TWI380888B - 直線溝槽加工方法及直線溝槽加工裝置 - Google Patents

Description

直線溝槽加工方法及直線溝槽加工裝置

本發明涉及進行直線溝槽加工之加工裝置，特別涉及用以對長距離之直線溝槽進行銜接加工之加工裝置。

在使繞射光柵或液晶顯示裝置之導光板成形之模具中，需對其進行高達幾百~幾萬條直線溝槽之加工。在實施對如此大量之直線溝槽進行加工之加工時，為縮短加工時間，需使用具有高速進給軸之加工機。此外，由於在繞射光柵或導光板用之模具中，即便係非常微小之加工誤差也不被容許，因而在高速驅動時，也需進行不產生振動，滑順之直線移動。作為如此實現高速及高精度加工之進給機構，已知組合空氣軸承與線性馬達之結構。

在日本專利文獻特開2007-130712號公報中公開了一種往復運動裝置，其在引導構件與滑塊構件之間構成軸承，在引導構件與滑塊構件之間具有產生推力之機構，在滑塊構件之直線移動軸行程之兩端，配置反向用永久磁石於滑塊構件與引導構件之間，俾在滑塊構件與引導構件之間沿軸向產生斥力。該專利文獻公開了一種往復運動裝置之技術，其藉由此結構，當滑塊構件之移動方向反轉時，能減小直線驅動裝置所需之力。

此外，國際公開號為W097/04940之專利文獻中公開了以下技術：在製造如棱柱模具般之精密零件時，藉由製造複數相同之加工品，並排配置此等者，即可作為大型加工品處置之。

在製造如液晶顯示裝置之導光板般，面積更大之導光板時，需準備面積更大之模具。然而，在使用工具機對工作件進行直線溝槽之加工時，基本上無法對超過載置工具或工作件之直線軸之直線進給行程量長度之直線溝槽進行切削加工。

雖然如上述國際公開號為W097/04940之專利文獻中所示，在製造如棱柱模具般之精密零件時，藉由製造複數相同之加工品， 並排配置此等者，就能夠將此等者作為大型加工品來處置，但在進行微米級之微細間距溝槽之加工時，要令溝槽之間距完全無誤地銜接加工品彼此非常困難。此外，畢竟當其係微細溝槽之加工品時，大多在精度上根本不能容許經分割之工作件並排時所產生，銜接點即使很小但存在之情況本身。

在此，本發明之目的在於提供一種用於對長距離之直線溝槽進行銜接加工之加工方法及加工裝置，不需分割工作件，或自加工機上將其拆卸。

為達成上述目的，依本發明對複數條長的直線溝槽進行加工之直線溝槽加工方法可藉由安裝於沿直線導軌往復運動之滑塊之工具，對固定於平台之工作件進行加工，其特徵在於由下列步驟構成：第1步驟，於該滑塊向前移動時該工具切入該工作件，以進行直線溝槽之加工；第2步驟，於該滑塊進行返回移動時該工具自該工作件退避以進行返回移動；第3步驟，在該工具自該工作件退避，該滑塊轉移至下一向前移動之步驟期間內，該平台或該直線導軌沿著與該直線溝槽之延伸方向直交之方向移動；第4步驟，在重複進行該第1至第3步驟，進行該直線溝槽之加工後，令該平台沿該直線溝槽方向移動既定距離；及第5步驟，重複進行該第1至第3步驟，進行直線溝槽之加工，俾銜接該第4步驟前已進行加工之該直線溝槽。

該第5步驟可包含下列者：令該平台移動，俾修正該直線溝槽間距方向之銜接點誤差。

該第1步驟內該工具之刀尖動作軌跡亦可為曲線形狀狀。

且為達成上述目的，依本發明直線溝槽加工裝置可包含由安裝有工具之滑塊與引導該滑塊之直線導軌所構成之往復運動裝 置，該滑塊沿直線導軌往復運動，藉由該工具對固定於平台之工作件進行直線溝槽之加工，其特徵在於包含：工具切入驅動機構，令該工具沿著與該滑塊之往復運動方向直交之方向進行切入驅動；第1驅動機構，令該平台沿第1方向移動；第2驅動機構，令該平台沿著與該第1方向直交之第2方向移動；及第3驅動機構，令該往復運動裝置沿著與該第1方向及第2方向直交之方向移動。

