TWI306943B - A method and apparatus for monitoring reactive liquid levels within a vessel - Google Patents

Description

‘發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發_錢於-種監測容器中反驗體水位之裝置 方法，尤其是—種作為監測容器中具化學反應液體，如 有機金屬化合物之水位探針；將至少—支探針插入容器中 充當第-電極，並將該探針密封在容財，再另 植作為電容器’接著供應電容器電流並監·電容。 【先前技術】 ，電子和㈣子工業方面，常使用—種稱為有機金屬 匕學蒸鑛法在其固體底層上製造—層金屬薄膜，通常金屬 t驅物是齡容ϋ傳遞至底層，含有金屬前驅物材之氣泡 盗叹有個入口官、-個浸潰管和一個出口管載氣，如氮 、氦或氮經由人Π管被狀氣泡財，再經由浸潰管被運 送到氣泡H底部，載氣在經由出吟逸出氣泡器之前能獲 取-些金屬前驅物之蒸氣’並會將這種前驅物蒸氣傳送至 一反應器處，將該前驅物分解，使在固體底層上產生一沈 殺物。 氣泡器中前驅物材的含量，會隨裝置之使用而不斷變 動，傳統的探針不能被使用，那是因為有機金屬化合物會 腐蝕該探針，而且會污染前驅物，根據光學系統，可藉單 點測量法測出㈣摊之高低，進而測得容财前驅物之 容量，但是，此測量法係以玻璃管為之，而玻璃管可能會 破裂而污染氣泡器中之内容物，氣泡器也可以不設置精確 的水位‘示為，當看到其性此降低時或根據特殊情況下使 1306943 用時間之計算數字便可更換該氣泡n;但這會造成當氣泡 器内可能仍有百分之十的材料可被使用時，卻太早更換該 氣泡裔的情況。 明顯地，較合適的方法是設置一準確之探針，以監测 谷态内所含有機金屬前驅物之水位；但所設置的探針必須 有高強韌性，而且和其接觸的有機金屬化合物須有相容性 ，在此知況下，探針不可以對氣泡器中所含之化學品有所 反應’如此才能得到高純度的金屬沈澱物，此外，探針也 不可以損害氣泡器氣密之封口，因為氣泡器中所含之物料 易艾空氣影響，而且必須保持其中的壓力；緣此，本發明 人乃針對上述之缺失，潛心研究、設計，遂得以發明出本 發明。 【發明内容】 本發明之主要目的，係在提供一種裝置，可以連續監 測容器中之液體水位’尤其是-種有機金屬化合物之水位 ，以克服或至少減少習知傳統設備之缺點。 本發明之另-目的，係在提供—種方法，可以連續監 測容器中具化學反應之液體的水位，尤其是—種有機金屬 化合物之水位，以克服或至少減少習知傳統方法之缺點。 如前所述，本發明第一目標在於提供一種裝置，可以 監測谷裔中反應液體之水位，該裝置包括設有至少一金屬 探針’而該探針係密封在容器中充當第一電極，該探針之 密封端係封圍於一玻璃材質中，另設有一第二電極和第一 電極隔開形成-電容器；再設-電子控制裝置以供應電容 器之電流，以及-監控裝置以監測電容器之電容。 本發明第二目標在於祕1方法，可以監測容器中 有機金屬化合物之水位，此方法之步驟t將至少一金屬 探針插入容器中充當I電極，該探針之密封端係封圍於 —，璃材料’並將該探針封__材質+之該端氣密 气选封在谷器中’再另*有—第二電極作為電容器，接著 供應電容器電流並監測其電容。 該重視的是，設置兩個分開的電極是為了在它們之間 產生需要的電介質，在此航下所形成的電容ϋ之電容， 將會隨著探針間液量而因此可以監測容器中液體之 取好是’容ϋ本身是-種金屬容H，如獨鋼容器， 充田第—個電極，或者，可將兩平行的探針密封在裝置 内，分別充當第一和第二電極。 長桿或一扁長板 ’用不銹鋼做成 插入容器中的金屬製之探針可以是一 或長官，而且探針可以是中空或實心的 的探針較好。 本發明之探針制刺於監财機金屬化合物之水位 抓針最好和容器頂關σ結合，而該容轉常像氣泡 個人口管和—出口管，探針的—端最好有玻 質L覆著，並密封在容器上端開口中， =在—㈣撕巾，咖嫩梅ς設= 益開口中’而且刻定座最好設有電連接裝置供探針使用 1306943 ’例如插入式的BNC插頭。 