TWI462130B - Manufacture method of rare earth permanent magnets and rare earth permanent magnets - Google Patents

Description

稀土類永久磁鐵及稀土類永久磁鐵之製造方法

本發明係關於一種稀土類永久磁鐵及稀土類永久磁鐵之製造方法。

近年來，關於油電混合車或硬碟驅動器等中所使用之永久磁鐵馬達，要求小型輕量化、高功率化、高效率化。因此，於實現上述永久磁鐵馬達之小型輕量化、高功率化、高效率化時，對於埋設於馬達中之永久磁鐵，要求薄膜化及磁特性之進一步提高。

此處，作為用於永久磁鐵馬達之永久磁鐵的製造方法，先前以來通常係使用粉末燒結法。此處，粉末燒結法係首先製造將原材料藉由噴射磨機(乾式粉碎)等粉碎之磁鐵粉末。其後，將該磁鐵粉末放入模具中，壓製成形為所期望之形狀。並且，藉由將成形為所期望之形狀的固體狀之磁鐵粉末於特定溫度(例如Nd-Fe-B系磁鐵為1100℃)下燒結而製造(例如，日本專利特開平2-266503號公報)。又，為了提高永久磁鐵之磁特性，通常進行藉由自外部施加磁場之磁場配向。並且，於利用先前之粉末燒結法的永久磁鐵之製造方法中，於壓製成形時向模具中填充磁鐵粉末，並於施加磁場進行磁場配向之後施加壓力，使經壓粉之成形體成形。又，於其他利用擠出成形法、射出成形法、輥軋成形法等之永久磁鐵之製造方法中，於施加有磁場之環境下施加壓力並使磁鐵成形。藉此，可形成磁鐵粉末之易磁化 軸方向與磁場之施加方向一致之成形體。

先前技術文獻 專利文獻

專利文獻1：日本專利特開平2-266503號公報(第5頁)

然而，若藉由上述粉末燒結法而製造永久磁鐵，則有以下問題方面。即，於粉末燒結法中，為了進行磁場配向而必需確保壓製成形之磁鐵粉末有一定之空隙率。並且，若將具有一定之空隙率之磁鐵粉末燒結，則難以使燒結時所產生之收縮均勻，而於燒結後產生翹曲或凹陷等變形。 又，由於壓製磁鐵粉末時會產生壓力不均，因此燒結後之磁鐵會變疏密而於磁鐵表面產生應變。因此，先前必需預先假定磁鐵表面形成應變，並以大於所期望之形狀之尺寸將磁鐵粉末壓縮成形。並且，於燒結後進行金剛石切削研磨工作，並進行修正成所期望之形狀之加工。其結果為，有使製造步驟增加，並且所製造之永久磁鐵的品質降低之虞。

又，尤其是若藉由如上所述方式將薄膜磁鐵自較大尺寸之塊體切出而製造，則產生材料良率之顯著降低。又，亦產生加工工時大幅增加之問題。

本發明係為了解決上述先前之問題方面而成者，其目的在於提供一種一面使磁鐵粉末生胚片材化，一面藉由對於長條片狀之生胚片材的面內方向且寬度方向或面內方向且 長度方向施加磁場而進行磁場配向，藉此可防止燒結後之磁鐵中產生翹曲或凹陷等變形，並且可適當地進行磁場配向，而提高永久磁鐵之磁特性之稀土類永久磁鐵及稀土類永久磁鐵之製造方法。

為了達成上述目的，本發明之稀土類永久磁鐵之特徵在於藉由如下步驟製造：將磁鐵原料粉碎成磁鐵粉末之步驟，藉由使上述經粉碎之磁鐵粉末與黏合劑加以混合而生成混合物之步驟，使上述混合物成形為長條片狀而製作生胚片材之步驟，藉由對於上述生胚片材之面內方向且寬度方向或面內方向且長度方向施加磁場而進行磁場配向之步驟，燒結經磁場配向之上述生胚片材之步驟。

又，本發明之稀土類永久磁鐵之特徵在於：於製作上述生胚片材之步驟中，藉由對連續輸送之基材塗敷上述混合物而製作上述生胚片材，上述磁場配向之步驟係對於與上述基材一同連續輸送之上述生胚片材施加磁場。

又，本發明之稀土類永久磁鐵之特徵在於：上述磁場配向之步驟係藉由使與上述基材一同連續輸送之上述生胚片材通過施加有電流之螺線管內，而對於上述生胚片材之面內方向且長度方向施加磁場。

又，本發明之稀土類永久磁鐵之特徵在於：於燒結上述生胚片材之步驟中，藉由加壓燒結而進行燒結。

又，本發明之稀土類永久磁鐵之特徵在於：於燒結上述生胚片材之前，藉由將上述生胚片材於非氧化性環境下以 黏合劑分解溫度保持一定時間，而使上述黏合劑飛散並去除。

又，本發明之稀土類永久磁鐵之特徵在於：於使上述黏合劑飛散並去除之步驟中，使上述生胚片材於氫氣環境下或氫與惰性氣體之混合氣體環境下以200℃~900℃保持一定時間。

又，本發明之稀土類永久磁鐵之特徵在於：上述混合物係使上述磁鐵粉末、上述黏合劑及有機溶劑混合而成之漿料，上述磁場配向之步驟係於上述生胚片材乾燥之前，對於上述生胚片材施加磁場。

又，本發明之稀土類永久磁鐵之製造方法之特徵在於包括：將磁鐵原料粉碎成磁鐵粉末之步驟，藉由使上述經粉碎之磁鐵粉末與黏合劑加以混合而生成混合物之步驟，使上述混合物成形為長條片狀而製作生胚片材之步驟，藉由對於上述生胚片材之面內方向且寬度方向或面內方向且長度方向施加磁場而進行磁場配向之步驟，燒結經磁場配向之上述生胚片材之步驟。

又，本發明之稀土類永久磁鐵之製造方法之特徵在於：於製作上述生胚片材之步驟中，藉由對連續輸送之基材塗敷上述混合物而製作上述生胚片材，上述磁場配向之步驟係對於與上述基材一同連續輸送之上述生胚片材施加磁場。

又，本發明之稀土類永久磁鐵之製造方法之特徵在於：上述磁場配向之步驟係藉由使與上述基材一同連續輸送之 上述生胚片材通過施加有電流之螺線管內，而對於上述生胚片材之面內方向且長度方向施加磁場。

