TWI318665B - Positive-displacement vacuum pump and method of starting the same - Google Patents

Description

186)55 iff 狄、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明有關一種真空泵及啟動該真空泵之方法，尤指 一種用於由半導體製造裝置等中所使用之工作室抽除氣體 之正位移式真空泵，及啟動此真空泵之方法。 【先前技術】 於半導體製造裝置中’真空栗係廣泛地用於由室排空 於半導體製造製程中所使用之氣體，並且用於該室中產生 真空環境❶關於此種形式之真空泵，在此已知一種具有羅 茨式（Roots-type)或螺旋式泵浦轉子之正位移式真空泵。 大致上，該正位移式真空泵包括一對設置在外殼中之 泵浦轉子及用於轉動該泵浦轉子之馬達。小間隙係形成於 該對泵浦轉子本身之間及亦形成於該泵浦轉子及該外殼内 部表面之間，以使該泵浦轉子係以不接觸之方式旋轉。當 該對泵浦轉子係在該相反方向中藉著供給該馬達能量而同 步旋轉時，由進氣口吸八該外殼之氣體係朝排氣口（〇utiet Port)遞送，並且因此由連接至該真空泵之進氣口π⑴ 之室等而排空。 、於該半導體製造製程中所使甩之一些氣體包含各種成 刀，¾該氣體之溫度降低時，該成分即凝固或液化。大致 上於上述正位移式（P〇sitive displacement type)真空果 中，於朝該排氣口遞送該氣體之製程期間產生壓縮熱，並 且使得該真空泵於操作期間具有高溫。因此，當該真空泵 維持高溫時’縱使該真空泵排空包含上述成分之氣體，該 314967(修正版> 5 1318665 成分不會凝固或液化，且如此一來將進行良好抽除氣體之 作用。 然而，當該真空泵之操作係停止及該真空泵之溫度漸 漸地降低時，該氣體中所包含之成分係凝固或液化，且該 成分係沈積於該泵浦轉子間之間隙中及於該泵浦轉子與該 外殼之間（以下，該已凝固或液化之成分係稱為產物）。因 此，此產‘物阻礙該泵浦轉子之旋轉，且因此不能藉著該馬 達之啟動扭矩而旋轉該栗浦轉子’如此造成該真空系之重 新啟動故障。再者，除了該真空泵之重新啟動故障以外， 過負載係施加至該馬達，而造成該馬達過熱，且使得該真 空泵不能专全地操作。 再者，於近年來’在此已開發出一種使用變頻器以用 於驅動感應馬達、無刷式直流馬達等之馬達-驅動技術。假 如此馬達-驅動技術係用於該真空泵，藉著該變頻器中所使 用零件之電容限制該馬達用於啟動該真空泵之扭矩。因 此’ S亥馬達只能產生有限之扭矩，並且令該真空泵之啟動 操作傾向於更困難。 【發明内容】 本發明已針對上述缺點而改良者。因此本發明之目的 係提供一種真空泵’縱使該真空泵之外殼中之已凝固或液 化之產物對該泵浦轉子之旋轉造成阻礙，該真空泵仍可正 常地啟動。 本發明之另一目的係提供此真空泵之啟動方法。 為了達成上述之目的，根據本發明之一個態樣，在此 6 314967

種正位移式真空泵，該真空泵包括：一對泵浦轉子， 可旋轉地°又置在外殼中且朝相反方向同步地旋轉；以及泵 浦轉子控制器’用於按照預^模式而在啟動該真空泵時使 提供 =泵浦轉子旋轉。該泵浦轉子於該正轉方向中之旋轉係界 疋為該泵浦轉子於—方向中之旋轉，於此方向中該外殼中 所吸入之氣體係由該外殼之進氣口侧朝向該外殼之排氣口 i而運送H浦轉子於該反轉方向中之旋轉則界定為該 泵浦轉子係於該正轉方向之相反方向中之旋轉。 