探針從封口往下延伸段至少有一部份可以塗覆一合成 橡膠材質’如鐵氟龍（Teflon)之塗層。 。 包覆並密封在玻璃材質中的探針最好至少有—部份含 有百分之七十的鎳合金，而該合金的沈殿物在加入紹和（ 或）鈦之後可以變硬，適合這類的合金包括有市面出售而 商標名稱為鎳鉻鐵合金（Ιηα)η6υ χ_75()、鎳鉻鐵合金 _或鐵鎳鈷合金，其中以鎳鉻鐵合金χ_75〇最好，密封部 分探針之玻璃最好是卿_破璃，較適合和探針制己密 封。 八該玻璃材質接著被密封在固定座中，而該固定座最好 含有鎳合金，如鎳鉻鐵合金Χ_75()，固定座紐在其結合 面及内表絲合設置有—_表面密封配件，如—種^ 的輪廓裝配電接頭及玻璃和金屬相互間之密封，气 墊圈最好是-種在束緊時可以變形的墊圈，以利金屬和: 屬間之固定密封’電接頭最好包覆有-層絕緣材質，如聚 醚醚曱酮（PEEK)。 入 傳統裝置會把交流或直流電源引用於探針，而監測器 如電谷计异器則用於測量電容之變化，最好同時也設有 個§己錄以記錄電容之變化，而該記錄器可包括顯示器 、’如液晶齡H ’最舰使t容連續魏測，崎容器 液體之水位提供連續讀數。 ^好’監测裝置設有系統校準之器具，使特別的電容 和容器憎別的液體容量相符合，例如，容器中無液體時 1306943 二2上所記錄的電容可以設定為「G」，而容器灌滿 ==為「_」，最好，監剛裝置可被校準以配 液體之特性’此外’該監職置也可對容器 鈦供液體排出或加入之速率。 之$發j的實施例中，設有一個含有有機金屬化合物 ’該氣泡器包括一個密封的金屬容器，該金屬容 “有一入口管、-出口管、-浸潰管，又有一支密封在 容器中金屬製之粝斜 令叉山封在 ’，而該谷器和探針形成一個電容器， 另故有1子控制襄置以供應電容器 用以測量電容器之電容。 孤句 【實施方式】 明刀了解本發明，辭較佳實施例，並配合圖式說 明如下· 、，二弟;=第二圖所示，本發明第-實施例之水位監 =置位可連續監測如氣泡器2之容器中之有機金屬化合 物的水位，氣泡器2設有—入口管4、—浸潰管咏一出口 管8，而入口管4和浸責管6相通，一金屬製之探·插入 氣泡器2並穿伸其中央及整個長度，探針H)的上端密封在 =玻璃層12中，而且密封在容器頂端以保持氣泡器2中之 壓力’亚使其巾内容物和外面空氣隔離’浸潰在氣泡器2 裡所含先質中的探義之底端塗覆—種祕化學作用^且 抗熱的材質，如聚四氟乙埽⑽E)或其他合成橡膠材所 ’探針10_端和-個電子控織置14連接，該電子: 裝置14設有-賴、和—監控裝置連通，哺監控裝置;顯 1306943 示氣泡器2中液體水位之讀數。 如上文所述，該探針1〇可被密封在該氣泡器2中，為 了更好了解本發明及更清楚表示如何實施起見，請參照下 面各範例，其中第一範例係調查依本發明一實施使用器具 測定氣泡器2中三曱基鎵（TMG)之變動水位，第二範例係 5周查使用同器具測定氣泡器2中三甲基銘（TMA)之變動水 ，，第二範例係調查依本發明另一實施使用器具測定氣泡 器2中一甲基銘（)之變動水位，第日範例係調查使用 同器具測定氣泡器2中三甲基鎵（TMG)之變動水位，並參 ^ 考所附圖式，其中： 〔範例1〕 係進行一項研究以證明本發明第一實施例中之容器水 位監測裝置能夠連續監測氣泡器2中三甲基鎵（TMG)之水 5的月b力將上文所述之探針1〇密封在氣泡器2中，而當 乳泡器2内無液體時’監控器歸零，接著於氣泡器2中注 一-甲基鎵（大約18〇克=157毫升〕’並把讀數設定在最 :點’然、後’把氣泡器2巾之材料經由浸潰腳排出該氣泡 · 爪入另各器，此時讀數(Teietrendra)上所指出水 位繼績被記錄下來’由該記錄可知，當氣泡器2中材料被 排出時，讀數會從降至G%，如第三圖所示，曲線 圖中斜坡的陡度是取決於材料排出之速率，—但氣泡針 中所有材料被排出’可將較多的材駐人氣泡器2中 視監測裝置，結果讀數從0%回升至1〇0%。 