TWI564916B - 釹鐵硼磁石的製造方法 - Google Patents

釹鐵硼磁石的製造方法 Download PDF

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Description

釹鐵硼磁石的製造方法
本發明係關於一種磁石的製造方法,特別是關於一種釹鐵硼磁石的製造方法。
燒結釹鐵硼(Nd-Fe-B)系合金磁石具有所有永久磁石材料中的最高磁能積,所應用的產品具有節能、輕量化及減小體積的優點。目前已廣泛應用在機電用馬達、硬碟音圈馬達、醫用核磁共振造影(MRI)、電腦、通訊及消費電子產品等產業。未來在節能家電、電動車、工業機器人和風力發電的領域中,更具有可觀的應用需求的遠景。
在中華民國發明專利(公告號:I437588)中提出一種永久磁鐵及永久磁鐵的製造方法,其是透過優貝克公司(UVLAC)製造的專屬蒸鍍機台,以蒸鍍方式將鏑金屬原子披覆於釹鐵硼磁體表面,再施以高溫使鏑金屬原子擴散至釹鐵硼磁體內部,可增加鏑金屬原子擴散至釹鐵硼磁體內部的深度與數量,進而提高釹鐵硼磁體內部的本質矯頑磁力(iHc)。然而,缺點是優貝克公司製造的專屬蒸鍍機台設備昂貴,致使釹鐵硼磁體的製造成本提高,不利於商用產品之價格競爭。
另外,在2005年十月發行的期刊雜誌(IEEE Transactions on magnetic.Vol.41,No.10)發表一篇標題為「極小釹鐵硼燒結磁鐵的磁性性質(Magnetic Properties of Extremely Small Nd-Fe-B Sintered Magnets)」的文章,其是在磁石毛胚表面沾覆塗抹三氟化鏑(DyF3)粉體後,再將磁體置入熱處理爐內進行真空熱處理(約10-5托,1000℃)或於熱處理過程中通入一穩定氬氣,使 腔體壓力穩定維持約10-2托,以使磁體的本質矯頑磁力提升。然而,這種作法對於三氟化鏑擴散到磁體內部的深度與比例有限。
故,有必要提供一種釹鐵硼磁石的製造方法,以解決習用技術所存在的問題。
本發明之主要目的在於提供一種釹鐵硼磁石的製造方法,其係在釹鐵硼磁石毛胚表面塗布三氟化鏑(DyF3)粉體,再置入熱處理爐中,在氬氣氣氛下,以週期性的壓力升降來進行熱處理,以有效的提升釹鐵硼磁石的本質矯頑磁力,且無需使用昂貴的特定廠牌的蒸鍍儀器。
為達上述之目的,本發明提供一種釹鐵硼磁石的製造方法,其包含步驟:提供一釹鐵硼磁石毛胚;沾附三氟化镝粉體於該釹鐵硼磁石毛胚之表面;將沾附該三氟化镝粉體之該釹鐵硼磁石毛胚放入一腔體內並進行一第一熱處理,該第一熱處理的一第一處理溫度是攝氏850度至攝氏950度、一第一處理時間是4小時至8小時,其中該腔體內的一氬氣壓力每經過一第一間隔時間即週期性重複的從一第一低壓升至一第一高壓後再降回該第一低壓,該第一低壓在1.0×10-2托至9.9×10-2托之間,該第一高壓在1.0×10-1托至9.9×10-1托之間以及該第一間隔時間在5至30分鐘之間;以及對進行該第一熱處理後之該釹鐵硼磁石毛胚進行一第二熱處理,該第二熱處理的一第二處理溫度是攝氏480度至攝氏500度、一第二處理時間是2小時至4小時,其中該腔體內的該氬氣壓力每經過一第二間隔時間即週期性重複的從一第二低壓升至一第二高壓後再降回該第二低壓,該第二低壓在1.0×10-2托至9.9×10-2托之間,該第二高壓在1.0×10-1托至9.9×10-1托之間以及該第二間隔時間在5至30分鐘之間,以製得一釹鐵硼磁石。
在本發明之一實施例中,將沾附該三氟化镝粉體之該釹鐵硼磁石毛胚放入該腔體內之後且進行該第一熱處理之前,進行一腔體預備步驟,使該腔體內之一壓力維持在1.0×10-5托至 9.9×10-5托之間。