於本發明之較佳態樣中，該預定模式包含該泵浦轉子 於該正轉方向中之旋轉、該栗浦轉子於該反轉方向中之旋 轉及停止該泵浦轉子之至少二者之組合。 於本發明之較佳態樣中，該預定模式係設定在該泵浦 子控制器中，使得該泵浦轉子係按照於該正轉方向中旋 轉停止及於該正轉方向中旋轉之順序而驅動。 於本發明之較佳態樣中，該預定模式係設定在該泵浦 轉子控制器中’使得該泵浦轉子係按照於該反轉方向及該 正轉方向之順序而驅動。 =根據本發明，假如該外殼中之已凝固或液化產物阻礙 該果浦轉子之旋轉’該果浦轉子係按照預定模式旋轉，以 藉此移去該產物，如此能夠使該真空泵正常地啟動。 於本發明之較佳態樣中，該真空果復包括狀態判斷裝 f，該狀態判斷裝置用於判斷該泵浦轉子在啟動該真空泵 :是否正常地旋轉；其巾’當該狀態判斷裝置判斷該泵浦 子在啟動該真空泵時未正常地旋轉時，該泵浦轉子係按 314967(修正版）i 7 pf辜拔 照該預定模式旋轉。 根據本發明，當該泵浦轉子可正常地旋轉時，係進行 ⑦之啟動操作，如此能夠使該真空泵迅速地啟動。 …根據本發明之另一態樣，在此提供啟動具有可旋轉地 认置在外殼巾之朝相反方向同步地旋轉的H浦轉子之 正位移式真空泵之方法，該方法包括：在啟動該真空泵時 按…、預疋模式使該果浦轉子旋轉；以及於該正轉方向中以 穩定狀態轉動該系浦轉子，以抽除氣體。 於本發明之較佳態樣中，該預定模式包括該泉浦轉子 於該正轉方向中之旋轉、該泵浦轉子於該反轉方向中之旋 轉、及停止該泵浦轉子之至少二者之組合。 於本發明之較佳態樣中，設定該預定模式，使得該泵 浦轉子係按照於該正轉方向中旋轉、停止、及於該正轉ς 向中旋轉之順序而驅動。 、於本發明之較佳態樣中，設定該預定模式，使得該泵 浦轉子係按照於該反轉方向及該正轉方向之順序旋轉。 於本發明之較佳態樣中，啟動真空泵之方法復包括判 斷該泵浦轉子是否正常地旋轉；其中，當判斷該泵浦轉子 未正常地旋轉時，該泵浦轉子係按照該預定模式而旋轉。 根據本發明之另一態樣，在此提供啟動正位移式真空泵之 方法，該真空泵具有可旋轉地設置在外殼中之朝相反方向同步 地旋轉的一對泵浦轉子，該方法包括：判斷該泵浦轉子是否正 常地旋轉，當判斷該泵浦轉子未正常地旋轉時，在啟動該真空 泵時按照預定模式控制該泵浦轉子於正轉方向或反轉方向中之 旋轉；以及於該正轉方向中以穩定狀態轉動該泵浦轉子，以抽除 8 314967(修正版) 1318665 氣體。 【實施方式】 下文將參考各圖面式敘述根據本發明各實施例之真空 泵及啟動真空泵之方法。 雖然根據本實施例之真空泵係用於由半導體製造裝置 中所使用之室排空氣體，但本發明不限於此應用。第1圖 係％c截面視圖，顯示根據本發明第一實施例之真空系。 如在第1圖所示，根據該第一實施例之真空泵包含一 對泵浦轉子1，1，每一泵浦轉子1具有螺旋溝槽；外殼2， 用於容納該泵浦轉子M :以及馬達3,用於轉動該泵浦轉 子1，1。該外殼2具有用於抽吸在其中之氣體之進氣口 7

及用於由該外殼排出該氣體之排氣口 8。該果浦轉子1J 係刀別固疋至二軸桿4，4 ’而藉著軸承5，5可旋轉地支撐該 一轴桿4，4。 該軸桿4,4之一具有固定至該軸桿4,4之馬達轉子 3&，且設置馬達定子3b，以便圍繞著該馬達轉子3a。該馬 達轉子3a及該馬達定子3b構成該馬達3。於此實施例中， ，馬達3包含感應馬達。定時齒輪M係分別固定至該軸 ^ 4,4之末端部份，且該對粟浦轉子^係藉著該定時齒 躺6,6在相反方向中同步地旋轉。小間隙係形成於該對泵 浦轉子U本身之間及亦形成於該泵浦轉子以及該外殼， 之内部表面之間，使得㈣浦轉子u以不接觸 ^ 轉。 以上述之結構’當該對录浦轉子u係藉著供給該馬 314967 9 1318665 達3能量而旋轉時，氣體係由該進氣口 7吸入並且沿著該 嚙合泵浦轉子M之螺旋溝槽而由該外殼2之進氣口側運 廷至排氣口側，並且接著由該排氣口 8排出。於此方式中， '玄瑕體係連續地由該進氣口側運送至該排氣口側，藉此由 連接至該進氣口 7之室（於各圖式中未示出）排空該氣體。 該室係結合於半導體製造裝置中。 又口隹第1

