TWI470216B - 影像取得裝置及影像取得方法 - Google Patents

Description

影像取得裝置及影像取得方法

本發明係有關取得形成於片狀(sheet)基材上之薄膜圖案之影像的影像取得裝置及影像取得方法。

自昔知以來，在各種領域中進行著對形成於薄膜(film)狀或板狀基材上之圖案的檢查。例如，於日本特開2006-112845號公報所揭露之圖案檢查裝置中進行對形成於樹脂薄膜上之佈線圖案的檢查。於圖案檢查裝置中，於光源上藉由使用僅放射出波長500 nm以上之光線之LED(發光二極體)，而獲得對比度良好的影像。

且於日本特開2004-101505號公報所揭露之膜厚測定裝置中，自半導體雷射照射出光線於透明聚酯薄膜上，並以矽光電二極體檢測正反射光強度。半導體雷射及矽光電二極體則藉由步進馬達在0°至90°之範圍內移動，來變更光射入角。

而近年來，則於各種電子機器中設置有觸控面板。此種觸控面板之製造由在樹脂形成之片狀基材上形成透明電極等之透明圖案而形成。在進行基材上之透明圖案的外觀檢查之情況下，例如，藉由自光照射部對該基材上之攝影區域照射光線，且以受光部接受反射光，而取得圖案影像。於此情況下，藉由變更自攝影區域至受光部之光軸與基材之法線所成 之檢測角，變化所接受光線之干涉狀態，而取得對比度為高的影像係為可能。在轉動受光部而變更檢測角之情況下，需要高精度轉動受光部之機構，然而此種轉動機構卻不易設計及製作。因此，不須轉動受光部，而容易變更檢測角之方法為業界所期待。

本發明係為取得形成於片狀基材上之薄膜圖案之影像的影像取得裝置，其目的在於，在取得形成於片狀基材上之薄膜圖案之影像之際，可以容易地變更檢測角。

本發明之影像取得裝置具備：鼓輪，係具有以既定之中心軸為中心之圓筒面的外側面，藉由以前述中心軸為中心旋轉，沿前述外側面搬送前述基材；光照射部，係對被保持於前述鼓輪之前述基材上且平行於前述中心軸之線狀攝影區域射出對前述薄膜圖案具有穿透性之波長之光線；受光部，係具有線感測器、以及使來自前述攝影區域之光線導引至前述線感測器之光學系統；移動機構，係使前述光照射部及前述受光部沿垂直於前述中心軸且相互交叉之兩方向移動；以及控制部，係藉由控制前述移動機構，變更前述光學系統之光軸與前述基材之法線所成之檢測角，同時，於前述光軸上，將與前述線感測器之受光面共軛之位置配置於前述薄膜圖案上。根據本發明，可以容易地變更檢測角。

於本發明之一較佳形態中，前述光照射部係以通過在平行 於前述攝影區域且前述共軛之位置之軸為中心之既定之角度範圍內，對前述攝影區域照射前述光線者；在垂直於前述軸之面上，自前述法線於與前述光軸相反側，以前述軸為中心僅傾斜該檢測角之角度位置包含於前述既定之角度範圍中。藉此，可簡化影像取得裝置之控制

於本發明之另一較佳形態中，又具備記憶部，其記憶顯示前述鼓輪之前述外側面中以前述中心軸為中心之圓周方向各部位之偏心量之校正表，前述控制部使前述鼓輪之旋轉同步，使用前述校正表控制前述移動機構。其結果，可常時間高精度地配置與線感測器之受光面共軛之位置於薄膜圖案上。

本發明亦適合使用影像取得裝置，取得形成於片狀基材上之薄膜圖案之影像的影像取得方法。

藉由參照附圖及以下進行之本發明之詳細說明，可明確上述目的及其他目的、特徵、態樣及優點。

圖1係顯示與本發明之一實施形態相關聯之影像取得裝置1之概略造成之前視圖。影像取得裝置1取得形成於片狀基材上之多層薄膜圖案影像即圖案影像，並根據圖案影像，執行薄膜圖案之檢查。於圖1中，基材係為樹脂薄膜之網膜，即為連續片。薄膜圖案例如係為透明電極膜，於本實施形態中，基材及薄膜圖案為由透明薄膜所覆蓋。實際上，於 基材上亦設置有反射防止膜等之其他之層。

