JPH08303598A - シール構造及びそのシール構造を利用した液体吐出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】密封性が高いシール構造及びそのシール構造を
利用した液体吐出装置を提供すること。 【構成】開口部の全周に設けられ弾性変形可能なパッキ
ン部材２０と、このパッキン部材２０に全周が当接する
封止部材２１とを備えてシール構造２５を備え、この封
止部材２１のパッキン部材２０と当接する部分に全周部
に渡ってリップ形成用凹部２６を連続して形成する。リ
ップ形成用凹部２６でパッキン部材２０に形成されたリ
ップによってシール面積が大きくなり、かつ、内外圧差
によりリップが封止部材２１のリップ形成用凹部２６に
押しつけられることにより、シール構造２５の密封性が
向上する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、バルブ等に用いられる
シール構造及びそのシール構造を利用した液体吐出装置
に関するもので、対象物の表面に各種液体を精密に吐出
する作業等に利用できる。

【０００２】

【背景技術】従来より、集積回路のパッケージ等の樹脂
成形品を製造する際に原料樹脂スラリーを型内に一定量
づつ充填することが行われているが、このために各種液
体吐出装置が利用されている。この液体吐出装置とし
て、従来では、吐出する液体を貯蔵する容器と、この容
器の底部内面に先端開口を接触離隔されるシリンダと、
このシリンダ内に軸方向進退自在に設けられるプランジ
ャと、前記容器の底部内面にシリンダ先端開口で覆われ
る位置に配置されて外部に連通される吐出口とを備え、
磨耗性の液体にも使用できる液体吐出装置がある（特開
平4-50478 号）。この液体吐出装置では、吐出口が形成
された吐出ブッシュとこの吐出ブッシュに先端が当接す
るシリンダとでシール構造が構成される。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来の液体吐出装置で
は、シリンダあるいは吐出ブッシュの加工誤差等によ
り、シリンダの先端部と吐出ブッシュとの間に隙間が生
じることがあり、この隙間は、シリンダの先端部を吐出
ブッシュに強い押圧力で押しつけてもなくならない。従
来の液体吐出装置では、この隙間から液体が漏れること
があり、精密な液体吐出に限界があった。そのため、従
来より、液体吐出装置に利用されるシール構造をはじ
め、種々のシール構造において、液漏れがなく密封性が
高い構造のものが望まれている。

【０００４】本発明の目的は、密封性が高いシール構造
及びそのシール構造を利用した液体吐出装置を提供する
ことにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】そのため、本発明は、パ
ッキン部材と封止部材とを備えてシール構造を構成し、
パッキン部材を弾性変形可能とし、封止部材にパッキン
部材との間でリップを形成するための凹部を設けて前記
目的を達成しようとするものである。具体的には、本発
明のシール構造は、開口部の全周に設けられ弾性変形可
能なパッキン部材と、このパッキン部材に全周が当接す
る封止部材とを備え、この封止部材の前記パッキン部材
と当接する部分には全周部に渡ってリップ形成用凹部が
連続して形成されていることを特徴とする。前記パッキ
ン部材はテフロン等の弾性変形可能な材質から形成さ
れ、封止部材はステンレス等の金属から形成される。こ
こで、前記リップ形成用凹部は多重に形成されているも
のでもよい。

【０００６】また、本発明の液体吐出装置は、開口部の
全周に設けられた第１パッキン部材と、この第１パッキ
ン部材に全周が当接するシリンダ状の第１封止部材と、
この第１封止部材の内部に軸方向進退自在に設けられた
プランジャと、このプランジャ及び前記第１封止部材と
前記第１パッキン部材との間への液体の流通を許容する
吸入路とを有し、この吸入路から吸入した液体を前記開
口部へ送る第１バルブと、吐出部である開口部の全周に
設けられた第２パッキン部材と、この第２パッキン部材
に当接する第２封止部材と、前記第１バルブの開口部と
連通し前記第２封止部材と前記第２パッキン部材との間
への液体の流通を許容する吸入路とを有し、この吸入路
から吸入した液体を前記吐出部へ送る第２バルブと、を
備え、前記第１バルブ及び前記第２バルブの少なくとも
一方に前記シール構造を設けたことを特徴とする。

