TWI429477B - A gas treatment device, a gas treatment system using the apparatus, and a gas treatment method - Google Patents

A gas treatment device, a gas treatment system using the apparatus, and a gas treatment method Download PDF

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Description

氣體處理裝置、使用該裝置之氣體處理系統以及氣體處理方法
本發明係關於，用來對工業程序等排出之對人體有害的氣體及破壞臭氧層氣體等進行熱分解處理之裝置及其方法。
在製造、處理物體之工業程序會使用各種不同的氣體。因此，從工業程序排出之氣體(以下稱「處理對象氣體」)的種類非常多元，按照處理對象氣體的種類而使用各種的氣體處理方法及氣體處理裝置。
例如，以半導體製造程序為例，是使用矽甲烷(SiH4 )、氯氣、PFCs(全氟化合物)等各種的氣體。由於這些氣體會對人體和地球環境產生不良影響，必須用某個手段來予以分解或除去，有種種的處理方法已達實用化。其代表例包括：吸附式、濕式、電熱氧化分解式、火焰燃燒式等等，但分別有長處和問題點。
其中的火焰燃燒式，雖然處理對象氣體之適用範圍廣(亦即可分解處理之處理對象氣體的種類多)且能進行大風量處理，但運轉時的安全性令人擔心。其理由在於，火焰燃燒式基本上是使用燃燒器來進行燃燒，並在其燃燒氣氛中導入排氣以進行熱分解，而在因某些原因造成火焰消滅(熄火)時，可能會發生不安全的事態。
另一方面，使用電熱加熱器之電熱氧化分解式，係半 導體製造程序之排氣處理方法中現在最普及的分解處理方法，在處理對象氣體之分解處理時，容易控制處理過程，而能安全地將處理對象氣體進行分解處理。然而，在電熱氧化分解式所使用之電熱加熱器，雖清淨度高，但存在著不適於大風量處理的問題。
於是，關於可彌補兩者的缺點並將處理對象氣體高效率且安全地分解處理之技術，專利文獻1揭示出，作為加熱分解的熱源是併用電熱加熱器及烴系燃料(含有H2 及CO)之技術。
依據該技術，由於使用電熱加熱器作為處理對象氣體加熱分解用的熱源，同時作為烴系燃料的著火源，比起習知的燃燒器能形成更穩定的火焰。又由於使用火焰及電熱加熱器雙方來作為熱源，故能對廣範種類的處理對象氣體進行熱分解，且進行大風量處理。再者，可將能源單價較高的電力的一部分用便宜的烴系燃料來取代。
[專利文獻1]日本特開平11-333247號公報
如上述般，藉由併用火焰燃燒式和電熱氧化分解式(混合熱源化)，能以比習知處理方法低的能源成本來達成充分的高溫狀態。
然而，隨著近年來世界上能源需求的增大，能源成本不斷上昇。又企業的社會責任受到重視，製造業在安全方面的對應成為極重要的課題。因此，氣體處理裝置之使用 者，對氣體處理裝置要求更進一步的處理效率提昇(以及附隨之省能源化)和更進一步的安全對策。
因此，本發明之主要課題係提供出，除能將各種不同種類的處理對象氣體確實熱分解以外，且處理效率極高又安全性非常優異之氣體處理裝置，以及使用該氣體處理裝置之氣體處理系統和氣體處理方法。
申請專利範圍第1項所記載的發明之氣體處理裝置(10)，其特徵在於：「係具備：在內部形成有氣體處理空間(S)之本體(16a)的壁面之互相接近的位置穿設氣體導入口(16b)和氣體排出口(16c)之反應器(16)；一端以圍繞氣體導入口(16b)的方式安裝於本體(16a)的內部壁面，另一端配置於接近本體(16a)之與氣體導入口(16b)相對向的壁面的位置，藉此配設成橫穿氣體處理空間(S)之電熱式的筒狀加熱器(18)；用來對筒狀加熱器(18)的內部空間供應由燃料及空氣所混合成的燃料氣體(F)之燃料氣體供應裝置(20)」。
在本發明，若將筒狀加熱器(18)保持於燃料氣體(F)之燃點以上的溫度，其內部空間全體成為燃料氣體(F)之著火範圍。因此，若對保持於該溫度之筒狀加熱器(18)從燃料氣體供應裝置(20)供應燃料氣體(F)，例如即使燃料氣體(F)中的燃料和空氣的比例發生變動的情形，仍能使該燃料氣體(F)確實地燃燒，不致發生熄火而能持續形成穩定的火焰(B)。又如此般加大燃料氣體(F)的著火範圍，變成能以低空氣比燃燒， 而能實現省能源及NOx伴生量之減少。
特別值得注意的是，在反應器(16)之本體(16a)的壁面之互相接近的位置穿設：用來對反應器(16)內導入處理對象氣體(E)之氣體導入口(16b)、用來將在反應器(16)內加熱分解後的排氣(G)排出之氣體排出口(16c)；又以圍繞氣體導入口(16b)的方式將筒狀加熱器(18)安裝於本體(16a)的內部壁面，將該筒狀加熱器(18)的另一端配置於接近本體(16a)之與氣體導入口(16b)相對向的壁面的位置，藉此將筒狀加熱器(18)以橫穿氣體處理空間(S)的方式配設於反應器(16)內。
藉此，從氣體導入口(16b)導入反應器(16)內之處理對象氣體(E)會先流過筒狀加熱器(18)的內部空間。這時，藉由燃燒燃料氣體(F)所形成的火焰(B)和筒狀加熱器(18)所給予的電熱會將處理對象氣體(E)的大部分熱分解成排氣(G)。
