TWI455330B

TWI455330B - 太陽能電池結構及其製造方法

Info

Publication number: TWI455330B
Application number: TW100111340A
Authority: TW
Inventors: Hungming Lin; Hanchang Pan; Yankai Chiou; Tienszu Chen; Naitien Ou; Chingtang Tsai; Kueiwu Huang
Original assignee: Gintech Energy Corp
Priority date: 2011-03-31
Filing date: 2011-03-31
Publication date: 2014-10-01
Also published as: TW201240113A

Description

太陽能電池結構及其製造方法

本發明是有關於一種光電裝置結構及其製造方法，且特別是有關於一種太陽能電池結構及其製造方法。

傳統太陽能電池係藉由入射光照射，使其p-n接面處產生電子電洞對，然後在電子電洞對再結合之前將其傳導至外部電極，以匯集成電流型式，形成電力供應的來源。

習知作法上，一般會在太陽能電池之受光面鍍上抗反射層(或鈍化層)，其目的不僅是作為良好的抗反射層，更可隔絕太陽能電池受光面之電子電洞對再結合效應。然而，p-n接面所產生之電流必須藉由指狀電極(Finger Electrode)與匯流電極(Collector Electrode)所形成之導電電極傳導至外部，因此必須破壞部份太陽能電池表面之抗反射層結構，以在此處形成導電電極來傳導電流。由於在此導電電極結構與太陽能電池基板之間沒有抗反射層的隔離，使得電子電洞對會在此處產生再結合效應，因而降低了電流輸出，所以光電轉換效率變差。

再者，導電電極結構會造成入射光之遮蔽效應。舉例來說，當為了降低導電電極之串聯電阻，而增加導電電極結構之橫截面面積時，將使得入射光被導電電極遮蔽而影響太陽能電池的光電轉換效率。反之，當導電電極之橫截面面積減少以降低入射光之遮蔽效應時，將使得導電電極中的串聯電阻增加，並阻礙了電子電洞對所產生之電流的傳遞。

因此，傳統太陽能電池之結構與光電轉換效率上仍有改進之空間，並且成為太陽能技術發展上的重要課題。

本揭示內容之一態樣在於提供一種太陽能電池結構，以解決習知太陽能電池之光電轉換效率問題。

上述太陽能電池結構包含基板、第一摻雜層、第一抗反射層以及第一電極。第一摻雜層形成於基板之第一側。第一抗反射層形成於第一摻雜層上。第一電極形成於第一抗反射層上，其中第一電極包含複數個第一鏤空圖案，且第一電極中具有第一鏤空圖案的部份露出第一抗反射層。基板、第一摻雜層、第一抗反射層以及第一電極所共同形成之結構在進行燒結程序之後，第一電極中與第一抗反射層接觸的部份穿透第一抗反射層而與第一摻雜層形成歐姆接觸。

依據本揭示內容之第一實施例，其中第一鏤空圖案係以規則性或不規則性之圖案結構製作於第一電極中。

依據本揭示內容之第二實施例，其中第一鏤空圖案包含多邊形、圓形、橢圓、字母型式以及符號型式中至少一者，且第一鏤空圖案具有相同或相異之圖案結構以及具有相同或相異之尺寸。

依據本揭示內容之第三實施例，其中第一鏤空圖案係以規則性或不規則性之圖案排列方式製作於第一電極中。

依據本揭示內容之第四實施例，其中第一鏤空圖案之圖案排列方式包含等距分佈、不等距分佈、對稱排列以及非對稱排列中至少一者。

依據本揭示內容之第五實施例，上述太陽能電池結構更包含第二摻雜層以及第二電極。第二摻雜層形成於基板之第二側。第二電極形成於第二摻雜層上，其中第二電極包含複數個第二鏤空圖案，且第二電極中具有第二鏤空圖案的部份露出第二摻雜層。基板、第二摻雜層以及第二電極所共同形成之結構在進行燒結程序之後，第二電極中與第二摻雜層接觸的部份與第二摻雜層形成歐姆接觸。

