TWI491308B - 有機/無機白光發光元件及其製作方法 - Google Patents
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Description
本發明是有關於一種白光發光元件，特別是有關於一種有機/無機白光發光元件及其製作方法。
一般白光發光二極體可分為無機白光發光二極體或有機白光發光二極體。其中，無機白光發光二極體的製作牽涉材料晶格匹配的問題，而且需要高真空高溫的製程設備，因此造成無機白光發光二極體之製作成本不易下降；另外，有機白光發光二極體之白光材料需要昂貴而複雜之化學製程，而以三層不同色光之有機材料所組成的白光發光元件則有各層發光強度不一致的問題，當各層發光強度不一致時，容易造成色偏的問題。
鑑於上述習知技術所存在的缺點，有必要提出一種白光發光元件，其製作成本低廉，不需使用昂貴的高真空高溫的製程設備，而且不需要昂貴而複雜之化學製程。
本發明的一目的在於提供一種白光發光元件，其製作成本低廉，不需使用昂貴的高真空高溫的製程設備。
本發明的另一目的在於提供一種白光發光元件，其製作成本低廉，不需要昂貴而複雜之化學製程。
根據上述的目的，本發明揭露一種有機/無機白光發光元件，其包含一陽極、一有機/無機發光層以及一陰極。上述之有機/無機發光層設置於陽極與陰極之間；有機/無機發光層包含一有機材料與無機氧化鋅微奈米結構，其中，有機材料可發出一藍光，無機氧化鋅微奈米結構可發出一綠-黃光，藍光與綠-黃光可混合形成一白光。
本發明同時揭露一種有機/無機白光發光元件的製作方法，首先提供一陽極；接著，形成一有機層於陽極上；然後，塗佈一溶液於有機層上，並形成一種子層於有機層上；形成一氧化鋅微奈米結構層於種子層上，其中，有機層可發出一藍光，氧化鋅微奈米結構層可發出一綠-黃光，藍光與綠-黃光可混合形成一白光。最後，形成一陰極於氧化鋅微奈米結構層上。
藉由本發明之有機/無機白光發光元件及其製作方法，其製作成本低廉，不需使用昂貴的高真空高溫的製程設備或昂貴而複雜之化學製程，不需考慮材料晶格匹配的問題，也不會有不同色光之有機材料所組成的白光發光元件之色偏問題。
100‧‧‧有機/無機白光發光元件
110‧‧‧導電基板
115‧‧‧有機/無機發光層
120‧‧‧有機層
130‧‧‧種子層
140‧‧‧絕緣層
150‧‧‧氧化鋅陣列層
160‧‧‧陰極
200‧‧‧有機/無機白光發光元件
210‧‧‧導電基板
215‧‧‧有機/無機發光層
220‧‧‧有機材料
250‧‧‧無機氧化鋅微奈米結構
260‧‧‧陰極
300‧‧‧有機/無機白光發光元件
310‧‧‧導電基板
315‧‧‧有機/無機發光層
320‧‧‧有機材料
350‧‧‧無機氧化鋅微奈米結構
360‧‧‧陰極
400~450‧‧‧步驟
第一A圖至第一C圖分別顯示本發明一較佳實施例之有機/無機白光發光元件的剖面示意圖。
第二圖顯示本發明一較佳實施例之有機/無機白光發光元件的製作方法之流程圖。
第三A圖至第三G圖顯示有機/無機白光發光元件的製作步驟。
第四A圖至第四F圖顯示藉由場致發射掃描電子顯微鏡(field emission scanning electron microscope)觀察無機氧化鋅微奈米結構之示意圖。
第五圖顯示無機氧化鋅微奈米結構之X光繞射圖。
第六圖顯示有機/無機白光發光元件之正規化發光強度與波長特性圖。
第七圖顯示不同發光元件之電流與電壓特性圖。
第八A圖顯示不同發光元件之發光強度與波長特性圖。
第八B圖顯示不同電壓狀況下，同一發光元件之發光強度與波長特性圖。
第九圖顯示不同發光元件之傅立葉轉換紅外光譜(micro-Fourier transform infrared spectroscopy)之示意圖。
本發明的一些實施例將詳細描述如下。然而，除了如下描述外，本發明還可以廣泛地在其他的實施例施行，且本發明的範圍並不受實施例之限定，其以之後的專利範圍為準。再者，為提供更清楚的描述及更易理解本發明，圖式內各部分並沒有依照其相對尺寸繪圖，某些尺寸與其他相關尺度相比已經被誇張；不相關之細節部分也未完全繪出，以求圖式的簡潔。
