TWI357856B - Methods and apparatus for applying patterns of non - Google Patents

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TWI357856B TW096123897A TW96123897A TWI357856B TW I357856 B TWI357856 B TW I357856B TW 096123897 A TW096123897 A TW 096123897A TW 96123897 A TW96123897 A TW 96123897A TW I357856 B TWI357856 B TW I357856B
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Description

丄357856 九、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本心月係關於成像系統及方法。本發明之具體實施例提 供用於成像非鄰接特徵圖案之方法及裝置。本發明可應用 於製造(例如)用於電子顯示器的濾色片。 【先前技術】 用於製造顯示器及半導體電子器件之常見技術涉及若干 成像步驟。一般而言,在每一步驟,透過一照相工具光罩 將塗布一光阻或其他敏感材料之基板曝露於輻射下以實 現某些變化。各步驟具有一有限的失效風險。在各步驟的 失效可能性會降低整體程序良率並增加成品之成本。 一特定範例係製造用於平板顯示器(例如液晶顯示器)之 濾色片。因為高材料成本與低程序良率,濾色片製造可能 係一極叩貴的程序。傳統微影蝕刻處理涉及使用諸如旋 塗、狹縫式及旋轉或無旋轉塗布之一塗布技術將彩色光阻 材料施加至一基板。接著經由一照相工具光罩來曝光該材 料並顯影。 已提出轉移程序用於製造顯示器且特定言之係濾色片。 在此類%序中,一濾色片基板(也稱為一接收器元件)覆蓋 有一施體元件,接著逐影像曝光該施體元件以選擇性將一 著色悧從该施體元件轉移至該接收器元件。較佳的逐影像 方法使用雷射光束以引發將著色劑轉移至接收器元件。二 極體雷射由於其易於調變、低成本及小尺寸而特別較佳。 熱轉移程序包括雷射引發"熱轉移"程序、雷射引發"染 J22045.doc 1357856 料轉移"程序、雷射弓丨發"溶化轉移"程序、雷射弓丨發”燒蝕 轉移"程序及雷射引發”質量轉移”程序。在熱轉移程序期 間所轉移的著色劑可包括以適當染料或顏料為主的成分。 如雷射質量轉移程序中所習知,可轉移諸如一或多個黏結 劑之額外元件。 直接成像系統一般平行採用數百計的個別調變光束以減 小完成影像所需之時間。具有大量此類"通道"之成像頭容 易講得。例如’由加拿大卑詩省K〇dak Graphic C〇miminications Canada Company製造的一 SQUAREsp〇t(g) 型熱成像頭具有數百個獨立通道’各通道具有超過25 mW 的功率。可控制成像通道陣列,以便將一影像寫入一系列 帶内’該等帶緊密鄰接以形成一連續影像。 夕通道成像系統的一問題在於極難保證所有通道具有同 一的成像特性。在通道中的不同成像特性可能由於該等通 道投射在成像媒體上的輸出輻射差異。由成像通道陣列所 發射之輸出轄射變化可能由於通道對通道的功率、光束尺 寸、光束形狀及/或焦點變化而引起。該些變化歸因於產 生稱為條帶的一常見成像假影。條帶經常在兩個連續成像 帶之間的區域内格外突出。此點主要因為最後成像帶末尾 與下一成像帶開始通常由一多通道陣列之相對端的通道來 寫入°如此,該些通道更可能具有不同的成像特性。通道 對通道逐漸增加的一斑點特性在帶自身内可能可見或可能 不"T見’但一帶鄰接另一帶時,在帶邊界處的一可見不連 續性可能會在影像中造成一突出的假影。條帶可以係任一 122045.doc 連續帶之重疊或分離以及在該等各別帶之各帶内的通道不 一致性之一函數。 已使用各種方案,以試圖精確定位相鄰的帶。一般必須 精確控制成像帶之位置,但仍不足以消除條帶,尤其在成 像系統回應變化的環境因素而隨時間變化時。條帶假影可 旎不僅歸因於成像系統。成像媒體自身還可能貢獻條帶及 其他成像假影。 美國專利第 4,9〇〇,13〇、5,164,742、5,278,578、5,808,655、 6,597,388、6,765,6〇4及6,900,826號揭示各種方法以試圖 減輕諸如條帶之各種假影問題。 已提出”光柵掃描線”交錯技術用以減小條帶及其他成像 假影。光拇知描線父錯技術之範例係揭示於美國專利第 5,691,759、6,597,388、6,784,912及 6,037,962號中。包括 條帶之影像假影可能在成像一非鄰接特徵圖案時進一步惡 化。 影像假影複雜化還可成像在生產濾色片中一般所需之一 重複非鄰接特徵圖.案中採用一熱轉移程序時引起。漁色片 一般由一重複色彩元件圖案所組成,各元件對應於渡色片 所需之該等色彩之一。該等色彩元件之各元件一般在寬度 上小於使用一多通道成像頭所能成像之整體帶之寬度。包 括條帶之各種影像假影可在不同色彩轉移效率在該等色彩 元件之間以及在該等元件自身内引起差異時產生。由於該 等線形成一重複圖案’故導致肉眼可容易覺察的—視覺節 拍,其一般會降低濾色片之品質。 122045.doc 1357856 仍需要減輕與成像非鄰接特徵圖案相關聯之條帶及i他 ί像假影之可見性之成像方法。仍需要減輕與成像重複非 钟接特徵圖案(例如減芦κ φ μ Α ^ ^ 愿色片中的色彩元件圖案)相關聯之條 帶及其他成像假影之可見性之成像方法。 【發明内容】 一種用於成像非鄰接特徵圖案之方法’ 通道成像頭之一第-掃描期間操作該成像頭,其 頭係相對於該接收器元件前進以藉由-熱轉移程序來將第 :及第二非«特徵從-施體元件轉移至該接收器元件, =隨Γ r4成像頭之—第二掃描期間操作該多通道成像 、、中該成像頭係操作以藉由該熱轉移程序來將一第三 非鄰接特徵從該施體元件轉移至該接收器元件。該等第一 及第-特被至少在-子掃描方向上相互空間分離。該第三 特徵係在該等第一及第二特徵之間且至少在該子掃描方: 上與该等第-及第二特徵之各特徵空間分離。在該等第— 及第二掃描中’該成像頭可在相同方向上或在相反方向上 相對於該接收器元件移動。 本&月之另-方面提供一種用於在一接收器元件上形成