接著，通過筒狀加熱器(18)的內部空間而從筒狀加熱器(18)的前端(另一端)移動至氣體處理空間(S)內之氣流，亦即由未分解的處理對象氣體(E)、排氣(G)及火焰(B)所構成之高溫氣流，會邊進行未分解的處理對象氣體(E)之熱分解(換言之，在維持高溫的狀態下)，邊以包圍筒狀加熱器(18)外周的方式朝氣體排出口(16c)移動。因此，該高溫氣流可發揮彷彿圍繞筒狀加熱器(18)的外周之隔熱材的功能，而將損失熱量 (從筒狀加熱器(18)的外周面朝氣體處理空間(S)放射，無助於處理對象氣體(E)的熱分解等)極小化，以將筒狀加熱器(18)所產生的電熱幾乎全部都使用於燃料氣體(F)的著火和處理對象氣體(E)之分解。又可獲得和縮小反應器(16)的熱容量同樣的效果。
申請專利範圍第2項所記載的發明，係在申請專利範圍第1項所記載之氣體處理裝置(10)中，其特徵在於：「燃料氣體供應裝置(20)係具備：用來對筒狀加熱器(18)的內部空間供應燃料氣體(F)之燃料氣體送給配管(20a)；在燃料氣體送給配管(20a)的前端安裝：使燃料氣體(F)以沿筒狀加熱器(18)的內面呈螺旋狀旋繞的方式噴入之燃料氣體噴射嘴(36)」；藉此，能將燃料氣體(F)沿著在筒狀加熱器(18)的內部空間中溫度最高的筒狀加熱器(18)內壁面供應，而確實地進行燃料氣體(F)之著火(燃燒)，又在燃燒燃料氣體(F)來形成火焰(B)時，能使該火焰(B)和處理對象氣體(E)以非常高的機率接觸。結果，能用火焰(B)高效率地進行處理對象氣體(E)之熱分解。
申請專利範圍第3項所記載的發明，係在申請專利範圍第1或2項所記載之氣體處理裝置(10)中，其特徵在於：「具備用來測定反應器(16)內的溫度之溫度感測器(32)(38)，根據溫度感測器(32)(38)所測定的溫度資料來控制對筒狀加熱器(18)供應的電力或燃料氣體(F)量之至少任一方」；藉此，不致使用多餘的能源即 可將反應器(16)內的溫度控制為一定。
申請專利範圍第4項所記載的發明，係在申請專利範圍第1或2項所記載之氣體處理裝置(10)中，其特徵在於：「具備：用來測定筒狀加熱器(18)的表面溫度之表面溫度感測器(32)、根據表面溫度感測器(32)所測定的溫度資料來控制對筒狀加熱器(18)供應的電力之電力控制手段(34)」。
在本發明，是用表面溫度感測器(32)來檢測筒狀加熱器(18)之表面溫度，根據其溫度資料，電力控制手段(34)會對供應給筒狀加熱器(18)之電力量進行增減，而以筒狀加熱器(18)表面的溫度成為既定值的方式控制筒狀加熱器(18)的輸出。
因此，例如，只要設定電力控制手段(34)而使筒狀加熱器(18)的表面溫度成為燃料氣體(F)的燃點以上的既定溫度，不須使用多餘的電力能源，即可使筒狀加熱器(18)的表面全體(甚至是筒狀加熱器(18)的內部空間全體)持續位於燃料氣體(F)的著火範圍。又當燃料氣體(F)著火而形成火焰(B)，該火焰(B)所造成之筒狀加熱器(18)的表面溫度大幅超過電力控制手段(34)所設定之既定溫度時，可自動且迅速地減低或停止朝筒狀加熱器(18)之電力供應。因此可進行精密的溫度控制，且能節省高能源單價之電力的使用量，而有利於降低能源成本。
申請專利範圍第5項所記載的發明，係在申請專利範 圍第1或2項所記載之氣體處理裝置(10)中，其特徵在於：「具備：用來測定筒狀加熱器(18)的內部空間溫度之空間溫度感測器(38)、根據空間溫度感測器(38)所測定的溫度資料來控制對筒狀加熱器(18)的內部空間供應的燃料氣體(F)量之燃料氣體控制手段(40)」。
在本發明，是用空間溫度感測器(38)來檢測筒狀加熱器(18)之內部空間的溫度，根據其溫度資料，燃料氣體控制手段(40)會對供應給筒狀加熱器(18)的內部空間之燃料氣體(F)量進行增減，而以筒狀加熱器(18)內部空間的溫度成為既定值的方式控制火焰(B)量。
因此，例如只要設定燃料氣體控制手段(40)，而使筒狀加熱器(18)的內部空間溫度成為可分解CF4 等的難分解性氣體但熱NOx的伴生量不致急劇增加的溫度(例如1300~1400℃左右)，當火焰(B)的熱所造成之筒狀加熱器(18)的內部空間溫度大幅超過燃料氣體控制手段(40)所設定之既定溫度時，可自動且迅速地減低或停止朝筒狀加熱器(18)之燃料氣體(F)供應。因此，可將急劇上昇之筒狀加熱器(18)的內部空間的溫度迅速降低，結果能抑制熱NOx的伴生。
申請專利範圍第6項所記載的發明，係在申請專利範圍第5項所記載之氣體處理裝置(10)中，其特徵在於：「燃料氣體控制手段(40)，在控制燃料氣體(F)量時，係以混合於燃料之空氣量成為大致理論空氣量的方式進行調節」。藉由具備如此般的燃料氣體控制手段 (40)，伴隨燃料氣體(F)中的空氣量變動所產生之各種弊害，例如在空氣量顯著減少時因燃料氣體(F)之不完全燃燒而發生煙灰，在空氣量增大時會伴生NOx等問題，能夠加以防止。
在此之「理論空氣量」是指，為了將所供應的燃料中所有的C、H、S分別轉變成CO2 、H2 O、SO2 所須的空氣量，在算出該空氣量時，把空氣當作N2 =79%、O2 =21%之混合物。
申請專利範圍第7項所記載的發明，係在申請專利範圍第1至6項中任一項所記載之氣體處理裝置(10)中，其特徵在於：「設置熱交換器(26)，以在導入氣體處理裝置(10)之處理對象氣體(E)和在氣體處理裝置(10)進行熱分解處理後之排氣(G)之間進行熱交換」；藉此，能同時實行處理對象氣體(E)之預熱和排氣(G)的冷卻。
申請專利範圍第8項所記載的發明，係在申請專利範圍第1至7項中任一項所記載之氣體處理裝置(10)中，其特徵在於：「在筒狀加熱器(18)之處理對象氣體導入側，以在其和筒狀加熱器(18)的內周面之間形成間隙(O)的方式配設內筒構件(50)，且對筒狀加熱器(18)和內筒構件(50)之間所形成的間隙(O)供應燃料氣體(F)」；藉此，能使燃料氣體(F)確實接觸筒狀加熱器(18)的內壁面，結果能更確實地進行燃料氣體(F)之著火。
