TWI550782B - 具有路徑電路引線之積體電路封裝系統及其製造方法 - Google Patents
具有路徑電路引線之積體電路封裝系統及其製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- TWI550782B TWI550782B TW101113153A TW101113153A TWI550782B TW I550782 B TWI550782 B TW I550782B TW 101113153 A TW101113153 A TW 101113153A TW 101113153 A TW101113153 A TW 101113153A TW I550782 B TWI550782 B TW I550782B
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- terminal
- trace
- integrated circuit
- dielectric material
- gap
- Prior art date
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 58
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 35
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 title claims description 31
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 claims description 302
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 74
- 230000008569 process Effects 0.000 description 26
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 25
- 239000000463 material Substances 0.000 description 22
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 13
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 238000013461 design Methods 0.000 description 12
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 12
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 12
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 12
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 12
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 11
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 11
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 9
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 8
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 8
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 8
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 7
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 7
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 6
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 6
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 6
- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 description 6
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 5
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 5
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 5
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 3
- 230000002860 competitive effect Effects 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 206010040844 Skin exfoliation Diseases 0.000 description 2
- 230000001413 cellular effect Effects 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000004069 differentiation Effects 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- 229910000497 Amalgam Inorganic materials 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000000748 compression moulding Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 238000007734 materials engineering Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000008520 organization Effects 0.000 description 1
- 238000012536 packaging technology Methods 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/48—Manufacture or treatment of parts, e.g. containers, prior to assembly of the devices, using processes not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326
- H01L21/4814—Conductive parts
- H01L21/4821—Flat leads, e.g. lead frames with or without insulating supports
- H01L21/4828—Etching
- H01L21/4832—Etching a temporary substrate after encapsulation process to form leads
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/488—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
- H01L23/495—Lead-frames or other flat leads
- H01L23/49503—Lead-frames or other flat leads characterised by the die pad
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/488—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
- H01L23/495—Lead-frames or other flat leads
- H01L23/49517—Additional leads
- H01L23/4952—Additional leads the additional leads being a bump or a wire
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/488—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
- H01L23/495—Lead-frames or other flat leads
- H01L23/49517—Additional leads
- H01L23/49524—Additional leads the additional leads being a tape carrier or flat leads
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/488—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
- H01L23/495—Lead-frames or other flat leads
- H01L23/49534—Multi-layer
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/488—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
- H01L23/495—Lead-frames or other flat leads
- H01L23/49541—Geometry of the lead-frame
- H01L23/49548—Cross section geometry
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/488—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
- H01L23/495—Lead-frames or other flat leads
- H01L23/49579—Lead-frames or other flat leads characterised by the materials of the lead frames or layers thereon
- H01L23/49582—Metallic layers on lead frames
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/12—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
- H01L2224/13—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/13001—Core members of the bump connector
- H01L2224/13099—Material
- H01L2224/131—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16151—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/16221—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/16245—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/28—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
- H01L2224/29—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/29001—Core members of the layer connector
- H01L2224/29099—Material
- H01L2224/2919—Material with a principal constituent of the material being a polymer, e.g. polyester, phenolic based polymer, epoxy
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/31—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
- H01L2224/32—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/321—Disposition
- H01L2224/32151—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/32221—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/32245—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/44—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
- H01L2224/45—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/45001—Core members of the connector
- H01L2224/45099—Material
- H01L2224/451—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
- H01L2224/45138—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
- H01L2224/45144—Gold (Au) as principal constituent
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48095—Kinked
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48245—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48245—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
- H01L2224/48247—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/49—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
- H01L2224/491—Disposition
- H01L2224/4912—Layout
- H01L2224/49171—Fan-out arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73251—Location after the connecting process on different surfaces
- H01L2224/73265—Layer and wire connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/83—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/85—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/28—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
- H01L23/31—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape
- H01L23/3107—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/10—Bump connectors ; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L24/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/31—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
- H01L24/32—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/44—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