複數個非鄰接辟:彳终> t、土 L ㈣接特奴方法。該方法包含將該等特徵之複數 固子集依序轉移至該接收器元件之—區域。對於各子集, 該方法包含操作包含複數個通道的一成像頭,同時在:掃 描方向上相對於該接收器元件來移動該等通道,其中該區 域在,過該掃描方向的一子掃描方向上比該成像頭之一帶 更狭窄。各子集之該等非鄰接特徵之轉移係在該等成像頭 122045.doc 1357856 之掃拖中元成。該等特徵分離至少一通道寬的間隙,並 一般有二或更多通道寬。該等特徵之各特徵係由—至少二 相鄰通道群組來製成。 本發明之另-方面及本發明之具體實施例之特徵揭示如 下。 【實施方式】 在下列說明通篇中,呈現具體細節以向習知此項技術者 提供-更透徹的理解。然而,可能未曾詳細地顯示或說明 熟知兀件以免不必要地混淆揭示内容。因此,本說明書及 圖式均視為說明性而非限制性。 本發明係關於成像非鄰接特徵圖案。該等圖案可包括重 複圖案或不重複圖案。該等圖案不一定係規則圖案。一非 鄰接續特徵係至少在一子掃描方向上與其他特徵分離的一 特徵。特徵可藉由沿一掃描方向引導成像光束來形成且一 非鄰接特徵係可至少在一橫過該掃描方向之方向上與其他 特徵分離的一特徵。在一些具體實施例中,該等非鄰接特 级係巨觀圖形貫體(即大得足以憑無輔助肉眼可解析之實 體)。在一些此類具體實施例中,該等非鄰接特徵在一子 掃描方向上具有可以係至少1/20 min的尺寸。 來自用於LCD顯示面板之濾色片類型的一色彩之色彩元 件係非鄰接元件之一範例。用於LCD顯示面板之濾色片一 般包含複數個色彩之各色彩之色彩元件圖案。該等色彩元 件可包括(例如)紅、綠及/或藍色元件。該等色彩元件可採 用各種適當組態之任一組態來配置。例如: 122045.doc 1357856 條紋組態(如圖1A所示)具有交替的紅、綠及藍色行; 鑲嵌組態(如圖1Β所示),具有在二鑲嵌尺度上交替的色 彩元件; 還使用三角組態(未顯示),其具有相互成一三角關係的 紅、綠及藍色遽光片元件。 圖1Α顯示一傳統”條紋組態”濾色片1〇之一部分,其具有 分別橫跨一接收器元件1 8以交替行而形成的複數個紅、綠 及藍色彩元件12、14及16。色彩元件12、14及16係由劃分 該等元件的一黑色矩陣20之部分來描晝輪廓。黑色矩陣2〇 可有助於防止該等元件之間的任何背光洩漏。該等行係一 般採用伸長條紋來成像,並接著由黑色矩陣2〇細分成個別 色彩元件12、14及16。在相關聯LCD面板上的丁FT電晶體 (未顯示)一般由黑色矩陣之部分22來遮罩。 圖1 B顯示採用一鑲嵌組態配置的一傳統濾色片1 0之一部 分,其中色彩元件12、14及16沿該等行以及橫跨該等行而 交替。應注意’該等濾色片不限於圖1A及1B所示之該等 紅、綠及藍色序列並還可使用其他色彩序列。 一般而言’在製造一濾色片10期間,該等色彩元件12、 14及1 6之各色彩元件可部分或完全地重疊描繪每個各別色 彩元件輪廓之黑色矩陣20之個別部分。重疊黑色矩陣可減 小對位問題’該等對位問題在試圖在由黑色矩陣2〇之對應 部分所描繪的一給定色彩元件之該等邊界内精確地將色彩 施加至該元件時會遭遇到。 色彩元件可藉由,,熱轉移"程序來施加。熱轉移程序可包 122045.doc -10· 1357856 括雷射引發熱轉移程序。孰鐘孩招皮上 ^ ·,、、轉移程序可包括逐影像轉移染 料及其他合適影像形成好祖 豕〜成材枓’例如顏料及類似著色劑成 分。熱轉移程序可包括轉移一著色劑及一黏著劑。
在使用一熱轉移程序來產生色彩元件之情況下,在成像 後移除各後續色彩施體時’可能會出現邊緣不連續性及諸 如針孔的各種假影。該些假影可能會出現,因為在剝離色 彩施體時,在該等邊緣處已經轉移之有色成像材料可能不 具有足夠的黏性剝落強度以保持附著至染料接收器元件。 重疊黑色矩陣20可隱藏任何此類邊緣不連續性並可有助於 確保獲得在㈣個別色彩元件之間的所需對比度,由於在 該等色彩元件自身内的,,無色"空洞會減小。
圖3示意性顯示用於製造一濾色片1〇之一傳統熱轉移程 序。此程序涉及使用—乡通道成像頭26來直接成像一媒 體。在此情況下,該媒體包括與一接收器元件18適當配置 的-色彩施體元件24。接收器元件18 一般具有一黑色矩陣 2〇(未顯示)形成於其上。儘管一熱轉移程序自身可用於產 生黑色矩陣20,但黑色矩陣2〇 一般由可提供所需精度並 避免任何邊緣假影及不連續性形成於黑色矩陣2〇自身内的 微影蝕刻技術來形成。 施體元件24包括一影像形成材料(未顯示),其可藉由操 作多通道成像頭26而逐影像轉移至接收器元件18。該濾光 片之紅、綠及藍部分一般採用單獨成像步驟來成像;各成 像步驟涉及使用欲成像的下—色彩施體元件來替換前面色 彩施體元件。該濾光片之該等紅、綠及藍色部分之各部分 122045.doc • 11 - 1357856 係一般轉移至接收器元件1 8,使得該等色彩部分之各部分 對位描繪該等色彩元件之各色彩元件的黑色矩陣之該等個 別部分。在已經轉移全部色彩元件之後,所成像的濾色片 可經歷一額外退火步驟以改變該等成像色彩元件之一或多 個物理性質(例如硬度)。
一傳統以雷射為主多通道成像頭如圖2示意性所示,其 採用一光閥來產生複數個成像通道。一線性光閥陣列1 〇 〇 包括在一基板102上製造的複數個可變形鏡面元件1〇1。鏡 面元件101可以係微型(MEMS)可變形鏡面微元件。一雷射 1〇4可使用一包含圓柱透鏡108及110之歪像擴束器來產生 一照明線106。照明線1 06橫向散佈於複數個元件1 〇 1上, 使得該等鏡面元件101之各鏡面元件受一部分照明線1〇6照 明。授予Gelbart的美國專利案5,517,359說明一種用於形成 一照明線之方法。 當元件101處於其未致動狀態時,一透鏡112一般透過在
一孔徑光闌1 16内的一孔徑114來聚焦雷射照明。來自致動 元件ιοί之光受到孔徑光闌116的阻擋。一透鏡118成像光 閥100以形成複數個個別逐影像調變光束12〇,其可在一其 板之區域上掃描過以形成一成像帶。該等光束之各光束受 該等几件1G1之-控制且該等光束之各光束可操作用以依 據對應元件101之狀態來將一,,影像像素"成像或不成像在 成像基板上。在此方面,該等元件101之各元件控制一多 通道成像頭之一通道。 接收器 元件18或多通道成像頭26或 一者植合係相互相對 122045.doc 12 1357856 置放而成像頭26之該等通道係回應影像資料受控制以產生 成像帶。在—些具體實施例中,該成像頭係靜止而該接收 器元件移動;在其他具體實施例中,該接收器元件係靜止 而該成像頭移動;且在其他具體實施例中,該成像頭與該 接收m牛二者均移動以沿一或多個掃描路徑在該成像頭 與該接收器元件之間產生所需相對運動。 當成像相對剛性的接收^件18時,如在製造顯示面板
中所2見的’所使用的成像器通常係一平台型成像器,其 已括在平直方位上固定接收器元件18的支揮件。授予