办 戶' 吧m〜六工水匕符用聆控制势 八二泵之操作之控制系統1〇。該控制系統在苴中纟士入 有泵浦轉子控制器15’以由該栗浦轉子控制器。控：： 泵浦轉子Μ之旋轉及該泵潘轉子M之停止。 第2圖係概要不意圖’顯示根據本發明第一實施例之 控制系統，而該控制系統包含該泵浦轉子控制器。 如在第2圖所示，該控制系統包含三相電源u、㈣ 漏電自動斷路器（Earth ώ ,

Leakage Breaker，ELB)12' 電磁指 觸器13、及積熱保護器14。兮= 3 一相電源11係透過接地泪 漏自動斷路器12而連接至該電磁接觸器13，且該電磁接 觸器13係透過該積熱保護器14而連接至該馬達3。用於 控制該系浦轉子U之旋轉(在第2圖中只概要地顯示一値 系浦轉子)及該聚浦轉子U之停止之_子控制㈠ 係連接至該電磁接觸器13。斷路器（cireuhBreaker，。 可用於取代該接地漏電自動斷路器12。 〃 該真空系之啟動開關(未圖示)係連接至該泵浦轉子控 制器15，並且當該啟動開關係已操作時，啟動命令作號: 由該泵浦轉子控制器15傳送至該電磁接觸器η。該：磁 314967 10 1318665 接觸器1 q说啡』 系對應該啟動命令芦號而你h m η , p 7 唬而作動，且係由該三相電 轉動該泵浦轉+彳, 因此，用以於正轉方向中 浦轉子n t子之旋轉式扭矩係由該馬達3加至《 5 如此啟動該直办$ & α 用於中斷由該三相㈣"…積熱保護器14係提供 载時停止該真处及之二、所供給之電流，以當該馬達係超 及過熱。一之知作，如此防止發生該馬達3之超載 。亥泵浦轉子控制器丨5 啟動時，該 3疋蚪态16，且當該真空泵 之預定模二轉子？係按照在該定時器16中事先設定 1 6之模式 ，或h Α。於此實施例中’設定該定時器 1史件该泵浦轉子1 w 栗浦轉子】]+ ， ’、知，日尽0)正轉方向旋轉（該 方向旋轉之順岸該正轉方向中旋轉）、⑺停止以及（3)正轉 中旋轉時，兮$ 田°亥泵4轉子1，1係在該正轉方向 表浦轉子1彳夕甘 如順時針方向）旋轉，日丄_ —個係在一個方向令（例 如逆時針方向）中㈣一泵浦轉子1係在相反方向(例 7抽吸進入該 。於此情況中，該氣體係由該進氣口 8排出。2’且朝該排4π 8遞送並以該排氣口 該泵浦轉子〗丨子I，1於遠正轉方向中之旋轉係界定為 該外殼各方向中之旋轉，於這些方向中，吸入 因此，杏由該進氣口7朝該排氣㈠遞送。 向中轉動該泵』：空泵係啟動時，首先’用以於該正轉方 該泵浦轉子丨j。I子I，1之旋轉式扭矩係由該馬達3加至 係-次減少至兩”後力°至6玄泵浦轉子1，1之旋轉式扭矩 令。隨後’用以於該正轉方向中轉動該泵浦 3Μ967 1318665 轉子u之旋轉式扭矩係再次由該馬達3加至該泵浦轉子 1,1 ° ^ 以此方式，當該真空泵係啟動時，該泵浦轉子丨，丨係 旋轉及^後停止’並且係再次旋轉。因此，該泵浦轉子η 之力量可施加至沈積於該泵浦轉子u及該外殼2間之門 隙中繼。其結果是’業已凝固之產物係變脆及移除， 如此能夠使該真空泵正常地啟動。若於允許該泵浦轉子】】 重複其旋轉及停止數次之模式係設定在該定時器16之情 況中’可進-步增強該產物之移除之可靠性。