- H01L24/45—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L24/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L24/49—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L24/81—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a bump connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L24/83—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L24/85—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/00014—Technical content checked by a classifier the subject-matter covered by the group, the symbol of which is combined with the symbol of this group, being disclosed without further technical details
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/181—Encapsulation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/30—Technical effects
- H01L2924/301—Electrical effects
- H01L2924/30107—Inductance
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Geometry (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Description
本發明是關於積體電路封裝系統,且特別是關於在積體電路封裝系統中利用引線框架的系統。
可攜式電子裝置(例如,蜂巢式電話、膝上型電腦、及可攜式個人助理(PDA))迅速地成長市場為現代生活的整體面向。為數甚多的可攜式裝置代表一種次一世代封裝的最大潛力市場機會。這些裝置具有獨特的屬性,該獨特的屬性在製造整合性上有顯著的影響,它們必需是體積小、重量輕、且有豐富的功能,並且,它們必需以相當低的成本、但高產出量來加以生產。
作為半導體工業的延伸,電子封裝工業已見證了前所未有增加的商業競爭壓力,並伴隨著成長的消費者期望及有意義產品差異性在市場中的消失機會。
封裝、材料工程、及顯影正是這些次一世代電子插置策略的核心,該策略是在用於發展次一世代產品的準則中加以描繪。未來的電子系統可更加有智慧、具有更高的密度、使用較小的電能、以較高的速度運作、並可以較目前低的成本包含混合的科技裝置及元件結構。
已經有許多方式因應具有連續世代半導體的微處理器及可攜式電子的進階封裝要求。許多工業準則已經在目前的半導體能力及現有的支援電子封裝科技之間識別出顯著的間隙。目前科技的限制及議題包含增加的時脈率、電
磁干擾輻射、端子負載、第二階段元件可靠度應力及成本。
當這些封裝系統隨著不同環境需要而開始併入更多元件時,推動科技界限(envelope)的壓力變得越來越有挑戰性。更顯著的是,有了該前所未有的複雜性,在製造期間錯誤的潛在風險大幅地增加。
有鑒於前所未有的商業競爭壓力,並伴隨著成長的消費者期望及有意義產品差異性在市場中的消失機會,發現這些問題的答案是相當關鍵的。此外,減少成本、減少生產時間、改進效率及性能,及符合競爭壓力的需求,對於用以發現這些問題的答案的關鍵必需性,增加了甚至更大的急迫性。
因此,仍然需要較少的占晶面積(footprint)及更耐用的封裝件及製造方法。這些問題的解決方案已經尋求一段長時間,但先前的發展尚未教示或建議任何解決方案,並且因此,這些問題的解決方案已長期困擾著本領域中的技術人員。
本發明提供一種製造積體電路封裝系統的方法,包含:提供具有頂部的端子,該頂部有凹部;在該凹部中施加介電材料,該介電材料具有間隙,該間隙形成在該介電材料中,一部分該頂部從該間隙暴露;在該間隙內形成與該頂部直接接觸的跡線,該跡線在該介電材料的上表面上方側向地延伸;以及將積體電路經由該跡線連接至該端子。
本發明提供一種積體電路封裝系統,包含:具有頂部
的端子,該頂部有凹部;在該凹部中的介電材料,該介電材料具有間隙,該間隙形成於該介電材料中,一部分該頂部從該間隙暴露;在該間隙內的跡線,該跡線直接接觸於該頂部,該跡線在該介電材料的上表面上方側向地延伸;以及經由該跡線而連接至該端子的積體電路。
本發明的特定實施例除了上述的步驟和元件外,具有其他步驟和元件,該其他步驟和元件或可替代上述的步驟和元件。對於本領域中的技術人員而言,從閱讀接下來的詳細描述,並且參考伴隨的附圖後,該步驟和元件將變得明顯。
接下來的實施例是以足夠詳細的方式加以描述,以使本領域中的技術人員得以製造及使用本發明。應瞭解到,根據本說明書,其他實施例將是明顯的,並且,可對系統、製程、或機械作出改變,而不致背離本發明的範圍。
在接下來的描述中,是給定多個特定細節,以提供本發明的通盤瞭解。然而,本發明很明顯地不需這些特定細節亦可實施。為了避免模糊化本發明,一些衆所周知的電路、系統組構、及製程步驟並沒有詳細揭露。
顯示本發明的實施例的附圖是半圖式(semi-diagrammatic)的,而沒有依照比例繪示,並且更特別的是,為了清楚呈現起見,一些尺寸在附圖中是誇張地顯示。類似地,為了容易描述起見,雖然附圖中的視圖通常顯示類似的方位,然而,附圖中的此繪示在大部分是
任意的。一般而言,本發明可以任何方位加以運作。
此外,為了清楚及容易例示、描述和理解起見,在揭露和描述具有共同特徵的多個實施例時,彼此類似及相同的特徵將以相同的元件符號加以描述。該等實施例已編號為第一實施例、第二實施例等等,以為了方便描述,並且不打算對本發明具有任何其他意義或提供限制。
為了說明的目的,此處所使用的用語“水平”是定義成與該積體電路的平面或表面平行的平面,不論該積體電路的方位為何。用語“垂直”是指與剛剛定義過的水平垂直的方向。其他的用語,例如,“上方”、“下方”、“底部”、“頂部”、(“側壁”中的)“側”、“較高”、“較低”、“較上”、“之上”及“之下”是根據該水平面加以定義,如圖式中所顯示的。用語“上”(“on”)是指元件之間有直接接觸,而沒有任何仲介材料。
此處所使用的用語“處理”包含沈積材料或光阻、圖案化、曝光、顯影、蝕刻、清洗、及/或移除形成所描述的結構所需要的材料或光阻。
現在參照第1圖,此處所顯示的是本發明的第一實施例中的積體電路封裝系統100的上視圖。作為範例的例示,該積體電路封裝系統100可通常使用在需要高階功能整合性的可攜式電子裝置中,例如,蜂巢式電話或電腦。該積體電路封裝系統100可包含密封件102。該密封件102是定義成圍繞並保護該積體電路封裝系統100中的內容遠離環境的封蓋(cover)。該密封件102可為膜輔助成型
(film assist molding)或其他包裝結構。
現在參照第2圖,此處所顯示的是該積體電路封裝系統100沿著第1圖的線2-2的剖面圖。該積體電路封裝系統100可包含晶粒墊204及端子206。該端子206是定義成導電件,該導電件是設計用來提供該端子上方的結構的空隙,並且具有側向隔離,以沒有直接接觸其他端子。為了這個原因,該端子206也已知為空隙件端子(standoff terminal)。
在該端子206上方為介電材料208。該介電材料208是沈積以與該晶粒墊204及該端子206直接接觸。該介電材料208是顯示形成在該端子206之間。該介電材料208進一步顯示形成在該端子206與該晶粒墊204之間。該介電材料208將該端子206及該晶粒墊204牢固地耦接在適當的位置,以形成基板209。
該端子206是顯示具有頂部210。該端子206的該頂部210可包含高臺(plateau)212,並且也包含從該高臺212延伸至該端子206的最大寬度216的凹部(depressions)214。該介電材料208是從該高臺212至該端子206的該最大寬度216而與該端子206的該頂部210直接接觸,並且填充該凹部214。
在該端子206的該最大寬度216下方是從該端子206的該最大寬度216延伸向下的底部218。該底部218可包含從該最大寬度216向下延伸至該底部218的基部222的凹口(dent)220。該基部222是描繪成平的或平坦的。該
底部218是描繪成稍大或高於該頂部210,以提供增加的空隙件距離及空隙。
接觸層226封蓋一些該底部218。該接觸層226是定義成該端子206的表面上的材料,並形成與其他元件的電性連接。該接觸層226可為焊錫膏、含錫或鉛層、或導電性高溫聚合物。該接觸層226可以具有均勻厚度的保角層(conformal layer),來封蓋該端子206的一些該底部218。
該接觸層226是顯示以沿著該基部222的平坦且保角的膜,來封蓋該端子206的該底部218表面。該接觸層226是進一步繪示封蓋該晶粒墊204的底側。
經發現,形成在該基部222上的該接觸層226增加焊錫封蓋性。以該端子206及該晶粒墊204增加焊錫封蓋性增加板級(board level)可靠性及性能。本發明的該接觸層226還可由印刷製程加以形成,從而增加製造精確性,而沒有額外的成本。
該端子206的該頂部210是顯示具有形成於其上的該介電材料208。該介電材料208可包含在該頂部210上的間隙228,該間隙228從該介電材料208之間暴露部分該高臺212。該間隙228是定義成開口或沒有該介電材料208,以從該介電材料208之間暴露部分該高臺212。該介電材料208可設計以在製程期間支撐該端子206,並進而增加該積體電路封裝系統100中的結構堅固性。該介電材料208是設計以該介電材料208填充該凹部214並在該高
臺212上具有較小的間隙228的形式,來增加可靠性及結構堅固性。
在該介電材料208的上表面230上為跡線232。該跡線232是形成在該間隙228內,以與被該介電材料208之間的該間隙228所暴露的該端子206的該高臺212電性連接且直接接觸。該跡線232是定義成設計用來重新分佈電性信號的導電元件。該跡線232是設計以重新分佈電性信號,它們通常是電性隔離,而沒有過度地大,以減少引入寄生電感,且不會封蓋該介電材料208的整個上表面230。
經發現,本發明的該跡線232當與該端子206耦接並形成在該介電材料208上時,致能該基板209的有效高溫性能。該跡線232、該介電材料208和該端子206的組合經發現當組合時,已改進熱及電性性質。改進該積體電路封裝系統100熱性能將增加本發明利用在高應力及高溫應用的多個領域的機會。
在該晶粒墊204上方為積體電路234,該積體電路234是繪示如打線接合(wire-bonded)晶粒,其具有面向離開該晶粒墊204的作用側236。該積體電路234是以黏著劑238固定至該晶粒墊204。
經發現該晶粒墊204提供結構穩定性,並減少從該積體電路234剝離的風險。由該晶粒墊204所提供的結構支撐經發現增加該積體電路封裝系統100的可靠性及性能。
該積體電路234的該作用側236是以互連240(繪示如接合打線(bond wire)240)而電性連接至該跡線232。
該接合打線240是顯示在沿著該跡線232的不同點與該跡線232直接接觸。該接合打線240可連接越過該間隙228、沿著靠近該積體電路234的該跡線、彼此之間間隔理想距離、或在該跡線232上超過該間隙228並且離開該積體電路234的部分。
經發現,該跡線232通過允許利用較短的接合打線240,而提供改進的電性性能。因為該跡線232的寬度大於該互連240的寬度,故因而引起較少的電阻及電感,從而增加高頻性能,所以可發現此改進。再者,利用該跡線232以及本發明的該端子206,減少用於將信號有效地傳送至外部裝置及系統所需的該互連240的長度。減少該互連240的長度通過減少在打線接合該積體電路234的製程中所使用的昂貴材料(例如金)的數量,以減少製造成本。
密封件102圍繞該積體電路234、該互連240及該跡線232。該密封件102可為滴膠(glob top)、膜輔助成型、或其他包裝結構。
經發現,利用本發明的該跡線232,連同該互連240及該密封件102,可通過減少接合打線240跨幅(span),以減少生產成本及複雜性。也經發現,利用本發明的該跡線232,連同該互連240及該密封件102,可通過提供良好佈局系統(用來將該積體電路234電性連接至該端子206,而不需該互連240彼此通過),以減少生產成本和複雜性。由於該接合打線240組構的複雜性是實質地減少,因此,可採用較便宜的非壓模(non-compression molding)。
該積體電路234可直接由該互連240而選擇性地連接至該端子206,其中,該互連240是與該端子206直接接觸,並且與該跡線232隔離。該積體電路234可另外採用混合方式,以允許直接至該端子206的一些連接及經由該跡線232作成的其他連接。
可形成多層該跡線232及該介電材料208,以致能具有許多更多連接點的信號繞線(routing)。該跡線232可熔接在一起,以致能電源、接地、或信號被繞線至多個端子206或多條接合打線240。該端子206是繪示成多列組構,該多列組構是設計用來有效率地利用該積體電路封裝系統100尺寸下方的全部空間,並致能更短的接合打線240。
現在參照第3圖,此處所顯示的是用來製造第2圖的該積體電路封裝系統100於製造提供階段後的引線框架元件302的剖面圖。該引線框架元件302可包含該高臺212及形成在該頂部210上的該凹部214。該引線框架元件302是定義為電性導電的引線框架元件,其可提供製造支撐,並可併入至第1圖的該積體電路封裝系統100內。
該引線框架元件302可為包含銅的金屬組成物。該引線框架元件302包含該接觸層226,該接觸層226進一步顯示為通過覆鍍或濺鍍而固定在該引線框架元件302之下的選擇區域中,而非在該引線框架元件302下方全部覆蓋。
現在參照第4圖,此處所顯示的是結構402於製造介電應用階段後的剖面圖。該結構402可包含沈積在該結構
402上方、在該高臺212上、及在該凹部214內的該介電材料208。
現在參照第5圖,此處所顯示的是第4圖的結構402於製造間隙形成階段後的剖面圖。該結構402可包含該介電材料208,該介電材料208被處理以形成該間隙228,該間隙228將該高臺212從該介電材料208暴露。
現在參照第6圖,此處所顯示的是第5圖的該結構402於製造跡線形成階段後的剖面圖。該結構402可包含形成在該介電材料208的該上表面230上及該間隙228內的該跡線232,以與該高臺212直接電性接觸。
現在參照第7圖,此處所顯示的是第6圖的該結構402於製造選擇性覆鍍階段後的剖面圖。該結構402可包含以選擇性覆鍍而更充分地形成的該跡線232。選擇性覆鍍可包含額外的鎳層、或汞齊(amalgam)(例如,鎳/鈀/金)層。該選擇性覆鍍可形成在該結構402上或該跡線232上。
現在參照第8圖,此處所顯示的是第7圖的該結構402於製造打線接合階段後的剖面圖。該結構402可包含以該黏著劑238固定至該結構402的該積體電路234,該積體電路234以該互連240連接至該跡線232。
現在參照第9圖,此處所顯示的是第8圖的該結構402的上視圖。該結構402可包含該跡線232,該跡線232是形成在該介電材料208上方及在該間隙228內。該跡線232是顯示僅形成在一部分該間隙228內,並沒有全部地填充該間隙228,而留下該高臺212中從該介電材料208及該
跡線232暴露的部分。
該跡線232是顯示從該間隙228朝向該積體電路234形成,因此減少該互連240必需使用的長度。該跡線232是顯示大部分朝該積體電路234形成,但可朝其他方向形成,以合併該跡線232或更好地分佈該互連240的擺置(placement)。
現在參照第10圖,此處所顯示的是第8圖的該結構402於製造模化階段後的剖面圖。該結構402可包含形成在該積體電路234、該互連240及該跡線232上方的該密封件102。該密封件102填充在該跡線232之間。
現在參照第11圖,此處所顯示的是第10圖的該結構402於製造蝕刻階段後的剖面圖。該結構402可包含形成在該端子206的該底部218中的該凹口220。該介電材料208在此步驟是從該端子206及從該晶粒墊204之間暴露。該端子206在此步驟是彼此實體隔離,並且與該晶粒墊204實體隔離。
現在參照第12圖,此處所顯示的是第2圖的該積體電路封裝系統100於製造切單階段後的剖面圖。該積體電路封裝系統100可包含沿著第11圖的切單線12-12所切單的該密封件102及該介電材料208,以形成該積體電路封裝系統100。
現在參照第13圖,此處所顯示的是第12圖的該積體電路封裝系統100的下視圖。該積體電路封裝系統100可包含在該介電材料208上方的該接觸層226。該接觸層226
可包含交錯的圖案,以增加該接觸面積,並減少短路的可能性。
現在參照第14圖,此處所顯示的是本發明的第二實施例中的積體電路封裝系統1400的剖面圖。該積體電路封裝系統1400可包含併入有焊錫球1402的第1圖的該積體電路封裝系統100,該焊錫球1402是固定於該端子206的該基部222上的該接觸層226。
現在參照第15圖,此處所顯示的是第14圖的該積體電路封裝系統1400的下視圖。該積體電路封裝系統1400可包含在該介電材料208上方的該接觸層226。也顯示的是,該焊錫球1402具有交錯的圖案,以增加該接觸面積,並減少短路的可能性。
現在參照第16圖,此處所顯示的是本發明的實施例中所使用的引線框架元件1600的上視圖。該引線框架元件1600可包含從介電材料1608暴露的晶粒墊1604及端子1606。該晶粒墊1604是顯示全部從該介電材料1608暴露,並且與該端子1606電性隔離和與該介電材料1608直接接觸。
該介電材料1608是繪示以間隙1628暴露該端子1606的高臺1612。跡線1632在該間隙1628內及在該高臺1612上。該跡線1632從該端子1606朝向該晶粒墊1604延伸,並且在距離該晶粒墊1604非均勻距離處終止,經發現其對該跡線1632密度可提供有益的增加。
現在參照第17圖,此處所顯示的是本發明的實施例
中所使用的引線框架元件1700的上視圖。該引線框架元件1700可包含從介電材料1708暴露的晶粒墊1704及端子1706。該晶粒墊1704是顯示全部從該介電材料1708暴露,並且與該端子1706電性隔離。
該介電材料1708是繪示以間隙1728暴露該端子1706的高臺1712。跡線1732在該間隙1728內及在該高臺1712上。該跡線1732從該端子1706朝該晶粒墊1704延伸,並且在距離該晶粒墊1704非均勻距離處終止,經發現其對該跡線1732密度可提供有益的增加。
周界跡線1744是取邊於該晶粒墊1704。該周界跡線1744是定義成平行於該晶粒墊1704的周界的跡線。該晶粒墊1704是顯示與該周界跡線1744直接電性接觸。該周界跡線1744以不間斷的圖案接續於該晶粒墊1704的該周界,並可針對電源和接地信號提供鞏固的(consolidated)接觸點。