申請專利範圍第9項所記載的發明，係在申請專利範圍第1至8項中任一項所記載之氣體處理裝置(10)中，其特徵在於：「安裝用來冷卻燃料氣體送給配管(20a)的前端部分之冷卻裝置(52)」。
當本發明的氣體處理裝置(10)連續運轉時，火焰(B)及筒狀加熱器(18)之高熱會傳送到燃料氣體送給配管(20a)，而使燃料氣體(F)在燃料氣體送給配管(20a)的前端部發生著火。如此一來，依所使用之燃料氣體(F)種類，在燃料氣體送給配管(20a)的前端部可能附著碳等的異物，最糟的情形會將該前端部堵塞。
於是，在本發明，由於安裝用來冷卻燃料氣體送給配管(20a)的前端部分之冷卻裝置(52)，即使氣體處理裝置(10)連續運轉的情形，仍能防止燃料氣體(F)在燃料氣體送給配管(20a)的前端部發生著火，結果，可防止燃料氣體送給配管(20a)的前端部被異物堵塞。
申請專利範圍第10項所記載的發明，係在申請專利範圍第1至9項中任一項所記載之氣體處理裝置(10)中，其特徵在於：「設置用來對反應器(16)內供應水分(W)之水分供應手段(54)」。
在本發明，從水分供應手段(54)供應至反應器(16)內之水分(W)，成為用來分解處理對象氣體(E)所含之難分解性的除害對象物(例如ClF3 、CF4 等)之氫源，而能將該難分解性的除害對象物予以高效率地分解。
申請專利範圍第11項所記載的發明之處理系統(X)，其特徵在於：「係具備：申請專利範圍第1至10項中任一項所記載之氣體處理裝置(10)、濕式的入口洗滌器(12)或濕式的出口洗滌器(14)之至少任一方；該入口洗滌器(12)係用來對導入氣體處理裝置(10)之處理對象氣體(E)進行液體清洗，該出口洗滌器(14)係用來將在氣體處理裝置(10)熱分解處理後之排氣(G)進行液體清洗」。
在本發明，是在上述各發明之氣體處理裝置(10)配設入口洗滌器(12)或出口洗滌器(14)之至少一方來構成氣體處理系統(X)，例如在配設入口洗滌器(12)(將導入氣體處理裝置(10)之處理對象氣體(E)事先進行液體清洗以除去粉塵和水溶性成分)的情形，可防止處理對象氣體流通路之堵塞等，而能更穩定地進行氣體處理裝置(10)之連續運轉。
另一方面，在配設出口洗滌器(14)(將在氣體處理裝置(10)熱分解處理後之排氣(G)進行液體清洗以除去粉塵和水溶性成分)的情形，可提昇熱分解後的排氣(G)之清淨度。
又在配置入口洗滌器(12)及出口洗滌器(14)雙方的情形，可發揮兩洗滌器(12)(14)之設置效果。
申請專利範圍第12項所記載之發明，係使用申請專利範圍第1至10項中任一項所記載的氣體處理裝置(10)之氣體處理方法，其特徵在於：「在筒狀加熱器 (18)之內部空間，作為燃料氣體(F)係導入在燃料中混合大致理論空氣量的空氣而構成者」。
在本發明，作為燃料氣體(F)，由於是使用在燃料中混合大致理論空氣量的空氣而構成者，在空氣量顯著減少時因燃料氣體(F)之不完全燃燒而發生煙灰，或在空氣量增大時伴生NOx等問題，都能加以防止。
申請專利範圍第13項所記載之發明，係使用申請專利範圍第10項所記載的氣體處理裝置(10)之氣體處理方法，其特徵在於：「在筒狀加熱器(18)之內部空間，作為燃料氣體(F)係導入在燃料中混合大致理論空氣量的空氣而構成者，並在反應器(16)內，添加為了分解處理對象氣體(E)中的除害對象物所須量的水分(W)」。
在本發明，作為燃料氣體(F)，由於是使用在燃料中混合大致理論空氣量的空氣而構成者，在空氣量顯著減少時因燃料氣體(F)之不完全燃燒而發生煙灰，或在空氣量增大時伴生NOx等問題，都能加以防止。
又在反應器(16)內添加為了分解處理對象氣體(E)中的除害對象物所須量的水分(W)，該水分(W)成為氫源，可抑制NOx之伴生，並能有效分解ClF3 、CF4 等難分解性的除害對象物。
依據本發明，藉由以圍繞氣體導入口的方式來安裝筒狀加熱器，可加大燃料氣體之著火範圍，結果，能使燃料氣體確實燃燒而持續形成穩定的火焰。亦即，不會熄火而 具備優異的安全性。
再者，從筒狀加熱器的前端移動至氣體處理空間內之高溫的氣流，是以包圍筒狀加熱器外周的方式朝氣體排出口移動，因此筒狀加熱器產生之電熱幾乎全部都能使用於燃料氣體的著火和處理對象氣體之熱分解。
另外，由於能使火焰和筒狀加熱器的熱量高效率地作用於處理對象氣體，故能排除能源的浪費，且能使裝置(特別是反應器)緊緻，又能縮小反應器的熱容量，因此能在短時間內完成裝置的啟動或停止。
再者，由於燃料氣體是使用在燃料中混合大致理論空氣量的空氣而構成者，可防止燃料氣體中的空氣量變動所造成之各種弊害，又藉由在反應器內添加為了分解處理對象氣體(E)中的除害對象物所須量的水分，可抑制NOx之伴生，並能有效分解ClF3 、CF4 等難分解性的除害對象物。
因此可提供出：除能將各種不同種類的處理對象氣體確實熱分解以外，且處理效率極高又安全性非常優異之氣體處理裝置，以及使用該氣體處理裝置之氣體處理系統和氣體處理方法。
第1圖係使用本發明的氣體處理裝置(10)之氣體處理系統(X)的一實施例(第1實施例)之概略圖。如該圖所示，本實施例之氣體處理系統(X)，大致是由氣體 處理裝置(10)、入口洗滌器(12)及出口洗滌器(14)所構成。
氣體處理裝置(10)，係將工業程序排出的處理對象氣體(E)併用火焰燃燒及電熱氧化分解的方式來進行熱分解的裝置，大致是由反應器(16)、筒狀加熱器(18)及燃料氣體供應裝置(20)所構成。
