TWI374462B - - Google Patents

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1374462 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種永久磁石及永久磁石之製造方法。 【先前技術】 近年來，對於油電混合車或硬碟驅動器等中使用之永久 磁石電動機而言，要求小型輕量化、高輸出化及高效率 化。而且，於上述永久磁石電動機實現小型輕量化、高輸 出化及高效率化時，對埋設於永久磁石電動機中之永久磁 石而言，要求薄膜化及磁特性之進一步提高。再者，作為 永久磁石，有鐵氧體磁石、Sm_co系磁石' Nd Fe B系磁 石、SmJenNd磁石等，尤其係殘留磁通密度較高iNd_ Fe-B系磁石適於作為永久磁石電動機用之永久磁石。 於此，作為永久磁石之製造方法，通常係使用粉末燒結 法。於此，粉末燒結法係首先將原材料進行粗粉碎，並利 用喷射磨機（乾式粉碎）製造已微粉碎之磁石粉末。其後， 將該磁石粉末放入模具，一面自外部施加磁場’一面擠壓 成形為所需之形狀《繼而，將成形為所需形狀之固形狀之 磁石粉末以特定溫度（例如Nd-Fe-B系磁石為 800 C〜ll5〇°C)進行燒結，藉此製造永久磁石。 另一方面，Nd-Fe-B等Nd系磁石存在耐熱溫度較低之問 因此’於將Nd系磁石使用於永久磁石電動機之情形 時，若使該電動機連續驅動，則會導致磁石之保磁力或殘 留磁通密度逐漸下降。因此，於將Nd系磁石使用於永久磁 石電動機之情形時，為提高Nd系磁石之耐熱性，添加磁各 155040.doc 丄 3/44()2 。異眭較同之Dy(鏑）或丁15(铽），以進一步提高磁石之保磁 力。 方面’亦考慮不使用Dy或Tb而提高磁石之保磁力 方法。例如，眾所周知對於永久磁石之磁特性而言由 ;磁石之磁特性係根據單磁疇微粒子理論而導出，故若使 燒結體之晶體粒徑變微小，則基本上會提高磁性能。於 此，為了使燒結體之晶體粒徑變微小，需要使燒結前之磁 石原料之粒徑亦微小。然而，即便成形並燒結已微粉碎成 微小粒徑之磁石原料，燒結時亦會產生磁石粒子之晶粒成 長，故燒結後之燒結體之晶體粒徑變得大於燒結前，無法 實現微小之晶體粒徑。而且，若晶體粒徑變大，則粒内產 生之磁壁容易移動，故而保磁力顯著下降。 因此，作為抑制磁石粒子之晶粒成長之手段，考慮到將 抑制磁石粒子之晶粒成長之材料(以下，稱作晶粒成長抑 制劑)添加至燒結前之磁石原料的方法。根據該方法，例 如由具有較燒結溫度更高之熔點之金屬化合物等晶粒成長 抑制劑覆蓋燒結前之磁石粒子之表面，藉此可抑制燒結時 之磁石粒子之晶粒成長。例如，於日本專利特開 250781號公報中，將填作為晶粒成長抑制劑而添加至磁石 粉末。 [先前技術文獻] [專利文獻] [專利文獻1]曰本專利第3298219號公報（第4頁、第5頁） [專利文獻2]日本專利特開2〇〇4·25〇781號公報（第⑺〜η 155040.doc 1374462 頁、圖2) 【發明内容】 [發明所欲解決之問題] 然而’如上述專利文獻2所示，若藉由預先使晶粒成長 抑制劑包含於磁石原料之鑄錠内而添加至磁石粉末，則晶 粒成長抑制劑係於燒結後擴散到磁石粒子内而不位於磁石 粒子之表面。其結果，無法充分抑制燒結時之晶粒成長， 又，亦成為磁石之殘留磁通密度下降之原因。又，即便藉 由抑制晶粒成長而可使燒結後之各磁石粒子變微小，若燒 結後之各磁石粒子成為緻密狀態，則認為各磁石粒子之間 傳播父換相互作用。其結果，存在於自外部施加磁場之情 形時，容易產生各磁石粒子之磁化反轉而使得保磁力下降 之問題。 本發明係為解決上述先前之問題點開發而成者，其目的 在於提供一種永久磁石及永久磁石之製造方法，將由M_ (〇R)x(式中 ’ Μ係 V、Mo、Zr、Ta、Ti、w或 Nb，R係含有 烴之取代基，既可為直鏈亦可為支鏈，χ係任意之整數）所 表不之有機金屬化合物添加至磁石粉末，藉此可使有機金 屬化合物中所含之V、Mo、Zr、Ta、Ti、W或Nb有效偏在 配置於磁石之晶界，可抑制燒結時之磁石粒子之晶粒成 長，並且可藉由切斷磁石粒子間之交換相互作用而阻礙各 磁石粒子之磁化反轉，從而提高磁性能。 [解決問題之技術手段] 為達成上述目的，本發明之永久磁石之特徵在於其係藉 155040.doc 1374462 由如下步驟製造而成：將磁石原料粉碎成磁石粉末；於上 述已粉碎之磁石粉末中添加由M_(〇R)x(式中，河係v、 M〇、Zr、Ta、Ti、W4Nb，R係含有烴之取代基既可為 直鏈亦可為支鏈，X係任意之整數）所表示之有機金屬化合 物，藉此使上述有機金屬化合物附著於上述磁石粉末之： 子表面；藉由將粒子表面上附著有上述有機金屬化合物之 上述磁石粉末成形而形成成形體；以及對上述成形體進行 燒結。 又，本發明之永久磁石之特徵在於，形成上述有機金屬 化&物之金屬係於燒結後偏在於上述永久磁石之晶界。 又’本發明之永久磁石之特徵在於，上述結構式M_ (〇R)x2R係烷基。 又’本發明之永久磁石之特徵在於，上述結構式M_ (〇R)x之R係碳數為2〜6之烷基中之任一者。 又’本發明之永久磁石之製造方法之特徵在於包含如下 步驟：將磁石原料粉碎成磁石粉末；於上述已粉碎之磁石 粉末中添加由M-(〇R)x(式中，Μ係V、Mo、Zr、Ta、Ti、 W或Nb，R係含有烴之取代基，既可為直鏈亦可為支鏈，χ 係任意之整數）所表示之有機金屬化合物，藉此使上述有 機金屬化合物附著於上述磁石粉末之粒子表面；藉由將粒 子表面上附著有上述有機金屬化合物之上述磁石粉末成形 而形成成形體；以及對上述成形體進行燒結。 又’本發明之永久磁石之製造方法之特徵在於，上述結 構式M-(OR)x2R係烷基。 155040.doc -6- 1374462 進而’本發明之永久磁石之製造方法之特徵在於，上述 結構式M-(OR)xi R係碳數為2〜6之烷基中之任一者。 [發明之效果] 根據具有上述構成之本發明之永久磁石，可使V、m〇、

