以移動該複數個孔隙通過自該照明源放射之一照明光束；利用一偵測器接收行進通過該複數個孔隙之至少一孔隙之至少一照明部分；接收由該偵測器以一第一聚焦位準接收自該複數個孔隙之第一複數個照明部 分之第一複數個強度位準；接收由該偵測器以至少一額外聚焦位準接收自該複數個孔隙之至少額外複數個照明部分之至少額外複數個強度位準；及藉由比較由該偵測器以該第一聚焦位準接收之該第一複數個照明部分之該第一複數個強度位準與由該偵測器以該至少一額外聚焦位準接收之該至少額外複數個照明部分之該至少額外複數個強度位準來判定自該照明源放射之該照明光束之至少一特徵。
本發明之另一實施例係針對一種校準該照明源之方法，其包含以下步驟：在至少一額外時間內致動該基板以移動該複數個孔隙通過自該照明源放射之該照明光束；在該至少一額外時間內利用一偵測器接收行進通過該複數個孔隙之至少一孔隙之至少一照明部分；在該至少一額外時間內接收由該偵測器以一第一聚焦位準接收自該複數個孔隙之第一複數個照明部分之第一複數個強度位準；在該至少一額外時間內接收由該偵測器以至少一額外聚焦位準接收自該複數個孔隙之至少額外複數個照明部分之至少額外複數個強度位準；藉由在至少一額外時間內比較由該偵測器以該第一聚焦位準接收之該第一複數個照明部分之該第一複數個強度位準與由該偵測器以該至少一額外聚焦位準接收之該至少額外複數個照明部分之該至少額外複數個強度位準而在該至少一額外時間內判定自該照明源放射之該照明光束之至少一特徵；藉由比較在一第一時間內判定之自該照明源放射之該照明光束之該至少一特徵與在該至少一額外時間內判定之自該照明源放射之該照明光束之該至少一特徵來判定依據時間而變之該至少一特徵之一變化速率；及利用依據時間而變之該至少一特徵之已判定之變化速率補償自該照明源放射之該照明光束之該至少一特徵之一預期變化。
應瞭解前述一般描述及下列詳細描述皆係例示性且僅僅係解釋性，且不一定限制本發明。併入本說明書之一部分中並構成本說明書之一部分之隨附圖式圖解說明本發明之標的。該等描述及該等圖式一 起用以解釋本發明之原理。
100‧‧‧系統
102‧‧‧基板
104‧‧‧致動器
106‧‧‧照明源
108‧‧‧偵測器
110‧‧‧計算系統
111‧‧‧程式指令
112‧‧‧載體媒體
200‧‧‧方法
202‧‧‧步驟
204‧‧‧步驟
206‧‧‧步驟
208‧‧‧步驟
210‧‧‧步驟
212‧‧‧步驟
214‧‧‧步驟
300‧‧‧方法
302‧‧‧步驟
304‧‧‧步驟
306‧‧‧步驟
308‧‧‧步驟
400‧‧‧方法
402‧‧‧步驟
404‧‧‧步驟
406‧‧‧步驟
408‧‧‧步驟
410‧‧‧步驟
412‧‧‧步驟
414‧‧‧步驟
500‧‧‧方法
502‧‧‧步驟
504‧‧‧步驟
506‧‧‧步驟
508‧‧‧步驟
X‧‧‧偏離
Y‧‧‧偏離
熟習此項技術者在參考隨附圖式之後可更好地理解本發明之數種優點，其中：圖1A係根據本發明之一實施例圖解說明用於判定自一照明源放射之一照明光束之至少一特徵之一系統之一方塊圖；圖1B係根據本發明之一實施例圖解說明具有沿一掃描路徑佈置之複數個孔隙之一基板之一俯視圖；圖1C係根據本發明之一實施例圖解說明具有沿一彎曲掃描路徑佈置之複數個孔隙之一基板及經組態以按一曲線運動致動該基板之一致動器之一方塊圖；圖2係根據本發明之一實施例圖解說明判定自一照明源放射之一照明光束之至少一特徵之一方法之一流程圖；圖3係根據本發明之一實施例圖解說明校準一照明源之一方法之一流程圖；圖4係根據本發明之一實施例圖解說明判定自一照明源放射之一照明光束之至少一特徵之一方法之一流程圖；及圖5係根據本發明之一實施例圖解說明校準一照明源之一方法之一流程圖。