在本發明之一實施例中,在該腔體預備步驟之後及進行該第一熱處理之前,在該腔體內通入一氬氣,以使該腔體內的該氬氣壓力維持在該第一低壓。
在本發明之一實施例中,該釹鐵硼磁石毛胚的一厚度是在1毫米至10毫米之間。
在本發明之一實施例中,該釹鐵硼磁石毛胚是一圓片燒結毛胚。
在本發明之一實施例中,該三氟化镝粉體的一平均粒徑是在3.5微米至4.5微米之間。
在本發明之一實施例中,沾附該三氟化镝粉體於該釹鐵硼磁石毛胚之表面的步驟包含:提供一混合液,包含以體積百分比計為10%至20%的該三氟化镝粉體及80%至90%的一無水酒精;將該釹鐵硼磁石毛胚浸泡於該混合液中;以及從該混合液中取出該釹鐵硼磁石毛胚,以沾附該三氟化镝粉體於該釹鐵硼磁石毛胚之表面。
在本發明之一實施例中,該第一低壓及該第二低壓皆是5.0×10-2托,以及該第一高壓及該第二高壓皆是5.0×10-1托。
在本發明之一實施例中,該第一間隔時間及該第二間隔時間皆是5至10分鐘。
在本發明之一實施例中,該第一間隔時間及該第二間隔時間皆是5分鐘。
10‧‧‧方法
11‧‧‧步驟
12‧‧‧步驟
13‧‧‧步驟
14‧‧‧步驟
第1圖:本發明實施例之釹鐵硼磁石的製造方法的流程圖。
為了讓本發明之上述及其他目的、特徵、優點能更明顯易懂,下文將特舉本發明較佳實施例,並配合所附圖式,作詳細說明如下。再者,本發明所提到的方向用語,例如上、下、 頂、底、前、後、左、右、內、外、側面、周圍、中央、水平、橫向、垂直、縱向、軸向、徑向、最上層或最下層等,僅是參考附加圖式的方向。因此,使用的方向用語是用以說明及理解本發明,而非用以限制本發明。再者,本發明於內文提及的「%」若無特定說明皆指「重量百分比(wt%)」;數值範圍(如10%~15%的A)若無特定說明皆包含上、下限值(即10%≦A≦15%)及範圍中的所有數值點(如11、12、13、14…);數值範圍若未界定下限值(如低於0.2%的B,或0.2%以下的B),則皆指其下限值可能為0(即0%≦B≦0.2%);元素組合(C+D+E)指的是括號內的這些n種元素之總含量,但可能其中部份元素的含量為0(若其下限值包含0,亦可能為全部元素的含量皆為0);用語「平衡(balance)的F」指的是「其餘重量比例以F補足至100wt%」;且各成份的「重量百分比」之比例關係亦可置換為「重量份」的比例關係,於此合先敘明。
請參照第1圖所示,第1圖是本發明實施例之釹鐵硼磁石的製造方法的流程圖。本發明一實施例之釹鐵硼磁石的製造方法10主要包含下列步驟:步驟11:提供一釹鐵硼磁石毛胚;步驟12:沾附三氟化镝粉體於該釹鐵硼磁石毛胚之表面;步驟13:將沾附該三氟化镝粉體之該釹鐵硼磁石毛胚放入一腔體內並進行一第一熱處理,該第一熱處理的一第一處理溫度是攝氏850度至攝氏950度、一第一處理時間是4小時至8小時,其中該腔體內的一氬氣壓力每經過一第一間隔時間即週期性重複的從一第一低壓升至一第一高壓後再降回該第一低壓,該第一低壓在1.0×10-2托至9.9×10-2托之間,該第一高壓在1.0×10-1托至9.9×10-1托之間以及該第一間隔時間在5至30分鐘之間;以及步驟14:對進行該第一熱處理後之該釹鐵硼磁石毛胚進行一第二熱處理,該第二熱處理的一第二處理溫度是攝氏480 度至攝氏500度、一第二處理時間是2小時至4小時,其中該腔體內的該氬氣壓力每經過一第二間隔時間即週期性重複的從一第二低壓升至一第二高壓後再降回該第二低壓,該第二低壓在1.0×10-2托至9.9×10-2托之間,該第二高壓在1.0×10-1托至9.9×10-1托之間以及該第二間隔時間在5至30分鐘之間,以製得一釹鐵硼磁石。