本發明之一實施例揭露一種有機/無機白光發光元件，包含：一陽極、一陰極以及一有機/無機發光層，上述之有機/無機發光層設置於陽極與陰極之間；有機/無機發光層包含一有機材料與複數個無機氧化鋅微奈米結構，其中，有機材料可發出一藍光，無機氧化鋅微奈米結構可發出一綠-黃光，藍光與綠-黃光可混合形成一白光。
第一A圖顯示根據本實施例之一範例所提供之有機/無機白光發光元件100的剖面示意圖。有機/無機白光發光元件100包含一導電基板110(在此做為陽極)、一陰極160以及一有機/無機發光層115。陰極160設置於導電基板110上方；有機/無機發光層115設置於陰極160與導電基板110之間，有機/無機發光層115由陽極往陰極方向依序包含一有機層120、一種子層130與一氧化鋅陣列層150，種子層130係均勻覆蓋於有機層120上，氧化鋅陣列層150係藉由種子層130誘導(induce)成長。
另外，可以選擇性地設置一絕緣層140以提供氧化鋅鎮列150之柱狀物之間的電性隔絕，也可以避免陰極160直接接觸有機層120導致的淬減(quenching)效應。
第一B圖顯示根據本實施例之另一範例所提供之有機/無機白光發光元件200的剖面示意圖。有機/無機白光發光元件200包含一導電基板210(在此作為陽極)、一陰極260以及一有機/無機發光層215。有機/無機發光層215設置於陰極260與導電基板210之間，該有機/無機發光層215包含一有機材料220與無機氧化鋅微奈米結構250，其中，複數個無機氧化鋅微奈米結構250係排列為一陣列結構，並與陰極260接觸，有機材料220係填充於陣列結構之空隙中。
另外，如第一C圖所示，根據本實施例之又一範例所提供之有機/無機白光發光元件300的剖面示意圖。有機/無機白光發光元件300包含一導電基板310(在此作為陽極)、一陰極360以及一有機/無機發光層315。有機/無機發光層315設置於陰極360與導電基板310之間，該有機/無機發光層315包含一有機材料320與無機氧化鋅微奈米結構350，其中，複數個無機氧化鋅微奈米結構350相互堆疊，有機材料320係填充於堆疊結構之空隙中，部分無機氧化鋅微
奈米結構350與陰極360接觸。
第二圖顯示本發明另一實施例之有機/無機白光發光元件的製作方法400之流程圖。製作方法400包含下列步驟：步驟410，提供一陽極；步驟420，形成一有機層於陽極上；步驟430，塗佈一溶液於有機層上，並形成一種子層於有機層上；步驟440，形成一氧化鋅微奈米結構層於種子層上，其中，有機層可發出一藍光，氧化鋅微奈米結構層可發出一綠-黃光，藍光與綠-黃光可混合形成一白光；步驟450，形成一陰極於該氧化鋅微奈米結構層上。
第三A圖至第三E圖顯示有機/無機白光發光元件100的製作步驟。首先，請參考第三A圖，提供一導電基板110，導電基板110具有一導電層，導電層可作為電極，導電層的材質可以是ITO或其他導電材質。接著，請參考第三B圖，形成有機層120於導電基板110上，本實施例中，係以旋轉塗佈法於導電基板110上形成一材質為PF的有機層120，但並不以此為限，有機層120也可以是其他材質或以其他方法形成，例如，浸漬塗佈法(dip coating)、噴墨印刷法或熱蒸鍍法(thermal evaporation)也可以用來形成有機層120，而有機層120之材質也可以是有機高分子材料、有機小分子材料、螢光發光分子或磷光發光分子。
接著，請參考第三C圖，塗佈一溶液於有機層120上，並形成一種子層130於該有機層上。本實施例中，係藉由一旋轉塗佈法將一種子層溶液塗布於有機層120上，藉以形成種子層130。種子層溶液包含醋酸鋅(zinc acetate dihydrate)、作為穩定劑之單乙醇胺(monoethanolamine)、異丙醇(isopropanol：IPA)以及粒徑約為10-50nm之氧化鋅奈米粒子。根據本實施例，種子層溶液可包含5.49公克之醋酸鋅(zinc acetate dihydrate)、1.5公克之單乙醇胺(monoethanolamine)、50毫升之異丙醇(isopropanol：IPA)以及1.3公克之直徑20奈