Gelbart的美國專利案6,957 773揭示—適用於顯示平板成像 之高料台型成像器之-範例。或者,撓性接收器元件Μ 可固疋至一”鼓式”支撐之一外或内表面以影響該等帶之成 像。在假定基板足夠細薄且支撐件直徑足夠大之情況下, 即便傳統上認為剛性的一接收器元件(例士口玻璃)仍可成像 在一以鼓為主成像器上。 圖3示意性顯示一濾色片接收器元件18之一部分,其已 採用-雷射引發熱轉移程序中圖案化有複數個紅色條紋 3〇、32、34及36。在此程序巾,包括一影像形成材料(同 樣未顯不)的一施體元件24係適當地定位於接收器元件1 8 上且泫複數個紅色條紋30、32、34及36係藉由將該影像形 成材料之部分轉移至接收器元件1 8上來成像在接收器元件 1 8 i + 丁 。在圖3中,僅出於清楚起見,施體元件24之尺寸係 ’貝不為小於接收器元件18,且在需要時可重疊接收器元件 18之一或多個部分。 】22045.doc •13- 1357856 該等紅色條紋3〇、32 ^ - A± ^ 、'工色條紋不必僅與該 戶 樣寬 且逛可以有足夠寬 X在母個個別條紋内部部分重疊描繪每個紅色元件之黑 二:陣垂直片斷(未顯不)β 一色彩施體元件之每個連續成 像句需要成像一重複非鄰接特徵圖案。條紋30、32、34及 ⑽此類非鄰接特徵圖案之—範例。該等條㈣、η、μ 及36之各條紋係沿一子掃描方向44相互空間分離。多通道 成像頭26包括複數個可個別定址成像通道40,並位於一第 -位置38内。圖3將該等成像通道4〇與所轉移圖案之間的 對應關係描述為虛線4 1。 儘管在圖3及从中以與成像圖案相同尺度來顯示多通道 成像頭26 ’但該些示意圖僅心顯示該等錢通道4〇與其 個別成像特徵之間的對應關係且不,一定係一實體關係。實 際上’如圖2所示’該等成像光束係藉由—或多個透鏡而 引導至欲成像基板上,該等透鏡可在該基板平面處重新格 式化成像帶之大小及形狀。 當依據欲寫入的非鄰接特徵圖案來逐影像調變時,多通 道成像頭26所產生之該等成像光束係沿—主掃描方向以而 在接收US件18上掃描。諸如通道子群組批通道子群組 係適當驅動以在需要形成一非鄰接條紋特徵的任何時候產 生主動成像光束。將會適當驅動不對應於該等特徵之其他 通道以不成像對應區域。若多通道成像頭26之全部可成像 通道係驅動以成像對應像素,則成像頭26可產生一成像 帶,其寬度與在該陣列内的一第一通道所成像之第一像素 •14· l22045.doc 1357856 與在該陣列内的一最後通道所成像之最後像素之間的距離 相關》由於接收器元件18一般過大而無法成像在一單一成 像帶内,故一般需要多個成像頭掃描以完成成像。在此情 況下,每個成像帶之後跟隨一子掃描方向44上的多通道成 像頭26之平移,使得一後續成像帶一般會緊靠先前成像 帶而排列。
如圖3所示,沿子掃描方向44移動多通道成像頭%在完 成在主掃描方向42成像各帶之後發生。或者,多通道成像 頭26可與該主掃描運動同步,沿子掃財_相對於接收 器元件18而平移’以便補償受成像系統影響的主掃描方向 與相對於接收器元件18之所需影像放置之間的可能彎斜。 或者,在鼓式成像器中,可能在主掃描42與子掃描方向44 二者上同時成像,從而螺旋狀寫入影像。 -般存在若干部分用於將—先前成像帶對齊—後續成像
可。亥二口P刀可包括重登該等先前及後續成像帶一或多個 成像像素寬度。或者,後續成像帶之第—成像像素可盘先 前成像帶之最後成像像素間隔—距離,該距離與成像像素 之間的一間距相關。 . 再次參考圖3,條紋34之紅色條紋3〇、32及部分34,係在 該成像頭之-第-掃描期間成像。在完成掃描時, 多通道成像頭26(在第—部分38内)係在子掃描方向料而位 移至一新位置3 8 ’(為清接捉§ ”、 奸 月楚起見’如虛線所示並偏離位置 38)。在此範例中’如圖3所示 、子掃描移置與在多通道成 像頭26上可用通道數目有 、氣 有關(在此情況下35個通道卜應明 122045.doc •15· 1357856 白’多通道成像頭26可包含任—適#的複數個通道且不限 於此範例中所述之35個通道。在新位置38•的移置多通道成 像頭26使相㈣像頭26之最後通道45之先前位置的第一通 道46位於第-位置38處’從而成像條紋34之—部分从、 避免在條紋34之部分34,與34"之間的邊界處出現如線㈣ 不之-可見不連續性極為困難。在相鄰成像帶之間的此可 見不連續性可引起一條帶。
該等成像通道之輸出功率的即便極小功率差異(在1%級 別上)仍可由於改變所轉移影像形成材料之數量而影響轉 移影像形成材料之一成像特性(例如光學密度或色㈣ 度)。用^熱轉移程序之該等施體元件24_般具有有限的 成像寬谷度’目而視為具有非線性成像屬性。非線性成像 屬性可進一步惡化減小諸如條帶之假影之努力。 ▲產生-重複非鄰接特徵圖案(例如-濾色片)時,條帶
可此羞仟更加突出。當成像一重複非鄰接特徵圖案時,比 較在一給定帶内所成像的内部或"内側"非鄰接特徵,條帶 可能受與外圍或"外側,,成像的非鄰接特徵相關聯的不同成 像特性的支配。 -圖4A描述_ —雷㈣發熱轉移料所錢的—接收器 凡件18之—部分。—重複非鄰接特徵_案係成像於-接 收器元件18之一部分上。在此範例中,重複圖案50係由十 ^固非鄰接特徵51組成。在此範例中,圖案5〇對應於由— 夕通道成像碩26所成像的—單―帶。換言之,非鄰接 圖案灣成像於一單一帶内並因而在多通道成像頭“之― I22045.doc 16 1357856 單一掃描期間可成像。 • 重複非鄰接特徵圖案5〇可形成另一圖案(例如一濾色片) 之一部分。在此範例中,該等非鄰接特徵51之各特徵包含 一非鄰接條紋特徵。各非鄰接特徵51係由下列特徵編號之 • —來識別:#1、#2、#3、#4、#5、#6、#7、#8、#9、 , ^、#11、#12、#13、#14、#15及#16。在此情況丁,該 等特徵編號識別該等非鄰接特徵51之各非鄰接特徵並還指 ^ 示成像圖案50内的各特徵51之位置。 在此範例中,該等非鄰接特徵51之各特徵係由成像通道 40的一子群組52來成像。在此範例中,各子群組兄由5個 鄰接成像通道40組成。應注意,在此範例中,多通道成像 頭26由240個個別成像通道4〇組成。清楚起見,僅顯示對 應於子群組52的該等成像通道4〇。在此範例中,各成像通 道40能夠成像一大約2〇微米寬的像素,因而各成像通道子 群組成像一大約100微米寬的非鄰接特徵51(沿子掃描方向 • 44)。該等非鄰接特徵51之各非鄰接特徵係由五個鄰接光 拇線來成像,由於在沿主掃描方向42掃描成像頭%時該等 對應成像通道子群組52之各子群組係以一影像相依方式來 驅動。該等條紋特徵51之各條紋特徵以-大約3G0微米的 , 間距沿子掃描方向44配置。 圖4A不意性描述成像在—接收器元件以上^位的一第― 色彩施體元件24(未顯示)。一般需要額外色彩施體元件之 後續掃描以完整渡色月。在該些後續掃描中’其他不同色 彩的非相鄰條紋特徵可成像於該等非鄰接條紋特徵W之間 122045.doc -17· 1357856