請參照第1圖所示,本發明一實施例之釹鐵硼磁石的製造方法10首先係進行步驟11:提供一釹鐵硼磁石毛胚。在本步驟11中,該釹鐵硼磁石毛胚可以透過一合金甩片製得,該合金甩片的成分包含:23.1wt%~26.5wt%的釹、4.5wt%~5.9wt%的鏑、約2wt%的鈷、約0.2wt%的銅、約0.25wt%的鈮、約1wt%的硼以及剩下的是平衡量的鐵。之後,經由將該合金甩片氫碎、氣流粉碎、磁場配向成形、燒結及熱處理後,以製得該釹鐵硼磁石毛胚。在一實施例中,該釹鐵硼磁石毛胚可以是一圓片燒結毛胚。在另一實施例中,該釹鐵硼磁石毛胚的一厚度是在1毫米至10毫米之間。
本發明一實施例之釹鐵硼磁石的製造方法10接著係進行步驟12:沾附三氟化镝粉體於該釹鐵硼磁石毛胚之表面。在本步驟12中,該釹鐵硼磁石毛胚之表面均勻沾附該三氟化镝粉體。例如,可先提供一混合液,混合液包含以體積百分比計為10%至20%的該三氟化镝粉體及80%至90%的一無水酒精。之後,將該釹鐵硼磁石毛胚浸泡於該混合液中。接著,從該混合液中取出該釹鐵硼磁石毛胚,以沾附該三氟化镝粉體於該釹鐵硼磁石毛胚之表面。在一實施例中,該三氟化镝粉體的一平均粒徑是在3.5微米至4.5微米之間。
本發明一實施例之釹鐵硼磁石的製造方法10接著係進行步驟13:將沾附該三氟化镝粉體之該釹鐵硼磁石毛胚放入一腔體內並進行一第一熱處理,該第一熱處理的一第一處理溫度是攝氏850度至攝氏950度、一第一處理時間是4小時至8小時, 其中該腔體內的一氬氣壓力每經過一第一間隔時間即週期性重複的從一第一低壓升至一第一高壓後再降回該第一低壓,該第一低壓在1.0×10-2托至9.9×10-2托之間,該第一高壓在1.0×10-1托至9.9×10-1托之間以及該第一間隔時間在5至30分鐘之間。在本步驟13中,實際上的運作可以採用下述方式,例如首先在該第一低壓時添加氬氣,使該腔體內的氬氣壓力迅速升至該第一高壓,之後再對該腔體進行一抽氣步驟,以使該腔體從該第一高壓降至該第一低壓。前述添加氬氣以及抽氣步驟所耗費的時間,統計為該第一間隔時間。換言之,欲控制該第一間隔時間時,即是控制添加氬氣及抽氣步驟的時間。在一實施例中,通常添加氬氣所需時間會較短,而抽氣步驟的所需時間會較長,例如該第一間隔時間為30分鐘時,添加氬氣的時間約為3~5分鐘,而抽氣步驟的時間則為25~27分鐘。在另一實施例中,該第一間隔時間可以是5分鐘、10分鐘,或是在5分鐘至10分鐘之間的任一時間值。在又一實施例中,該第一低壓可以是5.0×10-2托,以及該第一高壓可以是5.0×10-1托。值得一提的是,當該第一處理時間未達4小時或該第一處理溫度低於攝氏850度,則三氟化镝粉體的擴散到該釹鐵硼磁石毛胚內部的效果較差;當該第一處理時間大於8小時,則效果無明顯差異;以及當該第一處理溫度高於攝氏950度,則該釹鐵硼磁石毛胚的晶粒粗化,反而易使最後製得的釹鐵硼磁石的本質矯頑磁力下降。
在一實施例中,將沾附該三氟化镝粉體之該釹鐵硼磁石毛胚放入該腔體內之後且進行該第一熱處理之前,可以進行一腔體預備步驟,使該腔體內之一壓力維持在1.0×10-5托至9.9×10-5托之間。該腔體預備步驟主要是要將腔體中的空氣抽出,以使腔體內的氣氛主要是後續加入氬氣。在另一實施例中,在該腔體預備步驟之後及進行該第一熱處理之前,在該腔體內通入一氬氣,以使該腔體內的該氬氣壓力維持在該第一低壓。
