TWI555580B - 塗布頭及液滴塗布裝置 - Google Patents

Description

塗布頭及液滴塗布裝置

本發明係關於將樹脂或黏著劑等的液體(液滴)以既定量塗布於被塗布物上之塗布頭及液滴塗布裝置。

於電子零件行業中，要求液滴塗布裝置能對被塗布物高速塗布精確之塗布量(噴吐量)的液滴。同時，剩餘在噴嘴前端之液滴會造成噴嘴堵塞或噴出之液滴再次附著到噴嘴上，因這些原因等使得對液滴塗布裝置之管理也成為一項重要的課題。此外，作為高速化之方法，還可考慮將複數個塗布頭配置於液滴塗布裝置，並且還要求塗布頭能小型及輕薄化。

於具有相對較簡單之構造的氣壓式塗布裝置中，很難做到穩定地噴吐所要求之精確的塗布量，所以，可考慮一種具有機械構造且變動少的方式。可考慮使用柱塞型塗布裝置作為該方式中其中一種。

專利文獻1係一個往復泵，其由以下方式構成：該往復泵具有於形成在泵頭中之在泵室內往返運動的柱塞，且於吸入流路之吸入口附近設置第一止回閥作為吸入閥，於排出流路之排出口附近設置第二止回閥作為 排出閥，並於吸入閥之上游側連接吸入用配管，而於排出閥之下游側連接排出用配管。並且，各止回閥形成副流路，且於副閥室內設置副閥體，該負流路係藉由流體之流動而使壓力差產生於主閥體之軸向。

專利文獻2之課題在於，提供一種液料噴吐裝置，該液料噴吐裝置係可對應任何黏度之液料，並且為相對於柱塞進退方向不存在裝置之朝水平方向的不必要的突出或擴張之構造，且能連接多個裝置。其揭示一種液料噴吐裝置，係由供給液料之液料供給口、噴吐液料之噴嘴、具有與充填有被噴吐之液料的測量孔及液料供給口連通之液料供給流路之閥塊、具有連通測量孔與液料供給流路之第一流路及連通測量孔與噴嘴的第二流路之轉換閥、於測量孔內進退動作之柱塞、驅動柱塞之柱塞驅動部、使轉換閥動作之閥驅動部、以及將閥驅動部之驅動傳遞至轉換閥的傳遞部所構成，該液料噴吐裝置之特徵為：該柱塞驅動部、該閥驅動部及該閥塊係連設於長度方向。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2004-019593號公報

[專利文獻2]國際公開2007-046495號公報

專利文獻1係於吸入側及排出側分別設置止 回閥(逆止閥)，且於各逆止閥之間具有泵室(空腔)及柱塞。空腔內充填有液體，若假設始終以既定壓力朝吸入側供給液體時，當藉由柱塞動作而使空腔內容積增加時，自吸入側供給液體，相反地，當藉由柱塞動作而使空腔內容積減少時，液體自噴吐口排出。專利文獻1之情況下，為了改善逆止閥之反應，設置副流路。然而，於使用逆止閥之方法中，無法實現電子零件行業所要求之精確的塗布量(噴吐量)。具體而言，逆止閥方式之處理能力，難以做到1次噴射1秒以下，此外，微量(例如，0.005ml以下)之高精度噴出(誤差為0.5%以下)亦有困難。

專利文獻2係具有能轉動之轉換閥，且將轉換閥之凹槽作為供給側，將轉換閥之貫通孔作為噴吐側，對這些進行轉換而朝測量孔(空腔)充填液體，藉由突出於空腔內之柱塞桿的移動，使空腔內之容積變化，以噴吐液體。藉由此構造，可使塗布頭小型化而發揮專利文獻2之發明的效果，而且，可連設多個噴嘴。然而，專利文獻2之情況下，其為將一個轉換閥之凹槽及貫通孔分別用作為供給側及噴吐側的構造，所以，只能選擇僅與供給側連通或僅與噴吐側連通之二種轉換閥狀態，而有空氣排放及液路(流路)之清洗困難等的不便。

本發明係認識到這種情況而開發者，其目的 在於提供一種塗布頭及液滴塗布裝置，與使用逆止閥之方法比較，可實現精確之塗布量，且可防止將一個轉換閥之凹槽及貫通孔分別作為供給側及噴吐側發揮作用的構造而產生之不便。

本發明之一個態樣係一種塗布頭。該塗布頭具備：液體儲存部，其儲存液體且內部施加有既定之壓力；前端噴吐口，其噴吐液滴；液體流路，其自該液體儲存部連至該前端噴吐口；儲液側閥，其插入該液體流路中；噴吐側閥，其於比該儲液側閥更下游之側插入該液體流路中；及柱塞，其藉由在連通於中間液體流路、即該儲液側閥及該噴吐側閥之間的液體流路之空間內滑動，以使該中間液體流路內之液體的容積變化；該儲液側閥及該噴吐側閥係分別具有圓柱形部且設有貫通該圓柱形部之外周面間的貫通孔，並至少於既定角度範圍內能以該圓柱形部之中心軸作為旋轉軸進行旋轉，且於既定之旋轉位置上，該貫通孔與本身之兩側的液體流路連通，而於其他旋轉位置上，該貫通孔不與本身之兩側的液體流路連通。

還可於已對自該液體儲存部連至該前端噴吐口之液體流路排放空氣之狀態下，於使該儲液側閥連通且隔絕該噴吐側閥的狀態下使該柱塞自該中間液體流路內朝抽引方向後退，然後，於隔絕該儲液側閥且使該噴吐側閥連通之狀態下使該柱塞朝突出於該中間液體流路內之方向前進，利用該中間液體流路內之該液體的容積變化，可執行使既定量之液滴自該前端噴吐口噴出之噴吐動作。

還可於該噴吐動作後，藉由使該柱塞自該中間液體流路內朝抽引方向微量後退，以使該前端噴吐口 之液體朝吸引方向略微移動。

該儲液側閥及該噴吐側閥還可成為雙方在同一時間內連通之狀態。

還可於使該儲液側閥及該噴吐側閥雙方連通的狀態下一面移動一面朝該液體儲存部內之液體施加噴吐壓力而進行連續塗布。

還可於將該連續塗布時之該噴吐壓力釋放之後，藉由使該柱塞自該中間液體流路內朝抽引方向微量後退，以使該前端噴吐口之液體朝吸引方向略微移動。

還可於使該儲液側閥及該噴吐側閥雙方連通的狀態下使該柱塞往返動作複數次，藉此可完成空氣排放製程，該空氣排放製程係將自該液體儲存部連至該前端噴吐口之液體流路內變成填充有液體的狀態。