在以下說明中，簡單稱薄膜圖案為「圖案」，統稱基材及基材上之薄膜則統稱為「網膜9」或「檢查對象」。網膜9係例如用於靜電容量型觸控面板之製造。且由於大部分之檢查對象(網膜9)為基材，所以有關於檢查對象之處理等，則不嚴格加以區分檢查對象與基材而來進行說明。

影像取得裝置1具備鼓輪11、攝影單元2、移動機構4及電腦(圖示省略)。鼓輪11具有以平行於圖1中之Y方向之既定中心軸K為中心之圓筒面即外側面111，馬達112經由減速機構連接於鼓輪11。影像取得裝置1又具備沿Y方向長的兩個滾輪121，兩個滾輪121分別被配置在鼓輪11之下方，垂直於Y方向之X方向、鼓輪11之前後((+X)側及(-X)側)。網膜則9依序架在(-X)側之滾輪121、鼓輪11及(+X)側之滾輪121上。

藉由利用馬達112之驅動，鼓輪11以中心軸K為中心朝圖1中之順時鐘方向旋轉，並沿著外側面111來搬送網膜9。亦即，網膜9之各個部位依順序經由(-X)側之滾輪121、鼓輪11及(+X)側之滾輪121而移動。於鼓輪11設置有檢測旋轉角度之編碼器113(參照後述之圖6)。又於網膜9之移動方向(-X)側之滾輪121之上游側設置有支持著(成為捲狀之)檢查前之網膜9之供給部，於(+X)側之滾輪121之下游側設置有支持著成為捲狀之檢查後之網膜9之回收部。

移動機構4具有安裝於影像取得裝置1頂板10之X方向移動部41、以及固定於X方向移動部41之移動體之Z方向移動部42，攝影單元2固定於Z方向移動部42之移動體。X方向移動部41具有馬達、螺桿、導軌等，藉由馬達之驅動，Z方向移動部42朝X方向移動。Z方向移動部42亦同樣地具有馬達、螺桿、導軌等，藉由馬達之驅動，攝影單元2朝垂直於X方向與Y方向之Z方向移動。如此，移動機構4係為垂直與且相互交叉於中心軸K之兩方向上(於圖1中，正交於X方向與Z方向)移動攝影單元2之機構。

圖2係顯示攝影單元2之圖式。於圖2中顯示僅對於光照射部21包含受光部23之光軸J2之面的剖面。攝影單元2具備：光照射部21，係對被保持於鼓輪11之網膜9上之線狀之(沿Y方向延伸之線狀之)攝影區域90發射出光線；以及受光部23，係接受來自攝影區域90之反射光。受光部23具備有複數個受光元件呈直線狀(1次元)被排列之線感測器231、以及使來自攝影區域90之光線導引至線感測器231之光學系統232，線感測器231及光學系統232設於鏡筒233之內部。於圖2中，平行於Z方向之光學系統232之光軸J2上，與線感測器231之受光面光學上共軛之位置(以下稱為「焦點位置」)以點P來表示。

光照射部21對圖案發射出具有穿透性之波長的光線。光線至少照射在平行於鼓輪11之中心軸K之線狀攝影區域 90。具體而言，於光照射部21中設置有以平行於攝影區域90且通過焦點位置P之軸(係假想之軸，以下稱「假想軸」)為中心之圓弧狀支持部210，支持部210固定於受光部23之鏡筒233。於支持部210中排列複數個LED 211，使來自於複數個LED 211之線光經由擴散板212被均一化而照射於攝影區域90。如此，圖2之光照射部21係為以假想軸為中心之既定之角度範圍α內，朝攝影區域90照射光線者。

其次，對攝影單元2中之檢測角之變更動作加以說明。檢測角係為圖1之受光部23之(光學系統232之)光軸J2與在攝影區域90中之網膜9之法線N所成之角θ 2。於影像取得裝置1中，鼓輪11之圓周之上半部，亦即，相對於外側面111之法線之Z方向其傾斜角度為0°至90°之範圍內，外側面111與網膜9產生碰抵接觸。又，受光部23之光軸J2平行於Z方向。因此，對應於網膜9中與鼓輪11碰抵接觸之區域上之攝影區域90的位置(正確地說，以中心軸K為中心之角度位置)，該位置中之網膜9之法線N與光軸J2所成之檢測角θ 2在0°至90°之範圍內產生變化。於以下說明中，簡單稱在攝影區域90中之網膜9之法線N為「網膜9之法線N」。

