TWI446567B - 色素增感太陽能電池之製造裝置及色素增感太陽能電池之製造方法 - Google Patents

色素增感太陽能電池之製造裝置及色素增感太陽能電池之製造方法 Download PDF

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Description

色素增感太陽能電池之製造裝置及色素增感太陽能電池之製造方法
本發明係關於色素增感太陽能電池之製造裝置及色素增感太陽能電池之製造方法。
目前，使用單結晶、多結晶或是非晶質之矽半導體之太陽能電池可用於計算機等電氣產品或住宅用等。然而，為製造使用如此之矽半導體之太陽能電池，使用電漿CVD或高溫結晶成長程序等高精度程序，故所需能量甚大，且必需使用需真空之昂貴裝置故製造成本高。
在此，作為可在常壓‧大氣環境下以更低成本製造之太陽能電池，有人提議製作色素增感太陽能電池。一般構造之色素增感太陽能電池由下列者構成：薄膜，於透明基板單側表面具有透明導電性；作用極，於具有此透明導電性之薄膜表面，具有使色素吸附之微粒子所構成之金屬氧化物多孔質半導體層；對極，與其對向而由觸媒(例如具有鉑或碳之導電性基板)所構成；及電解質，在此作用極與對極之間。
光增感色素中，使用包含以Ru為首之金屬之金屬錯合物類或，不包含金屬之有機色素類。
然而，用以使色素吸附金屬氧化物多孔質半導體層之程序係藉由於大氣壓陰暗處將其浸漬於溶解有色素之溶液中約半日進行。因此，為縮短製造色素增感太陽能電池所需之時間，以更高效率生產之，業界要求色素吸附程序之高速化。
作為色素吸附高速化之一方法，有人提議下列方法：將具有多孔性金屬氧化物半導體微粒子所構成之膜之基板浸漬於例如作為色素溶液，溶解有金屬錯合物之一之Ru錯合物，處於可獲得二氧化碳超臨界流體之溫度、壓力條件下，包含二氧化碳之加壓流體中。有下列報告指出：依此方法，藉由30分鐘之浸漬，於經吸附色素之膜中，可獲得高於依以往之浸漬法獲得之膜之光電轉換效率(參照例如專利文獻1。)。
[先前技術文獻]
[專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2008-71535號公報
Ru錯合物所構成之色素雖展現其高度光電轉換效率，但為進行吸附需長時間。將氧化物半導體微粒子所構成之多孔質體表面浸漬在溶解於包含超臨界二氧化碳流體之加壓流體之色素中時，於約30分鐘非常短時間內，該色素雖會吸附於該氧化物半導體微粒子所構成之多孔質體表面，但為獲得此加壓流體，需可承受近100氣壓之壓力之大型耐壓容器所構成之色素吸附裝置。將此耐壓性能加入大型電池生產設備時，作為裝置會非常昂貴，與業界對色素增感太陽能電池所要求之廉價生產背道而持。
因此，業界期待藉由不使用近100氣壓之高壓，可在短時間內吸附色素之方法與裝置，提升色素增感太陽能電池生產程序之高速化及低成本化，與以此包含色素吸附過程之系統所製造之色素增感太陽能電池之光電轉換效率。
為解決上述以往之情事，本發明欲提供一種色素增感太陽能電池之製造裝置及色素增感太陽能電池之製造方法，可實現色素增感太陽能電池生產程序之高速化及低成本化，並提升以包含此色素吸附過程之系統所製造之色素增感太陽能電池之光電轉換效率。
本發明之色素增感太陽能電池製造裝置之一態樣係一種色素增感太陽能電池之製造裝置，使光增感色素溶液接觸用作為色素增感太陽能電池之作用極之電極材料層，以使其吸附光增感色素，其特徵在於包含：基板收納部，收納該電極材料層形成於表面之基板而呈密封容器狀；及循環機構，使該光增感色素溶液循環，俾通過收納於該基板收納部之該基板表面；且該基板收納部中與該基板對向之部分之該光增感色素溶液流路之剖面積小於其他部分之該光增感色素溶液流路之剖面積。