現在參照第18圖,此處所顯示的是本發明的實施例中所使用的引線框架元件1800的上視圖。該引線框架元件1800可包含從介電材料1808暴露的晶粒墊1804及端子1806。該晶粒墊1804是顯示全部從該介電材料1808暴露,並且與該端子1806電性隔離。
該介電材料1808是繪示以間隙1828暴露該端子1806的高臺1812。跡線1832在該間隙1828內及在該高臺1812上。該跡線1832從該端子1806朝向該晶粒墊1804延伸,並且在距離該晶粒墊1804非均勻距離處終止,經發現其對
該跡線1832密度可提供有益的增加。
周界跡線1844是取邊於該晶粒墊1804。該周界跡線1844是定義成平行於該晶粒墊1804的周界的跡線。該晶粒墊1804是顯示與第一周界跡線1846直接電性接觸。該第一周界跡線1846以不間斷的圖案接續於該晶粒墊1804的該周界,並且可針對電源和接地信號提供鞏固的接觸點。
第二周界跡線1848是顯示以不間斷的圖案平行於該第一周界跡線1846。該第一周界跡線1846及該第二周界跡線1848被其之間的該介電材料1808予以實體及電性隔離。該第二周界跡線1848另顯示通過該介電材料1808而與該跡線1832隔離,該介電材料1808是在該第二周界跡線1848與該跡線1832之間。
現在參照第19圖,此處所顯示的是本發明的實施例中所使用的引線框架元件1900的上視圖。該引線框架元件1900可包含從介電材料1908暴露的晶粒墊1904及端子1906。該晶粒墊1904是顯示從該介電材料1908暴露,並且與該端子1906電性隔離。
該介電材料1908是繪示以間隙1928暴露該端子1906的高臺1912。跡線1932是在該間隙1928內及在該高臺1912上。該跡線1932從該端子1906朝向該晶粒墊1904延伸,並且在距離該晶粒墊1904非均勻距離處終止,經發現其對該跡線1932密度可提供有益的增加。
周界跡線1944是取邊於該晶粒墊1904。該周界跡線1944是定義成平行於該晶粒墊1904的周界的跡線。該晶
粒墊1904是顯示與第一周界跡線1946直接電性接觸。該第一周界跡線1946以不間斷的圖案接續於該晶粒墊1904的該周界,並且可針對電源和接地信號提供鞏固的接觸點。
第二周界跡線1948是顯示以間斷的圖案平行於該第一周界跡線1946。該第一周界跡線1946及該第二周界跡線1948是被其之間的該介電材料1908予以實體及電性隔離。該第二周界跡線1948另顯示通過該介電材料1908而與該跡線1932隔離,該介電材料1908是在該第二周界跡線1948和該跡線1932之間。該第二周界跡線1948也顯示被該間斷的圖案的間斷部分內的該介電材料1908,予以電性及實體隔離。
現在參照第20圖,此處所顯示的是本發明的第三實施例中的積體電路封裝系統2000的剖面圖。該積體電路封裝系統2000可包含端子2006。該端子2006是定義成導電件,該導電件是設計用來對該端子上方的結構提供空隙,並且具有側向隔離,以沒有直接接觸其他端子。為了這個原因,該端子2006也知道為空隙件端子。
該端子2006是顯示具有不同的寬度,而以圍繞該積體電路封裝系統2000的該周界區域的該端子是寬於靠近該積體電路封裝系統2000的中心所形成的該端子2006。雖然該端子2006的寬度可變化,然而,該端子2006的高度是繪示類似的,以確保有效率的表面安裝能力。介電材料2008在該端子2008上方。該介電材料2008是形成與該端子2006直接接觸。該介電材料2008是顯示形成在該端
子2006之間。該介電材料2008牢固地將該端子2006耦接在適當的位置,以形成基板2009。
該端子2006是顯示具有頂部2010。該端子2006的該頂部2010可包含高臺2012,以及也可包含凹部2014,該凹部2014從該高臺2012延伸至該端子2006的最大寬度2016。該介電材料2008與該端子2006從該高臺2012至該端子2006的該最大寬度2016的該頂部2010直接接觸,並填充該凹部2014。
在該端子2006的該最大寬度2016下方是底部2018,該底部2018從該端子2006的該最大寬度2016向下延伸。該底部2018可包含凹口2020,該凹口2020從該最大寬度2016向下延伸至該底部2018的基部2022。該基部2022是繪示成平的或平坦的。該底部2018是繪示成顯著地較大,幾乎比該頂部2010大或高50%。此顯示的尺寸提供額外的空隙件高度及較大的該端子2006的表面面積,以用於散熱。
接觸層2026封蓋一些該底部2018。該接觸層2026是定義為一種材料,該材料可牢固地連結至該端子2006的表面,並形成與其他元件的電性連接,且可被予以回焊(reflowed),以形成堅固的連接。該接觸層2026可為焊錫膏、含錫或鉛層、或導電性高溫聚合物。該接觸層2026可具有均勻剖面的均勻保角層(even conformal layer),來封蓋該端子2006的一些該底部2018。
經發現,形成在該基部2022上的該接觸層2026增加
焊錫封蓋性。以該端子2006增加焊錫封蓋性可增加板級可靠性及性能。本發明的該接觸層2026另可由印刷製程所形成,從而增加製造精確性,而沒有額外的成本。
該端子2006的該頂部2010是顯示具有形成於其上的該介電材料2008。該介電材料2008可包含在該頂部2010上的間隙2028,該間隙2028從該介電材料2008之間暴露部分的該高臺2012。該間隙2028是定義成間隙或沒有該介電材料2008,該間隙從該介電材料2008之間暴露部分的該高臺2012。該介電材料2008可設計成在製程期間支撐該端子2008,以增加該積體電路封裝系統2000中的結構堅固性。該介電材料2008是設計以該凹部2014中的該介電材料2008及在該高臺2012具有較小的間隙2028的形成,來增加可靠性及結構堅固性。
跡線2032在該介電材料2008的上表面2030上。該跡線2032是形成在該間隙2028內,以與被該介電材料2008之間的該間隙2028所暴露的該端子2006的該高臺2012電性連接及直接接觸。該跡線2032是定義成導電元件,該導電元件是設計用來重新分佈電性信號。該跡線2032是設計用來重新分佈電性信號,它們通常是電性隔離,而沒有過度地大,以減少引入寄生電感,且不會封蓋該介電材料2008的整個上表面2030。
經發現,本發明的該跡線2032當耦接於該端子2006並形成在該介電材料2008上時,可致能該基板2009有效率的高熱性能。該跡線2032、該介電材料2008及該端子
2006的組合,當以所描述的方式組合及利用時,經發現具有改進的熱及電性性質。改進該積體電路封裝系統2000熱性能將增加本發明利用在高應力及高溫應用的多個領域的機會。
在該跡線2032上方,積體電路2034是繪示成具有作用側2036的打線接合晶粒,該作用側2036面對離開該跡線2032。該積體電路2034是以黏著劑2038固定於該跡線2032及該介電材料2008。
該積體電路2034的該作用側2036是以繪示如接合打線的互連2040,而與該跡線2032電性連接。該接合打線2040是顯示在沿著該跡線2032的不同點,而與該跡線2032直接接觸。該接合打線2040可連接越過該間隙2028、沿著靠近該積體電路2034的該跡線、彼此之間間隔理想距離、或在該跡線2032上超過該間隙2028並且離開該積體電路2034的部分。
經發現,該跡線2032通過允許利用較短的接合打線2040,而提供改進的電性性能。因為該跡線2032的寬度大於該互連2040的寬度,並因此引起較少的電阻及電感,從而增加高頻性能,所以可發現此改進。再者,利用該跡線2032以及本發明的該端子2006,減少用於將信號有效地傳送至外部裝置及系統所需的該互連2040的長度。減少該互連2040的長度通過減少打線接合該積體電路2034的製程中所使用的昂貴材料(例如金)的數量,以減少製造成本。
密封件2042圍繞該積體電路2034、該互連2040及該
跡線2032。該密封件2042可為滴膠、膜輔助成型、或其他包裝結構。
經發現利用本發明的該跡線2032,連同該互連2040及該密封件2042,可通過減少接合打線2040跨幅,以減少生產成本及複雜性。也經發現,利用本發明的該跡線2032,連同該互連2040及該密封件2042,可通過提供良好佈局系統(用來將該積體電路2034電性連接至該端子2006,而不需該互連2040彼此通過),以減少生產成本和複雜性。由於該接合打線2040組構的複雜性是實質地減少,因此,可採用較便宜的非壓模。
該積體電路2034可直接由該互連2040而選擇性地連接至該端子2006,其中,該互連2040是與該端子2006直接接觸,並且與該跡線2032隔離。該積體電路2034可另外採用混合方式,以允許直接至該端子2006的一些連接及經由該跡線2032作成的其他連接。
可形成多層該跡線2032及該介電材料2008,以致能具有許多更多連接點的信號繞線。該跡線2032可熔接在一起,以致能電源、接地、或信號被繞線至多個端子2006或多條接合打線2040。該端子2006是繪示成多列組構,該多列組構是設計用來有效率地利用該積體電路封裝系統2000尺寸下方的全部空間,並致能更短的接合打線2040。
現在參照第21圖,此處所顯示的是用來製造第20圖的該積體電路封裝系統2000於製造跡線形成階段後的引線框架元件2101的上視圖。該引線框架元件2101可包含
該跡線2032,該跡線2032是形成在該端子2006的該高臺2012上從該間隙2028暴露。該跡線2032是顯示大致形成在該端子2006上靠近中心2102、或形成在該端子2006上靠近周界區域2104。
形成在該端子2006上靠近該中心2102的該跡線2032是顯示從該端子2006朝向該周界區域2104延伸。在另一方面,形成在該端子2006上靠近該周界區域2104的該跡線2032是顯示從該端子2006朝向該中心2102延伸。
該跡線2032從該端子2006延伸,並且在距離該端子2006非均勻距離處終止,經發現其對該跡線2032密度可提供有益的增加。該端子2006也可繪示成朝單一方向2106交替或交錯。
現在參照第22圖,此處所顯示的是結構2202於製造打線接合階段後的上視圖。該結構2202可包含以該互連2040連接至該跡線2032的該積體電路2034。該跡線2032是設計以在該互連2040之間提供該理想距離,以提供簡單的接合打線2040佈局,並保存該製造打線接合階段其間所使用的材料的數量,以減少生產成本。
現在參照第23圖,此處所顯示的是第20圖的該積體電路封裝系統2000於製造蝕刻階段後的下視圖。該積體電路封裝系統2000可包含在該介電材料2008上方的該接觸層2026。靠近該中心2102的該接觸層2026是顯示朝單一方向交替或交錯,以增加該接觸面積及減少短路的可能性。
現在參照第24圖,此處所顯示的是本發明的實施例
中所使用的結構2400的上視圖。該結構2400可包含從介電材料2408暴露的端子2406。該介電材料2408是繪示以間隙2428暴露該端子2406的高臺2412。跡線2432在該間隙2428內及在該高臺2412上。
該跡線2432是顯示大致形成在該端子2406上靠近中心2444、或形成在該端子2406上靠近周界區域2446。形成在該端子2406上靠近該中心2444的該跡線2432是顯示從該端子2406朝向該周界區域2446延伸。在另一方面,形成在該端子2406上靠近該周界區域2446的該跡線2432是顯示從該端子2406朝該中心2444延伸。
該跡線2432從該端子2406延伸,並且在距離該端子2406非均勻距離處終止,經發現其對該跡線2432密度可提供有益的增加。該端子2406也繪示朝單一方向2448對準。
現在參照第25圖,此處所顯示的是本發明的第四實施例中的積體電路封裝系統2500的剖面圖。該積體電路封裝系統2500可包含晶粒墊2504及端子2506。該端子2506是定義成導電件,該導電件是設計以在該端子上方的結構提供空隙,並且具有側向隔離,以沒有直接接觸其他端子。為了這個原因,該端子2506也知道為空隙件端子。
介電材料2508在該端子2506上方。該介電材料2508是沈積以與該晶粒墊2504及該端子2506直接接觸。該介電材料2508是顯示形成在該端子2506之間。該介電材料2508是進一步顯示形成在該端子2506及該晶粒墊2504之
間。該介電材料2508將該端子2506及該晶粒墊2504牢固地耦接至適當位置,以形成基板2509。
該端子2506是顯示具有頂部2510。該端子2506的該頂部2510可包含高臺2512,並且也可包含凹部2514,該凹部2514從該高臺2512延伸至該端子2506的最大寬度2516。該介電材料2508是與該端子2506從該高臺2512至該端子2506的該最大寬度2516的該頂部2510直接接觸,並且填充該凹部2514。
在該端子2506的該最大寬度2516下方是底部2518,該底部2518從該端子2506的該最大寬度2516向下延伸。該底部2518可包含凹口2520,該凹口2520從該最大寬度2516至該底部2518的基部2522向下延伸。該基部2522是繪示成平的或平坦的。微坑表面處理過的表面2524是在該底部2518中,並且在該基部2522內的中心。
該微坑的表面2524也可顯示形成在該晶粒墊2504中。該微坑的表面2524可予以圓形化(rounded),如該端子2506的該微坑的表面2524中所顯示的,或可予以棱角化(cornered),如該晶粒墊2504的該微坑的表面2524中所顯示的。接觸層2526封蓋一些該底部2518。該接觸層2526是定義成一種材料,該材料可牢固地連結至該端子2506的表面,並形成與其他元件的電性連接,且可被予以回焊,以形成堅固的連接。該接觸層2526可為焊錫膏、含錫或鉛層、或導電性高溫聚合物。該接觸層2526可以具有均勻剖面的均勻保角層,來封蓋該端子2506的一些該底部
2518。
該接觸層2526是顯示以沿著該基部2522上的該凹口2520及該微坑的表面2524內的均勻且保角膜,來封蓋該端子2506的該底部2518表面。該接觸層2526還繪示以封蓋該晶粒墊2504的該底側,並在該晶粒墊2504的該微坑的表面2524內形成膜。
經發現,形成在側表面(例如,該凹口2520)上及該微坑的表面2524內的該接觸層2526增加焊錫封蓋性。以該端子2506及該晶粒墊2504增加焊錫封蓋性可增加板級可靠性及性能。本發明的該接觸層2526還可由印刷製程加以形成,從而增加製造精確性,而沒有額外的成本。
該端子2506的該頂部2510是顯示具有該介電材料2508形成於其上。該介電材料2508在該頂部2510上可包含間隙2528,該間隙2528從該介電材料2508之間暴露部分該高臺2512。該間隙2528是定義成間隙或缺少該介電材料2508,該間隙從該介電材料2508之間暴露部分該高臺2512。該介電材料2508可設計以在製程期間支撐該端子2506,並且增加該積體電路封裝系統2500中的結構堅固性。該介電材料2508是設計以該介電材料2508填充該凹部2514並在該高臺2512上具有較小的間隙2528的形式,來增加可靠性及結構堅固性。
跡線2532在該介電材料2508的上表面2530上。該跡線2532是形成在該間隙2528內,以與由該介電材料2508之間的該間隙2528所暴露的該端子2506的該高臺
2512電性連接且直接接觸。該跡線2532是定義為導電元件,該導電元件是設計將重新分佈電性信號。該跡線2532是設計以重新分佈電性信號,它們通常是電性隔離,而沒有過度地大,以減少引入寄生電感,且不會封蓋該介電材料2508的整個上表面2530。
經發現,本發明的該跡線2532當與該端子2506耦接並形成在該介電材料2508上時,致能該基板2509的有效高溫性能。該跡線2532、該介電材料2508和該端子2506的組合,當以所描述的方式組合及利用時,經發現具有改進熱及電性性質。改進該積體電路封裝系統2500熱性能將增加本發明利用在高應力及高溫度應用的多個領域的機會。
在該晶粒墊2504上方是積體電路2534,該積體電路2534是繪示如具有作用側2536的打線接合晶粒,該作用側2536面對離開該晶粒墊2504。該積體電路2534是由黏著劑2538而固定於該晶粒墊2504。
經發現,該晶粒墊2504提供結構穩定性,並且減少從該積體電路2534剝離的風險。由該晶粒墊2504所提供的結構支撐經發現,可增加該積體電路封裝系統2500的可靠性和性能。
該積體電路2534的該作用側2536是以繪示如接合打線的互連2540而電性連接至該跡線2532。該接合打線2540是顯示在沿著該跡線2532的不同點處與該跡線2532直接接觸。該接合打線2540可連接越過該間隙2528、沿著靠
近該積體電路2534的該跡線、彼此之間間隔理想距離、或在該跡線2532上超過該間隙2528並且離開該積體電路2534的部分。
經發現,該跡線2532通過允許利用較短的接合打線2540,而提供改進的電性性能。因為該跡線2532的寬度大於該互連2540的寬度,並因此引起較少的電阻及電感,從而增加高頻性能,所以可發現此改進。再者,利用該跡線2532以及本發明的該端子2506,減少用於將信號有效地傳送至外部裝置及系統所需的該互連2540的長度。減少該互連2540的長度通過減少打線接合該積體電路2534的製程中所使用的昂貴材料(例如金)的數量,以減少製造成本。
密封件2542圍繞該積體電路2534、該互連2540及該跡線2532。該密封件2542可為滴膠、膜輔助成型或其他包裝結構。
經發現,利用本發明的該跡線2532,連同該互連2540及該密封件2542,可通過減少接合打線2540跨幅,以減少生產成本及複雜性。也經發現,利用本發明的該跡線2532,連同該互連2540及該密封件2542,可通過提供良好佈局系統(用來將該積體電路2534電性連接至該端子2506,而不需該互連2540彼此通過),以減少生產成本和複雜性。由於該接合打線2540組構的複雜性是實質地減少,因此,可採用較便宜的非壓模。
該積體電路2534可直接由該互連2540而選擇性地連接至該端子2506,其中,該互連2540是與該端子2506
直接接觸,並且與該跡線2532隔離。該積體電路2534可另外採用混合方式,以允許直接至該端子2506的一些連接及經由該跡線2532作成的其他連接。
可形成多層該跡線2532及該介電材料2508,以致能具有許多更多連接點的信號繞線。該跡線2532可熔接在一起,以致能電源、接地、或信號被繞線至多個端子2506或多條接合打線2540。該端子2506是繪示成多列組構,該多列組構是設計用來有效率地利用該積體電路封裝系統2500尺寸下方的全部空間,並致能更短的接合打線2540。
現在參照第26圖,此處所顯示的是第25圖的區域26-26的放大剖面圖。該積體電路封裝系統2500可包含該端子2506的該底部2518,具有接觸層2526的保角封蓋或層於其上。該接觸層2526是繪示封蓋該凹口2520靠近該基部2522的部分,但該凹口2520靠近該端子2506的該最大寬度2516的其他部分則沒有被該接觸層2526封蓋,而是暴露的。