現在將詳細參考已揭示且在隨附圖式中圖解說明之標的。
圖1A至圖5大體上圖解說明一種用於判定自一照明源放射之一照明光束之至少一特徵之系統及方法。照明源通常經歷效能隨時間之負面變化，該等負面變化係由利用照明源時照明源組件及/或光學元件之惡化或移動造成的散焦所致。可利用與一或多個光束特徵(諸如最小光束點大小、最小光束點位置及/或光束焦散線)相關聯之資訊再聚 焦一照明源。因此，本發明係針對一種用於監控一照明光束之至少一特徵之系統及相關聯方法，且進一步針對一種藉由監控至少一光束特徵隨時間之變化來校準一照明源之方法。
圖1A至圖1C根據本發明之一實施例圖解說明用於判定自一照明源放射106之一照明光束之至少一特徵之一系統100。系統100可包含經組態以自照明源106接收一照明光束之一基板102。基板102可包含剛性或半剛性不透明材料。基板102可進一步包含複數個孔隙，其等經組態以允許由該等孔隙之至少一者接收自照明源106之一照明部分透過該孔隙橫越基板102。
基板102之該複數個孔隙可沿經組態以自照明源106接收照明之一掃描路徑佈置。基板102之孔隙可沿掃描路徑均勻分佈。例如，圖1B圖解說明基板102在沿一線性掃描路徑之一第一方向上在基板102之孔隙之間具有均勻分隔X。孔隙可充分分開使得自照明源106放射之照明光束一次照明所要數目個孔隙。例如，孔隙可沿掃描路徑以足夠大的分隔X均勻分佈使得照明源106經組態以一次僅照明一孔隙。
基板102之孔隙可進一步在實質上垂直於掃描路徑之一第二方向上以孔隙間之一偏離佈置。例如，圖1B圖解說明基板102在孔隙之間具有均勻垂直偏離Y。垂直偏離Y可容許取決於一照明孔隙與自照明源106放射之照明光束之間之一空間關係而使具有不同於基板之另一孔隙之一強度位準之一照明部分行經基板102之一第一孔隙。因此，沿掃描路徑平移基板102之該複數個孔隙通過照明光束可容許偵測由具有不同Y偏離之孔隙接收之照明部分之不同強度位準。
圖1C中圖解說明基板102之一替代性實施例，其中基板102實質上為圓形或至少部分彎曲使得該複數個孔隙沿一彎曲掃描路徑佈置。孔隙可進一步以彎曲掃描路徑之切線偏離佈置。例如，一圓形基板102可具有沿一圓形掃描路徑均勻佈置之孔隙，該等孔隙以均勻偏離 自圓形基板102之中心延伸。因此，致動器104可經組態以使基板102旋轉通過彎曲掃描路徑使得孔隙以複數個切線偏離平移通過照明光束。
系統100可進一步包含一致動器104，其經組態以致動基板102以沿掃描路徑移動該複數個孔隙通過照明源102之照明光束。致動器104可包含經組態以接納基板102之一平臺、夾具或其他固持件(在下文中為「平臺」)及經組態以平移及/或旋轉該平臺以致動基板102之一或多個馬達。在一實施例中，致動器104可經組態以線性平移該平臺以沿一線性掃描路徑以諸如0.1mm/s至5mm/s之一所要速度移動基板通過照明光束。僅為闡釋性目的而包含前述範圍且前述範圍不旨在以任何方式限制本發明。
系統100可進一步包含至少一偵測器108，其經組態以接收行進通過基板102之該複數個孔隙之一孔隙之至少一照明部分。在一實施例中，偵測器108可包含光二極體、光敏電阻器、相機或任何其他光偵測器。偵測器108可經組態以接收通過一第一孔隙之具有一第一強度位準之一第一照明部分。偵測器108可經進一步組態以接收通過至少一額外孔隙之具有至少一額外強度位準之至少一額外照明部分。
在一進一步實施例中，偵測器108可經組態以自沿掃描路徑平移通過自照明源106放射之照明光束之複數個孔隙以一第一聚焦位準或Z高度接收具有第一複數個強度位準之第一複數個照明部分。偵測器108可經進一步組態以自沿掃描路徑平移通過照明光束之複數個孔隙以至少一額外聚焦位準接收具有至少額外複數個強度位準之至少額外複數個照明部分。可藉由變化基板與照明源106或定義照明源106之一照明光束遞送路徑之光學元件之間的空間關係來調整聚焦位準。