依據本揭示內容之第六實施例，上述太陽能電池結構更包含第二摻雜層、第二抗反射層以及第二電極。第二摻雜層形成於基板之第二側。第二抗反射層形成於第二摻雜層上。第二電極形成於第二抗反射層上，其中第二電極包含複數個第二鏤空圖案，且第二電極中具有第二鏤空圖案的部份露出第二抗反射層。基板、第二摻雜層、第二抗反射層以及第二電極所共同形成之結構在進行燒結程序之後，第二電極中與第二抗反射層接觸的部份穿透第二抗反射層而與第二摻雜層形成歐姆接觸。

依據本揭示內容之第七實施例，其中第二鏤空圖案係以規則性或不規則性之圖案結構製作於第二電極中。

依據本揭示內容之第八實施例，其中第二鏤空圖案包含多邊形、圓形、橢圓、字母型式以及符號型式中至少一者，且第二鏤空圖案中之每一者具有相同或相異之圖案結構以及具有相同或相異之尺寸。

依據本揭示內容之第九實施例，其中第二鏤空圖案係以規則性或不規則性之圖案排列方式製作於第二電極中。

依據本揭示內容之第十實施例，其中第二鏤空圖案之圖案排列方式包含等距分佈、不等距分佈、對稱排列以及非對稱排列中至少一者。

本揭示內容之另一態樣在於提供一種太陽能電池結構之製造方法，包含對基板之第一側進行摻雜程序，以形成第一摻雜層。然後對第一摻雜層之表面進行鈍化處理，以形成第一抗反射層。於第一抗反射層上進行電極製作程序，以形成包含複數個第一鏤空圖案之第一電極。接著對基板、第一摻雜層、第一抗反射層以及第一電極所共同形成之結構進行燒結程序，使得第一電極中與第一抗反射層接觸的部份穿透第一抗反射層而與第一摻雜層形成歐姆接觸。

依據本揭示內容之第十一實施例，上述太陽能電池結構之製造方法，更包含對基板之第二側進行摻雜程序，以形成第二摻雜層。於第二摻雜層上進行電極製作程序，以形成包含複數個第二鏤空圖案之第二電極。接著對基板、第二摻雜層以及第二電極所共同形成之結構進行燒結程序，使得第二電極中與第二摻雜層接觸的部份與第二摻雜層形成歐姆接觸。

依據本揭示內容之第十二實施例，上述太陽能電池結構之製造方法，更包含對基板之第二側進行摻雜程序，以形成第二摻雜層。然後對第二摻雜層之表面進行鈍化處理，以形成第二抗反射層。於第二抗反射層上進行電極製作程序，以形成包含複數個第二鏤空圖案之第二電極。接著對基板、第二摻雜層、第二抗反射層以及第二電極所共同形成之結構進行燒結程序，使得第二電極中與第二抗反射層接觸的部份穿透第二抗反射層而與第二摻雜層形成歐姆接觸。

依據本揭示內容之第十三實施例，其中於第一抗反射層上進行電極製作程序之步驟更包含透過第一模具塗佈金屬膏於第一抗反射層上，其中第一模具包含相對應第一電極之第一圖案開口與相對應第一鏤空圖案之複數個第一模塊。然後藉由烘烤程序使得塗佈於第一抗反射層上之金屬膏硬化，以形成具有第一鏤空圖案之第一電極。

依據本揭示內容之第十四實施例，其中於第二摻雜層或第二抗反射層上進行電極製作程序之步驟更包含透過第二模具塗佈金屬膏於第二摻雜層或第二抗反射層上，其中第二模具包含相對應第二電極之第二圖案開口與相對應第二鏤空圖案之複數個第二模塊。然後藉由烘烤程序使得塗佈於第二摻雜層或第二抗反射層上之金屬膏硬化，以形成具有第二鏤空圖案之第二電極。