當使該儲液側閥及該噴吐側閥雙方連通時，自該液體儲存部朝向該前端噴吐口之液體流路可於下方成為一直線。

還可具備分別驅動該儲液側閥及該噴吐側閥的第一致動器，該儲液側閥及該噴吐側閥分別具有第一嵌合部，該第一致動器係藉由驅動部使與各個該第一嵌合部嚙合之第二嵌合部動作，藉以使該儲液側閥及該噴吐側閥之各個動作，該第一嵌合部與該第二嵌合部彼此可自由拆裝。

該第一嵌合部還可自操作者方向相對於該第二嵌合部自由拆裝。

還可為，該第一嵌合部係矩形之嵌合凸部， 該第二嵌合部係嵌合槽，於該拆裝時，藉由該嵌合槽成為大致水平方向，可於水平方向拔出該嵌合凸部。

當可於大致水平方向拔出該嵌合凸部時，該噴吐側閥也可為閉合。

還可於自該儲液側閥及該噴吐側閥之軸向觀看時所見到之該嵌合凸部的四角隅實施圓角加工。

還可具備使該柱塞相對於該中間液體流路前進及後退之第二致動器，該柱塞係藉由被夾具挾持而可固定於該第二致動器之活動部，藉由鬆開該夾具並使該夾具退避，可使該柱塞自該第二致動器分離。

該柱塞還可自操作者方向相對於該第二致動器自由拆裝。

還可具備：塊體，其具有該液體儲存部與該前端噴吐口之間的液體流路且以該液體流路作為貫通孔，並具有以橫穿該貫通孔之方式形成的2個襯套插入孔；及儲液側襯套與噴吐側襯套，其於既定角度範圍內以可旋轉的方式分別插入有該儲液側閥及該噴吐側閥，並於其側面分別形成有構成液體流路之一部分的貫通孔，該等襯套係分別插入該2個襯套插入孔內。

還可於該儲液側襯套及該噴吐側襯套之各個與該2個襯套插入孔的各個之間不留空隙地充填黏著劑。

於該塊體之下部具有儲液區，該儲液區係當自該儲液側襯套及該噴吐側襯套之各個與該儲液側閥及該噴吐側閥的各個的微小間隙滲出液體時，用以接受該液體。

該儲液側襯套及該噴吐側襯套暨該該儲液側閥及該噴吐側閥還可由碳化矽構成。

還可具備：第一密封構件，其於該儲液側襯套及該噴吐側襯套之各個中至少一方的端部側，將該儲液側襯套與該儲液側閥之間的間隙、及該噴吐側襯套與該噴吐側閥之間的間隙圍住或覆蓋；及壓板，其以按壓該第一密封構件之方式安裝於該塊體上。

還可具有第二密封構件，該儲液側閥及該噴吐側閥分別具有邊緣部，該第二密封構件係由各個凸緣部與該儲液側襯套及該噴吐側襯套的端部或該塊體的表面所挾持。

還可具備：第一密封構件，其於該儲液側襯套及該噴吐側襯套之各個中至少一方的端部側，將該儲液側襯套與該儲液側閥之間的間隙、及該噴吐側襯套與該噴吐側閥之間的間隙圍住或覆蓋；及壓板，其以按壓該第一密封構件之方式安裝於該塊體上，並且，還可具有第二密封構件，該儲液側閥及該噴吐側閥分別具有邊緣部，該第二密封構件係由各個凸緣部與該儲液側襯套及該噴吐側襯套的端部或該塊體的表面所挾持。

該第二密封構件還可具有潤滑性。

還可具備彈性按壓該儲液側閥及該噴吐側閥之各個的該邊緣部側之端部的按壓構件。

本發明之另一個態樣係一種液滴塗布裝置，其具有至少一個該塗布頭，且具有使該塗布頭相對於被塗布物朝相互不同之3個方向、即XYZ方向相對地移動之 手段。

又，於方法及系統等之間對以上之構成要素的任意組合、本發明之表現進行變更者，也可有效地作為本發明之態樣。

根據本發明，與使用逆止閥之方法比較，可實現精確之塗布量，且可防止因將一個轉換閥之凹槽及貫通孔分別作為供給側及噴吐側發揮作用的構造而產生之不便。

1‧‧‧塗布頭

10‧‧‧噴吐部

11‧‧‧塊體

12‧‧‧襯套

13a、13b‧‧‧閥

14a、14b‧‧‧襯套

15‧‧‧柱塞

16‧‧‧噴嘴

17‧‧‧鎖定螺帽

18‧‧‧液體流路

19‧‧‧接頭

20a、20b‧‧‧貫通孔

21a、21b‧‧‧嵌合凸部

22‧‧‧安裝孔

23‧‧‧儲液區

25a、25b‧‧‧邊緣部

26a、26b‧‧‧密封構件

27‧‧‧壓板

27a、27b‧‧‧凹部

28a、28b‧‧‧密封構件

30‧‧‧驅動部

31‧‧‧支架

32a、32b‧‧‧閥驅動用致動器

33a、33b‧‧‧桿

34a、34b‧‧‧軸

35a、35b‧‧‧輥

36a、36b‧‧‧凸緣

37a、37b‧‧‧嵌合槽

38‧‧‧安裝螺帽

39‧‧‧導軌

40‧‧‧導引

41‧‧‧柱塞驅動用致動器

42‧‧‧塊體

43‧‧‧板

43a‧‧‧壓板

44‧‧‧支點軸

45‧‧‧安裝螺釘

46‧‧‧固定螺釘

47‧‧‧凹口

48‧‧‧凹口

49‧‧‧孔

50‧‧‧儲液部

51‧‧‧筒體

91‧‧‧搬入部

95‧‧‧塗布部

97‧‧‧搬出部

100‧‧‧液滴塗布裝置

101‧‧‧基台

102‧‧‧載置台

103‧‧‧XYZ作業台

109‧‧‧搬運單元

111‧‧‧基板

112‧‧‧主控制部

113‧‧‧記憶部

115‧‧‧運算部

117‧‧‧壓力控制部

301‧‧‧台板

303‧‧‧X軸滑動導引

305‧‧‧X軸滑塊

311‧‧‧Y軸支撐架

313‧‧‧Y軸滑動導引

315‧‧‧Y軸滑塊

321‧‧‧Z軸支撐架

323‧‧‧Z軸滑動導引

325‧‧‧Z軸滑塊

第1圖為顯示本發明之第一實施形態的塗布頭1之主要部分的概略構成之前剖視圖。

第2圖為顯示塗布頭1之主要部分的具體構成之剖視圖，(A)為前剖視圖，(B)為局部之右側剖視圖。

第3圖為在塗布頭1所使用之儲液側閥13a之立體圖。

第4圖為顯示塗布頭1之整體構成之前剖視圖。

第5圖(A)~(D)為塗布頭1之噴吐動作之說明圖。

第6圖為第4圖之局部放大圖且為顯示閥驅動的構成之說明圖。

第7圖(A)為自右側看第6圖所示之構成之側視圖，(B)為(A)之B箭視圖。

第8圖為塗布頭1之俯視圖。

第9圖為第8圖之C箭視局部側視圖，(A)顯示柱塞固定狀態，(B)顯示柱塞開放狀態。

第10圖為本發明之第一實施形態的液滴塗布裝置100之俯視圖。

第11圖為本發明之第二實施形態的塗布頭之主要部分之分解側剖視圖。

第12圖為同主要部分之側剖視圖。

第13圖為第二實施形態中之閥驅動的構成之側視圖。

第14圖為第13圖之D箭視圖。

第15圖為第二實施形態中之儲液側閥13a及噴吐側閥13b與其等之驅動部的嵌合構造之放大圖。

第16圖為第二實施形態中之儲液側閥13a之立體圖。

[實施發明之形態]

