TWI414615B - 光學鍍膜裝置 - Google Patents

Description

光學鍍膜裝置

本發明涉及一種用於鍍膜之光學鍍膜裝置。

目前，光學薄膜廣泛應用於光學儀器，如感測器、半導體雷射、干涉儀、眼鏡以及光纖通訊元件等很多領域。光學薄膜通常係通過干涉作用而達到其預期效果，即於光學元件或獨立基板上鍍上一層或多層之介電質膜或金屬膜來改變光波傳輸特性。

目前，光學薄膜製作通常以物理蒸鍍法為主，該方法為將薄膜材料由固態轉化為氣態或離子態，氣態或離子態材料由蒸發源穿越空間，抵達基板表面，材料抵達基板表面後，將沉積而逐漸形成薄膜。通常，為了製作高純度薄膜，鍍膜制程須於高真空環境下完成。由此延伸出真空鍍膜，一般做法為將基片以超音波洗淨機洗淨，洗淨後排上夾具，送入鍍膜機，進行加熱及抽真空。達到高真空後，開始鍍膜。鍍膜時，以電子槍或電阻式加熱，將薄膜材料變成離子態，鍍膜時間則視層數及程式不同而有長短。鍍膜完畢後，待溫度冷卻後取出。

先前光學鍍膜設備中，通常會使用如圖1中之傘狀結構基板承載架2來承載基板3，所述基板承載架2利用螺絲固定於轉軸4上。每次鍍膜完成後，均需將基板承載架2及基板3從轉軸4上拆下，進行清洗。鍍膜時，再將基板3裝於所述基板承載架2上，並通過螺絲將所述基板承載架2 固定於所述轉軸4上。

然而每次將述基板承載架2通過螺絲固定於所述轉軸4上，均不會與上次位置完全一樣，會有一定誤差，這種誤差往往造成鍍膜時，所述基板承載架2與蒸發源5之相對幾何位置出現偏差，從而產生鍍膜不良率上升之問題。

有鑒於此，有必要提供一種可以進行調整之光學鍍膜裝置。

一種光學鍍膜裝置，所述光學鍍膜裝置包括轉動軸及複數個基板，所述複數個基板一端與所述轉動軸鉸接，所述複數個基板以轉動軸為中心呈傘狀分佈，所述光學鍍膜裝置還包括一個連接於所述轉動軸與基板之間之傾角調整裝置，所述傾角調整裝置包括角度調整件、第一轉動件及第二轉動件，所述第一轉動件及所述第二轉動件相鉸接，所述角度調整件通過改變所述第一轉動件及所述第二轉動件之間角度，改變所述複數個基板相對所述轉動軸之傾斜角度。

本發明所提供之光學鍍膜裝置，可以通過調整傾角調整裝置來調整所述基板相對所述轉動軸之傾斜角度，從而校正每次固定時基板相對蒸發源之偏差，以此提高鍍膜之良率。

下面將結合附圖對本發明實施方式作進一步之詳細描述。

請參閱圖2、圖3及圖4，本發明第一實施方式提供了一種光學鍍膜裝置10。該光學鍍膜裝置10包括轉動軸100、複數個基板200、第一連接件310、第二連接件320及傾角調整裝置330。

所述轉動軸100用於轉動所述複數個基板200。所述每個基板200大體為扇形，所述每個基板200具有複數個用於容置鏡片之通孔210a。所述每個基板200設有一小端211，所述小端211與所述轉動軸100鉸接，並且所述每個基板200以轉動軸100為中心呈傘狀分佈。

所述傾角調整裝置330通過第一連接件310及第二連接件320連接於所述轉動軸100與基板200之間，所述傾角調整裝置330用於調整所述每個基板200相對於所述轉動軸100之傾斜角度。從而調整基板200上各點相對蒸發源9之相對位置。本實施方式中，所述傾角調整裝置330包括角度調整件331、第一轉動件332及第二轉動件333。所述角度調整件331用於改變所述第一轉動件332及所述第二轉動件333之間之角度。所述傾角調整裝置330採用精密刻度式角度規。所述角度調整件331為微調旋鈕，所述第一轉動件332及第二轉動件333呈杆狀。所述第一轉動件332兩端為第一鉸接部332a及第一固連部332b，所述第二轉動件333兩端為第二鉸接部333a及第二固連部333b，所述第一鉸接部332a與所述第二鉸接部333a相鉸接。