反應器(16)係具有密閉圓筒狀的本體(16a)，該本體之至少內面是由可鑄耐火材(Castable)等的耐火性材料構成，且在內部形成有氣體處理空間(S)(參照第2圖及第3圖)。該反應器(16)，如第1圖所示，在使用時，是豎設成本體(16a)的平面部分位於上下。
在本體(16a)的底面，穿設有用來對反應器(16)內導入處理對象氣體(E)之氣體導入口(16b)；在本體(16a)底面之接近氣體導入口(16b)的位置，穿設有氣體排出口(16c)，以排出在本體(16a)內(亦即反應器(16)內)將處理對象氣體(E)熱分解的結果所產生之排氣(G)。
在氣體導入口(16b)，連接著和處理對象氣體(E)的排出源連通之氣體導入配管(22)；在氣體排出口(16c)，連接著用來將來自反應器(16)內的排氣(G)排出之氣體排出配管(24)。
在氣體導入配管(22)和氣體排出配管(24)之間，以橫跨其等的方式安裝有熱交換器(26)，用來在導入氣體處理裝置(10)之處理對象氣體(E)和在氣體處理裝 置(10)熱分解處理後之排氣(G)之間進行熱交換。
筒狀加熱器(18)，係將SiC等的發熱體成形為筒狀(本實施例為圓筒狀)之電熱式加熱器，其構成用來加熱反應器(16)內部的氣體處理空間(S)之熱源，且構成讓後述燃料氣體供應裝置(20)所供應的燃料氣體(F)著火之著火源。在本實施例雖是顯示將筒狀加熱器(18)形成為圓筒狀的情形，但該筒狀加熱器(18)的形狀，只要是兩端開口的筒狀即可，例如也可以是方筒狀等等。
構成該筒狀加熱器(18)之發熱體，只要是能輸出至少甲烷、乙烷、丙烷等燃料的燃點(例如，燃料是甲烷的情形為650℃左右)以上的溫度即可，除上述SiC以外，例如也可以使用：在赫史特合金(Hastelloy，海恩斯公司登記商標)、或不鏽鋼等的金屬製、或陶瓷製的雙層管的管壁間，配設將鎳鉻耐熱合金線或坎氏合金(Kanthal，山特維克AB公司登記商標)線等的金屬線捲繞成螺旋狀而構成之發熱阻抗體，且在該雙層管的管壁間充填陶瓷粉未等而成者。
該筒狀加熱器(18)，其一端是以圍繞氣體導入口(16b)的方式安裝於反應器(16)本體(16a)的內部壁面，另一端配置於接近本體(16a)的頂面的位置。亦即，配設成橫穿反應器(16)的氣體處理空間(S)。在該筒狀加熱器(18)，係經由引線(28)來和電源裝置(30)連接。
在本實施例之氣體處理裝置(10)安裝著：用來測定 設於反應器(16)內部之筒狀加熱器(18)的表面溫度之熱電偶等構成之表面溫度感測器(32)，該表面溫度感測器(32)所測定之溫度資料，係送往由定序器等構成之電力控制手段(32)(用來控制電源裝置(30)的輸出)。因此，根據表面溫度感測器(32)所測定之溫度資料，來控制對筒狀加熱器(18)供應的電力量。
燃料氣體供應裝置(20)，係用來對筒狀加熱器(18)的內部空間供應燃料氣體(F)(將甲烷、乙烷、丙烷等燃料和空氣以既定比例混合而成)，其具備：前端連通於排氣導入口(16b)附近的筒狀加熱器(18)內部空間之燃料氣體供應配管(20a)、用來對該燃料氣體供應配管(20a)泵送空氣之空氣供應泵(20b)、用來貯藏甲烷或丙烷等燃料之燃料貯槽(20c)、用來連接燃料貯槽(20c)和燃料氣體送給配管(20a)之燃料配管(20d)、以及設於燃料配管(20d)上且用來調整供應給燃料氣體送給配管(20a)的燃料量之燃料供應量調整閥(20e)等等。
在此，在本實施例之燃料氣體供應裝置(20)，在燃料氣體供應配管(20a)的前端安裝著：使燃料氣體(F)以沿筒狀加熱器(18)的內面呈螺旋狀旋繞的方式噴入之燃料氣體噴射嘴(36)(參照第2圖及第3圖)。藉由設置如此般的燃料氣體噴射嘴(36)，能將燃料氣體(F)沿著在筒狀加熱器(18)的內部空間中溫度最高的筒狀加熱器(18)內壁面供應，而確實地進行燃料氣體(F)之 著火(燃燒)，又在燃燒燃料氣體(F)來形成火焰(B)時，能使該火焰(B)和處理對象氣體(E)以非常高的機率接觸。
在本實施例之氣體處理裝置(10)安裝著：用來測定設於反應器(16)內部之筒狀加熱器(18)的內部空間溫度之熱電偶等構成之空間溫度感測器(38)，該空間溫度感測器(38)所測定之溫度資料，係送往由定序器等構成之燃料氣體控制手段(40)(用來控制空氣供應泵(20b)的輸出和燃料供應量調整閥(20e)的開度)。因此，根據空間溫度感測器(38)所測定之溫度資料，來控制對筒狀加熱器(18)供應的燃料氣體(F)量。
再者，在本實施例之燃料氣體供應手段(40)，在控制燃料氣體(F)量時，係將混合於燃料中的空氣量調節成大致理論空氣量。因此，伴隨燃料氣體(F)中的空氣量變動所產生之各種弊害，例如在空氣量顯著減少時因燃料氣體(F)之不完全燃燒而發生煙灰，在空氣量增大時會伴生NOx等問題，能夠加以防止。
在上述例子中，作為燃料，雖是顯示將貯藏於燃料貯槽(20c)之物供應給燃料氣體送給配管(20a)的情形，但也能使用天然氣等。又，由燃料和空氣混合成之燃料氣體(F)，只要是在著火時能使燃料氣化者即可，就形成該燃料氣體(F)之燃料而言，除上述甲烷、丙烷等的氣體燃料以外，例如也可以使用輕油、重油或煤油等的液體燃料等。
就燃料氣體控制手段(40)而言，雖是顯示用來控制空氣供應閥(20b)的輸出及燃料供應量調整閥(20e)的開度者，但也可以採用：在燃料氣體送給配管(20a)之與燃料配管(20d)的合流部分之上游側設置用來調節混入燃料氣體(F)的空氣量之質量流量控制器(未圖示)，且在燃料配管(20d)也設置用來調節混入燃料氣體(F)的燃料量之質量流量控制器(未圖示)，燃料氣體控制手段(40)係控制該等質量流量控制器，以調節供應至筒狀加熱器(18)之燃料氣體(F)的流量和燃料氣體(F)的空燃比。亦即，燃料氣體控制手段(40)，只要是能控制供應給筒狀加熱器(18)之燃料氣體(F)的流量和燃料氣體(F)的空燃比者即可，其態樣並沒有特別的限定。