h 的空間内’如圖4A所示。 在圖4B 5及6所示之圖表中,色彩密度值係表示為 ”/3光強度位準,其(例如)由用於測量各非鄰接特 徵的一分光光度計來決定。在測量尺度上,255表示一最 大測直光強度’而〇表糸一最小測量光強度。色彩密度隨 光強度反向變化。因此’更高的光強度值對應於更低的密 度值。 圖4B顯示外側非相鄰特徵#1及川之該#色彩密度明顯 低於(即更高的測量光強度)内侧特徵#2至# 15之該等色彩密 度。該等非鄰接特徵之此"特徵"特定密度變化以及重複本 質可產生一節拍效果,其突出相鄰帶之間的條帶。 圖4B表示在一接收器元件18上定位的一第一色彩施體元 件之-成像結果。額外色彩施體元件之後續成像步驟可產 生類似圖表,但在所成像非鄰接特徵之間的密度變化數量 可此不同於圖4B所示之該等數量。 儘管多通道成像頭26之各種調整可對圖4B所示之特徵密 度輪廓產生一些變化,但本發明者頃發現,此類調整一般 對於此類·.以特徵為主”密度變化具有—不合需要之小量影 響。該些以特徵為主密度變化可在接收器元件抑括一玻 璃基板時以及在接收器元件】8包括一 一 #祕# 1 頌外黑色矩陣形成於 玻璃基板上時觀察到、該些以特徵A ^後 竹倣為主岔度變化可在該 寺〜像之任何退火之前及之後觀察到。 圖6顯示包含兩個曲線(即"控制, 圖矣甘 兩越"曲線)的一 圖表,其比較依據兩種情況所成像的— 丁 /、個條紋狀非鄰 122045.doc -18- 接特50圖案之特徵特定色彩密度。在兩種情況下,非鄰 嗜等:5〇之圖案與圖从所示之圖案相同。在兩種情況下, 寬声六個成像的非鄰接特徵51之各非鄰接特徵在子掃描 ^上包含-大約⑽微米的條紋特徵。該等條紋特徵Η 置各條紋特徵以-大約·微米的間距沿子掃描方向做 _控制"曲線對應於一第一情況,其涉及前述及由圖4B所 ΪΙ曲線所示之十六個非鄰接特徵50圖案之一傳統成像。在 :工制#線中’所有非鄰接特徵51(即编號為^^、 3、料、#5、#6、#7、#8、#9、#1〇、#11、#12、犯、 =、#15及#16的特徵)係傳統上在多通道成像頭%之一單 一掃描期間成像。即,所有十六個非鄰接特徵㈣在成像 頭26所產生之一單一成像帶内產生。 兩趟”曲線對應於相同的圖4A所示,但依據本發明之— 範例性具體實施例來成像之十六個非鄰接特徵5〇圖案。在 該"兩趟”曲線中’該等非鄰接特徵51(即編號為#1#2、 吞3、#4、#5、#6、#7、#8、#9、#1〇、#11'#12'#13、 #14、#15及#16)係在多通道成像頭27之複數個掃描期間成 像。該等十六個非鄰接特徵51之一些非鄰接特徵係在多通 道成像頭26之-第-掃描期間成像而其他非鄰接特徵川系 在該多通道成像頭之-額外掃描期間成像。如上所述,所 有十六個非鄰接特徵51均可在該多通道成像頭之一單一掃 描期間完全成像。 月確而。在兩趟情況所示的本發明之範例性具體實 122045.doc -19- 1357856 包例中#通道成像頭26之一第一掃描成像來自該非鄰接 色彩特徵圖案5〇的楚,# 接 一 〇的一第一組非鄰接特徵51,而多通道成像 之一第二掃描成像來自圖案5〇的一額外組非相鄰特徵 51在D亥兩趟•,情況下,該額外組的成員係與該第一组之 成員以交錯方式來成像。該等第一及第二掃描可在相同方 °或在相反方向上執行。(即,該多通道成 等第一掃描及第-操> +上 第一%描期間在相同方向上或在相反方向上
相對於該接收器元件移動)°該多通道成像頭可在用於該 等第-及第二掃描二者之子掃描方向上具有相同位置或可 在》玄等帛及第二掃描期間在子掃描方向上偏移。 在该控制情況與該兩趟情況二者下,完整的十六個非鄰 接特试圖案5G並不比—帶更寬,故所有特徵可在多通道成 像頭26之一單一掃描期間成像。 交錯該等非鄰接特徵涉及將該等非鄰接特徵分成至少二 群組。在一多通道成像頭之一單一掃描期間成像一第一 八包3至乂第一及第二非鄰接特徵。在該多通道成像 頭之額外掃&期間在該等成像第—及第二非鄰接特徵之 間成像-第二組’其包含位於該等第一及第二非鄰接特徵 之間的該等非鄰接特徵之至少一第三者。 二或更多組之至少一組(各組係由一或多個選定非鄰接 特徵所組成)可與該二或更多組之至少一額外組交錯。在 圖6所示之範例性具體實施例中,非鄰接特徵' μ、 、#7、#9、#11及#13係在成像頭26之一第一掃描期間成 像而非鄰接特徵#2、#4、#6、#8、#1〇、#12、#14及 122045.doc -20· 1357856 在該成像頭之-第二掃描期間成像。所成像的非鄰接特徵 m㈣、#12、#14及#16與所成像的非鄰接 色彩條故特徵、#3、#5、#7、#9、#11及#13交錯。 如圖6所示,比較所成像非鄰接特徵#2、妁、料 ' 以、 料、#7、#8、#9、#1〇、#n、#12、#13、#i4及川之其他 部分,傳統成像的•,控制·|曲線顯示在所成像非相鄰特㈣ 及#16之間的相對明顯色彩密度變化。由於主要集中在成 像帶的邊緣處,該些密度變化可能在相鄰帶之間的條帶效 應,從而可能不利地影響最終影像品質。比較所成像" 側"非鄰接特徵 #2、#3、#4、#5、#6、#7、#8、#9'#1〇、 #12、#13、#14及#15之其他部分,依據本發明之— 範例性具體實施例所成像的·.兩趟"曲線顯示在所成像 側非相鄰特㈣及#16之間的相對微小的色彩密度變化。 該"兩趟"曲線顯示微小密度變化存在於在各掃描期 像的該等選定非鄰接條紋特徵之各特徵之間。 :特掃描之各掃描相_相 ηβ 一在度殳化數罝與在該”控制"曲線情況期間的— 早一掃描期間所成像的該等,,内側"特徵相關 特:密产:變化數量相當。即,該”兩趟,,曲線顯示與成::: 第掃描期間的非鄰接特徵#1、#3、#5、#7、料 =13與在—第:掃描期間的非相鄰條紋特徵#2、#4/ 8 #1〇、#12、#14及#16相關聯的相對密度變化數 相互相當並盥右纺"在丨· 里 '在該控制曲線情況下成像内側非鄰接特徵 、料、#5、#6、#7、#8、#9、#1〇、#11、化、 122045.doc ^^/856 #13、#14及#15相關聯的相對密度變化數量相當。該"兩趟” 顯示在相鄰定位成像非鄰接特徵51之間的略微較高色 形:度變化,但整體上,橫跨在完全成像圖案5〇内的所有 =.、個非連續特徵51的密度變化減小。比較該"控制曲線", '兩趟曲線顯示橫跨該完全成像圖案50内的所有十六個 ^鄰接特徵51的密度變化實質減小。橫跨完全成像圖案50 帶。斤有非郴接特徵5 !之減小密度變化一般會引起減小的條 :各組非鄰接特徵内的該等特徵不一定相互均句間隔。 电°因,尋特徵可隨機地或依據一預定配置而指派給各 成-”心”圖在ΓΓ所成像的該等特徵自身可能無法形 之間的最x佳的係,在該等組之任-組内的特徵 在特徵之^ 於圖案50内的特徵51之間的最小間隔。 ^ 3 s ·最小間隔可在該等組中不同。在-此且體實 細例t,該等Μ料办/ 二,、體實 、徵係私派給三或更多單獨成像的組。 疋,圓4B所示之帶邊緣變化可 接特徵51之各特徵之間的間隔所干於=:非鄰 明之一方而 所不’並依據本發 像-非鄰接特=定,當在該成 像内側非鄰接特徵2時’所成像外側非鄰接特徵與所成 特徵之各==像特性變化可由於增加該等非鄰接 非鄰接特徵之nr而減小。頃發現該等外側及内側 成像特性變化會減小條帶。 