且對該往復運動裝置與該平台進行定位，俾該滑塊之往復運動方向與該第1方向方向相同，藉由組合該滑塊之往復運動與該平台該第1方向之移動，對該工作件進行較該工具或該平台之行程長之直線溝槽之加工。

亦可藉由令該平台沿該第2方向移動，對因該往復運動裝置相對於該第1方向之安裝誤差而產生之該直線溝槽間距方向之銜接點誤差進行修正。

於對該工作件進行溝槽加工時該工具之刀尖動作軌跡亦可為曲線形狀。

該直線溝槽加工裝置可為該直線導軌以空氣軸承承載該滑塊之線性馬達構造。

本發明藉由具有以上之結構，能提供一種加工裝置，不必分割工作件，或將其自加工機上拆卸，並可對較載置工作件之平台行程及往復運動裝置行程長的直線溝槽進行銜接加工。

圖1A及圖1B係本發明一實施形態加工裝置之概略結構圖。

直線溝槽加工裝置20包含：床身21；立柱(column)22，自該床身21垂直豎立；床頭23，設置在該立柱22上部並能上下動； 往復運動裝置24，安裝在該床頭23上；平台4，在上述床身21上以可沿直交之兩個水平方向(X軸方向、Y軸方向)移動之方式受到支持，藉由夾具等將工作件W固定在板面上；及複數進給軸驅動馬達(省略圖示)，分別沿上下方向(Z軸方向)與水平方向(X-Y軸兩個方向)驅動床頭23。

藉由如此結構，滑塊1便能以直線導軌2沿X軸方向重複進行單純的往復運動。此外，平台4藉由兩組進給機構，能沿著在水平面內互相直交之X-Y軸兩軸方向移動。

此外，藉由控制X軸、Y軸及Z軸各進給軸，且控制往復運動裝置24之控制裝置30控制直線溝槽加工裝置20。如圖2所示，控制裝置30包含處理器(CPU)、ROM、RAM及附有顯示裝置之手動輸入裝置(顯示裝置/MDI單元)等，根據加工程式控制直線溝槽加工裝置20，對工作件W進行直線溝槽之加工。往復運動裝置24包含滑塊1與直線導軌2，工具3則安裝在滑塊1上。

使用圖3說明關於滑塊1與直線導軌2之簡要結構。

滑塊1以可沿直線導軌2之軸向移動之方式由該直線導軌2承載。該軸承使用空氣軸承之結構。此外，在滑塊1之推力產生機構中使用線性馬達。在滑塊1中配置線圈27，在直線導軌2上配置鐵心29及驅動用永久磁石28。此等線圈27、鐵心29與驅動用永久磁石28構成線性馬達。線圈27配置在滑塊1上，俾在滑塊1之中心部與直線導軌2之對向面對向。此外，在對應滑塊1相對於直線導軌2進行往復運動之行程兩端部之直線導軌2之位置上配置驅動用永久磁石28，在此等驅動用永久磁石28與驅動用永久磁石28之間配置有鐵心29。如圖4A及圖4B所示，在滑塊1上固定著板簧25，在該板簧25上則安裝有對工作件W進行溝槽加工之工具3。

令電流流經安裝在滑塊1上之線圈27，驅動線性馬達，使滑塊1朝直線導軌2之一方向移動。然後，當滑塊1往復運動到行程終點時，變更流經線圈27之電流方向，使滑塊1之移動方向反 轉。由於在滑塊1之行程端配置構成線性馬達之驅動用永久磁石28，所以不會發生推力波動(ripple)或齒槽效應(cogging)之現象，直線移動之精度很高，能進行高精度之直線溝槽加工。