以下，參照圖式對本發明之較佳實施形態進行詳細說明。又，對各圖中所示之相同或等同的構成要素、構件等賦予相同之元件符號，並適當省略重複之說明。此外，實施形態不是用以限制本發明者而僅為例示而已，本實施形態所記載之所有特徵及其組合不一定均是發明之本質內容。

第一實施形態

第1圖為顯示本發明之第一實施形態的塗布頭1之主要部分的概略構成之前剖視圖。第2圖為顯示塗布頭1之主要部分的具體構成之剖視圖，(A)為前剖視圖，(B)為其局部之右側剖視圖。第3圖為在塗布頭1所使用之儲液側閥13a之立體圖。又，噴吐側閥13b也與本圖所示之儲 液側閥13a的形狀相同。第4圖為顯示塗布頭1之整體構成之前剖視圖。為了便於說明，圖中之座標系係定義為水平面內正交的XY軸及鉛垂方向之Z軸，且將圖中之-Y方向定義為操作者方向。但實施形態中之構成不表示只限於此座標，例如，Z軸也可相對於鉛垂方向傾斜。

如第4圖所示，塗布頭1主要由以下之三個要素所構成。

‧噴吐部10

‧驅動部30

‧儲液部50

儲液部(液體儲存部)50係具有儲存噴吐之液體的功能，如第2圖所示，將液體注入大致密閉之筒體51(注射筒)內，並朝筒體51內之空間內供給既定壓力之氣體(壓力媒體)，藉此，將筒體51內之液體始終以既定壓力連續地朝噴吐部10的接頭19輸送。該構成已在習知之液滴塗布裝置中被使用，為周知的技術。液體係自儲液部50經由接頭19供給至噴吐部10，並自噴嘴16之前端噴吐口將液滴塗布於被塗布物上。驅動部30係用以驅動噴吐部10之構成要素的單元。自驅動部30朝噴吐部10之動力傳遞係利用嵌合部及夾具。有關噴吐部10及驅動部30之構成、動作的詳細內容，有待後述。

(噴吐部10之構成)

如第1及第2圖所示，噴吐部10具有接頭19、塊體11、儲液側襯套12a、噴吐側襯套12b、儲液側閥13a、噴吐側閥13b、柱塞15及噴嘴16。接頭19係藉由螺釘固定方式 等固定於塊體11之上面。此外，例如筒體51之前端部(下端部)係螺合於接頭19。噴嘴16例如前端部為圓錐形，且以鎖定螺帽17固定於塊體11之下面。

塊體11係具有沿Z方向連通於儲液部50之接頭19與噴嘴16之間的液體流路18，並且該液體流路18係作為塊體11之Z方向貫通孔。儲液側閥13a係插入液體流路18中。噴吐側閥13b係於比儲液側閥13a下游之側(靠近噴嘴16)插入液體流路18中。具體而言，塊體11係具有2個襯套插入孔118a、118b(第1圖)，這些襯套插入孔118a、118b係例如以垂直(X方向)地橫穿液體流路18之方式形成的貫通孔且內表面為圓筒面，襯套插入孔118a、118b之各個中分別插入有例如圓筒狀的儲液側襯套12a及噴吐側襯套12b，且儲液側閥13a及噴吐側閥13b係分別可旋轉自如(可於既定角度範圍內旋轉)地插入儲液側襯套12a及噴吐側襯套12b中。儲液側閥13a及噴吐側閥13b係由例如碳化矽等之材料所製作。以下，根據需要將靠近筒體51之液體流路標記為儲液側液體流路18a、將儲液側閥13a及噴吐側閥13b之間的液體流路標記為中間液體流路18b、將靠近噴嘴16之液體流路標記為噴吐側液體流路18c加以區別。又，中間液體流路18b係於儲液側閥13a及噴吐側閥13b之間可能存在液體之整個空間，且不限於僅由直線狀部分所構成者，例如，也可包含柱塞15之往返移動範圍及其附近的朝一側局部突出的部分18b’(第1圖)。

於儲液側襯套12a及噴吐側襯套12b與襯套插 入孔118a、118b之間分別不留空隙地充填有黏著劑，儲液側襯套12a及噴吐側襯套12b係黏著固定於塊體11。於此狀態下，分別形成於儲液側襯套12a及噴吐側襯套12b之外周面之一對貫通孔120a、120b(第1圖)係與塊體11之貫通孔(構成液體流路18之貫通孔)連通而成為液體流路18之一部分。儲液側襯套12a及噴吐側襯套12b係具有對儲液側閥13a及噴吐側閥13b之旋轉運動進行支撐之軸承的功能，例如可藉由碳化矽等之材料所製作。

如第3圖所示，儲液側閥13a係具有插入儲液側襯套12a中之圓柱形部24a且設有貫通圓柱形部24a之外周面間的貫通孔20a，並且至少於既定角度範圍內能以圓柱形部24a之中心軸作為旋轉軸進行旋轉。貫通孔20a例如垂直地橫穿圓柱形部24a之中心軸。於既定之旋轉位置上，貫通孔20a朝Z方向且經由儲液側襯套12a之貫通孔120a與本身之兩側的液體流路(儲液側液體流路18a及中間液體流路18b)連通。於其他旋轉位置上，貫通孔20a朝與Z方向不同之方向而不與本身之兩側的液體流路流通(兩液體流路間被隔絕)。也就是說，儲液側閥13a具有閥的功能，其藉由本身之旋轉位置來連通或隔絕自接頭19至噴嘴16為止的液體流路18。於圓柱形部24a之其中一個端面上，於徑向設有凸出狀之嵌合凸部21a。嵌合凸部21a係與驅動儲液側閥13a之致動器嵌合的嵌合部，有關其功能容待後述。噴吐側閥13b係與儲液側閥13a之形狀相同，並與儲液側閥13a同樣具有閥的功能，其藉由本身之旋轉位置來連通或遮斷自接頭19至噴嘴16為止的液體流路 18。於使儲液側閥13a及噴吐側閥13b均連通之情況下(亦即，兩者之貫通孔20a、20b均朝向Z方向之情況)，噴吐部10之液體流路係自筒體11朝向噴嘴16沿-Z方向(一般為下方)呈一直線狀的構造。