系統100可進一步包含通信地耦合至偵測器108之至少一計算系統110。計算系統110可包含一或多個處理器，其(其等)經組態以執行 來自載體媒體112之程式指令114以完成一或多個步驟，以判定自照明源106放射之照明光束之至少一特徵。計算系統110可經進一步組態以執行一或多個步驟以校準照明源106。進一步注意，此項技術中已知若干分析演算法以調節複數個資料點以擷取相關資訊，諸如內插、外插、最佳擬合分析、高斯光束分析等等。本文中描述之系統及方法旨在涵蓋此項技術中已知之所有分析演算法、技術及/或數學模型。
在一實施例中，計算系統110可經組態以自偵測器108接收對應於一第一偵測之照明部分之一第一強度位準。計算系統110可經進一步組態以自偵測器108接收對應於至少一額外照明部分(其對應於至少一額外偵測之照明部分)之至少一額外強度位準。計算系統110可經進一步組態以比較對應於偵測自經平移通過照明光束之該複數個孔隙之照明部分之該複數個強度位準，以判定至少一特徵，諸如自照明源106放射之照明光束之最小光束點大小、最小光束點位置及/或光束焦散線。
在一進一步實施例中，計算系統110可經組態以自偵測器108以一第一聚焦位準接收對應於第一複數個偵測之照明部分之第一複數個強度位準。計算系統110可經進一步組態以自偵測器108以至少一額外聚焦位準接收對應於至少額外複數個強度位準(其等對應於至少額外複數個偵測之照明部分)之至少額外複數個強度位準。計算系統110可經進一步組態以比較藉由平移該複數個孔隙通過照明光束以複數個聚焦位準而獲得之該複數個強度位準，以判定自照明源106放射之照明光束之至少一特徵。
在一實施例中，計算系統110可經進一步組態以在不同時間多次判定照明光束之至少一特徵，以判定該至少一特徵之一變化速率。計算系統110可經進一步組態以判定實質上抵消自照明源106放射之照明光束隨時間之一預期變化所需要的補償。計算系統110可經進一步組 態以利用實質上抵消光束特徵變化之預期速率所需要的已判定補償校準照明源106之一補償器，諸如一散光補償器。
圖2至圖5圖解說明與系統100相關聯之判定自一照明源放射106之一照明光束之至少一特徵及/或至少一特徵之一變化速率之方法。計算系統110或複數個計算系統可經組態以執行本文中進一步詳細描述之方法200、300、400及500之一或多個步驟。然而，注意，方法200、300、400及500不限於本文中描述之系統100之實施例。相反地，本發明旨在涵蓋此項技術中已知用於實行本文中描述之步驟之任一者之任何及所有系統或設備。
圖2係圖解說明用於判定自一照明源放射106之一照明光束之至少一特徵之方法200之一流程圖。在步驟202中，可在照明源106與一偵測器104之間放置具有沿一線性或非線性掃描路徑分佈之複數個孔隙之一基板102，偵測器104經組態以接收經引導通過基板102之一孔隙之至少一照明部分。在步驟204中，可致動基板102使得沿掃描路徑平移或旋轉孔隙通過照明光束。在步驟206中，偵測器104可接收隨著致動孔隙通過照明光束而行進通過該等孔隙之照明部分。歸因於沿基板102之掃描路徑佈置之孔隙之不同垂直或切線偏離，由偵測器104接收之照明部分可具有不同強度位準。