本發明一實施例之釹鐵硼磁石的製造方法10最後係 進行步驟14:對進行該第一熱處理後之該釹鐵硼磁石毛胚進行一第二熱處理,該第二熱處理的一第二處理溫度是攝氏480度至攝氏500度、一第二處理時間是2小時至4小時,其中該腔體內的該氬氣壓力每經過一第二間隔時間即週期性重複的從一第二低壓升至一第二高壓後再降回該第二低壓,該第二低壓在1.0×10-2托至9.9×10-2托之間,該第二高壓在1.0×10-1托至9.9×10-1托之間以及該第二間隔時間在5至30分鐘之間,以製得一釹鐵硼磁石。在本步驟14中,實際上的運作可以採用下述方式,例如首先在該第二低壓時添加氬氣,使該腔體內的氬氣壓力迅速升至該第二高壓,之後再對該腔體進行一抽氣步驟,以使該腔體從該第二高壓降至該第二低壓。前述添加氬氣以及抽氣步驟所耗費的時間,統計為該第二間隔時間。換言之,欲控制該第二間隔時間時,即是控制添加氬氣及抽氣步驟的時間。在一實施例中,通常添加氬氣所需時間會較短,而抽氣步驟的所需時間會較長,例如該第二間隔時間為30分鐘時,添加氬氣的時間約為3至5分鐘,而抽氣步驟的時間則為25至27分鐘。在另一實施例中,該第二間隔時間可以是5分鐘、10分鐘,或是在5分鐘至10分鐘之間的任一時間值。在又一實施例中,該第二低壓可以是5.0×10-2托,以及該第二高壓可以是5.0×10-1托。值得一提的是,當該第二處理時間未達2小時或該第二處理溫度低於攝氏480度,則三氟化镝粉體的擴散到該釹鐵硼磁石毛胚內部的效果較差;以及當該第二處理時間大於4小時或該第二處理溫度高於攝氏500度,則效果無明顯差異。
要提到的是,本發明一實施例之釹鐵硼磁石的製造方法,至少是透過這種週期性的壓力升降方式來對表面塗布有三氟化鏑粉體的釹鐵硼磁石毛胚進行熱處理,以有效的提升釹鐵硼磁石的本質矯頑磁力,且無需使用昂貴的特定廠牌的蒸鍍儀器,只需使用一般可提供氬氣氣氛的熱處理儀器即可進行,故可節省硬體設備的成本。以下提出數個實施例及比較例,以證明本發明實施例之釹鐵硼磁石的製造方法確實具有前述的效果:
實施例1
提供一合金甩片,成分為26.5wt%的釹、4.5wt%的鏑、2wt%的鈷、0.2wt%的銅、0.25wt%的鈮、1wt%的硼以及平衡量的鐵,經由氫碎、氣流粉碎、磁場配向成形、燒結及熱處理後,製得直徑20毫米、厚度3.5毫米之圓片燒結毛胚(原始燒結毛胚)。以市售的磁性測量儀器,測量該圓片燒結毛胚的磁性性質為:13.3千高斯(kG)的殘留磁通密度(Br);19.2千奧斯特(kOe)的本質矯頑磁力(iHc)以及42.6百萬高斯-奧斯特(MGOe)的最大磁能積[(BH)max]。接著,以平均粒徑約4μm之DyF3粉體與無水酒精混合後,將圓片燒結毛胚浸泡於DyF3粉體與無水酒精混合之溶液中,再取出圓片燒結毛胚烘乾,使燒結毛胚表面沾覆一層DyF3粉體,並將表面沾覆DyF3粉體之毛胚置入熱處理爐中。
然後,對熱處理爐進行抽真空的動作,以使熱處理爐之腔體的壓力降至1.0×10-5托至9.9×10-5托之間。再通入氬氣,以使腔體的氬氣壓力維持在1.0×10-2托(即第一低壓)。之後,進行第一熱處理,第一處理溫度是900度,使腔體的氬氣壓力以30分鐘(即第一間隔時間)為間隔,週期性重複的從1.0×10-2托升至1.0×10-1托後,再降回1.0×10-2托,其第一處理時間總共為6小時。之後,進行第二熱處理,第二處理溫度是500度,使腔體的氬氣壓力以30分鐘(即第一間隔時間)為間隔,週期性重複的從1.0×10-2托升至1.0×10-1托後,再降回1.0×10-2托,其第二處理時間總共為2小時,以製得實施例1之釹鐵硼磁石。
實施例2與3
實施例2與3的製作方式是類似於實施例1,唯其不同之處在於:實施例2的第一處理時間及第二處理時間皆是10分鐘,實施例3的第一處理時間及第二處理時間皆是5分鐘。
實施例4至8
實施例4至8的製作方式類似於實施例3,唯其不同之處在於:實施例4至8的圓片燒結毛胚的厚度分別是1毫米、6 毫米、7毫米、8毫米與10毫米。
實施例9至11