又，本發明之稀土類永久磁鐵之製造方法之特徵在於：於燒結上述生胚片材之步驟中，藉由加壓燒結而進行燒結。

又，本發明之稀土類永久磁鐵之製造方法之特徵在於：於燒結上述生胚片材之前，藉由將上述生胚片材於非氧化性環境下以黏合劑分解溫度保持一定時間，而使上述黏合劑飛散並去除。

又，本發明之稀土類永久磁鐵之製造方法之特徵在於：於使上述黏合劑飛散並去除之步驟中，使上述生胚片材於氫氣環境下或氫與惰性氣體之混合氣體環境下以200℃~900℃保持一定時間。

又，本發明之稀土類永久磁鐵之製造方法之特徵在於：上述混合物係使上述磁鐵粉末、上述黏合劑及有機溶劑混合而成之漿料，上述磁場配向之步驟係於上述生胚片材乾燥之前，對於上述生胚片材施加磁場。

根據具有上述構成之本發明之稀土類永久磁鐵，由於利用燒結使磁鐵粉末與黏合劑加以混合並成形為片狀之生胚片材而成的磁鐵構成永久磁鐵，因此使燒結引起之收縮變得均勻而不產生燒結後之翹曲或凹陷等變形，又，由於消除壓製時之壓力不均，故而無需先前進行之燒結後之修正加工，可使製造步驟簡化。藉此，可以較高之尺寸精度使 永久磁鐵成形。又，即便為使永久磁鐵薄膜化之情形時，亦不會降低材料良率而可防止加工工時增加。又，由於藉由對於長條片狀之生胚片材之面內方向且寬度方向或面內方向且長度方向施加磁場而進行磁場配向，因此可適當地進行磁場配向，並提高永久磁鐵之磁特性。又，於施加磁場時，亦無生胚片材之表面起毛之虞。

又，根據本發明之稀土類永久磁鐵，藉由對經連續輸送之基材塗敷混合物而製作生胚片材，藉由對於與基材一同連續輸送之生胚片材施加磁場而進行磁場配向，因此自生胚片材之製作直至磁場配向可以連續之步驟進行，可實現製造步驟之簡化及生產性之提高。

又，根據本發明之稀土類永久磁鐵，由於藉由使與基材一同連續輸送之生胚片材通過施加有電流之螺線管內而對於生胚片材之面內方向且長度方向施加磁場，因此可對於生胚片材施加均勻之磁場，可均勻且適當地進行磁場配向。

又，根據本發明之稀土類永久磁鐵，由於燒結生胚片材之步驟中，藉由加壓燒結而進行燒結，因此可降低燒結溫度並抑制燒結時之晶粒生長。藉此，可提高磁性能。

又，根據本發明之稀土類永久磁鐵，由於藉由於燒結生胚片材之前使生胚片材於非氧化性環境下以黏合劑分解溫度保持一定時間而使黏合劑飛散並去除，因此可預先降低磁鐵內所含有之碳量。其結果為，可抑制燒結後之磁鐵的主相內析出αFe，可緻密地燒結磁鐵整體，並防止保磁力 降低。

又，根據本發明之稀土類永久磁鐵，藉由將混練有黏合劑而成之生胚片材於氫氣環境下或氫與惰性氣體之混合氣體環境下預燒，可更確實地降低磁鐵內所含有之碳量。

又，根據本發明之稀土類永久磁鐵，由於藉由於成形之生胚片材乾燥之前，對於生胚片材施加磁場而進行磁場配向，因此可適當地進行磁場配向，並提高永久磁鐵之磁特性。

又，根據本發明之稀土類永久磁鐵之製造方法，由於藉由燒結使磁鐵粉末與黏合劑加以混合並成形為片狀之生胚片材而製造永久磁鐵，因此使所製造之永久磁鐵中，燒結引起之收縮變得均勻而不產生燒結後之翹曲或凹陷等變形，又，由於消除壓製時之壓力不均，故而無需先前進行之燒結後之修正加工，可使製造步驟簡化。藉此，可以較高之尺寸精度使永久磁鐵成形。又，即便為使永久磁鐵薄膜化之情形時，亦不會降低材料良率而可防止加工工時增加。又，由於藉由對於長條片狀之生胚片材之面內方向且寬度方向或面內方向且長度方向施加磁場而進行磁場配向，因此可適當地進行磁場配向，並提高永久磁鐵之磁特性。又，於施加磁場時，亦無生胚片材之表面起毛之虞。

又，根據本發明之稀土類永久磁鐵之製造方法，藉由對經連續輸送之基材塗敷混合物而製作生胚片材，藉由對於與基材一同連續輸送之生胚片材施加磁場而進行磁場配向，因此自生胚片材之製作直至磁場配向可以連續之步驟 進行，可實現製造步驟之簡化及生產性之提高。

又，根據本發明之稀土類永久磁鐵之製造方法，由於藉由使與基材一同連續輸送之生胚片材通過施加有電流之螺線管內而對於生胚片材施加磁場，因此可對於生胚片材施加均勻之磁場，並可均勻且適當地進行所製造之永久磁鐵之磁場配向。

又，根據本發明之稀土類永久磁鐵之製造方法，由於燒結生胚片材之步驟中，藉由加壓燒結而進行燒結，因此可降低燒結溫度並抑制燒結時之晶粒生長。藉此，可使磁性能提高。

又，根據本發明之稀土類永久磁鐵之製造方法，由於藉由於燒結生胚片材之前使生胚片材於非氧化性環境下以黏合劑分解溫度保持一定時間而使黏合劑飛散並去除，因此可預先降低磁鐵內所含有之碳量。其結果為，可抑制燒結後之磁鐵的主相內析出αFe，可緻密地燒結磁鐵整體，並防止保磁力降低。

又，根據本發明之稀土類永久磁鐵之製造方法，藉由將混練有黏合劑而成之生胚片材於氫氣環境下或氫與惰性氣體之混合氣體環境下預燒，可更確實地降低磁鐵內所含有之碳量。

又，根據本發明之稀土類永久磁鐵之製造方法，由於藉由於成形之生胚片材乾燥之前，對於生胚片材施加磁場而進行磁場配向，因此可適當地進行磁場配向，並提高永久磁鐵之磁特性。

以下，一面參照圖式，一面對將本發明之稀土類永久磁鐵及稀土類永久磁鐵之製造方法具體化的一實施形態進行詳細說明。

[永久磁鐵之構成]

首先，對本發明之永久磁鐵1之構成進行說明。圖1為表示本發明之永久磁鐵1的整體圖。再者，雖然圖1所示之永久磁鐵1具備扇型形狀，但永久磁鐵1之形狀係根據衝壓形狀而發生變化。