【０００７】ここで、前記第２バルブから液体が吐出さ
れる対象物に対して前記第１バルブ及び前記第２バルブ
を所定速度で相対移動させる移動手段と、この移動手段
の移動速度と前記第２バルブの液体吐出速度とを一定の
比率に調整する制御手段とを備えた構成でもよい。ま
た、前記シール構造が設けられた第１バルブ及び／又は
第２バルブは、前記封止部材又は前記プランジャが進退
自在に設けられるシールリングを備え、このシールリン
グには前記封止部材又は前記プランジャが外気と接触す
ることを防ぐ流体、例えば、窒素、有機溶剤等の流体を
供給する流体供給装置が接続された構成でもよい。

【０００８】

【作用】本発明のシール構造では、封止部材をパッキン
部材に押圧すると、封止部材に形成されたリップ形成用
凹部にパッキン部材が弾性変形して入り込み、リップが
形成される。このリップによってシール面積が大きくな
り、かつ、内外圧差によりリップが封止部材のリップ形
成用凹部に押しつけられる。これにより、開口部への液
体の流入が阻止され、シール構造の密封性が向上する。
ここで、リップ形成用凹部を多重にすれば、シール面積
がより大きくなり、シール構造の密封性が一層向上す
る。

【０００９】また、本発明の液体吐出装置では、第２バ
ルブを閉じた状態にしておき、第１バルブの第１封止部
材及びプランジャをともに後退させて吸入路から液体を
吸入し、さらに、第１封止部材を前進させて液体の計量
をする。その後、第２バルブを開くとともに、第１バル
ブのプランジャを前進させて、液体を前記第１バルブの
開口部及び第２バルブの吸入路を通して吐出部から吐出
する。この状態では、第１バルブ及び／又は第２バルブ
に設けられたシール構造により、バルブの密閉性が向上
し、液体が漏れることがなく、正確な量の液体を吐出す
ることができる。

【００１０】ここで、液体吐出装置を、対象物に対して
両バルブを所定速度で相対移動させる移動手段と、この
移動手段の移動速度と第２バルブの液体吐出速度とを一
定の比率に調整する制御手段とを備えた構成とすれば、
制御手段により、対象物に吐出される液体が均一化さ
れ、精密な液体吐出が可能となる。また、前記シール構
造が設けられたバルブを封止部材又はプランジャが進退
自在に設けられるシールリングを備えて構成し、このシ
ールリングに封止部材又はプランジャが外気と接触する
ことを防ぐ流体を供給する流体供給装置を接続した構造
とすれば、封止部材やプランジャの可動部分が外気に触
れることによる不都合、例えば、吐出液体が硬化して封
止部材やプランジャの進退動が制限されることを回避で
きる。

【００１１】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて詳
細に説明する。図１は本発明の一実施例の液体吐出装置
の全体構成を示す斜視図である。図１において、本実施
例の液体吐出装置１は、液体を偏平長尺状の対象物２の
表面に精密吐出する作業を自動化する装置であり、箱型
のケース３内に自動精密吐出を行うための各構成を備え
ている。この液体吐出装置１で吐出される液体は、例え
ば、微粉末状の潤滑剤を混合した揮発性の液体、樹脂ス
ラリー、液晶や半導体部品の接着剤、薬剤等であり、そ
の具体的性質等は問われない。

【００１２】ケース３内には、対象物２を保持する保持
手段４と、液体を所定速度で吐出するポンプ５と、この
ポンプ５を保持手段４に保持された対象物２に対して所
定速度で相対移動させる移動手段６と、この移動手段６
の移動速度とポンプ５の液体の吐出速度とを一定の比率
に調整する制御手段７とが設置されている。ケース３
は、基部８の上面に作業台９を有し、この作業台９は前
面側を開放されているが、両側面及び背面の三方を遮蔽
板１０で囲われている。遮蔽板１０は透明とされ、外部
から作業台９上の状態を視認可能である。

【００１３】基部８には、その前面に形成された棚状部
に制御手段７が設置されている。この制御手段７からの
電源や制御用等の配線（図示せず）は基部８内を通して
作業台９上のポンプ５や移動手段６に接続されている。
作業台９には、奥側に移動手段６が設置され、この移動
手段６によりポンプ５が支持されている。移動手段６
は、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の各軸移動機構１１，１２，１３
を備えたロボットアームであり、各々は既存のボールね
じ送り機構やリニアモータ、流体シリンダ等の適宜な直
線駆動手段（図示せず）により、各軸方向に高精度で移
動可能である。