實施例9至11的製作方式分別類似於實施例1至3,唯其不同之處在於:實施例9至11所使用的合金甩片不同於實施例1至3,其成分為23.1wt%的釹、5.9wt%的镝、2wt%的鈷、0.2wt%的銅、0.25wt%的鈮、1wt%的硼以及平衡量的鐵,而所製得的圓片燒結毛胚的直徑為20毫米、厚度為3.5毫米,且該圓片燒結毛胚的磁性性質為:13.9kG的殘留磁通密度(Br);17.1kOe的本質矯頑磁力(iHc)以及47.0MGOe的最大磁能積[(BH)max]。
比較例1
比較例1是類似於實施例1,唯其不同之處在於:在對熱處理爐進行抽真空的動作,以使熱處理爐之腔體的壓力降至1.0×10-5托至9.9×10-5托之間之後,即直接將比較例1的圓片燒結毛胚進行二階段的熱處理,其中第一階段的熱處理溫度是攝氏900度,持溫6小時,且腔體的壓力維持在1.0×10-5托至9.9×10-5托。第二階段的熱處理溫度是攝氏500度,持溫2小時,且腔體的壓力維持在1.0×10-5托至9.9×10-5托。
比較例2
比較例2是類似於實施例1,唯其不同之處在於:通入氬氣,以使腔體的氬氣壓力維持在1.0×10-2托(即第一低壓)之後。進行二階段的熱處理,其中第一階段的熱處理溫度是攝氏900度,持溫6小時,且腔體的氬氣壓力維持在1.0×10-2托。第二階段的熱處理溫度是攝氏500度,持溫2小時,且腔體的氬氣壓力維持在1.0×10-2托。
比較例3
比較例3的製作方式類似於實施例3,唯其不同之處在於:比較例3的圓片燒結毛胚的厚度是11毫米。
比較例4
比較例4是類似於實施例9,唯其不同之處在於:在 對熱處理爐進行抽真空的動作,以使熱處理爐之腔體的壓力降至1.0×10-5托至9.9×10-5托之間之後,即直接將比較例4的圓片燒結毛胚進行二階段的熱處理,其中第一階段的熱處理溫度是攝氏900度,持溫6小時,且腔體的壓力維持在1.0×10-5托至9.9×10-5托。第二階段的熱處理溫度是攝氏500度,持溫2小時,且腔體的壓力維持在1.0×10-5托至9.9×10-5托。
比較例5是類似於實施例9,唯其不同之處在於:通入氬氣,以使腔體的氬氣壓力維持在1.0×10-2托(即第一低壓)之後。進行二階段的熱處理,其中第一階段的熱處理溫度是攝氏900度,持溫6小時,且腔體的氬氣壓力維持在1.0×10-2托。第二階段的熱處理溫度是攝氏500度,持溫2小時,且腔體的氬氣壓力維持在1.0×10-2托。
之後,對實施例1至11及比較例1至5的釹鐵硼磁石進行分析,以市售的磁性測量儀器,測得各個實施例及比較例之釹鐵硼磁石的本質矯頑磁力。為了後續分析比較的便利性,共列出表1至表3,如下所述。
首先就表1及表3分析,表1中的實施例及比較例,與表3中的實施例及比較例的主要區別在於合金甩片的成分不同(也因此表1及表3的原始燒結毛胚的本質矯頑磁力的數值不同)。但是,即便成分不同,仍出現了相同的趨勢。例如,實施例1至3的本質矯頑磁力提升量(本質矯頑磁力提升量是將所製得的釹鐵硼磁石的本質矯頑磁力扣掉原始燒結毛胚的本質矯頑磁力而得)大於比較例1與2的本質矯頑磁力提升量,同樣的也可以看到實施例9至11的本質矯頑磁力提升量也大於比較例4與5的本質矯頑磁力提升量。此外,當第一間隔時間與第二間隔時間越短時,所得到的本質矯頑磁力提升量越高,故可證明本發明實施例的釹鐵硼磁石的製造方法確實具有節省昂貴硬體設備成本及有效提升釹鐵硼磁石的本質矯頑磁力的效果。
另外,請參照表2,本發明實施例的另一優點在於:即使釹鐵硼磁石的厚度高達10毫米,仍具有有效提升釹鐵硼磁石的本質矯頑磁力的效果。然而,當厚度到達11毫米時,則因為釹鐵硼磁石的厚度過高,而無法使釹鐵硼磁石的本質矯頑磁力提升量達商用標準。由此可見,本發明實施例之釹鐵硼磁石的製造方法至少可適用於1至10毫米厚度的釹鐵硼磁石。
