TWI374333B - A mask used in a sequential lateral solidification process and a solidification method using the mask - Google Patents
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u/4333 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】’ 本發明係關於一種光罩以及雷射結晶方法；具體而 吕’本發明係關於一種應用於連續性侧向長晶技術之光 罩以及雷射結晶方法。 g 【先前技術】 液晶顯示器（Liquid Crystal Display, LCD)廣泛 應用在電腦、電視、以及行動電話等各種電子產品上。 液晶顯不係以積體電路驅動’因此，積體電路之電晶 體運行的速度成為影響液晶顯不器效能的重要因素之 —0 與非晶石夕内電荷載體相比，多晶矽内電荷載體的移動 性（Mobility)較高。因此多晶矽型薄膜電晶體廣泛應 % 用於液晶顯示器之積體電路。欲增加多晶石夕内電荷載體 的移動性（Mobility)，可增加結晶晶粒大小，或減少電 晶體元件之通道（Channel )中之晶粒邊界（Grain • Boundary)數目。 • 如圖la及圖lb所示’習知的低溫多晶矽的結晶技術 是利用雷射200透過光罩90之透光區域1〇照射在基板 800上的非晶矽型矽層400，使非晶型矽熔解成液態後再 固化成多晶石夕’意即形成如如圖la及圖lb中所示之第 (S ) 6
Claims (1)
1374333 十、申請專利範園： -種應用於連續性側向長晶技術之光罩，至少包括： 时主透光單元，該主透光單元相對於一橫跨於該主透 光單元尹央之對稱轴具有一主對稱透光區域；以及
一副透光單元，沿該對稱轴位於該主透光單元之兩 側’該副透光單元具有—遮光_，且該遮細案令具 有相對於該對稱輛對稱分佈之複數烟透光區域。 2.如睛求項丨所狀光罩，其中制透光單元進—步包含沿 該對設置於該主透光單元之二側之-第-副透光^ 元及一第二副透光單元。 副透光單元及第二副 3.如請求項2所述之光罩，其中該第一 透光單元包含相互為鏡面對稱。 4.=Γ糊，她糊梅具有複數個 5.岭求項4所述之光罩，其中該些遮光線條係具有相同大 小。 6.如請求項4所述之光罩， 其中該些遮光線條係具有不同大 7. ^^項丨所述之光革，其中該副透先單元之開口率係為 以及1以外之值，開Π率係指單位面積中 複數個副透光區域的面積所佔之比率。 、 8. 如請求項丨所述之光罩，其中 主透光單元連通。 】透光早讀、與相鄰之驾 卜’年w Η修轉充 9. 如請求項1所述之光罩，其中該副透光單元係與相鄰之該 主透光單元獨立。 10. 如請求項1所述之光罩，其中該主透光單元相對於該 對稱軸兩端之兩側之形狀包含尖錐形。 U.如請求項1所述之光罩，其中該主透光單元相對於該 對稱軸兩端之兩側之形狀包含圓弧形。 12·如請求項1所述之光罩，其中該主透光單元相對於該 對稱軸兩端之兩側之形狀包含矩形。 3· 種雷射結晶形成多晶紗層的方法，其步驟包含： 提供一基板，其中該基板上具有一非晶矽層； 提供一光罩，至少包含： 主透光單元，該主透光單元相對於一橫跨於該主 透光單元中央之對稱轴具有一主對稱透光區域；以及 一副透光單元，沿該對稱軸位於該主透光單元之兩 側，該副透光單元具有一遮光圖案，且該遮光圖案中 具有相對於該對稱軸對稱分佈之複數個副透光區域， 該副透光單元包含沿該對稱軸設置於該主透光單元之 二側之該一第一副透光單元及一第二副透光單元； 使用雷射透過該光罩熔融該非晶矽層，以於該基板上產 生一第一結晶區域，該第一結晶區域包含分別與該主透光單 兀、該第一副透光單元、以及該第二副透光單元對應之一主 結晶單元、一第一副結晶單元、以及一第二副結晶單元； 移動該光罩，使對應於該些第一副結晶單元之該些第一 P I 月^°日修轉充 副透光單元移動至與該些第二副結晶單元對應；以及 使用雷射透職光雜融麵㈣層，以於該基板上產 生一第二結晶區域。 14财t請麵13 之妓，其巾該鮮似平行於該 對稱軸之方向移動。 15. 如請求項13所述之方法，其中該一第一副透光單元 及-第二副透光單元包含相互為鏡面對稱。 16. 如請求項13述之方法，其中該遮光圖案包含具有複 數個遮光線條。 如請麵13所述之方法，其t遮光線條係具有 相同大小。 18.如請求項13所述之方法，其中該些遮光線條係具有 不同大小。 19. 如請求項13所述之方法，其中該副透光單元之開口 率係為0、〇.5、71/4、以及1以外之值，開口率係指單位 面積中複數個副透光區域的面積所佔之比率。 20. 如請求項13所述之方法，該副透光單元係與相鄰之 該主透光單元連通。 21. 如請求項13所述之方法，其中該副透光單元絲相 鄰之該主透光單元獨立。 22. 如請求項13所述之方法，其中該主透光單元相對於 該對稱轴兩端之兩側之形狀包含尖錐形。 23·如請求項13所述之方法，其中該主透光單元相對於 1374333 ί年 a修正補患 該對稱軸兩端之兩側之形狀包含圓弧形。 %如請求項13所述之方法，其中該主透光單元相對於 該對稱軸兩端之兩側之形狀包含矩形。 25你田如姐項13所述之方法，更包括重複移動該光罩盘 26用該f射’使該非紐層轉變成-多晶韻。” 中今M 4項25所述之方法，更包括—馳電晶體，其 電晶财含鮮轉層。 顯示装月求項25所述之方法，更包括一薄膜電晶體液晶 ’其中該薄膜電晶體液晶顯示器包含該多晶石夕層。
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