該接合打線2540是顯示連接至該跡線2532,並且形成在該跡線2532內。該跡線2532還顯示形成在該間隙2528內,並且填充該間隙2528的全部容積。
現在參照第27圖,此處所顯示的是本發明的第五實施例中的積體電路封裝系統2700的剖面圖。該積體電路封裝系統2700可包含端子2706。該端子2706是定義成導電件,該導電件是設計用來對該端子上方的結構提供空隙,並且具有側向隔離,以沒有直接接觸其他端子。為了這個
原因,該端子2706也已知為空隙件端子。
在該端子2706上方為介電材料2708。該介電材料2708是形成以與該端子2706直接接觸。該介電材料2708是顯示形成在該端子2706之間。該介電材料2708將該端子2706牢固地耦接在適當的位置,以形成基板2709。
該端子2706是顯示具有頂部2710。該端子2706的該頂部2710可包含高臺2712,並且也包含從該高臺2712至該端子2706的最大寬度2716延伸的凹部2714。該介電材料2708是從該高臺2712至該端子2706的該最大寬度2716而與該端子2706的該頂部2710直接接觸,並且填充該凹部2714。
在該端子2706的該最大寬度2716下方是從該端子2706的該最大寬度2716延伸向下的底部2718。該底部2718可包含從該最大寬度2716向下延伸至該底部2718的基部2722的凹口2720。該基部2722是描繪成平的或平坦的。在該底部2718中及該基部2722內的中心為微坑的表面2724。
該微坑的表面2724可予以圓形化,如該端子2706的該微坑的表面2724中所顯示的。接觸層2726封蓋一些該底部2718。該接觸層2726是定義成一種材料,該材料可牢固地連結至該端子2706的表面,並形成與其他元件的電性連接,且可被予以回焊,以形成堅固的連接。該接觸層2726可為焊錫膏、含錫或鉛層、或導電性高溫聚合物。該接觸層2726可以具有均勻剖面的均勻保角層,來封蓋該端
子2706的一些該底部2718。該接觸層2726是顯示以沿著該基部2722並在該微坑的表面2724內的均勻且保角膜,來封蓋該端子2706的該底部2718表面。
經發現,形成在該微坑的表面2724中側表面上的該接觸層2726增加焊錫封蓋性。以該端子2706增加焊錫封蓋性可增加板級可靠性及性能。本發明的該接觸層2726還可由印刷製程加以形成,從而增加製造精確性,而沒有額外的成本。
該端子2706的該頂部2710是顯示具有該介電材料2708形成於其上。該介電材料2708在該頂部2710上可包含間隙2728,該間隙2728從該介電材料2708之間暴露部分該高臺2512。該間隙2728是定義成間隙或缺少該介電材料2708,該間隙在該介電材料2708之間暴露部分該高臺2712。該介電材料2708可被設計以在製程期間支撐該端子2706,並且增加該積體電路封裝系統2700中的結構堅固性。該介電材料2708是設計以該介電材料2708填充該凹部2714並在該高臺2712上具有較小的間隙2728的形式,來增加可靠性及結構堅固性。
跡線2732在該介電材料2708的上表面2730上。該跡線2732是形成在該間隙2728內,以與由該介電材料2708之間的該間隙2728所暴露的該端子2706的該高臺2712電性連接且直接接觸。該跡線2732是定義為導電元件,該導電元件是設計將重新分佈電性信號。該跡線2732是設計以重新分佈電性信號,它們通常是電性隔離,而沒
有過度地大,以減少引入寄生電感,且不會封蓋該介電材料2708的整個上表面2730。
經發現,本發明的該跡線2732當與該端子2706耦接並形成在該介電材料2708上時,致能該基板2709的有效高溫性能。該跡線2732、該介電材料2708和該端子2706的組合,當以所描述的方式組合及利用時,經發現具有改進熱及電性性質。改進該積體電路封裝系統2700熱性能將增加本發明利用在高應力及高溫度應用的多個領域的機會。
在該跡線2732上方為積體電路2734,該積體電路2734是繪示如具有作用側2736的打線接合晶粒,該作用側2736面對離開該跡線2732。該積體電路2734是以黏著劑2738而固定至該跡線2732及該介電材料2708。
該積體電路2734的該作用側2736是以繪示如接合打線的互連2740,而電性連接至該跡線2732。該接合打線2740是顯示在沿著該跡線2732的不同點處,與該跡線2732直接接觸。該接合打線2740可連接越過該間隙2728、沿著靠近該積體電路2734的該跡線、彼此之間間隔理想距離、或在該跡線2732上超過該間隙2728並且離開該積體電路2734的部分。
經發現,該跡線2732通過允許利用較短的接合打線2740,而提供改進的電性性能。因為該跡線2732的寬度大於該互連2740的寬度,並因此引起較少的電阻及電感,從而增加高頻性能,所以可發現此改進。再者,利用該跡線
2732以及本發明的該端子2706,減少用於將信號有效地傳送至外部裝置及系統所需的該互連2740的長度。減少該互連2740的長度通過減少打線接合該積體電路2734的製程中所使用的昂貴材料(例如金)的數量,以減少製造成本。
密封件2742圍繞該積體電路2734、該互連2740及該跡線2732。該密封件2742可為滴膠、膜輔助成型、或其他包裝結構。
經發現,利用本發明的該跡線2732,連同該互連2740及該密封件2742,可通過減少接合打線2740跨幅,以減少生產成本及複雜性。也經發現,利用本發明的該跡線2732,連同該互連2740及該密封件2742,可通過提供良好佈局系統(用來將該積體電路2734電性連接至該端子2706,而不需該互連2740彼此通過),以減少生產成本和複雜性。由於該接合打線2740組構的複雜性是實質地減少,因此,可採用較便宜的非壓模。
該積體電路2734可直接由該互連2740而選擇性地連接至該端子2706,其中,該互連2740是與該端子2706直接接觸,並且與該跡線2732隔離。該積體電路2734可另外採用混合方式,以允許直接至該端子2706的一些連接及經由該跡線2732作成的其他連接。
可形成多層該跡線2732及該介電材料2708,以致能具有許多更多連接點的信號繞線。該跡線2732可熔接在一起,以致能電源、接地、或信號被繞線至多個端子2706或多條接合打線2740。該端子2706是繪示成多列組構,
該多列組構是設計用來有效率地利用該積體電路封裝系統2700尺寸下方的全部空間,並致能更短的接合打線2740。
現在參照第28圖,此處所顯示的是第27圖的區域28-28的放大剖面圖。該積體電路封裝系統2700可包含該端子2706的該底部2718,具有接觸層2726的保角封蓋或層於其上。該接觸層2726是繪示沒有封蓋該凹口2720的任何部分,而是封蓋該基部2722及該微坑的表面2724。
該接合打線2740是顯示連接至該跡線2732,並且形成在該跡線2732內。該跡線2732還顯示形成在該間隙2728內,並且填充該間隙2728的全部容積。
現在參照第29圖,此處所顯示的是本發明的實施例中所使用的端子元件2900。該端子元件2900可包含與介電材料2908直接接觸的端子2906。該端子2906還具有最大寬度2916及在該最大寬度2916下方的底部2918。
該底部2918具有凹口2920,該凹口2920從該最大寬度2916向下延伸至基部2922。微坑的表面2924在該基部2922的中心。該端子2906的該底部2918以接觸層2926的保角封蓋或層塗布於其上。該接觸層2926是繪示封蓋該凹口2920靠近該基部2922的部分,但該凹口2920靠近該端子2906的該最大寬度2916的其他部分則沒有被該接觸層2926封蓋,而是暴露的。
該接觸層2926還顯示封蓋該基部2922,但沒有接觸或封蓋該微坑的表面2924。在該端子2906上方,該介電材料2908可包含形成於其中的間隙2928,該間隙2928暴
露該端子2906。跡線2932在該間隙2928內,並且與該端子2906直接接觸。該跡線2932是顯示形成在該間隙2928內,並且填充該間隙2928的全部容積。接合打線2940是連接至該跡線2932,並且形成在該跡線2932內。
現在參照第30圖,此處所顯示的是本發明的第六實施例中的積體電路封裝系統3000的剖面圖。該積體電路封裝系統3000可包含晶粒墊3004及端子3006。該端子3006是定義成導電件,該導電件是設計以在該端子上方的結構提供空隙,並具有側向隔離,以沒有直接接觸其他端子。為了這個原因,該端子3006也已知為空隙件端子。
在該端子3006上方為介電材料3008。該介電材料3008是沈積以與該晶粒墊3004及該端子3006直接接觸。該介電材料3008是顯示形成在該端子3006之間。該介電材料3008進一步顯示形成在該端子3006與該晶粒墊3004之間。該介電材料3008將該端子3006及該晶粒墊3004牢固地耦接在適當的位置,以形成基板3009。
該端子3006是顯示具有頂部3010。該端子3006的該頂部3010可包含高臺3012,並且也包含從該高臺3012延伸至該端子3006的最大寬度3016的凹部3014。該介電材料3008是從該高臺3012至該端子3006的該最大寬度3016而與該端子3006的該頂部3010直接接觸,並且填充該凹部3014。
在該端子3006的該最大寬度3016下方是從該端子3006的該最大寬度3016延伸向下的底部3018。該底部
3018可包含從該最大寬度3016向下延伸至該底部3018的基部3022的凹口3020。該基部3022是繪示為平的或平坦的。在該底部3018中及該基部3022內的中心為微坑的表面3024。該底部3018是繪示稍小於或短於該頂部3010,以提供增加的空隙件距離及空隙。
該微坑的表面3024也可顯示形成在該晶粒墊3004中。該微坑的表面3024可予以棱角化,如該晶粒墊3004的該微坑的表面3024及該端子3006中所顯示的。接觸層3026封蓋一些該底部3018。該接觸層3026是定義成一種材料,該材料可牢固地連結至該端子3006的表面,並形成與其他元件的電性連接,且可被予以回焊,以形成堅固的連接。該接觸層3026可為焊錫膏、含錫或鉛層、或導電性高溫聚合物。該接觸層3026可以具有均勻剖面的均勻保角層,來封蓋該端子3006的一些該底部3018。
該接觸層3026是顯示以沿著該基部3022及該微坑的表面3024內的均勻且保角膜,來封蓋該端子3006的該底部3018表面。該接觸層3026還繪示以封蓋該晶粒墊3004的該底側,並在該晶粒墊3004的該微坑的表面3024內形成膜。
經發現,形成在側表面(例如,該凹口3020)上及該微坑的表面3024內的該接觸層3026增加焊錫封蓋性。以該端子3006及該晶粒墊3004增加焊錫封蓋性可增加板級可靠性及性能。本發明的該接觸層3026還可由印刷製程加以形成,從而增加製造精確性,而沒有額外的成本。
該端子3006的該頂部3010是顯示具有該介電材料3008形成於其上。該介電材料3008在該頂部3010上可包含間隙3028,該間隙3028從該介電材料3008之間暴露部分該高臺3012。該間隙3028是定義成間隙或缺少該介電材料3008,該間隙從該介電材料3008之間暴露部分該高臺3012。該介電材料3008可設計以在製程期間支撐該端子3006,並且增加該積體電路封裝系統3000中的結構堅固性。該介電材料3008是設計以該介電材料3008填充該凹部3014並在該高臺3012上具有較小的間隙3028的形式,來增加可靠性及結構堅固性。
跡線3032在該介電材料3008的上表面3030上。該跡線3032是形成在該間隙3028內,以與由該介電材料3008之間的該間隙3028所暴露的該端子3006的該高臺3012電性連接且直接接觸。該跡線3032是定義為導電元件,該導電元件是設計將重新分佈電性信號。該跡線3032是設計以重新分佈電性信號,它們通常是電性隔離,而沒有過度地大,以減少引入寄生電感,且不會封蓋該介電材料3008的整個上表面3030。
經發現,本發明的該跡線3032當與該端子3006耦接並形成在該介電材料3008上時,致能該基板3009的有效高溫性能。該跡線3032、該介電材料3008和該端子3006的組合,當以所描述的方式組合及利用時,經發現具有改進熱及電性性質。改進該積體電路封裝系統3000熱性能將增加本發明利用在高應力及高溫度應用的多個領域的機
會。
在該晶粒墊3004上方為積體電路3034,該積體電路3034是繪示如具有作用側3036的打線接合晶粒,該作用側3036面對離開該晶粒墊3004。該積體電路3034是以黏著劑3038而固定至該晶粒墊3004。
經發現,該晶粒墊3004提供結構穩定性,並且減少從該積體電路3034剝離的風險。由該晶粒墊3004所提供的結構支撐經發現,可增加該積體電路封裝系統3000的可靠性和性能。
該積體電路3034的該作用側3036是以繪示如接合打線的互連3040而電性連接至該跡線3032。該接合打線3040是顯示在沿著該跡線3032的不同點處與該跡線3032直接接觸。該接合打線3040可連接越過該間隙3028、沿著靠近該積體電路3034的該跡線、彼此之間間隔理想距離、或在該跡線3032上超過該間隙3028並且離開該積體電路3034的部分。
經發現,該跡線3032通過允許利用較短的接合打線3040,而提供改進的電性性能。因為該跡線3032的寬度大於該互連3040的寬度,並因此引起較少的電阻及電感,從而增加高頻性能,所以可發現此改進。再者,利用該跡線3032以及本發明的該端子3006,減少用於將信號有效地傳送至外部裝置及系統所需的該互連3040的長度。減少該互連3040的長度通過減少打線接合該積體電路3034的製程中所使用的昂貴材料(例如金)的數量,以減少製造成本。
密封件3042圍繞該積體電路3034、該互連3040及該跡線3032。該密封件3042可為滴膠、膜輔助成型、或其他包裝結構。在該微坑的表面3024上為焊錫球滴(drop)3044。經發現,採用焊錫球滴3044可增加一致的球共平面性以及增強板級可靠性。
經發現,利用本發明的該跡線3032,連同該互連3040及該密封件3042,可通過減少接合打線3040跨幅,以減少生產成本及複雜性。也經發現,利用本發明的該跡線3032,連同該互連3040及該密封件3042,可通過提供良好佈局系統(用來將該積體電路3034電性連接至該端子3006,而不需該互連3040彼此通過),以減少生產成本和複雜性。由於該接合打線3040組構的複雜性是實質地減少,因此,可採用較便宜的非壓模。
該積體電路3034可直接由該互連3040而選擇性地連接至該端子3006,其中,該互連3040是與該端子3006直接接觸,並且與該跡線3032隔離。該積體電路3034可另外採用混合方式,以允許直接至該端子3006的一些連接及經由該跡線3032作成的其他連接。
可形成多層該跡線3032及該介電材料3008,以致能具有許多更多連接點的信號繞線。該跡線3032可熔接在一起,以致能電源、接地、或信號被繞線至多個端子3006或多條接合打線3040。該端子3006是繪示成多列組構,該多列組構是設計用來有效率地利用該積體電路封裝系統3000尺寸下方的全部空間,並致能更短的接合打線3040。
現在參照第31圖,此處所顯示的是第30圖的區域31-31的放大剖面圖。該積體電路封裝系統3000可包含該端子3006的該底部3018,具有接觸層3026的保角封蓋或層於其上。該接觸層3026是繪示沒有封蓋該凹口3020的任何部分,但封蓋該基部3022及該微坑的表面3024。
該接合打線3040是顯示連接至該跡線3032,並且形成在該跡線3032內。該跡線3032還顯示形成在該間隙3028內,並且填充該間隙3028的全部容積。該焊錫球滴3044是形成在該微坑的表面3024內及該接觸層3026下方。
現在參照第32圖,此處所顯示的是本發明的第七實施例中的積體電路封裝系統3200的剖面圖。該積體電路封裝系統3200可包含端子3206。該端子3206是定義成導電件,該導電件是設計以在該端子上方的結構提供空隙,並具有側向隔離,以沒有直接接觸其他端子。為了這個原因,該端子3206也已知為空隙件端子。
在該端子3206上方為介電材料3208。該介電材料3208是與該端子3206直接接觸。該介電材料3208是顯示形成在該端子3206之間。該介電材料3208將該端子3206牢固地耦接在適當的位置,以形成基板3209。
該端子3206是顯示具有頂部3210。該端子3206的該頂部3210可包含高臺3212,以及也可包含凹部3214,該凹部3214從該高臺3212延伸至該端子3206的最大寬度3216。該介電材料3208與該端子3206從該高臺3212至該
端子3206的該最大寬度3216的該頂部3210直接接觸,並填充該凹部3214。
在該端子3206的該最大寬度3216下方是底部3218,該底部3218從該端子3206的該最大寬度3216向下延伸。該底部3218可包含凹口3220,該凹口3220從該最大寬度3216向下延伸至該底部3218的基部3222。該基部3222是繪示成平的或平坦的。微坑的表面3224在該底部3218中並在該基部3222的中心內。
該微坑的表面3224可予以圓形化,如該端子3206的該微坑的表面3224中所顯示的。接觸層3226封蓋一些該底部3218。該接觸層3226是定義成一種材料,該材料可牢固地連結至該端子3206的表面,並形成與其他元件的電性連接,且可被予以回焊,以形成堅固的連接。該接觸層3226可為焊錫膏、含錫或鉛層、或導電性高溫聚合物。該接觸層3226可以具有均勻剖面的均勻保角層,來封蓋該端子3206的一些該底部3218。該接觸層3226是顯示以沿著該基部3222並在該微坑的表面3224內的均勻且保角膜,來封蓋該端子3206的該底部3218表面。
經發現,形成在該微坑的表面3224的側表面上的該接觸層3226增加焊錫封蓋性。以該端子3206增加焊錫封蓋性可增加板級可靠性及性能。本發明的該接觸層3226還可由印刷製程加以形成,從而增加製造精確性,而沒有額外的成本。
該端子3206的該頂部3210是顯示具有該介電材料
3208形成於其上。該介電材料3208在該頂部3210上可包含間隙3228,該間隙3228從該介電材料3208之間暴露部分該高臺3212。該間隙3228是定義成間隙或缺少該介電材料3208,該間隙從該介電材料3208之間暴露部分該高臺3212。該介電材料3208可被設計以在製程期間支撐該端子3206,並且增加該積體電路封裝系統3200中的結構堅固性。該介電材料3208是設計以該介電材料3208填充該凹部3214並在該高臺3212上具有較小的間隙3228的形式,來增加可靠性及結構堅固性。
跡線3232在該介電材料3208的上表面3230上。該跡線3232是形成在該間隙3228內,以與由該介電材料3208之間的該間隙3228所暴露的該端子3206的該高臺3212電性連接且直接接觸。該跡線3232是定義為導電元件,該導電元件是設計將重新分佈電性信號。該跡線3232是設計以重新分佈電性信號,它們通常是電性隔離,而沒有過度地大,以減少引入寄生電感,且不會封蓋該介電材料3208的整個上表面3230。
