TWI480122B - 工具機振動載台 - Google Patents

Description

工具機振動載台

本發明係有關於一種工具機振動載台，更詳而言之，是一種在氣浮環境下帶動例如為工作台或刀具主軸的加工器件振動的工具機振動載台。

按，傳統工具機通常會具有傳動機構，以讓工具機的工作台移動，而使料件和切削刀具之間進行相對運動，以對料件進行切削。常見的工具機傳動機構係使用導螺桿，並用線性馬達驅使導螺桿旋轉，使與導螺桿接觸耦合的機構進行直線運動，而達成傳動的效果，使工作台直線移動。導螺桿與耦合機構間通常會透過撓性連軸器完成連接，當撓性連軸器撓性變形到一定程度時，導螺桿才能將力量傳遞至耦合機構，故會有力量傳遞延遲的問題。

此外，導螺桿與耦合機構間的接觸面會存在有摩擦力，使得導螺桿的溫度會隨著傳動進行時間的增加而逐漸升高，當導螺桿溫度增高時，受到熱脹冷縮效應的影響，導螺桿會發生形變，使得導螺桿每轉行進的距離改變，進而影響到工具機的加工精度。再者，導螺桿與耦合機構間的摩擦力，還會使工作台的移動速度受到限制，而無法進行例如對硬脆材料的高速加工，且因摩擦力的存在，使得工具機運作時會產生令人無法接 受的振動與噪音，並且工具機的能耗也無法有效降低。

另外，習知的工具機振動輔助加工方向，通常設計沿著刀具主軸方向或與工作台平面垂直的方向上，而罕見於刀具主軸垂直的平面方向進行高速同步換向振動。如使用銑刀與雕刻刀具加工時，其切削作用方向常需延伸於工作台平面。例如一般振動加工的旋轉主軸將振動子安裝於馬達內側，或與馬達樞軸直接連結，或經皮帶等傳動系與振動源耦合牽制等。但其形制會限制其振動方向(例Z方向)與切削方向(X-Y方向)互為垂直，須透過刀具端面的特殊幾何形狀(如錐狀、圓球狀刀尖)來轉換振動方向，勢必影響輔助振動的作用。且旋轉軸馬達受限於振動子的供電方式通常無法提供高轉速，而且還有散熱不易及所需之耦合機構複雜，組裝精密度、與維修困難等問題。

基於前述，如何提供一種工具機載台，以降低能耗並在低振動與噪音的情況下提供高速加工，又具可交換性與可攜性，可降低習知旋轉主軸的建置之精密度要求、與具拆卸、維護保養成本優勢等，為所屬技術領域人士所迫切需要解決的問題。

鑒於上述先前技術之種種問題，本發明之主要目的在於提供一種工具機振動載台，以在低耗能、低振動與低噪音的情況下對料件進行高速加工。

為達到上述目的以及其它目的，本發明提供一種工具機振動載台，係用以連接氣體供應源，而讓加工器件在氣浮狀態下 振動，具有振動平板、氣浮平台、氣體接收道、多個致動器以及回位彈性體。振動平板係供設置加工器件。氣浮平台係供置放該振動平板。氣體接收道係設於振動平板或氣浮平台，以接收氣體供應源的氣體，而在振動平板與氣浮平台間形成氣浮膜。多個致動器係分別設於氣浮平台不同方向的側邊，以分別在不同方向致動振動平板。回位彈性體兩端係分別接觸氣浮平台側邊與振動平板，以提供彈性力使受致動的振動平板回位。