Zr、Ta、Τι、W或Nb有效偏在配置於磁石之晶界。其結 果’可抑制燒結時之磁石粒子之晶粒成長，並且可藉由切 斷磁石粒子間之交換相互作用而阻礙各磁石粒子之磁化反

轉’從而提高磁性能。又，可使V、Mo、Zr、Ta、Ti、W 或Nb之添加量少於先前，因此可抑制殘留磁通密度之下 降。 又’根據本發明之永久磁石’作為高熔點金屬之V、 Mo、Zr、Ta、Ti、W或Mb在燒結後係偏在於磁石之晶界， 因此偏在於晶界之V、Mo、Zr、Ta、Ti、W或Nb可抑制燒 結時之磁石粒子之晶粒成長’並且藉由切斷燒結後之磁石 粒子間之交換相互作用而阻礙各磁石粒子之磁化反轉，從 而提高磁性能。 又’根據本發明之永久磁石，由於使用含有烷基之有機 金屬化合物作為添加至磁石粉末之有機金屬化合物，因此 可容易進行有機金屬化合物之熱分解。其結果，例如在燒 結之前於氫氣環境下進行磁石粉末或成形體之預燒之情形 時’可更碟實地減少磁石粉末或成形體中之碳量。藉此， 抑制於燒結後之磁石之主相内析出cxFe，可緻密地燒結磁 石整體，且可防止保磁力下降。 又’根據本發明之永久磁石，由於使用含有碳數為2〜6 155040.doc 1374462 之烧基之有機金屬化合物作為添加至磁石粉末之有機金屬 化合物，因此可於低溫下進行有機金屬化合物之熱分解。 其結果’例如在燒結之前於氫氣環境下進行磁石粉末或成 形體之預燒之情形時，對於磁石粉末整體或成形體整體而 吕可更容易進行有機金屬化合物之熱分解。即，藉由預燒 處理，可更確實地減少磁石粉末或成形體中之碳量。 又’根據本發明之永久磁石之製造方法，可製造使少量 之V、Mo、Zr、Ta、Ti、W或Nb有效偏在於磁石之晶界之 永久磁石。其結果，於所製造之永久磁石中，可抑制燒結 時之磁石粒子之晶粒成長，並且可藉由切斷磁石粒子間之 父換相互作用而阻礙各磁石粒子之磁化反轉，從而提高磁 性能。又，可使v、Mo、Zr、Ta、Ti、w*Nb之添加量少 於先前，因此可抑制殘留磁通密度之下降。 又，根據本發明之永久磁石之製造方法，由於使用含有 烷基之有機金屬化合物作為添加至磁石粉末之有機金屬化 3物，因此可谷易進行有機金屬化合物之熱分解◊其結 果，例如在燒結之前於氫氣環境下進行磁石粉末或成形體 之預燒之情形時，可更確實地減少磁石粉末或成形體中之 石反1。藉此，抑制於燒結後之磁石之主相内析出aFe，可 緻密地燒結磁石整體，且可防止保磁力下降。 進而，根據本發明之永久磁石之製造方法，由於使用 有碳數為2〜6之烷基之有機金屬化合物作為添加至磁石 末之有機金屬化合物，因此可於低溫下進行有機金屬化 物之熱分解。其結果，例如在燒結之前於氫氣環境下進 155040.doc 1374462 磁石粉末或成形體之預燒之愔形吐 丄 信形時，對於磁石粉末整體或 成形體整體而言可更容易進杆古地a β 延订有機金屬化合物之熱分解。 即，藉由預燒處理，可更確竇祕分， ^ ^ 作貫地減少磁石粉末或成形體中 之碳量。 • 【實施方式】 • 以下，關於本發明之永久磁、 人磁石及水久磁石之製造方法經 具體化之實施形態，下面參照圖式而進行詳細說明。 [永久磁石之構成] 首先，對本發明之永久磁石！之構成進行說明。圖i係表 示本發明之永久磁石!之整體圖。再者，圖i所示之永久磁 石1具有圓柱形狀’但永久磁石丨之形狀係隨著成形時使用 之模腔之形狀而變化。 作為本發明之永久磁石i，例如使用Nd_Fe-B系磁石。 又，於形成永久磁石i之各晶體粒子之界面（晶界），偏在有 用以提高永久磁石丨之保磁力2Nb(鈮）、v(釩）、M〇(鉬）、 φ ΖΓ(鍅）、Ta(组）、Ti(鈦）或以(鎢）。再者’將各成分之含量 口又為如下，即，Nd : 25〜37 wt%，Nb、V、Mo、Zr、Ta、 Τι買之任一者（以下稱作Nb等）：o.oi〜5 wt%，b : 1〜2 . wt/〇，Fe(電解鐵）：6〇〜75 wt%。又，為提高磁特性亦可 .少量含有Co、Cu、A卜Si等其他元素。 具體而言，於本發明之永久磁石1中，如圖2所示於構成 水久磁石liNd晶體粒子1〇之晶體粒之表面部分（外殼）， 生成由作為高熔點金屬之Nb等取代Nd之一部分而成之層 11(以下’稱作高熔點金屬層Π) ’藉此使Nb等偏在於Nd晶 155040.doc 1374462 ==界。圖2係將構成永久㈣之他㈣㈣ 表不之圖。再者’高溶點金屬層11較佳為非磁性。 於此，於本發明[Nb等之取代係如下所述藉由於將已 二=:粉:二行成形之前添加含有灿等之有機金屬化 &物而進订。具體而言’於將添加有含有Nb等之有機全屬 化合物之磁石粉末進行燒結時，藉由濕式分散而均勾附著 謂晶體粒子心粒子表面之該有機金屬化合物中之灿 專，向Nd晶體粒子1()之晶體成長區域擴散渗入而進行取 代’形成圖2所示之高溶點金屬層u。再者’則晶體粒子 包含例如Nd2Fei4B金屬間化合物，高炼點金屬心包含 例如NbFeB金屬間化合物。 