柱塞15係可朝中間液體流路18b、即儲液側閥13a及噴吐側閥13b之間的液體流路之方向突出地設於塊體11，並藉由突出狀態之變化而使中間液體流路18b內之液體的容積變化。具體而言，塊體11係於中間液體流路18b具有襯套插入孔119(第1圖)，該襯套插入孔119係例如垂直且自橫向(Y方向)連通於中間液體流路18b且內面為圓筒面，襯套插入孔119中插入有例如圓筒狀之柱塞用襯套14，柱塞15係可於軸向滑動地插入柱塞用襯套14中。柱塞用襯套14係具有對柱塞15之直行運動進行支撐之軸承的功能，例如可藉由碳化矽等之材料所製作。柱塞15係藉由後述之驅動部30而於待機位置與突出位置之間往返移動。又，柱塞15之軸的方向不受限制，但於考慮到後述之保養性的情況下，以設置成朝操作者側、即-Y方向拉引之配置為較佳。

又，為了實現高精度且重複性良好之噴吐，本實施形態之塗布頭1係如後述那般藉由柱塞15之往返動作產生的中間液體流路18b內之液體的微量之容積變化進行噴吐。因此，可獲得液體流路18、儲液側閥13a及噴吐側閥13b不會留下氣泡，且不會引起密封材料之彈性變形的構造。

因此，為了讓例如塊體11之襯套插入孔118a 、118b(第1圖)與儲液側襯套12a及噴吐側襯套12b之間不產生空隙，組裝係利用分量充足之黏著劑進行充填。此外，於儲液側襯套12a及噴吐側襯套12b之貫通孔120a、120b與儲液側閥13a及噴吐側閥13b之間，不採用用於活動物體間之密封構件。若使用密封構件，於由液體流路18、儲液側襯套12a及噴吐側襯套12b之貫通孔120a、120b與儲液側閥13a及噴吐側閥13b所構成之管路中，會有管路容積發生變化之問題。此外，空氣排放會因為密封構件之設置場所變得非常困難。

由於不使用密封構件，雖然極為微量，但是液體會自儲液側襯套12a及噴吐側襯套12b與儲液側閥13a及噴吐側閥13b之間漏洩，但該漏洩係進行數萬次噴射之噴吐動作後才會開始滲出之程度，若自噴吐量之資料觀察，可說是該漏洩本身不會對柱塞15之往返動作而引起的微小容積變化產生實質上的壞影響。但是，為了防止滲出之液體於塊體11的外壁傳遞而滴落至被塗布物上，於塊體11之下部具備儲液區23(第2圖(B))。

(噴吐動作)

第5圖為塗布頭1之噴吐動作之說明圖。參照本圖，對具有前述構成之噴吐部10之噴吐動作進行說明。首先，為了達到液體填滿於自筒體51連至噴嘴16之前端噴吐口的液體流路(接頭19之貫通孔、作為貫通孔形成於塊體11之液體流路18a、18b、18c、儲液側閥13a及噴吐側閥13b之貫通孔20a、20b、儲液側襯套12a及噴吐側襯套12b之貫通孔120a、120b、及噴嘴16之貫通孔)中而不存在空 氣(氣泡)的初期狀態，進行空氣排放動作。

具體而言，儲液部50之筒體51係經由接頭19與位於噴吐部10之塊體11的液體流路18連通，所以，如第5圖(A)所示，使儲液側閥13a及噴吐側閥13b位於與液體流路18連通之位置，於朝位在筒體51內之作為噴吐對象的液體之液面施加既定的壓力P之狀態下，使柱塞15於待機位置與突出位置之間往返動作複數次時，即可完成空氣排放(若有氣泡，則會自噴嘴16之前端噴吐口排出)。

完成空氣排放之後，進行噴吐動作。與空氣排放時之動作相同，於儲液部50之筒體51內儲存有作為噴吐對象之液體，且將既定之壓力P施加於液面。筒體51係經由接頭19與位於噴吐部10之塊體11的液體流路18連通。於此狀態下，首先，如第5圖(B)所示，使儲液側閥13a之貫通孔20a對準在連通於儲液側流路18a及中間液體流路18b之位置上，另一方面，使噴吐側閥13b之貫通孔20b朝向Z方向傾斜(以噴吐側閥13b之圓柱形部的軸為中心旋轉既定角度)以遮斷中間液體流路18b與噴吐側液體流路18c之間。其結果，筒體51、儲液側流路18a、貫通孔20a及中間液體流路18b連通，而處於由壓力P所充填之狀態。此時之柱塞15係位於待機側(-Y方向)。

接著，如第5圖(C)所示，儲液側閥13a及噴吐側閥13b進行既定角度之旋轉動作，儲液側閥13a將儲液側流路18a與中間液體流路18b之間隔絕，另外，噴吐側閥13b之貫通孔20b對準在連通於中間液體流路18b及噴 吐側液體流路18c之位置上。此時，可比噴吐側閥13b之連通早一步進行儲液側閥13a之隔絕。其結果，中間液體流路18b、貫通孔20b及噴吐側液體流路18c連通，而筒體51被儲液側閥13a所隔絕，所以，施加於筒體51內之液面的壓力P不會作用於比儲液側閥13a下游之處。

接著，如第5圖(D)所示，於儲液側閥13a及噴吐側閥13b維持在第5圖(C)之狀態下，柱塞15自待機位置移動至突出位置。藉此，液體僅以相當於朝中間液體流路18b突出之柱塞15的體積V的量，自中間液體流路18b通過貫通孔20b與噴吐側液體流路18c朝噴嘴16移動，最終自噴嘴16之前端噴吐口噴出僅相當於體積V的量之液滴。噴吐後，藉由使柱塞15略微返回待機位置，噴嘴16之前端噴吐口的液體略微朝吸引方向移動，可具有防止液體朝噴嘴16之前端外部附著的效果(回吸功能)。

藉由依序連續地執行第5圖(B)至(D)中說明之上述動作，可噴吐量(容積)穩定的液滴。具體而言，具有以下之能力，其還適合於LED螢光體之封裝用途。

噴吐量 0.0002ml~0.1ml

噴吐精度 0.5%(3σ)以下

黏度 100~500oomPa‧s

處理能力 1噴射：0.6秒以下

(連續塗布)