双 〔範例2〕 10 1306943 係進行一項研究以證明本發明第一實施例中之容器水 位監測裝置能夠連續監測氣泡器2中三甲基鋁（τ·)之水 位的能力，如範例一所述，當氣泡器2内無任何液體時， 和探針10連線的監視器歸零，接著於氣泡器2中注入三曱 基紹（大約120克= 160毫升）’並把讀數設定在最高點， 之後’將氣泡器2中之材料經由浸潰腳排出該氣泡器2而 流入另一容器，此時讀數(Teletrend tm)上的讀出水位會 被記錄下來’由該記錄可知’當氣泡器2中材料被排出時， 讀數會從100%降至’如第四圖所示，曲線圖中斜坡之 陡度是取決於材料排出之速率。 圖式中第五、六圖是說明本發明第二實施例中未插入 氣泡器2之探針1〇，該探針1〇包括一中空不鎮鋼長管2〇， 而其尾段22健封在-固定細之巾，探針職密封在固 定座3时之尾段22是用-_合金製成，如市面出售而商 標名稱為鎳鉻鐵合金（inconel χ_75〇),其鎳含量為刊 % ’鎳鉻鐵合金Χ-750之特性類似於鎳鉻鐵合金_，但是 形成之沈麟在加人紳鈦後會變硬，探卿之尾段以密 封在玻璃材質34之中。 一鎳鉻鐵合金600具有高抗熱性和高抗錄，此種錄含 量很高的合金能夠抗拒很多有機和無機化合物的腐餘性^ 而且能避免受氯化物離子應力腐_化，鉻能抗拒硫石黃化 ^物’也能減高溫時的氧化情況或雜性的溶液，而且 能抗拒高純度水的雜，雜鐵合終有 化能力和高抗縣度似在物㈣度（觀彻 11 1306943 溫時有潛變斷裂之特性。 鎳鉻鐵合金X-750製成的探針1〇之尾段22為玻璃對金 屬相互配合之密封段，須靠-種氧化層使金屬對玻璃密封 ，因此，須選用熱膨脹係數相同的玻璃和金屬，才能使玻 璃在融合的過程中受到最小之應力’鎳鉻鐵合金或鐵鎳鈷 合金最好和棚碎酸鹽玻璃融合相互密封。 探針10有玻賴金屬密封之尾段22係密封在固定座3〇 中’而固疋座30的座體32也是用鎳鉻鐵合金X_75Q製成， 該固定座30在結合面以及内部輪廓結合有半英吋的 SWagel〇k®VCR輪I*卩以適合裝配BNC接頭，以及玻璃對金屬 之密封’ VCR是-種高完整性、高純度的金屬墊圈表面密 封之配件’細會受配件凸起的橫斷面之緊壓而變形，使 金屬和金屬的料牢固，BNC聚醚ϋ甲酮（丽）的絕緣 邊36和電極連接件38-起設置德·尾段22的頂端。 〔範例3〕 研究以證明本發明第二實施例中的水面監測裝置能夠 連續監測氣泡器2中三曱基紹（ΤΜΑ)之水位的能力，結果 顯示，清參閱第七圖所示，當氣泡器2灌滿三甲基鋁時， 校準級數為100% ’當氣泡||2空時，校準級數為G %，該 注意的是該氣泡器2内液體的灌入和抽出必須使用正壓使 水位快速變動。 〔範例4〕 另外作一研究以證明本發明第二實施例中之水位監測 裝置能夠連續監測氣泡器2中之三曱基鎵（TMG)之能力， 12 1306943 ”過私和I咖所述㈣，但其校準級數是從讀數⑽％往 下降而不是像範例3帽述姻％往上升，其結果如第八圖 戶斤7K 〇 _ 即和4所獲得的結果顯示，本發明第二實施例中 了置有探針1G的氣泡器2能夠連續監峨泡器2中之水位 ’在乳泡器2灌人液體和抽乾液體時，由曲線圖的急坡度 所不即可得到快速反應時間。 、本發明提供—鋼量探針適合於監測氣泡H2中所含 液體之水位，而該氣泡器2具強ft；性，而且可以和其所含 ，有，金屬化合物相容，因此，本發·夠連續監測個別 t有機金屬化合物之水位，而使用者便能夠知道 二^泡中的材料已用完而須再添購，而且使氣泡器2 ^之姻_最大量’此外’ _和探卿結合在— 已，密封在氣泡H2 口中，可崎持其中之壓力，而且可 軋泡器2中^易受空氣影響的内容物和外界空氣隔離。 此外’後封能抗高溫而且不會影響水位 f中之用以塗覆探卿的合成橡膠不會:學 作用’因此可以保持前驅物之純度，而且，本發明之探針 10比傳統的玻猶針較不易碎裂，這—項很重要，尤 =，’還有，探針不可以破裂否則會因;氣 泡盗2中㈣秘賴s，甚至可糾起火災， 探針10密封在固定座30中使氣泡器2固接不漏，尤盆是之 ;具有減度、高完整性和高強度，而適合放入有機金屬 别驅物的缝韻首見，此密封之裝置可以抗高壓， 13 1306943 且掉落時可以抗震’即使在只有百萬分之一的不純度情況 下也不會污染，很重要的是’探針1〇必須要能夠在不錄鋼 製成且具尚完整性的容器（氣泡器2 )中，連續顯示出有 機金屬前驅物之水位’但，這種不起化學變化，具高強度 、操作容易，而且具可靠性及準確性之探針1〇目前還沒有 ，此外’電容設置成固定座3〇或罩子整體的—部分，而固 定座30並設有電連接裝置供探針10使用，這種結構也屬首 見。 