以下將以圖式及詳細敘述清楚說明本揭示內容之精神，任何所屬技術領域中具有通常知識者在瞭解本揭示內容之較佳實施例後，當可由本揭示內容所教示之技術，加以改變及修飾，其並不脫離本揭示內容之精神與範圍。

請參照第1A圖～第1B圖，其繪示依據本揭示內容之第一實施方式的一種太陽能電池100的立體示意圖及其俯視示意圖。

在本實施方式之一實施例中，上述太陽能電池100包含基板110、第一摻雜層121、第一抗反射層131以及第一電極141。第一摻雜層121形成於基板110之第一側111。第一抗反射層131形成於第一摻雜層121上。第一電極141形成於第一抗反射層131上，其中第一電極141包含複數個第一鏤空圖案151，且第一電極141中具有第一鏤空圖案151的部份露出第一抗反射層131。

舉例來說，基板110可為p型材質或n型材質。第一摻雜層121可採用擴散摻雜方式或離子佈植方式植入n型摻質或p型摻質形成，並於基板110與第一摻雜層121之間形成p-n接面。第一抗反射層131則形成堆疊於第一摻雜層121之上，其中第一抗反射層131之材質可為氧化物或氮化物，並可利用如化學氣相沉積製程、氧化製程等方式形成，以增加光子入射比率，並阻隔電子電洞對之表面再結合效應。

形成於第一抗反射層131上的第一電極141則可採用網版印刷或電鍍方式形成，如以網版印刷方式為例，可使用具有第一電極141圖案開口與第一鏤空圖案151之模具，並將上述模具設置於第一抗反射層131之上，再透過此模具塗佈填入金屬膏於上述圖案開口之中，並使金屬膏接觸第一抗反射層131，其中，金屬膏可為銀膠或鋁膠。然後經烘烤程序使上述金屬膏硬化，以形成具有第一鏤空圖案151之第一電極141於第一抗反射層131之上，並且在第一鏤空圖案151處露出第一抗反射層131。需注意的是，此時第一電極141因為第一抗反射層131之阻隔，尚無法傳遞由基板110與第一摻雜層121之間的p-n接面所產生之電流。

上述實施例中之基板110、第一摻雜層121、第一抗反射層131以及第一電極141所共同形成之結構在進行高溫燒結程序之後，第一電極141與第一抗反射層131接觸的部份會穿透第一抗反射層131而與第一摻雜層121形成共晶結構，並形成歐姆接觸，以傳遞由基板110與第一摻雜層121之間的p-n接面所產生之電流。然而，第一電極141中具有第一鏤空圖案151的部份，因其不具上述金屬膏成分，所以上述燒結程序對其並無影響，因此第一電極141中具有第一鏤空圖案151的部份仍然會露出第一抗反射層131，以增加光子入射率，並減少電子電洞對之表面再結合效應。

請參照第1C圖～第1D圖，其繪示依據本揭示內容之第一實施方式的一種太陽能電池100的立體示意圖及其仰視示意圖。

在本實施方式之一實施例中，上述太陽能電池100更可包含第二摻雜層122以及第二電極142。第二摻雜層122形成於基板110之第二側112。第二電極142形成於第二摻雜層122上，其中第二電極142可包含複數個第二鏤空圖案152，且第二電極142中具有第二鏤空圖案152的部份露出第二摻雜層122。在此實施例中，另外以金屬膏塗佈覆蓋整個第二摻雜層122，並露出第二電極142，以形成金屬層143。然後，基板110、第二摻雜層122以及第二電極142所共同形成之結構在進行燒結程序之後，第二電極142中與第二摻雜層122接觸的部份與第二摻雜層122形成歐姆接觸。除此之外，第二電極142中之第二鏤空圖案152的圖案結構和製造方法均與上述第一電極141中之第一鏤空圖案151相同或相似，故於此不再贅述，並且可將基板110、第一摻雜層121、第一抗反射層131、第一電極141、第二摻雜層122以及第二電極142所共同形成之結構一起進行燒結程序，而不以上述方式為限。