另外，工具機振動載台復可包括多個分別對應一個致動器而設置的抵靠墊，致動器的致動端係透過所對應的抵靠墊間接抵靠振動平板的側邊，以分別在不同方向致動該振動平板。抵靠墊可具有光滑表面，以與所對應致動器的致動端面滑動接觸。抵靠墊也可為僅能傳遞軸向力的軸向壓縮彈性體。抵靠墊係可分別設於振動平板不同方向的側邊。致動器係可為超音波線性致動器。氣浮平台多個方向的側邊形成有側壁，各該側壁具有供穿過致動器的穿孔，以使各方向致動器的致動端得穿過氣浮平台的側壁，進入由氣浮平台與側壁所構成的內部空間。各該通氣溝槽係可由放射狀氣道連通，且分佈係可呈矩形環狀、或圓形環狀。氣浮平台頂面係可由石材或陶瓷材料所構成。本發明工具機振動載台可具有多個分設於各該致動器對向側的回位彈性體，以提供彈性力而使振動平板回位。

再者，本發明復提供一種工具機振動載台，係用以連接氣體供應源，而讓加工器件在氣浮狀態下振動，具有振動平板、 氣浮平台、氣體接收道、多個電磁致動器以及回位彈簧。振動平板係供設置加工器件，在不同方向的側邊可具有多個磁性墊。氣浮平台係可供擺放振動平板。氣體接收道係設於振動平板或氣浮平台，以接收氣體供應源的氣體，而可在振動平板與氣浮平台間形成氣浮膜。多個電磁致動器係可分別設於氣浮平台不同方向的側邊，並分別對應一個磁性墊而設置，各該電磁致動器係透過對所對應的磁性墊施加磁力，而分別在不同的方向致動振動平板。

此外，本發明復提供一種工具機振動載台，係用以連接氣體供應源，而讓加工器件在氣浮狀態下振動，具有第一振動平板、第二振動平板、氣浮平台、多個氣體接收道以及多個致動器。第一振動平板係供設置該加工器件。第二振動平板係供置放該第一振動平板，第二振動平板的側邊具有推抵塊。氣浮平台係可供置放第二振動平板。多個氣體接收道係分別設於第一振動平板、第二振動平板或氣浮平台，以接收氣體供應源的氣體，而在第一振動平板與第二振動平板、和第二振動平板與氣浮平台間形成氣浮膜。多個致動器的致動端係分別連接第一、第二振動平板，以在不同的方向分別致動第一、第二振動平板，推抵塊係在第二振動平板致動方向推抵與第一振動平板連接的致動器。

其中，工具機振動載台復可具有第一彈性體及第二彈性體，第一彈性體兩端分別可連接第一振動平板與第二振動平 板，以提供彈性力使在第二振動平板上致動後的第一振動平板回位。第二彈性體兩端分別可連接第二振動平板與氣浮平台，以提供彈性力使在氣浮平台上致動後的第二振動平板回位。第二振動平板的推抵塊可具有孔槽，係供穿過與第一振動平板連接致動器的致動端。上述平台通氣溝槽與平板通氣溝槽的分佈係呈矩形環狀、或圓形環狀。

此外，第一振動平板、第二振動平板與氣浮平台係由石材或陶瓷材料所構成。工具機振動載台復可包括多條通氣溝槽，各該通氣溝槽係分別設於該第一振動平板、第二振動平板或氣浮平台，並分別與氣體接收道連通，以接收氣體而在第一振動平板與第二振動平板間、及第二振動平板與氣浮平台間形成氣浮膜。

相較於先前技術，本發明所提供的工具機振動載台係具有氣浮平台，可對振動平板提供氣浮力，使致動器對振動平板的致動僅需克服氣體粘滯摩擦力，是以，致動器僅提供微小力量就能使振動平板致動，進而可對硬脆材料進行高速加工，且振動平板振動時並不會與氣浮平台接觸而發生摩擦碰撞，故本發明工具機振動載台在運作時並不會導致過大的振動、噪音與能耗。另外，本發明的工具機振動載台得以直接與傳統的工具機主軸結合，以進行多維度短行程的高速往復振動，而可對硬脆材料進行高速高品質加工。