【００１４】Ｘ軸移動機構１１は作業台９の奥側に間口
方向に配置され、Ｙ軸移動機構１２はＸ軸移動機構１１
に支持されて作業台９の手前に延びている。Ｚ軸移動機
構１３はＹ軸移動機構１２に支持され、ポンプ５を支持
している。このような移動手段６は制御手段７の制御に
より三軸移動を行い、これにより、任意の平面位置の任
意高さへ三次元的に移動される。

【００１５】ポンプ５の構成が図２から図７に示されて
いる。図２はポンプ５の全体を示す断面図であり、図３
はその側面図である。全体構成を示す図２において、ポ
ンプ５は、ケーシング１４にそれぞれ設けられた第１バ
ルブ１５、第１バルブ駆動機構１６、第２バルブ１７及
び第２バルブ駆動機構１８を備えて構成され、第１バル
ブ１５と第２バルブ１７との間には連通路１９がケーシ
ング１４に形成されている。

【００１６】第１バルブ１５は、連通路１９の一端側開
口部１９Ａの全周に設けられた第１パッキン部材２０
と、この第１パッキン部材２０に全周が当接するシリン
ダ状の第１封止部材２１と、この第１封止部材２１の内
部に軸方向進退自在に設けられたプランジャ２２と、こ
のプランジャ２２及び第１封止部材２１と第１パッキン
部材２０との間への液体の流通を許容するためケーシン
グ１４に形成された吸入路２３とを有する構成であり、
この吸入口２３は液体をポンプ５に送る供給タンク２４
に接続されている。第１パッキン部材２０と第１封止部
材２１とは第１シール構造２５を構成する。第１パッキ
ン部材２０は耐薬品性が高く弾性を有するテフロン等の
部材から厚肉の略リング状に形成されている。第１封止
部材２１は耐薬品性が高いスレンレス等の材質から形成
されている。

【００１７】第１封止部材２１の詳細な構造が図４及び
図５に示されている。図４に示される通り、第１封止部
材２１は、本体２１Ａとフランジ部２１Ｂとを有する構
造である。図５に示される通り、本体２１Ａの第１パッ
キン部材２０と当接する部分には全周部に渡ってリップ
形成用凹部２６が連続して形成され、このリップ形成用
凹部２６はそれぞれ大きさの異なる多重（３重）とされ
ている。図２に示される通り、第１封止部材２１の略中
央部には軸方向に進退自在に第１シールリング２７が設
けられ、プランジャ２２の第１パッキン部材２０とは反
対側には軸方向進退自在に第２シールリング２８が設け
られている。これらのシールリング２７，２８には第１
封止部材２１、プランジャ２２が外気と接触することを
防ぐ流体、例えば、窒素、有機溶剤等の流体を供給する
流体供給装置２９が接続されている。

【００１８】第１バルブ駆動機構１６は、第１封止部材
２１を第１パッキン部材２０に対して進退動するシリン
ダ駆動機構３０とプランジャ２２を第１パッキン部材２
０に対して進退動するプランジャ駆動機構３１とから構
成されている。シリンダ駆動機構３０は、図２及び図３
に示されている通り、プランジャ２２に取り付けられた
プレート３２と、このプレート３２の両側に取り付けら
れ、かつ、それぞれチューブ状の保持部材３３に進退自
在に保持された２本のロッド３４と、これらのロッド３
４に連結板３５を介して連結されたシリンダ装置３６と
を備えて構成されている。なお、本実施例では、シリン
ダ駆動機構３０は、この構成に限定されるものではな
く、例えば、ボールねじ送り機構を採用してもよい。

【００１９】プランジャ駆動機構３１は、図２に示され
る通り、プランジャ２２の端部に連結リング３７を介し
て連結されたブロック体３８と、このブロック体３８を
プランジャ２２の進退方向と平行に案内する２本のガイ
ドロッド３９と、ブロック体３８の内部に固定されたナ
ット部材４０と、このナット部材４０に螺合されたボー
ルねじ軸４１と、このボールねじ軸４１を回転させるス
テッピングモータ４２と、ブロック体３８を介してプラ
ンジャ２２の位置を検出する位置検出センサ４３とを備
えて構成されている。なお、本実施例では、プランジャ
駆動機構３１は、この構成に限定されるものではなく、
例えば、シリンダ機構を採用してもよい。