又’於本發明中，尤其是如下所述將由M-(OR)x(式中’ Μ係V Mo、Zr、Ta、Ti、臀或Nb ’ R係含有烴之取代 基’既可為直鏈亦可為支鏈，χ係任意之整數）所表示之含 有Nb等之有機金屬化合物(例如，乙醇銳、正丙醇銳、正 丁醇銳、正己醇銳等古拖 寻J添加至有機溶劑中，並於濕式狀態 下混合於磁石粉末。藉此，使含有Nb等之有機金屬化合物 分散至有機溶劑m可使含杨等之有機金屬化合物 均勻附著於Nd晶體粒子丨〇之粒子表面。 於此，作為滿足上述Μ·(〇κ)χ(式中，副系乂、m〇、Zr、 Ta Τι W或Nb ’ R係含有烴之取代基’既可為直鍵亦可 為支鏈’X餘意之整數）之結構式之有機金屬化合物，有 金屬醇瓜金屬醇鹽係由通式m(〇r)“m :金屬元素，r : 有機基’ Π·金屬或半金屬之價數）所表示。又’作為形成 155040.doc 1374462 金屬醇鹽之金屬或半金屬，可列舉w、M〇、v、Nb、Ta、 Τι、Zr、lr、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、cd、八卜 ^^、 〇e、Sb、Y、鑭系等。其中，於本發明中，尤其係宜使用 向熔點金屬。進而，如下所述根據防止燒結時之與磁石之 . 主相之相互擴散之目的，於高熔點金屬中，尤其宜使用 • V、Mo、Zr、Ta、Ti、W或 Nb。 又，對於醇鹽之種類，並無特別限定，例如可列舉甲醇 冑、乙醇鹽、丙醇鹽、異丙醇鹽、丁醇鹽、碳數為4以上 之醇鹽等。其中，於本發明令，如下所述根據利用低溫分 解抑制殘碳之目的，而使用低分子量者。又，由於碳數為 1之甲醇鹽容易分解且難以操作’因此尤其宜使用r中所含 之碳數為2〜6之醇鹽即乙醇鹽、甲醇鹽、異丙醇鹽、丙醇 Μ、丁醇鹽等。即，於本發明中’尤其是作為添加至磁石 粉末之有機金屬化合物，較理想的是使用由(式 中，Μ係 鲁為直鏈亦可為支鍵’ x係任意之整數）所表示之有機金屬化 合物，更佳為使用由M-(0R)x(式中，M〇、△、

Ta' Ti、W.Nb，尺係碳數為2〜6之烷基之任一者，既可為 -錢亦可為支鏈，X係任意之整數）所表示之有機金屬化合 物。 又’若於適當之锻燒條件下煅燒藉由壓粉成形所成形之 成形體，則可防止Nb等擴散滲透（固溶化）至則晶體粒子忉 内。藉此’於本發曰月中，即便添加灿等，亦可使灿等在 燒結後僅偏在於晶界。其結果，晶體粒整體（即，作為燒 155040.doc 11 ^/4462 結磁石整體）成為核心之>^2以143金屬間化合物相佔較高 之體積比例之狀態。藉此，可抑制該磁石之殘留磁通密度 (將外部磁場之強度設為〇時之磁通密度）之下降。 又，通常，若燒結後之各>^晶體粒子1〇成為緻密狀態， 則認為各Nd晶體粒子1〇之間傳播交換相互作用。其結果， 於自外部施加磁場之情形時，容易產生各晶體粒子之磁化 反轉，即便假設可將燒結後之晶體粒子分別設為單磁疇結 構，保磁力亦下降。然而，於本發明中，藉由塗佈於Nd = 體粒子10之表面之非磁性之高熔點金屬層n，切斷Nd晶體 粒子10間之交換相互作用，即便於自外部施加磁場之情形 時，亦可阻礙各晶體粒子之磁化反轉。 又，塗佈於Nd晶體粒子10之表面之高熔點金屬層u係亦 作為於永久磁石！之燒結時抑制Nd晶體粒子1〇之平均粒徑 增大之所謂晶粒成長的手段發揮作用。以下，對藉由高熔 點金屬層11抑制永久磁石1之晶粒成長之機構，使用圖3進 行說明。圖3係表示強磁體之磁（结構之模式圖。

通常，因殘留於晶體與另一晶體間之非連續之邊界面巧 晶界具有過剩能量，故而於高溫下引起欲降低能量之曰曰“ 移動因此，右於高溫（例如Nd Fe B系磁石為 峨〜115(TC)下進行磁石原料之燒結則產生較小之绍 石粒子進行收縮而消失且剩餘之磁石粒子之平均粒徑增大 之所謂晶粒成長。 ;此於本發明中，藉由添加由m-(or)x(式中，M v Mo、Zr、Ta、Ti ' WsNb，R係含有煙之取代基， I55040.doc -12- 1374462 可為直鏈亦可為支鏈，X係任意之整數）所表示之有機金屬 化合物，從而如圖3所示使作為高熔點金屬之Nb等偏在於 磁石粒子之界面。而且，藉由該經偏在之高熔點金屬，阻 礙高溫時產生之晶界之移動，可抑制晶粒成長。 又，較理想的是將Nd晶體粒子10之粒徑D設為0.2 μηι~1 ·2 μιη、較佳設為0.3 μπι左右。又，若高嫁點金屬層 11之厚度d為2 nm左右，則可抑制燒結時之Nd磁石粒子之 晶粒成長，又，可切斷Nd晶體粒子1 0間之交換相互作用。 但是，若高熔點金屬層11之厚度d太大，則不表現磁性之 非磁性成分之含有率增加，因此會使殘留磁通密度下降。 再者，作為使高熔點金屬偏在於Nd晶體粒子10之晶界之 構成，亦可設為如圖4所示使包含高熔點金屬之粒12散佈 於Nd晶體粒子10之晶界之構成。即便係圖4所示之構成， 亦可獲得相同之效果（晶粒成長抑制、交換相互作用之切 斷）。再者，使高熔點金屬如何偏在於Nd晶體粒子10之晶 界係可藉由例如 SEM(Scanning Electron Microscope，掃描 式電子顯微鏡）或 TEM(Transmission Electron Microscope， 穿透式電子顯微鏡）或三維原子探針法（3D Atom Probe method)而確認。 又，高熔點金屬層11並非必須為僅由Nb化合物、V化合 物、Mo化合物、Zr化合物、Ta化合物、Ti化合物或W化合 物（以下，稱作Nb等化合物）構成之層，亦可為包含Nb等化 合物與Nd化合物之混合體之層。