請參照第2A圖～第2B圖，其繪示依據本揭示內容之第二實施方式的一種太陽能電池200的立體示意圖及其俯視示意圖。相較於第1A圖～第1B圖所示之太陽能電池100，本實施方式之太陽能電池200同樣包含基板210、第一摻雜層221、第一抗反射層231以及第一電極241，而且在第一電極241中所形成之第一鏤空圖案251與上述第一實施方式相同或相似。

請參照第2C圖～第2D圖，其繪示依據本揭示內容之第二實施方式的一種太陽能電池200的立體示意圖及其仰視示意圖。在本實施方式之一實施例中，上述太陽能電池200更可包含第二摻雜層222、第二抗反射層232以及第二電極242。第二摻雜層222形成於基板210之第二側212。第二抗反射層232形成於第二摻雜層222上。第二電極242形成於第二抗反射層232上，其中第二電極242可包含複數個第二鏤空圖案252，且第二電極242中具有第二鏤空圖案252的部份露出第二抗反射層232。

舉例來說，基板210可透過擴散摻雜方式或離子佈植方式摻雜形成第二摻雜層222。第二抗反射層232則形成堆疊於第二摻雜層222之上，其中第二抗反射層232可利用如化學氣相沉積製程、氧化製程等方式形成，以增加光子入射比率，並阻隔電子電洞對之表面再結合效應。

形成於第二抗反射層232上的第二電極242則可採用網版印刷或電鍍方式形成，如以網版印刷方式為例，可使用具有第二電極242圖案開口與第二鏤空圖案252之模具，並將上述模具設置於第二抗反射層232之上，再透過此模具塗佈填入金屬膏於上述圖案開口之中，並使金屬膏接觸第二抗反射層232，其中，金屬膏可為銀膠或鋁膠。然後經烘烤程序使上述金屬膏硬化，以形成具有第二鏤空圖案252之第二電極242於第二抗反射層232之上，並且在第二鏤空圖案252處露出第二抗反射層232。

上述實施例中之基板210、第二摻雜層222、第二抗反射層232以及第二電極242所共同形成之結構在進行高溫燒結程序之後，第二電極242與第二抗反射層232接觸的部份會穿透第二抗反射層232而與第二摻雜層222形成共晶結構，並形成歐姆接觸。除此之外，第二電極242中之第二鏤空圖案252與上述第一電極241中之第一鏤空圖案251可為相同或相似，而且可將基板210、第一摻雜層221、第一抗反射層231、第一電極241、第二摻雜層222、第二抗反射層232以及第二電極242所共同形成之結構一起進行燒結程序，而不以上述方式為限。

請參照第3圖～第7圖，其繪示依據本揭示內容之第一或第二實施方式的一種太陽能電池之導電電極及其鏤空圖案示意圖。

在本實施方式之一實施例中，第一鏤空圖案可包含多邊形、圓形、橢圓、字母型式以及符號型式中至少一者所形成，且第一鏤空圖案中之每一者可具有相同或相異之圖案結構以及可具有相同或相異之尺寸。

舉例來說，請參照第3圖所示，第一電極341中的複數個第一鏤空圖案351可為大小相等之正方形。請參照第4圖所示，第一電極441中的複數個第一鏤空圖案451可為由大至小依序變化之相異尺寸的正方形。請參照第5圖所示，第一電極541中的複數個第一鏤空圖案551依序可為正方形、三角形、圓形、橢圓形以及英文字母A。