米之氧化鋅奈米粒子。
異丙醇是少數與有機層120相容且不破壞有機材料120之溶劑，異丙醇可使溶液在旋轉塗佈時，具有良好的一致性(uniformity)。氧化鋅奈米粒子可增進種子層130在有機層120上的附著性。另外，進行旋轉塗佈之前，溶液需加熱至攝氏110-130℃，例如攝氏120度，藉以減少溶液之表面張力，使得溶液均勻覆蓋於有機層120上。
接著，請參考第三D圖，藉由一水熱法形成一無機氧化鋅微奈米結構層150於種子層130上。本實施例中，係將樣品置入一水溶液中，溫度約為攝氏90度的低溫，並且持續3小時，藉以進行水熱法(hydrothermal)。上述之水溶液包含醋酸鋅(zinc nitrate hexahydrate)與環六亞甲四胺(hexamethylenetetramine)。根據本實施例，上述之水溶液可包含15公克之醋酸鋅(zinc nitrate hexahydrate)、7.5公克之環六亞甲四胺(hexamethylenetetramine)以及1000毫升之去離子水。
雖然本實施例係以水熱法於種子層130上形成無機氧化鋅微奈米結構層150，但並不以此為限，無機氧化鋅微奈米結構層150之形成方法也可以是旋轉塗佈法(spin coating)、浸漬塗佈法(dip coating)、電化學法、熱蒸鍍法(thermal evaporation)、化學氣相沈積法(chemical vapor deposition)、分子束磊晶法(molecular beam epitaxy)或陽極氧化鋁多孔模板法(AAO)。另外，本實施例中，無機氧化鋅微奈米結構層150包含氧化鋅奈米柱陣列(ZnO NR array)，但並不以此為限，無機氧化鋅微奈米結構150也可以包含奈米粒子、奈米團聚或奈米薄膜。
接著，請參考第三E圖，形成一絕緣材料140，絕緣材料140覆蓋無機氧化鋅微奈米結構150與種子層130，絕緣材料140可提供無機氧化鋅微奈米結構150之柱狀物之間的電性隔絕。根據本實施例，絕緣材料140之材質為聚矽氧
烷之絕緣材料(polysiloxane-based dielectric material：SOG)，但並不以此為限，絕緣材料140之材質也可以是其他絕緣材料。
接著，請參考第三F圖，移除部份絕緣材料140，藉以暴露無機氧化鋅微奈米結構層150之頂部。本實施例係利用氧電漿處理(oxygen plasma treatment)對絕緣材料140進行蝕刻，使絕緣材料140厚度小於無機氧化鋅微奈米結構150之頂部，除了氧電漿處理之外，亦可使用其他蝕刻製程對絕緣材料140進行蝕刻。完成氧電漿處理後，樣品進行一退火處理，藉以移除溶劑，前述退火處理之實施條件為溫度攝氏120度，持續2小時。
最後，請參考第三G圖，形成一陰極160，陰極160連接無機氧化鋅微奈米結構150之頂部。本實施例係藉由熱蒸鍍法形成一鋁電極，電極厚度約為200奈米(nm)。值得注意的是，絕緣材料140也可以提供陰極160與有機層120之間的電性隔絕。藉由前述之製作步驟可形成第一A圖之有機/無機白光發光元件100。
第四A圖至第四F圖顯示藉由場致發射掃描電子顯微鏡(field emission scanning electron microscope)觀察無機氧化鋅微奈米結構之示意圖。其中，第四A圖與第四B圖分別顯示無機氧化鋅微奈米結構層150之俯視示意圖與剖面示意圖。無機氧化鋅微奈米結構150包含氧化鋅奈米柱陣列(ZnO NR array)，等氧化鋅奈米柱密集且大致垂直於PF材質之有機層120，其中，氧化鋅奈米柱之平均直徑約為120奈米(nm)，氧化鋅奈米柱之平均長度約為1.25微米(um)，PF材質之有機層120之厚度約為90奈米(nm)。