於該情形時，添加Nd化 合物，藉此形成包含Nb等化合物與Nd化合物之混合體之 155040.doc 1374462 層。其結果，可促進Nd磁石粉末之燒結時之液相燒結。再 者，作為需添加之Nd化合物，較理想的是NdH2、乙酸鉉 水合物、乙醯丙酮敍（111)三水合物、2_乙基己酸鈥（111).、 六氟乙醯丙酮钕（ΙΠ)二水合物、異丙醇鈥、磷酸鈥（〖^沁水 合物、三氟乙醯丙酮钕、三氟甲烷磺酸鈥等。 [永久磁石之製造方法！] 其次’對本發明之永久磁石1之第1製造方法，使用圖5 進行說明。圖5係表示本發明之永久磁石1之第1製造方法 中之製造步驟之說明圖。 首先’製造包含特定分率之Nd_Fe_B(例如Nd : 32.7 wt% ’ Fe(電解鐵）：65 96 wt% ’ b : ι·34 wt%)之鑄錠。其 後，藉由搗碎機或粉碎機等而將鑄錠粗粉碎成2〇〇 μπι左右 之大小。或者，溶解鑄錠，利用薄片連鑄法（Strip casting Method)製作薄片，利用氫壓碎法進行粗粉化。 接著，於⑷氧含量實質上為〇%之包含氮氣體、^氣 體、He氣體等惰性氣體之氣體環境中，或者（^氧含量為 0.0001〜0.5%之包含氮氣體、Ar氣體、He氣體等惰性氣體 之氣體環境中，將已粗粉碎之磁石粉末利用喷射磨機41進 行微粉碎，設為具有特定尺寸以下(例如，〇」—〇 _ 之平均粒徑之微粉末。再者，所謂氧濃度實冑上為〇%， 並不限定於氧濃度完全為0%之情形，亦可表示含有於微 粉之表面上極少量地形成氧化覆膜之程度之量的氧。 另-方面，㈣利用喷射磨機41進行微粉碎之微粉末中 需添加之有機金屬化合物溶液。於此’於有機金屬化合物 155040.doc 1374462

溶液中預先添加含有Nb等之有機金屬化合物並使其溶解。 再者，作為需溶解之有機金屬化合物，較理想的是使用相 當於m-(〇r)x(式中，μ係ν、Mo、Zr、Ta、Ti、戰灿，R 係碳數為2〜6之烷基之任一者，既可為直鏈亦可為支鏈，χ 係任意之整數）之有機金屬化合物（例如，乙醇鈮、正丙醇 鈮正丁醇鈮、正己醇鈮等）。又，對於需溶解之含有Nb 等之有機金屬化合物之量，並無特別限制，但較佳將^^卜等 相對燒結後之磁石之含量設為〇 〇〇1 wt%〜1〇 wt%、較佳為 0.01 wt。/。〜5 wt%之量。 接著，向利用喷射磨機41分級之微粉末添加上述有機金 屬化合物減。藉此’生成磁石原料之微粉末與有機金屬 化合物溶液混合而成之漿料42。再者，有機金屬化合物溶 液之添加係於包含氮氣體、Ar氣體、He氣體等惰性氣體之 氣體環境下進行。 八後將所生成之漿料42於成形之前藉由真空乾燥等事 幻進行乾燥’取出已乾燥之磁石粉末43。其後，藉由成形 裝置50而將已乾燥之磁石粉末壓粉成形為特定形狀。再 者’於壓粉成形時，存在將上述已乾燥之㈣末填充至模 腔之乾式法、以及利用溶㈣製成漿料狀後填充至模腔之 …、气法於本發日月巾，例示使用乾式法之情形。又，亦可 使有機金屬化合物溶液於成形後之炮燒階段揮發。 如圖5所示’成形裝置50包括圓筒狀之鑄模51、相對於 禱模51沿上下方向滑動之下衝頭52、以及相對於相同之鑄 桓51/〇上下方向滑動之上衝頭53，由該等包圍之空間構成 155040.doc 15 1374462 模腔54。 又’於成形裝置50中，將—對磁場產生線圈55、56配置 於模腔54之上下位置’對填充至模腔54之磁石粉末43施加 磁力線。將需施加之磁場設為例如i MA/m。 繼而，於進行壓粉成形時，首先將已乾燥之磁石粉末43 填充至模腔54。其後，驅動下衝頭52及上衝頭53，對填充 至模腔54之磁石粉末43沿箭頭61方向施加壓力而使其成 形又於加壓之同時’對填充至模腔54之磁石粉末43， 藉由磁場產生線圈55、56沿與加壓方向平行之箭頭62方向 施加脈衝磁場。藉此，沿所需之方向定向磁場。再者，定 向磁場之方向係必須考慮對由磁石粉末43成形之永久磁石 1要求之磁场方向而決定。 又，於使用濕式法之情形時’亦可一面對模腔54施加磁 %，一面注入漿料，於注入途中或注入結束後，施加較最 初磁場更強之磁場而進行濕式成形。又，亦可以使施加方 向垂直於加壓方向之方式，配置磁場產生線圈55、56。 其次’於氫氣環境下以200。(3〜900。(：、更佳為以 400°C〜900°C (例如600°C )將藉由壓粉成形所成形之成形體 71保持數小時（例如5小時），藉此進行氫中預燒處理。將預 燒中之氫供給量設為5 L/min。於該氫中預燒處理中，進 行使有機金屬化合物熱分解而減少預燒體中之碳量之所謂 脫碳（decarbonizing)。又，氫中預燒處理係於使預燒體中 之碳量為0.15 wt%以下、更佳為（u wt%以下之條件下進 行。藉此，藉由隨後之燒結處理而可緻密地燒結永久磁石 155040.doc •16- 1374462 1整體，不會降低殘留磁通密度或保磁力。 於此，存在藉由上述氫中預燒處理進行預燒之成形體71 中存在NdH;而容易與氧結合之問題，但於第1製造方法 中，成形體71係⑨氫預《後不與外部氣體相接觸地移至下 述炮燒，故而不需要脫氫步驟。於锻燒十，脫去成形體中 之氫。 接著，進什將藉由氫中預燒處理進行預燒之成形體71進 仃燒結之燒結處理。再者，作為成形體71之燒結方法，除 一般之真空燒結以外，亦可利用將成形體71加壓之狀態下 進行燒結之加Μ燒結等。