經發現,本發明的該跡線3232當與該端子3206耦接並形成在該介電材料3208上時,致能該基板3209的有效高溫性能。該跡線3232、該介電材料3208和該端子3206的組合,當以所描述的方式組合及利用時,經發現具有改進熱及電性性質。改進該積體電路封裝系統3200熱性能將增加本發明利用在高應力及高溫度應用的多個領域的機會。
在該跡線3232上方為積體電路3234,該積體電路3234是繪示如具有作用側3236的打線接合晶粒,該作用側3236面對離開該跡線3232。該積體電路3234是以黏著劑3238而固定至該跡線3232及該介電材料3208。該跡線3232延伸超過該積體電路3234。
該積體電路3234的該作用側3236是以繪示如接合打線的互連3240,而電性連接至該跡線3232。該接合打線3240是顯示在沿著該跡線3232的不同點處,與該跡線3232直接接觸。該接合打線3240可連接越過該間隙3228、沿著靠近該積體電路3234的該跡線、彼此之間間隔理想距離、或在該跡線3232上超過該間隙3228並且離開該積體電路3234的部分。
經發現,該跡線3232通過允許利用較短的接合打線3240,而提供改進的電性性能。因為該跡線3232的寬度大於該互連3240的寬度,並因此引起較少的電阻及電感,從而增加高頻性能,所以可發現此改進。再者,利用該跡線3232以及本發明的該端子3206,減少用於將信號有效地傳送至外部裝置及系統所需的該互連3240的長度。減少該互連3240的長度通過減少打線接合該積體電路3234的製程中所使用的昂貴材料(例如金)的數量,以減少製造成本。
密封件3242圍繞該積體電路3234、該互連3240及該跡線3232。該密封件3242可為滴膠、膜輔助成型、或其他包裝結構。焊錫球滴3244在該微坑的表面3224上。經發現,採用焊錫球滴3244可增加一致的球共平面性及增強
板級可靠性。
經發現,利用本發明的該跡線3232,連同該互連3240及該密封件3242,可通過減少接合打線3240跨幅,以減少生產成本及複雜性。也經發現,利用本發明的該跡線3232,連同該互連3240及該密封件3242,可通過提供良好佈局系統(用來將該積體電路3234電性連接至該端子3206,而不需該互連3240彼此通過),以減少生產成本和複雜性。由於該接合打線3240組構的複雜性是實質地減少,因此,可採用較便宜的非壓模。
該積體電路3234可直接由該互連3240而選擇性地連接至該端子3206,其中,該互連3240是與該端子3206直接接觸,並且與該跡線3232隔離。該積體電路3234可另外採用混合方式,以允許直接至該端子3206的一些連接及經由該跡線3232作成的其他連接。
可形成多層該跡線3232及該介電材料3208,以致能具有許多更多連接點的信號繞線。該跡線3232可熔接在一起,以致能電源、接地、或信號被繞線至多個端子3206或多條接合打線3240。該端子3206是繪示成多列組構,該多列組構是設計用來有效率地利用該積體電路封裝系統3200尺寸下方的全部空間,並致能更短的接合打線3240。
現在參照第33圖,此處所顯示的是本發明的第八實施例中的積體電路封裝系統3300的剖面圖。該積體電路封裝系統3300可包含晶粒墊3304及端子3306。該端子3306是定義成導電件,該導電件是設計以在該端子上方的結構
提供空隙,並具有側向隔離,以沒有直接接觸其他端子。為了這個原因,該端子3306也已知為空隙件端子。
在該端子3306上方為介電材料3308。該介電材料3308是沈積以與該晶粒墊3304及該端子3306直接接觸。該介電材料3308是顯示形成在該端子3306之間。該介電材料3308進一步顯示形成在該端子3306與該晶粒墊3304之間。該介電材料3308將該端子3306及該晶粒墊3304牢固地耦接在適當的位置,以形成基板3309。
該端子3306是顯示具有頂部3310。該端子3306的該頂部3310可包含高臺3312,並且也包含從該高臺3312延伸至該端子3306的最大寬度3316的凹部3314。該介電材料3308是從該高臺3312至該端子3306的該最大寬度3316而與該端子3306的該頂部3310直接接觸,並且填充該凹部3314。
在該端子3306的該最大寬度3316下方是從該端子3306的該最大寬度3316延伸向下的底部3318。該底部3318可包含從該最大寬度3316向下延伸至該底部3318的基部3322的凹口3320。該基部3322是繪示為平的或平坦的。
接觸層3326封蓋一些該底部3318。該接觸層3326是定義成一種材料,該材料可牢固地連結至該端子3306的表面,並形成與其他元件的電性連接,且可被予以回焊,以形成堅固的連接。該接觸層3326可為焊錫膏、含錫或鉛層、或導電性高溫聚合物。該接觸層3326可以具有均勻剖
面的均勻保角層,來封蓋該端子3306的一些該底部3318。
該接觸層3326是顯示以沿著該基部3322的均勻且保角膜,來封蓋該端子3306的該底部3318表面。該接觸層3326還繪示封蓋該晶粒墊3304的該底側。
經發現,形成在該基部3322上的該接觸層3326增加焊錫封蓋性。以該端子3306及該晶粒墊3304增加焊錫封蓋性可增加板級可靠性及性能。本發明的該接觸層3326還可由印刷製程加以形成,從而增加製造精確性,而沒有額外的成本。
該端子3306的該頂部3310是顯示具有該介電材料3308形成於其上。該介電材料3308在該頂部3310上可包含間隙3328,該間隙3328從該介電材料3308之間暴露部分該高臺3312。該間隙3328是定義成間隙或缺少該介電材料3308,該間隙從該介電材料3308之間暴露部分該高臺3312。該介電材料3308可被設計以在製程期間支撐該端子3306,並且增加該積體電路封裝系統3300中的結構堅固性。該介電材料3308是設計以該介電材料3308填充該凹部3314並在該高臺3312上具有較小的間隙3328的形式,來增加可靠性及結構堅固性。
跡線3332在該介電材料3308的上表面3330上。該跡線3332是形成在該間隙3328內,以與由該介電材料3308之間的該間隙3328所暴露的該端子3306的該高臺3312電性連接且直接接觸。該跡線3332是定義為導電元件,該導電元件是設計將重新分佈電性信號。該跡線3332
是設計以重新分佈電性信號,它們通常是電性隔離,而沒有過度地大,以減少引入寄生電感,且不會封蓋該介電材料3308的整個上表面3330。
經發現,本發明的該跡線3332當與該端子3306耦接並形成在該介電材料3308上時,致能該基板3309的有效高溫性能。該跡線3332、該介電材料3308和該端子3306的組合,當以所描述的方式組合及利用時,經發現具有改進熱及電性性質。改進該積體電路封裝系統3300熱性能將增加本發明利用在高應力及高溫度應用的多個領域的機會。
在該晶粒墊3304上方是積體電路3334,該積體電路3334是繪示如具有作用側3336的覆晶晶粒。該作用側3336是顯示面對朝向該晶粒墊3304。
經發現,該晶粒墊3304提供結構穩定性,並且減少從該積體電路3334翹曲並至終間斷或損壞的風險。由該晶粒墊3304所提供的結構支撐經發現,可增加該積體電路封裝系統3300的可靠性和性能。
該積體電路3334的該作用側3336是以繪示如焊錫凸塊(solder bump)的互連3340而電性連接至該跡線3332。該焊錫凸塊3340是顯示在沿著該跡線3332的不同點處與該跡線3332直接接觸。該焊錫凸塊3340可連接越過該間隙3328、沿著靠近該積體電路3334的該跡線、彼此之間間隔理想距離、或在該跡線3332上超過該間隙3328並且離開該積體電路3334的部分。該覆晶晶粒3334是大到足
以懸掛在該跡線3332及部分該介電材料3308上。
經發現,該跡線3332通過允許利用較小的覆晶晶粒3334,而提供改進的電性性能。此通過允許該跡線3332的設計彈性,以應付較大的製程及設計彈性,以補償該積體電路3334的大的固定尺寸。
密封件3342圍繞該積體電路3334、該互連3340及該跡線3332。該密封件3342可為滴膠、膜輔助成型、或其他包裝結構。
經發現,利用本發明的該跡線3332,連同該積體電路3334及該密封件3342,可通過減少覆晶晶粒3334的尺寸,以減少生產成本及複雜性。由於該積體電路3334的間斷(breakage)及損壞的尺寸及磁化率(susceptibility)是實質地減少,因此,可採用較便宜的非壓模。
該覆晶晶粒3334可直接由該互連3340而選擇性地連接至該端子3306,其中,該互連3340是與該端子3306直接接觸,並且與該跡線3332隔離。該覆晶晶粒3334可另外採用混合方式,以允許直接至該端子3306的一些連接及經由該跡線3332作成的其他連接。
可形成多層該跡線3332及該介電材料3308,以致能具有許多更多連接點的信號繞線。該跡線3332可熔接在一起,以致能電源、接地、或信號被繞線至多個端子3306或多個焊錫凸塊3340。該端子3306是繪示成多列組構,該多列組構是設計用來有效率地利用該積體電路封裝系統3300尺寸下方的全部空間,並致能更小的覆晶晶粒3334。
打線接合晶粒也可堆疊在該積體電路3334上,並且以接合打線連接至該跡線3332,以形成混合式覆晶晶粒及打線接合晶粒堆疊。
現在參照第34圖,此處所顯示的是本發明的第九實施例中的積體電路封裝系統3400的剖面圖。該積體電路封裝系統3400可包含端子3406。該端子3406是定義成導電件,該導電件是設計以在該端子上方的結構提供空隙,並具有側向隔離,以沒有直接接觸其他端子。為了這個原因,該端子3406也已知為空隙件端子。
該端子3406是顯示具有不同寬度,圍繞該積體電路封裝系統3400的該周界區域的該端子是寬於靠近該積體電路封裝系統3400的中心所形成的該端子3406。雖然該端子3406的寬度可變化,然而,該端子3406的高度是繪示類似的,以確保有效率的表面安裝能力。介電材料3408在該端子3406上方。該介電材料3408是形成與該端子3406直接接觸。該介電材料3408是顯示形成在該端子3406之間。該介電材料3408牢固地將該端子3406耦接在適當的位置,以形成基板3409。
該端子3406是顯示具有頂部3410。該端子3406的該頂部3410可包含高臺3412,以及也可包含凹部3414,該凹部3414從該高臺3412延伸至該端子3406的最大寬度3416。該介電材料3408與該端子3406從該高臺3412至該端子3406的該最大寬度3416的該頂部3410直接接觸,並填充該凹部3414。
在該端子3406的最大寬度3416下方為底部3418,該底部3418從該端子3406的該最大寬度3416向下延伸。該底部3418可包含凹口3420,該凹口3420從該最大寬度3416向下延伸至該底部3418的基部3422。該基部3422是繪示如平的或平坦的。
接觸層3426封蓋一些該底部3418。該接觸層3426是定義成一種材料,該材料可牢固地連結至該端子3406的表面,並形成與其他元件的電性連接,且可被予以回焊,以形成堅固的連接。該接觸層3426可為焊錫膏、含錫或鉛層、或導電性高溫聚合物。該接觸層3426可以具有均勻剖面的均勻保角層,來封蓋該端子3406的一些該底部3418。
經發現,形成在該基部3422上的該接觸層3426增加焊錫封蓋性。以該端子3406增加焊錫封蓋性可增加板級可靠性及性能。本發明的該接觸層3426還可由印刷製程加以形成,從而增加製造精確性,而沒有額外的成本。
該端子3406的該頂部3410是顯示具有該介電材料3408形成於其上。該介電材料3408在該頂部3410上可包含間隙3428,該間隙3428從該介電材料3408之間暴露部分該高臺3412。該間隙3428是定義成間隙或缺少該介電材料3408,該間隙從該介電材料3408之間暴露部分該高臺3412。該介電材料3408可被設計以在製程期間支撐該端子3406,並且增加該積體電路封裝系統3400中的結構堅固性。該介電材料3408是設計以該介電材料3408填充該凹部3414並在該高臺3412上具有較小的間隙3428的形
式,來增加可靠性及結構堅固性。
跡線3432在該介電材料3408的上表面3430上。該跡線3432是形成在該間隙3428內,以與由該介電材料3408之間的該間隙3428所暴露的該端子3406的該高臺3412電性連接且直接接觸。該跡線3432是定義為導電元件,該導電元件是設計將重新分佈電性信號。該跡線3432是設計以重新分佈電性信號,它們通常是電性隔離,而沒有過度地大,以減少引入寄生電感,且不會封蓋該介電材料3408的整個上表面3430。
經發現,本發明的該跡線3432當與該端子3406耦接並形成在該介電材料3408上時,致能該基板3409的有效高溫性能。該跡線3432、該介電材料3408和該端子3406的組合,當以所描述的方式組合及利用時,經發現具有改進熱及電性性質。改進該積體電路封裝系統3400熱性能將增加本發明利用在高應力及高溫度應用的多個領域的機會。
在該端子3406上方是積體電路3434,該積體電路3434是繪示如具有作用側3436的覆晶晶粒。該作用側3436是顯示面對朝向該端子3406。
經發現,與該介電材料3408耦接的該端子3406提供結構穩定性及減少該積體電路3434翹曲並至終間斷或損壞的風險。經發現,由該端子3406及該介電材料3408所提供的結構支撐性,可增加該積體電路封裝系統3400的可靠性及性能。
該積體電路3434的該作用側3436是以繪示如焊錫凸塊的互連3440而電性連接至該跡線3432。該焊錫凸塊3440是顯示在沿著該跡線3432的不同點處與該跡線3432直接接觸。該焊錫凸塊3440可連接越過該間隙3428、沿著靠近該積體電路3434的該跡線、彼此之間間隔理想距離、或在該跡線3432上超過該間隙3428並且離開該積體電路3434的部分。該覆晶晶粒3434是大到足以懸掛在該跡線3432及部分該介電材料3408上。
經發現,該跡線3432通過允許利用較小的覆晶晶粒3434,而提供改進的電性性能。此通過允許該跡線3432的設計彈性,以應付較大的製程及設計彈性,以補償該積體電路3434的大的固定尺寸。
密封件3442圍繞該積體電路3434、該互連3440及該跡線3432。該密封件3442可為滴膠、膜輔助成型、或其他包裝結構。
經發現,利用本發明的該跡線3432,連同該積體電路3434及該密封件3442,可通過減少覆晶晶粒3434的尺寸,以減少生產成本及複雜性。由於該積體電路3434的間斷及損壞的尺寸及磁化率是實質地減少,因此,可採用較便宜的非壓模。
該覆晶晶粒3434可直接由該互連3440而選擇性地連接至該端子3406,其中,該互連3440是與該端子3406直接接觸,並且與該跡線3432隔離。該覆晶晶粒3434可另外採用混合方式,以允許直接至該端子3406的一些連接及
經由該跡線3432作成的其他連接。
可形成多層該跡線3432及該介電材料3408,以致能具有許多更多連接點的信號繞線。該跡線3432可熔接在一起,以致能電源、接地、或信號被繞線至多個端子3406或多個焊錫凸塊3440。該端子3406是繪示成多列組構,該多列組構是設計用來有效率地利用該積體電路封裝系統3400尺寸下方的全部空間,並致能更小的覆晶晶粒3434。打線接合晶粒也可堆疊在該積體電路3434上,並且以接合打線連接至該跡線3432,以形成混合式覆晶晶粒及打線接合晶粒堆疊。
現在參照第35圖,此處所顯示的是本發明的第十實施例中的積體電路封裝系統3500的剖面圖。該積體電路封裝系統3500可包含晶粒墊3504及端子3506。該端子3506是定義成導電件,該導電件是設計以在該端子上方的結構提供空隙,並具有側向隔離,以沒有直接接觸其他端子。為了這個原因,該端子3506也已知為空隙件端子。
在該端子上方是介電材料3508。該介電材料3508是沈積以與該晶粒墊3504及該端子3506直接接觸。該介電材料3508是顯示形成在該端子3506之間。該介電材料3508進一步顯示形成在該端子3506與該晶粒墊3504之間。該介電材料3508將該端子3506及該晶粒墊3504牢固地耦接在適當的位置,以形成基板3509。
該端子3506是顯示具有頂部3510。該端子3506的該頂部3510可包含高臺3512,並且也包含從該高臺3512延
伸至該端子3506的最大寬度3516的凹部3514。該介電材料3508是從該高臺3512至該端子3506的該最大寬度3516而與該端子3506的該頂部3510直接接觸,並且填充該凹部3514。
在該端子3506的該最大寬度3516下方是從該端子3506的該最大寬度3516延伸向下的底部3518。該底部3518可包含從該最大寬度3516向下延伸至該底部3518的基部3522的凹口3520。該基部3522是繪示為平的或平坦的。微坑的表面3524在該底部3518中並在該基部3522的中心內。
該微坑的表面3524可予以圓形化,如該端子3506的該微坑的表面3524中所顯示的。接觸層3526封蓋一些該底部3518。該接觸層3526是定義成一種材料,該材料可牢固地連結至該端子3506的表面,並形成與其他元件的電性連接,且可被予以回焊,以形成堅固的連接。該接觸層3526可為焊錫膏、含錫或鉛層、或導電性高溫聚合物。該接觸層3526可以具有均勻剖面的均勻保角層,來封蓋該端子3506的一些該底部3518。該接觸層3526是顯示以沿著該基部3522並在該微坑的表面3524內的均勻且保角膜,來封蓋該端子3506的該底部3518表面。該接觸層3526是還繪示為封蓋該晶粒墊3504的該底側。
經發現,形成在該微坑的表面3524的側表面上的該接觸層3526增加焊錫封蓋性。以該端子3506及該晶粒墊3504增加焊錫封蓋性可增加板級可靠性及性能。本發明的
該接觸層3526還可由印刷製程加以形成,從而增加製造精確性,而沒有額外的成本。
該端子3506的該頂部3510是顯示具有該介電材料3508形成於其上。該介電材料3508在該頂部3510上可包含間隙3528,該間隙3528從該介電材料3508之間暴露部分該高臺3512。該間隙3528是定義成間隙或缺少該介電材料3508,該間隙從該介電材料3508之間暴露部分該高臺3512。該介電材料3508可被設計以在製程期間支撐該端子3506,並且增加該積體電路封裝系統3500中的結構堅固性。該介電材料3508是設計以該介電材料3508填充該凹部3514並在該高臺3512上具有較小的間隙3528的形式,來增加可靠性及結構堅固性。
跡線3532在該介電材料3508的上表面3530上。該跡線3532是形成在該間隙3528內,以與由該介電材料3508之間的該間隙3528所暴露的該端子3506的該高臺3512電性連接且直接接觸。該跡線3532是定義為導電元件,該導電元件是設計將重新分佈電性信號。該跡線3532是設計以重新分佈電性信號,它們通常是電性隔離,而沒有過度地大,以減少引入寄生電感,且不會封蓋該介電材料3508的整個上表面3530。