以當受光部23之焦點位置P被配置於位在鼓輪11之頂點(最(+Z)側之部位)之網膜9之薄膜圖案(表面)上之攝影單元2之位置(於圖3及圖4中二點鏈線所示攝影單元2之位置) 來作為基準位置，例如在檢測角θ 2為ψ a(惟0°<ψ a<90°)之情況下，如圖3所示，從基準位置開始之攝影單元2之X方向之移動量DX係為鼓輪11之半徑R之(sin ψ a)倍(亦即，R sin ψ a)，Z方向之移動量DZ為(R-R cos ψ a)。藉此，攝影單元2中的檢測角θ 2成為ψ a，同時，焦點位置P大致被配置於網膜9之薄膜圖案上(亦即，進行焦點調整)。

同樣地，在檢測角θ 2當成為大於ψ a之ψ b(惟ψ a<ψ b<90°)之情況下，如圖4所示，從基準位置開始之攝影單元2之X方向之移動量DX係為(R sin ψ b)，Z方向之移動量DZ為(R-R cos ψ b)。藉此，攝影單元2中的檢測角θ 2成為ψ b，同時，焦點位置P大致配置於網膜9之薄膜圖案上。藉此，於影像取得裝置1中，攝影單元2中的檢測角θ 2之變更動作及焦點調整僅藉由移動裝置4使攝影單元2朝X方向及Z方向移動而來實現。且，上述基準位置係為用來簡化說明檢測角θ 2變更時攝影單元2朝X方向及Z方向之移動量者，於變更檢測角θ 2時，攝影單元2無須返回基準位置。

於具有圖2之光照射部21之攝影單元2中，在垂直於上述假想軸(亦即，平行於攝影區域90並通過焦點位置P之軸)的面上，在自網膜9之法線N，於光軸J2相反側，以該假想軸為中心僅傾斜檢測角θ 2之角度位置(圖2中以符號A1標示之一點鏈線所示)包含於角度範圍α之狀態下，進行利 用受光部23所作影像(線影像)之取得。且特別注意自攝影區域90射入至受光部23的光線，若於該角度位置可掌握到配置自光照射部21至攝影區域90之光軸，該光軸與網膜9之法線N所成之角度稱為照射角，照射角與檢測角成為相等。

其次，對影像取得裝置1中的影像取得原理加以說明。圖5係舉例說明檢測角與對比度之關係之圖式。實線811表示於厚度30 nm之透明電極圖案上形成厚度900 nm之透明薄膜之情形之檢測角與對比度的關係。於背景中當作僅存在厚度900 nm之透明薄膜者。照射光之波長為570 nm。

在此，對比度係在基材上存在含有圖案之多層膜之情況下射入受光部23(之線感測器231)之光強度與基材上僅存在自上述多層膜除去圖案之薄膜之情況下射入受光部23之光強度的比。換言之，對比度係圖案與背景間之輝度比(=(圖案區域之輝度)/(背景區域之輝度))。輝度對應於其波長之反射率，輝度比亦係反射率比。例如，藉由外部之膜厚計，取得網膜9內存在圖案之區域中之各層膜厚，接著取得圖案周圍區域即背景中之各層膜厚，藉根據基材上之層構造及各層之膜厚加以演算，可取得上述輪廓(profile)。如後述，於本實施形態中，藉由其他方法，取得相同之輪廓。當然，對於對比度可利用輝度或反射率之差等之其他之值亦可。

於圖5中，通常在對比度為0.5以下或2以上之情況下， 可取得良好圖案影像。於實線811之情況下，在檢測角大致0°以上28°以下或40°以上45°以下情況下，取得適當圖案影像。然而，45°只不過是在圖5上所示之形式上之上限。且若對比度在0.77以下或1.3以上，根據條件依然可進行圖案檢查。較佳地係為對比度在0.67以下或1.5以上。又，「對比度高」係指對比度良好，意指可清楚區別明暗之狀態。對比度高未必意指對比度的值為大。

圖5之虛線812係為表示於厚度30 nm之透明電極圖案上形成厚度960 nm之透明薄膜之情形之檢測角與對比度的關係。於背景中當作僅存在厚度960 nm之透明薄膜者。一點鏈線813係為表示於厚度30 nm之透明電極圖案上形成厚度1000 nm之透明薄膜之情形之檢測角與對比度的關係。於背景中當作當作僅存在厚度1000 nm之透明薄膜者。照射光之波長為570 nm。如曲線811~813所示，得知藉由透明薄膜之厚度變化，取得到的對比度高之圖案影像之檢測角產生大幅度地變化。