本發明之色素增感太陽能電池製造方法之一態樣係一種色素增感太陽能電池之製造方法，使光增感色素溶液接觸用作為色素增感太陽能電池之作用極之電極材料層以使其吸附光增感色素，其特徵在於：將該電極材料層形成於表面之基板收納在密封容器狀之基板收納部內，並令該光增感色素溶液通過在收納於該基板收納部之該基板表面，及與該表面對向之該基板收納部之對向面之間所形成之隘路部，以使該光增感色素溶液循環。
依本發明，可提供一種色素增感太陽能電池之製造裝置及色素增感太陽能電池之製造方法，可實現色素增感太陽能電池生產程序之高速化及低成本化，並提升以包含此色素吸附過程之系統所製造之色素增感太陽能電池之光電轉換效率。
以下參照圖式，就實施形態說明本發明之詳細情形。又，以下說明僅係一例，於本發明範圍內可在滿足同一物理性‧化學性條件之各種形態下實施。
圖1示意顯示依本發明一實施形態，作為色素增感太陽能電池之製造裝置之光增感色素吸附裝置100之整體構成。此光增感色素吸附裝置100包含用以將形成有用作為色素增感太陽能電池作用極之電極材料層之基板1加以配置之基板收納部2。
基板收納部2呈密封容器狀形成，此基板收納部2中設有：壓力計3，用以測定內部光增感色素溶液壓力；及溫度計4，用以測定光增感色素溶液溫度；可測定光增感色素溶液之壓力與溫度。
於基板收納部2外部，設有未圖示之溫度調節槽，可調節基板收納部2內光增感色素溶液之溫度。且基板收納部2連接用以使光增感色素溶液循環之循環線10。
循環線10中插設有儲存光增感色素溶液之儲存槽11、泵12、流量計13、手動閥14、15、針閥16及反轉閥31。且循環線10中設有自基板收納部2上游側分支，連接基板收納部2下游側之旁通線17，此旁通線17中插設有手動閥18、19。此旁通線17用來略過基板收納部2，使光增感色素溶液循環，於將形成有電極材料層之基板1配置於基板收納部2或自該基板收納部取出時使用。藉由令光增感色素溶液於旁通線17循環，可不停止光增感色素溶液之循環而不使光增感色素溶液循環至基板收納部2。因此，可輕易交換處理完畢之基板1與接著處理之基板1，迅速實行接著處理之基板1之處理。令光增感色素溶液循環至基板收納部2，或略過基板收納部2，令光增感色素溶液於旁通線17循環，可藉由手動閥14、15、18、19切換之。又，光增感色素溶液一旦接觸光線即會劣化。因此，循環線10及旁通線17宜以光線不穿透之構件構成，或以光線不穿透之構件包覆。
反轉閥31用來使針對基板1光增感色素溶液之流動方向反轉。基板1尺寸大時，於光增感色素溶液流動方向之上游側與下游側，針對基板1電極材料層光增感色素之吸附有出現差異之虞。且將複數基板1配置於基板收納部2以進行處理時，在配置於上游側之基板1與配置於下游側之基板1之間，光增感色素之吸附有出現差異之虞。因此，亦可藉由以反轉閥31切換流路使光增感色素溶液之流動方向反轉，以均一吸附光增感色素。
儲存光增感色素溶液之儲存槽11中設有：溫度調節槽20，用以調整內部光增感色素溶液之溫度；及溫度計21，用以測定儲存槽11內光增感色素溶液之溫度。
又，藉由泵12使經以溫度調節槽20調節溫度之光增感色素溶液循環至基板收納部2。又，在光增感色素溶液自儲存槽11到達基板收納部2之過程中光增感色素溶液溫度變化時，亦可以隔熱性高之構件製作循環線10，或以隔熱構件包覆循環線10及旁通線17。
光增感色素溶液中，使用將光增感色素溶解於溶媒中者。光增感色素中有包含以Ru為首之金屬之金屬錯合物類與不包含金屬之有機色素類。Ru類金屬錯合物中經常使用N3、N719、黑色染料。有機色素類中，可使用二氫吲哚類、二苯并喃類、闊馬靈類、迫聯萘類、花青基苷類、部花青素類、多烯類、波菲林類等色素。溶解光增感色素之溶媒中，可使用水、醇、乙腈、乙醇、甲苯、二甲基甲醯胺、四氫呋喃等一般有機溶媒。