經發現,本發明的該跡線3532當與該端子3506耦接並形成在該介電材料3508上時,致能該基板3509的有效高溫性能。該跡線3532、該介電材料3508和該端子3506的組合,當以所描述的方式組合及利用時,經發現具有改
進熱及電性性質。改進該積體電路封裝系統3500熱性能將增加本發明利用在高應力及高溫度應用的多個領域的機會。
在該晶粒墊3504上方是積體電路3534,該積體電路3534是繪示如具有作用側3536的覆晶晶粒。該作用側3536是顯示面對朝向該晶粒墊3504。
經發現,該晶粒墊3504提供結構穩定性及減少該積體電路3534翹曲並至終間斷或損壞的風險。經發現,由該晶粒墊3504所提供的結構支撐性,可增加該積體電路封裝系統3500的可靠性及性能。
該積體電路3534的該作用側3536是以繪示如焊錫凸塊的互連3540而電性連接至該跡線3532。該焊錫凸塊3540是顯示在沿著該跡線3532的不同點處與該跡線3532直接接觸。該焊錫凸塊3540可連接越過該間隙3528、沿著靠近該積體電路3534的該跡線、彼此之間間隔理想距離、或在該跡線3532上超過該間隙3528並且離開該積體電路3534的部分。該覆晶晶粒3534是大到足以懸掛在該跡線3532及部分該介電材料3508上。
經發現,該跡線3532通過允許利用較小的覆晶晶粒3534,而提供改進的電性性能。此通過允許該跡線3532的設計彈性,以應付較大的製程及設計彈性,以補償該積體電路3534的大的固定尺寸。
密封件3542圍繞該積體電路3534、該互連3540及該跡線3532。該密封件3542可為滴膠、膜輔助成型、或其
他包裝結構。
經發現,利用本發明的該跡線3532,連同該積體電路3534及該密封件3542,可通過減少覆晶晶粒3534的尺寸,以減少生產成本及複雜性。由於該積體電路3534的間斷及損壞的尺寸及磁化率是實質地減少,因此,可採用較便宜的非壓模。
該覆晶晶粒3534可直接由該互連3540而選擇性地連接至該端子3506,其中,該互連3540是與該端子3506直接接觸,並且與該跡線3532隔離。該覆晶晶粒3534可另外採用混合方式,以允許直接至該端子3506的一些連接及經由該跡線3532作成的其他連接。
可形成多層該跡線3532及該介電材料3508,以致能具有許多更多連接點的信號繞線。該跡線3532可熔接在一起,以致能電源、接地、或信號被繞線至多個端子3506或多個焊錫凸塊3540。該端子3506是繪示成多列組構,該多列組構是設計用來有效率地利用該積體電路封裝系統3500尺寸下方的全部空間,並致能更小的覆晶晶粒3534。打線接合晶粒也可堆疊在該積體電路3534上,並且以接合打線連接至該跡線3532,以形成混合式覆晶晶粒及打線接合晶粒堆疊。
現在參照第36圖,此處所顯示的是本發明的第十一實施例中的積體電路封裝系統3600的剖面圖。該積體電路封裝系統3600可包含端子3606。該端子3606是定義成導電件,該導電件是設計以在該端子上方的結構提供空隙,
並具有側向隔離,以沒有直接接觸其他端子。為了這個原因,該端子3606也已知為空隙件端子。
該端子3606是顯示具有類似寬度及高度。介電材料3608在該端子3606上方。該介電材料3608是形成與該端子3606直接接觸。該介電材料3608是顯示形成在該端子3606之間。該介電材料3608將該端子3606牢固地耦接在適當的位置,以形成基板3609。
該端子3606是顯示具有頂部3610。該端子3606的該頂部3610可包含高臺3612,以及也可包含凹部3614,該凹部3614從該高臺3612延伸至該端子3606的最大寬度3616。該介電材料3608與該端子3606從該高臺3612至該端子3606的該最大寬度3616的該頂部3610直接接觸,並填充該凹部3614。
在該端子3606的最大寬度3616下方為底部3618,該底部3618從該端子3606的該最大寬度3616向下延伸。該底部3618可包含凹口3620,該凹口3620從該最大寬度3616向下延伸至該底部3618的基部3622。該基部3622是繪示如平的或平坦的。微坑的表面3624在該底部3618中及在該基部3622的中心內。
該微坑的表面3624可予以圓形化,如該端子3606的該微坑的表面3624中所顯示的。
接觸層3626封蓋一些該底部3618。該接觸層3626是定義成一種材料,該材料可牢固地連結至該端子3606的表面,並形成與其他元件的電性連接,且可被予以回焊,以
形成堅固的連接。該接觸層3626可為焊錫膏、含錫或鉛層、或導電性高溫聚合物。該接觸層3626可以具有均勻剖面的均勻保角層,來封蓋該端子3606的一些該底部3618。
經發現,形成在該微坑的表面3624內的側表面上的該接觸層3626增加焊錫封蓋性。以該端子3606增加焊錫封蓋性可增加板級可靠性及性能。本發明的該接觸層3626還可由印刷製程加以形成,從而增加製造精確性,而沒有額外的成本。
該端子3606的該頂部3610是顯示具有該介電材料3608形成於其上。該介電材料3608在該頂部3610上可包含間隙3628,該間隙3628從該介電材料3608之間暴露部分該高臺3612。該間隙3628是定義成間隙或缺少該介電材料3608,該間隙從該介電材料3608之間暴露部分該高臺3612。該介電材料3608可被設計以在製程期間支撐該端子3606,並且增加該積體電路封裝系統3600中的結構堅固性。該介電材料3608是設計以該介電材料3608填充該凹部3614並在該高臺3612上具有較小的間隙3628的形式,來增加可靠性及結構堅固性。
跡線3632在該介電材料3608的上表面3630上。該跡線3632是形成在該間隙3628內,以與由該介電材料3608之間的該間隙3628所暴露的該端子3606的該高臺3612電性連接且直接接觸。該跡線3632是定義為導電元件,該導電元件是設計將重新分佈電性信號。該跡線3632是設計以重新分佈電性信號,它們通常是電性隔離,而沒
有過度地大,以減少引入寄生電感,且不會封蓋該介電材料3608的整個上表面3630。
經發現,本發明的該跡線3632當與該端子3606耦接並形成在該介電材料3608上時,致能該基板3609的有效高溫性能。該跡線3632、該介電材料3608和該端子3606的組合,當以所描述的方式組合及利用時,經發現具有改進熱及電性性質。改進該積體電路封裝系統3600熱性能將增加本發明利用在高應力及高溫度應用的多個領域的機會。
在該端子3606上方是積體電路3634,該積體電路3634是繪示如具有作用側3636的覆晶晶粒。該作用側3636是顯示面對朝向該端子3606。
經發現,與該介電材料3608耦接的該端子3606提供結構穩定性及減少該積體電路3634翹曲並至終間斷或損壞的風險。經發現,由該端子3606及該介電材料3608所提供的結構支撐性,可增加該積體電路封裝系統3600的可靠性及性能。
該積體電路3634的該作用側3636是以繪示如焊錫凸塊的互連3640而電性連接至該跡線3632。該焊錫凸塊3640是顯示在沿著該跡線3632的不同點處與該跡線3632直接接觸。該焊錫凸塊3640可連接越過該間隙3628、沿著靠近該積體電路3634的該跡線、彼此之間間隔理想距離、或在該跡線3632上超過該間隙3628並且離開該積體電路3634的部分。該覆晶晶粒3634是大到足以懸掛在該跡線
3632及部分該介電材料3608上。
經發現,該跡線3632通過允許利用較小的覆晶晶粒3634,而提供改進的電性性能。此通過允許該跡線3632的設計彈性,以應付較大的製程及設計彈性,以補償該積體電路3634的大的固定尺寸。
密封件3642圍繞該積體電路3634、該互連3640及該跡線3632。該密封件3642可為滴膠、膜輔助成型、或其他包裝結構。
經發現,利用本發明的該跡線3632,連同該積體電路3634及該密封件3642,可通過減少覆晶晶粒3634的尺寸,以減少生產成本及複雜性。由於該積體電路3634的間斷及損壞的尺寸及磁化率是實質地減少,因此,可採用較便宜的非壓模。
該覆晶晶粒3634可直接由該互連3640而選擇性地連接至該端子3606,其中,該互連3640是與該端子3606直接接觸,並且與該跡線3632隔離。該覆晶晶粒3634可另外採用混合方式,以允許直接至該端子3606的一些連接及經由該跡線3632作成的其他連接。
可形成多層該跡線3632及該介電材料3608,以致能具有許多更多連接點的信號繞線。該跡線3632可熔接在一起,以致能電源、接地、或信號被繞線至多個端子3606或多個焊錫凸塊3640。該端子3606是繪示成多列組構,該多列組構是設計用來有效率地利用該積體電路封裝系統3600尺寸下方的全部空間,並致能更小的覆晶晶粒3634。
打線接合晶粒也可堆疊在該積體電路3634上,並且以接合打線連接至該跡線3632,以形成混合式覆晶晶粒及打線接合晶粒堆疊。
現在參照第37圖,此處所顯示的是本發明的第十二實施例中的積體電路封裝系統3700的剖面圖。該積體電路封裝系統3700可包含晶粒墊3704及端子3706。該端子3706是定義成導電件,該導電件是設計以在該端子上方的結構提供空隙,並具有側向隔離,以沒有直接接觸其他端子。為了這個原因,該端子3706也已知為空隙件端子。
在該端子3706上方是介電材料3708。該介電材料3708是沈積以與該晶粒墊3704及該端子3706直接接觸。該介電材料3708是顯示形成在該端子3706之間。該介電材料3708進一步顯示形成在該端子3706與該晶粒墊3704之間。該介電材料3708將該端子3706及該晶粒墊3704牢固地耦接在適當的位置,以形成基板3709。
該端子3706是顯示具有頂部3710。該端子3706的該頂部3710可包含高臺3712,並且也包含從該高臺3712延伸至該端子3706的最大寬度3716的凹部3714。該介電材料3708是從該高臺3712至該端子3706的該最大寬度3716而與該端子3706的該頂部3710直接接觸,並且填充該凹部3714。
在該端子3706的該最大寬度3716下方是從該端子3706的該最大寬度3716延伸向下的底部3718。該底部3718可包含從該最大寬度3716向下延伸至該底部3718的
基部3722的凹口3720。該基部3722是繪示為平的或平坦的。微坑的表面3724在該底部3718中並在該基部3722的中心內。
該微坑的表面3724可予以圓形化,如該端子3706的該微坑的表面3724中所顯示的。接觸層3726封蓋一些該底部3718。該接觸層3726是定義成一種材料,該材料可牢固地連結至該端子3706的表面,並形成與其他元件的電性連接,且可被予以回焊,以形成堅固的連接。該接觸層3726可為焊錫膏、含錫或鉛層、或導電性高溫聚合物。該接觸層3726可以具有均勻剖面的均勻保角層,來封蓋該端子3706的一些該底部3718。該接觸層3726是顯示以沿著該基部3722並在該微坑的表面3724內的均勻且保角膜,來封蓋該端子3706的該底部3718表面。該接觸層3726是還繪示為封蓋該晶粒墊3704的該底側。
經發現,形成在該微坑的表面3724的側表面上的該接觸層3726增加焊錫封蓋性。以該端子3706及該晶粒墊3704增加焊錫封蓋性可增加板級可靠性及性能。本發明的該接觸層3726還可由印刷製程加以形成,從而增加製造精確性,而沒有額外的成本。
該端子3706的該頂部3710是顯示具有該介電材料3708形成於其上。該介電材料3708在該頂部3710上可包含間隙3728,該間隙3728從該介電材料3708之間暴露部分該高臺3712。該間隙3728是定義成間隙或缺少該介電材料3708,該間隙從該介電材料3708之間暴露部分該高
臺3712。該介電材料3708可被設計以在製程期間支撐該端子3706,並且增加該積體電路封裝系統3700中的結構堅固性。該介電材料3708是設計以該介電材料3708填充該凹部3714並在該高臺3712上具有較小的間隙3728的形式,來增加可靠性及結構堅固性。
跡線3732在該介電材料3708的上表面3730上。該跡線3732是形成在該間隙3728內,以與由該介電材料3708之間的該間隙3728所暴露的該端子3706的該高臺3712電性連接且直接接觸。該跡線3732是定義為導電元件,該導電元件是設計將重新分佈電性信號。該跡線3732是設計以重新分佈電性信號,它們通常是電性隔離,而沒有過度地大,以減少引入寄生電感,且不會封蓋該介電材料3708的整個上表面3730。
經發現,本發明的該跡線3732當與該端子3706耦接並形成在該介電材料3708上時,致能該基板3709的有效高溫性能。該跡線3732、該介電材料3708和該端子3706的組合,當以所描述的方式組合及利用時,經發現具有改進熱及電性性質。改進該積體電路封裝系統3700熱性能將增加本發明利用在高應力及高溫度應用的多個領域的機會。
在該晶粒墊3704上方是積體電路3734,該積體電路3734是繪示如具有作用側3736的覆晶晶粒。該作用側3736是顯示面對朝向該晶粒墊3704。
經發現,該晶粒墊3704提供結構穩定性及減少該積
體電路3734翹曲並至終間斷或損壞的風險。經發現,由該晶粒墊3704所提供的結構支撐性,可增加該積體電路封裝系統3700的可靠性及性能。
該積體電路3734的該作用側3736是以繪示如焊錫凸塊的互連3740而電性連接至該跡線3732。該焊錫凸塊3740是顯示在沿著該跡線3732的不同點處與該跡線3732直接接觸。該焊錫凸塊3740可連接越過該間隙3728、沿著靠近該積體電路3734的該跡線、彼此之間間隔理想距離、或在該跡線3732上超過該間隙3728並且離開該積體電路3734的部分。該覆晶晶粒3734是大到足以懸掛在該跡線3732及部分該介電材料3708上。
經發現,該跡線3732通過允許利用較小的覆晶晶粒3734,而提供改進的電性性能。此通過允許該跡線3732的設計彈性,以應付較大的製程及設計彈性,以補償該積體電路3734的大的固定尺寸。
密封件3742圍繞該積體電路3734、該互連3740及該跡線3732。該密封件3742可為滴膠、膜輔助成型、或其他包裝結構。焊錫球滴3744在該微坑的表面3724上。經發現,採用焊錫球滴3744可增加一致的球共平面性及增強板級可靠性。
經發現,利用本發明的該跡線3732,連同該積體電路3734及該密封件3742,可通過減少覆晶晶粒3734的尺寸,以減少生產成本及複雜性。由於該積體電路3734的間斷及損壞的尺寸及磁化率是實質地減少,因此,可採用較便宜
的非壓模。
該覆晶晶粒3734可直接由該互連3740而選擇性地連接至該端子3706,其中,該互連3740是與該端子3706直接接觸,並且與該跡線3732隔離。該覆晶晶粒3734可另外採用混合方式,以允許直接至該端子3706的一些連接及經由該跡線3732作成的其他連接。
可形成多層該跡線3732及該介電材料3708,以致能具有許多更多連接點的信號繞線。該跡線3732可熔接在一起,以致能電源、接地、或信號被繞線至多個端子3706或多個焊錫凸塊3740。該端子3706是繪示成多列組構,該多列組構是設計用來有效率地利用該積體電路封裝系統3700尺寸下方的全部空間,並致能更小的覆晶晶粒3734。打線接合晶粒也可堆疊在該積體電路3734上,並且以接合打線連接至該跡線3732,以形成混合式覆晶晶粒及打線接合晶粒堆疊。
現在參照第38圖,此處所顯示的是本發明的第十三實施例中的積體電路封裝系統3800的剖面圖。該積體電路封裝系統3800可包含端子3806。該端子3806是定義成導電件,該導電件是設計以在該端子上方的結構提供空隙,並具有側向隔離,以沒有直接接觸其他端子。為了這個原因,該端子3806也已知為空隙件端子。
該端子3806是顯示具有類似寬度及高度。介電材料3808在該端子3806上方。該介電材料3808是形成與該端子3806直接接觸。該介電材料3808是顯示形成在該端子
3806之間。該介電材料3808將該端子3806牢固地耦接在適當的位置,以形成基板3809。
該端子3806是顯示具有頂部3810。該端子3806的該頂部3810可包含高臺3812,以及也可包含凹部3814,該凹部3814從該高臺3812延伸至該端子3806的最大寬度3816。該介電材料3808與該端子3806從該高臺3812至該端子3806的該最大寬度3816的該頂部3810直接接觸,並填充該凹部3814。
在該端子3806的最大寬度3816下方為底部3818,該底部3818從該端子3806的該最大寬度3816向下延伸。該底部3818可包含凹口3820,該凹口3820從該最大寬度3816向下延伸至該底部3818的基部3822。該基部3822是繪示如平的或平坦的。微坑的表面3824在該底部3818中及在該基部3822的中心內。
該微坑的表面3824可予以圓形化,如該端子3806的該微坑的表面3824中所顯示的。
接觸層3826封蓋一些該底部3818。該接觸層3826是定義成一種材料,該材料可牢固地連結至該端子3806的表面,並形成與其他元件的電性連接,且可被予以回焊,以形成堅固的連接。該接觸層3826可為焊錫膏、含錫或鉛層、或導電性高溫聚合物。該接觸層3826可以具有均勻剖面的均勻保角層,來封蓋該端子3806的一些該底部3818。
經發現,形成在該微坑的表面3824內的側表面上的該接觸層3826增加焊錫封蓋性。以該端子3806增加焊錫
封蓋性可增加板級可靠性及性能。本發明的該接觸層3826還可由印刷製程加以形成,從而增加製造精確性,而沒有額外的成本。
該端子3806的該頂部3810是顯示具有該介電材料3808形成於其上。該介電材料3808在該頂部3810上可包含間隙3828,該間隙3828從該介電材料3808之間暴露部分該高臺3812。該間隙3828是定義成間隙或缺少該介電材料3808,該間隙從該介電材料3808之間暴露部分該高臺3812。該介電材料3808可被設計以在製程期間支撐該端子3806,並且增加該積體電路封裝系統3800中的結構堅固性。該介電材料3808是設計以該介電材料3808填充該凹部3814並在該高臺3812上具有較小的間隙3828的形式,來增加可靠性及結構堅固性。
跡線3832在該介電材料3808的上表面3830上。該跡線3832是形成在該間隙3828內,以與由該介電材料3808之間的該間隙3828所暴露的該端子3806的該高臺3812電性連接且直接接觸。該跡線3832是定義為導電元件,該導電元件是設計將重新分佈電性信號。該跡線3832是設計以重新分佈電性信號,它們通常是電性隔離,而沒有過度地大,以減少引入寄生電感,且不會封蓋該介電材料3808的整個上表面3830。
經發現,本發明的該跡線3832當與該端子3806耦接並形成在該介電材料3808上時,致能該基板3809的有效高溫性能。該跡線3832、該介電材料3808和該端子3806