以下係藉由特定的具體實施例說明本發明之技術內容，熟悉此技術之人士可由本說明書所揭示之內容輕易地了解本發明之其他優點與功效。本發明亦可藉由其他不同的具體實施例加以施行或應用。本說明書中的各項細節亦可基於不同觀點與應用，在不悖離本發明之精神下，進行各種修飾與變更。

為降低工具機振動載台的能耗與噪音，並使工具機振動載台能提供高速加工，本發明係提供一種新式的工具機振動載台，可連接例如為氣體壓縮機的氣體供應源，而讓加工器件在氣浮狀態下振動，以對料件進行加工。所述的加工器件可為工作台或切削刀具，其中工作台具有例如T型槽、鳩尾槽的夾持機構，用以夾持料件。

請參閱圖1至圖3，係為本發明工具機振動載台第一實施例之示意圖。如圖1所示，本發明第一實施例中的工具機振動載台1具有振動平板11、氣浮平台12、第一抵靠墊13、第二抵靠墊14、第一回位彈性體15與第二回位彈性體16。振動平板11的頂面係可鎖附加工器件，因而振動平板11振動時可同步帶動加工器件振動，用以對料件進行直接切削(例如銑削或研磨)或在加工時提供振動而輔助料屑的排除。氣浮平台12的側邊係形成具有外露開口的平台氣體接收道121，以接收氣體供應源(圖未示)的氣體，氣體供應源的氣體輸出口係與平台氣體接收道121的開口接合，以使氣體供應源的輸出氣體進 入平台氣體接收道121。平台氣體接收道121係在氣浮平台12內部延伸，以將所接收的氣體送到氣浮平台12中的適當地方。

如圖2所示，氣浮平台12的頂面係形成有多條相連通的平台通氣溝槽122，於圖2中，平台通氣溝槽122係由呈放射狀的氣道連通，但不以此為限。振動平板11的底面係置於氣浮平台12的頂面，並壓覆於所有平台通氣溝槽122上方，以遮蔽各該平台通氣溝槽122而造成氣密效果。如圖3所示，平台氣體接收道121係與至少一條平台通氣溝槽122相連通，以對各該平台通氣溝槽122提供氣體，當每一平台通氣溝槽122的空間被充滿氣體時，會在振動平板11與氣浮平台12間形成氣浮膜，而對振動平板11的底面多個部位提供氣浮力，使振動平板11能由氣浮平台12浮起而達到氣浮狀態，此時，振動平板11與氣浮平台12之間僅存在微小的氣體粘滯摩擦力，故只要施加極微小的力量就能推動振動平板11，讓振動平板11相對氣浮平台12運動，故振動平板11的振動毋須耗費過多的能量。

各該平台通氣溝槽122係均勻分散地分佈在氣浮平台12的頂面，且由呈放射狀的氣道連通，該些平台通氣溝槽122可依據振動平板11底面的形狀，而分佈成矩形環狀、或圓形環狀，以對振動平板11底面的大部分區域提供氣浮力，使浮起的振動平板11不發生傾斜，而使料件的加工品質維持最佳。

另外，振動平板11底面與氣浮平台12頂面的表面平坦度 可限制小於6~10微米/公尺，較佳地，3~5微米/公尺，以增加振動平板11與氣浮平台12間的氣密性，而使振動平板11的氣浮效果更好，因此，振動平板11的底面與氣浮平台12的頂面可選用不易受力或受溫度影響而局部變形的石材或陶瓷材料所構成，或由噴塗熱熔射陶瓷形成具備真平面度之材料所構成，所述的石材係例如為花崗岩石。氣浮平台12第一、第二方向的側邊係分別設有第一、第二致動器124、125，以分別在第一、第二方向提供振動平板11高振盪頻率的振動能量，因為振動平板11係為浮起狀態，故在振動時氣浮平台12並不會對其產生接觸摩擦力，故各該致動器124、125僅需提供極小的能量就能致動振動平板11，因而本發明的工具機振動載台有節約能耗的有益功效，且可對刀具或料件進行高頻微振幅振動，使刀具快速撞擊並迅速脫離料件表面，刀具離開料件後會形成供切削液滲入的空間，以提高刀具的散熱效果，使原本連續切屑變成斷續的切屑，或使切屑變薄進而降低切削力。