光增感色素溶液之濃度宜在約0.1mM~1mM之範圍內。濃度若低雖會招致吸附時間之增加，但濃度若過高，即會導致在光增感色素吸附之微粒子上光增感色素彼此結合。此結合係光電轉換效率降低之要因。且光增感色素溶液之濃度會因對形成有電極材料層之基板1實施光增感色素之吸附處理而逐漸降低。且會因溶媒蒸發而增加。因此，光增感色素溶液之濃度監視相當重要。因此，亦可於循環線10或儲存槽11設置測定光增感色素溶液濃度之濃度測定器，監視吸附處理中光增感色素溶液之濃度變化。
圖2示意顯示上述基板收納部2之縱剖面構成(圖2(a))及橫剖面構成(圖2(b))，圖3係裁斷一半部位，示意顯示基板收納部2上表面構成之立體圖。如圖2所示，基板收納部2中，形成有剖面呈矩形形成，用以使光增感色素溶液流通之流路200，於此流路200大致中央部，設有配合基板1外形而呈矩形凹陷，載置基板1之凹部201。於此凹部201，設有用以固定基板1之吸附機構205。
且於與凹部201對向之流路200頂棚部設有蓋構件202。於此蓋構件202下側設有配合流路200之形狀而呈矩形突出之突出部203。又，形成於此突出部203與基板1之間，與基板1表面對向之部分的光增感色素溶液之流路(隘路部)210較其他部分狹窄，亦即流路之剖面積少。又，蓋構件202與突出部203可藉由卸除複數(於本實施形態為4根)螺桿204任意裝卸，藉由與設有突出量不同之突出部203之蓋構件202交換，可變更流路210部分之剖面積。
且光增感色素溶液雖一旦接觸光線即會劣化，故蓋構件202與突出部203宜以光線不穿透之構件製作，但於本實施形態係藉由透明壓克力製作。藉此，可作為用以觀察基板收納部2內部之觀察窗使用蓋構件202與突出部203。此時，不觀察時宜以遮光構件包覆蓋部202。
圖4顯示上述流路210部分剖面構成之一例。此例中，流路寬W為90mm，流路高度T為10mm，突出部203下表面與基板1上表面之間隔C1 大致為1mm，突出部203側面與流路200側壁之間隔C2 大致為1mm。此時，流路210部分之流路面積為108mm2 。
上述構成之光增感色素吸附裝置100中，將形成有用作為色素增感太陽能電池之作用極之電極材料層之基板1配置於基板收納部2，在開啟手動閥14、15，關閉手動閥18、19之狀態下驅動泵12，藉此使調整至既定溫度之儲存槽11內的光增感色素溶液循環，令光增感色素吸附於基板1之電極材料層。此時藉由縮小流路210部分之流路面積，可在短時間內高效率地使必要量的光增感色素吸附於基板1之電極材料層。吾人認為此係因藉由在流路210中流通之光增感色素溶液之壓力上昇，可獲得光增感色素溶液易於滲透金屬氧化物多孔質半導體層之效果，藉由在流路210中流通之光增感色素溶液之流速上昇，可獲得光增感色素接觸金屬氧化物多孔質半導體層微粒子每單位時間之量增加之效果。使用吸附裝置100使光增感色素吸附於形成在基板1之電極材料層後，令基板1與對極貼合，注入電解液，進行封裝。藉此可獲得色素增感太陽能電池。
又，本實施形態中，雖可使用設置突出部203之可任意裝卸之蓋構件202變更流路210部分之流路面積，但亦可預先形成流路210之側壁以使該側壁朝內側突出，俾流路210之流路面積小於流路200之流路面積。且亦可使用設有突出部並可任意裝卸之基板載置構件。且亦可設置可沿上下動之基板載置台，藉由基板1接近流路210之壁面，使流路210之流路面積小於流路200之流路面積。且亦可於流路210之壁面(例如側壁)設置縮窄流路210之可動構件，使流路210之流路面積小於流路200之流路面積。
且亦可於基板收納部2收納複數基板1。如圖2(c)所示，若設置複數凹部201，收納複數基板1，即可實現色素增感太陽能電池生產程序之更高速化及低成本化。
其次，參照圖5說明關於依另一實施形態之光增感色素吸附裝置100a。為製作轉換效率高之色素增感太陽能電池，吸附光增感色素後，需進行將對光電轉換無貢獻而多餘之光增感色素洗掉之潤洗處理。此實施形態中於溫度調節槽20內，除儲存光增感色素溶液之儲存槽11外，尚設有儲存潤洗液之潤洗儲存槽22。作為潤洗液，雖可使用水、醇、乙腈、甲苯、二甲基甲醯胺、四氫呋喃等一般有機溶媒，但宜使用與溶解光增感色素之溶媒同種之液體。且於此潤洗儲存槽22中設有用以測定潤洗液溫度之溫度計23。