【００２０】第２バルブ１７は吐出部である開口部４４
の全周に設けられた第２パッキン部材４５と、この第２
パッキン部材４５に当接する第２封止部材４６と、第１
バルブ１５の開口部１９Ａと連通する連通路１９とを有
する構成である。連通路１９は第２封止部材４６と第２
パッキン部材４５との間への液体の流通を許容する吸入
路である。第２パッキン部材４５と第２封止部材４６と
は第２シール構造４７を構成する。第２パッキン部材４
５は耐薬品性が高く弾性を有するテフロン等の部材から
厚肉の略リング状に形成されている。開口部４４は先細
り状にノズル部４８に設けられている。第２封止部材４
６は耐薬品性が高いステンレス等の材質から形成されて
いる。

【００２１】第２封止部材４６の詳細な構造が図６及び
図７に示されている。図６に示される通り、第２封止部
材４６は、円柱部材４６Ａと、ノズル部４８の開口部４
４に挿入されるテーパ部材４６Ｂとを有し、円柱部材４
６Ａの段部には、第２パッキン部材４５に当接する当接
部４６Ｃが形成されている。この当接部４６Ｃは、図７
に示される通り、全周部に渡ってリップ形成用凹部２６
が連続して形成され、このリップ形成用凹部２６はそれ
ぞれ大きさの異なる多重（３重）とされている。図２に
示される通り、第２封止部材４６の円柱部材４６Ａには
軸方向に進退自在に第３シールリング４９が設けられて
いる。第３シールリング４９は流体供給装置２９と接続
されている。第２バルブ駆動機構１８は第２封止部材４
６を第２パッキン部材４５に対して進退動するシリンダ
装置から構成されている。

【００２２】次に、本実施例の作用を図８及び図９に基
づいて説明する。本実施例の液体吐出装置１により液体
を吐出するには、所定の対象物２を保持手段４に保持
し、これらの対象物２や液体のデータ及び吐出液体の所
望の厚さ等の条件を制御手段７にセットする。この状態
で制御手段７をスタートさせると、液体吐出装置１によ
る自動吐出動作が行われる。制御手段７は移動手段６に
よりポンプ５と対象物２とを相対移動させながらポンプ
５に吐出動作を行わせる。

【００２３】まず、図８（Ａ）に示される通り、第１バ
ルブ駆動機構１６及び第２バルブ駆動機構１８により、
第１バルブ１５及び第２バルブ１７を閉じた状態にす
る。その後、図８（Ｂ）に示される通り、第２バルブ１
７を閉じたままで、第１バルブ駆動機構１６により第１
バルブ１５の第１封止部材２１及びプランジャ２２をと
もに第１パッキン部材２０から後退させて吸入路２３か
ら液体を吸入し、さらに、図８（Ｃ）に示される通り、
第１バルブ駆動機構１６により第１封止部材２１を前進
させて液体の計量をする。

【００２４】ここで、第１パッキン部材２０と第１封止
部材２１とから第１シール構造２５が構成されるが、図
９（Ａ）に示される通り、第１パッキン部材２０から離
隔されている第１封止部材２１は、第１バルブ駆動機構
１６により、図９（Ｂ）に示される通り、第１パッキン
部材２０を押圧する。すると、第１封止部材２１に形成
されたリップ形成用凹部２６に第１パッキン部材２０が
弾性変形して入り込み、リップが多重に形成される。こ
れらのリップにより吸入路２３から送られる液体の流入
が阻止される。

【００２５】その後、図８（Ｄ）に示される通り、第２
バルブ駆動機構１８により第２封止部材４６を後退させ
て第２バルブ１７を開くとともに、第１バルブ駆動機構
１６により第１バルブ１５のプランジャ２２を前進させ
て、液体を第２バルブ１７の吐出部である開口部４４か
ら吐出する。液体を開口部４４から吐出したら、第２バ
ルブ駆動機構１８により第２封止部材４６を前進させて
第２バルブ１７を閉じた状態とする（図８（Ａ）参
照）。ここで、第２パッキン部材４５と第２封止部材４
６とから第２シール構造４７が構成されるが、第２封止
部材４６が第２パッキン部材４５に押圧されると、図９
に示される第１パッキン部材２０と同様に、第２封止部
材４５に形成されたリップ形成用凹部２６に第２パッキ
ン部材４５が弾性変形して入り込み、リップが多重に形
成される。これらのリップにより連通路１９から送られ
る液体の流入が阻止される。また、各バルブ２５，４７
が開放されると、封止部材２１，４６がパッキン部材２
０，４５から離されるが、この状態では、各パッキン部
材２０，４５は図９（Ａ）に示される元の状態に復帰す
る。