本發明之永久磁鐵1為Nd-Fe-B系磁鐵。再者，將各成分之含量設為Nd：27~40 wt%、B：1~2 wt%、Fe(電解鐵)：60~70 wt%。又，亦可為了提高磁特性而少量含有Dy、Tb、Co、Cu、Al、Si、Ga、Nb、V、Pr、Mo、Zr、Ta、Ti、W、Ag、Bi、Zn、Mg等其他元素。圖1為表示本實施形態之永久磁鐵1的整體圖。

此處，永久磁鐵1係具備例如0.05 mm~10 mm(例如1 mm)之厚度之薄膜狀永久磁鐵。並且，如下所述藉由對將磁鐵粉末與黏合劑混合而成之混合物(漿料或複合物)成形為片狀之成形體(生胚片材)進行加壓燒結而製作。

此處，作為燒結生胚片材之加壓燒結，例如有：熱壓燒結、熱均壓(HIP，Hot Isostatic Pressing)燒結、超高壓合成燒結、氣體加壓燒結、放電電漿(SPS，Spark Plasma Sintering)燒結等。其中，為了抑制燒結時磁鐵粒子之晶粒生長，較理想為使用以更短時間且更低溫進行燒結之燒結 方法。又，較理想為使用可減少燒結後之磁鐵所產生之翹曲的燒結方法。因此，尤其於本發明中，於上述燒結方法中，較理想為使用對單軸方向加壓之單軸加壓燒結且藉由通電燒結進行燒結之SPS燒結。

此處，SPS燒結係對於內部配置有燒結對象物之石墨製燒結模具一面對單軸方向加壓一面加熱之燒結方法。又，於SPS燒結中，藉由脈衝通電加熱與機械加壓，除了通常之燒結所使用之熱能及機械能以外，亦將脈衝通電之電磁能或被加工物之自身發熱及粒子間產生之放電電漿能等複合地作為燒結之驅動力。因此，亦可比電爐等之環境加熱更急速升溫/冷卻，又，可實現較低溫度區域下之燒結。其結果為，可縮短燒結步驟中之升溫/保持時間，可製作抑制磁鐵粒子之晶粒生長的緻密之燒結體。又，由於燒結對象物係以對單軸方向加壓之狀態而燒結，故而可減少燒結後所產生之翹曲。

又，進行SPS燒結時，將生胚片材衝壓成所期望之製品形狀(例如，圖1所示之扇形形狀)而成的成形體配置於SPS燒結裝置之燒結模具內而進行。並且，於本發明中，為了提高生產性，如圖2所示使複數個(例如10個)成形體2同時配置於燒結模具3內而進行。此處，於本發明中，如下所述將生胚片材之厚度精度設為相對於設計值±5%以內，更佳為±3%以內，進而較佳為±1%以內。其結果為，本發明中如圖2所示，即便為使複數個(例如10個)成形體2同時配置於燒結模具3內進行燒結之情形時，各成形體2之厚度d 亦均勻，因此關於各成形體2，可不產生加壓值或燒結溫度之偏差而適當地燒結。另一方面，若生胚片材之厚度精度較低(例如相對於設計值為±5%以上)，則如圖3所示，於使複數個(例如10個)成形體2同時配置於燒結模具3內進行燒結之情形時，各成形體2之厚度d有偏差，因此產生各成形體2之脈衝電流之通電的不均衡，又，關於各成形體2，加壓值或燒結溫度產生偏差而無法適當地燒結。再者，於同時燒結複數個成形體2之情形時，亦可使用具備複數個燒結模具之SPS燒結裝置。並且，亦可以如下方式構成：分別對SPS燒結裝置所具備之複數個燒結模具配置成形體，並同時進行燒結。

又，本發明中製作生胚片材時磁鐵粉末中所混合之黏合劑可使用樹脂、長鏈烴、脂肪酸甲酯或該等之混合物等。

進而，於黏合劑使用樹脂之情形時，例如使用聚異丁烯(PIB，polyisobutene)、丁基橡膠(IIR，isobutylene isoprene rubber)、聚異戊二烯(IR，isoprene rubber)、聚丁二烯、聚苯乙烯、苯乙烯-異戊二烯嵌段共聚物(SIS，Styrene-isoprene-styrene)、苯乙烯-丁二烯嵌段共聚物(SBS，Styrene-Butadiene-Styrene)、2-甲基-1-戊烯聚合樹脂、2-甲基-1-丁烯聚合樹脂、α-甲基苯乙烯聚合樹脂、聚甲基丙烯酸丁酯、聚甲基丙烯酸甲酯等。再者，較理想為對於α-甲基苯乙烯聚合樹脂添加低分子量之聚異丁烯以賦予柔軟性。又，作為用於黏合劑之樹脂，為了降低磁鐵內所含有之氧量，較理想為使用結構中不含有氧原子且具有解聚性 之聚合物(例如，聚異丁烯等)。

再者，於藉由漿料成形而使生胚片材成形之情形時，為了使黏合劑適當地溶解於甲苯等通用溶劑中，作為用於黏合劑之樹脂，較理想為使用聚乙烯、聚丙烯以外之樹脂。另一方面，於藉由熱熔成形使生胚片材成形之情形時，為了於將所成形之生胚片材加熱軟化的狀態下進行磁場配向，較理想為使用熱塑性樹脂。

另一方面，於黏合劑使用長鏈烴之情形時，較佳為使用室溫下為固體、室溫以上為液體之長鏈飽和烴(長鏈烷烴)。具體而言，較佳為使用碳數18以上之長鏈飽和烴。並且，於藉由熱熔成形使生胚片材成形之情形時，於將生胚片材進行磁場配向時，係於將生胚片材加熱至長鏈烴之熔點以上而使其軟化之狀態下進行磁場配向。

又，於黏合劑使用脂肪酸甲酯之情形時亦同樣地，較佳為使用於室溫下為固體且室溫以上為液體之硬脂酸甲酯或二十二烷酸甲酯等。並且，於藉由熱熔成形使生胚片材成形之情形時，將生胚片材進行磁場配向時，係於將生胚片材加熱至脂肪酸甲酯之熔點以上而使其軟化之狀態下進行磁場配向。

又，關於黏合劑之添加量，於使磁鐵粉末與黏合劑之混合物成形為片狀時，為了提高片材之厚度精度，將其設為適當地填充有磁鐵粒子間之空隙之量。例如，將黏合劑添加後之混合物中之黏合劑相對於磁鐵粉末與黏合劑的合計量之比率設為1 wt%~40 wt%，更佳為2 wt%~30 wt%，進 而較佳為3 wt%~20 wt%。