例如，於利用真空燒結進行燒結 之情形時，以特定之升溫速度升溫至8〇(rc〜1〇8(rc左右為 止，並保持2小時左右。此期間成為真空锻燒但真空度 較佳設為10·4 Ton·以下。其後進行冷卻，並再次以 600。。〜1000。(：進行熱處理2小時。繼而，燒結之結果，製 造永久磁石1。 另一方面，作為加壓燒結，例如有熱壓燒結、熱均壓 (ΗΠ> ’ Hot Isostatic p峨ing)燒結、超高壓合成燒結氣 體加壓燒結、放電等離子（SPS，Spark…贿仏㈣⑽燒 結等。其中’為抑制燒結時之磁石粒子之晶粒成長並且抑 制燒結後之磁石中產生之勉曲’較佳為利用沿單軸方向加 壓之單抽加壓燒結絲由通電燒結進行燒結之sps燒結。 再者，於利用SPS燒結進行燒結之情形時，較佳為將加壓 值設為30 MPa’於數卜以下之真空氣體環境下以1〇口_ 上升至94(TC為止，其後保持5分鐘。其後進行冷卻並再 155040.doc 17 1374462 次以600°C〜10001進行熱處理2小時。繼而，燒結之結 果’製造永久磁石1。 [永久磁石之製造方法2] 其次’對本發明之永久磁石1之其他製造方法即第2製造 方法’使用圖6進行說明。圖6係表示本發明之永久磁石1 之第2製造方法中之製造步驟之說明圖。 再者’直至生成漿料42為止之步驟係與使用圖5既已說 明之第1製造方法中之製造步驟相同，因此省略說明。 首先，將所生成之漿料42於成形之前藉由真空乾燥等事 月1J進行乾燥’取出已乾燥之磁石粉末43。其後，於氫氣環 境下以 20(TC ~900。(：、更佳為以 400。(：〜900。(：（例如 600°C ) 將已乾燥之磁石粉末43保持數小時（例如5小時），藉此進行 氣中預燒處理。將預燒中之氫供給量設為5 L/min。於該 氫中預燒處理中，進行使殘存之有機金屬化合物熱分解而 減少預燒體中之碳量之所謂脫碳。又，氫中預燒處理係於 使預燒體中之碳量為0.15 wt%以下、更佳為〇.；[ wt%以下之 條件下進行。藉此，藉由隨後之燒結處理而可緻密地燒結 永久磁石1整體，不會降低殘留磁通密度或保磁力。 其次’於真空氣體環境下以2〇〇°c〜600°C、更佳為以 400°C~600°C 1〜3小時保持藉由氫中預燒處理進行預燒之粉 末狀之預燒體82，藉此進行脫氫處理。再者，作為真空 度，較佳為設為0· 1 Torr以下。 於此，存在於藉由上述氫中預燒處理進行預燒之預燒體 82中存在NdH3而容易與氧結合之問題。 155040.doc • 18· 1374462 圖7係將進行氫中預燒處理之Nd磁石粉末及未進行氫中 預燒處理之Nd磁石粉末分別暴露於氧濃度7 ρριη及氧濃度 66 ppm之氣體環境時’表示相對於暴露時間之磁石粉末内 之氧量的圖。如圖7所示，若將進行氫中預燒處理之磁石 粉末放置於高氧濃度66 ppm之氣體環境，則以約1〇〇〇 sec 磁石粉末内之氧量自0.4°/。上升至0.8%為止。又，即便放置 於低氧濃度7 ppm之氣體環境，亦以約5〇〇〇 sec磁石粉末内 之氧量自0.4%相同地上升至〇 8%為止。繼而，若Nd磁石 粒子與氧結合’則成為殘留磁通密度或保磁力下降之原 因。 因此，於上述脫氫處理中，將藉由氫中預燒處理所生成 之預燒體82中之NdHs(活性度大）階段性地變成NdH3(活性 度大）—Nd%(活性度小），藉此降低藉由氫中預燒處理而活 化之預燒體82之活性度。藉此，即便於將藉由氫中預燒處 理進行預燒之預燒體82於隨後移動到大氣中之情形時，亦 可防止Nd磁石粒子與氧結合，且不會降低殘留磁通密度或 保磁力。 其後，藉由成形裝置50而將進行脫氫處理之粉末狀之預 燒體82壓粉成形為特定形狀。由於成形裝置5()之詳細情況 與使用圖5既已說明之第lt造方法中之製造㈣相同，@ 此省略說明。 其後，進行將已絲之職㈣進行燒紅燒結處理。 再者’燒結處理係訂㈣丨製造方法㈣地，藉由真空 燒結或加壓燒結等進行°由於燒結條件之詳細内容與既已 155040.doc •19- :、月之第1製造方法中之製造步驟相同，因此省略說明。 繼而，燒結之結果，製造永久磁石i ^ 再者，於上述第2製造方法中，由於對粉末狀之磁石粒 子進仃氫中預燒處理，因此與對成形後之磁石粒子進行氫 中預燒處理之上述第1製造方法相比，具有對於磁石粒子 整體而5可更容易進行有機金屬化合物之熱分解之優點。 P與上述第1製造方法相比，可更確實地減少預燒體中 之碳量。 另方面，於第1製造方法中，成形體71係於氫預燒後 不與外部氣體相接觸地移至煅燒，故而不需要脫氫步驟。 因此，與上述第2製造方法相比，可使製造步驟簡單化。 其中，於上述第2製造方法中，亦於氫預燒後不與外部氣 體相接觸地進行炮燒之情形時，不需要脫氫步驟。 [實施例] 、下對本發明之貫施例’一面與比較例進行比較，_ 面進行說明。 (實施例1) 貫％例1之鉉磁石粉末之合金組成係較基於化學計量組 成之分率（Nd : 26.7 Wt%，Fe(電解鐵）：72.3 wt%，B : 1.0

Wt/°)相比更提高Nd之比率，例如以wt%計設為 Md/Fe/B-32.7/65.96/1.34。又，於已粉碎之鈦磁石粉^ 中，添加乙醇鈮5 wt%作為有機金屬化合物。又，預燒處 理係藉由於氫氣環境下以60(rc將成形前之磁石粉末保持$ 小時而進行。繼而，將預燒中之氫供給量設為5 L/min。 155040.doc -20· 1374462 :’已成形之預燒體之燒結係藉由sps燒結而進行 + ’將其他㈣設為與上述[永久磁石之製造方法2]相 。再 同之 (實施例2) 正丙醇铌。盆 他條件係 將需添加之有機金屬化合物設為 與實施例1相同β (實施例3)