的組合,當以所描述的方式組合及利用時,經發現具有改進熱及電性性質。改進該積體電路封裝系統3800熱性能將增加本發明利用在高應力及高溫度應用的多個領域的機會。
在該端子3806上方是積體電路3834,該積體電路3834是繪示如具有作用側3836的覆晶晶粒。該作用側3836是顯示面對朝向該端子3806。
經發現,與該介電材料3808耦接的該端子3806提供結構穩定性及減少該積體電路3834翹曲並至終間斷或損壞的風險。經發現,由該端子3806及該介電材料3808所提供的結構支撐性,可增加該積體電路封裝系統3800的可靠性及性能。
該積體電路3834的該作用側3836是以繪示如焊錫凸塊的互連3840而電性連接至該跡線3832。該焊錫凸塊3840是顯示在沿著該跡線3832的不同點處與該跡線3832直接接觸。該焊錫凸塊3840可連接越過該間隙3828、沿著靠近該積體電路3834的該跡線、彼此之間間隔理想距離、或在該跡線3832上超過該間隙3828並且離開該積體電路3834的部分。該覆晶晶粒3834是大到足以懸掛在該跡線3832及部分該介電材料3808上。
經發現,該跡線3832通過允許利用較小的覆晶晶粒3834,而提供改進的電性性能。此通過允許該跡線3832的設計彈性,以應付較大的製程及設計彈性,以補償該積體電路3834的大的固定尺寸。
密封件3842圍繞該積體電路3834、該互連3840及該跡線3832。該密封件3842可為滴膠、膜輔助成型、或其他包裝結構。焊錫球滴3844在該微坑的表面3824上。經發現,採用焊錫球滴3844增加一致的球共平面性及增強板級可靠性。
經發現,利用本發明的該跡線3832,連同該積體電路3834及該密封件3842,可通過減少覆晶晶粒3834的尺寸,以減少生產成本及複雜性。由於該積體電路3834的間斷及損壞的尺寸及磁化率是實質地減少,因此,可採用較便宜的非壓模。
該覆晶晶粒3834可直接由該互連3840而選擇性地連接至該端子3806,其中,該互連3840是與該端子3806直接接觸,並且與該跡線3832隔離。該覆晶晶粒3834可另外採用混合方式,以允許直接至該端子3806的一些連接及經由該跡線3832作成的其他連接。
可形成多層該跡線3832及該介電材料3808,以致能具有許多更多連接點的信號繞線。該跡線3832可熔接在一起,以致能電源、接地、或信號被繞線至多個端子3806或多個焊錫凸塊3840。該端子3806是繪示成多列組構,該多列組構是設計用來有效率地利用該積體電路封裝系統3800尺寸下方的全部空間,並致能更小的覆晶晶粒3834。打線接合晶粒也可堆疊在該積體電路3834上,並且以接合打線連接至該跡線3832,以形成混合式覆晶晶粒及打線接合晶粒堆疊。
現在參照第39圖,此處所顯示的是本發明的另一實施例中製造第1圖的該積體電路封裝系統100的方法3900的流程圖。該方法3900包含:在方塊3902中,設置具有頂部的端子,該頂部有凹部;在方塊3904中,在該凹部中施加介電材料,該介電材料具有形成於其中的間隙,並且從該間隙暴露一部分該頂部;在方塊3906中,在該間隙內形成與該頂部直接接觸的跡線,該跡線在該介電材料的上表面上方側向地延伸;以及,在方塊3908中,將積體電路經由該跡線連接至該端子。
因此,經發現,本發明的該端子系統針對積體電路封裝系統組構,完成重要且至今未知及未有的解決方案、能力、及功能性態樣。該生成的製程及組構是直接的、有成本效益的、不複雜的、高度變化性的、準確的、敏感的、及有效的,並可通過選用已知元件來加以實作,以快速、有效率的、及經濟的製造、應用及利用。
雖然本發明已連同特定的最佳模式加以描述,然而,應瞭解到,對於本領域的技術人員而言,依據先前的描述,許多替代、修改、及變化將是明顯的。因此,打算涵蓋落於所包含的權利範圍的範圍內的所有這種替代、修改、及變化。截至目前為止在此處所提及、或顯示在伴隨的附圖中的所有事項,均應被解讀為例示及非限制觀念。
100、1400、2000、2500、2700、3000、3200、3300、3400、3500、3600、3700、3800‧‧‧積體電路封裝系統
102、2042、2542、2742、3042、3242、3342、3442、3542、3642、3742、3842‧‧‧密封件
204、1604、1704、1804、1904、3004、3304、3504、3704‧‧‧
晶粒墊
206、1606、1706、1806、1906、2006、2406、2506、2706、2906、3006、3206、3306、3406、3506、3606、3706、3806‧‧‧端子
208、1608、1708、1808、1908、2008、2408、2508、2708、2908、3008、3208、3308、3408、3508、3608、3708、3808‧‧‧介電材料
209、2009、2509、2709、3009、3209、3309、3409、3509、3609、3709、3809‧‧‧基板
210、2010、2510、2710、3010、3210、3310、3410、3510、3610、3710、3810‧‧‧頂部
212、1612、1712、1812、1912、2012、2412、2512、2712、3012、3212、3312、3412、3512、3612、3712、3812‧‧‧高臺
214、2014、2514、2714、3014、3214、3314、3414、3514、3614、3714、3814‧‧‧凹部
216、2016、2516、2716、2916、3016、3216、3316、3416、3516、3616、3716、3816‧‧‧最大寬度
218、2018、2518、2718、2918、3018、3218、3318、3418、3518、3618、3718、3818‧‧‧底部
220、2020、2520、2720、2920、3020、3220、3320、3420、3520、3620、3720、3820‧‧‧凹口
222、2022、2522、2722、2922、3022、3222、3322、3422、3522、3622、3722、3822‧‧‧基部
226、2026、2526、2726、2926、3026、3226、3326、3426、
3526、3626、3726、3826‧‧‧接觸層
228、1628、1728、1828、1928、2028、2428、2528、2728、2928、3028、3228、3328、3428、3528、3628、3728、3828‧‧‧間隙
230、2030、2530、2730、3030、3230、3330、3430、3530、3630、3730、3830‧‧‧上表面
232、1632、1732、1832、1932、2032、2432、2532、2732、2932、3032、3232、3332、3432、3532、3632、3732、3832‧‧‧跡線
234、2034、2534、2734、3034、3234、3334、3434、3534、3634、3734、3834‧‧‧積體電路
236、2036、2536、2736、3036、3236、3336、3436、3536、3636、3736、3836‧‧‧作用側
238、2038、2538、2738、3038、3238‧‧‧黏著劑
240、2040、2540、2740、2940、3040、3240、3340、3440、3540、3640、3740、3840‧‧‧互連、接合打線、焊錫凸塊
302、1600、1700、1800、1900、2101‧‧‧引線框架元件
402‧‧‧結構
1402‧‧‧焊錫球
1744、1944‧‧‧周界跡線
1846、1946‧‧‧第一周界跡線
1848、1948‧‧‧第二周界跡線
2102、2444‧‧‧中心
2104、2446‧‧‧周界區域
2106、2448‧‧‧單一方向
2400‧‧‧結構
2524、2724、2924、3024、3224、3524、3624、3724、3824‧‧‧微坑的表面
2900‧‧‧端子元件
3044、3744、3844‧‧‧焊錫球滴
3900‧‧‧方法
3902、3904、3906、3908‧‧‧方塊
第1圖為本發明的第一實施例中的積體電路封裝系統的上視圖。
第2圖為該積體電路封裝系統沿著第1圖的線2-2的剖面圖。
第3圖為用來製造第2圖的該積體電路封裝系統於製造提供階段後的引線框架元件的剖面圖。
第4圖為結構於製造介電應用階段後的剖面圖。
第5圖為第4圖的該結構於製造間隙形成階段後的剖面圖。
第6圖為第5圖的該結構於製造跡線形成階段後的剖面圖。
第7圖為第6圖的該結構於製造選擇性覆鍍階段後的剖面圖。
第8圖為第7圖的該結構於製造打線接合階段後的剖面圖。
第9圖為第8圖的該結構的上視圖。
第10圖為第8圖的該結構於製造模化階段後的剖面圖。
第11圖為第10圖的該結構於製造蝕刻階段後的剖面圖。
第12圖為第2圖的該積體電路封裝系統於製造切單階段後的剖面圖。
第13圖為第12圖的該積體電路封裝系統的下視圖。
第14圖為本發明的第二實施例中的積體電路封裝系統的剖面圖。
第15圖為第14圖的該積體電路封裝系統的下視圖。
第16圖為用於本發明的實施例中的引線框架元件的上視圖。
第17圖為用於本發明的實施例中的引線框架元件的上視圖。
第18圖為用於本發明的實施例中的引線框架元件的上視圖。
第19圖為用於本發明的實施例中的引線框架元件的上視圖。
第20圖為本發明的第三實施例中的積體電路封裝系統的剖面圖。
第21圖為用來製造第20圖的該積體電路封裝系統於製造跡線形成階段後的引線框架元件的上視圖。
第22圖為結構於製造打線接合階段後的上視圖。
第23圖為第20圖的該積體電路封裝系統於製造蝕刻階段後的下視圖。
第24圖為用於本發明的實施例中結構的上視圖。
第25圖為本發明的第四實施例中的積體電路封裝系統的剖面圖。
第26圖為第25圖的區域26-26的放大剖面圖。
第27圖為本發明的第五實施例中的積體電路封裝系統的剖面圖。
第28圖為第27圖的區域28-28的放大剖面圖。
第29圖為用於本發明的實施例中的端子元件。
第30圖為本發明的第六實施例中的積體電路封裝系
統的剖面圖。
第31圖為第30圖的區域31-31的放大剖面圖。
第32圖為本發明的第七實施例中的積體電路封裝系統的剖面圖。
第33圖為本發明的第八實施例中的積體電路封裝系統的剖面圖。
第34圖為本發明的第九實施例中的積體電路封裝系統的剖面圖。
第35圖為本發明的第十實施例中的積體電路封裝系統的剖面圖。
第36圖為本發明的第十一實施例中的積體電路封裝系統的剖面圖。
第37圖為本發明的第十二實施例中的積體電路封裝系統的剖面圖。
第38圖為本發明的第十三實施例中的積體電路封裝系統的剖面圖。
第39圖為本發明的另外實施例中製造第1圖的該積體電路封裝系統的方法的流程圖。
3902、3904、3906、3908‧‧‧方塊
Claims (10)
- 一種製造積體電路封裝系統的方法,包括:設置具有頂部的端子,該頂部有凹部;在該凹部中施加介電材料,該介電材料具有間隙,該間隙形成在該介電材料中,一部分該頂部從該間隙暴露;在該間隙內形成與該頂部直接接觸的跡線,該跡線在該介電材料的上表面上方側向地延伸;以及將積體電路經由該跡線連接至該端子。
- 如申請專利範圍第1項所述的方法,另包括:設置晶粒墊;在該晶粒墊下方施加接觸層;以及其中:形成該跡線包含形成圍繞該晶粒墊的周界跡線;以及另包括:將該積體電路安裝至該晶粒墊。
- 如申請專利範圍第1項所述的方法,另包括將該積體電路安裝在該跡線上方,該跡線延伸超過該積體電路。
- 如申請專利範圍第1項所述的方法,其中:形成該跡線包含形成多條跡線;以及另包括:將該積體電路安裝在該多條跡線上方,該多條跡線在距離該積體電路非均勻距離處終止。
- 如申請專利範圍第1項所述的方法,另包括將該積體電路安裝在該跡線上方,該跡線在該積體電路下方從該端子延伸超過該積體電路。
- 一種積體電路封裝系統,包括:具有頂部的端子,該頂部有凹部;在該凹部中的介電材料,該介電材料具有間隙,該間隙形成在該介電材料中,一部分該頂部從該間隙暴露;在該間隙內的跡線,該跡線直接接觸於該頂部,該跡線在該介電材料的上表面上方側向地延伸;以及經由該跡線而連接至該端子的積體電路。
- 如申請專利範圍第6項所述的積體電路封裝系統,另包括:鄰近該端子的晶粒墊;在該晶粒墊下方的接觸層;圍繞該晶粒墊的周界跡線;以及其中:該積體電路是固定至該晶粒墊。
- 如申請專利範圍第6項所述的積體電路封裝系統,其中,該跡線從該積體電路下方延伸超過該積體電路。
- 如申請專利範圍第6項所述的積體電路封裝系統,另包括多條跡線,該多條跡線在距離該積體電路非均勻距離處終止。
- 如申請專利範圍第6項所述的積體電路封裝系統,其 中,該跡線在該積體電路下方從該端子延伸超過該積體電路。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US13/102,044 US8735224B2 (en) | 2011-02-14 | 2011-05-05 | Integrated circuit packaging system with routed circuit lead array and method of manufacture thereof |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW201250942A TW201250942A (en) | 2012-12-16 |
TWI550782B true TWI550782B (zh) | 2016-09-21 |
Family
ID=47089717
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW101113153A TWI550782B (zh) | 2011-05-05 | 2012-04-13 | 具有路徑電路引線之積體電路封裝系統及其製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8735224B2 (zh) |
CN (1) | CN102768959B (zh) |
SG (1) | SG185201A1 (zh) |
TW (1) | TWI550782B (zh) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10522452B2 (en) | 2011-10-18 | 2019-12-31 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Packaging methods for semiconductor devices including forming trenches in workpiece to separate adjacent packaging substrates |
CN102376672B (zh) * | 2011-11-30 | 2014-10-29 | 江苏长电科技股份有限公司 | 无基岛球栅阵列封装结构及其制造方法 |
US9165878B2 (en) * | 2013-03-14 | 2015-10-20 | United Test And Assembly Center Ltd. | Semiconductor packages and methods of packaging semiconductor devices |
US9087777B2 (en) | 2013-03-14 | 2015-07-21 | United Test And Assembly Center Ltd. | Semiconductor packages and methods of packaging semiconductor devices |
CN103413766B (zh) * | 2013-08-06 | 2016-08-10 | 江阴芯智联电子科技有限公司 | 先蚀后封芯片正装三维系统级金属线路板结构及工艺方法 |
CN103456645B (zh) * | 2013-08-06 | 2016-06-01 | 江阴芯智联电子科技有限公司 | 先蚀后封三维系统级芯片正装堆叠封装结构及工艺方法 |
CN103400771B (zh) * | 2013-08-06 | 2016-06-29 | 江阴芯智联电子科技有限公司 | 先蚀后封芯片倒装三维系统级金属线路板结构及工艺方法 |
CN104425424A (zh) * | 2013-09-09 | 2015-03-18 | 日月光半导体制造股份有限公司 | 基板结构、半导体封装、堆迭式封装结构及其制造方法 |
CN105097758B (zh) * | 2014-05-05 | 2018-10-26 | 日月光半导体制造股份有限公司 | 衬底、其半导体封装及其制造方法 |
CN110637364B (zh) * | 2016-04-22 | 2022-10-28 | 德州仪器公司 | 改进的引线框系统 |
WO2022188071A1 (en) | 2021-03-10 | 2022-09-15 | Innoscience (suzhou) Semiconductor Co., Ltd. | Iii-nitride-based semiconductor packaged structure and method for manufacturing thereof |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TW200939418A (en) * | 2008-03-14 | 2009-09-16 | Advanced Semiconductor Eng | Semiconductor package and manufacturing method thereof |
TW201010037A (en) * | 2008-08-21 | 2010-03-01 | Advanced Semiconductor Eng | Advanced quad flat non-leaded package structure and manufacturing method thereof |
US20110079886A1 (en) * | 2009-10-01 | 2011-04-07 | Henry Descalzo Bathan | Integrated circuit packaging system with pad connection and method of manufacture thereof |
US20110079888A1 (en) * | 2009-10-01 | 2011-04-07 | Henry Descalzo Bathan | Integrated circuit packaging system with protective coating and method of manufacture thereof |