圖4A與圖4B係本發明之加工機所具有之往復運動裝置24之工具切入機構之顯示圖。如上所述，板簧25固定在滑塊1上，在該板簧25上安裝有對工作件W進行溝槽加工之工具3。而且，在板簧25與滑塊1之間安裝有壓電元件26，俾板簧25伸縮。

當對該壓電元件26施加電壓時，壓電元件26自圖4A之狀態因應其電壓大小如圖4B所示伸長，推壓板簧25而使工具3朝切入方向(Z軸方向)移動，導致切入工作件W，藉由滑塊1之移動對工作件W進行加工。以控制機構(未圖示)驅動該壓電元件26並使其伸縮，藉此隔著板簧25使工具3進出，改變對工作件W進行溝槽加工之切入量。亦即，壓電元件26構成調整工具3之切入量之機構。

工具3安裝在板簧25上，不直接安裝在壓電元件26上，所以施加在工具3上之力不會直接傳遞到壓電元件26上。因此，藉由板簧25可保護相對於伸縮方向對壓縮方向以外之外力脆弱之壓電元件26。

如上所述，藉由改變流經設置在滑塊1上之線圈27中電流之方向，能使滑塊1往復運動。而且，在該滑塊1往復運動之際，藉由驅動控制壓電元件26之控制機構，於滑塊1向前移動時令既定電流流入壓電元件26中而使其伸長，以對工具3賦予既定量之切入量，切入工作件W，進行切削加工。而且，於返回移動時使壓電元件26縮小，使工具3退避到不干擾工作件W之位置以恢復之。

以工具3切入工作件W之切入量可藉由控制對壓電元件26施加之電壓大小調整。因此，藉由控制施加在壓電元件26上之電壓，能如圖10中所示，進行具有既定曲率之切入溝槽加工。

說明關於可使用以上所說明之直線溝槽加工裝置20，對工作件W進行加工，以形成較平台4X軸方向之行程及安裝在往復運 動裝置24之滑塊1上的工具3之行程長之直線溝槽之方法。

首先，使用圖5說明直線溝槽加工裝置20之軸結構(參照圖1)。如圖5所示，直線溝槽加工裝置20具有能令平台4沿著X軸及Y軸之2軸方向移動，並令滑塊1沿著Z軸方向移動之機構。圖5中，工作件W載置於平台4，俾其長邊方向與平台4之X軸方向平行。此外，往復運動裝置24之直線導軌2也配置成其軸長邊方向與平台4之X軸平行。另外，平台4亦可為能夠旋轉之結構，在滑塊1之驅動方向不與X軸方向平行時，旋轉驅動平台4，俾平台4與滑塊1互相平行。

由於滑塊1能沿著直線導軌2之軸長邊方向移動，所以平台4之X軸方向與往復運動裝置24之滑塊1之移動方向相同。Y軸與X軸直交。此外，Z軸與X軸及Y軸直交。另外，Y軸方向之移動也可不移動平台4，而代之以沿著Y軸方向移動往復運動裝置24。此外，圖5之平台4描繪成圓形之構件，但平台4並不限定係圓形之構件。

接著，說明對載置於平台4之工作件W進行直線溝槽之加工。圖6係藉由安裝在滑塊上之工具對工作件進行加工之說明圖。如圖6所示，以R表示工作件W之右端，以L表示其左端。由直線導軌2承載之滑塊1沿著直線導軌2往復運動。工具3與滑塊1沿著直線導軌2之往復運動同步，沿著動作軌跡tr1→tr2→tr3→tr4所示之軌跡移動。關於工具3之動作，如使用圖3及圖4先前所述。