塗布頭1除可藉由柱塞15之往返動作進行上述噴吐動作外，還可進行作為壓縮空氣式分配器之連續塗布動作。雖省略圖示，儲液部50係經由配管與閥及壓縮空氣 源連接，於第1圖之狀態、即儲液側閥13a及噴吐側閥13b雙方皆連通於液體流路18，且完成空氣排放之狀態下，使噴嘴16之前端接近於塗布對象物，藉由一面使塗布頭1朝XY方向移動一面對儲液部50內之液體施加噴吐用壓力(比藉由柱塞15之往返動作的噴吐時的既定壓力P大)，即可與壓縮空氣式分配器同樣地進行連續塗布。此外，於柱塞15突出於中間液體流路18b之狀態下進行該連續塗布之後，於釋放噴吐用壓力(返回至既定壓力P)時使柱塞略微返回待機位置，藉此，噴嘴16之前端噴吐口的液體略微朝吸引方向移動，可具有防止液體朝噴嘴16之前端外部附著的效果(回吸功能)。又，藉由對儲液部50之液體施加負壓，也可吸入噴嘴16之前端噴吐口的液體，但藉由柱塞15之後退而進行吸入之情況，可於靠近噴嘴16之位置進行吸入，所以具有反應快之優點。

(驅動部30之構成)

參照第6至第9圖對用以進行包含空氣排放之噴吐動作的驅動部30之構成進行說明。第6圖為第4圖之局部放大圖且為顯示閥驅動的構成之說明圖。第7圖(A)為自右側看第6圖所示之構成之側視圖。第7圖(B)為第7圖(A)之B箭視圖。第8圖為塗布頭1之俯視圖。第9圖為第8圖之C箭視局部側視圖，(A)顯示柱塞固定狀態，(B)顯示柱塞開放狀態。於第9圖中，以透視方式顯示第8圖所示之壓板43a。

如第8圖所示，驅動部30係於固定在後續第10圖所述之Z軸滑塊325的支架31上安裝有閥驅動用致動器 32及柱塞驅動用致動器41。又，如第6圖所示，閥驅動用致動器32係包含驅動儲液側閥13a之致動器32a及驅動噴吐側閥13b的驅動器32b，兩致動器係雖獨立動作但結構相同。因此，於以下之說明中，統稱該兩致動器為閥驅動用致動器32。此外，第6及第7圖中，於與儲液側閥13a之驅動相關的構成要素之元件符號之後添加「a」，於與噴吐側閥13b之驅動相關的構成要素之元件符號之後添加「b」。

閥驅動用致動器32之本體(氣缸等之動力源)係安裝於支架31上，於閥驅動用致動器32之移動側，桿33(33a、33b)係經由導引器40及導軌39(第8圖)而以可自在地直線運動的方式安裝於支架31上。桿33之端部固定有輥35(35a、35b)。軸34(34a、34b)係經由未圖示之軸承轉動自如地安裝於支架31上。於軸34之端面實施槽加工，供輥35卡合。軸34之中心軸與輥35之位置經偏移，所以，閥驅動用致動器32之直線移動動作，經由桿33與輥35被轉換為軸34之旋轉運動。此外，也可自閥驅動用致動器以連桿連接而進行旋轉運動，或者於致動器如馬達般進行旋轉運動的情況下，也能以確動皮帶等使軸34旋轉。又，實現軸34之旋轉運動的機構不限於此。

如第7圖所示，隔著軸34之軸承而於相反側具有加工有嵌合槽37(37a、37b)之凸緣36(36a、36b)。也就是說，閥驅動用致動器32之動作被轉換為軸34的旋轉運動，從而可進行凸緣36及嵌合槽37之旋轉運動。藉由使此嵌合槽37(37a、37b)與前述之儲液側閥13a及噴吐側閥 13b的各個嵌合凸部21a、21b(第3圖)嵌合，可利用閥驅動用致動器32(32a、32b)使儲液側閥13a及噴吐側閥13b進行轉動。又，為了能使儲液側閥13a及噴吐側閥13b的各個嵌合凸部21a、21b容易插入，增大凸緣36之直徑使得嵌合槽37可以比嵌合凸部21a、21b更長。此外，根據相同理由，也可於嵌合槽37實施錐面加工。

此時，為了不要因致動器32之動作造成的衝擊而缺損，嵌合凸部21a、21b亦可於自閥13a及13b之軸向觀看時所見到之四角隅預先實施圓角加工(第2圖之箭頭C)。

又，本實施形態中之閥驅動用致動器32係可使用氣缸作為直線運動之動力源，但不限於此，例如，還可使用螺線管等。此外，藉由嵌合槽37與各閥之嵌合凸部的嚙合進行之驅動力傳遞，不限於此，也可為使槽與凸部顛倒，也可使用齒輪等之容易分離的傳導要素。

如第8圖所示，柱塞驅動用致動器41之本體(例如，具有滾珠螺桿及伺服馬達之動力源)係安裝於支架31上，於柱塞驅動用致動器41之移動側可直線運動自如地安裝有塊體42，於塊體42上進一步安裝有板43。如第9圖所示，板43上具有與安裝於塊體42之支點軸44嵌合的孔49、及貫穿安裝螺釘45之凹口47，該安裝螺釘45係與塊體42之安裝螺帽組合而緊固該板43，當鬆開安裝螺釘45時，板43能以支點軸44為支點旋轉動作。

如第8圖所示，壓板43a係以固定螺釘46緊固於板43之前端，藉由此緊固力與板43一起挾住柱塞15之 凸緣部151以傳遞柱塞驅動用致動器41之動作。此外，於板43還具有可用以進行前述之旋轉動作的柱塞退避用的凹口48(第9圖)。又，本實施形態中之柱塞驅動用致動器41係使用能進行多點位置控制的直行式致動器，所以可進行精確之噴吐控制。

又，本實施形態之塗布頭1可連設於液滴塗布裝置，其配置間距小於60mm。

(分解)

對該噴吐部10及驅動部30之組合的分解係按以下步驟進行。閥驅動用致動器32、柱塞驅動用致動器41、安裝有其他傳導構件之驅動部30及儲液部50係固定於裝置本體側。當鬆開儲液部50之筒體51的安裝，而朝+Z方向抬升時，可簡單地自噴吐部之接頭19分離儲液部50。

接著，對將塞驅動用致動器41及柱塞15分離之作業進行說明。首先，鬆開板43之挾持螺釘46，解除柱塞15與板43之緊固。接著，鬆開安裝螺桿45，當將板43與塊體42之緊固解除時，板43以支點軸44為中心進行旋轉，柱塞15於被插入柱塞用襯套14之孔內的狀態下自立地自板43解放。於此狀態下，柱塞15能容易地於自柱塞用襯套14之孔中拔出。