入口洗滌器(12)，係用來除去(液體清洗)被導入氣體處理裝置(10)之處理對象氣體(E)所含之粉塵和水溶性成分，係具備：直管型的洗滌器本體(12a)、設於前述洗滌器本體(12a)內部的頂部附近且用來將藥液(水等)以噴霧狀撒布之噴霧嘴(12b)。該入口洗滌器(12)，係經由排氣導管(42)而連通於半導體製造裝置等的處理對象氣體發生源(未圖示)。
入口洗滌器(12)，係豎設於藥液槽(44)上(參照第1圖)，或和藥液槽(44)分開配設且經由配管來連接(未圖示)，以將排液送往藥液槽(44)。在噴霧嘴(12b)和藥液槽(44)之間設置循環泵(46)，以將藥 液槽(44)內的貯留藥液汲送至噴霧嘴(12b)。
出口洗滌器(14)，係用來最終除去(液體清洗)處理對象氣體(E)在氣體處理裝置(10)熱分解時所伴生之排氣(G)中的粉塵和水溶性成分，並將該排氣(G)予以冷卻，其具備：直管型的洗滌器本體(14a)、在該洗滌器本體(14a)內沿垂直方向隔著間隔設置之複數個(本實施例有4段)穿孔板(14b)、安裝於最上部的穿孔板(14b)的正上部之噴霧嘴(14c)(以和排氣(G)的流通方向相對向的方式，將來自上方的水等藥液向下噴)。
該出口洗滌器(14)，係豎設於用來貯留水等的藥液之藥液槽(44)上(參照第1圖)，或和藥液槽(44)分開配設且經由配管來連接(未圖示)，以將從噴霧嘴(14c)噴出的藥液送往藥液槽(44)。又在噴霧嘴(14c)中，不是供應藥液槽(44)內的循環藥液，而是供應新水等的新藥液。
在出口洗滌器(14)的頂部出口，連接著用來將處理完畢的排氣(G)排放至大氣中之排氣風扇(48)。
藥液槽(44)如上述般，係貯留著供應給入口洗滌器(12)之藥液，又將從入口洗滌器(12)及出口洗滌器(14)排出之藥液予以回收。在該藥液槽(44)，由於持續有從出口洗滌器(14)之噴霧嘴(14c)噴出之新藥液流入，為了避免貯留既定量以上的藥液，係讓剩餘藥液溢流而送往排水處理裝置(未圖示)。
又，本實施例之氣體處理系統(X)中之除氣體處理裝置(10)以外的部分，為了避免受處理對象氣體(E)所含(或該氣體(E)分解所產生)之氫氟酸等的腐蝕性成分之腐蝕，係用聚氯乙烯、聚乙烯、不飽和聚酯樹脂及氟樹脂等實施耐蝕性的襯層或塗布。
接著，針對以上所構成之氣體處理系統(X)及氣體處理裝置(10)的作用，參照第4圖所示之氣體處理裝置(10)的動作圖來作說明。
首先，將排氣處理裝置(10)的運轉開關(未圖示)接通使筒狀加熱器(18)動作，而開始進行反應器(16)內的加熱。
接著，當筒狀加熱器(18)的表面溫度成為燃料的燃點(T1)以上的溫度時，令燃料氣體供應裝置(20)作動，對筒狀加熱器(18)的內部空間供應燃料氣體(F)。如此一來，供應至燃料氣體(F)的內部空間之燃料氣體(F)馬上會著火，而形成火焰(B)(參照第2圖)。如此般形成火焰(B)時，筒狀加熱器(18)的表面及內部空間的溫度會急速上昇。因此，相較於僅使用加熱器作為熱源的情形，到達處理對象氣體(E)的分解溫度的時間(亦即裝置的啟動時間)可縮短。具體而言，在具有同樣的處理氣體分解能力之氣體處理裝置，在僅使用電熱加熱器作為熱源的情形，裝置的啟動須花費2~3小時左右，而本實施例之氣體處理裝置(10)只要20分鐘左右就能完成啟動。
接著，藉由筒狀加熱器(18)及火焰(B)的熱量，當反應器(16)的內部空間的溫度(在本實施例為筒狀加熱器(18)的表面及內部空間的溫度)成為處理對象氣體(E)的熱分解溫度(T2)以上時，令排氣風扇(48)作動，而開始朝氣體處理系統(X)導入處理對象氣體(E)。如此一來，處理對象氣體(E)首先會導入入口洗滌器(12)，在該入口洗滌器(12)內，用水等的藥液進行洗淨以除去粉塵和水溶性成分等。
又在本實施例，在開始導入處理對象氣體(E)的同時，將燃料氣體(F)的量縮減至火焰(B)不會消失的程度，然後維持該一定量進行供應，且用供應給筒狀加熱器(18)的電力量來控制反應器(16)內的溫度(參照第4圖)；但也能利用燃料氣體(F)量和電力量雙方來進行反應器(16)內的溫度控制。
在入口洗滌器(12)進行藥液清洗後之處理對象氣體(E)，是通過氣體導入配管(22)及氣體導出口(16b)而導入筒狀加熱器(18)的內部空間，藉由該加熱器(18)的電熱和火焰(B)的熱量而將其大部分熱分解成排氣(G)。
接著，通過筒狀加熱器(18)的內部空間，從筒狀加熱器(18)的前端移動至氣體處理空間(S)內之氣流，亦即由未分解的處理對象氣體(E)、排氣(G)及火焰(B)所構成之高溫氣流，會邊進行未分解的處理對象氣體(E)之熱分解，邊以包圍筒狀加熱器(18)外周的方 式朝氣體排出口(16c)移動，再通過氣體排出配管(24)而導入出口洗滌器(14)。
接著，導入出口洗滌器(14)之排氣(G)，被水等的藥液洗淨而將粉塵和水溶性成分等除去並冷卻後，經由排氣風扇(48)排放至系統外(大氣中)。
依據本實施例之氣體處理裝置(10)，若將筒狀加熱器(18)保持於燃料氣體(F)的燃點以上的溫度，其內部空間全體都會成為燃料氣體(F)的著火範圍。因此，若從燃料氣體供應裝置(20)對保持於該溫度之筒狀加熱器(18)供應燃料氣體(F)，例如即使燃料氣體(F)中的燃料和空氣的比例發生變動時，仍能使該燃料氣體(F)確實地燃燒，不致造成熄火而能持續形成穩定的火焰(B)。又，如此般將燃料氣體(F)的著火範圍加大，變成能以低空氣比燃燒，而實現省能源及NOx伴生量之減少。