處於動作軌跡tr3(向前移動)中之工具3能對工作件W實行直線溝槽加工。形成於工作件W之直線溝槽之延伸方向與滑塊1之驅動方向相同。而且，如圖5中所說明，由於平台4之X軸方向與往復運動裝置24之滑塊1之移動方向相同，所以加工在工作件W上的直線溝槽之延伸方向與X軸平行。

然而，參照圖6即知，由於滑塊1能夠移動之行程要比工作件W之長邊方向之長度短，結果，僅以滑塊1之往復運動無法對工作件W進行自右端R橫跨到左端L連續之直線溝槽加工。更正 確地說，係因工具3之動作軌跡tr3之行程不足以達到工作件W之長度(自工作件W之右端R到左端L之距離)。

在此，說明本發明中藉由利用載置有工作件W之平台之移動，在工作件W上形成很長的直線溝槽之情況。首先，使用圖7A及圖7B，說明工作件W之長度6與平台4之X軸方向之行程量7及滑塊1之行程量5(安裝在滑塊1上之工具3之行程量)之關係。圖7A顯示平台4X軸方向之行程量7比工作件W之長度6短。此外，圖7B顯示由於滑塊1之行程量5也比工作件W之長度6短，所以不可能在一次行程中完成工作件W長度6之溝槽加工。符號8表示安裝在滑塊1上之工具3之行程量。

圖8A及圖8B係關於X軸與滑塊行程組合之說明圖。如圖8A與圖8B所示，溝槽切削本身係藉由來回驅動滑塊1進行，令平台4沿X軸方向移動，以使工作件W與直線導軌2X軸方向之相對位置錯開。藉由組合平台4X軸方向之移動與滑塊1之來回驅動，就能在實質上加長安裝在滑塊1上之工具3之行程。

在圖8A中顯示可令平台4朝-X軸方向移動，對工作件W之右側部分進行加工，另一方面，在圖8B中顯示可令平台4朝+X軸方向移動，對工作件W之左側部分進行加工。藉此，可僅分別以平台4之行程與滑塊1之行程各行程對長度無法進行加工之工作件W實施直線溝槽之銜接加工。

其次，使用圖9A及圖9B說明以工具切入工作件之動作。如在圖6中所說明，圖9A說明滑塊1沿著直線導軌2來回驅動之情形。藉由組合工具3伸出沒入方向9之來回驅動與滑塊1之來回驅動，工具3進行動作軌跡tr1→tr2→tr3→tr4所示之軌跡之移動。

此外，如圖9B所示，令滑塊1與直線導軌2朝-Z軸方向移動，俾工具3處於能對工作件W進行切削之位置。如此一來，工具3就能在動作軌跡tr3中對工作件W進行直線溝槽加工。

另外，要進行補充說明的是，在圖8A與圖8B中，令平台4朝-X軸方向移動時，滑塊1持續進行往復運動並直接令往復運動裝置24沿Z軸方向移動，接著，令平台4朝-X軸方向移動。 藉此，在令平台4移動時工具3不會對工作件進行不需之溝槽加工。

為使用安裝在沿著直線導軌2往復運動之滑塊1上之工具3，在固定於平台4之工作件W上進行複數條較長的直線溝槽之加工，需按如下方法進行。

在滑塊1向前移動時令工具3切入工作件W中，對工作件W進行直線溝槽之加工。然後，當滑塊1返回移動時則使工具3自工作件W中退避而進行返回移動。在工具3自工作件W中退避，滑塊1移到下一向前移動之步驟為止之期間內，令平台4或具有直線導軌2之往復運動裝置24沿著與直線溝槽之延伸方向直交之方向(第2方向)移動。

然後，如上所述，在滑塊1向前移動時，令工具3切入工作件W中，在工作件W上進行直線溝槽之加工。然後，當滑塊1返回移動時，則使工具3返回移動而自工作件W中退避。在工具3自工作件W中退避，滑塊1移到下一向前移動之步驟為止之期間內，令平台4或具有直線導軌2之往復運動裝置24沿著與直線溝槽之延伸方向直交之方向移動。藉由重複進行此動作，能進行複數條直線溝槽之加工。