關於閥驅動用致動器32與儲液側閥13a及噴吐側閥13b之分離，首先將儲液側閥13a及噴吐側閥13b之嵌合凸部21a、21b(第2圖(B)及第3圖)設於與Y軸大致平行之位置(以裝置控制進行控制)。此時，以噴吐側閥13b閉合之方式設定嵌合凸部21b與貫通孔20b所夾之角 度。然後，驅動部30與噴吐部10係藉由未圖示之螺釘將塊體11之安裝孔22(第2圖(B))與支架31的安裝螺帽38(第7圖(A))緊固而被固定，所以，可將這些鬆開而予拆下。由於筒體51與塊體11被分離，所以只要直接將塊體11朝操作者側(-Y方向)抽出即可完成分離。組裝則依照相反之步驟進行即可。

(裝置概要)

第10圖為本發明之第一實施形態的液滴塗布裝置100之俯視圖。液滴塗布裝置100具備：基台101、載置台102、XYZ作業台103、具有前述構成之塗布頭1(這裡為4個)、搬運單元109、及主控制部112。又，將水平面內之正交的2個方向定義為X方向及Y方向，並將鉛垂方向定義為Z方向。

載置台102係固定於基台101之上面，XYZ作業台103係固定於載置台102，塗布頭1係藉由XYZ作業台103支撐為可於XYZ之各個方向移動自如。搬運單元109係固定於基台101之上面，作為塗布對象物之基板111係藉由搬運單元109而可於X方向搬運。又，作為塗布對象物除半導體安裝基板等之基板外，還有LCD(Liquid Cristal Display)面板或LED(發光二極體)等。主控制部112係位於基台1(筐體)之內部，用以控制包含塗布頭1之裝置整體的動作，其具有記憶部113、運算部115及壓力控制部117。

XYZ作業台103係具有：台板301、X軸滑動導引303、X軸滑塊305、Y軸支撐架311、Y軸滑動導引313 、Y軸滑塊315、Z軸支撐架321、Z軸滑動導引323及Z軸滑塊325。

台板301係固定於載置台102之上面，X軸滑動導引303係固定於台板301之上面，X軸滑塊305係藉由滾珠螺桿驅動機構所驅動，能沿X軸滑動導引303移動。又，滾珠螺桿驅動機構係藉由馬達旋轉驅動螺桿軸，使螺合於該滾珠螺桿軸之滾珠螺帽於該滾珠螺桿軸之軸向移動。

Y軸支撐架311係固定於X軸滑塊305，Y軸滑動導引313係固定於Y軸支撐架311，Y軸滑塊315係藉由滾珠螺桿驅動機構所驅動，能沿Y軸滑動導引313移動。Z軸支撐架321係固定於Y軸滑塊315，Z軸滑動導引323係固定於Z軸支撐架321，Z軸滑塊325係藉由滾珠螺桿驅動機構所驅動，能沿Z軸滑動導引323移動。因此，Z軸滑塊325可於XYZ之各個方向移動自如，安裝於Z軸滑塊325上之塗布頭1也可於XYZ之各個方向移動自如。

以下，對本裝置之整體動作概要地進行說明。首先，朝第10圖之搬運單元109的搬入部91供給作為塗布對象物之基板111。基板111係自搬入部91搬運至塗布部95而定位於既定位置。塗布頭1係藉由XYZ作業台103之支撐而移動於塗布部95上(基板11上)，將液料塗布於基板111。當塗布作業結束時，基板部111被搬運至搬出部97而被排出。又，也可根據需要於塗布部95之前段設置預熱部，以加熱器等之預熱手段升高基板111的溫度，並於塗布部95之後段設置冷卻部而降低基板111的溫度 ，以使被塗布之液體凝固及穩定。於對既定數量之基板111執行塗布作業之後，塗布頭1朝Y方向後退，結束塗布作業。

(變化例)

於使儲液側閥13a及噴吐側閥13b雙方連通的狀態下，柱塞係於固定狀態下藉由於既定時間內對儲液部50施加既定壓力，而可發揮周知之氣壓式分配器的功能。這於進行擋板的形成等不太需要精度且粗細連續相同的塗布時較為適宜。本發明還可用於此種使用方式，而有應用範圍廣之特徵。

根據本實施形態，可獲得以下之效果。

(1)與如專利文獻1那般使用逆止閥之方法不同，可實現在電子零件行業中所要求之精確的塗布量(噴吐量)。可提供高精度、高處理能力之液滴塗布裝置，不僅是黏著劑及樹脂之塗布，還可高速地進行液晶螢光體等之高精度充填。

(2)由於是使用彼此獨立控制之儲液側閥13a及噴吐側閥13b的構造，所以，可防止像專利文獻2那樣將一個轉換閥之凹槽及貫通孔分別作為供給側及噴吐側而發揮作用的構造所產生之不便(保養性之惡化及空氣排放的困難性)。具體而言，本實施形態中，於塗布頭1中，儲液側閥13a及噴吐側閥13b可成為雙方於同一時間內連通之狀態，所以，於液體流路之清洗時，可自上方壓入溶劑而連噴嘴16都可一口氣地清洗，其保養性良好，且還可簡單且迅速地執行噴吐前之空氣排放動作為， 故較佳。這點於專利文獻2中，只能選擇一種轉換閥狀態(僅儲液側連通、或僅噴吐側連通)，所以，無法如本實施形態那般一口氣地清洗乾淨，並且空氣排放困難。

(3)能自裝置正面側對塗布頭1進行分解清掃，其保養性良好。此外，於連設塗布頭1之情況下也可實現狹小間距，可達成處理能力之提升，並且即使連接多個塗布頭，其保養性之良好度也不變。關於這點，於專利文獻2之情況下，轉換閥之驅動係藉由背面的鏈條及鏈輪所進行，並且柱塞也插入圖中垂直方向，所以，自正面對以需要保養之轉換閥等的塗布頭部分進行分解清掃有困難。

(4)噴吐部10之液體流路係自筒體51朝向噴嘴16呈一直線向下之構造，所以，不需要為了排放空氣，使配管變長。這點於專利文獻1中，為了排放空氣，流體係於重力方向自下而上流動，於將塗布對象物放置於下方的情況，具有配管變長之擔憂。

(5)於儲液側襯套12a及噴吐側襯套12b與襯套插入孔118a、118b之間分別不留空隙地充填有黏著劑，與將儲液側襯套12a及噴吐側襯套12b壓入襯套插入孔118a、118b之情況比較，液體自間隙的漏洩少，有利於塗布量之高精度化。

(6)於儲液側襯套12a及噴吐側襯套12b之貫通孔120a、120b與儲液側閥13a及噴吐側閥13b之間不設置密封構件，所以，不會因密封構件具有之彈性而引起液體的容積發生變化，有利於塗布量之高精度化(不使用 密封構件所引起之微量的液體漏洩，比起因密封構件具有之彈性而引起的液體的容積變化，對塗布量產生之影響較小)。