[永久磁鐵之第1製造方法]

其次，使用圖4對本發明之永久磁鐵1之第1製造方法進行說明。圖4為表示本實施形態之永久磁鐵1之第1製造步驟的說明圖。

首先，製造包含特定分率之Nd-Fe-B(例如Nd：32.7 wt%、Fe(電解鐵)：65.96 wt%、B：1.34 wt%)之鑄錠。其後，藉由搗碎機或破碎機等將鑄錠粗粉碎成200 μm左右之大小。或者將鑄錠熔解，利用薄帶連鑄(Strip Casting)法製作片材，並利用氫氣壓碎法使其粗粉化。

其次，於(a)氧含量實質上為0%且包含氮氣、Ar氣、He氣等惰性氣體之環境中，或(b)氧含量為0.0001~0.5%且包含氮氣、Ar氣、He氣等惰性氣體之環境中，藉由噴射磨機11將粗粉碎之磁鐵粉末微粉碎，形成具有特定尺寸以下(例如1.0 μm~5.0 μm)之平均粒徑之微粉末。再者，所謂氧濃度實質上為0%，意指並不限定於氧濃度完全為0%之情形，亦可含有於微粉之表面形成極少量氧化覆膜之程度之量的氧。再者，亦可使用濕式粉碎作為磁鐵原料之粉碎方法。例如於利用珠磨機之濕式粉碎中，對粗粉碎之磁鐵粉末使用甲苯作為溶劑，並進行微粉碎直至平均粒徑為特定尺寸以下(例如0.1 μm~5.0 μm)。其後，利用真空乾燥等使濕式粉碎後之有機溶劑中所含有之磁鐵粉末乾燥，取出所乾燥之磁鐵粉末。又，亦可設為如下構成，於不自有機溶劑取出磁鐵粉末之情況下進而將黏合劑添加於有機溶劑中 進行混練，而獲得下述漿料12。

藉由使用上述濕式粉碎，與乾式粉碎相比可將磁鐵原料粉碎直至更微小之粒徑。然而，若進行濕式粉碎，則有即便於其後藉由進行真空乾燥等而使有機溶劑揮發，有機溶劑等有機化合物亦會殘留於磁鐵內之問題。然而，藉由進行下述預燒處理，可使黏合劑與殘留之有機化合物一同熱分解，並自磁鐵內除去碳。

其次，製作向利用噴射磨機11等微粉碎之微粉末中添加之黏合劑溶液。此處，作為黏合劑，可如上所述使用樹脂、長鏈烴、脂肪酸甲酯或該等之混合物等。並且，藉由使黏合劑稀釋於溶劑中而製作黏合劑溶液。作為用於稀釋之溶劑，並無特別限制，可使用異丙醇、乙醇、甲醇等醇類，戊烷、己烷等低級烴類，苯、甲苯、二甲苯等芳香族類，乙酸乙酯等酯類、酮類、該等之混合物等，此處使用甲苯或乙酸乙酯。

繼而，對利用噴射磨機11等而分級之微粉末添加上述黏合劑溶液。藉此，生成使磁鐵原料之微粉末、黏合劑及有機溶劑混合而成之漿料12。此處，關於黏合劑溶液之添加量，添加後之漿料中之黏合劑相對於磁鐵粉末與黏合劑的合計量之比率較佳為成為1 wt%~40 wt%之量，更佳為成為2 wt%~30 wt%之量，進而較佳為成為3 wt%~20 wt%之量。例如，藉由對100 g之磁鐵粉末添加20 wt%之黏合劑溶液100 g而生成漿料12。再者，黏合劑溶液之添加係於包含氮氣、Ar氣、He氣等惰性氣體之環境下進行。

繼而，自所生成之漿料12形成長條片狀之生胚片材13。作為形成生胚片材13之方法，例如，可藉由根據需要以適當方式將所生成之漿料12塗敷於分隔件等支持基材14上並乾燥之方法等而進行。再者，塗敷方式較佳為刮刀方式、充模方式或缺角輪塗敷方式等層厚控制性優異之方式。又，為了實現較高之厚度精度，尤其理想為使用層厚控制性優異(即，可於基材上高精度進行之方式)之充模方式或缺角輪塗敷方式。例如，以下實施例中使用充模方式。又，作為支持基材14，例如使用聚矽氧處理聚酯膜。進而，較佳為併用消泡劑等而充分進行脫泡處理以使展開層中不殘留氣泡。

又，針對塗敷於支持基材14上之生胚片材13，藉由於乾燥前對於輸送狀態之生胚片材13之面內方向且寬度方向或面內方向且長度方向施加磁場而進行磁場配向。所施加之磁場之強度設為5000[Oe]~150000[Oe]，較佳為設為10000[Oe]~120000[Oe]。

其後，藉由使經磁場配向之生胚片材13以90℃保持10分鐘後，進而以130℃保持30分鐘而進行乾燥。

以下，使用圖5更詳細地說明藉由充模方式之生胚片材13之形成步驟。圖5為表示藉由充模方式之生胚片材13之形成步驟的示意圖。

如圖5所示，充模方式所使用之充模15係藉由模塊16、17互相重合而形成，藉由模塊16、17之間的間隙形成狹縫18或模腔(儲液腔)19。模腔19與設置於模塊16上之供給口 20連通。並且，供給口20與由定量泵(未圖示)等所構成之漿料供給系統連接，經計量之漿料12係藉由定量泵等而經由供給口20供給至模腔19。進而，供給至模腔19之漿料12被輸送至狹縫18，並以單位時間一定量且以寬度方向上均勻之壓力自狹縫18之噴出口21以預先設定之塗佈寬度噴出。另一方面，隨著塗佈輥22之旋轉而以預先設定之速度連續輸送支持基材14。其結果為，所噴出之漿料12以特定厚度塗佈於支持基材14上，使長條片狀之生胚片材13成形。

又，於藉由充模方式之生胚片材13之形成步驟中，較理想為實測塗敷後之生胚片材13之片材厚度，並基於實測值對充模15與支持基材14間之間距D進行反饋控制。又，較理想為極力降低供給至充模15之漿料量之改變(例如將改變抑制為±0.1%以下)，進而較理想為亦極力降低塗敷速度之改變(例如將改變抑制為±0.1%以下)。藉此，可進一步提高生胚片材13之厚度精度。再者，將所形成之生胚片材13之厚度精度設為相對於設計值(例如1 mm)±5%以內，更佳為±3%以內，進而較佳為±1%以內。