所述第一、第二致動器124、125係例如為超音波線性致動器，以利用超音波線性致動器具有穩定20kHz至40kHz間的振動頻率、低振幅(3至50μm)與控制性佳的優異致動特性。

此外，本發明工具機振動載台是由致動器直接致動振動平板，而無需透過導螺桿或其它傳動機構，故傳統工具機傳動機構所存在的背隙問題就不復存在，因而本發明的工具機振動載台可在從微米至數十微米的短行程傳動進行精密定位，故可對 硬脆材料進行高速的微細加工，且只需設置致動器就能致動振動平板，故本發明的工具機振動載台構造簡單，具有維護保養成本低廉的有益效果，得以直接與傳統的工具機主軸結合，主軸轉速的提升不再受限於振動機構的牽制，具備較佳地可交換性與可攜性。亦即，本發明的工具機振動載台可附加於一般傳統工具機，使對硬脆材之加工速度得以提升，並具更高加工面品質，更可配合影像處理的技術進行自動化雕刻工作。

由上可知，振動平板11與氣浮平台12間的氣浮膜，係由形成於氣浮平台12的平台氣體接收道121與平台通氣溝槽122所達成。但應說明的是，亦可在振動平板上形成氣體接收道與通氣溝槽，以取代上述的平台氣體接收道與平台通氣溝槽，復請參閱圖5，如圖5所示，振動平板11具有相連通的平板通氣溝槽111與平板氣體接收道112，以在振動平板11與氣浮平台12之間形成氣浮膜，因為振動平板通常較氣浮平台的體積小，因而形成通氣溝槽與氣體接收道，在振動平板會比氣浮平台簡單。

氣浮平台12在多個方向的側邊上形成有側壁，所形成的側壁設有分別供穿過各該致動器124、125的穿孔123，以使各該致動器124、125的致動端，能進入由氣浮平台12與側壁所構成的內部空間中，以進行振動平板11的致動。第一、第二抵靠墊13、14係分別對應第一、第二致動器124、125而設置。第一致動器124的致動端係透過第一抵靠墊13抵靠於振 動平板11的一側邊壁面，而在第一方向致動振動平板11。同理，透過第二抵靠墊14，第二致動器125的致動端可間接抵靠振動平板11的另一側邊壁面，而在第二方向致動振動平板11，故本實施例的振動平板11及鎖附於其上的加工器件可在兩個方向上振動，以對料件進行兩個維度的切削加工。

於本實施例中，各該抵靠墊13、14係具有光滑表面131、141，如圖2所示，以分別與所對應第一、第二致動器124、125的致動端面滑動接觸。當僅第一致動器124對振動平板11致動時，第二抵靠墊14的光滑表面141可在平行於第二致動器125致動端表面的第一方向上，相對第二致動器125的致動端表面順暢滑動，同理，當第一致動器124不致動而第二致動器125致動時，第一抵靠墊13的光滑表面可在第二方向上，相對第一致動器124的致動端表面順暢滑動。是以，各該抵靠墊13、14的光滑表面131、141可避免各該致動器124、125致動時彼此發生干涉。但不以此為限，於其它實施型態中，亦可選擇軸向壓縮彈性體作為各該抵靠墊13、14，而分別供第一、第二致動器124、125接觸抵靠，藉由軸向壓縮彈性體可傳遞軸向力無法傳遞側向力的特性，使得振動平板11的振動力量無法透過各該抵靠墊13、14，而分別傳遞到第一、第二致動器124、125的致動端，藉以避免各該致動器124、125致動時彼此發生干涉。

此外，若振動平板11側邊的壁面具有光滑表面，則可省 略上述抵靠墊13、14的設置，各該致動器124、125的致動端可直接抵靠到振動平板11的側邊壁面，以在不發生干涉的情況下分別在不同方向驅使振動平板11移動。