且於循環線10儲存槽11及潤洗儲存槽22出口側及入口側，分別設置切換閥24、25，將藉由循環線10循環之液體切換為光增感色素溶液與潤洗液。藉此，可首先令光增感色素溶液循環，使光增感色素吸附基板1後，接著令潤洗液循環，以進行潤洗。又，關於其他部分，與圖1所示之光增感色素吸附裝置100構成相同，故針對對應之部分賦予對應之符號，省略重複之說明。
上述光增感色素之吸附裝置可在製造色素增感太陽能電池之作用極時進行光增感色素吸附程序後，接著進行製作轉換效率高的色素增感太陽能電池所需之潤洗程序。亦即，可作為實施色素增感太陽能電池製造裝置潤洗程序之裝置使用。在進行光增感色素吸附程序後，可不自裝置取出基板1而實施潤洗程序，故可實現轉換效率高的色素增感太陽能電池生產程序之更高速化。
(實施例)
其次，說明關於實施例。使用60mm×70mm×3mm之附有氧化錫中摻雜有氟之FTO薄膜之玻璃基板(日本板硝子，9~10Ω/□)。其次，在附有FTO膜之基板之FTO膜上，形成氧化鈦多孔質薄膜。氧化鈦使用市售之氧化鈦膠Ti-NanoxideD/SP(SOLARONIX)。在附有FTO膜之基板之FTO膜上使用網板印刷法塗布該氧化鈦膠50mm×50mm之範圍(後述評價色素吸附量時)或是，5mm×5mm之範圍(後述評價特性時)，以500度之電爐鍛燒後，呈8μm±0.5μm之厚度。
用於使色素吸附係作用極之氧化鈦多孔質薄膜之溶液係使用藉由乙醇使色素(DYESOL公司製釕(Ru)有機錯合物N719cis -bis(isothiocyanato)bis(2,2’-bipyridyl-4,4’-dicarboxylato)-ruthenium(II)bis-tetrabutylammonium))為0.3mM者。使用上述光增感色素吸附裝置100吸附色素後，自吸附裝置100取出基板，為去除附著於包含作用極之基板整體而多餘之色素，浸漬於靜止之乙醇15分鐘期間以潤洗之。其後，使該基板乾燥，將0.1M氫氧化鈉水溶液100ml注入燒杯，將吸附有色素之氧化鈦多孔質膜置入燒杯以使色素完全溶出。將此溶液3ml注入石英玻璃比色管，藉由分光光度計測定吸光度以評價吸附量。
電解液中加入I2 (碘)0.05M，LiI(碘化鋰)0.5M，tBP(三級丁基吡啶)0.58M，DMPII(離子液體)0.6M，以MeCN(乙腈)為溶媒調整之。
對極之Pt觸媒在附有ITO膜之玻璃基板之ITO膜上以濺鍍法製膜，厚度約10nm。作用極與對極之貼合中，置放離子聚合樹脂所構成之熱可塑性之片狀黏接劑，以100度熱壓接以組合之。對經組合之電池注入上述電解液並封裝之以獲得光電轉換元件。
以製作之光電轉換元件為色素增感太陽能電池，使用AM1.5之模擬太陽光對其電池特性進行特性評價。於後述表中顯示光電轉換元件之製作條件及I-V實測值之結果(效率、Voc、Isc及FF)。
首先，說明關於使用上述光增感色素吸附裝置100，測定突出部203下表面與基板1上表面之間隔C1 ，及色素吸附量之關係之結果。測定就間隔C1 為1mm時(流路面積108mm2 )，與為5mm時(流路面積460mm2 )進行之，關於各情形，光增感色素溶液之流量分別為27000mm3 /s，54000mm3 /s，86400mm3 /s或108000mm3 /s，浸漬時間分別為15分，30分或45分評價之。又，光增感色素溶液之溫度為30℃。將此結果顯示於表1。
在此，係色素增感太陽能電池時，光增感色素吸附量宜至少在約8.0(nmol/cm2 )/μm以上。為獲得如此之吸附量，在大氣中，室溫，溶液靜止狀態下進行吸附時，至少需約5~6小時之時間。