(7)儲液側閥13a及噴吐側閥13b暨儲液側襯套12a及噴吐側襯套12b係碳化矽製，所以還可像LED螢光體封裝那樣操作硬度大之液體材料。於LED螢光體封裝之情況下，即使為碳化鎢等之超硬合金也會被削除，可能引起黑色微粉混入螢光體中的現象。於液料之硬度不大的情況下，不限於碳化矽製，還可使用氧化鋁(陶瓷)或超硬合金製的閥及襯套。

第二實施形態

第11圖為本發明之第二實施形態的塗布頭之主要部分之分解側剖視圖。第12圖為同主要部分之側剖視圖。第13圖為第二實施形態中之閥驅動的構成之側視圖。第14圖為第13圖之D箭視圖。第15圖為第二實施形態中之儲液側閥13a及噴吐側閥13b及與其之驅動部嵌合的嵌合構造之放大圖。第16圖為第二實施形態中之儲液側閥13a之立體圖。本實施形態之塗布頭，除了第一實施形態之構成，還具有用以防止液體自儲液側襯套12a與儲液側閥13a之間的間隙、及噴吐側襯套12b與噴吐側閥13b之間的間隙的漏洩之構成。

第一密封構件28a、28b係嵌入於壓板27之凹部27a、27b。第一密封構件28a、28b係環狀之彈性構件，例如為橡膠製之O型環、墊片或墊圈。第一密封構件28a、28b也可為由鐵氟龍(登錄商標)、矽或奪鋼(登錄商標) 所構成之膠帶。壓板27例如係金屬板。壓板27也可為樹脂板。壓板27係藉由螺釘固定方式等安裝固定於塊體11的表面。第一密封構件28a、28b係由塊體11及壓板27挾持而被壓縮。第一密封構件28a、28b係將儲液側襯套12a與儲液側閥13a之間的間隙、及噴吐側襯套12b與噴吐側閥13b之間的間隙全周圍繞住而予液密性密封。第一密封構件28a、28b也能以覆蓋儲液側襯套12a與儲液側閥13a之間的間隙、及噴吐側襯套12b與噴吐側閥13b之間的間隙之方式設置。

儲液側閥13a及噴吐側閥13b分別具有邊緣部25a、25b。如第16圖所示，邊緣部25a係於圓柱形部24a之一端全周朝外側突出。邊緣部25b也與邊緣部25a相同樣地設置。第二密封構件26a係設於邊緣部25a與儲液側襯套12a(或塊體11之表面)之間。第二密封構件26b係設於邊緣部25b與噴吐側襯套12b(或塊體11之表面)之間。又以第二密封構件26a、26b係具有潤滑性之環狀彈性構件、例如由環狀之鐵氟龍(登錄商標)或矽所構成之膠帶為較佳。第二密封構件26a、26b也可為由以具有潤滑性之方式經表面加工的橡膠等之彈性構件所構成的墊圈。但考慮到有機溶劑耐性，以鐵氟龍(登錄商標)為較佳。

如第13及第14圖所示，於嵌合槽37a、37b之底面設有將嵌合凸部21a、21b朝向塊體11側彈性按壓之按壓構件370a、370b。嵌合槽37a、37b係與儲液側閥13a及噴吐側閥13b個別的嵌合凸部21a、21b嵌合。按壓構件370a、370b例如係板彈簧、線圈彈簧或橡膠等之彈性體 。藉由按壓構件370a之按壓，第二密封構件26a被邊緣部25a與儲液側閥13a挾持而被按壓。同樣地，第二密封構件26b被邊緣部25b與儲液側閥13b挾持而被按壓。意即，第二密封構件26a、26b將儲液側襯套12a與儲液側閥13a之間的間隙、及噴吐側襯套12b與噴吐側閥13b之間的間隙全周圍繞住而予液密性密封。

根據本實施形態，藉由第一密封構件28a、28b及第二密封構件26a、26b之密封效果，於長時間使用或將黏度低之液體(樹脂)作為噴吐對象之情況下，也可防治或減少液體自儲液側襯套12a與儲液側閥13a之間的間隙、及噴吐側襯套12b與噴吐側閥13b之間的間隙的漏洩。此外，藉由按壓構件370a、370b之彈性按壓力，第二密封構件26a、26b被壓縮，所以，可確保第二密封構件26a、26b之密封性，同時還可確保不會阻礙儲液側閥13a及噴吐側閥13b之旋轉的程度之潤滑性(滑動性)。此外，第一密封構件28a、28b及第二密封構件26a、26b係配置於塊體11之外側，所以，與在儲液側襯套12a與儲液側閥13a之間的間隙、及噴吐側襯套12b與噴吐側閥13b之間的間隙挾入O型環的密封構造不同，不會有使得管路容積發生變化或空氣排放困難的不便。又，本實施形態之其他方面與第一實施形態相同，可獲得相同之效果。

以上，以實施形態為例對本發明進行了說明，但本技術領域之技術人員應能理解，可於申請專利範圍所記載之範圍內對實施形態之各構成要素及各處理製程進行各種變更。

10‧‧‧噴吐部

11‧‧‧塊體

12a‧‧‧儲液側襯套

12b‧‧‧噴吐側襯套

13a‧‧‧儲液側閥

13b‧‧‧噴吐側閥

14‧‧‧襯套

15‧‧‧柱塞

16‧‧‧噴嘴

17‧‧‧鎖定螺帽

18‧‧‧液體流路

18a‧‧‧儲液側液體流路

18b‧‧‧中間液體流路

18c‧‧‧噴吐側液體流路

18b’‧‧‧突出部分

19‧‧‧接頭

20a、20b‧‧‧貫通孔

50‧‧‧儲液部

51‧‧‧筒體

118a、118b‧‧‧襯套插入孔

119‧‧‧襯套插入孔

120a‧‧‧貫通孔

120b‧‧‧貫通孔

Claims (25)