第一、第二回位彈性體15、16係分別設於第一、第二致動器124、125的對向側，各該回位彈性體15、16兩端分別連接氣浮平台12與振動平板11側邊壁面，振動平板11進行兩個維度的振動時會讓各該回位彈性體15、16變形，進而產生彈性恢復力，當各該致動器124、125停止致動後，各該回位彈性體15、16的彈性恢復力會促使振動平板11回復初始位置，如此振動平板11即完成一個振動循環，等待各該致動器124、125的下一次致動。

另外，應說明的是，本發明工具機振動載台所設置的回位彈性體數量不以上述者為限，仍可依情況適度增減，舉例而言，請參照圖4，如圖所示，本發明工具機振動載台僅設置一個板片形式的回位彈性體15’，回位彈性體15’兩端係分別接觸氣浮平台12與振動平板11，而在各該致動器124、125致動時產生兩個維度的彈性恢復力，進而使受各該致動器124、125致動後的振動平板11，能受彈性恢復力的作用回復初始位置。

復請參閱圖6，係本發明第一實施例工具機振動載台之致動器另一實施態樣示意圖。本實施型態僅說明與前述工具機振動載台不同結構與作用之處，作用相同或近似的元件，以相同 的元件符號表示。本實施型態的工具機振動載台1是以第一、第二磁性墊13’、14’取代前述的第一、第二抵靠墊13、14，且使用具有電磁線圈的第一、第二電磁致動器124’、125’取代前述的第一、第二致動器124、125。各該磁性墊13’、14’係分別附著於振動平板11的一側邊，使得可分別對應第一、第二電磁致動器124’、125’而設置，第一、第二電磁致動器124’、125’可分別透過流經電磁線圈的交流電流產生磁吸力與磁推力，以透過接觸或非接觸地方式驅使所對應的磁性墊13’、14’帶動振動平板11進行多維度地往復運動，如此亦能達成分別在不同方向驅動振動平板11的效果。亦即，第一、第二電磁致動器124’、125’可分別提供不同方向的磁推力以致動振動平板11，也可分別提供不同方向的磁吸力以吸回致動後的振動平板11。

各該磁性墊13’、14’係分別隔開第一、第二電磁致動器124’、125’有預定距離，請參照圖5，以使振動平板11能受第一、第二電磁致動器124’、125’的磁力影響而在所述的預定距離中移動。

復請參閱圖6至圖9，係為本發明工具機振動載台第二實施例之示意圖。本實施例之工具機振動載台係大致與前述實施例之作用相同，故不另重覆其相同作用之處，而僅說明不同結構與作用之處，以使本實施例的特點更易於了解。

如圖6所示，本發明第二實施例的工具機振動載台2係用 以連接氣體供應源，而讓加工器件在氣浮狀態下振動。工具機振動載台2由上而下依序疊設有第一振動平板21、第二振動平板22與氣浮平台23。第一振動平板21的頂面係具有螺孔，以供鎖附加工器件，關於加工器件，復請參閱圖9、圖10。如圖9所示，第一振動平板所鎖附的加工器件為例如銑刀的切削刀具3。如圖10所示，第一振動平板所鎖附的加工器件為具有T型槽夾持機構的工作台4。

如圖7所示，第二振動平板22具有推抵塊221與平板氣體接收道222，平板氣體接收道222係延伸至第二振動平板22的外壁面，以形成氣體接收口，進而接收氣體供應源所供應的氣體，第二振動平板22頂面係形成由呈放射狀的氣道連通的多條平板通氣溝槽223，第一振動平板21的底面係置於第二振動平板22的頂面，以覆蓋所有形成於第二振動平板22頂面的平板通氣溝槽223，平板氣體接收道222係在第二振動平板22內部延伸，並穿過至少一條平板通氣溝槽223，進而與所有平板通氣溝槽223連通，以在第一振動平板21置於第二振動平板22時，對各該平板通氣溝槽223的內部空間充填氣體。如圖8所示，當每一平板通氣溝槽223被充滿氣體時，會對上方覆蓋的第一振動平板21提供氣浮力，使第一振動平板21能浮起而離開第二振動平板22以達到氣浮狀態，此時，第一振動平板21與第二振動平板22之間僅存在氣體粘滯摩擦力，因而只要微小力量就能讓第一振動平板21相對第二振動平板22 移動。