又，在反應器(16)之本體(16a)的壁面之互相接近的位置穿設氣體導入口(16b)和氣體排出口(16c)，且以圍繞氣體導入口(16b)的方式將筒狀加熱器(18)的一端安裝於本體(16a)的內部壁面，又將該筒狀加熱器(18)的另一端配置於接近本體(16a)之與氣體導入口(16b)相對向的壁面的位置，藉此將筒狀加熱器(18)以橫穿氣體處理空間(S)的方式配設於反應器(16)內，因此通過筒狀加熱器(18)的內部空間之高溫氣流，會以包圍筒狀加熱器(18)外周的方式朝氣體排出 口(16c)移動。因此，該高溫氣流可發揮彷彿圍繞筒狀加熱器(18)的外周之隔熱材的功能，而將損失熱量(從筒狀加熱器(18)的外周面朝氣體處理空間(S)放射，無助於處理對象氣體(E)的熱分解等)極小化，以將筒狀加熱器(18)所產生的電熱幾乎全部都使用於燃料氣體(F)的著火和處理對象氣體(E)之分解。又可獲得和縮小反應器(16)的熱容量同樣的效果。
再者，由於具備：用來測定筒狀加熱器(18)的表面溫度之表面溫度感測器(32)、根據表面溫度感測器(32)所測定的溫度資料來控制對筒狀加熱器(18)供應的電力之電力控制手段(34)；例如，只要設定電力控制手段(34)而使筒狀加熱器(18)的表面溫度成為燃料氣體(F)的燃點以上的既定溫度，不須使用多餘的電力能源，即可使筒狀加熱器(18)的內部空間全體持續成為燃料氣體(F)的著火範圍。又當燃料氣體(F)著火而形成火焰(B)，該火焰(B)所造成之筒狀加熱器(18)的表面溫度大幅超過電力控制手段(34)所設定之既定溫度時，可自動且迅速地減低或停止朝筒狀加熱器(18)之電力供應。因此可進行精密的溫度控制，且有利於降低能源成本。
再者，由於具備：用來測定筒狀加熱器(18)的內部空間溫度之空間溫度感測器(38)、根據空間溫度感測器(38)所測定的溫度資料來控制對筒狀加熱器(18)的內部空間供應的燃料氣體(F)量之燃料氣體控制手段 (40)；例如只要設定燃料氣體控制手段(40)，而使筒狀加熱器(18)的內部空間溫度成為可分解CF4 等的難分解性氣體但熱NOx的伴生量不致急劇增加的溫度(例如1300~1400℃左右)，當火焰(B)的熱所造成之筒狀加熱器(18)的內部空間溫度大幅超過燃料氣體控制手段(40)所設定之既定溫度時，可自動且迅速地減低或停止朝筒狀加熱器(18)之燃料氣體(F)供應。因此，可將急劇上昇之筒狀加熱器(18)的內部空間的溫度迅速降低，結果能抑制熱NOx的伴生。
再者，由於設置：在導入氣體處理裝置(10)之處理對象氣體(E)和在氣體處理裝置(10)進行熱分解處理後之排氣(G)之間進行熱交換之熱交換器(26)，故能同時實行處理對象氣體(E)之預熱和排氣(G)的冷卻。
另外，依據本實施例之氣體處理系統(X)，由於具備：用來對導入氣體處理裝置(10)之處理對象氣體(E)進行液體清洗之入口洗滌器(12)、用來將在氣體處理裝置(10)熱分解處理後之排氣(G)進行液體清洗之出口洗滌器(14)；故可防止處理對象氣體流通路之堵塞等，能更穩定地進行氣體處理裝置(10)之連續運轉，且能提昇熱分解後的排氣(G)之清淨度。
又，在上述實施例，雖是顯示在反應器(16)本體(16a)的底面設置氣體導入口(16b)及氣體排出口(16c)的情I形，但氣體導入口(16b)及氣體排出口(16c)只要設置在本體(16a)的壁面上之互相接近的位 置即可，並不限於上述位置，例如像第5圖所示，也能將氣體導入口(16b)及氣體排出口(16c)設置於頂面，或雖未圖示，但也能以包圍氣體導入口(16b)的方式設置複數個氣體排出口(16c)。
此外，關於燃料氣體(F)對筒狀加熱器(18)內部空間之供應，係將燃料氣體送給配管(20a)的前端連通於排氣導入口(16b)附近之筒狀加熱器(18)內部空間，亦即，雖是顯示對筒狀加熱器(18)的內部空間直接供應燃料氣體(F)的情形，但只要是能對筒狀加熱器(18)的內部空間確實地供應燃料氣體(F)即可，燃料氣體(F)的供應位置並不限於此，例如也能像第6圖所示，在氣體導入配管(22)連接燃料氣體送給配管(20a)，而對氣體導入配管(22)供應燃料氣體(F)。
又在上述實施例所顯示的情形，雖是根據表面溫度感測器(32)所測定的溫度資料來控制對筒狀加熱器(18)供應的電力量，並根據空間溫度感測器(38)所測定的溫度資料來控制對筒狀加熱器(18)的內部空間供應的燃料氣體(F)量；但也能僅根據表面溫度感測器(32)或空間溫度感測器(38)任一方所測定的溫度資料來控制對筒狀加熱器(18)供應的電力量和燃料氣體(F)量雙方，或將控制對象設定為對筒狀加熱器(18)供應的電力量或燃料氣體(F)量之任一方。亦即，只要控制成不消耗多餘的能源而能使反應器(16)內的溫度成為一定即可。
再者，如第2圖及第3圖所示，雖是顯示反應器 (16)由圓筒狀物構成的情形，但反應器(16)只要是在內部可形成氣體處理空間(S)即可，其形狀不拘，例如可形成未圖示之方筒狀或半球圓頂狀等等。
在上述氣體處理系統(X)，雖是顯示具備入口洗滌器(12)和出口洗滌器(14)雙方的情形，但按照處理對象氣體(E)之種類等，也可以僅具備入口洗滌器(12)或出口洗滌器(14)之任一方。