【００２６】従って、本実施例によれば、開口部の全周
に設けられ弾性変形可能なパッキン部材２０，４５と、
これらのパッキン部材２０，４５に全周が当接する封止
部材２１，４６とを備えてシール構造２５，４７が構成
され、これらの封止部材２１，４６のパッキン部材２
０，４５と当接する部分には全周部に渡ってリップ形成
用凹部２６が連続して形成されているので、このリップ
形成用凹部２６でパッキン部材２０，４５に形成された
リップによってシール面積が大きくなり、かつ、内外圧
差によりリップが封止部材２１，４６のリップ形成用凹
部２６に押しつけられることにより、シール構造２５，
４７の密封性が向上する。さらに、本実施例では、リッ
プ形成用凹部２６を多重にしたから、シール面積がより
大きくなり、シール構造２５，４７の密封性が一層向上
する。

【００２７】また、本実施例では、第１バルブ１５及び
第２バルブ１７を備えて液体吐出装置１を構成し、第１
バルブ１５を、第１パッキン部材２０と、シリンダ状の
第１封止部材２１と、この第１封止部材２１の内部に軸
方向進退自在に設けられたプランジャ２２と、このプラ
ンジャ２２及び第１封止部材２１と第１パッキン部材２
０との間への液体の流通を許容する吸入路２３とを有す
る構成とし、第２バルブ１７を、吐出部である開口部４
４の全周に設けられた第２パッキン部材４５と、この第
２パッキン部材４５に当接する第２封止部材４６と、第
１バルブ１５の開口部１９Ａと連通し第２封止部材４６
と第２パッキン部材４５との間への液体の流通を許容す
る吸入路１９とを有する構成とし、第１バルブ１５に第
１シール構造２５を設け、第２バルブ１７に第２シール
構造４７を設けたので、各バルブ１５，１７の密閉性が
向上し、液体が漏れることがなく、正確な量の液体を吐
出することができる。

【００２８】さらに、対象物２に対して両バルブ１５，
１７を所定速度で相対移動させる移動手段６と、この移
動手段６の移動速度と第２バルブ１７の液体吐出速度と
を一定の比率に調整する制御手段７とを備えた構成とす
れば、制御手段７により、対象物２に吐出される液体が
均一化され、精密な液体吐出が可能となる。また、シー
ル構造２５，４７が設けられたバルブ１５，１７は封止
部材２１，４６やプランジャ２２が進退自在に設けられ
るシールリング２７，２８，４９を備えて構成され、こ
れらのシールリング２７，２８，４９に封止部材２１，
４６やプランジャ２２が外気と接触することを防ぐ流体
を供給する流体供給装置２９が接続されたので、封止部
材２１，４６やプランジャ２２が外気に触れることによ
る不都合、例えば、吐出液体が硬化して封止部材やプラ
ンジャの進退動が制限されることを回避できる。

【００２９】さらに、第２バルブ１７の第２封止部材４
６は、円柱部材４６Ａと、ノズル部４７の吐出口４７Ａ
に挿入されるテーパ部材４６Ｂとを有する構成であるか
ら、第２パッキン部材４５に第２封止部材４６が押圧さ
れる際に、吐出口４７Ａの内部に残る液体の量を少なく
することができる。

【００３０】なお、本発明は前述の実施例に限定される
ものではなく、本発明の目的を達成できる範囲であれば
次に示す変形例を含むものである。例えば、前記実施例
では、シール構造２５，４７は液体吐出装置１に適用さ
れたが、本発明では、これらのシール構造２５，４７
を、配管のフランジの接合構造や容器の蓋構造に適用で
きる。液体吐出装置１に適用する場合でも、シール構造
を第１バルブ１５と第２バルブ１７とのいずれか一方に
設ければよい。また、第２バルブ１７はピンチバルブ等
の他の構成のバルブでもよい。さらに、リップ形成用凹
部２６を多重にしたが、本発明では、必ずしもリップ形
成用凹部２６を多重にすることを要しない。

【００３１】また、対象物２に対して両バルブ１５，１
７を手動で移動させるものでもよく、さらに、シールリ
ング２７，２８，４８を必ずしも設けることを要しな
い。また、前記実施例では、第２バルブ１７の第２封止
部材４６は、円柱部材４６Ａと、ノズル部４７の吐出口
４７Ａに挿入されるテーパ部材４６Ｂとを有する構成で
あるが、本発明では、テーパ部材４６Ｂを設けないで円
柱部材４６Ａのみから第２封止部材４６を構成してもよ
い。