圖5顯示—+ - ^ 單獨情況之—情表序列。各圖表記錄針對在十二個 所成像的一重複非鄰接特徵圓案50 122045.doc -22- 該等十:二色彩密度(作為-測量光強度值之-函數)。在 係在—二固早獨情況之各情況下’非鄰接特徵51之圖案5〇 5〇内成I通道成像頭%之—單—掃描期間成像。在各圖案 =像的非鄰接特徵51之數目在各情況下不同。由於在 ,以期間均维持相同的帶寬度與特徵大小(即在此情 :下子掃描寬度),故各圖表將一成像非鄰接特徵“之色 ’密度作為在相鄰非鄰接特徵51之間的子掃描間隔之一函 數來進行比較。該等圖表之各圖表表示使用一多通道成像 頭26成像在—大約78微米厚玻璃接收器元件18上的-第一 色I知體7L件24之結果。該等成像非鄰接特徵5 i之各特徵 在各圖表令表示為符號,,!"。在所有情況下,各成像非鄰接 特U 5 1沿與成像相關聯的一子掃描方向大約⑽微米寬。 圖5圖表之各圖表§己錄與成像非鄰接條紋特徵$ 1相關聯 的成像特性變化。在此範例中,該成像特性係色彩密度。 如圖5所示,各圖表係由以下曲線編號:2、3、4、$、6、 、、9、10、12、14及20之一來識別。每個個別曲線編 唬對應於在該等成像非鄰接特徵之各特徵的個別成像期間 分離未成像像素之數目◊在各情況下,各成像或未成像像 素大約為20微米寬(即沿子掃描方向)。因此,由曲線編號2 所表不之圖表對應於一非連續特徵51(條紋)之圖案5〇,其 中各非鄰接特徵5 1大約1〇〇微米寬並與一相鄰特徵分離— 4〇微米的間隔(即一 20微米像素寬度乘以一兩個像素特徵 間隔)。由曲線編號20所表示之圖表對應於一非連續特徵 5 1之圖案50 ’其中各特徵大約1 〇〇微米寬並與一相鄰特徵 122045.doc -23- 分離一 400微米的間隔(即一 20微米像素寬度乘以一2〇個像 素特徵間隔)。在該等圖表之一些圖表中,由"丨"符號所表 不的各個別條紋特徵5 i可能無法清楚區 >,因丨在與該特 疋圖表相關聯的該等成像非鄰接條紋特徵之間的—相對較 小間隔。 依據本發明之一方面,在該多通道成像頭之一給定掃描 中所成像的相鄰非鄰接特徵51之間的成像特性(即圖5之範 例中的色彩密度)變化可藉由增加一次成像的該等非鄰接 特徵之成像特徵變化之間的子掃描間隔來加以實質減小。 習知此項技術者從圖5應明白,當該等大約1〇〇微米寬非 鄰接特徵51之各特徵分離大約300至400微米時,可減小帶 内成像的該等特徵5丨之成像特性變化,如標注曲線的圖 表所不。在該等成像非鄰接特徵之間的減小變化一般會減 小諸如條帶之類的影像假影。 條帶可能與熱效應相關,尤其在—雷射引發熱轉移程序 之清况下。忒些熱效應可能歸因於在相鄰定位成像光柵線 之間的熱相互作用。各光柵線由像素行所組成,各行—般 在與用於成像料光柵線之成像頭相關聯的—主掃描成像 方向上對齊。在熱轉移程序期間,熱能量―般隨著成像各 像素而釋放。成像—給定像素可能產生__熱能量輪廊,其 從成像像素之空間邊界向外延伸至要成像相鄰像素之區域 内由於成像任何'給定像素均依賴於用於該像*之影像資 料指令,故影像相依熱曝光輪廓可能會針對相鄰成像像素 產生不$的成像條件’從而潛在地在像素中產生變化。在 122045.doc -24. 1357856 一單一帶内所成像之該算 . ^ 以#像素之各像素之位置還可能在該 . 荨像素之中引起顯著變仆。^ & «t & 兩者羑化位於帶内部的該等像素可能_ • I會比位於料帶之外侧端的該等像㈣光於更多熱能量 下。在該等成像像素内的變化可能引起條帶及/或其他不 ' 合需要的影像特性。 . 儘管條帶可能由熱變化產生’但直接歸因於熱轉移程序 自身及/或其相關聯媒體之其他現象仍可在最终影像中明 φ I頁貢獻條帶及其他各種假影。此類現象可包括機械因素。 機械因素之-範例可在將多個施體元件連續成像在相同 接收益70件上時出現。由—雷射引發熱轉移程序所產生之 最終衫像不一致性可在由一先前成像色彩施體元件在接收 器元件上所成像的一現有圖案上成像一第二色彩施體元件 時引起。在此情形下,轉移至接收器元件之影像形成材料 具有-不同厚度。此厚度可在該第二色彩施體元件與該接 收益疋件之間的間隔内產生變化並可在成像該第二色彩施 • 體期間影響該成像材料之轉移程度。 圖4Β所示之該等曲線顯示在該多通道成像頭之—單一掃 描期間所成像的非鄰接特徵5丨之間的間隔一般會影響該等 成像特徵之各成像特徵之一所需成像特性。圖6所示之該 • 等曲線顯示在一給定掃描期間所成像的一給定非鄰接特徵 之存在或缺失可能會在該掃描期間成像影響另外特徵之— 所需成像特性。 在非限制性的情況下,圖4B、5及6所示之該等效應之可 能原因可能在本質上係機械的。一施體元件24之一機械變 122045.doc -25- ⑶/856 形可在成像程序期間發生。在雷射引發熱轉移成像程序期 間,可不將施體元件24之影像形成材料之一部分轉移至下 面接收器元件,而相反可能會經歷變成一氣態的一相位變 化。施體元件24之一機械變形可能由於在成像期間在施體 元件24與接收器元件丨8之間所產生的一 ••氣泡變形"而引 起。成像一給定特徵可能會引起對應於該成像特徵之施體 το件24之一給定部分以及相鄰該部分之施體元件24之部分 的一機械變形《由於成像施體元件24之給定部分所產生之 施體元件之機械變形可能引起在施體元件24與施體元件24 之相鄰部分内的接收器元件18之間的一額外間隔。在施體 兀件24之該些相鄰部分内所成像的一額外特徵可能會由於 此增加的轭體至接收器元件間隔而受到其成像特性變化的 影響。該些成像特徵的可測量變化可包括(但不限於)轉移 中影像形成材料之不同數量、不同光學屬性(例如光學及/ 或色彩密度)及該等成像特徵之不同大小(在該等主掃描及 子掃描方向之一或二方向上)。 即便在該等非鄰接特徵5 1之各特徵與其鄰近者充分分離 以最小化或貫質上排除與成像一給定非鄰接特徵相關聯的 熱能量影響成像相鄰、接壤非鄰接特徵之情況下,其他因 素仍可此引起影像品質缺陷,如圖6之"控制,,曲線所示。 諸如條帶之影像假影可能由於多個因素引起,其可包括 (但不限於)該等成像非鄰接特徵5 1之各特徵之子掃描寬 度、在該等成像非鄰接特徵5 1與施體元件24及接收器元件 1 8之該等機械屬性(例如韌度)之間的子掃描間隔。 122045.doc •26· 1357856 圖7示意性顯示依據本發明之一範例性具體實施例之一 系統200。圖8顯示一流程圖,其說明依據本發明之範例性 具體實施例操作系統200或其他適當系統可用之一操作模 式。圖7包括一外罩210,其可包括任何適當的開啟或閉合 盒、框架或封閉物。藉助非限制性範例,外罩21〇可包括 淨至’其可操作用於控制各種環境锋件,包括空氣污染 物。外罩210保持一多通道成像頭26、一平移單元22〇 ,其 在由成像頭26成像可成像媒體212期間在一可成像媒體212 夕通道成像頭26之間建立相對運動。