亦即，當變化檢測角時，經由各透明層之光線(射入受光部23之光線)之光路長度產生變化，而光線的干涉狀態產生變化，因此，即使於特定之檢測角未獲得高對比度之情況下，仍可藉由變化檢測角且不變化波長，而獲得高對比度。進而換言之，藉由變化檢測角，實現了與使用白色光源及多數之濾光器，且自多數之波長中選擇波長，而取得到圖案影 像之情形之相同等之影像取得作業。

圖6係顯示影像取得裝置1之功能構成之方塊圖。虛線所圍之構成係除去編碼器113於圖1所示之構成，其他構成由前述之電腦而實現。影像取得裝置1具備：輸入來自受光部23之輸出之輪廓取得部31、輸入以輪廓取得部31求出之輪廓之角度決定部32、控制全體之全體控制部30、記憶校正表331之記憶部33、以及進行後述檢查之檢查部36。在此，校正表331係顯示鼓輪11之外側面111中以中心軸K為中心之圓周方向之各部位之偏心量者。偏心量係起因於鼓輪11之偏心之具有反覆再現性的值，其例如藉由使用位移感測器，測定在圓周方向之外側面111之各部位之徑向位移而來取得。

圖7係影像取得裝置1之動作之流程圖。於影像取得裝置1中，首先取得顯示檢測角與對比度之關係之輪廓(步驟S 11)。具體而言，一面控制圖1之移動裝置4，一面變更檢測角，藉受光部23之線感測器231，反覆取得攝影區域90之線影像。此時，為於攝影區域90存在有圖案及背景的方式，依需要鼓輪11移動網膜9，於輪廓取得部31中，每次以線感測器231取得線影像，而求出來自圖案區域之光強度與來自背景區域之光強度的比作為對比度。檢測角自預先設定之最小角度變更至最大角度，藉此，取得輪廓。

角度決定部32根據取得之輪廓，決定檢測角之應設定之 角度(以下稱「設定角度」)(步驟S 12)。於設定角度之決定中，較佳係選擇對比度最高的角度。設定角度被輸入至全體控制部30，全體控制部30控制移動裝置4，亦即，使攝影區域90位在對應於設定角度之鼓輪11之角度位置之方式藉由移動攝影單元2，則檢測角成為設定角度(步驟S 13)。

當上述準備作業結束時，開始自光照射部21發射出光線及驅動馬達112，並開始藉由鼓輪11搬送網膜9(步驟S 14)。於受光部23中，高速地反覆取得線狀攝影區域90之線影像。此時，藉由來自編碼器113之信號輸入至全體控制部30，使鼓輪11之旋轉角度同步，根據校正表331控制移動機構4，而配合鼓輪11之外側面111之各部位中之偏心量，攝影單元2略微移動。藉此，受光部23之焦點位置P常時間被配置在網膜9之薄膜圖案上。藉由以上動作，於檢查部36中，取得(亦即，記憶)顯示薄膜圖案之2次元圖案影像之資料(步驟S 15)。

構成基準之參考影像之資料被記憶於檢查部36中，藉由比較圖案影像之資料與參考影像之資料，判定有無缺陷(步驟S 16)。實際上，步驟S 15及步驟S 16係反覆地被執行每次當網膜9進行一定距離的搬送，當對網膜9之所有檢查結束時，停止照射光線及網膜9之搬送，而結束檢查(步驟S 17)。且於檢查部36中，假設在射入至受光部23之光線之量隨著檢測角而變化情況下，亦可配合設定角度，校正圖 案影像之資料。又可藉由既定方法來正規化圖案影像與參考影像，且比較正規化以後之兩影像，來進行檢查。當然，圖案影像之檢查亦可藉由與參考影像之比較以外之方法來進行。

如以上說明，於影像取得裝置1中設置有：鼓輪11，係沿外側面111搬送網膜9；以及移動機構4，係沿垂直於鼓輪11之中心軸K，且相互交叉之兩方向來移動攝影單元2；藉由控制移動裝置4，變更檢測角，同時進行調整焦點。如此，於影像取得裝置1中不用設置轉動攝影單元2之機構，藉僅沿兩方向移動攝影單元2之移動裝置4，可容易地變更檢測角，且同時可配置焦點位置P於薄膜圖案上。