將需添加之有機金屬化合物設為正丁醇鈮 與實施例1相同。 其他條件係 (實施例4) 將需添加之有機金屬化合物設為正己醇鈮。其他條件係 與貫施例1相同。 ” (實施例5) 代替SPS燒結，藉由真空燒結進行已成形之預燒體之燒 結。其他條件係與實施例1相同。 (比較例1)

將需添加之有機金屬化合物設為乙醇鈮，不進行氫中預 燒處理而進行燒結。其他條件係與實施例i相同。 (比較例2) 將需添加之有機金屬化合物設為六氟乙醯丙酮錯。其他 條件係與實施例1相同。 (比較例3) 於He氣體環境下進行預燒處理而非氫氣環境。又，代替 SPS燒結’藉由真空燒結進行已成形之預燒體之燒結。其 155040.doc -21 - 1374462 他條件係與實施例1相同。 (比較例4) 於真空氣體環境下進行預燒處理而非氫氣環境。又，代 替SPS燒結，藉由真空燒結進行已成形之預燒體之燒結。 其他條件係與實施例1相同。 (實施例與比較例之殘碳量之比較討論） 圖8係分別表示實施例1〜4及比較例1、2之永久磁石之永 久磁石中之殘存碳量[wt%]之圖。 如圖8所示，可知實施例1〜4係與比較例1 ' 2相比可大幅 度減少殘存於磁石粒子中之碳量。尤其是，於實施例1〜4 中’可將殘存於磁石粒子中之碳量設為015 wt%以下，進 而’於實施例2〜4中，可將殘存於磁石粒子中之碳量設為 0.1 wt%以下。 又，若將實施例1與比較例1進行比較，則可知儘管添加 相同之有機金屬化合物，但進行氫中預燒處理之情形係與 未進行氫中預燒處理之情形相，可纟幅度減少磁石粒子 中之碳量。即，可知能夠進行藉由氫中預燒處理而使有機 金屬化合物熱分解，從而減少預燒體中之碳量的所謂脫 碳。作為其結果’可防止磁石整體之緻密燒結或保磁：之 下降。 入，右將貫施例1〜4與比較例2進行比較，則可知於添加 由 m-(or)x(式中 ’ M係 v、M。、Zr、Ta、Ti、|或灿，轉 含有烴之取代基’既可為直鏈亦可為支鏈，χ係任意之整 數)所表示之有機金屬化合物之情形時，較添加其他有： 155040.doc -22· 金屬化合物之情形相比，可大 量。即，可4益山收 田又減>磁石粒子中之碳 (OR) Γ-t' Φ Λ 機金屬化合物設為由Μ- (叫(式中 ’ 、Μ〇、ζ 烴之取抑其 Tl、评或Nb，R係含有 L之取代基，既可為直鏈亦可 表示之右嫵as A —支鏈，x係任意之整數）所 碳。作了於❹職處理巾以進行脫 丁尨 正體之緻岔燒結或保磁力之 降。又，尤其是作為需添加之有 人古i 心句樺金屬化合物，若使用 3有烷基之有機金屬化合物、 «.. 更佳為含有碳數為2〜6之烷 土之有機金屬化合物，則於氯 風乱％丨兄下預燒磁石粉末時， 可於低溫下進行有機金屬化合 却物之熱分解。藉此，對於磁 石粒子整體而言可更容易谁# 约進仃有機金屬化合物之熱分解。 (貫施例之永久磁石中之藉由ΧΜα(χ,， X射線微量分析儀）之表面分析結果討論） 對實施例1〜4之永久磁石，利用XMA進行表面分析。圖9 係表示實施例！之永久磁石之燒結後之随照片及晶界相 之兀素分析結果之圖。圖1〇係表示實施例2之永久磁石之 燒結後之SEM照片及晶界相之元素分析結果之圖。圖⑴系 實施例2之永久磁石之燒結後之SEM照片及以與SEM照片 相同之視野測繪Nb元素之分佈狀態之圖。圖12係表示實施 例3之永久磁石之燒結後之SEM照片及晶界相之元素分析 結果之圖。圖13係實施例3之永久磁石之燒結後之SEM照 片及以與SEM照片相同之視野測繪Nb元素之分佈狀態之 圖。圖14係表示實施例4之永久磁石之燒結後之SEM照片 及晶界相之元素分析結果之圖。圖15係實施例4之永久磁 155〇4〇.d〇, •23- 1374462 石之燒結後之SEM照片及以與SEM照片相同之視野測繪Nb 元素之分佈狀態之圖。 如圖9、圖1 〇、圖12、圖14所示，於實施例1 ~4之各永久 磁石中，自晶界相檢測出Nb »即，可知實施例1〜4之永久 磁石中’於晶界相中’由Nb取代Nd之一部分之NbFe系金 屬間化合物之相生成於主相粒子之表面》 又，於圖11之測繪圖中，白色部分表示Nb元素之分佈。 若參照圖11之SEM照片與測繪圖，則測繪圖之白色部分 (即’ Nb元素）偏在分佈於主相之周圍附近。即，可知實施 例2之永久磁石中’ Nb並未自晶界相擴散到主相，而是Nb 偏在於磁石之晶界。另一方面，於圖13之測繪圖中，白色 部分表示Nb元素之分佈。若參照圖13之SEM照片與測繪 圖，則測繪圖之白色部分（即，Nb元素）偏在分佈於主相之 周圍附近。即’可知實施例3之永久磁石中，Nb並未自晶 界相擴散到主相’而是Nb偏在於磁石之晶界。進而，於圖 15之測繪圖中，白色部分表示Nb元素之分佈。若參照圖1 5 之SEM照片與測繪圖，則測繪圖之白色部分（即，Nb元素） 偏在分佈於主相之周圍附近。即，可知實施例4之永久磁 石中，Nb並未自晶界相擴散到主相，而是偏在於磁石 之晶界。 根據上述結果，可知實施例中，Nb並未自晶界相擴 散到主相，又，可使Nb偏在於磁石之晶界。而且，於燒結 時Nb並不固溶於主相，因此藉由固相燒結而可抑制晶粒成 長。 155040.doc -24· 1374462 (實施例與比較例之SEM照片之比較討論） 圖16係表示比較例1之永久磁石之燒結後之SEM照片之 圖。