在正常地月啟 動該真空泵之後，該泵浦轉子l5l係在該正轉方向中以穩 定狀態旋轉’以抽除氣體。 心 接著，將參考第3圖而描述根據本發明第二實施例之 真空泵及啟動真U之方法。此實施例之真空泵之基本处 構係與該第-實施例之基本結構相同，且將不在下面詳細 欽述。 第3圖係概要示意圖，顯示根據本發明第二實施例之 控制系統，而該控制系統包含泵浦轉子控制器。 如在第3圖所示，此實施例之控制系統包括三相電源 、接地泄漏自動斷路器（ELB)12、以及變頻器2ι。該三 相電源11係透過接地泄漏自冑斷路器（ELB)i2而連接=玄 變頻器21，且該變頻器㈣連接至該馬達3。购器/ 2曰括整流器22、用於產生波形以轉動該馬達3之功率電 晶體23、以及用於控制該變頻器21之變頻控制器24。2 於控制該栗浦轉子1;1之旋轉及該系浦轉子！，]之停止之 314967 1318665 7浦轉子控制器1 5係連接至該變頻器2 1。 施例該！浦轉子控制器15包含定時器16’如同該第-實 寺別地是，當啟動開關（未圖示）係摔作 ==泵浦轉子控…傳送至二動: 相电源11施加二相電壓至該馬達3。如此，該泵 轉，Μ糸按照在該定時器16中事先設定之預定模式旋 轉衣此貫施例中’如同該第一實施例，/ β & t ^ ^ 例在该定時器16 ⑴正轉二…使得該泵浦轉子U係藉著該馬達3按照 )正轉方向旋轉、（2)停止、及 驅動。用以允許_轉子，二：疋轉之順序而 模― ㈣及停止數次之 才旲式了 3又疋在該定時器1 6中。 雖然於此實施例中感應馬達係用以作為該 感應馬達能藉著更換具有無刷式直流馬.i " 制器24而以a刷式直泣$ ，、、、 1 1盗之變頻控 達取代之。於此情況中，亦如同 於该感應馬達之情況中，該 轉。 科卞』杈肊預定模式旋 其次，將參考第4圖描述根據本發明 空栗及啟動真空泵之方法。棹以 列之真 知以兀全相同元件符號 系之基本結構以及控制系統之 /工 述者相同，且將不在下面詳細敘述/、㈣-貫施例中所 第4圖係概要示意圖，顯示根據本發明第三實施例之 控制系統，而該控制系統包含聚浦轉子控制器。' 在弟4圖所不’“、“統包括三相電源1 潙自動斷路器（ELB)]2、第一電磁垃納。。 I磁接HA、第二電磁接 3M967 13 1318665 觸器13B、及-積熱保護器14。感應馬達係用以作為該馬 達3»該第一電磁接觸器13A及該第二電磁接觸器。^係 分別連接至泵浦轉子控制器15，並且係藉著接收來自該泵 浦轉子控制器15之操作命令信號15而作動。該三相泰 η係透過接地泄漏自動斷路器（ELB)I2而連 ==及該第二電磁接觸器13B，且該第 ===電磁接觸器13B係透過該積熱保護器-

接至。亥馬達3。該裳,—士 s, A 觸器13八將該三相^ 在另:電塵施加至該馬達3,而得以保持該相位順序。 Ϊ = Γ:第二電磁接觸器_施加該三相電源u 壓之相位順序而反向。 一相电 木構s亥录浦轉子控击丨哭，< 、 制器1 5中事先执— 。以便按照在該泵浦轉子控 中透過該第^^^^式’:於正轉方向或反轉方向 轉該泵浦轉子u。特別地广及:亥弟二電二接觸$ 13B旋 定模式由該泵、'爾轉+ 3 疋朱作命令信號係按照該預 泵扁轉子控制器丨5交 觸器"A及該第二 也运至違弟-電磁接 15中設定哕模六-* 。在該泵浦轉子控制器 又疋4拉式’使得該泵浦 正轉方向之順序中旋 U在②反轉方向及該 向中旋轉時，該泵浦轉：…浦轉子“1係在該正轉方 (例如順時針方向） :其中一個係在一個方向中 (例如逆時針方ώ ，且另一泵浦轉子1係在相反方向 氣”拙吸XT:::轉:於此情況中，該氣體係由該進 ~ 且由忒排氣口 8排出。