氣浮平台23具有平台氣體接收道231，平台氣體接收道231係延伸至氣浮平台23的外壁面，以形成氣體接收口，進而接收氣體供應源的氣體，氣浮平台23頂面係形成由呈放射狀的氣道連通的多條平台通氣溝槽232，平台氣體接收道231係穿過至少一條平台通氣溝槽232，故可對所有平台通氣溝槽232充填氣體。當每一平台通氣溝槽232的內部空間被充滿氣體時，會對上方的第二振動平板22提供氣浮力，使第二振動平板22能浮起而達到氣浮狀態，此時，第二振動平板22與氣浮平台23之間僅存在微小的氣體粘滯摩擦力，只要微小力量就能讓第二振動平板22相對氣浮平台23移動。

如圖7所示，氣浮平台23於第一、第二方向的側邊形成有側壁，該些側壁分別設有第一致動器211與第二致動器225，第一、第二致動器211、225的致動端係分別連接第一、第二振動平板21、22的側邊，以分別在第一、第二方向上致動第一、第二振動平板21、22。前述第二振動平板22的推抵塊221係具有供穿過第一致動器211的孔槽2211，而可在第二方向上推抵第一致動器211，進而帶動第一振動平板21在第二方向上運動。當平台通氣溝槽232充滿氣體時，第二振動平板22就可自氣浮平台23浮起，此刻運行第二致動器225就可帶動第二振動平板22在第二方向上直線運動，此時，推抵塊221會在第二方向對第一致動器211的側邊施加力量，而使 與第一致動器211連接的第一振動平板21，跟第二振動平板22同步在第二方向上運動。當平板通氣溝槽223充滿氣體時，第一振動平板21就可自第二振動平板22浮起，此時運行第一致動器211，就可直接帶動第一振動平板21在第一方向相對第二振動平板22直線運動，但不會對第二振動平板22造成影響。

所述平板通氣溝槽223與平台通氣溝槽232的分佈形狀係呈矩形環狀、或圓形環狀，俾使分別對第一振動平板21與第二振動平板22提供氣浮力的範圍最大化，而令浮起後的第一、第二振動平板21、22不會發生傾斜而影響料件的加工精度。另外，第二振動平板22與氣浮平台23頂面的表面平坦度可限制小於6~10微米/公尺，較佳地，小於3~5微米/公尺，以使氣浮效果更好，因此，第二振動平板22與氣浮平台23的頂面可選用不易受力或受溫度影響而局部變形的石材或陶瓷材料所構成。

由上可知，第一、第二致動器211、225可分別帶動第一振動平板21在第一、第二方向上直線運動，故本發明實施例的第一振動平板21及鎖附於其上的加工器件可在兩個方向上振動，以對料件進行兩個維度的切削加工。第一振動平板21與第二振動平板22間的氣浮膜，係由形成於第二振動平板22的平板氣體接收道222與平板通氣溝槽223所達成。但應說明的是，亦可選擇在第一振動平板上形成氣體接收道與通氣溝 槽，以取代上述第二振動平板的平板氣體接收道與平板通氣溝槽。第二振動平板22與氣浮平台23間的氣浮膜，係由形成於氣浮平台23的平台氣體接收道231與平台通氣溝槽232所達成。但應說明的是，亦可選擇在第二振動平板上形成氣體接收道與通氣溝槽，以取代上述氣浮平台的平台氣體接收道與平台通氣溝槽。