再者，較理想為將生胚片材13之設定厚度設定為0.05 mm~10 mm之範圍。若厚度比0.05 mm薄，則必需進行多層積層故而使生產性降低。另一方面，若厚度比10 mm厚，則為了抑制乾燥時之發泡而必需降低乾燥速度，使生產性顯著降低。

又，於使磁鐵粉末與黏合劑加以混合時，亦可不使混合 物形成漿料12，而於不添加有機溶劑之情況下形成包含磁鐵粉末與黏合劑之粉末狀混合物(以下稱作複合物)。並且，亦可進行藉由加熱複合物而使複合物熔融，於成為流體狀後塗敷於分隔件等支持基材14上之熱熔塗敷。藉由使利用熱熔塗敷而塗敷之複合物散熱而凝固，可於支持基材上形成長條片狀之生胚片材13。再者，加熱熔融複合物時之溫度根據所使用之黏合劑之種類或量而不同地設為50~300℃。再者，必需設為高於所使用之黏合劑之熔點的溫度。再者，磁鐵粉末與黏合劑之混合，例如係藉由於有機溶劑中分別投入磁鐵粉末與黏合劑，並利用攪拌機進行攪拌而進行。並且，於攪拌後加熱含有磁鐵粉末與黏合劑之有機溶劑而使有機溶劑汽化，藉此提取複合物。又，尤其於利用濕式法粉碎磁鐵粉末之情形時，亦可設為如下構成：於不自用於粉碎之有機溶劑中取出磁鐵粉末之情況下將黏合劑添加於有機溶劑中並進行混練，其後使有機溶劑揮發而獲得複合物。

其次，使用圖6詳細說明生胚片材13之磁場配向步驟。圖6為表示生胚片材13之磁場配向步驟之示意圖。

如圖6所示，於生胚片材13乾燥之前，對藉由輥而連續輸送之狀態之長條片狀之生胚片材13，進行上述藉由充模方式而塗敷之生胚片材13之磁場配向。即，將用以進行磁場配向之裝置配置於塗敷裝置(充模等)之下游側，藉由與上述塗敷步驟連續之步驟而進行。

具體而言，於充模15或塗佈輥22之下游側，於經輸送之 生胚片材13及支持基材14之左右配置一對磁場線圈25、26。並且，藉由使電流流入各磁場線圈25、26中，使長條片狀之生胚片材13之面內方向(即，與生胚片材13之片材面平行之方向)且寬度方向上產生磁場。藉此，針對經連續輸送之生胚片材13，對於生胚片材13之面內方向且寬度方向(圖5之箭頭27方向)施加磁場，可對生胚片材13適當地配向均勻之磁場。尤其是，藉由將施加磁場之方向設為面內方向，可防止生胚片材13之表面起毛。又，若生胚片材13於磁場產生梯度之情況下輸入，則磁場較強側會吸引生胚片材13中所含有之粉末，有產生形成生胚片材13之漿料的偏液，即生胚片材13之厚度之偏差之虞。因此，為了使片材之厚度均勻，亦可將配向處理設為間歇動作。

又，於磁場配向之後進行之生胚片材13之乾燥較佳為於輸送狀態下進行。藉此，可使製造步驟更加效率化。

再者，於藉由熱熔成形使生胚片材成形之情形時，於加熱生胚片材至黏合劑之玻璃轉移點或熔點以上而使其軟化之狀態下進行磁場配向。又，亦可於所成形之生胚片材凝固之前進行磁場配向。

其後，將進行磁場配向之生胚片材13衝壓成所期望之製品形狀(例如，圖1所示之扇形形狀)而使成形體30成形。

其後，藉由使所成形之成形體30於非氧化性環境(本發明中尤其為氫氣環境或氫與惰性氣體之混合氣體環境)中以黏合劑分解溫度保持數小時(例如5小時)而進行氫氣中預燒處理。於氫氣環境下進行之情形時，例如將預燒中之氫 氣之供給量設為5 L/min。藉由進行氫氣中預燒處理，可使黏合劑藉由解聚反應等而分解成單體並飛散而去除。即，會進行降低成形體30中之碳量的所謂脫碳。又，氫氣中預燒處理係以使成形體30中之碳量為1500 ppm以下，更佳為1000 ppm以下之條件而進行。藉此，可利用其後之燒結處理將永久磁鐵1整體緻密地燒結，並且不會降低剩餘磁通密度或保磁力。

再者，黏合劑分解溫度係基於黏合劑分解生成物及分解殘渣之分析結果而決定。具體而言，收集黏合劑之分解生成物，可選擇不生成單體以外之分解生成物，且於殘渣之分析中亦未檢測出由殘留之黏合劑成分之副反應所形成的生成物之溫度範圍。根據黏合劑之種類而不同地設為200℃~900℃，更佳為400℃~600℃(例如600℃)。

又，尤其於藉由濕式粉碎使磁鐵原料於有機溶劑中粉碎之情形時，於構成有機溶劑之有機化合物之熱分解溫度且黏合劑分解溫度下進行預燒處理。藉此，亦可去除殘留之有機溶劑。關於有機化合物之熱分解溫度，雖然根據所使用之有機溶劑之種類而決定，但只要為上述黏合劑分解溫度則基本上亦可進行有機化合物之熱分解。

繼而，進行燒結藉由氫氣中預燒處理而預燒之成形體30的燒結處理。於本發明中係藉由加壓燒結而進行燒結。作為加壓燒結，例如有：熱壓燒結、熱均壓(HIP)燒結、超高壓合成燒結、氣體加壓燒結、放電電漿(SPS)燒結等。其中，本發明中為了如上所述抑制燒結時之磁鐵粒子之晶 粒生長，並且抑制燒結後之磁鐵所產生之翹曲，較理想為使用對單軸方向加壓之單軸加壓燒結且藉由通電燒結進行燒結之SPS燒結。