接著說明，第7圖及第8圖所示之第2實施例的氣體處理裝置(10)。其和上述第1實施例之不同點在於，在筒狀加熱器(18)之處理對象氣體導入側部分配置內筒構件(50)，且在燃料氣體供應配管(20a)的前端部分安裝冷卻裝置(52)。除此以外的部分是和第1實施例相同，因此援用前述第1實施例的說明來代替本實施例的說明。
內筒構件(50)，例如使用赫史特合金(Hastelloy，海恩斯公司登記商標)、不鏽鋼等的金屬製、或陶瓷等的耐熱材料所形成之筒狀構件(本實施例為圓筒狀)，在筒狀加熱器(18)之處理對象氣體導入側的部分，以和筒狀加熱器(18)內周面之間(取決於筒狀加熱器(18)的內徑)形成數mm～數cm左右的間隙(O)的方式進行配設。又本實施例雖是顯示將內筒構件(50)形成圓筒狀的情形，但例如也能形成方筒狀等等。
冷卻裝置(52)，係使用冷卻水或冷卻氣體等的冷媒，來將燃料氣體送給配管(20a)的前端部分(燃料氣 體噴出側的部分)冷卻至未達燃料氣體(F)的燃點的溫度。
如此般，在筒狀加熱器(18)之處理對象氣體導入側的部分，以和筒狀加熱器(18)內周面之間形成間隙(O)的方式配設內筒構件(50)，並朝該間隙(O)供應燃料氣體(F)，藉此能使燃料氣體(F)和筒狀加熱器(18)之內壁面形成確實的接觸，結果能更加確實地進行燃料氣體(F)之著火。
又，當本實施例之氣體處理裝置(10)連續運轉時，火焰(B)及筒狀加熱器(18)之高熱會傳送到燃料氣體送給配管(20a)，而使燃料氣體(F)在燃料氣體送給配管(20a)的前端部發生著火。如此一來，依所使用之燃料氣體(F)種類，在燃料氣體送給配管(20a)的前端部可能附著碳等的異物，最糟的情形會將該前端部堵塞。
於是，在本實施例的氣體處理裝置(10)，由於安裝用來冷卻燃料氣體送給配管(20a)的前端部分之冷卻裝置(52)，即使氣體處理裝置(10)連續運轉的情形，仍能防止燃料氣體(F)在燃料氣體送給配管(20a)的前端部發生著火，結果，可防止燃料氣體送給配管(20a)的前端部被異物堵塞。
又在上述第2實施例，難是顯示同時設置內筒構件(50)和冷卻裝置(52)的情形，但依燃料氣體(F)和處理對象氣體(E)之種類等的不同，也可以僅使用其等當中的任一方。
此外，所例示的情形，雖是將冷卻裝置(52)安裝於燃料氣體送給配管(20a)的前端部分，以使燃料氣體送給配管(20a)的前端部分(燃料氣體噴出側的部分)成為未達燃料氣體(F)燃點的溫度；但也能取代該冷卻裝置(52)或和該冷卻裝置(52)一起而設置另外的冷卻裝置(未圖示)，該冷卻裝置是用來冷卻燃料氣體(F)而使從燃料氣體送給配管(20a)的前端部噴出時的燃料氣體(F)本身溫度成為未達燃點。在使用如此般的冷卻裝置時，也和上述實施例同樣的，可防止在燃料氣體送給配管(20a)的前端部發生燃料氣體(F)之著火。
接著說明第9圖所示之第3實施例的氣體處理裝置(10)。和上述第1實施例的氣體處理裝置(10)之不同點在於，是設置用來對反應器(16)內供應水分之水分供應手段(54)。除此以外的部分是和第1實施例相同，因此援用前述第1實施例的說明來代替本實施例的說明。
水分供應手段(54)，係用來將水或水蒸氣等的水分(W)供應至反應器(16)內，其大致是由水分供應配管(54a)及流量控制裝置(54b)所構成。
水分供應配管(54a)，其一端連接於自來水或貯水槽等的水源，另一端連接於反應器(16)內。在本實施例是安裝成，將該水分供應配管(54a)的另一端側之前端部在反應器(16)內連通於燃料氣體送給配管(20a)。如此般進行水分供應配管(54a)之安裝，假使發生在燃料氣體送給配管(20a)的燃料氣體(F)噴出側端部附著 碳(煙灰)等異物的情形，仍能將該等異物用水分供應手段(54)所供應的水分(W)來除去。
流量控制裝置(54b)，係用來調整經由水分供應配管(54a)供應至反應器(16)內之水分(W)量，例如包括質量流量控制器等等。對該流量控制裝置(54b)，透過配線來發送處理對象氣體(E)所含的除害對象物之流量訊號，流量控制裝置(54b)根據該流量訊號，將為了分解處理對象氣體(E)中的除害對象物所須量的水分(W)供應至反應器(16)內。
在此，「為了分解處理對象氣體(E)中的除害對象物所須量」是指，所添加的水分全量都是用於分解除害對象物。例如，在除害對象物為難分解性的ClF3 或CF4 的情形，分解所須的水分(W)量，可根據以下的化學式(1)、(2)來算出。
如上述般，依據本實施例之氣體處理裝置(10)，從水分供應手段(54)供應至反應器(16)內之水分(W)，成為用來分解處理對象氣體(E)所含之難分解性的除害對象物(例如ClF3 、CF4 等)之氫源，而能將該 難分解性的除害對象物予以高效率地分解。
再者，只要在反應器(16)內添加為了分解處理對象氣體(E)中的除害對象物所須量的水分(W)，即可抑制NOx之伴生，並將ClF3 、CF4 等難分解性的除害對象物予以高效率地分解。
又在上述第3實施例，雖是顯示未設置內筒構件(50)和冷卻裝置(52)的情形，但也能像第2實施例那樣設置內筒構件(50)和冷卻裝置(52)。
本發明的氣體處理裝置(10)及氣體處理系統(X)，除能將各種不同種類的處理對象氣體(E)確實熱分解以外，且處理效率極高又安全性非常優異，不僅適用於半導體製造程序所排出的處理對象氣體(E)之熱分解處理，同時能利用於化學廠之排氣處理及各式各樣的製造業之揮發性有機化合物(VOC)的分解處理等等。亦即，適用於所有工業程序所排出之處理對象氣體(E)之分解處理。
10‧‧‧氣體處理裝置
12‧‧‧入口洗滌器
14‧‧‧出口洗滌器
16‧‧‧反應器
16a‧‧‧(反應器的)本體
16b‧‧‧氣體導入口