然後，當完成所需條數之直線溝槽之加工時，令該平台4沿直線溝槽之延伸方向(第1方向)移動既定距離。在移動既定距離後，如上所述令平台4沿著與直線溝槽之延伸方向直交之方向移動，藉此就能進行複數條直線溝槽之加工。

銜接令平台4沿第1方向移動前加工之複數條直線溝槽，與令平台4沿第1方向移動後加工之複數條直線溝槽，藉此可對工作件W進行複數條很長的直線溝槽之加工。

在此，如圖9B所示，在令工具3朝溝槽之深度方向呈直線狀切入時(參照虛線之圓10R)，或令工具3退出時(參照虛線之圓10L)，工具3會劇烈地上下震動。此時，在作為工作件W之直線溝槽之銜接點之部分有時會產生較大的毛刺。當在工作件W上產生如此之毛刺時，此毛刺就會對直線溝槽銜接點之外觀或工作件 W之精度造成不良的影響。

在此，如圖10A所示，令工具3呈曲線形狀切入工作件W。圖10A顯示工具3對工作件W進行直線溝槽加工之狀態。在虛線之圓10R內，藉由呈曲線形狀狀連結工具之動作軌跡tr2與tr3，就能使工具3以曲線形狀狀切入工作件W。此外，在虛線之圓10L內，藉由呈曲線形狀狀連結工具之動作軌跡tr3與tr4，就能使工具3以曲線形狀狀自工作件W中退出。工具3如此之驅動能藉由控制對壓電元件26施加之電壓實現。

在對工具3以曲線形狀狀切入工作件W而形成之直線溝槽進行銜接加工時，需使直線溝槽之銜接點位置不產生凹凸。於圖10B顯示之例子中，為使此等直線溝槽之銜接點不產生凹凸，實行溝槽加工，俾直線溝槽於銜接點(11R、11L)重疊。於圖10C顯示之例子中，直線溝槽之曲線形狀狀之曲率半徑增大，直線溝槽深度方向之銜接點誤差(突起部分)減小。

如圖10C所示，在工具3以曲線形狀狀切入工作件W時，相較於圖9B所示工具3以直線狀切入工作件W之情況，能夠減少於直線溝槽之銜接點所產生之毛刺。藉此，能夠提升直線溝槽之外觀及工作件W之精度。

在將直線溝槽銜接，進行一條直線溝槽之加工時，需使銜接之直線溝槽之延伸方向一致。圖11A係自上方觀察工作件W與滑塊1之位置關係之圖。安裝在滑塊1上之工具3沿著直線導軌2進行直線溝槽之切削。如圖11A所示，當平台4之X軸之進給方向與直線導軌2之安裝角度不平行時，沿直線溝槽之間距方向16會產生誤差12。此時，藉由使平台4沿著與X軸直交之Y軸方向移動，就能銜接直線溝槽。

使用圖11B說明一例，其平台4之X軸之進給方向與和直線導軌2的安裝角度呈圖11A所示之關係時，第1部分直線溝槽13與第2部分直線溝槽14銜接。

首先，對第1部分直線溝槽13進行加工後，令平台4朝-X軸方向移動。然後，當在該狀態下接著直接進行第2部分直線溝 槽14之加工時，便會加工出如虛線所示之部分直線溝槽14’，產生間距方向之銜接點誤差12。

在此，使平台4朝-Y軸方向恰移動足以消除間距方向之銜接點誤差12之距離(箭頭15)。在令平台4朝該-Y方向移動後，進行第2部分直線溝槽14之加工。如此一來，便如圖11B所示，可在不產生間距方向之銜接點誤差12之情形下連接第1部分直線溝槽13與第2部分直線溝槽14。另外，由於間距方向之銜接點誤差12很小，因而只要將消除間距方向之銜接點誤差12之距離(箭頭15)作為誤差之絕對值進行處理即可。