第四A圖之右上角顯示以另一配方之種子層溶液所形成之氧化鋅奈米柱，種子層溶液包含醋酸鋅(zinc acetate dihydrate)、單乙醇
胺(monoethanolamine)以及2-甲氧基乙醇(2-methoxyethanol)。等氧化鋅奈米柱稀疏且不規則地生成於PF材質之有機層120上，由此可知，種子層溶液之配方對於氧化鋅奈米柱之形成具有很大的影響。
第四C圖與第四D圖分別顯示絕緣材料140覆蓋無機氧化鋅微奈米結構150與種子層130之俯視示意圖與剖面示意圖。如圖所示，絕緣材料140填入氧化鋅奈米柱之間，絕緣材料140可提供氧化鋅奈米柱之間的電性隔絕。第四E圖與第四F圖則分別顯示氧電漿處理後，樣本之俯視示意圖與剖面示意圖。如圖所示，等氧化鋅奈米柱仍維持密集且大致垂直於有機層120之型態。
第五圖顯示無機氧化鋅微奈米結構之X光繞射圖。如圖所示，數個繞射峰值分別對應氧化鋅的晶面(100)、(002)、(101)、(102)、(110)、(103)。由此可知，本發明之無機氧化鋅微奈米結構為六方晶系之纖維礦型結構，且無機氧化鋅微奈米結構之氧化鋅奈米柱並非只有單一垂直種子層往上成長的方向，而是有多種往上成長的方向。
第六圖顯示有機/無機白光發光元件100之正規化發光強度與波長特性圖。其中，有機/無機白光發光元件100所發出之光線可分為PF材質之有機層120所發出之藍光、氧化鋅奈米柱(ZnO NRs)所發出波長567nm之綠-黃光與波長380nm之紫外光。
第七圖顯示不同發光元件之電流與電壓特性圖。各發光元件具有不同的結構，其中，發光元件A於導電基板與鋁電極之間僅具有PF材質之有機材料；發光元件B於導電基板與鋁電極之間具有PF材質之有機材料(厚度90nm)與氧化鋅奈米柱陣列；發光元件C於導電基板與鋁電極之間具有PF材質之有機材料(厚度240nm)與氧化鋅奈米柱陣列；發光元件D於導電基板與鋁電極之間僅具有氧化鋅奈米柱陣列。
發光元件A、B、C均呈現穩定之電流與電壓特性，而發光元件D因為氧化鋅奈米柱陣列直接接觸導電基板，而產生很大的漏電流。在相同的電壓水準下，具有氧化鋅奈米柱陣列之發光元件B、C、D具有比不具氧化鋅奈米柱陣列之發光元件A更大的電流密度。另外，由於發光元件C之有機材料厚度較大，造成發光元件C的電流密度比發光元件B的電流密度低。因此，本發明控制有機層厚度小於或等於150nm，較佳者，小於或等於100nm。
上述之厚度控制條件係針對有機/無機“分層”結構，因為有機層對載子的傳輸比無機氧化鋅還慢上許多，於一範例中，以大約100nm的有機層(不大於150nm)配合1um以上的無機氧化鋅，可以使得電子電洞對在有機/無機層的介面結合良好，而使得有機材料與無機氧化鋅微奈米結構同時發光；若有機層的厚度增加到200nm以上，在元件中會使得電子電洞對結合的位置侷限在有機層，因此所得到的發光為對應有機層的發光性質。換句話說，當有機層厚度過厚時，元件發光的光色幾乎被有機層完全決定。
第八A圖顯示不同發光元件之發光強度與波長特性圖。所施加的偏壓均為10伏特，發光元件B發出一波長中心567nm之綠-黃光與波長中心489nm之藍光。與發光元件A、D相比，綠-黃光係由氧化鋅奈米柱之表面缺陷所發出，而藍光係由PF材質之有機材料所發出。
發光元件A與發光元件D則分別發出PF材質之藍光與氧化鋅奈米柱之綠-黃光。值得注意的是，發光元件B的發光亮度超過發光元件D之1000倍，當所施加的偏壓為10伏特時，發光元件B的亮度超過100nit。
第八B圖顯示不同電壓狀況下，同一發光元件之發光強度與波長特性圖。如圖所示，當發光元件B施加偏壓6至10伏特時，發光元件B發出一波長
中心567nm之綠-黃光與波長中心489nm之藍光，其發光頻譜並無偏移；當發光元件B施加偏壓12伏特時，發光元件B發出綠-黃光略為偏移，其原因可能是氧化鋅奈米柱產生更多的發光。