另一方面，如上述表1所示，無論在間隔C1 為1mm時，或間隔C1 為5mm時其中任一情形下，皆可在約30分鐘時間內獲得上述吸附量。且可確認間隔C1 為1mm時，相較於在同一流量下間隔C1 為5mm時，可在短時間內呈高吸附量。例如，流量為108000mm3 /s時，在間隔C1 為1mm之情形下，進行15分鐘吸附量為9.41(nmol/cm2 )/μm，多於在同一流量下間隔C1 為5mm時30分鐘內之吸附量9.12(nmol/cm2 )/μm。因此，藉由使間隔C1 狹窄，可在更短時間內獲得必要之吸附量。此時間隔C1 宜在5mm以下，在1mm以下更佳。如以上，藉由縮小與基板1表面對向之部分光增感色素溶液之流路剖面積(縮窄間隔C1 )，可在短時間內高效率地使光增感色素吸附。
其次，說明關於使用圖5所示之光增感色素溶液吸附裝置100a，調查如上述吸附光增感色素，接著以潤洗液進行潤洗時潤洗進展狀況之結果。形成前述5mm×5mm之氧化鈦多孔質薄膜，使用吸附裝置100吸附光增感色素。吸附色素時，間隔C1 為1mm，光增感色素溶液之流量為108000mm3 /s，浸漬時間為60分鐘，光增感色素溶液之溫度為30℃。吸附色素後，自吸附裝置100取出基板，浸漬於靜止之乙醇中1分鐘期間或15分鐘期間，就藉此潤洗而製作之電池，測定其特性之結果，呈表2所示之結果，其轉換效率分別為5.3%，5.7%。且使用吸附裝置100a，在相同條件下吸附色素後，令間隔C1 為1mm，潤洗液流量為27000mm3 /s，就潤洗1分鐘期間而製作之電池，測定其特性之結果，呈表2所示之結果，其轉換效率為5.7%。亦即，使用圖5所示之光增感色素溶液吸附裝置100a，吸附光增感色素後，與吸附光增感色素相同使潤洗液循環以潤洗1分鐘期間時，可獲得與浸漬於靜止之乙醇中15分鐘期間並潤洗時相同之特性，相較於浸漬於靜止之乙醇中1分鐘期間並潤洗時，可獲得之特性高。因此可在短時間內高效率地潤洗光增感色素。
如以上說明，依本發明之實施形態，可提供一種色素增感太陽能電地之製造裝置及製造方法，可實現色素增感太陽能電池生產程序之高速化及低成本化，並提升以包含此色素吸附過程之系統所製造之色素增感太陽能電池之光電轉換效率。又，本發明不由上述實施形態及實施例所限定，當然可進行各種變形。
【產業上利用性】
本發明之色素增感太陽能電池之製造裝置及色素增感太陽能電池之製造方法可在色素增感太陽能電池之製造領域等利用。因此具有產業上可利用性。
C1 、C2 ．．．間隔
T．．．流路高度
W．．．流路寬
1．．．基板
2．．．基板收納部
3．．．壓力計
4、21、23．．．溫度計
10．．．循環線
11．．．儲存槽
12．．．泵
13．．．流量計
14、15、18、19．．．手動閥
16．．．針閥
17．．．旁通線
20．．．溫度調節槽
22．．．潤洗儲存槽
24、25．．．切換閥
31．．．反轉閥
100、100a．．．光增感色素吸附裝置
200．．．流路
201‧‧‧凹部
202‧‧‧蓋構件
203‧‧‧突出部
204‧‧‧螺桿
205‧‧‧吸附機構
210‧‧‧流路(隘路部)
圖1係顯示依本發明一實施形態之光增感色素吸附裝置之構成圖。
圖2(a)~(c)係顯示圖1光增感色素吸附裝置之重要部位構成圖。
圖3係顯示圖1光增感色素吸附裝置之重要部位構成圖。
圖4係顯示圖1光增感色素吸附裝置之重要部位構成圖。
圖5係顯示依本發明另一實施形態之光增感色素吸附裝置之構成圖。
1．．．基板
2．．．基板收納部
3．．．壓力計
4、21．．．溫度計
10．．．循環線
11．．．儲存槽
12．．．泵
13．．．流量計
14、15、18、19．．．手動閥
16．．．針閥
17．．．旁通線
20．．．溫度調節槽
31．．．反轉閥
100．．．光增感色素吸附裝置

Claims (21)