其次，使用圖12及圖13說明直線溝槽之間距方向16之修正方法。圖12係在對溝槽進行銜接加工時之銜接點位置與加工裝置之軸方向及溝槽間距方向之關係之說明圖。在工作件W上形成有沿Y軸方向呈V字形延續之溝槽17。如使用圖11A與圖11B所說明，由於直線導軌2安裝角度之誤差，在溝槽之銜接點18產生溝槽間距方向16之錯位。

圖13係放大圖12所示之溝槽之銜接點18之顯示圖。當使用顯微鏡或電子顯微鏡等測定器時，圖12之溝槽之銜接點18如圖13所示，能夠根據應銜接之溝槽彼此頂點之錯移量確認溝槽間距方向之誤差量。將確認所得到的誤差量儲存在直線溝槽加工裝置20之控制裝置30之RAM等記憶體中(參照圖2)。

在其後相同階段之加工中同樣地對溝槽進行銜接加工之際，令載置有工作件W之平台沿X軸方向移動而造成溝槽之銜接點時，為消除上述誤差量，令該平台沿Y軸方向移動到補償位置。之後，藉由開始進行溝槽之加工，就能修正誤差。由於誤差量很微小，所以只要令平台朝Y軸方向(或-Y軸方向)移動誤差量之絕對值量即可。

接著，使用圖14A-圖14C，說明關於沿溝槽深度方向銜接點誤差之修正。圖14A顯示在工具之切入軌跡(動作軌跡)中曲率半徑小之情況，圖14B顯示在工具之切入軌跡(動作軌跡)中曲率半徑大之情況。當以圖14A中溝槽深度方向之銜接點誤差為dep1， 以圖14B中溝槽深度方向之銜接點誤差為dep2時，dep1>dep2。如此以工具3切入工作件W動作曲線之曲率半徑越大，就越能減小工具3在溝槽加工行程中之溝槽深度方向之銜接點誤差(突起部分)。藉由以曲率半徑更大的工具進行切入動作，能進一步修正深度方向之銜接點誤差。

此外，圖14C顯示藉由比滑塊1之行程更短之距離分割直線溝槽以進行加工之情況。如此，藉由以較短之距離分割溝槽並進行加工，能減小溝槽深度方向之銜接點之誤差dep3。分割溝槽之次數越多就越能修正深度方向之誤差。

dep1~dep3‧‧‧溝槽深度方向之銜接點誤差

L‧‧‧左端

R‧‧‧右端

tr1~tr4‧‧‧動作軌跡

W‧‧‧工作件

1‧‧‧滑塊

2‧‧‧直線導軌

3‧‧‧工具

4‧‧‧平台

5、7、8‧‧‧行程量

6‧‧‧長度

9‧‧‧伸出沒入方向

10R、10L‧‧‧圓

11R、11L‧‧‧銜接點

12‧‧‧誤差

13、14、14’‧‧‧直線溝槽

15‧‧‧箭頭

16‧‧‧間距方向

17‧‧‧溝槽

18‧‧‧銜接點

20‧‧‧直線溝槽加工裝置

21‧‧‧床身

22‧‧‧立柱(column)

