CN102771006A - 色素增感型太阳电池的制造装置和色素增感型太阳电池的制造方法 - Google Patents

色素增感型太阳电池的制造装置和色素增感型太阳电池的制造方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供着一种色素增感型太阳电池的制造装置，使光增感色素溶液与作为色素增感型太阳电池的工作电极发挥作用的电极材料层接触，以吸附光增感色素，该色素增感型太阳电池的制造装置包括：收纳在表面形成有所述电极材料层的基板的密闭容器状的基板收纳部；和使所述光增感色素溶液以通过收纳于所述基板收纳部的所述基板的表面的方式进行循环的循环机构，其中，所述基板收纳部中的与所述基板相对的部分的所述光增感色素溶液的流路的截面积小于其他部分的所述光增感色素溶液的流路的截面积。

Description

色素增感型太阳电池的制造装置和色素增感型太阳电池的制造方法
技术领域
本发明涉及色素增感型太阳电池的制造装置和色素增感型太阳电池的制造方法。
背景技术
现在，使用单晶、多晶或非结晶的硅半导体的太阳电池用于电子计算器等电气产品或住宅用等。但是，由于在制造使用了这种硅半导体的太阳电池时，使用等离子体CVD或高温结晶成长工艺等高精度工艺，所以需要较大的能量，并且需要必须为真空的昂贵的装置，因此制造成本增高。
因此，作为能够在常压、大气环境下以低成本制造的太阳电池，提出有色素增感型太阳电池的方案。通常结构的色素增感型太阳电池包括；在透明基板的单侧的表面具有透明导电性的薄膜；在具有透明导电性的该薄膜的表面具有由吸附色素的微粒构成的金属氧化物多孔半导体层的工作电极；与工作电极相对且由催化剂（例如，具有铂或碳的导电性基板）构成的相反电极；和该工作电极与相反电极之间的电解质。光增感色素使用含有以Ru为代表的金属的金属络合物类或不含金属的有机色素类。
但是，用于使金属氧化物多孔半导体层吸附色素的工序通过在大气压的暗处，浸渍在溶解有色素的溶液中半天左右来进行。因此，为了缩短制造色素增感型太阳电池所需要的时间、更高效地进行生产，需要追求色素吸附工序的高速化。
作为色素吸附的高速化的方法之一，例如提出有下述方法：作为色素溶液，在含有处于溶解了作为金属络合物之一的Ru络合物的二氧化碳的超临界流体所获得的温度、压力条件下的二氧化碳的加压流体中，浸渍具有由多孔性的金属氧化物半导体微粒构成的膜的基板。有报告指出，根据该方法，在通过30分钟的浸渍而吸附有色素的膜中，能够得到比通过现有的浸渍法获得的膜更高的光电转换效率（例如，参照专利文献1）。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2008－71535公報
发明内容
发明要解决的技术问题
由Ru络合物构成的色素显示高的光电转换效率，但是吸附需要较长时间。在浸渍在含有超临界二氧化碳流体的加压流体的色素中浸渍时，在30分左右的非常短的时间内，吸附在由氧化物半导体微粒构成的多孔体的表面，但是为了得到该加压流体，需要由能够耐受接近100个大气压的大型的耐压容器构成的色素吸附装置。在对大型电池的生产设备赋予该耐压性能时，装置非常昂贵，与色素增感型太阳电池所要求的低价格的生产背道而驰。
因此，希望利用不使用接近100个大气压的高压、能够在短时间内实现色素吸附的方法和装置，实现色素增感型太阳电池的生产工序的高速化和低成本化，提高包括该色素吸附过程的系统中制造的色素增感型太阳电池的光电转换效率。
本发明是为了应对上述现有技术的问题而完成的，提供一种能够实现色素增感型太阳电池的生产工序的高速化和低成本化并能够提高包括该色素吸附过程的系统中制造的色素增感型太阳电池的光电转换效率的色素增感型太阳电池的制造装置以及色素增感型太阳电池的制造方法。
解决技术课题的技术手段
本发明色素增感型太阳电池的制造装置的一种方式，使光增感色素溶液与作为色素增感型太阳电池的工作电极发挥作用的电极材料层接触，以吸附光增感色素，该色素增感型太阳电池的制造装置包括：收纳在表面形成有所述电极材料层的基板的密闭容器状的基板收纳部；和使所述光增感色素溶液以通过收纳于所述基板收纳部的所述基板的表面的方式进行循环的循环机构，其中，所述基板收纳部中的与所述基板相对的部分的所述光增感色素溶液的流路的截面积小于其他部分的所述光增感色素溶液的流路的截面积的流路的截面积小于其他部分的所述光增感色素溶液的流路的截面积。