在步驟208及210中，計算系統110可接收對應於基板102之一第一孔隙之一第一強度位準及對應於基板102之至少一額外孔隙之至少一額外強度位準。可將已接收之資料映射至距離一參考點(諸如基板102上之一位置)之X及Y(笛卡爾)偏離，或映射至由任何替代性座標系統(例如，極座標系統、柱面座標系統等等)定義之偏離。在步驟212及214中，可比較該兩個或更多個已接收之強度位準，以判定照明光束之至少一特徵，諸如最小光束點大小、最小光束點位置及/或光束焦散線。在一實施例中，可藉由利用此項技術中已知之一資料調節演算 法或分析模型分析在不同X及Y偏離處收集之資料點比較已接收之強度位準。可利用與對應於峰值強度位準之基板102之孔隙相關聯之偏離與照明源106之間的一空間關係來判定自照明源106放射之照明光束之至少一特徵。
圖3圖解說明判定自照明源106放射之照明光束之至少一特徵之一變化速率並利用已判定之變化速率校準照明源106之一方法300。方法300可包含方法200之步驟202至214。方法300可進一步包含在至少一額外時間執行方法200之步驟204至214之一或多者之步驟302，使得在一第一時間內及至少一額外時間內判定照明光束之至少一特徵。在步驟304及306中，可比較該至少一特徵在不同時間獲得之值，以判定該至少一特徵隨時間之一變化速率。在步驟308中，可利用已判定之變化速率來預測照明光束之該至少一特徵隨時間之一預期變化。因此，可藉由定期調整組件或藉由手動或自動組態一補償器(諸如一散光補償器)以抵消由自照明源106放射之照明光束之該至少一特徵隨時間之一變化所致的負面效能影響來校準照明源106。
圖4係圖解說明用於藉由比較對應於透過以複數個聚焦位準透過自一照明源放射106之一照明光束掃描之基板102之孔隙偵測之照明部分之複數個強度位準來判定該照明光束之至少一特徵之方法400之一流程圖。在步驟402中，可在照明源106與一偵測器104之間放置具有沿一線性或非線性掃描路徑分佈之複數個孔隙之基板102，偵測器104經組態以接收經引導通過基板102之一孔隙之至少一照明部分。在步驟404中，可致動基板102使得沿掃描路徑平移或旋轉孔隙通過照明光束。可致動基板102通過使得照明源106以一第一聚焦位準分辨之照明光束且在至少一額外時間致動基板102通過使得照明源106以至少一額外聚焦位準分辨之照明光束。可將聚焦位準映射至一笛卡爾座標系統中之一Z偏離或由任何其他座標系統定義之一空間偏離。在步驟406 中，偵測器104可以該複數個聚焦位準接收隨著致動孔隙通過照明光束而行進通過孔隙之照明部分。歸因於沿基板102之掃描路徑佈置之孔隙之不同垂直或切線偏離，由偵測器104接收之照明部分可具有不同強度位準。此外，照明源104之聚焦位準可影響由偵測器104接收之照明部分之強度位準。
在步驟408及410中，一計算系統110可接收對應於以照明源106之一第一聚焦位準掃描之基板102之該複數個孔隙之第一複數個強度位準及對應於以至少一額外聚焦位準掃描之該複數個孔隙之至少額外複數個強度位準。可將已接收之資料映射至距離一參考點(諸如基板102上之一位置)之X、Y及Z(笛卡爾)偏離，或映射至由任何替代性座標系統(例如，極座標系統、柱面座標系統等等)定義之偏離。在步驟412及414中，可比較對應於不同聚焦位準之該兩個或更多複數個已接收之強度位準，以判定照明光束之至少一特徵，諸如最小光束點大小、最小光束點位置及/或光束焦散線。在一實施例中，可藉由利用此項技術中已知之一資料調節演算法或分析模型分析在不同X、Y及Z偏離處收集之資料點比較該複數個已接收之強度位準。可利用與對應於峰值強度位準之基板102之孔隙相關聯之偏離與照明源106之間的一空間關係來判定自照明源106放射之照明光束之至少一特徵。