於本實施例中，工具機振動載台2復具有呈片狀的第一彈性體212及第二彈性體226。第一彈性體212的兩端係分別連接第一振動平板21與第二振動平板22，以提供彈性力使在第二振動平板22上致動後的第一振動平板21，沿著第二振動平板22相對於第一振動平板21的內壁面224回到初始位置，內壁面224係沿著第一方向延伸。同理，第二彈性體226的兩端係分別連接第二振動平板22與氣浮平台23，以提供彈性力使在氣浮平台23上致動後的第二振動平板22，沿著氣浮平台23相對於第二振動平板22的內壁面233回到初始位置回位，內壁面233係沿著第二方向延伸。上述彈性體212、226的形體不以圖7所示者為限，仍可使用其它不同幾何形狀之彈性體，以達成相同彈性回位的功能。

應說明的是，第一、第二振動平板21、22可分別透過其它的機制回位，例如可透過第一、第二致動器211、225的牽引，故於其它實施例中，可省略第一、第二彈性體212、226的設置。

綜上所述，本發明工具機振動載台的振動平板係氣浮於氣浮平台上方，使致動器對振動平板的致動不受接觸摩擦力的影響，是以，僅需微小力量就能使振動平板致動，進而可對硬脆材料進行高速加工。振動平板振動時並不會與氣浮平台接觸而發生摩擦，故本發明工具機振動載台在運作時的振動、噪音與能耗很低，是以，本發明的工具機振動載台對所屬領域技術問題的解決具有顯著的功效。

上述實施例僅例示性說明本發明之原理及功效，而非用於限制本發明。任何熟習此項技術之人士均可在不違背本發明之精神及範疇下，對上述實施例進行修飾與改變。因此，本發明之權利保護範圍，應如後述之申請專利範圍。

1‧‧‧工具機振動載台

11‧‧‧振動平板

111‧‧‧平板通氣溝槽

112‧‧‧平板氣體接收道

12‧‧‧氣浮平台

121‧‧‧平台氣體接收道

122‧‧‧平台通氣溝槽

123‧‧‧穿孔

124‧‧‧第一致動器

125‧‧‧第二致動器

13‧‧‧第一抵靠墊

131‧‧‧光滑表面

14‧‧‧第二抵靠墊

141‧‧‧光滑表面

15‧‧‧第一回位彈性體

15’‧‧‧回位彈性體

16‧‧‧第二回位彈性體

2‧‧‧工具機振動載台

21‧‧‧第一振動平板

211‧‧‧第一致動器

212‧‧‧第一彈性體

22‧‧‧第二振動平板

221‧‧‧推抵塊

2211‧‧‧孔槽

222‧‧‧平板氣體接收道

223‧‧‧平板通氣溝槽

224‧‧‧內壁面

225‧‧‧第二致動器

226‧‧‧第二彈性體

23‧‧‧氣浮平台

231‧‧‧平台氣體接收道

232‧‧‧平台通氣溝槽

233‧‧‧內壁面

3‧‧‧切削刀具

4‧‧‧工作台

圖1：係本發明工具機振動載台第一實施例之立體圖。

圖2：係圖1之工具機振動載台之部分構件分解圖。

圖3：係圖1之工具機振動載台以AA線段截切的剖面圖。

圖4：係本發明第一實施例工具機振動載台之回位彈性體另一實施態樣示意圖。

圖5：係本發明工具機振動載台之在振動平板形成通氣溝槽與平板氣體接收道的示意圖。

圖6：係本發明第一實施例工具機振動載台之致動器另一實施態樣示意圖。

圖7：係本發明工具機振動載台第二實施例之分解圖。

圖8：係圖7之工具機振動載台之組合圖。

圖9：係圖8之工具機振動載台以BB線段截切的剖面圖。

圖10：係圖8之工具機振動載台之第一使用狀態示意圖。

圖11：係圖8之工具機振動載台之第二使用狀態示意圖。

1‧‧‧工具機振動載台

11‧‧‧振動平板

12‧‧‧氣浮平台

121‧‧‧平台氣體接收道

123‧‧‧穿孔

124‧‧‧第一致動器

125‧‧‧第二致動器

13‧‧‧第一抵靠墊

14‧‧‧第二抵靠墊

15‧‧‧第一回位彈性體

16‧‧‧第二回位彈性體

Claims (8)