1. 一種塗布頭，其具備：液體儲存部，其儲存液體且內部施加有既定之壓力；前端噴吐口，其噴吐液滴；液體流路，其自該液體儲存部連至該前端噴吐口；儲液側閥，其插入該液體流路中；噴吐側閥，其於比該儲液側閥更下游之側插入該液體流路中；及柱塞，其藉由在連通於中間液體流路、即該儲液側閥及該噴吐側閥之間的液體流路之空間內滑動，以使該中間液體流路內之液體的容積變化；該儲液側閥及該噴吐側閥係分別具有圓柱形部且設有貫通該圓柱形部之外周面間的貫通孔，並至少於既定角度範圍內能以該圓柱形部之中心軸作為旋轉軸進行旋轉，且於既定之旋轉位置上，該貫通孔與本身之兩側的液體流路連通，而於其他旋轉位置上，該貫通孔不與本身之兩側的液體流路連通。
2. 如申請專利範圍第1項之塗布頭，其中於已對自該液體儲存部連至該前端噴吐口之液體流路排放空氣之狀態下，於使該儲液側閥連通且隔絕該噴吐側閥的狀態下使該柱塞自該中間液體流路內朝抽引方向後退，然後，於隔絕該儲液側閥且使該噴吐側閥連通之狀態下使該柱塞朝突出於該中間液體流路內之方向前進，利用該中間液體流路內之該液體的容積變化，可執行使既定量之液 滴自該前端噴吐口噴出之噴吐動作。
3. 如申請專利範圍第2項之塗布頭，其中於該噴吐動作後，藉由使該柱塞自該中間液體流路內朝抽引方向微量後退，以使該前端噴吐口之液體朝吸引方向略微移動。
4. 如申請專利範圍第1至3項中任一項之塗布頭，其中該儲液側閥及該噴吐側閥可成為雙方在同一時間內連通之狀態。
5. 如申請專利範圍第1至3項中任一項之塗布頭，其中於使該儲液側閥及該噴吐側閥雙方連通的狀態下一面移動一面朝該液體儲存部內之液體施加噴吐壓力而可進行連續塗布。
6. 如申請專利範圍第5項之塗布頭，其中於將該連續塗布時之該噴吐壓力釋放之後，藉由使該柱塞自該中間液體流路內朝抽引方向微量後退，可使該前端噴吐口之液體朝吸引方向略微移動。
7. 如申請專利範圍第1至3項中任一項之塗布頭，其中於使該儲液側閥及該噴吐側閥雙方連通的狀態下使該柱塞往返動作複數次，藉此可完成作成自該液體儲存部連至該前端噴吐口之液體流路內填充有液體的狀態的空氣排放製程。
8. 如申請專利範圍第1至3項中任一項之塗布頭，其中當使該儲液側閥及該噴吐側閥雙方連通時，自該液體儲存部朝向該前端噴吐口之液體流路係於下方成為一直線。
9. 如申請專利範圍第1至3項中任一項之塗布頭，其中具備分別驅動該儲液側閥及該噴吐側閥的第一致動器， 該儲液側閥及該噴吐側閥分別具有第一嵌合部，該第一致動器係藉由驅動部使與各個該第一嵌合部嚙合之第二嵌合部動作，藉以使該儲液側閥及該噴吐側閥之各個動作，該第一嵌合部與該第二嵌合部彼此可自由拆裝。
10. 如申請專利範圍第9項之塗布頭，其中該第一嵌合部還係自操作者方向相對於該第二嵌合部自由拆裝。
11. 如申請專利範圍第10項之塗布頭，其中該第一嵌合部係矩形之嵌合凸部，該第二嵌合部係嵌合槽，於拆裝時，藉由該嵌合槽成為大致水平方向，可於水平方向拔出該嵌合凸部。
12. 如申請專利範圍第11項之塗布頭，其中當可於大致水平方向拔出該嵌合凸部時，該噴吐側閥係閉合。
13. 如申請專利範圍第11項之塗布頭，其中於自該儲液側閥及該噴吐側閥之軸向觀看時所見到之該嵌合凸部的四角隅實施圓角加工。
14. 如申請專利範圍第1至3項中任一項之塗布頭，其中具備使該柱塞相對於該中間液體流路前進及後退之第二致動器，該柱塞係藉由被夾具挾持而可固定於該第二致動器之活動部，藉由鬆開該夾具並使該夾具退避，可使該柱塞自該第二致動器分離。
15. 如申請專利範圍第14項之塗布頭，其中該柱塞係自操作者方向相對於該第二致動器自由拆裝。
16. 如申請專利範圍第1至3項中任一項之塗布頭，其中具備：塊體，其具有該液體儲存部與該前端噴吐口之間的液體流路且以該液體流路作為貫通孔，並具有以橫穿該貫通孔之方式形成的2個襯套插入孔；及儲液側襯套與噴吐側襯套，其於既定角度範圍內以可旋轉的方式分別插入有該儲液側閥及該噴吐側閥，並於其側面分別形成有構成液體流路之一部分的貫通孔，該等襯套係分別插入該2個襯套插入孔內。
17. 如申請專利範圍第16項之塗布頭，其中於該儲液側襯套及該噴吐側襯套之各個與該2個襯套插入孔的各個之間不留空隙地充填黏著劑。
18. 如申請專利範圍第16項之塗布頭，其中於該塊體之下部具有儲液區，該儲液區係當自該儲液側襯套及該噴吐側襯套之各個與該儲液側閥及該噴吐側閥的各個的微小間隙滲出液體時，用以接受該液體。
19. 如申請專利範圍第16項之塗布頭，其中該儲液側襯套及該噴吐側襯套暨該該儲液側閥及該噴吐側閥係由碳化矽所構成。
20. 如申請專利範圍第16項之塗布頭，其中具備：第一密封構件，其於該儲液側襯套及該噴吐側襯套之各個中至少一方的端部側，將該儲液側襯套與該儲液側閥之間的間隙、及該噴吐側襯套與該噴吐側閥之間的間隙圍住或覆蓋；及壓板，其以按壓該第一密封構件之方式安裝於該塊體上。
21. 如申請專利範圍第16項之塗布頭，其中具有第二密封構件，該儲液側閥及該噴吐側閥之分別具有邊緣部，該第二密封構件係由各個凸緣部與該儲液側襯套及該噴吐側襯套的端部或該塊體的表面所挾持。
22. 如申請專利範圍第16項之塗布頭，其中具備：第一密封構件，其於該儲液側襯套及該噴吐側襯套之各個中至少一方的端部側，將該儲液側襯套與該儲液側閥之間的間隙、及該噴吐側襯套與該噴吐側閥之間的間隙圍住或覆蓋；及壓板，其以按壓該第一密封構件之方式安裝於該塊體上；並且，具有第二密封構件，該儲液側閥及該噴吐側閥分別具有邊緣部，該第二密封構件係由各個凸緣部與該儲液側襯套及該噴吐側襯套的端部或該塊體的表面所挾持。
23. 如申請專利範圍第21項之塗布頭，其中該第二密封構件係具有潤滑性。
24. 如申請專利範圍第21項之塗布頭，其中具備彈性按壓該儲液側閥及該噴吐側閥之各個的該邊緣部側之端部的按壓構件。
25. 一種液滴塗布裝置，其具有至少一個如申請專利範圍第1至24項中任一項之塗布頭，且具有使該塗布頭相對於被塗布物朝相互不同之3個方向、即XYZ方向相對地移動之手段。