圖5係圖解說明用於判定自照明源106放射之照明光束之至少一特徵之一變化速率並利用已判定之變化速率校準照明源106之一方法500。方法500可包含方法400之步驟402至414。方法500可進一步包含在至少一額外時間執行方法400之步驟404至414之一或多者之步驟502，使得在第一時間內及至少一額外時間內判定照明光束之至少一特徵。在步驟504及506中，可比較該至少一特徵在不同時間獲得之值，以判定該至少一特徵隨時間之一變化速率。在步驟508中，可利用已判定之變化速率來預測照明光束之該至少一特徵隨時間之一預期 變化。因此，可藉由調整照明源之組件及/或藉由手動或自動組態一補償器(諸如一散光補償器)以抵消由自照明源106放射之照明光束之該至少一特徵隨時間之一變化所致的負面效能影響來校準照明源106。
上述系統或方法之任一者可被進一步擴展至診斷測試、維護或校準包含照明源106之一檢驗系統或一光學度量系統。此項技術中已知若干檢驗及度量系統，且前述系統及方法適用於包含經組態以放射一照明光束之一照明源之任何此系統。例如，全部以引用方式併入本文中之美國專利第7,548,308號、美國專利第6,271,916號及美國專利第6,201,601號描述或引用若干檢驗系統。
進一步希望上述方法之實施例之各者可包含本文中描述之任何其他方法之任何其他步驟。此外，上述方法之實施例之各者可由本文中描述之系統之任一者而執行。
應認識到，可由單個計算系統或替代地一多重計算系統實行遍及本發明描述之各個步驟。此外，系統之不同子系統可包含適用於實行上述步驟之至少一部分之一計算系統。因此，上文描述不應被解譯為限制本發明，反而僅僅係一圖解。進一步言之，該一或多個計算系統可經組態以執行本文中描述之方法實施例之任一者之任何其他步驟。
計算系統可包含(但不限於)個人計算系統、大型計算系統、工作站、影像電腦、並行處理器或此項技術中已知之任何其他裝置。一般而言，術語「計算系統」可廣泛地被定義為涵蓋具有執行來自一記憶體媒體之指令之一或多個處理器之任何裝置。
實施諸如本文中描述之方法之程式指令可經由載體媒體傳輸或儲存在載體媒體上。載體媒體可為諸如一導線、纜線或無線傳輸鏈路之一傳輸媒體。載體媒體亦可包含儲存媒體，諸如一唯讀記憶體、一 隨機存取記憶體、一磁碟或光碟或一磁帶。
本文中描述之全部方法可包括將方法實施例之一或多個步驟之結果儲存在一儲存媒體中。該等結果可包含本文中描述之結果之任一者且可以此項技術中已知的任何方式加以儲存。儲存媒體可包含本文中描述之任何儲存媒體或此項技術中已知的任何其他適當的儲存媒體。在儲存該等結果之後，該等結果可在儲存媒體中存取並由本文中描述之方法或系統實施例之任一者使用，格式化以向一使用者顯示，由另一軟體模組、方法或系統等等使用。此外，可「永久地」、「半永久地」、暫時地或在某個時間段內儲存該等結果。例如，儲存媒體可為隨機存取記憶體(RAM)，且該等結果可能不一定無限地保存在儲存媒體中。
雖然已圖解說明本發明之特定實施例，但是應明白在不脫離前述發明之範疇及精神的情況下可由熟習此項技術者對本發明進行各種修改及實施。因此，本發明之範疇應僅受限於本發明之隨附申請專利範圍。
100‧‧‧系統
102‧‧‧基板
104‧‧‧致動器
106‧‧‧照明源
108‧‧‧偵測器
110‧‧‧計算系統
111‧‧‧程式指令
112‧‧‧載體媒體

Claims (22)