所述第一連接件310可以係杆狀或板狀。本實施方式 中，採用杆狀。所述第一連接件310兩端為第一連接部311及第二連接部312，所述第一連接部311與所述轉動軸100相鉸接，所述第二連接部312與所述第一轉動件332之第一固連部332b採用固定連接方式，本實施方式中，所述第二連接部312與所述第一固連部332b之間採用緊配合方式連接。所述第一連接件310之軸線與所述第一轉動件332之軸線相平行。所述第二連接件320可以係杆狀或板狀。本實施方式中，採用杆狀。所述第二連接件320兩端為第三連接部321及第四連接部322，所述第四連接部322與所述基板200相鉸接，所述第三連接部321與所述第二轉動件333之第二固連部333b採用固定連接方式，本實施方式中，所述第三連接部321與所述第二固連部333b之間採用緊配合方式連接。所述第二連接件320之軸線與所述第二轉動件333之軸線相平行。

通過轉動所述角度調整件331，改變所述第一轉動件332及第二轉動件333之間夾角B，可同時改變所述第一連接件310及第二連接件320之間夾角，帶動所述基板200相對所述轉動軸100轉動，完成所述每個基板200相對所述轉動軸100之傾斜角度調整。

請參閱圖5，本發明第二實施方式提供了一種光學鍍膜裝置20。其與第一實施方式提供之光學鍍膜裝置10基本相同。其不同之處在於，所述基板500及轉動軸400通過傾角調整裝置630相鉸接。角度調整件631用於改變第一轉動件632及所述第二轉動件633之間角度A。所述第一轉 動件632之第一固連部632b與每個基板500之小端511採用固定連接方式，本實施方式中，採用緊配合方式進行連接。所述第一轉動件632之第一鉸接部632a與所述第二轉動件633之第二鉸接部633a相鉸接。所述第二轉動件633之第二固定部633b與轉動軸400採用固定連接方式，本實施方式中，採用緊配合方式進行連接。

第一連接件610兩端為第一連接部611及第二連接部612，所述第一連接部611與所述轉動軸400相鉸接。第二連接件620兩端為第三連接部621及第四連接部622，所述第三連接部621與所述第二連接部612鉸接，所述第四連接部622與所述基板500相鉸接。

通過轉動所述角度調整件631直接改變所述複數個基板500相對所述轉動軸400之夾角A之調整。從而改變每個基板500相對所述轉動軸400之傾斜角度調整。

請參閱圖6，本發明第三實施方式提供了一種光學鍍膜裝置30。其與第二實施方式提供之光學鍍膜裝置20基本相同。其不同之處在於，本實施方式提供之光學鍍膜裝置30不具有第一連接件及第二連接件。傾角調整裝置900包括角度調整件931、第一轉動件932及第二轉動件933。所述角度調整件931用於改變第一轉動件932及所述第二轉動件933之間角度A。所述第一轉動件932第一固連部932b與每個基板800之小端811採用固定連接方式。所述第一轉動件932之第一鉸接部932a與所述第二轉動件933之第二鉸接部933a相鉸接。所述第二轉動件933之第二固定部 933b與轉軸700採用固定連接方式。所述傾角調整裝置900採用精密刻度式角度規。

本發明所提供之光學鍍膜裝置，可以通過調整傾角調整裝置來調整所述基板相對所述轉動軸之傾斜角度，從而校正每次固定時基板相對蒸發源之偏差，以此提高鍍膜良率。

綜上所述，本發明確已符合發明專利之要件，遂依法提出專利申請。惟，以上所述者僅為本發明之較佳實施方式，自不能以此限制本案之申請專利範圍。舉凡熟悉本案技藝之人士援依本發明之精神所作之等效修飾或變化，皆應涵蓋於以下申請專利範圍內。