本发明的色素增感型太阳电池的制造方法的一种方式，使光增感色素溶液与作为色素增感型太阳电池的工作电极发挥作用的电极材料层接触以吸附光增感色素，利用该色素增感型太阳电池的制造方法，将在表面形成有所述电极材料层的基板收纳在密闭容器状的基板收纳部内，并且，使所述光增感色素溶液循环通过收纳在所述基板收纳部的所述基板的表面与相对于该表面的所述基板收纳部的相对面之间所形成的狭路。
发明效果
根据本发明，可以提供能够实现色素增感型太阳电池的生产工序的高速化和低成本化并且提高包括该色素吸附过程的系统中制造的色素增感型太阳电池的光电转换效率的色素增感型太阳电池的制造装置以及色素增感型太阳电池的制造方法。
附图说明
图1是表示本发明一个实施方式的光增感色素的吸附装置的结构的图。
图2是表示图1的光增感色素的吸附装置的主要部分的结构的图。
图3是表示图1的光增感色素的吸附装置的主要部分的结构的图。
图4是表示图1的光增感色素的吸附装置的主要部分的结构的图。
图5是表示本发明的另一实施方式的光增感色素的吸附装置的结构的图。
具体实施方式
下面，参照附图对本发明进行详细说明。其中，以下的说明不过是一例，满足同一物理、化学条件的各种方式下的实施都包括在本发明的范围内。
图1是示意性地表示作为本发明一个实施方式的色素增感型太阳电池的制造装置的光增感色素的吸附装置100的整体结构的图。该光增感色素的吸附装置100具备基板收纳部2，该基板收纳部2用于配置基板1，该基板1形成有作为色素增感型太阳电池的工作电极发挥作用的电极材料层。
基板收纳部2形成为密闭容器状，在该基板收纳部2设置有用于测定内部的光增感色素溶液的压力的压力计3和用于测定光增感色素溶液的温度的温度计4，以能够测定测定光增感色素溶液的压力和温度。在基板收纳部2的外部设置有未图示的调温室，能够调节基板收纳部2内的光增感色素溶液的温度。并且，在基板收纳部2上连接有用于使光增感色素溶液循环的循环线路10。
在循环线路10上设置有用于贮存光增感色素溶液的罐11、泵12、流量计13、手动阀14、15、针型阀16和逆流阀31。并且，在循环线路10上设置有从基板收纳部2的上游侧分支并与基板收纳部2的下游侧连接的旁路17，该旁路17上设置有手动阀18、19。该旁路17用于使基板收纳部2形成旁路而使光增感色素溶液循环，在将形成有电极材料层的基板1配置在基板收纳部2中或将其取出时使用。通过使光增感色素溶液在旁路17中循环，能够不中止光增感色素溶液的循环而使光增感色素溶液不在基板收纳部2中循环。因此，能够容易地使处理结束的基板1与接着要处理的基板1进行交换，能够迅速地执行接着要处理的基板1的处理。使光增感色素溶液在基板收纳部2循环、还是使基板收纳部2旁通，使光增感色素溶液在旁路17中循环，可以通过手动阀14、15、18、19进行切换。另外，光增感色素溶液一旦受到光的照射就会劣化。因此，优选循环线路10和旁路17由不透光的部件构成、或者用不透光的部件覆盖。
逆流阀31用于使光增感色素溶液相对于基板1的流动反转。在基板1的尺寸大时，在光增感色素溶液流动的上游侧和下游侧，基板1的电极材料层对于光增感色素的吸附可能出现差异。并且，在基板收纳部2中配置有多个基板1进行处理时，在配置于上游侧的基板1与配置于下游侧的基板1之间，光增感色素的吸附可能出现差异。因此，通过利用逆流阀31切换流路，能够使光增感色素溶液的流动反转，使光增感色素均匀吸附。
在贮存光增感色素溶液的罐11，设置有用于调节内部的光增感色素溶液的温度的调温室20和用于测定罐11内的光增感色素溶液的温度的温度计21。并且，利用泵12使通过调温室20调节温度后的光增感色素溶液在基板收纳部2中循环。另外，在光增感色素溶液从罐11基板到达收纳部2的过程中光增感色素溶液的温度发生变化的情况下，可以用隔热性高的部件制作循环线路10、或者用隔热部件覆盖循环线路10和旁路17。