Family Cites Families (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5656550A (en) | 1994-08-24 | 1997-08-12 | Fujitsu Limited | Method of producing a semicondutor device having a lead portion with outer connecting terminal |
US5847458A (en) * | 1996-05-21 | 1998-12-08 | Shinko Electric Industries Co., Ltd. | Semiconductor package and device having heads coupled with insulating material |
US6498099B1 (en) | 1998-06-10 | 2002-12-24 | Asat Ltd. | Leadless plastic chip carrier with etch back pad singulation |
US6238952B1 (en) | 2000-02-29 | 2001-05-29 | Advanced Semiconductor Engineering, Inc. | Low-pin-count chip package and manufacturing method thereof |
US6562660B1 (en) | 2000-03-08 | 2003-05-13 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Method of manufacturing the circuit device and circuit device |
US6909178B2 (en) * | 2000-09-06 | 2005-06-21 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Semiconductor device and method of manufacturing the same |
KR20020031881A (ko) | 2000-10-24 | 2002-05-03 | 최종언 | 반도체 패키지 및 그 제조방법 |
US20030006055A1 (en) | 2001-07-05 | 2003-01-09 | Walsin Advanced Electronics Ltd | Semiconductor package for fixed surface mounting |
US7423340B2 (en) | 2003-01-21 | 2008-09-09 | Siliconware Precision Industries Co., Ltd. | Semiconductor package free of substrate and fabrication method thereof |
TWI241000B (en) | 2003-01-21 | 2005-10-01 | Siliconware Precision Industries Co Ltd | Semiconductor package and fabricating method thereof |
KR100538485B1 (ko) | 2003-11-12 | 2005-12-23 | 삼성전자주식회사 | 리드 프레임을 이용한 범프 칩 캐리어 패키지의 제조 방법 |
US7405106B2 (en) | 2006-05-23 | 2008-07-29 | International Business Machines Corporation | Quad flat no-lead chip carrier with stand-off |
TWI316749B (en) | 2006-11-17 | 2009-11-01 | Siliconware Precision Industries Co Ltd | Semiconductor package and fabrication method thereof |
TWI358809B (en) | 2007-06-13 | 2012-02-21 | Siliconware Precision Industries Co Ltd | Semiconductor package and fabrication method there |
TWI389220B (zh) | 2007-10-22 | 2013-03-11 | 矽品精密工業股份有限公司 | 半導體封裝件及其製法 |
US7993979B2 (en) * | 2007-12-26 | 2011-08-09 | Stats Chippac Ltd. | Leadless package system having external contacts |
US8283209B2 (en) * | 2008-06-10 | 2012-10-09 | Stats Chippac, Ltd. | Semiconductor device and method of forming PiP with inner known good die interconnected with conductive bumps |
MY163911A (en) | 2009-03-06 | 2017-11-15 | Shenzhen Standarad Patent & Trademark Agent Ltd | Leadless integrated circuit package having high density contacts |
US8304921B2 (en) | 2009-11-13 | 2012-11-06 | Stats Chippac Ltd. | Integrated circuit packaging system with interconnect and method of manufacture thereof |
CN101814482B (zh) | 2010-04-30 | 2012-04-25 | 江苏长电科技股份有限公司 | 有基岛引线框结构及其生产方法 |
CN101814481B (zh) | 2010-04-30 | 2012-01-25 | 江苏长电科技股份有限公司 | 无基岛引线框结构及其生产方法 |
US8455993B2 (en) | 2010-05-27 | 2013-06-04 | Stats Chippac Ltd. | Integrated circuit packaging system with multiple row leads and method of manufacture thereof |
US8304277B2 (en) | 2010-09-09 | 2012-11-06 | Stats Chippac, Ltd. | Semiconductor device and method of forming base substrate with cavities formed through etch-resistant conductive layer for bump locking |
US8519518B2 (en) | 2010-09-24 | 2013-08-27 | Stats Chippac Ltd. | Integrated circuit packaging system with lead encapsulation and method of manufacture thereof |
US8723324B2 (en) * | 2010-12-06 | 2014-05-13 | Stats Chippac Ltd. | Integrated circuit packaging system with pad connection and method of manufacture thereof |
US8193037B1 (en) | 2010-12-06 | 2012-06-05 | Stats Chippac Ltd. | Integrated circuit packaging system with pad connection and method of manufacture thereof |
US20120205811A1 (en) | 2011-02-14 | 2012-08-16 | Byung Tai Do | Integrated circuit packaging system with terminal locks and method of manufacture thereof |
US8658470B2 (en) | 2011-02-14 | 2014-02-25 | Stats Chippac Ltd. | Integrated circuit packaging system with formed interconnects and method of manufacture thereof |
US8759159B2 (en) | 2011-05-05 | 2014-06-24 | Stats Chippac Ltd. | Integrated circuit packaging system with electrical interface and method of manufacture thereof |
-
2011
- 2011-05-05 US US13/102,044 patent/US8735224B2/en active Active
-
2012
- 2012-04-02 SG SG2012023990A patent/SG185201A1/en unknown
- 2012-04-13 TW TW101113153A patent/TWI550782B/zh active
- 2012-05-04 CN CN201210137933.6A patent/CN102768959B/zh active Active
-
2014
- 2014-05-22 US US14/285,601 patent/US9299644B1/en active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TW200939418A (en) * | 2008-03-14 | 2009-09-16 | Advanced Semiconductor Eng | Semiconductor package and manufacturing method thereof |
TW200939417A (en) * | 2008-03-14 | 2009-09-16 | Advanced Semiconductor Eng | Semiconductor package and manufacturing method thereof |
TW201010037A (en) * | 2008-08-21 | 2010-03-01 | Advanced Semiconductor Eng | Advanced quad flat non-leaded package structure and manufacturing method thereof |
US20110079886A1 (en) * | 2009-10-01 | 2011-04-07 | Henry Descalzo Bathan | Integrated circuit packaging system with pad connection and method of manufacture thereof |
US20110079888A1 (en) * | 2009-10-01 | 2011-04-07 | Henry Descalzo Bathan | Integrated circuit packaging system with protective coating and method of manufacture thereof |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201250942A (en) | 2012-12-16 |
US20120280390A1 (en) | 2012-11-08 |
US9299644B1 (en) | 2016-03-29 |
US8735224B2 (en) | 2014-05-27 |
SG185201A1 (en) | 2012-11-29 |
CN102768959A (zh) | 2012-11-07 |
CN102768959B (zh) | 2017-10-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI550782B (zh) | 具有路徑電路引線之積體電路封裝系統及其製造方法 | |
TWI651828B (zh) | 晶片封裝結構及其製造方法 | |
US10475749B2 (en) | Semiconductor package | |
TWI442541B (zh) | 具有支撐結構之可堆疊式多晶片封裝件系統 | |
US8716065B2 (en) | Integrated circuit packaging system with encapsulation and method of manufacture thereof | |
US8264091B2 (en) | Integrated circuit packaging system with encapsulated via and method of manufacture thereof | |
US8513788B2 (en) | Integrated circuit packaging system with pad and method of manufacture thereof | |
US20090134509A1 (en) | Integrated circuit packaging system with carrier and method of manufacture thereof | |
US8247894B2 (en) | Integrated circuit package system with step mold recess | |
KR20080020069A (ko) | 반도체 패키지 및 그 제조방법 | |
US8482115B2 (en) | Integrated circuit packaging system with dual side connection and method of manufacture thereof | |
US8674516B2 (en) | Integrated circuit packaging system with vertical interconnects and method of manufacture thereof | |
US20130075923A1 (en) | Integrated circuit packaging system with encapsulation and method of manufacture thereof | |
US20120205811A1 (en) | Integrated circuit packaging system with terminal locks and method of manufacture thereof | |
US8699232B2 (en) | Integrated circuit packaging system with interposer and method of manufacture thereof | |
US8134242B2 (en) | Integrated circuit package system with concave terminal | |
US20130015589A1 (en) | Chip-on-package structure for multiple die stacks | |
US9299650B1 (en) | Integrated circuit packaging system with single metal layer interposer and method of manufacture thereof | |
US9576873B2 (en) | Integrated circuit packaging system with routable trace and method of manufacture thereof | |
US10811378B2 (en) | Electronic package and manufacturing method thereof | |
US9859200B2 (en) | Integrated circuit packaging system with interposer support structure mechanism and method of manufacture thereof | |
US8623711B2 (en) | Integrated circuit packaging system with package-on-package and method of manufacture thereof | |
US20100072591A1 (en) | Integrated circuit package system with anti-peel pad | |
US20080179726A1 (en) | Multi-chip semiconductor package and method for fabricating the same | |
US8420448B2 (en) | Integrated circuit packaging system with pads and method of manufacture thereof |