在另一 314967 14 1318665 方面，當該泵浦轉子1;1係在該反轉方向中旋轉時，該系 浦轉子ι，ι係於與該泵浦轉子在該正轉方向中旋轉之方^ 的相反方向中旋轉。該泵浦轉子u於該反轉方向中之旋 轉係界定為該泵浦轉子於與該正轉方向相反之方向中 之旋轉。_ 在下面將詳細敘述該真空泵之操作，該真空系且有此 實施例之上述結構。當操作該真空泵之啟動開關（未圖 時’首先’該操作命令㈣係由該泵浦轉子控制器15傳逆 至該第二電磁㈣H 13B。藉著作動該第二電磁接觸哭 13B’具有反向相位順序之三相㈣係透過㈣二電 觸器邮而施加至該馬達3，並使得用以於該反轉方向中 t動。亥泵浦轉子1，1之旋轉式扭矩係由該馬達3加至該泵 浦轉，1，卜此後’該i浦轉子控制器15停止將該操作

々4波傳送至該第二雪诚拉ώ DO

毛磁接觸盗1 3Β。同時，該操作命A 信號係由料浦轉子控制器15傳送至該第—電磁接觸器7 ^ A糟者作動該第—電磁接觸器1 3 A，該三相電源丨丨之 一相電壓係透過該第一電磁接觸器13 A而施加至該馬達 ▲传以保持6亥相位順序。因此，用以於該正轉方向 動β玄豕浦轉子1 1之絲 ’ 1式扭矩係由該馬達3加至該泵浦 轉子1，1。 ‘ U此方式’在啟動該真空栗時，藉著於該反轉方向或 :玄,轉方向中轉動該泵浦轉子U，該泵浦轉子U之力量 : 至沈積m浦轉子1，1及該外殼2間之間隙中之 物。其結果是’該產物係移除，如此能夠使該真空泵啟 15 3M967 j3l8665 其次，將麥考第5圖描述根據本發明第四實施例之真 空泵及啟動真空系之方法。標以完全相同元件符號之真空 泵之基本結構以及控统之部件均與該第二實施例中所 述者相同，且將不在下面詳細敘述。 第5圖係概要示意圖，顯示根據本發明第四實施例之 控制系統，而該控制系統包含泵浦轉子控制器。 ”：在第5圖所示，係架構泵浦轉子控制器Η，以便控 照預定模式將用於啟動該真 具工泵之啟動命令信號101及用 片咕，Λ T f寻勒Α泉浦轉子1，1之控制 。儿0 2傳送至該變頻器2 1之燦相4介止丨 Μ ^ 貝°° 21之蝥頻控制器24。在該泵浦 轉子控制器15中設定模式 , 文侍在啟動该真空泵時，該泵 ‘ 1，1係在該反轉方向及該 如同兮笼_ A 汉孑正轉方向之順序中旋轉， J β第二貫施例。 操作第5圖所示實施例之扣备丨么β、 下：去y七 工制糸、'先以啟動該真空泵如 田才呆作一啟動開關（未圖示）時， 係由該忒啟動命令信號101 〆粟浦轉子控制器丨5 用以於兮^ & 廷至D亥夂頻控制器24〇同時， …亥反轉方向中轉動該馬達 泵浦轉子控制袋iw* , 運之&制化號1〇2係由該 .. 工.益1 5傳送至該變頻控制哭^ 於該反鏟古&丄 馮匕釗态24。因此，用以 轉方向中轉動該泵浦 馬達3加至該 ，丨之靛轉式扭矩係由該 °乡泉浦轉子],I。之怂，田、 轉動該馬達3之斤制" 1用以於該正轉方向中 油 之控制化號102係由兮；ξ、占 傳送至該變頻 ^亥泵浦轉子控制器15 又4衩制窃24，並且佔p田、 動該泵浦# 1 , 吏付用以於該正轉方向中轉 雨心子]，1之旋轉式扭矩传 ir、由。亥馬4 3加至該泵浦 14967 16 1318665 轉子】，1。 雖然於此實施例中感應馬達係用以作為該馬達3，該 感應馬達能藉著更換具有無刷式直流馬達控制器之變頻控 制器24而以無刷式直流馬達取代之。於此情況中，亦如同 於该感應馬達之情況中，該泵浦轉子玎按照預定模式在該 正轉方向或該反轉方向中旋轉。 