又，可不用變更照射於攝影區域90之光線之波長，而可取得圖案與背景間之對比度高的圖案影像。藉此，變更波長之複雜構造、或對應於多波長之光線之光學系統之設計及煩瑣的調整成為不需要者，可削減影像取得裝置1之製造成本。進而，例如即使在感光性之光阻劑被包含於圖案上之層的情況等下，一方面仍可避免掉無法使用之波長的光線，且又容易地取得到圖案影像。

於影像取得裝置1中，藉由使鼓輪11之旋轉同步，使用校正表331來控制移動機構4，常時間可高精度地配置與線感測器231之受光面共軛之焦點位置P於薄膜圖案上。其結果，可穩定地取得對比度高的圖案影像。又，於使用鼓輪 11之影像取得裝置1中，相較於取得於沿水平方向被搬送之網膜之影像之裝置，可減小裝置之設置面積。且，藉由影像取得裝置1之設計，設置檢測在光軸J2方向上之受光部23與網膜9之間之距離之感測器，藉由受光部23根據該感測器之輸出而沿光軸J2移動，可於圖案影像取得時，同時進行調整焦點調整。

於影像取得裝置1中，除了圖案檢查外，也可進行圖案影像之顯示。例如，如圖6中矩形虛線之所示，顯示控制部34連接於受光部23，顯示器35連接於顯示控制部34。於圖案影像之顯示中，攝影區域90配置在操作者所指定之網膜9上之區域附近(檢測角成為設定角度)。一面搬送，一面以受光部23之線感測器231反覆取得攝影區域90之線影像。線影像資料被輸入至顯示控制部34。藉此，取得顯示指定區域中之薄膜圖案之圖案影像資料，而圖案影像顯示於顯示器35。於其他之影像取得裝置中亦可設置顯示控制部34及顯示器35。

圖8係顯示攝影單元之其他例子之圖式，係攝影單元之後視圖。於圖8之攝影單元2a中，光照射部21a之構成異於圖2之光照射部21，同時設置有轉動光照射部21a之光照射部轉動機構22。光照射部21a具備有沿Y方向排列之複數個LED、以及均一化來自LED之光線並導引至攝影區域90之光學系統。

光照射部轉動機構22具有以焦點位置P為中心之圓弧狀導板221，導板221固定於受光部23之鏡筒233。導板221係平行於X方向與Z方向之板構件。於光照射部21a設置有以平行於Y方向之軸為中心而旋轉之齒輪223、及2個導引滾輪224。於導板221中，在相對於焦點位置P之外側之圓弧狀邊緣(亦即，2個圓弧狀邊緣中距離焦點位置P較遠之邊緣)設置有齒軌222，齒輪223嚙合於齒軌222。又，於導板221中之內側圓弧狀邊緣形成與導引滾輪224卡合之導槽。

於攝影單元2中，藉由圖示省略之馬達旋轉齒輪223，光照射部21a沿導板221之圓弧狀之邊緣來移動。亦即，藉由光照射部轉動機構22，光照射部21a產生轉動以平行於攝影區域90且通過焦點位置P之軸(假想軸)為中心。且齒輪223與導引滾輪224係光照射部轉動機構22之一部分。以自光照射部21a至攝影區域90之光軸J1與網膜9之法線N所成之角θ 1為照射角，於攝影單元2a中，藉由光照射部轉動機構22變更照射角θ 1。

於具有攝影單元2a之影像取得裝置1之圖案影像取得之中，在以檢測角θ 2為設定角度之際，藉由光照射部轉動機構22轉動光照射部21a，照射角θ 1亦被變更成為設定角度。藉此，可取得對比度高的圖案影像。另一方面，在簡化影像取得裝置1之控制之觀點中，係採用圖2之光照射部 21，而省略轉動光照射部21之機構為較佳。

以上雖然對本發明之實施形態加以說明，惟本發明不限於上述實施形態，可作各種變形。

於圖7之步驟S 11之處理中，亦可藉由使利用鼓輪11之網膜9之移動同步，以移動機構4大致沿鼓輪11之外側面111移動攝影單元2、2a，對網膜9上之相同位置處，利用複數之檢測角取得線影像。於此情況下，沿垂直於線之方向取得對比度變化之影像，操作者可參照該影像，來決定設定角度。又，在沿網膜9之長方向上相同之圖案為連續之情形下，於複數之檢測角中取得線影像時，可不進行利用鼓輪11之網膜9之搬送，而取得與上述影像相同之影像。