以下，使用圖7更詳細說明藉由SPS燒結之成形體30之加壓燒結步驟。圖7為表示藉由SPS燒結之成形體30之加壓燒結步驟的示意圖。

如圖7所示進行SPS燒結之情形時，首先，於石墨製之燒結模具31中設置成形體30。再者，關於上述氫氣中預燒處理，亦可於將成形體30設置於燒結模具31中之狀態下進行。並且，使設置於燒結模具31中之成形體30保持於真空腔室32內，並安置同為石墨製之上部衝頭33及下部衝頭34。並且，使用與上部衝頭33連接之上部衝頭電極35及與下部衝頭34連接之下部衝頭電極36，施加低電壓且高電流之直流脈衝電壓/電流。與此同時，使用加壓機構(未圖示)分別自上下方向對上部衝頭33及下部衝頭34負荷荷重。其結果為，對設置於燒結模具31內之成形體30一面進行加壓一面進行燒結。又，為了提高生產性，較佳為對複數個(例如10個)成形體同時進行SPS燒結。再者，於對複數個成形體30同時進行SPS燒結之情形時，可於一個燒結模具31中配置複數個成形體30，亦可設為將各成形體30配置於不同之燒結模具31中之方式。再者，於將各成形體30配置於不同之燒結模具31中之情形時，使用具備複數個燒結模具31之SPS燒結裝置進行燒結。並且，對成形體30加壓之上部衝頭33或下部衝頭34係以將複數個燒結模具31之間作 為一體(即，可同時加壓)之方式構成。

再者，具體之燒結條件如下所示。

加壓值：30 MPa

燒結溫度：以10℃/分鐘上升直至940℃，保持5分鐘

環境：數Pa以下之真空環境

於進行上述SPS燒結之後冷卻，並再次於600℃~1000℃下進行熱處理2小時。並且，燒結之結果為製造永久磁鐵1。

[永久磁鐵之第2製造方法]

其次，使用圖8說明本發明之永久磁鐵1之第2製造方法。圖8為表示本實施形態之永久磁鐵1之第2製造步驟的說明圖。

永久磁鐵1之第2製造步驟與上述第1製造步驟關於磁場配向之步驟不同。即，於第1製造步驟中，係藉由對於生胚片材13之面內方向且寬度方向施加磁場而進行磁場配向，而於第2製造步驟中，係藉由對於生胚片材13之面內方向且長度方向施加磁場而進行磁場配向。

再者，由於直至將生胚片材13塗敷於支持基材14上之步驟與第1製造步驟相同，故而省略說明。

並且，於永久磁鐵1之第2製造步驟中，針對塗敷於支持基材14上之生胚片材13，藉由於乾燥前對於輸送狀態之生胚片材13之面內方向且長度方向施加磁場而進行磁場配向。將所施加之磁場之強度設為5000[Oe]~150000[Oe]，較佳設為10000[Oe]~120000[Oe]。

其次，使用圖9更詳細說明第2製造步驟中之生胚片材13之磁場配向步驟。圖9為表示第2製造步驟中之生胚片材13之磁場配向步驟的示意圖。

如圖9所示，於生胚片材13乾燥之前，對藉由輥而連續輸送之狀態之長條片狀之生胚片材13進行對於上述藉由充模方式而塗敷之生胚片材13之磁場配向。即，將用以進行磁場配向之裝置配置於塗敷裝置(充模等)之下游側，藉由與上述塗敷步驟連續之步驟而進行。

具體而言，於充模15或塗佈輥22之下游側，以經輸送之生胚片材13及支持基材14通過螺線管38內之方式配置螺線管38。然後，藉由使電流流入螺線管38中，而於長條片狀之生胚片材13之面內方向(即，與生胚片材13之片材面平行之方向)且長度方向上產生磁場。藉此，針對經連續輸送之生胚片材13，對於生胚片材13之面內方向且長度方向(圖9之箭頭39方向)施加磁場，可對生胚片材13適當地配向均勻之磁場。尤其是，藉由將施加磁場之方向設為面內方向，可防止生胚片材13之表面起毛。又，若生胚片材13於磁場產生梯度之情況下輸入，則磁場較強側會吸引生胚片材13所含有之粉末，有產生形成生胚片材13之漿料的偏液，即生胚片材13之厚度之偏差之虞。因此，為了使片材之厚度均勻，亦可將配向處理設為間歇動作。

又，於磁場配向之後進行之生胚片材13之乾燥較佳為於輸送狀態下進行。藉此，可使製造步驟更加效率化。

再者，於藉由熱熔成形使生胚片材成形之情形時，於加 熱生胚片材至黏合劑之玻璃轉移點或熔點以上而使其軟化之狀態下進行磁場配向。又，亦可於所成形之生胚片材凝固之前進行磁場配向。

其後，藉由使經磁場配向之生胚片材13以90℃保持10分鐘後，進而以130℃保持30分鐘而進行乾燥。

其後，以與第1製造方法同樣之方式，將進行磁場配向之生胚片材13衝壓成所期望之製品形狀(例如，圖1所示之扇形形狀)，並進行預燒處理及燒結。並且，燒結之結果為製造永久磁鐵1。

實施例

以下，一面與比較例進行比較，一面說明本發明之實施例。

(實施例)

實施例為Nd-Fe-B系磁鐵，合金組成以wt%計設為Nd/Fe/B=32.7/65.96/1.34。又，使用聚異丁烯作為黏合劑，使用甲苯作為溶劑，生成添加後之漿料中之黏合劑相對於磁鐵粉末與黏合劑的合計量之比率成為18 wt%之漿料。其後，藉由充模方式將漿料塗敷於基材上而使生胚片材成形。又，磁場配向係藉由對於生胚片材13之面內方向且寬度方向或面內方向且長度方向施加1.1 T之磁場而進行。其後，於對生胚片材進行預燒處理後，藉由SPS燒結(加壓值：30 MPa，燒結溫度：以10℃/分鐘上升直至940℃並保持5分鐘)進行燒結。再者，將其他步驟設為與上述[永久磁鐵之第1製造方法]或[永久磁鐵之第2製造方 法]相同之步驟。

(比較例1)

藉由對於生胚片材13之面垂直方向(相對於生胚片材13之片材面垂直之方向)施加1.1 T之磁場而進行磁場配向。其他條件與實施例相同。

(比較例2)

不使用SPS燒結，而於He環境下利用電爐進行生胚片材之燒結。具體而言，藉由以特定之升溫速度升溫直至800℃~1200℃左右(例如1000℃)，並保持2小時左右而進行。其他條件與實施例相同。

(實施例與比較例1之比較)

此處，圖10為分別表示實施例及比較例1之磁場配向後之生胚片材之外觀形狀的圖。於圖10中，若比較實施例及比較例1之永久磁鐵之形狀，則比較例1之永久磁鐵於磁鐵表面發現起毛。另一方面，實施例之永久磁鐵未發現如比較例1所示之磁鐵表面之起毛。因此，實施例之永久磁鐵中，無需燒結後之修正加工，可使製造步驟簡化。藉此，可以較高之尺寸精度使永久磁鐵成形。