此相對運動可沿 與该成像相關聯的一子掃描方向44及/或一主掃描方向 42 〇 可成像媒體212可包括一施體元件24與一接收器元件 1 8(一者均未顯示)。系統2〇〇還包括系統控制器wo。系統 才二制器23 0可包括一微電腦、微處理器、微控制器或可可 A地將信號發射至多通道成像頭26及平移單元22〇以依據 系統控制器230之各種資料輸入來成像可成像媒體212之任 何其他已知的電氣、電機及光電電路及系統配置。系統控 制器230可包括-單-控制器或其可包括複數個控制器。 如圖7所示,將表示一非鄰接特徵圖案5〇(未顯示)之資 料240輸入至系統控制器23〇。在非限制性的情況下,非鄰 接特徵圖案5G可表示—色彩特徵圖案,該色彩特徵圖案形 成一濾色片之一部分。 參考圖8所示之流程圖’如系統2〇〇所執行,在"開始"步 驟300 ’系統控制器23〇開始依據輸人資料24〇來啟動成像 122045.doc -27· —程式產品250可供系統控制器230用以執行系統 200所需之各種功能。 盆在非限制性的情況下,程式產品25〇可包含任何媒體, $載迗一組包含指令的電腦可讀取信號,當由一電腦處理 f執订時’该等指令引起該電腦處理器執行本發明之一方 1 «•辁式產。〇 250可採用各種形式之任一形式。程式產品 可匕s (例如)實體媒體,例如磁性儲存媒體(包括軟 碟)、f碟機、光學資料儲存媒體(包括CD R0M、DVD)、 電子貝料儲存媒體(包括RQM、快閃Ram或類似等)或傳輸 里媒體(例如數位或類比通信鏈路卜料指令可視需要壓 縮及/或加密在媒體上。 如上所述’可將非鄰接特徵分成多組以隨機(包含偽隨 機)方式或依據-預定義配置(例如提供顺,各組包括每 第N個非鄰接特徵)來單獨成像。在所示具體實施例中, 欲包括在各組内的該等非鄰接特徵係基於非鄰接特徵50圖 案之分析來加以選擇。在此具體實施例中,由控制器230 所執行的-功能正在分析資料24〇内的非鄰接特徵5〇圖案 並選擇二或更多組,各組包含特定非鄰接特徵51(也未顯 示)用於一起成像。 在步驟310,控制器23〇依據程式產品25〇操作並分析資 料240並從-非鄰接特徵5G圖案中選擇二或更多組非鄰接 特徵51。各組包含-選定的—或多個非鄰接特徵Η。在步 驟3204統控制器23G提供指令至多通道成像頭%與平移 單元220以在成像頭26之—單—掃描期間使用該二或更多 122045.doc 28· Ϊ357856 組選定非鄰接特徵之—組來成像可成像媒體2i2。 人參考v驟31G’針對各給定組從非鄰接特徵测案 k擇非鄰接特徵51之程序可包括從圖㈣中選擇該等非鄰 接特徵51 ’使得該等選定非鄰接特徵51之各特徵相互分離 —子掃描間隔’足叫保在多通道成㈣26之對應單-掃 描』間成像$等選定特徵之各特徵,使其具有實質相同的 成像特性。 可用於比較二成像特徵之一影像特性之一測量之一範例 係值)E’其表示由國際照明委員會(cie)収義之⑽1976 h a*,b*("CIELAB”)系統内的色差。在一些具體實施例 中,間隔足以在圖案50之非鄰接特徵51之間獲得3或更 小、2或更小的)e,且在一些應用中較佳的i或更小。在苛 刻的應用中,)E可能係0.7或更小(例如大約1/2或更小卜 在特徵51具有滿足該些標準之一的)E值之情況下,則可認 為該等特徵具有實質相同的一影像特性(CIE色彩)。 色彩密度係可在成像特徵中加以比較的另一影像特性。 在一些具體實施例中,所沈積著色劑之厚度與在子掃描 方向上橫跨特徵51之該厚度之均勻度係在特徵51之中維持 實質上相同。此點可根據一"唇緣高度”來表述。唇緣高产 係最大線面度(線厚度)減去平均高度(線中間2 5 %的線厚 度)。可使唇緣高度及/或在一特徵5 1之一側上的唇緣高声 與在特徵5 1之另一侧上的唇緣高度之間的差對於所有特徵 5 1實質上相同。可使所沈積著色劑之平均厚度對於所有特 徵5 1實質相同。 122045.doc -29- 1357856 該二或多组之全部組可共同包括圖案50内的全部非鄰接 特徵51。因此,非鄰接特徵5〇圖案係在個別成像所有紐之 後完全成像。若需要此情形,則系統控制器23〇可包括可 選步驟33〇(以虛線1 會製)。在步驟330,系統控制器23〇決定 該二或更多級之全部是否已在多通道成像頭26之單獨掃描 期間加以成像。因此,單獨成像各剩餘未成像組,直到在 步驟340已完全成像非鄰接特徵5〇圖案。 再次參考步驟310 ’針對各組從該非鄰接特徵圖案選 非鄰接特被之程序可包括從圖案5〇中選擇該等非鄰接特徵 5卜使得該等選定非鄰接特徵51之各特徵相互分離一子掃 福間,,足以確保成像完全成像圖案5〇内的所有成像非鄰 接特被5 1,使其且有营暂^ m 八貫質相冋的成像特性。步驟3 1 〇可包 ^圖㈣中選擇該等非鄰接特徵51,使得在連續掃描成 像頭26期間,可採用與任一先前成像組交錯的方式來成像 額外組選定非連續特徵51。步驟31〇可包括選擇,其 中在該組内的該等選定非鄰接特徵51相互間充分隔開,使 得在多通道成像頭26之一單—掃描期間成像該等特徵,使 其具有實質相同的光學屬性。 在本發明之一範例性且贈香· /丨 』Γ ,、體貫施例中,在步驟3 1〇,程式 產品250可配置控制器23〇分 特徵51之一圖案50中自動選;:資:;4:並從該等_ 5 1 ό ^ 擇^ 一或更夕組的非鄰接特徵 自動選擇該等非鄰接特徵可基於輪人或程式化在程式 產品W内的各種演算法來進行。該些各種演算二 (但不限於)基於以下在各組内選擇各非鄰接特徵心非 】22045.doc
丄 ^ J /OJO 鄰接特徵之至少-特徵之—子掃描寬度;施體元件之 度,接收器元件之一韋刃度;包括在成像時其所經歷之任何 狀態變化的成像材料;及在成像—選定非鄰接特徵期間轉 移至接收器元件之影像形成材料之數量。該些演算 係實驗推導或模擬的。 在本發明之其他具體實施例中’程式產品250可在步帮 31〇組態控制器23G以允許—操作者藉助—適當使用者介面 手動引導從料❹接特徵51之_圖㈣巾選擇該二或更 多組非鄰接特徵。 在步驟330期間,在多通道成像頭26與可成像媒體加之 間沿子掃描方向44的相對運動可或可不在多通道成像頭% 之各連續掃描之間發生。 仙在本發明之各種範例性具體實施例中,—選定非鄰接特 4 5 1係由夕通道成像頭26之一對應複數個通道來成像。各 選疋非鄰接待U 5 1可在成像頭26之-單_掃描期間成像。 在本發明之—些具體實施例中,該等非鄰接特徵可以係 一 LCD顯示器之部分。力太路 在本發月之其他具體實施例中,該 等非鄰接特徵可以係-有機發光二極體(OLED)顯示器之 部分。OLED顯示器可包括不同組態。例如,採用一類似 於-LCD顯示器之方式’不同色彩特徵可形成於結合一白 色OLED光源使用的_ c索& Η r^i . 的/慮色片内。或者,依據本發明之各 具體貫施例,在g苞千5¾ # Μ π q …貝丁益内的不同色彩照明光源可由不同 OLED材料來形成。