又，於影像取得裝置1中，亦可藉由設置膜厚計(光干涉式分光膜厚計、橢圓偏光計)來取得輪廓。

於影像取得裝置1中，亦可以受光部23之光軸J2平行於ZX平面，且相對於Z方向傾斜的方式，將攝影單元2、2a安裝於移動機構4。又，可藉由影像取得裝置1之設計，以平行於鼓輪11之中心軸K之軸為中心，設置輔助攝影單元2、2a轉動之機構。

在藉由利用p偏振光或s偏振光其中一者，相較於未利用偏振光之情形，而可取得對比度高之圖案影像情況下，亦可配置偏振器在攝影區域90與受光部23之間。於此情況下，來自網膜9之反射光中僅p偏振光或s偏振光射入至受光部 23。又，亦可設置以光軸J2為中心旋轉偏振器之旋轉機構，能切換射入至受光部23之偏振光。更進一步，亦可根據p偏振光取得第1圖案影像，根據s偏振光取得第2圖案影像。於此情況下，例如求出第1圖案影像之各像素之值與第2圖案影像之對應之像素之值之積，取得具有以積為像素值之影像來作為圖案影像。由於在此種圖案影像中，利用種類相異之兩種影像，因此，減低影像中雜訊等之影響。

形成於基材上之薄膜構造亦可為各種者，通常，相較於在上述實施形態舉例說明者具有更複雜的構造。成為檢查對象(或顯示對象)之圖案不限於一種，亦可為複數種類。於此情況下，在各檢查對象之圖案之檢查之際，與此圖案重疊之其他圖案被使用來作為背景。

於上述實施形態中，雖然對背景係一種者來加以說明，而背景不限於一種。在背景為複數種情況下，求出相關各背景之輪廓，對於任一種背景決定對比度變高的檢測角。

薄膜圖案之組成若為對照射光有某一定程度的穿透性者，亦可由其他材料形成者，對於可見光並不一定需要為透明。圖案不限於為透明電極，亦可為其他用途之圖案。然而，以影像取得裝置之用途而言特別適用於即使照射可見光仍無陰影之透明電極之圖案影像之檢查、及顯示。又，基材亦可形成由樹脂以外之材料。

自光照射部發射出之光線之波長不限於單一種，亦可能選 擇性地發射出複數之波長之光線。對於光源亦可設置LD而非LED。更進一步，亦可設置鹵素燈等之燈與濾光器之組合來作為光源。