此外，在本實施方式之一實施例中，第一鏤空圖案係以規則性或不規則性之圖案結構製作於第一電極中，其中，規則性圖案結構可由複數個相等之直線線段構成或由複數個相等之弧線線段構成第一鏤空圖案結構，而不規則圖案結構則可由複數個相異之直線線段構成或由複數個相異之弧線線段構成第一鏤空圖案結構。

需特別說明的是，第一或第二實施方式之第一或第二鏤空圖案與本實施例之第一鏤空圖案可為相同或相異，且不以上述圖示範例為限。再者，當太陽能電池具有多個第一電極或第二電極時，上述第一電極或第二電極中之每一者之第一或第二鏤空圖案可為相同或相異之圖案結構。

在本實施方式之一實施例中，第一鏤空圖案之圖案排列方式包含等距分佈、不等距分佈、對稱排列以及非對稱排列中至少一者。舉例來說，請參照第6圖所示，第一電極641中的複數個第一鏤空圖案651可為大小相等之圓形，且上述圓形圖案結構之間可以等距離方式排列。再者，請參照第7圖所示，第一電極741中的複數個第一鏤空圖案751可為大小相等之圓形，但其圓形圖案之間可以不等距離方式排列。此外，上述第一鏤空圖案之排列方式若採用對稱排列或非對稱排列方式時，可包含將第一電極中具有第一鏤空圖案之露出面的垂直對稱軸或水平對稱軸，以鏡射對稱方式或鏡射不對稱方式排列第一鏤空圖案。

另外，在本實施方式之一實施例中，第一鏤空圖案係以規則性或不規則性之圖案排列方式製作於第一電極中。例如，複數個第一鏤空圖案中之每一者可為大小相同之圓形，並可將上述多個圓形圖案於第一電極中以直線排列或對角線排列之規則性的圖案排列方式製作。或者，可將上述多個圓形圖案於第一電極中以相異弧度之連續S型排列之不規則性的圖案排列方式製作。

需特別說明的是，第一或第二實施方式之第一或第二鏤空圖案與本實施例之第一鏤空圖案之排列方式可為相同或相異，且不以上述圖示範例為限。再者，當太陽能電池具有多個第一電極或第二電極時，上述第一電極或第二電極中之每一者之第一或第二鏤空圖案之排列方式可為相同或相異。

請參照第8A圖至第8H圖，其繪示依據本揭示內容之第三實施方式的一種太陽能電池的製作流程結構示意圖，其製造方法包含步驟如下。首先提供至少包含第一側811與第二側812之基板810，如第8A圖所示。請參照第8B圖所示，接著對基板810之第一側811進行摻雜程序，以形成第一摻雜層821。舉例來說，基板810可為p型材質或n型材質，第一摻雜層821可採用擴散摻雜方式或離子佈植方式植入n型摻質或p型摻質形成，並於基板810與第一摻雜層821之間形成p-n接面。然後再使用相同或相似方式對基板810之第二側812進行摻雜程序，以形成第二摻雜層822，請參照第8C圖所示。

請參照第8D圖所示，接著可利用如化學氣相沉積製程、氧化製程等方式，對第一摻雜層821之表面進行鈍化處理，以形成第一抗反射層831於第一摻雜層821之上，其中第一抗反射層831之材質可為氧化物或氮化物，以增加光子入射比率，並阻隔電子電洞對之表面再結合效應。

然後可採用如網版印刷方式製作導電電極。請參照第8E圖所示，第一模具8011至少包含相對應導電電極之第一圖案開口8021與相對應導電電極中鏤空圖案之複數個第一模塊8031。在第一模具8011中第一模塊8031之圖案結構與排列方式係相對應於第一～第二實施方式中的第一鏤空圖案。接著將第一模具8011置放於第一摻雜層831上方，再透過此第一模具8011塗佈填入金屬膏於上述第一圖案開口8021之中，並使金屬膏接觸第一抗反射層831，其中，金屬膏可為銀膠或鋁膠。再經烘烤程序使上述金屬膏硬化，以形成具有第一鏤空圖案851之第一電極841於第一抗反射層831之上，並且在第一鏤空圖案851處露出第一抗反射層831。請參照第8F圖所示，可使用與第一模具8011相同或相似之第二模具8012製作太陽能電池另一側之電極，其中第二模具8012包含第二圖案開口8022與複數個第二模塊8032，然後再以相同或相似的方式形成第二電極842。