1. 一種工具機振動載台，係用以連接氣體供應源，而讓加工器件在氣浮狀態下振動，包括：第一振動平板，供設置該加工器件；第二振動平板，供置放該第一振動平板；氣浮平台，供置放該第二振動平板；多個氣體接收道，係分別設於該第一振動平板、第二振動平板或氣浮平台，以接收該氣體供應源的氣體，而在該第一振動平板與第二振動平板、和該第二振動平板與氣浮平台間形成氣浮膜；多個致動器，係為電磁致動器，分別對應該第一、第二振動平板的側邊而設置，分別在不同方向致動該第一、第二振動平板；第一彈性體，兩端分別連接該第一振動平板與該第二振動平板，以提供彈性力使在該第二振動平板上致動後的第一振動平板回位；以及第二彈性體，兩端分別連接該第二振動平板與該氣浮平台，以提供彈性力使在該氣浮平台上致動後的第二振動平板回位。
2. 如申請專利範圍第1項所述的工具機振動載台，復包括多個磁性墊，係分別對應該些致動器之一者而設置。
3. 如申請專利範圍第2項所述的工具機振動載台，其中，該第 一振動平板、第二振動平板與氣浮平台係由石材或陶瓷材料所構成。
4. 如申請專利範圍第1項所述的工具機振動載台，復包括多條通氣溝槽，係分別設於該第一振動平板、第二振動平板或氣浮平台，並分別與該些氣體接收道連通，以接收氣體而在該第一振動平板與第二振動平板間、及該第二振動平板與氣浮平台間形成氣浮膜。
5. 如申請專利範圍第4項所述的工具機振動載台，其中，各該通氣溝槽係由呈放射狀的氣道連通，且分佈係呈矩形環狀、或圓形環狀。
6. 一種工具機振動載台，係用以連接氣體供應源，而讓加工器件在氣浮狀態下振動，包括：第一振動平板，供設置該加工器件；第二振動平板，供置放該第一振動平板，側邊具有推抵塊；氣浮平台，供置放該第二振動平板；多個氣體接收道，係分別設於該第一振動平板、第二振動平板或氣浮平台，以接收該氣體供應源的氣體，而在該第一振動平板與第二振動平板、和該第二振動平板與氣浮平台間形成氣浮膜；多個致動器，致動端係分別連接該第一、第二振動平板，以在不同方向分別致動該第一、第二振動平板，該推抵 塊係在該第二振動平板致動方向推抵與該第一振動平板連接的致動器；第一彈性體，兩端分別連接該第一振動平板與該第二振動平板，以提供彈性力使在該第二振動平板上致動後的第一振動平板回位；以及第二彈性體，兩端分別連接該第二振動平板與該氣浮平台，以提供彈性力使在該氣浮平台上致動後的第二振動平板回位。
7. 如申請專利範圍第6項所述的工具機振動載台，其中，該第二振動平板的推抵塊具有孔槽，係供穿過與該第一振動平板連接致動器的致動端；各該平台通氣溝槽與平板通氣溝槽的分佈係呈矩形環狀、或圓形環狀。
8. 如申請專利範圍第6項所述的工具機振動載台，其中，該第一振動平板、第二振動平板與氣浮平台係由石材或陶瓷材料所構成，復包括多條通氣溝槽，係分別設於該第一振動平板、第二振動平板或氣浮平台，並分別與該些氣體接收道連通，以接收氣體而在該第一振動平板與第二振動平板間、及該第二振動平板與氣浮平台間形成氣浮膜。