藉由移動機構4之攝影單元2、2a之兩個移動方向若為垂直於鼓輪11之中心軸K，則並非一定必為正交。

上述實施形態及各變形例之構成可在不相互矛盾範圍內適當加以組合。

雖然詳細描繪而說明發明，前述說明卻只是舉例說明而非限定者。因此，在不悖離本發明之範圍內，可為多數之變形、態樣。

1‧‧‧影像取得裝置

2、2a‧‧‧攝影單元

4‧‧‧移動機構

9‧‧‧網膜

10‧‧‧頂板

11‧‧‧鼓輪

21、21a‧‧‧光照射部

22‧‧‧光照射部轉動機構

23‧‧‧受光部

30‧‧‧全體控制部

31‧‧‧輪廓取得部

32‧‧‧角度決定部

33‧‧‧記憶部

34‧‧‧顯示控制部

35‧‧‧顯示器

36‧‧‧檢查部

41‧‧‧X方向移動部

42‧‧‧Z方向移動部

90‧‧‧攝影區域

111‧‧‧外側面

112‧‧‧馬達

113‧‧‧編碼器

121‧‧‧滾輪

210‧‧‧支持部

211‧‧‧LED

212‧‧‧擴散板

221‧‧‧導板

222‧‧‧齒軌

223‧‧‧齒輪

224‧‧‧導引滾輪

231‧‧‧線感測器

232‧‧‧光學系統

233‧‧‧鏡筒

331‧‧‧校正表

J2‧‧‧光軸

K‧‧‧中心軸

N‧‧‧法線

P‧‧‧焦點位置

α‧‧‧角度範圍

θ 1‧‧‧照射角

θ 2‧‧‧檢測角

圖1係顯示影像取得裝置之概略構成之圖式。

圖2係顯示攝影單元之圖式。

圖3係用以說明檢測角之變更動作之圖式。

圖4係用以說明檢測角之變更動作之圖式。

圖5係顯示輪廓例之圖式。

圖6係顯示影像取得裝置之功能構成之方塊圖。

圖7係顯示影像取得裝置之動作流程之圖式。

圖8係顯示攝影單元之其他例子之圖式。

1‧‧‧影像取得裝置

2‧‧‧攝影單元

4‧‧‧移動機構

9‧‧‧網膜

10‧‧‧頂板

11‧‧‧鼓輪

21‧‧‧光照射部

23‧‧‧受光部

41‧‧‧X方向移動部

42‧‧‧Z方向移動部

90‧‧‧攝影區域

111‧‧‧外側面

112‧‧‧馬達

121‧‧‧滾輪

J2‧‧‧光軸

K‧‧‧中心軸

N‧‧‧法線

P‧‧‧焦點位置

θ 2‧‧‧檢測角

Claims (4)

1. 一種影像取得裝置，係取得形成於片狀基材上之薄膜圖案之影像者，其具備有：鼓輪，係具有以既定之中心軸為中心之圓筒面的外側面，藉由以前述中心軸為中心旋轉，沿前述外側面搬送前述基材；光照射部，係對被保持於前述鼓輪之前述基材上且平行於前述中心軸之線狀攝影區域射出對前述薄膜圖案具有穿透性之波長之光線；受光部，係具有線感測器、以及使來自前述攝影區域之光線導引至前述線感測器之光學系統；移動機構，係使前述光照射部及前述受光部沿垂直於前述中心軸且相互交叉之兩方向移動；以及控制部，係藉由控制前述移動機構，變更前述光學系統之光軸與前述基材之法線所成之檢測角，同時，將於前述光軸上，與前述線感測器之受光面共軛之位置配置於前述薄膜圖案上；前述光照射部係以通過在平行於前述攝影區域且前述共軛之位置的軸為中心之既定之角度範圍內，向前述攝影區域照射前述光線者；在垂直於前述軸之面上，自前述法線，於與前述光軸相反側，以前述軸為中心僅傾斜前述檢測角之角度位置包含於前 述既定之角度範圍中。
2. 如申請專利範圍第1項之影像取得裝置，其中，進而具備記憶部，其記憶顯示於前述鼓輪之前述外側面中以前述中心軸為中心之圓周方向各部位之偏心量之校正表；前述控制部使前述鼓輪之旋轉同步，使用前述校正表控制前述移動機構。
3. 一種影像取得方法，係使用影像取得裝置取得形成於片狀基材上之薄膜圖案之影像者，前述影像取得裝置具備：鼓輪，係具有以既定之中心軸為中心之圓筒面的外側面，藉由以前述中心軸為中心旋轉，沿前述外側面搬送前述基材；光照射部，係對被保持於前述鼓輪之前述基材上且平行於前述中心軸之線狀攝影區域射出對前述薄膜圖案具有穿透性之波長之光線；受光部，係具有線感測器、以及使來自前述攝影區域之光線導引至前述線感測器之光學系統；以及移動機構，係使前述光照射部及前述受光部沿垂直於前述中心軸且相互交叉之兩方向移動；前述影像取得方法具備：a)決定前述光學系統之光軸與前述基材之法線所成之檢測角之應設定角度，作為設定角度之步驟；以及 b)藉由控制前述移動機構，變更前述檢測角為前述設定角度，同時將前述光軸上與前述線感測器之受光面共軛之位置配置於前述薄膜圖案上之步驟；前述光照射部係以通過在平行於前述攝影區域且前述共軛之位置之軸為中心之既定之角度範圍內，向前述攝影區域照射前述光線者；在垂直於前述軸之面上，自前述法線，於與前述光軸相反側，以前述軸為中心僅傾斜前述檢測角之角度位置包含於前述既定之角度範圍中。
4. 如申請專利範圍第3項之影像取得方法，其中，於前述b)步驟中，使用顯示於前述鼓輪之前述外側面中以前述中心軸為中心之圓周方向各部位之偏心量之校正表，使前述鼓輪之旋轉同步，控制前述移動機構。