第九圖顯示不同發光元件之傅立葉轉換紅外光譜(Fourier transform infrared spectroscopy)之示意圖。其中，曲線I係PF材質之有機層120之傅立葉轉換紅外光譜，曲線Ⅱ係PF有機層120與氧化鋅之種子層130之傅立葉轉換紅外光譜，曲線Ⅲ係PF有機層120、氧化鋅種子層130以及無機氧化鋅微奈米結構150之傅立葉轉換紅外光譜。
曲線I具有數個代表PF材質之吸收峰值(absorb peak)，分別位於2953、2926、2855、1460、1402、1377、1253、1123、813cm-1。曲線Ⅱ具有與曲線I類似但部份吸收峰值偏移之曲線。其中，值得注意的是，曲線Ⅱ具有一代表OH成份之介於3400至3600cm-1之肩部，顯示在PF有機層120與氧化鋅之種子層130之介面產生新的組成。曲線Ⅲ具有代表OH成份之吸收峰值，分別位於3441、3502、3574cm-1之位置，由此可知OH成份存在於無機氧化鋅微奈米結構150與PF有機層120之接面結構中。
本發明使用水熱法於PF有機層120上生成無機氧化鋅微奈米結構150，成功結合有機發光材料與無機發光材料，有機發光材料可發出一藍光，無機發光材料可發出一綠-黃光，藍光與綠-黃光可混合形成一白光。在無機氧化鋅微奈米結構150之生長過程中，無機氧化鋅奈米柱與有機材料之間產生鍵結，並產生氫氧化鋅(Zn(OH)2)，使得無機氧化鋅奈米柱容易產生表面缺陷。當元件施加偏壓時，電子電洞容易在無機氧化鋅奈米柱之表面缺陷或氧化鋅奈米柱與有機材料之介面複合而發光。
藉由本發明之有機/無機白光發光元件及其製作方法，有機/無機
白光發光元件之製作成本低廉，不需使用昂貴的高真空高溫的製程設備或昂貴而複雜之化學製程，不需考慮材料晶格匹配的問題，也不會有不同色光之有機材料所組成的白光發光元件之色偏問題。
上述之實施例僅係為說明本發明之技術思想及特點，其目的在使熟悉此技藝之人士能了解本發明之內容並據以實施，當不能以之限定本發明之專利範圍，即凡其他未脫離本發明所揭示精神所完成之各種等效改變或修飾都涵蓋在本發明所揭露的範圍內，均應包含在下述之申請專利範圍內。
100‧‧‧有機/無機白光發光元件
110‧‧‧導電基板
115‧‧‧有機/無機發光層
120‧‧‧有機層
130‧‧‧種子層
140‧‧‧絕緣層
150‧‧‧氧化鋅陣列層
160‧‧‧陰極
Claims (22)
- 一種有機/無機白光發光元件，包含：一陽極；一陰極；以及一有機/無機發光層，該有機/無機發光層設置於該陽極與該陰極之間，該有機/無機發光層包含一有機材料與複數個無機氧化鋅微奈米結構，其中，該有機材料可發出一藍光，該無機氧化鋅微奈米結構可發出一綠-黃光，該藍光與該綠-黃光可混合形成一白光，其中，該有機/無機發光層為一分層結構，該有機/無機發光層由陽極往陰極方向依序包含一有機層、一種子層與一氧化鋅陣列層，該種子層係均勻覆蓋於該有機層上，該氧化鋅陣列層係藉由該種子層誘導(induce)成長，並且其中該種子層包含醋酸鋅(zinc acetate dihydrate)、單乙醇胺(monoethanolamine)、異丙醇(isopropanol：IPA)以及氧化鋅奈米粒子。
- 如申請專利範圍第1項所述之有機/無機白光發光元件，其中，該有機材料為一有機高分子材料或一有機小分子材料。
- 如申請專利範圍第1項所述之有機/無機白光發光元件，其中，該有機材料為螢光發光材料或磷光發光材料。
- 如申請專利範圍第1項所述之有機/無機白光發光元件，其中，該無機氧化鋅微奈米結構包含奈米粒子、奈米柱、奈米團聚或奈米薄膜。
- 如申請專利範圍第1項所述之有機/無機白光發光元件，其中，該有機/無機發光層為一單層混合結構，複數個該無機氧化鋅微奈米結構係排列為一陣列結構，並與該陰極接觸，該有機材料係填充於該陣列結構之空隙中。
- 如申請專利範圍第1項所述之有機/無機白光發光元件，其中，該 有機/無機發光層為一單層混合結構，複數個該無機氧化鋅微奈米結構相互堆疊，該有機材料係填充於堆疊結構之空隙中，部分該無機氧化鋅微奈米結構與該陰極接觸。
- 如申請專利範圍第1項所述之有機/無機白光發光元件，其中，該有機層厚度小於或等於150nm。