16c‧‧‧氣體排出口
18‧‧‧筒狀加熱器
20‧‧‧燃料氣體供應裝置
22‧‧‧氣體導入配管
24‧‧‧氣體排出配管
26‧‧‧熱交換器
30‧‧‧電源裝置
32‧‧‧表面溫度感測器
34‧‧‧電力控制手段
36‧‧‧燃料氣體噴射嘴
38‧‧‧空間溫度感測器
40‧‧‧燃料氣體控制手段
48‧‧‧排氣風扇
50‧‧‧內筒構件
52‧‧‧冷卻裝置
54‧‧‧水分供應手段
B‧‧‧火焰
E‧‧‧處理對象氣體
F‧‧‧燃料氣體
G‧‧‧排氣
O‧‧‧間隙
S‧‧‧氣體處理空間
X‧‧‧氣體處理系統
W‧‧‧水分
第1圖係本發明的一實施例之氣體處理系統之概略圖。
第2圖係本發明的一實施例之氣體處理裝置之概略圖。
第3圖係第2圖之A-A截面圖。
第4圖係顯示本發明的一實施例之氣體處理裝置的動 作(燃料氣體供應量一定的情形)之動作圖。
第5圖係本發明的另一實施例(在頂面穿設有氣體導入口和氣體排出口)之氣體處理裝置之概略圖。
第6圖係本發明的另一實施例(將燃料氣體供應裝置連接於氣體導入配管)之氣體處理裝置之概略圖。
第7圖係本發明的另一實施例(設置內筒構件及冷卻裝置)之氣體處理裝置之概略圖。
第8圖係第7圖之A-A截面圖。
第9圖係本發明的另一實施例(設置水分供應手段)之氣體處理裝置之概略圖。
16‧‧‧反應器
16a‧‧‧(反應器的)本體
16b‧‧‧氣體導入口
16c‧‧‧氣體排出口
18‧‧‧筒狀加熱器
20‧‧‧燃料氣體供應裝置
20a‧‧‧燃料氣體送給配管
20b‧‧‧空氣供應泵
20c‧‧‧燃料貯槽
20d‧‧‧燃料配管
20e‧‧‧燃料供應量調整閥
22‧‧‧氣體導入配管
24‧‧‧氣體排出配管
26‧‧‧熱交換器
28‧‧‧引線
30‧‧‧電源裝置
32‧‧‧表面溫度感測器
34‧‧‧電力控制手段
36‧‧‧燃料氣體噴射嘴
38‧‧‧空間溫度感測器
40‧‧‧燃料氣體控制手段
B‧‧‧火焰
E‧‧‧處理對象氣體
F‧‧‧燃料氣體
G‧‧‧排氣
S‧‧‧氣體處理空間

Claims (13)

  1. 一種氣體處理裝置，其特徵在於：係具備：在內部形成有氣體處理空間之本體的壁面之互相接近的位置穿設氣體導入口和氣體排出口之反應器；一端以圍繞前述氣體導入口的方式安裝於前述本體的內部壁面，另一端配置於接近本體之與前述氣體導入口相對向的壁面的位置，藉此配設成橫穿前述氣體處理空間之電熱式的筒狀加熱器；以及用來對前述筒狀加熱器的內部空間供應由燃料及空氣所混合成的燃料氣體之燃料氣體供應裝置。
  2. 如申請專利範圍第1項所記載之氣體處理裝置，其中，前述燃料氣體供應裝置係具備：用來對前述筒狀加熱器的內部空間供應燃料氣體之燃料氣體送給配管；並在前述燃料氣體送給配管的前端安裝：使前述燃料氣體以沿前述筒狀加熱器的內面呈螺旋狀旋繞的方式噴入之燃料氣體噴射嘴。
  3. 如申請專利範圍第1或2項所記載之氣體處理裝置，其中，係具備用來測定前述反應器內的溫度之溫度感測器，根據前述溫度感測器所測定的溫度資料來控制對前述筒狀加熱器供應的電力或燃料氣體量之至少任一方。
  4. 如申請專利範圍第1或2項所記載之氣體處理裝置，其中，係具備：用來測定前述筒狀加熱器的表面溫度之表面溫度感測器、根據前述表面溫度感測器所測定的溫度資料來控制對前述筒狀加熱器供應的電力之電力控制手 段。
  5. 如申請專利範圍第1或2項所記載之氣體處理裝置，其中，係具備：用來測定前述筒狀加熱器的內部空間溫度之空間溫度感測器、根據前述空間溫度感測器所測定的溫度資料來控制對前述筒狀加熱器的內部空間供應的燃料氣體量之燃料氣體控制手段。
  6. 如申請專利範圍第5項所記載之氣體處理裝置，其中，前述燃料氣體控制手段在控制燃料氣體量時，係以混合於燃料之空氣量成為大致理論空氣量的方式進行調節。
  7. 如申請專利範圍第1或2項所記載之氣體處理裝置，其中，係設置熱交換器，以在導入前述氣體處理裝置之處理對象氣體和在前述氣體處理裝置進行熱分解處理後之排氣之間進行熱交換。
  8. 如申請專利範圍第1或2項所記載之氣體處理裝置，其中，在前述筒狀加熱器之處理對象氣體導入側，以在其和前述筒狀加熱器的內周面之間形成間隙的方式配設內筒構件，且對前述筒狀加熱器和前述內筒構件之間所形成的間隙供應前述燃料氣體。
  9. 如申請專利範圍第1或2項所記載之氣體處理裝置，其中，係安裝用來冷卻前述燃料氣體送給配管的前端部分之冷卻裝置。
  10. 如申請專利範圍第1或2項所記載之氣體處理裝置，其中，係設置用來對前述反應器內供應水分之水分供應手段。
  11. 一種氣體處理系統，其特徵在於：係具備：申請專利範圍第1至10項中任一項所記載之氣體處理裝置、濕式的入口洗滌器或濕式的出口洗滌器之至少任一方；前述入口洗滌器係用來對導入前述氣體處理裝置之處理對象氣體進行液體清洗，前述出口洗滌器係用來將在前述氣體處理裝置熱分解處理後之排氣進行液體清洗。
  12. 一種氣體處理方法，係使用申請專利範圍第1至10項中任一項所記載之氣體處理裝置之氣體處理方法，其特徵在於：在前述筒狀加熱器之內部空間，作為前述燃料氣體係導入在燃料中混合大致理論空氣量的空氣而構成者。
  13. 一種氣體處理方法，係使用申請專利範圍第10項所記載之氣體處理裝置之氣體處理方法，其特徵在於：在前述筒狀加熱器之內部空間，作為前述燃料氣體係導入在燃料中混合大致理論空氣量的空氣而構成者；並在前述反應器內，添加為了分解處理對象氣體中的除害對象物所須量的水分。
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