【００３２】

【発明の効果】以上の通り、本発明によれば、開口部の
全周に設けられ弾性変形可能なパッキン部材と、このパ
ッキン部材に全周が当接する封止部材とを備えてシール
構造が構成され、この封止部材のパッキン部材と当接す
る部分には全周部に渡ってリップ形成用凹部が連続して
形成されているので、このリップ形成用凹部でパッキン
部材に形成されたリップによってシール面積が大きくな
り、かつ、内外圧差によりリップが封止部材のリップ形
成用凹部に押しつけられることになり、シール構造の密
封性が向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の液体吐出装置の全体構成を
示す斜視図である。

【図２】前記実施例の要部を示す断面図である。

【図３】前記実施例の要部を示す側面図である。

【図４】第１封止部材を示す断面図である。

【図５】第１封止部材のリップ形成用凹部を示す断面図
である。

【図６】第２封止部材を示す断面図である。

【図７】第２封止部材のリップ形成用凹部を示す断面図
である。

【図８】前記実施例の動作を説明するための断面図であ
る。

【図９】リップ形成用凹部によりリップが形成される状
態を説明するための断面図である。

【符号の説明】

１ 液体吐出装置 ２ 対象物 ４ 保持手段 ５ ポンプ ６ 移動手段 ７ 制御手段 １５ 第１バルブ １６ 第１バルブ駆動機構 １７ 第２バルブ １８ 第２バルブ駆動機構 １９ 吸入路（連通路） １９Ａ 開口部 ２０ 第１パッキン部材 ２１ 第１封止部材 ２２ プランジャ ２５ 第１シール構造 ２６ リップ形成用凹部 ２７ 第１シールリング ２８ 第２シールリング ２９ 流体供給装置 ４４ 吐出部である開口部 ４５ 第２パッキン部材 ４６ 第２封止部材 ４７ 第２シール構造 ４９ 第３シールリング

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】開口部の全周に設けられ弾性変形可能なパ
   ッキン部材と、このパッキン部材に全周が当接する封止
   部材とを備え、この封止部材の前記パッキン部材と当接
   する部分には全周部に渡ってリップ形成用凹部が連続し
   て形成されていることを特徴とするシール構造。
2. 【請求項２】請求項１記載のシール構造において、前記
   リップ形成用凹部は多重に形成されていることを特徴と
   するシール構造。
3. 【請求項３】開口部の全周に設けられた第１パッキン部
   材と、この第１パッキン部材に全周が当接するシリンダ
   状の第１封止部材と、この第１封止部材の内部に軸方向
   進退自在に設けられたプランジャと、このプランジャ及
   び前記第１封止部材と前記第１パッキン部材との間への
   液体の流通を許容する吸入路とを有し、この吸入路から
   吸入した液体を前記開口部へ送る第１バルブと、 吐出部である開口部の全周に設けられた第２パッキン部
   材と、この第２パッキン部材に当接する第２封止部材
   と、前記第１バルブの開口部と連通し前記第２封止部材
   と前記第２パッキン部材との間への液体の流通を許容す
   る吸入路とを有し、この吸入路から吸入した液体を前記
   吐出部へ送る第２バルブと、を備え、 前記第１バルブ及び前記第２バルブの少なくとも一方に
   請求項１又は２記載のシール構造を設けたことを特徴と
   する液体吐出装置。
4. 【請求項４】請求項３記載の液体吐出装置において、前
   記第２バルブから液体が吐出される対象物に対して前記
   第１バルブ及び前記第２バルブを所定速度で相対移動さ
   せる移動手段と、この移動手段の移動速度と前記第２バ
   ルブの液体吐出速度とを一定の比率に調整する制御手段
   とを備えたことを特徴とする液体吐出装置。
5. 【請求項５】請求項３又は４記載の液体吐出装置におい
   て、前記シール構造が設けられた第１バルブ及び／又は
   第２バルブは、前記封止部材又は前記プランジャが進退
   自在に設けられるシールリングを備え、このシールリン
   グには前記封止部材又は前記プランジャが外気と接触す
   ることを防ぐ流体を供給する流体供給装置が接続されて
   いることを特徴とする液体吐出装置。