需特別說明的是，第二電極842中可包含複數個第二鏤空圖案(未繪示)，並可藉由上述第二鏤空圖案露出第二摻雜層822。上述第二電極842中的第二鏤空圖案之圖案結構與排列方式可與第一鏤空圖案851相同或相異，而不以上述為限。此時，第一電極841因為第一抗反射層831之阻隔，尚無法傳遞由基板810與第一摻雜層821之間的p-n接面所產生之電流。

隨後將金屬膏塗佈覆蓋第二摻雜層822，並露出第二電極842，以形成金屬層843，再經烘烤程序使上述金屬膏硬化，如第8G圖所示。接著對基板810、第一摻雜層821、第一抗反射層831、第一電極841、第二摻雜層822以及第二電極842所共同形成之結構進行燒結程序，請參照第8H圖。上述結構經燒結程序後，第一電極841與第一抗反射層831接觸的部份會穿透第一抗反射層831而與第一摻雜層821形成共晶結構，並形成歐姆接觸，以傳遞由基板810與第一摻雜層821之間的p-n接面所產生之電流。同時，第二電極842中與第二摻雜層822接觸的部份與第二摻雜層822形成歐姆接觸。

在本揭示內容之第四實施方式中，太陽能電池之基板、第一摻雜層、第一抗反射層與第一電極的製造方法均與第一～第三實施方式相同或相似。在此實施方式之一實施例中，太陽能電池之製造方法更包含對基板之第二側進行摻雜程序，以形成第二摻雜層。然後對第二摻雜層之表面進行鈍化處理，以形成第二抗反射層。接著於第二抗反射層上進行電極製作程序，以形成包含複數個第二鏤空圖案之第二電極。依據此實施方式所形成之太陽能電池係具有上下對稱(或正背面對稱)之堆疊結構，再經由燒結程序使第一電極與第一摻雜層形成歐姆接觸以及第二電極與第二摻雜層形成歐姆接觸，最後形成如第2A圖～第2D圖所示之太陽能電池。值得注意的是，在本實施方式中，第一電極與第二電極之中的第一鏤空圖案與第二鏤空圖案與第一～第三實施方式中的第一鏤空圖案與第二鏤空圖案之圖案結構與圖案排列方式可為相同或相似。

需特別說明的是，上述太陽能電池之第一電極或第二電極更可採用電鍍方式形成，然後利用蝕刻方式形成第一鏤空圖案或第二鏤空圖案於第一電極或第二電極之中，而且太陽能電池之製造方式中的步驟順序可依據實際應用而進行調整，且不以上述方式為限。

綜上所述，應用本發明之優點係在於利用太陽能電池之導電電極中的鏤空圖案開口，以增加光子入射率，並可減少導電電極於進行燒結程序時，對於抗反射層所造成之破壞，以改善電子電洞對之再結合效應，增加光電轉換效率。

雖然本揭示內容已以實施方式揭露如上，然其並非用以限定本揭示內容，任何熟習此技藝者，在不脫離本揭示內容之精神和範圍內，當可作各種之更動與潤飾，因此本揭示內容之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