光增感色素溶液使用溶剂中溶解有光增感色素的溶液。光增感色素具有含有以Ru为代表的金属的金属络合物类和不含金属的有机色素类。Ru类金属络合物多使用N3、N719、黑色染料（BLACK DYE）。在有机色素类中，可以使用吲哚目类、氧杂蒽类、香豆素类、苝类、花青类、部花青类、多烯类、卟啉类等的色素。溶解光增感色素的溶剂可以使用水、醇、乙腈、乙醇、甲苯、二甲基甲酰胺、四氢呋喃等通常的有机溶剂。
光增感色素溶液的浓度优选在0.1mM～1mM左右的范围内。浓度低时会导致吸附时间增加，而浓度过高时会在吸附光增感色素的微粒上发生光增感色素彼此之间的聚集。该聚集是使得光电转换效率下降的主要原因。并且，通过对形成有电极材料层的基板1实施光增感色素的吸附处理，光增感色素溶液的浓度缓慢降低。并且，通过溶剂蒸发而增加。因此，光增感色素溶液的浓度监控至关重要。因此，在循环线路10或罐11设置用于测定光增感色素溶液的浓度的浓度测定器，监控吸附处理中的光增感色素溶液的浓度変化。
图2是示意性地表示上述基板收纳部2的纵截面结构（图2（a））和横截面结构（图2（b））的图，图3是示意性地表示将基板收纳部2的上面的构成切去一半的立体图。如图2所示，在基板收纳部2形成有截面形成为矩形形状的用于使光增感色素溶液流通的流路200，在该流路200的大致中央部设置有凹部201，该凹部201与基板1的外形匹配、以矩形形状凹陷，用于载置基板1。该凹部201设置有用于固定基板1的吸附机构205。
另外，在与凹部201相对的流路200的顶部设置有盖部件202。在该盖部件202的下侧，设置有与流路200的形状匹配的、以矩形形状突出的突出部203。并且，在该突出部203与基板1之间形成的、与基板1的表面相对的部分的光增感色素溶液的流路（狭路）210比其他部分窄，即，流路的截面积变小。另外，盖部件202和突出部203通过将多个（在本实施方式中为4根）螺栓204取下而自由装拆，通过与设置有突出量不同的突出部203的盖部件202交换，能够改变流路210的部分的截面积。
此外，由于光增感色素溶液受到光的照射时会发生劣化，因而优选盖部件202和突出部203由不透光的部件制成，但是在本实施方式中由透明的丙烯酸树脂制成。由此，能够将盖部件202和突出部203用作观察基板收纳部2的内部的观察窗。这种情况下，优选在不进行观察时，用遮光部件覆盖盖部202。
图4是表示上述流路210的部分的截面构成的一个示例的图。在本例中，流路宽度W为90mm、流路高度T为10mm，突出部203的下表面与基板1的上表面之间的间隔C1大致为1mm、突出部203的侧面与流路200侧壁之间的间隔C2大致为1mm。这种情况下，流路210的部分的流路面积为108mm2。
在上述构成的光增感色素的吸附装置100中，将形成有作为色素增感型太阳电池的工作电极发挥作用的电极材料层的基板1配置在基板收纳部2中，在打开手动阀14和15、关闭手动阀18、19的状态下，通过驱动泵12，使调节为规定温度的罐11内的光增感色素溶液循环，使基板1的电极材料层吸附光增感色素。此时，通过缩小流路210的部分的流路面积，能够使基板1的电极材料层在短时间内有效地吸附必要量的光增感色素。可以认为这是由于通过使在流路210中流通的光增感色素溶液的压力升高，能够获得光增感色素溶液容易浸透金属氧化物多孔半导体层的效果，并且通过使在流路210中流通的光增感色素溶液的流速升高，能够获得与金属氧化物多孔半导体层的微粒接触的光增感色素的每单位时间的量增加的效果。使用吸附装置100，使在基板1上形成的电极材料层吸附光增感色素后，使基板1与相反电极贴合，注入电解液进行密封。由此，能够获得色素增感型太阳电池。
另外，在本实施方式中，使用设置有突出部203的自由装拆的盖部件202，能够改变流路210部分的流路面积，但是也可以预先使流路210的侧壁向内侧突出地形成，使得流路210的流路面积小于流路200的流路面积。另外，也可以使用设置有突出部的自由装拆的基板载置部件。还可以通过设置能够上下移动的基板载置台、使基板1靠近流路210的壁面，使得流路210的流路面积小于流路200的流路面积。此外，还可以在流路210的壁面（例如侧壁）设置能够缩小流路210的可动部件，使得流路210的流路面积小于流路200的流路面积。