  1. 一種用於判定自一照明源放射之一照明光束之至少一特徵之系統，其包括：一基板，其經組態以自一照明源接收照明，該基板包含在空間上沿一選定掃描路徑分佈之複數個孔隙以容許該照明源在一選定時間間隔內照明選定數目個孔隙，該複數個孔隙進一步在空間上在實質上垂直於該掃描路徑之一方向上彼此偏離，容許具有一第一強度位準之一第一照明部分行進通過一第一孔隙且具有至少一額外強度位準之至少一額外照明部分行進通過至少一額外孔隙；一致動器，其經組態以致動該基板以移動該複數個孔隙通過自該照明源放射之一照明光束；一偵測器，其經組態以接收行進通過該複數個孔隙之至少一孔隙之至少一照明部分；及一計算系統，其通信地耦合至該偵測器，該計算系統經組態以：接收由該偵測器接收自一第一孔隙之一第一照明部分之一第一強度位準；接收由該偵測器接收自至少一額外孔隙之至少一額外照明部分之至少一額外強度位準；及藉由比較該第一照明部分之該第一強度位準與該至少一額外照明部分之該至少一額外強度位準來判定自該照明源放射之該照明光束之至少一特徵。
  2. 如請求項1之系統，其中該複數個孔隙沿該基板以足夠大的間距 分佈以容許該照明源一次僅照明一孔隙。
  3. 如請求項1之系統，其中該複數個孔隙沿該掃描路徑實質上均勻分佈。
  4. 如請求項1之系統，其中該複數個孔隙在實質上垂直於該掃描路徑之該方向上實質上彼此均勻偏離。
  5. 如請求項1之系統，其中該基板實質上不透明。
  6. 如請求項1之系統，其中該偵測器包含一光二極體。
  7. 如請求項1之系統，其中該至少一特徵包含自該照明源放射之該照明光束之一最小光束點之大小。
  8. 如請求項1之系統，其中該至少一特徵包含自該照明源放射之該照明光束之一最小光束點之位置。
  9. 如請求項1之系統，其中該至少一特徵包含自該照明源放射之該照明光束之光束焦散線。
  10. 如請求項1之系統，其中該計算系統經進一步組態以：接收由該偵測器以一第一聚焦位準接收自該複數個孔隙之第一複數個照明部分之第一複數個強度位準；接收由該偵測器以至少一額外聚焦位準接收自該複數個孔隙之至少額外複數個照明部分之至少額外複數個強度位準；及藉由比較由該偵測器以該第一聚焦位準接收之該第一複數個照明部分之該第一複數個強度位準與由該偵測器以該至少一額外聚焦位準接收之該至少額外複數個照明部分之該至少額外複數個強度位準來判定自該照明源放射之該照明光束之該至少一特徵。
  11. 一種判定自一照明源放射之一照明光束之至少一特徵之方法，其包括：提供一基板，該基板包含在空間上沿一選定掃描路徑分佈之 複數個孔隙以容許該照明源在一選定時間間隔內照明選定數目個孔隙，該複數個孔隙進一步在空間上在實質上垂直於該掃描路徑之一方向上彼此偏離，容許具有一第一強度位準之一第一照明部分行進通過一第一孔隙且具有至少一額外強度位準之至少一額外照明部分行進通過至少一額外孔隙；致動該基板以移動該複數個孔隙通過自該照明源放射之一照明光束；利用一偵測器接收行進通過該複數個孔隙之至少一孔隙之至少一照明部分；接收由該偵測器接收自一第一孔隙之一第一照明部分之一第一強度位準；接收由該偵測器接收自至少一額外孔隙之至少一額外照明部分之至少一額外強度位準；及藉由比較該第一照明部分之該第一強度位準與該至少一額外照明部分之該至少一額外強度位準來判定自該照明源放射之該照明光束之至少一特徵。
  12. 如請求項11之方法，其中該至少一特徵包含自該照明源放射之該照明光束之一最小光束點之大小。
  13. 如請求項11之方法，其中該至少一特徵包含自該照明源放射之該照明光束之一最小光束點之位置。
  14. 如請求項11之方法，其中該至少一特徵包含自該照明源放射之該照明光束之光束焦散線。