接著，將參考第6圖描述根據本發明第五實施例之真 王泵及啟動真空泵之方法。此實施例之真空泵及控制系统 之基本結構係與該第四實施例之基本結構相同，且將=在 下面詳細敘述。 第6圖係概要示意圖，顯示根據本發明第五實施例之 控制系統，而該控制系統包含泵浦轉子控制器。 t具體實施例之真空泵包括電流監視器27,該電流監 用於監視供給至該馬達3之電流。該電流監視哭 :;直用：作為狀態顧置，以判斷該果浦轉子U在啟動 该真空果時是否正常地旋轉。 仏 田〇亥電机監視益27偵測出供 、，‘。主该馬達3之電流係處 ^ 蜒万、異㊉狀態時，該電流監視器27 七斷違泵浦轉子1，1係不正當 妒籍M L 吊地紅轉。特別地是，假如沈 贏積於戎外殼2中之產物等 仏5h ^ 子1且礙H亩轉子1，1旋轉，供 〜至该馬達3之電流係偵測出處 a 4目蜒万、兵*狀態，且使得該電 时27可判斷a亥果浦轉子ii係不正常地旋轉。 再者’當該電流監視器27判斷該 係異常時，兮雪汚於讳 τ 丁 ii之說轉 :: '27將操作信號傳送至料浦轉子 工d] 5。該泵浦轉子控制 〇 15係稭者接收該操作信號 Π 3]4967 1318665 二作動，以藉此按照預定模式旋轉料達3，該預定模式 T'事先设定在該栗浦轉子控制器1 5中。 工特別地是，於此實施例中，該泵浦轉子控制器〗5係不 =’直至該操作信號係由該電流監視器27傳送至該果浦 控制器15為止。因此，當該泵浦轉子可正常地旋轉 :動進打該正常之啟動操作，如此能夠使該真空系迅速地

之旋:為㈣㈣裝置，可提供詩監視該泵浦轉子U 之旋轉li視器或用於監視該外▲ 數量之違^、s ^外双2中所沈積產物之 里之產物監視器，以取代該電流監視器 物監视器之情況中，光 、“、该產 殼2中所、、少籍吝私^ ^一次熱兒偶可用於監視該外 匕產物之數置。於此情況中，告兮吝榀 θ 係增加至預定值時，該產物監視ρ "；該產物之數重 該泵浦轉子控制器15。 刼作信號傳送至 雖然根據本發明這些實施例之直介 _ 合之栗浦轉子，本發明可亦應用於^單〆、有二個互相喊 過-個泵浦轉子之真空栗。於㈣轉子或超 :聚浦轉子)於正轉方向中(或各：轉方中中該泵浦轉子(或 :定為該_轉子(或各聚浦轉子之旋轉係亦 中)之旋轉，而於該方向中，氣體伏由、方向中(或各方向 遞送。該豕浦轉子（或各聚浦轉子)丁進^ 口側朝排氣口側 =中〜⑽定為該聚浦轉子^向中(或各反轉 ^正轉方向（或各正轉方向^目反之^栗浦轉子）於一 旋轉。 方向（或各方向）中之 3]4967 18 1318665 上所述，根據本發明，縱使該外殼 :產物阻礙該果浦轉子旋轉，該：固或液 ^旋轉之泵浦轉子所移去。@此，猎=^預定模 利用十生 具工泉了正常地啟動。 本Is明係適用於直 用於由半導體製造裝置等真…方法，尤其適 泵、、t α " 中斤使用之至而排空氣體之真空 戈浦以及啟動此真空泵之方法。 【圖式簡單說明】 真外^ . Κ截1®視® ’顯示根據本發明第-實施例之 穴心果， 第2圖係概要示音 _ 和& / , ^ ，'"圖頒不根據本發明第一實施例之 工1糸、•’該控制系統包含泵浦轉子控制器； # Γ _要不⑤圖’顯不根據本發明第二實施例之 系統’該控制系統包含泵浦轉子控制器； # 系彳1要不思圖，顯不根據本發明第三實施例之 控制系統’該控制系統包含栗浦轉子控制器； 第_系概要不忍圖，顯不根據本發明第四實施例之 ?工制系統，該控制系试4人；S 4 Μ ^ 〃制糸統包含泵浦轉子控制器；以及 第S1係概要不思圖，顯不根據本發明第五實施例之 工制系統’該控制系統包含泵浦轉子控制器。 