还可以构成为在基板收纳部2内收纳多个基板1。如图2（c）所示，如果设置多个凹部201、收纳多个基板1，则能够实现色素增感型太阳电池的生产工序的更进一步的高速化和低成本化。
下面，参照图5，对于另一实施方式的光增感色素的吸附装置100a进行说明。为了制作转换效率高的色素增感型太阳电池，在进行光增感色素的吸附之后，需要将对于光电转换没有帮助的多余的光增感色素洗掉的冲洗处理。在本实施方式中，在调温室20内，除了设置有用于贮存光增感色素溶液的罐11之外，还设置有用于贮存冲洗液的冲洗罐22。作为冲洗液，可以使用水、醇、乙腈、甲苯、二甲基甲酰胺、四氢呋喃等的一般的的有机溶剂，但是优选使用与溶解光增感色素的溶剂同种的液体。另外，在该冲洗罐22设置有用于测定冲洗液的温度的温度计23。
并且，在循环线路10的罐11和冲洗罐22，在出口侧和入口侧，分别设置有切换阀24、25，将通过循环线路10循环的液体切换为光增感色素溶液和冲洗液。由此，首先使光增感色素溶液循环，使基板1吸附光增感色素后，接着使冲洗液循环进行冲洗。此外，有关其他部分，与图1所示的光增感色素的吸附装置100为相同的结构，因此，对应的部分标注对应的符号，并省略重复说明。
上述光增感色素的吸附装置，可以在进行色素增感型太阳电池的工作电极的制造中的光增感色素的吸附工序之后，接着进行为了制造转换效率高的色素增感型太阳电池所必须的冲洗工序。即，能够用作实施色素增感型太阳电池的制造装置的冲洗工序的装置。在进行光增感色素的吸附工序之后，无需将基板1从装置中取出，就能够实施冲洗工序，因而能够实现转换效率高的色素增感型太阳电池的生产工序的进一步的高速化。
（实施例）
下面，对实施例进行说明。使用60mm×70mm×3mm的玻璃基板（日本板硝子、9～10Ω/□），该玻璃基板带有氧化锡中参杂有氟的FTO的薄膜。接着，在带有FTO膜的基板的FTO膜上，形成氧化钛多孔薄膜。氧化钛使用市售的氧化钛糊Ti-NanoxideD/SP（SOLARONIX）。采用丝网印刷法，在带有FTO膜的基板的FTO膜上，将氧化钛涂布50mm×50mm的范围（后述的评价色素吸附量时）或者5mm×5mm的范围（后述的特性评价时），用500度的电炉烧制后，达到8μm±0.5μm厚度。
用于将色素吸附在作为工作电极的氧化钛多孔薄膜的溶液，使用利用乙醇将色素（DYESOL社生产，钌（Ru）有机络合物N719 cis-bis(isothiocyanato)bis(2,2'-bipyridyl-4,4'-dicarboxylato)-ruthenium(II)bis-tetrabutylammonium)）调节为0.3mM的溶液。使用上述光增感色素的吸附装置100进行色素的吸附之后，从吸附装置100中取出基板，为了将附着在包括工作电极在内的整个基板上的多余的色素洗掉，而浸渍在静止的乙醇中15分钟，进行冲洗。之后，将该基板干燥，在烧杯中加入0.1M氢氧化钠水溶液100ml，将吸附有色素的氧化钛多孔膜放入烧杯中，使色素完全溶出。将该溶液3ml加入石英玻璃皿中，利用分光光度计测定吸光度，评价吸附量。
加入I2（碘）0.05M、LiI（碘化锂）0.5M、tBP（叔丁基吡啶）0.58M、DMPII（离子液体）0.6M，将MeCN（乙腈）作为溶剂，调制电解液。
相反电极的Pt催化剂，利用溅射法在带有ITO膜的玻璃基板的ITO膜上制成厚为10nm左右的膜。工作电极与相反电极的粘合，放置由离聚物树脂构成的热可塑性的片状的粘合剂、以100度进行热压接而组合。在组合的单元中注入上述电解液、进行密封，从而获得光电转换元件。
将制成的光电转换元件作为色素增感型太阳电池、使用AM1.5的模拟太阳光对其电池特性进行特性评价。光电转换元件的制作条件和I－V实测值的结果(效率、Voc、Jsc和FF)表示在下面的表中。