基板承載架‧‧‧2

基板‧‧‧3

轉軸‧‧‧4

蒸發源‧‧‧5、9

光學鍍膜裝置‧‧‧10

轉動軸‧‧‧100、400、700

基板‧‧‧200、500、800

通孔‧‧‧210a

小端‧‧‧211、511、811

第一連接件‧‧‧310、610

第一連接部‧‧‧311、611

第二連接部‧‧‧312、612

第二連接件‧‧‧320、620

第三連接部‧‧‧321、621

第四連接部‧‧‧322、622

傾角調整裝置‧‧‧330、630、900

角度調整件‧‧‧331、631、931

第一轉動件‧‧‧332、632、932

第一鉸接部‧‧‧332a、632a、932a

第一固連部‧‧‧332b、632b、932b

第二轉動件‧‧‧333、633、933

第二鉸接部‧‧‧333a、633a、933a

第二固連部‧‧‧333b、633b、933b

圖1為先前技術提供之光學鍍膜裝置及蒸發源示意圖；圖2為本發明第一實施方式提供之光學鍍膜裝置及蒸發源示意圖；圖3為本發明第一實施方式提供之傾角調整裝置示意圖；圖4為沿圖2中III-III線所得剖示圖；圖5為本發明第二實施方式提供之光學鍍膜裝置剖示圖；圖6為本發明第三實施方式提供之光學鍍膜裝置剖示圖；

光學鍍膜裝置‧‧‧10

轉動軸‧‧‧100

基板‧‧‧200

通孔‧‧‧210a

小端‧‧‧211

第一連接件‧‧‧310

第一連接部‧‧‧311

第二連接部‧‧‧312

第二連接件‧‧‧320

第三連接部‧‧‧321

第四連接部‧‧‧322

傾角調整裝置‧‧‧330

角度調整件‧‧‧331

第一轉動件‧‧‧332

第一鉸接部‧‧‧332a

第一固連部‧‧‧332b

第二轉動件‧‧‧333

第二鉸接部‧‧‧333a

第二固連部‧‧‧333b

Claims (9)

1. 一種光學鍍膜裝置，所述光學鍍膜裝置包括轉動軸及複數個基板，其改進在於，所述複數個基板一端與所述轉動軸鉸接，所述複數個基板以轉動軸為中心呈傘狀分佈，所述光學鍍膜裝置還包括一個連接於所述轉動軸與基板之間之傾角調整裝置，所述傾角調整裝置包括角度調整件、第一轉動件及第二轉動件，所述第一轉動件及所述第二轉動件相鉸接，所述角度調整件通過改變所述第一轉動件及所述第二轉動件之間角度，改變所述複數個基板相對所述轉動軸之傾斜角度。
2. 如申請專利範圍第1項所述之光學鍍膜裝置，其中，所述光學鍍膜裝置包括第一連接件及第二連接件，所述第一連接件連接於所述轉動軸與所述第一轉動件之間，所述第二連接件連接於所述第二轉動件與所述基板之間。
3. 如申請專利範圍第2項所述之光學鍍膜裝置，其中，所述第一連接件呈杆狀，所述第二連接件呈杆狀。
4. 如申請專利範圍第2項所述之光學鍍膜裝置，其中，所述第一連接件呈板狀，所述第二連接件呈板狀。
5. 如申請專利範圍第1項所述之光學鍍膜裝置，其中，所述光學鍍膜裝置包括第一連接件及第二連接件，所述兩個轉動件分別與所述轉動軸及所述基板相連接，所述第一連接件鉸接於所述轉動軸與所述第二連接件之間，所述第二連接件鉸接於所述第一連接件與所述基板之間。
6. 如申請專利範圍第5項所述之光學鍍膜裝置，其中，所 述第一連接件呈杆狀，所述第二連接件呈杆狀。
7. 如申請專利範圍第5項所述之光學鍍膜裝置，其中，所述第一連接件呈板狀，所述第二連接件呈板狀。
8. 如申請專利範圍第1項所述之光學鍍膜裝置，其中，所述兩個轉動件分別與所述轉動軸及所述基板相連接。
9. 如申請專利範圍第1項所述之光學鍍膜裝置，其中，傾角調整裝置為角度規。