另一方面，圖11為對實施例之磁場配向後之生胚片材，自相對於C軸為垂直方向(即，作為施加有磁場之方向的生胚片材之面內方向且寬度方向或面內方向且長度方向)觀察之SEM(Scanning Electron Microscopy，掃描式電子顯微鏡)照片。又，圖12為將針對圖11中被框包圍之範圍使用EBSP(Electron Backscatter diffraction Pattern，電子背向 散射繞射儀)解析而解析之晶體方位分佈表示為反極圖之圖。若參照圖12，則可知於實施例之生胚片材中，磁鐵粒子配向為與其他方向相比更偏向<001>方向。即，於實施例中，磁場配向適當地行，可提高永久磁鐵之磁特性。再者，若其後將生胚片材燒結，則可進一步改善磁鐵粒子之配向方向。

(實施例與比較例2之比較)

圖13為拍攝燒結前之成形體之一部分之SEM照片，圖14為拍攝藉由上述實施例所製造之永久磁鐵之一部分之SEM照片，圖15為拍攝藉由上述比較例2所製造之永久磁鐵之一部分之SEM照片。若將各SEM照片進行比較，則可知實施例之永久磁鐵未如比較例2之永久磁鐵般產生粒徑與燒結前相比顯著變大之晶粒生長。可知實施例之永久磁鐵與燒結前相比粒徑未顯著變化，可抑制燒結時之磁鐵粒子之晶粒生長。即，SPS燒結等加壓燒結時，與真空燒結相比，可於較低溫度區域下燒結，其結果為，可縮短燒結步驟中之升溫/保持時間，可製作抑制磁鐵粒子之晶粒生長的緻密之燒結體。

又，若比較實施例及比較例2之永久磁鐵之形狀，則實施例之永久磁鐵與比較例2之永久磁鐵相比，磁鐵產生之翹曲變小。即，SPS燒結等加壓燒結與真空燒結相比，可抑制磁鐵產生之翹曲。

如以上所說明，於本實施形態之永久磁鐵1及永久磁鐵1之製造方法中，係藉由將磁鐵原料粉碎成磁鐵粉末，並使 經粉碎之磁鐵粉末與黏合劑加以混合而生成混合物(漿料或複合物等)。並且，使所生成之混合物成形為長條片狀而製作生胚片材13。其後，於成形之生胚片材13乾燥之前，藉由對於生胚片材13之面內方向且寬度方向或面內方向且長度方向施加磁場而進行磁場配向，並進行加壓燒結生胚片材13，藉此製造永久磁鐵1。其結果為，使燒結引起之收縮變得均勻而不產生燒結後之翹曲或凹陷等變形，又，由於消除壓製時之壓力不均，故而無需先前進行之燒結後之修正加工，可使製造步驟簡化。藉此，可以較高之尺寸精度使永久磁鐵成形。又，即便為使永久磁鐵薄膜化之情形時，亦不會降低材料良率，並且可防止加工工時增加。

又，於成形之生胚片材13乾燥之前，藉由對於生胚片材13之面內方向且寬度方向或面內方向且長度方向施加磁場而進行磁場配向，因此可適當地進行磁場配向，並提高永久磁鐵之磁特性。又，於施加磁場時，亦無生胚片材13之表面起毛之虞。

又，藉由對經連續輸送之基材塗敷漿料12而製作生胚片材13，並藉由對於與基材一同連續輸送之生胚片材13施加磁場而進行磁場配向，因此自生胚片材13之製作直至磁場配向可以連續之步驟進行，可實現製造步驟之簡化及生產性之提高。

又，由於第2製造方法中，藉由使與基材一同連續輸送之生胚片材13通過施加有電流之螺線管38內，對於生胚片 材13施加磁場，因此可對生胚片材13施加均勻之磁場，可均勻且適當地進行磁場配向。

又，由於利用加壓燒結而燒結永久磁鐵1，因此可降低燒結溫度並抑制燒結時之晶粒生長。因此，可使所製造之永久磁鐵之磁性能提高。又，使製造之永久磁鐵中，燒結引起之收縮變得均勻而不產生燒結後之翹曲或凹陷等變形，故而無需先前進行之燒結後之修正加工，可使製造步驟簡化。藉此，可以較高之尺寸精度使永久磁鐵成形。 又，即便為使永久磁鐵薄膜化之情形時，亦不會降低材料良率，並且可防止加工工時增加。

又，於藉由加壓燒結而燒結生胚片材之步驟中，藉由SPS燒結等單軸加壓燒結而進行燒結，因此燒結引起之永久磁鐵之收縮變得均勻，故而可防止燒結後之永久磁鐵中產生翹曲或凹陷等變形。

又，於藉由加壓燒結而燒結生胚片材之步驟中，藉由SPS燒結等通電燒結而進行燒結，因此可急速升溫/冷卻，又，可實現較低溫度區域下之燒結。其結果為，可縮短燒結步驟中之升溫/保持時間，可製作抑制磁鐵粒子之晶粒生長的緻密之燒結體。

又，於燒結生胚片材13之前，藉由進行使生胚片材13於非氧化性環境下以黏合劑分解溫度保持一定時間之預燒處理而使黏合劑飛散並去除，因此可預先降低磁鐵內所含有之碳量。其結果為，可抑制燒結後之磁鐵的主相內析出αFe，可緻密地燒結磁鐵整體，並防止保磁力降低。

進而，於預燒處理中，使混練有黏合劑而成之生胚片材13於氫氣環境下或氫與惰性氣體之混合氣體環境下以200℃~900℃、更佳為400℃~600℃保持一定時間，因此可更確實地降低磁鐵內所含有之碳量。

再者，本發明並不限定於上述實施例，當然可於不脫離本發明之要旨之範圍內進行各種改良、變形。

例如，磁鐵粉末之粉碎條件、混練條件、預燒條件、燒結條件等並不限於上述實施例所記載之條件。例如，上述實施例中係藉由使用噴射磨機之乾式粉碎而粉碎磁鐵原料，但亦可藉由利用珠磨機之濕式粉碎進行粉碎。又，雖然上述實施例中，係藉由狹縫式模具方式形成生胚片材，但亦可使用其他方式(例如軋輥方式、缺角輪塗敷方式、擠出成型、射出成型、模具成型、刮刀方式等)形成生胚片材。其中，較理想為使用可使漿料或流體狀之複合物於基材上高精度地成形之方式。又，雖然於上述實施例中係藉由SPS燒結而燒結磁鐵，但亦可使用其他加壓燒結方法(例如熱壓燒結等)而燒結磁鐵。