圖17係表示比較例2之永久磁石之燒結後之SEm照片 之圖。 又’若將實施例1~4與比較例1、2之各SEM照片進行比 較’則於殘留碳量為固定量以下（例如〇 · 2 wt%以下）之實施 例1〜4或比較例1中’基本上由钕磁石之主相（Nd2Fei4B)91 及看作白色斑點狀之晶界相92形成有燒結後之永久磁石。 又’雖然少量，但亦形成有aFe相。與此相對，於較實施 例1〜4或比較例1相比殘留碳量更多之比較例2中，除主相 91或晶界相92以外’形成有複數個看作黑色帶狀之aFe相 93。於此’ aFe係由於燒結時殘留之碳化物所產生者。 即，因Nd與C之反應性非常高，故而如比較例2般，若燒 結步驟中有機金屬化合物中之C含有物於高溫之前仍殘 留’則形成碳化物。其結果，由於所形成之碳化物而於燒 結後之磁石之主相内析出aF e，大幅度降低磁石特性。 另一方面，於實施例1〜4中，如上所述使用適當之有機 金屬化合物，且進行氫中預燒處理，藉此可使有機金屬化 合物熱分解而預先燒去（減少碳量）所含之碳。尤其是，將 預燒時之溫度設為200。(：〜900°C 、更佳為設為 400 C〜900 C ’藉此可燒去必要量以上之所含碳，可將燒 結後殘存於磁石内之碳量設為〇. 15 wt°/。以下、更佳為設為 0.1 wt%以下。繼而’於殘存於磁石内之碳量為〇 15 wt%以 下之實施例1〜4中’於燒結步驟中幾乎不會形成有碳化 155040.doc •25- 1374462 物’不存在如比較例2般形成複數個^卜相”之虞。其結 果如圖9〜圖U所示’可藉由燒結處理緻密地燒結永久磁 石1整體。又，於燒結後之磁石之主相内不會析出很多 ctFe，不會大幅度降低磁石特性。進而，亦可僅使有助於 提同保磁力之Nb等選擇性地偏在於主相晶界。再者，於本 發明中’根據如此藉由低溫分解抑制殘碳之觀點而言作 為需添加之有機金屬化合物，較佳使用低分子量者（例 如’含有碳數為2〜6之烷基者）。 (基於虱中預燒處理之條件之實施例與比較例之比較討論） 圖1 8係表示對實施例5及比較例3、4之永久磁石，變更 預燒溫度之條件而製造之複數個永久磁石中之碳量[wt0/〇] 之圖。再者’圖18中表示將預燒中之氫及氦之供給量設為 1 L/min並保持3小時之結果。 如圖18所示’可知與He氣體環境或真空氣體環境下進行 預燒之情形相比’於氫氣環境下進行預燒之情形時，可更 大幅度減少磁石粒子中之碳量。又，根據圖i 8，可知若將 於氫氣環境下預燒磁石粉末時之預燒溫度設為高溫，則可 更大幅度減少碳量，尤其是藉由設為400*>c〜9〇〇〇c而可將 碳量設為0 · 1 5 wt%以下。 再者’於上述實施例1〜5及比較例1〜4中，使用[永久磁 石之製造方法2]之步騾中製造之永久磁石，但於使用[永久 磁石之製造方法1]之步驟中製造之永久磁石之情形時，亦 可獲得相同之結果。 如上說明般’於本實施形態之永久磁石1及永久磁石i之 155040.doc -26 - 1374462 製造方法中，向已粉碎之錢磁石之微粉末加入添加有由M-(〇R)x(式中 ’ M係 v、M。、Zr、Ta、Ti、w或灿，r係含有 取代基，既可為直鏈亦可為支鏈，χ係任意之整數）所 表示之有機金屬化合物之有機金屬化合物溶液，從而使有 機金屬化合物均勻地附著於敍磁石之粒子表面。其後，於 氣氣環境下以20(rc〜900t;if已虔粉成形之成形體保持數 小時，藉此進行氫中預燒處理β其後，藉由進行真空燒結 或加壓燒結而製造永久磁石1。藉此，即便使Nb等之添加 量少於先前，亦可使所添加之Nb等有效偏在於磁石之晶 界。其結果，可抑制燒結時之磁石粒子之晶粒成長，並且 燒結後切斷晶體粒子間之交換相互作用，藉此阻礙各晶體 粒子之磁化反轉，可提高磁性能。又，與添加其他有機金 屬化合物之情形相比，可容易進行脫碳，不存在由於燒結 後之磁石内所含之碳而使保磁力下降之虞，又，可緻密地 燒結磁石整體。 進而’由於作為高熔點金屬之>^等在燒結後偏在於磁石 之晶界，因此偏在於晶界之Nb等抑制燒結時之磁石粒子之 晶粒成長，並且燒結後切斷晶體粒子間之交換相互作用， 藉此阻礙各晶體粒子之磁化反轉，可提高磁性能。又，由 於Nb等之添加量少於先前，因此可抑制殘留磁通密度之下 降。 又，將添加有有機金屬化合物之磁石在燒結之前於氣氣 環境下進行預燒’藉此使有機金屬化合物熱分解而可預先 燒去（減少碳量）磁石粒子中所含之碳，於燒結步驟中幾乎 155040.doc -27- 1374462 不會形成有碳化物。其結果，於燒結後之磁石之主相與晶 界相之間不會產生空隙’又’可敏密地燒結磁石整體，且 可防止保磁力下降。又，於燒結後之磁石之主相内不會析 出很多aFe ’不會大幅度降低磁石特性。 又’尤其是作為需添加之有機金屬化合物，若使用含有 烷基之有機金屬化合物、更佳為含有碳數為2〜6之烷基之 有機金屬化合物，•氫氣環境下聽磁;5粉末或成形體 時，可於低溫下進行有機金屬化合物之熱分解。藉此，對 於磁石粉末整體或成形體整體而言可更容易進行有機金屬 化合物之熱分解。 進而，將磁石粉末或成形體進行預燒之步驟係藉由於尤 佳為200。(：〜90(TC、更佳為40(rc〜9〇〇t：之溫度範圍内將成 形體保持特定時間而進行，因此可燒去必要量以上之磁石 粒子中之所含碳。 其結果，燒結後殘存於磁石之碳量成為0.15 wt%以下、 更佳為成為0.1 wt%以下’因此於磁石之主相與晶界相之 間不會產生空隙，又，可設為緻密地燒結磁石整體之狀 態’且可防止殘留磁通密度下降。