23‧‧‧床頭

24‧‧‧往復運動裝置

25‧‧‧板簧

26‧‧‧壓電元件

27‧‧‧線圈

28‧‧‧驅動用永久磁石

29‧‧‧鐵心

30‧‧‧控制裝置

圖1A係依本發明加工裝置之概略結構圖(正視圖)，圖1B係其側視圖。

圖2係控制加工裝置之控制裝置之概略方塊圖。

圖3係構成圖1A中所示之往復運動裝置之滑塊與直線導軌概略結構之說明圖。

圖4A及圖4B係圖1A中所示之往復運動裝置之工具切入機構之顯示圖。

圖5係圖1A中所示之直線溝槽加工裝置之軸結構之說明圖。

圖6係藉由安裝在滑塊上之工具對工作件進行加工之說明圖。

圖7A及圖7B係工作件長度、平台之X軸方向行程量與滑塊之行程量(安裝在滑塊上之工具之行程量)關係之說明圖。

圖8A及圖8B係關於X軸與滑塊行程之組合之說明圖。

圖9A及圖9B說明藉由工具切入工作件之動作。

圖10A、圖10B及圖10C係在直線加工溝槽與直線加工溝槽之間之銜接點不產生毛刺之工具切入動作之說明圖。

圖11A及圖11B係工作件與滑塊之位置關係之說明圖。

圖12係在對直線溝槽進行銜接加工時銜接點位置與加工裝置之軸方向及溝槽間距方向關係之說明圖。

圖13係放大圖12中所示之溝槽銜接點之顯示圖。

圖14A、圖14B及圖14C係關於沿溝槽深度方向銜接點誤差修正之說明圖。

W‧‧‧工作件

1‧‧‧滑塊

2‧‧‧直線導軌

3‧‧‧工具

4‧‧‧平台

Claims (7)

1. 一種對複數條長的直線溝槽進行加工之直線溝槽加工方法，藉由安裝於沿直線導軌往復運動之滑塊上的工具，對固定於平台之工作件加工出複數條長的直線溝槽，包含下列步驟：第1步驟，於該滑塊向前移動時該工具切入該工作件，以進行直線溝槽之加工；第2步驟，於該滑塊進行返回移動時該工具自該工作件退避以進行返回移動；第3步驟，在該工具自該工作件退避，該滑塊轉移至下一向前移動步驟為止之期間內，令該平台或該直線導軌沿著與該直線溝槽之延伸方向直交之方向移動；第4步驟，在重複進行該第1至第3步驟，以施行該直線溝槽之加工後，令該平台沿該直線溝槽方向移動既定距離；及第5步驟，重複進行該第1至第3步驟，施行直線溝槽之加工，俾與該第4步驟前已進行加工之該直線溝槽相銜接。
2. 如申請專利範圍第1項之對複數條長的直線溝槽進行加工之直線溝槽加工方法，其中該第5步驟包含：令該平台移動，俾修正該直線溝槽在間距方向之銜接點誤差。
3. 如申請專利範圍第1或2項之對複數條長的直線溝槽進行加工之直線溝槽加工方法，其中，於該第1步驟，該工具之刀尖的動作軌跡為曲線形狀狀。
4. 一種直線溝槽加工裝置，包含由安裝有工具之滑塊與引導該滑塊之直線導軌所構成之往復運動裝置，令該滑塊沿直線導軌往復運動，藉由該工具對固定於平台之工作件進行直線溝槽之加工，包含：工具切入驅動機構，將該工具沿著與該滑塊之往復運動方向直交之方向進行切入驅動；第1驅動機構，令該平台沿第1方向移動；第2驅動機構，令該平台沿著與該第1方向直交之第2方向移動；及 第3驅動機構，令該往復運動裝置沿著與該第1方向及第2方向直交之方向移動；且對該往復運動裝置與該平台進行定位，俾該滑塊之往復運動方向與該第1方向方向相同，藉由組合該滑塊之往復運動與該平台沿該第1方向之移動，而對該工作件進行較該工具或該平台之行程更長之直線溝槽之加工。
5. 如申請專利範圍第4項之直線溝槽加工裝置，其中，藉由令該平台沿該第2方向移動，以修正因該往復運動裝置相對於該第1方向之安裝誤差而產生之該直線溝槽間距方向之銜接點誤差。
6. 如申請專利範圍第4項之直線溝槽加工裝置，其中，於對該工作件進行溝槽加工時該工具之刀尖動作軌跡為曲線形狀。
7. 如申請專利範圍第4至6項中任一項之直線溝槽加工裝置，其中，該直線溝槽加工裝置係該直線導軌以空氣軸承承載該滑塊之線性馬達構造。