首先，说明使用上述光增感色素的吸附装置100测定突出部203的下表面和基板1的上表面之间的间隔C1、与色素的吸附量之间的关系的结果。测定在间隔C1为1mm的情况（流路面积108mm2）和5mm的情况（流路面积460mm2）进行，对于各情况，使光增感色素溶液的流量为27000mm3／s、54000mm3／s、86400mm3／s或108000mm3／s，浸渍时间为15分钟、30分钟或45分钟进行评价。另外，光增感色素溶液的温度为30℃。其结果表示在表1中。
[表1]
Figure BDA00002053278100091
这里，在色素增感型太阳电池的情况下，优选光增感色素的吸附量至少为8.0（nmol／cm2）／μm左右以上。为了获得这样的吸附量，在大气中、室温、溶液静止状态下进行吸附时，至少需要5～6小时左右的时间。
另一方面，如上述的表1所示，即使在间隔C1为1mm和间隔C1为5mm的任一种情况下，在30分钟左右的时间内都能够获得上述的吸附量。并且，可以确认间隔C1为1mm的情况，与在同一流量下间隔C1为5mm的情况相比，能够在短时间内达到高的吸附量。例如，在流量为108000mm3／s的情况下，间隔C1为1mm时，在15分钟吸附量达到9.41（nmol／cm2）／μm；而在同一流量下间隔C1为5mm时30分钟的吸附量大于9.12（nmol／cm2）／μm。因此，通过缩小间隔C1，能够在更短的时间内获得必要的吸附量。这种情况下，间隔C1优选在5mm以下，更优选在1mm以下。如上所述，通过缩小与基板1的表面相对的部分的光增感色素溶液的流路截面积（缩小间隔C1），能够使光增感色素在短时间内有效地吸附。
下面，对于使用图5所示的光增感色素的吸附装置100a，在上述光增感色素的吸附后接着利用冲洗液进行冲洗时的冲洗的进行状況的调查结果进行说明。形成上述5mm×5mm的氧化钛多孔薄膜，使用吸附装置100进行光增感色素的吸附。将间隔C1设为1mm、光增感色素溶液的流量设为108000mm3／s、浸渍时间设为60分钟、光增感色素溶液的温度设为30℃，进行色素的吸附。在色素的吸附后，从吸附装置100中取出基板，通过浸渍在静止的乙醇中1分钟或15分钟，进行冲洗，针对这样制成的元件，测定其特性的结果为表2所示的结果，其转换效率分别为5.3％、5.7％。此外，使用吸附装置100a以同样的条件进行色素吸附后，将间隔C1设为1mm、冲洗液流量设为27000mm3／s，进行1分钟的冲洗，针对这样制成的元件，测定其特性的结果为表2所示的结果，其转换效率为5.7％。即，使用图5所示的光增感色素的吸附装置100a，在吸附光增感色素后，与光增感色素的吸附同样，使冲洗液循环进行1分钟的冲洗时，能够获得与浸渍在静止的乙醇中15分钟进行冲洗时同样的特性，能够获得比浸渍在静止的乙醇中1分钟进行冲洗时更好的特性。因此，能够在短时间内有效地进行光增感色素的冲洗。
[表2]
  冲洗条件   Jsc[mA/cm2]   Voc[mV]   F.F   效率（%）
  EtOH浸渍(15分钟)   12.4   660   0.696   5.7
  EtOH浸渍(1分钟)   11.2   670   0.706   5.3
  1-①（1分钟）   11.8   685   0.705   5.7
如以上说明所述，根据本发明的实施方式，能够提供可实现色素增感型太阳电池的生产工序的高速化和低成本化，并且提高包括该色素吸附过程在内的系统中制造的色素增感型太阳电池的光电转换效率的色素增感型太阳电池的制造装置和制造方法。另外，本发明当然不限定与上述实施方式和实施例，可以进行各种变形。
工业上的可利用性
本发明的色素增感型太阳电池的制造装置和色素增感型太阳电池的制造方法能够在色素增感型太阳电池的制造领域等中利用。因此，具备工业上的可利用性。
符号说明
1：基板；2：基板收纳部；3：压力计；4：温度计；10：循环线路；11：罐；12：泵；13：流量计；14、15：手动阀；16：针型阀；17：旁路；18、19：手动阀；20：调温室；21：温度计；31：逆流阀。

Claims (19)

1.一种色素增感型太阳电池的制造装置，使光增感色素溶液与作为色素增感型太阳电池的工作电极发挥作用的电极材料层接触，以吸附光增感色素，该色素增感型太阳电池的制造装置的特征在于，包括：