  15. 如請求項11之方法，其中該方法進一步包含校準該照明源之一方法，該方法包括以下步驟：在至少一額外時間內致動該基板以移動該複數個孔隙通過自該照明源放射之該照明光束； 在該至少一額外時間內利用一偵測器接收行進通過該複數個孔隙之至少一孔隙之至少一照明部分；在該至少一額外時間內接收由該偵測器接收自一第一孔隙之一第一照明部分之一第一強度位準；在該至少一額外時間內接收由該偵測器接收自至少一額外孔隙之至少一額外照明部分之至少一額外強度位準；藉由在該至少一額外時間內比較該第一照明部分之該第一強度位準與該至少一額外照明部分之該至少一額外強度位準而在該至少一額外時間內判定自該照明源放射之該照明光束之至少一特徵；藉由比較在一第一時間內判定之自該照明源放射之該照明光束之該至少一特徵與在該至少一額外時間內判定之自該照明源放射之該照明光束之該至少一特徵來判定依據時間而變之該至少一特徵之一變化速率；及利用依據時間而變之該至少一特徵之該已判定之變化速率補償自該照明源放射之該照明光束之該至少一特徵之一預期變化。
  16. 如請求項15之方法，其中利用一散光補償器以補償該照明光束之該至少一特徵之該預期變化。
  17. 一種判定自一照明源放射之一照明光束之至少一特徵之方法，其包括：提供一基板，該基板包含在空間上沿一選定掃描路徑分佈之複數個孔隙以容許該照明源在一選定時間間隔內照明選定數目個孔隙，該複數個孔隙進一步在空間上在實質上垂直於該掃描路徑之一方向上彼此偏離，容許具有一第一強度位準之一第一照明部分行進通過一第一孔隙且具有至少一額外強度位準之至 少一額外照明部分行進通過至少一額外孔隙；致動該基板以移動該複數個孔隙通過自該照明源放射之一照明光束；利用一偵測器接收行進通過該複數個孔隙之至少一孔隙之至少一照明部分；接收由該偵測器以一第一聚焦位準接收自該複數個孔隙之第一複數個照明部分之第一複數個強度位準；接收由該偵測器以至少一額外聚焦位準接收自該複數個孔隙之至少額外複數個照明部分之至少額外複數個強度位準；及藉由比較由該偵測器以該第一聚焦位準接收之該第一複數個照明部分之該第一複數個強度位準與由該偵測器以該至少一額外聚焦位準接收之該至少額外複數個照明部分之該至少額外複數個強度位準來判定自該照明源放射之該照明光束之至少一特徵。
  18. 如請求項17之方法，其中該至少一特徵包含自該照明源放射之該照明光束之一最小光束點之大小。
  19. 如請求項17之方法，其中該至少一特徵包含自該照明源放射之該照明光束之一最小光束點之位置。
  20. 如請求項17之方法，其中該至少一特徵包含自該照明源放射之該照明光束之光束焦散線。
  21. 如請求項17之方法，其中該方法進一步包含校準該照明源之一方法，該方法包括以下步驟：在至少一額外時間內致動該基板以移動該複數個孔隙通過自該照明源放射之該照明光束；在該至少一額外時間內利用一偵測器接收行進通過該複數個孔隙之至少一孔隙之至少一照明部分； 在該至少一額外時間內接收由該偵測器以一第一聚焦位準接收自該複數個孔隙之第一複數個照明部分之第一複數個強度位準；在該至少一額外時間內接收由該偵測器以至少一額外聚焦位準接收自該複數個孔隙之至少額外複數個照明部分之至少額外複數個強度位準；藉由在該至少一額外時間內比較由該偵測器以該第一聚焦位準接收之該第一複數個照明部分之該第一複數個強度位準與由該偵測器以該至少一額外聚焦位準接收之該至少額外複數個照明部分之該至少額外複數個強度位準而在該至少一額外時間內判定自該照明源放射之該照明光束之該至少一特徵；藉由比較在一第一時間內判定之自該照明源放射之該照明光束之該至少一特徵與在該至少一額外時間內判定之自該照明源放射之該照明光束之該至少一特徵來判定依據時間而變之該至少一特徵之一變化速率；及利用依據時間而變之該至少一特徵之該已判定之變化速率補償自該照明源放射之該照明光束之該至少一特徵之一預期變化。
  22. 如請求項21之方法，其中利用一散光補償器以補償該照明光束之該至少一特徵之該預期變化。
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