又，於上述實施例中，雖然係藉由連續之一連串步驟進行利用充模方式之塗敷步驟與磁場配向步驟，但亦可以不藉由連續之步驟進行之方式構成。於該情形時，可以如下方式構成，將所塗敷之生胚片材13切割成特定長度，並藉由對靜止狀態之生胚片材13施加磁場而進行磁場配向。

又，亦可省略預燒處理。即便於該情形時，黏合劑亦會於燒結中熱分解，可期待一定之脫碳效果。又，預燒處理 亦可於氫氣以外之環境下進行。

又，雖然於上述實施例中使用樹脂、長鏈烴或脂肪酸甲酯作為黏合劑，但亦可使用其他材料。

又，於本發明中舉出Nd-Fe-B系磁鐵為例進行說明，亦可使用其他磁鐵(例如鈷磁鐵、鋁鎳鈷磁鐵、鐵氧體磁鐵等)。又，關於磁鐵之合金組成，於本發明中將Nd成分設為多於計量組成，亦可設為計量組成。

1‧‧‧永久磁鐵

11‧‧‧噴射磨機

12‧‧‧漿料

13‧‧‧生胚片材

14‧‧‧支持基材

15‧‧‧充模

25、26‧‧‧磁場線圈

30‧‧‧成形體

圖1係表示本發明之永久磁鐵的整體圖。

圖2係說明基於提高本發明之生胚片材之厚度精度之燒結時之效果的圖。

圖3係表示本發明之生胚片材之厚度精度較低的情形時之問題方面的圖。

圖4係表示本發明之永久磁鐵之第1製造步驟的說明圖。

圖5係表示於本發明之永久磁鐵之第1製造步驟中尤其生胚片材之成形步驟的說明圖。

圖6係表示於本發明之永久磁鐵之第1製造步驟中尤其生胚片材之磁場配向之步驟的說明圖。

圖7係表示於本發明之永久磁鐵之第1製造步驟中尤其生胚片材之加壓燒結步驟的說明圖。

圖8為表示本發明之永久磁鐵之第2製造步驟的說明圖。

圖9係表示本發明之永久磁鐵之第2製造步驟中尤其生胚片材之磁場配向之步驟的說明圖。

圖10係分別表示實施例與比較例1之生胚片材之外觀形 狀的圖。

圖11係將實施例之生胚片材放大表示之SEM照片。

圖12係表示實施例之生胚片材之晶體方位分佈的反極圖。

圖13係拍攝燒結前之成形體之一部分之SEM照片。

圖14係拍攝藉由實施例所製造之永久磁鐵之一部分的SEM照片。

圖15係拍攝藉由比較例2所製造之永久磁鐵之一部分的SEM照片。

1‧‧‧永久磁鐵

11‧‧‧噴射磨機

12‧‧‧漿料

13‧‧‧生胚片材

14‧‧‧支持基材

15‧‧‧充模

25、26‧‧‧磁場線圈

30‧‧‧成形體

Claims (12)

1. 一種稀土類永久磁鐵，其特徵在於藉由如下步驟製造：將磁鐵原料粉碎成磁鐵粉末之步驟，藉由使上述經粉碎之磁鐵粉末與黏合劑與有機溶劑加以混合而生成漿料之步驟，該漿料混合了上述磁鐵粉末與上述黏合劑與上述有機溶劑，使上述漿料成形為長條片狀而製作生胚片材之步驟，於上述生胚片材乾燥之前，藉由對於上述生胚片材之面內方向且寬度方向或面內方向且長度方向施加磁場而進行磁場配向之步驟，及燒結經磁場配向之上述生胚片材之步驟。
2. 如請求項1之稀土類永久磁鐵，其中於製作上述生胚片材之步驟中，藉由對連續輸送之基材塗敷上述漿料而製作上述生胚片材，上述磁場配向之步驟係對於與上述基材一同連續輸送之上述生胚片材施加磁場。
3. 如請求項2之稀土類永久磁鐵，其中上述磁場配向之步驟係藉由使與上述基材一同連續輸送之上述生胚片材通過施加有電流之螺線管內，而對於上述生胚片材之面內方向且長度方向施加磁場。
4. 如請求項1之稀土類永久磁鐵，其中於燒結上述生胚片材之步驟中，藉由加壓燒結而進行燒結。
5. 如請求項1之稀土類永久磁鐵，其中於燒結上述生胚片材之前，藉由將上述生胚片材於非氧化性環境下以黏合 劑分解溫度保持一定時間，而使上述黏合劑飛散並去除。
6. 如請求項5之稀土類永久磁鐵，其中於使上述黏合劑飛散並去除之步驟中，使上述生胚片材於氫氣環境下或氫與惰性氣體之混合氣體環境下以200℃~900℃保持一定時間。
7. 一種稀土類永久磁鐵之製造方法，其特徵在於包括：將磁鐵原料粉碎成磁鐵粉末之步驟，藉由使上述經粉碎之磁鐵粉末與黏合劑與有機溶劑加以混合而生成漿料之步驟，該漿料混合了上述磁鐵粉末與上述黏合劑與上述有機溶劑，使上述漿料成形為長條片狀而製作生胚片材之步驟，於上述生胚片材乾燥之前，藉由對於上述生胚片材之面內方向且寬度方向或面內方向且長度方向施加磁場而進行磁場配向之步驟，及燒結經磁場配向之上述生胚片材之步驟。
8. 如請求項7之稀土類永久磁鐵之製造方法，其中於製作上述生胚片材之步驟中，藉由對連續輸送之基材塗敷上述漿料而製作上述生胚片材，上述磁場配向之步驟係對於與上述基材一同連續輸送之上述生胚片材施加磁場。
9. 如請求項8之稀土類永久磁鐵之製造方法，其中上述磁場配向之步驟係藉由使與上述基材一同連續輸送之上述生胚片材通過施加有電流之螺線管內，而對於上述生胚 片材之面內方向且長度方向施加磁場。
10. 如請求項7之稀土類永久磁鐵之製造方法，其中於燒結上述生胚片材之步驟中，藉由加壓燒結而進行燒結。
11. 如請求項7之稀土類永久磁鐵之製造方法，其中於燒結上述生胚片材之前，藉由將上述生胚片材於非氧化性環境下以黏合劑分解溫度保持一定時間，而使上述黏合劑飛散並去除。
12. 如請求項11之稀土類永久磁鐵之製造方法，其中於使上述黏合劑飛散並去除之步驟中，使上述生胚片材於氫氣環境下或氫與惰性氣體之混合氣體環境下以200℃~900℃保持一定時間。