在該些具體實施例中,該等以沉奶 為主照明光源自身押告丨丨古A Λ 6, 工有色光之心射而不需要一被動式濾 122045.doc -31 - 1357856 色片。OLED材料可轉移至適當媒體。〇led材料可使用雷 射引發熱轉移技術而轉移至一接收器元件。 —非鄰接特徵可採用-連續色調或連續調程序(例如染 料昇華)來成像。纟一連續色調或連續調影像中,所覺察 光學密度係每像素著色劑數量之函數,更高密度係藉由轉 移更大數量的著色劑來獲得。 、一非鄰接特徵可依據包料色調篩選資料的影像資料來 成像。在半色調成像中,該等非鄰接特徵包含半色調點。 該等半色調點依據成像特徵之所需亮度或暗度在大小上變 化。如先前所述,在一多通道成像頭26内的各通道可操作 用以在一可成像媒體上成像一像素。一單一半色調點一般 在工門上大於像素。一單一半色調點一般由複數個成像 通道所成像的一成像像素矩陣組成。半色調點一般在一選 定網目線數(一般由每單位長度的半色調點數目來定義)與 一選定網角(一般由定向該等半色調點所採用之一角度來 疋義)下來加以成像。在本發明之範例性具體實施例中, 非鄰接特徵可依據選擇以成像該特徵之對應半色調篩選 資料在一絲網密度下成像。 用以成像各非鄰接特徵之半色調篩選可能與在一組内選 擇非鄰接特徵有關係。具有較高絲網密度之多組非鄰接特 徵般可能比實質包含較低絲網密度之多組特徵在—單一 對應掃描期間在相鄰非鄰接特徵之間需要更大的子掃描間 隔。在本發明之其他範例性具體實施例中,可使用一隨機 絲網來筛選一非鄰接特徵,其中密度要求一般依據—不同 122045.doc -32- 1357856 等尺寸點空間頻率來決定。在本發明之其他範例性具體實 . 施例中,一非鄰接特徵可使用一組合的半色調及隨機絲網 • (一般稱為一"混合"絲網)來篩選。 應明白,可使用任何具有個別可定址通道,各通道能夠 - 產生一調變影像光束之適當多通道成像頭。在非限制的情 • 況下,依據本發明之範例性具體實施例使用的多通道成像 頭%可包括個別可定址成像通道4〇 ’其包含類似於圖二所 • 示系統的一光閥配置。或者,可使用任何可在成像頭26内 產生所需可定址通道4〇的適當光閥系統。此類系統包括 (非限制性)懸臂或鉸鏈鏡面型光閥,例如德州達拉斯市德 州儀器所開發的數位微鏡面器件(DMD);以及光柵閥,例 如加利福尼亞州Sunnyvale市的SiHc〇n Light Machine所開 發的”光柵閥%在替代例中,該多通道成像頭可包括成像 通道,其包含個別可控制光源(例如發射可見光、紅外光 或其他光的雷射光源卜除雷射二極體陣列外的雷射陣列 • $可用作光源。例如,該等陣列可使用光纖尖端相互成間 隔關係而保持的複數個光纖耗合雷射二極體來形成,從而 形成一雷射光束陣列。此類光纖之輸出可同樣耦合至一光 - 導管内並混雜以產生―同質照明線。在#代性具體實 • &例中,該等光纖包含以固定關係排列輸出的複數個光纖 雷射。 本發明之較佳具體實施例採用紅外雷射。紅外二極體雷 射陣列已成功用於實施本發明,其採用】5〇 :爪發射器在 波長830 nm下具有大約5〇 w的總功率輸出。此項技術中 I22045.doc -33 - • ❾實踐者應明白,在本發明中還可採用包括可見光雷射的 . 替代性雷射且選擇所用雷射光源可或可不受欲成像媒體之 . 屬性的支配。 儘管關於顯示器及電子器件製造已說明本發明,但本文 . 所述之該等方法直接適用於成像任何重複圖案,包括用於 • 晶片上實驗室(L〇C)製造之生物醫學成像的該等圖案。. LOC技術係在器械與醫療產業内的一快速發展的研究課 • 題。原理係產生一自動、微型實驗室以在一單一微晶片範
圍内貫現樣本製備、流體處理、分析及偵測步驟。L V·/ ✓日日 片具有若干重複非鄰接特徵圖案。 應明白,該等範例性具體實施例僅說明本發明且習知此 項技術者可設計上述具體實施例之許多變更而不脫離本發 明之範疇。因此希望將所有此類變更包括於隨附申請專利 範圍及其等效内容之範嘴内。 【圖式簡單說明】 鲁 根據結合附圖考量的上述範例性具體實施例之詳細說明 已更容易地明白本發明,其中: 圖1A係一傳統濾色片組態之一部分之一平面圖; - 圖1B係另一渡色片組態之一部分之一平面圖; • 圖2係一傳統多通道成像頭之光學系統之一示意圖; 圖3係使用一非鄰接特徵圖案傳統成像一可成像媒體之 一多通道成像頭之一示意圖; 圖4A係使用一傳統成像技術所成像時與一可成像媒體相 關的一 240通道成像頭之—示意圖; 122045.doc -34- ^57856 圖4B係圖4B所示之非鄰接特徵色彩特徵之各特 量色彩密度之一圖表; 徵之測 圖5係依據本發明之一範例性具體實施例一非鄰接特徵 圖案之各成員之-色彩密度^ —致性作為該等特徵之各特 徵之間距離之一函數的一序列圖表;
圖6係一圖表,其比較一傳統方法所成像之圖案,定義 依據本發明之一範例性具體實施例所成像之圖4 A所示之i 6 個非鄰接特徵之圖案之特徵特定色彩密度; 圖7係依據本發明之一範例性具體實施例之一系統之一 示意性表示;以及 圖8係說明與依據本發明之一具體實施例之一方法相關 聯之步驟的一流程圖。 應明白’該等附圖用於說明本發明之該等概念用途且可 能未加比例縮放。 【主要元件符號說明】
10 遽色片 12 (紅色)色彩元件 13 (綠色)色彩元件 14 (藍色)色彩元件 18 接收器元件 20 黑色矩陣 22 區域 24 施體元件 26 多通道成像頭 122045.doc 35 - 1357856
30 紅色條紋 32 紅色條紋 34 紅色條紋 34' 部分 34" 部分 36 紅色條紋 38 第一位置 38' 新位置 40 個別可定址成像頭 41 虛線 42 主掃描方向 44 子掃描方向 45 最後通道 46 第一通道 47 不連續性 48 通道子群組 50 非鄰接特徵圖案 51 非鄰接特徵 52 通道子群組 100 線性光閥陣列 101 可變形鏡面元件 102 半導體基板 104 雷射 106 照明線 122045.doc -36- 1357856
118 120 200 210
212 220 230 240 250 300 310 320 330 340 108 圓柱透鏡 110 圓柱透鏡 112 透鏡 114 孔徑 116 孔徑光闌 透鏡 逐影像調變光束 系統 外罩 可成像媒體 平移單元 系統控制器 資料 程式產品 方法步驟 方法步驟 方法步驟 方法步驟 方法步驟 122045.doc -37·

Claims (1)

  1. 十、申請專利範圍: 第0096123897號專利申請案 中文申請專利範圍替換本(1〇〇年9月) 一種用於在一接收器元件上形成複數個非鄰接特徵之方 法,該方法包含:
    掃描期間操作該成像頭, 其中該成像頭係沿一掃描路徑相對於該接收器元件前進 以藉由一熱轉移程序將第一及第二非鄰接特徵從—施體 了件轉移至該接收器元件,其中該等第―及第二特徵至 少在—子掃描方向上相互空間分離;以及 *在該成像頭之—第二掃描期間操作該多通道成像頭以 藉由。亥熱轉移程序將-第三非鄰接特徵從該施體元件轉 .移至該接收器元件’其_該第三特徵係至少在該子掃播 向上在。玄等第一及第二特徵之間並至少在該子掃插方 向與該等第—及第二特徵之各特徵空間分離, 其中該等第_、第二及第三非鄰接特徵係一圖案之
    在—多通道成像頭之一第一 徵且其中㈣案之料㈣接特徵至少在料掃描方^ 上相互空間分離。 Π .如。月求項1之方法,其包含在將該等第―、第二及 非鄰接特徵從該施體元件轉移至該接收器元離 該施體元件與該接收器元件。 交刀離 3. 如請求们之方法,其巾將該等第— 之各特徵轉移至該接收器元件包含操作該;通 之複數個鄰接通道。 、暹成像碩 4. 如請求項丨之方法,其中該等非 在該掃描路徑之-方向上連續的-條紋。之各特徵包含 122045-1000922.doc I35/8DO
    在該掃插路徑之一 6.如請求項1之方法 案。 ’其中該等非鄰接特徵之各特徵包含 方向上中斷的一條紋。 ’其中該非鄰接特徵圖案係一重複圖 月求項1之方法’其包含單獨轉移該圖案之二或更多 非鄰接特徵,該等組之各組包含該圖案之該等非鄰接 特徵之-或多個特徵,其中在該二或更多組之一第一組 内的二或更多非鄰接特徵與該二或更多組之一額外組内 的該等非鄰接特徵交錯。 8月求項7之方法’彡包含藉由單獨將該二或更多組非 鄰接特徵之各特徵轉移至該接收器元件來將該非鄰接特 徵圖案完全轉移至該接收器元件。 9. 如明求項7之方法,纟包含將該等特徵隨機指派至該二 或更多組之各組。 10. 如-月求項7之方法包含依據一預定配置將該等特徵 指派至該二或更多組之各組。 11. 如請求項7之方法’ |中在該二或更多組之各組内的特 徵之間的-最小間隔大於在該圖案内的該等特徵之間的 一最小間隔。 12. 如請求項1之方法,#中該等第―、第二及第三非鄰接 特徵係一規則非鄰接特徵圖案之特徵。 13. 如請求項12之方法,其中該圖案在該子掃描方向上具有 一寬度,其小於該多通道成像頭所成像之一帶的在該子 掃描方向上的一寬度。 122045-1000922.doc 1357856 14·如含主* *—〜釣 。月項1之方法,其中該非鄰接 特徵圖荦®帛包含一色彩 15.如請求項: 案形成一濾色片之-部分。 圖宰 之方法,其中該濾、色片包括複數個色彩特徵 圖案’各色彩特徵圖案對應於一給定色來 含單獨轅銘兮势 /且該方法包 獨轉移該等色彩特徵圖案之各圖案。 16·如請求項1之方、土 廿^ 上實駱^ 其中該非鄰接特徵圖案包含一晶片 上貫驗室器件之元件。 乃 17.如請求項1之方土 染料轉移程序 其中該熱轉移程序包含-雷射引發 劑。求項17之方法’其中該等非鄰接特徵包含一著色 19. 如請求項1之方法’其中該熱轉移程序包含一雷射引發 質量轉移程序。 礼-雷射引發 20. 如請求項19之方法,其 與黏結劑二者。、中以非鄰接特徵包含-著色劑 項1之方法’其中該等非鄰接特徵之各特徵係使 用:夺色調絲網與一隨機絲網之至少一者來筛選。 求項1之方法’其中該複數個非鄰接特徵圖案包含 -色彩特徵圖案,該色彩特徵圖案形成一遽色片之一部 分0 2=請求们之其中執行該第—掃描包含在一掃描 :向上相對於該接收器元件前進該成像頭而執行該第二 =描包含㈣掃描方向上相對於該接收H元件前進該成 像頭。 122045-1000922.doc /030 /030 /ίο )年7月>哺(更)正替換 .=以項1之方法,其中執行該第一掃播包含 ::上相對於該接收器元件前進該成像頭而執行4 掃描包含在平行於該掃描方向的-方向上相對=: 器元件前進該成像頭。 、該接收 25·如請求们之方法’其包含將該複 複數個交錯組,嗜蓴组糾接特徵分成 之-子集;以及等,.之各組包含該複數個非鄰接特徵 將頭之複數個掃描之一對應單獨掃描中 二:該等非鄰接特徵之各組轉移至該接收器元件。 項1之方法’其中該非鄰接特徵圖案形成—島狀 特徵圖案之一部分。 取島狀 27·:請求項1之方法’其中該非鄰接特徵圖案包含—色· 特徵圖案。 3 已衫 .2求項27之方法,其中該色彩特徵圖案形成 明光源圖案。 穷巴…、 29.如请求項28之方法,甘. 材料。 八〇有色照明光源包含一 〇LED 30‘一種用於在一接收5|云丛 土 接收裔凡件上形成複數個非鄰接特徵之方 法’該方法包含: 藉由針對各子集,操作 同時沿L 3複數個通道的-成像頭, 將S仅目對於該接收器元件移動該等通道來 =等特紅錢個子諸序轉移至該接Μ元件之— 區域,其中該區域在—子搞 由愎夕子知描方向上並不比該成像頭所 成像之一帶更寬; 122045.1000922.doc •4. 节425修(更)正替據^ *其中轉移各子集之該等非鄰接特徵^在該成像頭乏·:::--- 掃描中70成’该等特徵係分離至少一通道寬的間隙且該 等特徵之各特徵係由該等通道之至少二者之—鄰接群细 '氩成,、中第一、第二及第三非鄰接特徵係一圖案之 特徵且其中泫圖案之該等非鄰接特徵至少在該子掃描方 向上相互空間分離β 31.:種電腦可讀取記錄媒體,其儲存一組電腦可讀取信 號。’。該信號包含在由—系統控制器執行時引起該系統控 制器進行以下操作之指令: 在一多通道成像頭之-第一掃描期間操作該成像頭, -中亥成像頭m —掃描路徑相對於該接收器元件前進 以藉由—熱轉移程序來及第二非相鄰特徵從-施 體兀件轉移至該接收器元件,其中該等第一及第二特徵 至少在一子掃描方向上相互空間分離; 在該成像頭之—第二掃描期間操作該多通道成像頭, 其中藉由該熱轉移程序該成像頭將_第三非相鄰特 =體=轉移至該接收器元件,其中該第三特徵在該 等第-及第二特徵之間且至少在該子掃描方向上與該等 第一及第二特徵之各特徵空間分離, 其中該等第一、第-芬楚一 弟—及第二非鄰接特徵係一圖案之特 :且其中該圖案之該等非鄰接特徵至少在該子掃 上相互空間分離。 32. —種用於在一接收器元件上 法’該方法包含: 形成複數個非鄰接特徵之方 122045-1000922.doc 在第掃描期間操作一多通道成像頭以沿-掃描方 向引導成像光束以藉由—熱轉移程序將第一及第二非鄰 接特徵從施體几件轉移至該接收器元件,其中該等第 及第一特徵至少在—橫過該掃描方向上的方向上相互 空間分離;以及 在該成像頭之-苐二掃描期間操作該多通道成像頭以 藉由u移程序將_第三非鄰接特徵從該施體元件轉 ,至該接收器元件,其中該第三特徵係至少在該橫過該 掃描方向的方向上在該等第一及第二特徵之間且至少在 該橫過該掃描方向的方向上與該等第-及第二特徵之各 特徵空間分離, 其中該等第一、坌一 第一及第三非鄰接特徵係一圖案之特 徵且其中該圖案之該等非鄰接特徵至少在該子掃描方向 上相互空間分離。 122045-1000922.doc
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