100、200、300、400、500、600、700．．．太陽能電池

110、210、810．．．基板

111、211、811．．．第一側

112、212、812．．．第二側

121、221、821．．．第一摻雜層

122、222、822．．．第二摻雜層

131、231、331、431、531、631、731、831．．．第一抗反射層

232．．．第二抗反射層

141、241、341、441、541、641、741、841．．．第一電極

142、242、842．．．第二電極

143、843．．．金屬層

151、251、351、451、551、651、751、851．．．第一鏤空圖案

152、252．．．第二鏤空圖案

8011．．．第一模具

8012．．．第二模具

8021．．．第一圖案開口

8022．．．第二圖案開口

8031．．．第一模塊

8032．．．第二模塊

為讓本揭示內容之上述和其他目的、特徵、優點與實施例能更明顯易懂，所附圖式之說明如下：

第1A圖係繪示依照本揭示內容之第一實施方式的一種太陽能電池之立體示意圖。

第1B圖係繪示依照本揭示內容之第一實施方式的一種太陽能電池之俯視示意圖。

第1C圖係繪示依照本揭示內容之第一實施方式的一種太陽能電池之立體示意圖。

第1D圖係繪示依照本揭示內容之第一實施方式的一種太陽能電池之仰視示意圖。

第2A圖係繪示依照本揭示內容之第二實施方式的一種太陽能電池之立體示意圖。

第2B圖係繪示依照本揭示內容之第二實施方式的一種太陽能電池之俯視示意圖。

第2C圖係繪示依照本揭示內容之第二實施方式的一種太陽能電池之立體示意圖。

第2D圖係繪示依照本揭示內容之第二實施方式的一種太陽能電池之仰視示意圖。

第3圖～第7圖係繪示依照本揭示內容之第一實施方式或第二實施方式的一種太陽能電池之導電電極及其鏤空圖案示意圖。

第8A圖～第8H圖係繪示依照本揭示內容之第三實施方式之太陽能電池的製作流程結構示意圖。

100．．．太陽能電池

110．．．基板

111．．．第一側

112．．．第二側

121．．．第一摻雜層

122．．．第二摻雜層

131．．．第一抗反射層

141．．．第一電極

142．．．第二電極

143．．．金屬層

151．．．第一鏤空圖案

Claims

一種太陽能電池結構，包含：一基板；一第一摻雜層，形成於該基板之一第一側；一第一抗反射層，形成於該第一摻雜層上；以及一第一電極，形成於該第一抗反射層上，該第一電極包含複數個第一鏤空圖案，且該第一電極中具有該些第一鏤空圖案的部份露出該第一抗反射層；其中該基板、該第一摻雜層、該第一抗反射層以及該第一電極所共同形成之結構在進行燒結程序之後，該第一電極中與該第一抗反射層接觸的部份穿透該第一抗反射層而與該第一摻雜層形成歐姆接觸。
如請求項1所述之太陽能電池結構，其中該些第一鏤空圖案係以規則性或不規則性之圖案結構製作於該第一電極中。
如請求項1所述之太陽能電池結構，其中該些第一鏤空圖案包含多邊形、圓形、橢圓、字母型式以及符號型式中至少一者，且該些第一鏤空圖案具有相同或相異之圖案結構以及具有相同或相異之尺寸。
如請求項1所述之太陽能電池結構，其中該些第一鏤空圖案係以規則性或不規則性之圖案排列方式製作於該第一電極中。
如請求項1所述之太陽能電池結構，其中該些第一鏤空圖案之圖案排列方式包含等距分佈、不等距分佈、對稱排列以及非對稱排列中至少一者。