- 如申請專利範圍第1項所述之有機/無機白光發光元件，其中，該有機層厚度小於或等於100nm。
- 一種有機/無機白光發光材料，包含一有機材料與複數個無機氧化鋅微奈米結構，其中，該有機材料可發出一藍光，該無機氧化鋅微奈米結構可發出一綠-黃光，該藍光與該綠-黃光可混合形成一白光，其中，該有機/無機發光層為一分層結構，該有機/無機發光層由陽極往陰極方向依序包含一有機層、一種子層與一氧化鋅陣列層，該種子層係均勻覆蓋於該有機層上，該氧化鋅陣列層係藉由該種子層誘導(induce)成長，並且其中該種子層包含醋酸鋅(zinc acetate dihydrate)、單乙醇胺(monoethanolamine)、異丙醇(isopropanol：IPA)以及氧化鋅奈米粒子。
- 如申請專利範圍第9項所述之有機/無機白光發光材料，其中，該有機/無機白光發光材料形成一單層混合結構，複數個該無機氧化鋅微奈米結構係排列為一陣列結構，該陣列結構與一陰極接觸，該有機材料係填充於該陣列結構之空隙中。
- 如申請專利範圍第9項所述之有機/無機白光發光材料，其中，該有機/無機白光發光材料形成一單層混合結構，複數個該無機氧化鋅微奈米結構相互堆疊，該有機材料係填充於堆疊結構之空隙中，部分該無機氧化鋅微奈米結構與一陰極接觸。
- 一種有機/無機白光發光元件的製作方法，包含：提供一陽極；形成一有機層於該陽極上；塗佈一溶液於該有機層上，並形成一種子層於該有機層上，其中，該溶液包含醋酸鋅(zinc acetate dihydrate)、單乙醇胺(monoethanolamine)、異丙醇(isopropanol：IPA)以及氧化鋅奈米粒子；形成一氧化鋅微奈米結構層於該種子層上，其中，該有機層可發出一藍光，該氧化鋅微奈米結構層可發出一綠-黃光，該藍光與該綠-黃光可混合形成一白光；以及形成一陰極於該氧化鋅微奈米結構層上。
- 如申請專利範圍第12項所述之有機/無機白光發光元件的製作方法，其中，該有機層之形成方法包含下列族群中之一者：旋轉塗佈法(spin coating)、浸漬塗佈法(dip coating)、噴墨印刷法與熱蒸鍍法(thermal evaporation)。
- 如申請專利範圍第12項所述之有機/無機白光發光元件的製作方法，其中，該氧化鋅微奈米結構層之形成方法包含下列族群中之一者：水熱法(hydrothermal)、旋轉塗佈法(spin coating)、浸漬塗佈法(dip coating)、電化學法、熱蒸鍍法(thermal evaporation)、化學氣相沈積法(chemical vapor deposition)、分子束磊晶法(molecular beam epitaxy)與陽極氧化鋁多孔模板法(AAO)。
- 如申請專利範圍第12項所述之有機/無機白光發光元件的製作方法，其中氧化鋅奈米粒子的粒徑約為10-50nm。
- 如申請專利範圍第12項所述之有機/無機白光發光元件的製作方法，塗佈該溶液於該有機層之前，進行一加熱步驟以使得該溶液均勻覆蓋於該 有機層上。
- 如申請專利範圍第16項所述之有機/無機白光發光元件的製作方法，其中該加熱步驟的溫度約為110-130℃。
- 如申請專利範圍第12項所述之有機/無機白光發光元件的製作方法，其中，該有機層為一有機高分子材料或一有機小分子材料。
- 如申請專利範圍第12項所述之有機/無機白光發光元件的製作方法，其中，該有機層為螢光發光材料或磷光發光材料。
- 如申請專利範圍第12項所述之有機/無機白光元件的製作方法，其中，該氧化鋅微奈米結構包含奈米粒子、奈米柱、奈米團聚或奈米薄膜。
- 如申請專利範圍第12項所述之有機/無機白光發光元件的製作方法，其中，該有機層厚度小於或等於150nm。
- 如申請專利範圍第12項所述之有機/無機白光發光元件的製作方法，其中，該有機層厚度小於或等於100nm。
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