1 泵浦轉子 3 馬達 馬達定子 2 a 3b 外殼 馬達轉子 軸桿 314967 】9 4 1318665 5 轴 承 6 定 時 齒 輪 7 進 氣 a 8 排 氣 π 10 控 制 系 統 11 •-- 相 電 源 12 接 地 泄 漏 白 動 斷路 器13 電 磁 接 觸 器 13Α 第 一 電 磁 接 觸 器 13B 第 二 電 磁 接 觸 器 14 積 敎 保 護 器 15 泵 浦 轉 子 控 制 器 16 定 時 器 21 變 頻 器 22 整 流 器 23 功 率 電 晶 體 24 變 頻 控 制 器 27 電 流 監 視 器 101 啟 動 命令信 號 1 02 控 制 信 號 20 3 Μ 967

Claims (1)

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第92122710號專利申請案 (98年5月1曰) 拾、申請專利範園： 1.-種正位移式真空泵，包括： 一對泵浦轉子，可旋轉地設置在外殼中且朝相反方 向同步地旋轉；以及 泵浦轉子控制器’用於按照預定模式而在啟動該真 空泵時使該果浦轉子旋轉，該默模式包含該泵浦轉子 於該正轉方向t之旋轉、該泵浦轉子於該反轉方向中之 旋轉、及停止該泵浦轉子之至少二者之组合。 2·如申請專利範圍第Λ項之真空泵，其中，該；定模式係 设定在該果浦轉子控制器中，使得該果浦轉子係按照於 :正轉方向中旋轉、停止、及於該正轉方向中旋轉之順 序而驅動。 3.如申請專利範圍第j項之真空， —尨 %〜 水丹甲，該預定模式係 該栗浦轉子控制器中，使得該果浦轉子係按照於 該反轉方向及該正轉方向之順序旋轉。 4·如中=利範圍第1至第3項中任1之真空栗，復包括： 判斷裝置，用於判斷該汞浦轉子在啟動該真空 泵時疋否正常地旋轉； 真當該狀態判斷裝置判斷該果浦㈣嫩 式旋轉:。 ㈣子係按照該預定模 5. —種正位移式真空泵啟動 ， *目士 於署六从in 发具二象具有可旋轉地 " 中之朝相反方向同步地旋轉的一對戈浦轉 子，該方法包括： 對栗浦轉 314967(修正版） 21 1518665 第92122710號專利申請案 (98年5月1日） . 在啟動該真空系時按照預定模式使該泵浦轉子旋 轉；以及 於該正轉方向中以穩定狀態轉動該泵浦轉子，以抽 除氣體， 該預定模式包含該泵浦轉子於該正轉方向中之旋 1、錄㈣子於鼓轉方向巾讀轉、請停止該栗 浦轉子之至少二者之碜合。 如申《月專利範圍第5項之真空果啟動方法，其中，設定 =預定模式’使得韻浦轉子係按照於該正轉方向中旋 、停止、及於該正轉方向中旋轉之順序而驅動〆 H會專利範圍帛5項之真空系啟動方法，其中，設定 该預定模式，使得該㈣轉子係按照於該反轉方向及該 正轉方向之順序旋轉。 法申肖專利範圍第5至第7項之任—項之真空栗啟動方 法，復包括： 判斯該泵浦轉子是否正常地旋轉 9. 鍾’、中§判斷該泵浦轉子未正常地旋轉時，該泵浦 轉子係按照該預定模式旋轉。 '位士移式真空果啟動方法，該真空果昇有可旋轉地 、土外风中之朝相反方向同步地旋轉的一對泵浦轉子，該 方法包括： . · =斷該泵浦轉子是否正常地旋轉； 當列斷該泵浦轉子未正常地旋轉時，在啟動該真空 ，τ按照預定模式而使該泵浦轉子旋轉；以及 314967(修正版） 22 1318665 第92122710號專利申請案 (98年5月1日） 於該；轉方向中以穩定狀態轉動該泵浦轉子，以抽 除氣體， 該預定模式包含該泵浦轉子於該正轉方向中之旋 轉'、該泵浦轉子於該反轉方向中之旋轉、以及停止該泵 浦轉子之至少二者之組合。 23 314967(修正版)