又，於燒結後之磁石之 主相内不會析出很多aFe，不會大幅度降低磁石特性。 又’尤其是第2製造方法中，由於對粉末狀之磁石粒子 進行預燒，因此與對成形後之磁石粒子進行預燒之情形相 比’對於磁石粒子整體而言可更容易進行有機金屬化合物 之熱分解。即，可更確實地減少預燒體中之碳量。又，於 預燒處理後進行脫氫處理，藉此可降低藉由預燒處理而活 155040.doc • 28 · 化之預燒體之活性度《藉此，防止隨後磁石粒子與氧結 合’且不會降低殘留磁通密度或保磁力。 又，由於進行脫氫處理之步驟係藉由於200°c〜6〇〇它之 溫度範圍内將磁石粉末保持特定時間而進行，因此即便於 進行氫中預燒處理之Nd系磁石中生成活性度較高之NdH3 之情形時，亦不殘留地而可過渡到活性度較低之NdH2。 再者，當然本發明並不限定於上述實施例，於不脫離本 發明之主旨之範圍内可進行各種改良、變形。 又，磁石粉末之粉碎條件、混煉條件、預燒條件、脫氫 條件、燒結條件等並不限定於上述實施例所揭示之條件。 又，於上述實施例1〜5中，作為添加至磁石粉末之含有 Nb等之有機金屬化合物，使用乙醇鈮、正丙醇鈮、正丁醇 鈮、正己醇鈮，但若係由M_(OR)x(式中，v、M〇、 Zr、Ta、Ti、W或Nb，R係含有烴之取代基，既可為直鏈 亦可為支鏈，X係任意之整數）所表示之有機金屬化合物， 貝J亦可為其他有機金屬化合物。例如，亦可使用含有碳數 為7以上之烷基之有機金屬化合物或包含除烷基以外之含 有烴之取代基之有機金屬化合物。 【圖式簡單說明】 圖1係表示本發明之永久磁石之整體圖。 圖2係將本發明之永久磁石之晶界附近放大表示之模式 圖。 圖3係表示強磁體之磁疇結構之模式圖。 圖4係將本發明之永久磁石之晶界附近放大表示之模式 155040.doc •29· 1374462 圖。 圖5係表示本發明之永久磁石之第1製造方法中之製造步 驟之說明圖。 圖6係表示本發明之永久磁石之第2製造方法中之製造步 驟之說明圖。 圖7係表示進行氫中預燒處理之情形與未進行之情形時 之氧量變化之圖。 圖8係表示實施例1~4及比較例1、2之永久磁石之永久磁 石中之殘存碳量之圖。 圖9係表示實施例1之永久磁石之燒結後之SEM照片及晶 界相之元素分析結果之圖。 圖10係表示實施例2之永久磁石之燒結後之SEM照片及 晶界相之元素分析結果之圖。 圖11係實施例2之永久磁石之燒結後之SEM照片及以與 SEM照片相同之視野測繪Nb元素之分佈狀態之圖。 圖12係表示實施例3之永久磁石之燒結後之SEM照片及 晶界相之元素分析結果之圖。 圖13係實施例3之永久磁石之燒結後之SEM照片及以與 SEM照片相同之視野測繪Nb元素之分佈狀態之圖。 圖14係表示實施例4之永久磁石之燒結後之SEM照片及 晶界相之元素分析結果之圖。 圖15係實施例4之永久磁石之燒結後之SEM照片及以與 SEM照片相同之視野測繪Nb元素之分佈狀態之圖。 圖16係表示比較例1之永久磁石之燒結後之SEM照片之 155040.doc -30- 1374462 圖。 圖17係表禾比較例2之永久磁石之燒結後之sem照片之 圖。 圖1 8係表禾對實施例5及比較例3、4之永久磁石，變更 預燒溫度之條件而製造之複數個永久磁石中之碳量之圖。 【主要元件符號說明】

1 永久磁石 10 Nd晶體粒子 11 高熔點金屬層 12 高熔點金屬粒 41 噴射磨機 42 漿料 43 磁石粉末 50 成形裝置 51 鑄模 52 下衝頭 53 上衝頭 54 模腔 55 - 56 磁場產生線圈 61、 62 箭頭 71 成形體 82 預燒體 91 主相 92 晶界相 155040.doc •31 · 1374462 93 D d aFe相 粒徑 厚度 155040.doc

Claims (1)

1. 第100111109號專利申請案 中文申請專利範圍替換本(101年8月） 七、申請專利範圍： 一種永久磁石，其特徵在於殘留碳量為0.15Wt%以/， 且其係藉由如下步驟製造而成： 將磁石原料粉碎成磁石粉末； 於上述已柘碎之磁石粉末中添加由以下結構式 M-(OR)x (式中 ’ M係 V、M〇、Zr、Ta、Ti、W或 Nb，R 係烧基， 既可為直鏈亦可為支鏈，χ係任意之整數） 所表示之有機金屬化合物，藉此使上述有機金屬化合 物附著於上述磁石粉末之粒子表面； 藉由將粒子表面上附著有上述有機金屬化合物之上述 磁石粉末成形而形成成形體；以及 對上述成形體進行燒結β 2·如請求項1之永久磁石，其中形成上述有機金屬化合物 之金屬係於燒結後偏在於上述永久磁石之晶界。 .如°月求項1或2之永久磁石，其中上述結構式中之R係碳 數為2〜6之炫基中之任一者。 4. 一種永久磁石之製造方法，其特徵在於包含如下步驟， 且所製造之永久磁石之殘留碳量為0.15 wt%以下： 將磁石原料粉碎成磁石粉末； 於上述已粉碎之磁石粉末中添加由以下結構式 M-(〇R)x (式中，Μ係 V、Mo、Zr、Ta、Ti、W或 Nb，R係烷基， 既可為直鏈亦可為支鏈’ χ係任意之整數） 155040-10I0814.doc hh-uz 物糾：τ之有機金屬化合物’藉此使上述有機金屬化合 物：著於上述磁石粉末之粒子表面； 藉由將粒子表面上附著有上述有機金屬化合物之上述 磁石粉末成形而形成成形體；以及 對上述成形體進行燒結。 5. 如請求項4之永久磁石之製造方法，其中上述結構式中 之R係碳數為2〜6之烧基中之任一者。 155040-1010814.doc