雖然本發明已以較佳實施例揭露,然其並非用以限制本發明,任何熟習此項技藝之人士,在不脫離本發明之精神和範圍內,當可作各種更動與修飾,因此本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。
10‧‧‧方法
11‧‧‧步驟
12‧‧‧步驟
13‧‧‧步驟
14‧‧‧步驟

Claims (10)

  1. 一種釹鐵硼磁石的製造方法,其包含步驟:提供一釹鐵硼磁石毛胚;沾附三氟化镝粉體於該釹鐵硼磁石毛胚之表面;將沾附該三氟化镝粉體之該釹鐵硼磁石毛胚放入一腔體內並進行一第一熱處理,該第一熱處理的一第一處理溫度是攝氏850度至攝氏950度、一第一處理時間是4小時至8小時,其中該腔體內的一氬氣壓力每經過一第一間隔時間即週期性重複的從一第一低壓升至一第一高壓後再降回該第一低壓,該第一低壓在1.0×10-2托至9.9×10-2托之間,該第一高壓在1.0×10-1托至9.9×10-1托之間以及該第一間隔時間在5至30分鐘之間;以及對進行該第一熱處理後之該釹鐵硼磁石毛胚進行一第二熱處理,該第二熱處理的一第二處理溫度是攝氏480度至攝氏500度、一第二處理時間是2小時至4小時,其中該腔體內的該氬氣壓力每經過一第二間隔時間即週期性重複的從一第二低壓升至一第二高壓後再降回該第二低壓,該第二低壓在1.0×10-2托至9.9×10-2托之間,該第二高壓在1.0×10-1托至9.9×10-1托之間以及該第二間隔時間在5至30分鐘之間,以製得一釹鐵硼磁石。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之釹鐵硼磁石的製造方法,其中將沾附該三氟化镝粉體之該釹鐵硼磁石毛胚放入該腔體內之後且進行該第一熱處理之前,進行一腔體預備步驟,使該腔體內之一壓力維持在1.0×10-5托至9.9×10-5托之間。
  3. 如申請專利範圍第2項所述之釹鐵硼磁石的製造方法,在該腔體預備步驟之後及進行該第一熱處理之前,在該腔體內通入一氬氣,以使該腔體內的該氬氣壓力維持在該第一低壓。
  4. 如申請專利範圍第1項所述之釹鐵硼磁石的製造方法,其中該釹鐵硼磁石毛胚的一厚度是在1毫米至10毫米之間。
  5. 如申請專利範圍第1項所述之釹鐵硼磁石的製造方法,其中該釹鐵硼磁石毛胚是一圓片燒結毛胚。
  6. 如申請專利範圍第1項所述之釹鐵硼磁石的製造方法,其中該三氟化镝粉體的一平均粒徑是在3.5微米至4.5微米之間。
  7. 如申請專利範圍第1項所述之釹鐵硼磁石的製造方法,其中沾附該三氟化镝粉體於該釹鐵硼磁石毛胚之表面的步驟包含:提供一混合液,包含以體積百分比計為10%至20%的該三氟化镝粉體及80%至90%的一無水酒精;將該釹鐵硼磁石毛胚浸泡於該混合液中;以及從該混合液中取出該釹鐵硼磁石毛胚,以沾附該三氟化镝粉體於該釹鐵硼磁石毛胚之表面。
  8. 如申請專利範圍第1項所述之釹鐵硼磁石的製造方法,其中該第一低壓及該第二低壓皆是5.0×10-2托,以及該第一高壓及該第二高壓皆是5.0×10-1托。
  9. 如申請專利範圍第1項所述之釹鐵硼磁石的製造方法,其中該第一間隔時間及該第二間隔時間皆是5至10分鐘。
  10. 如申請專利範圍第1項所述之釹鐵硼磁石的製造方法,其中該第一間隔時間及該第二間隔時間皆是5分鐘。
TW105107357A 2016-03-10 2016-03-10 釹鐵硼磁石的製造方法 TWI564916B (zh)

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