  1. 一種色素增感太陽能電池之製造裝置，使光增感色素溶液接觸於使用作為色素增感太陽能電池之作用極的電極材料層，以使光增感色素吸附於該電極材料層，其特徵在於包含：基板收納部，成密封容器狀，用以收納在表面形成有該電極材料層且未與對極貼合之基板；及循環機構，使該光增感色素溶液循環，俾通過收納於該基板收納部之該基板表面；且該基板收納部中與該基板對向之部分之該光增感色素溶液的流路之剖面積小於其他部分之該光增感色素溶液流路之剖面積。
  2. 如申請專利範圍第1項之色素增感太陽能電池之製造裝置，其中，於該基板收納部與該基板對向之部位，設有在該光增感色素溶液流路內突出之突出部。
  3. 如申請專利範圍第2項之色素增感太陽能電池之製造裝置，其中，該突出部可任意裝卸，藉由變更該突出部，可變更該基板收納部中與該基板對向之部分之該光增感色素溶液流路之剖面積。
  4. 如申請專利範圍第1項之色素增感太陽能電池之製造裝置，其中，該基板收納部，具有載置該基板的凹部。
  5. 如申請專利範圍第1至4項中任一項之色素增感太陽能電池之製造裝置，其中，於該基板收納部配置有複數之該基板。
  6. 如申請專利範圍第1至4項中任一項之色素增感太陽能電池之製造裝置，更具有使該光增感色素溶液之流動方向反轉之反轉機構。
  7. 如申請專利範圍第1至4項中任一項之色素增感太陽能電池之製造裝置，更具有控制該光增感色素溶液的溫度之溫度控制機構。
  8. 如申請專利範圍第1至4項中任一項之色素增感太陽能電池之製造裝置，更具有控制該光增感色素溶液的流量之流量控制機構。
  9. 如申請專利範圍第1至4項中任一項之色素增感太陽能電池之製造裝置，更具有偵測該光增感色素溶液的濃度之濃度測定器。
  10. 如申請專利範圍第1至4項中任一項之色素增感太陽能電池之製 造裝置，更具有用以將潤洗該光增感色素之潤洗液加以儲存之潤洗液儲存槽，可與該光增感色素溶液切換，使該潤洗液循環至該基板收納部。
  11. 如申請專利範圍第10項之色素增感太陽能電池之製造裝置，更具有控制該潤洗液的溫度之溫度控制機構。
  12. 如申請專利範圍第10項之色素增感太陽能電池之製造裝置，更具有控制該潤洗液的流量之流量控制機構。
  13. 一種色素增感太陽能電池之製造方法，使光增感色素溶液接觸於使用作為色素增感太陽能電池之作用極的電極材料層，以使光增感色素吸附於該電極材料層，其特徵在於：將表面形成有該電極材料層且未與對極貼合之基板收納在密封容器狀之基板收納部內，並令該光增感色素溶液通過在收納於該基板收納部之該基板表面，及與該表面對向之該基板收納部之對向面之間所形成之隘路部，以使該光增感色素溶液循環。
  14. 如申請專利範圍第13項之色素增感太陽能電池之製造方法，其中，該隘路部係形成為使得該基板表面與該基板收納部之對向面之間之間隔在5mm以下。
  15. 如申請專利範圍第13項之色素增感太陽能電池之製造方法，其中，該隘路部係形成為使得該基板表面與該基板收納部之對向面之間之間隔在1mm以下。
  16. 如申請專利範圍第13至15項中任一項之色素增感太陽能電池之製造方法，其中，該電極材料層係金屬氧化物半導體多孔質層。
  17. 如申請專利範圍第13至15項中任一項之色素增感太陽能電池之製造方法，其中，該光增感色素係Ru金屬錯合物系增感色素或有機色素系增感色素。
  18. 如申請專利範圍第13至15項中任一項之色素增感太陽能電池之製造方法，其中，該光增感色素溶液中該光增感色素之濃度在0.1mM~1mM之範圍內。
  19. 如申請專利範圍第13至15項中任一項之色素增感太陽能電池之 製造方法，其中，於該基板收納部配置複數之該基板。
  20. 如申請專利範圍第13至15項中任一項之色素增感太陽能電池之製造方法，其中，使該光增感色素溶液之流動方向反轉。
  21. 如申請專利範圍第13至15項中任一項之色素增感太陽能電池之製造方法，其中，在吸附該光增感色素後，不自該基板收納部取出該基板，而接著進行潤洗處理。
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