收纳在表面形成有所述电极材料层的基板的密闭容器状的基板收纳部；和
使所述光增感色素溶液以通过收纳于所述基板收纳部的所述基板的表面的方式进行循环的循环机构，
所述基板收纳部中的与所述基板相对的部分的所述光增感色素溶液的流路的截面积小于其他部分的所述光增感色素溶液的流路的截面积。
2.如权利要求1所述的色素增感型太阳电池的制造装置，其特征在于：
在所述基板收纳部的与所述基板相对的部位，设置有向所述光增感色素溶液的流路内突出的装拆自如的突出部，通过更换该突出部，能够改变所述基板收纳部中的与所述基板相对的部分的所述光增感色素溶液的流路的截面积。
3.如权利要求1或2所述的色素增感型太阳电池的制造装置，其特征在于：
所述基板收纳部中配置有多个所述基板。
4.如权利要求1～3中任一项所述的色素增感型太阳电池的制造装置，其特征在于：
具有使所述光增感色素溶液的流动反转的反转机构。
5.如权利要求1～4中任一项所述的色素增感型太阳电池的制造装置，其特征在于：
具有控制所述光增感色素溶液的温度的温度控制机构。
6.如权利要求1～5中任一项所述的色素增感型太阳电池的制造装置，其特征在于：
具有控制所述光增感色素溶液的流量的流量控制机构。
7.如权利要求1～6中任一项所述的色素增感型太阳电池的制造装置，其特征在于：
具有检测所述光增感色素溶液的浓度的浓度测定器。
8.如权利要求1～7中任一项所述的色素增感型太阳电池的制造装置，其特征在于：
具有贮存用于冲洗所述光增感色素的冲洗液的冲洗液罐，能够与所述光增感色素溶液切换，使所述冲洗液在所述基板收纳部中循环。
9.如权利要求8所述的色素增感型太阳电池的制造装置，其特征在于：
具有控制所述冲洗液的温度的温度控制机构。
10.如权利要求8或9所述的色素增感型太阳电池的制造装置，其特征在于：
具有控制所述冲洗液的流量的流量控制机构。
11.一种色素增感型太阳电池的制造方法，使光增感色素溶液与作为色素增感型太阳电池的工作电极发挥作用的电极材料层接触以吸附光增感色素，该色素增感型太阳电池的制造方法的特征在于：
将在表面形成有所述电极材料层的基板收纳在密闭容器状的基板收纳部内，
并且，使所述光增感色素溶液循环通过收纳在所述基板收纳部的所述基板的表面与相对于该表面的所述基板收纳部的相对面之间所形成的狭路。
12.如权利要求11所述的色素增感型太阳电池的制造方法，其特征在于：
以所述基板的表面与所述基板收纳部的相对面之间的间隔为5mm以下的方式形成所述狭路。
13.如权利要求11所述的色素增感型太阳电池的制造方法，其特征在于：
以所述基板的表面与所述基板收纳部的相对面之间的间隔为1mm以下的方式形成所述狭路。
14.如权利要求11～13中任一项所述的色素增感型太阳电池的制造方法，其特征在于：
所述电极材料层为金属氧化物半导体多孔层。
15.如权利要求11～14中任一项所述的色素增感型太阳电池的制造方法，其特征在于：
所述光增感色素是Ru金属络合物类增感型色素或有机色素类增感型色素。
16.如权利要求11～15中任一项所述的色素增感型太阳电池的制造方法，其特征在于：
所述光增感色素溶液中的所述光增感色素的浓度处于0.1mM～1mM的范围。
17.如权利要求11～16中任一项所述的色素增感型太阳电池的制造方法，其特征在于：
在所述基板收纳部中配置多个所述基板。
18.如权利要求11～17中任一项所述的色素增感型太阳电池的制造方法，其特征在于：
使所述光增感色素溶液的流动反转。
19.如权利要求11～18中任一项所述的色素增感型太阳电池的制造方法，其特征在于：
在吸附所述光增感色素后，不将所述基板从所述基板收纳部取出，而继续进行冲洗处理。
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WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

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