如請求項1所述之太陽能電池結構，更包含：一第二摻雜層，形成於該基板之一第二側；以及一第二電極，形成於該第二摻雜層上，該第二電極包含複數個第二鏤空圖案，且該第二電極中具有該些第二鏤空圖案的部份露出該第二摻雜層；其中該基板、該第二摻雜層以及該第二電極所共同形成之結構在進行燒結程序之後，該第二電極中與該第二摻雜層接觸的部份與該第二摻雜層形成歐姆接觸。
如請求項1所述之太陽能電池結構，更包含：一第二摻雜層，形成於該基板之一第二側；一第二抗反射層，形成於該第二摻雜層上；以及一第二電極，形成於該第二抗反射層上，該第二電極包含複數個第二鏤空圖案，且該第二電極中具有該些第二鏤空圖案的部份露出該第二抗反射層；其中該基板、該第二摻雜層、該第二抗反射層以及該第二電極所共同形成之結構在進行燒結程序之後，該第二電極中與該第二抗反射層接觸的部份穿透該第二抗反射層而與該第二摻雜層形成歐姆接觸。
如請求項6或7所述之太陽能電池結構，其中該些第二鏤空圖案係以規則性或不規則性之圖案結構製作於該第二電極中。
如請求項6或7所述之太陽能電池結構，其中該些第二鏤空圖案包含多邊形、圓形、橢圓、字母型式以及符號型式中至少一者，且該些第二鏤空圖案中之每一者具有相同或相異之圖案結構以及具有相同或相異之尺寸。
如請求項6或7所述之太陽能電池結構，其中該些第二鏤空圖案係以規則性或不規則性之圖案排列方式製作於該第二電極中。
如請求項6或7所述之太陽能電池結構，其中該些第二鏤空圖案之圖案排列方式包含等距分佈、不等距分佈、對稱排列以及非對稱排列中至少一者。
一種太陽能電池結構之製造方法，包含：對一基板之一第一側進行摻雜程序，以形成一第一摻雜層；對該第一摻雜層之表面進行鈍化處理，以形成一第一抗反射層；於該第一抗反射層上進行電極製作程序，以形成包含複數個第一鏤空圖案之一第一電極，其中該第一電極中具有該些第一鏤空圖案的部份露出該第一抗反射層；以及對該基板、該第一摻雜層、該第一抗反射層以及該第一電極所共同形成之結構進行燒結程序，使得該第一電極中與該第一抗反射層接觸的部份穿透該第一抗反射層而與該第一摻雜層形成歐姆接觸。
如請求項12所述之太陽能電池結構之製造方法，更包含：對該基板之一第二側進行摻雜程序，以形成一第二摻雜層；於該第二摻雜層上進行電極製作程序，以形成包含複數個第二鏤空圖案之一第二電極；以及對該基板、該第二摻雜層以及該第二電極所共同形成之結構進行燒結程序，使得該第二電極中與該第二摻雜層接觸的部份與該第二摻雜層形成歐姆接觸。
如請求項12所述之太陽能電池結構之製造方法，更包含：對該基板之一第二側進行摻雜程序，以形成一第二摻雜層；對該第二摻雜層之表面進行鈍化處理，以形成一第二抗反射層；於該第二抗反射層上進行電極製作程序，以形成包含複數個第二鏤空圖案之一第二電極；以及對該基板、該第二摻雜層、該第二抗反射層以及該第二電極所共同形成之結構進行燒結程序，使得該第二電極中與該第二抗反射層接觸的部份穿透該第二抗反射層而與該第二摻雜層形成歐姆接觸。
如請求項12所述之太陽能電池結構之製造方法，其中於該第一抗反射層上進行電極製作程序之步驟更包含：透過一第一模具塗佈金屬膏於該第一抗反射層上，該第一模具包含相對應該第一電極之一第一圖案開口與相對應該些第一鏤空圖案之複數個第一模塊；以及藉由烘烤程序使得塗佈於該第一抗反射層上之金屬膏硬化，以形成具有該些第一鏤空圖案之該第一電極。
如請求項13或14所述之太陽能電池結構之製造方法，其中於該第二摻雜層或該第二抗反射層上進行電極製作程序之步驟更包含：透過一第二模具塗佈金屬膏於該第二摻雜層或該第二抗反射層上，該第二模具包含相對應該第二電極之一第二圖案開口與相對應該些第二鏤空圖案之複數個第二模塊；以及藉由烘烤程序使得塗佈於該第二摻雜層或該第二抗反射層上之金屬膏硬化，以形成具有該些第二鏤空圖案之該第二電極。