綜上所述，本發明實施例確實已能達到所預期之目的 ^ 及功效，且未見有相崎徵者公開在先 合發明專利之申請要件，妥依法提出申請，懇請早： ’並核賜專利，實深任感荷。 【圖式簡單說明】 第—圖所示係為本發明容財位監_置配設-探針實施 例之前視圖。 、 第二圖所示係為第—圖中探針之剖面圖。 第三圖所示係為本發明容器水位監測裝置之氣泡器中三？ · ^基鎵的水位隨測量時間變動之曲線圖。 第四圖所示係為本發明容器水位監測裝置之氣泡器中三甲 ★ 基紹的水位隨測量時間變動之曲線圖。 所示係為本發明第二實施财探針之縱向剖視圖。— 心圖所示係為第五财探針之橫剖面圖。 第七圖所示係為本發明容器水位監測裳置之容器中三甲基 鋁的水位隨測量時間變動，由第五、六圖所干之ς 14 1306943 針所測得之曲線圖。 第八圖所示係為本發明容器水位監測裝置之容器中三曱基 鎵的水位隨測量時間變動，由第五、六圖所示之探 針所測得之曲線圖。 【主要元件符號說明】 12玻璃層 2 氣泡器 22尾段 32座體 36絕緣邊 4 入口管 8 出口管 10探針 14電子控制裝置 20不銹鋼長管 30固定座 34玻璃材質 38電極連接體 6 浸潰管 15

Claims (1)

1306943 十、申請專利範圍： 1. 一種監測容器中反應液艨水位之裝置，主要係設有 至少一金屬探針，而該探針係密封在容器中充當第一電 極，該探針之密封端係封圍於/戚璃材質中，另設有一第 二電極和第一電極隔開形成一電容益，再設一電子控制裝 置以供應電容器之電流，以及，參控裝置以監測電容器之 電容。 2. 如申請專利範圍第1項戶斤述監測容器中反應液體水 位之裝置，其中，容器本身是個金屬容器充當第二電極。 3. 如申請專利範圍第丨項所述監測容器中反應液體水 位之裝置，其中，探針是不銹鋼製成的。 4. 如申請專利範圍第1項所述監測容器中反應液體水 位之裝置，其中，玻璃材質是硼矽酸鹽玻璃。 5. 如申請專利範圍第1項所述監測容器中反應液體水 位之裝置’其中，探針係密封在容器頂端之開口中。 6. 如申請專利範圍第1項所述監測容器中反應液體水 位之裝置’其中，探針是密封在一個插置於容器開口内之 固定座或罩子中。 7·如申請專利範圍第6項所述監測容器中反應液體水 位之裝置’其中’固定座内設置供探針使用之電連接器。 8. 如申請專利範圍第1項所述監測容器中反應液體水 位之裝置’其中’探針自密封處往下之延伸段塗覆有一層 合成橡膠材質。 9. 如申請專利範圍第1或8項所述監測容器中反應液體 16 l3〇6943 水位之裝置，其中，密封在玻璃杖質中之探針，該延伸段 含有鎳合金。 10. 如申請專利範圍第9項所述監測容器中反應液體水 仅之裝置，其中，該合金是一種鎳鉻鐵合金或鐵鎳鈷合金。 11. 如申請專利範圍第9項所述監測容器中反應液體水 仅之裝置，其中，合金包含I呂和（或）鈦。 12. 如申請專利範圍第1 〇項所述監測容器中反應液體 之裝置，其中，該合金為鎳鉻鐵合金X-750。 13. 如申請專利範圍第6項所述監測容器中反應液體水 裝置，其中，該固定座是鎳合金製成。 14. 如申請專利範圍第13項所述監測容器中反應液體 水仅之裝置，其中，該合金為鎳鉻鐵合金χ_75〇。 15. 如申請專利範圍第1項所述監測容器中反應液體水 仅之裝置’其中，加設一監控器以監測電容之變化。 16·如申請專利範圍第1項所述監測容器中反應液體水 立<骏置’其中’加設一記錄器以記錄電容之變化。 ^ 17.如申請專利範圍第1項所述監測容器中反應液體水 襄置’其中’加設一顯示器用以顯示容器中液體之水 仅18·如申請專利範圍第1項所述監測容器中反應液體水 別置’其中’加設有校準器用以校準監測裝置’使特 <電容能符合容財㈣之特別容量。 仅如申請專利範圍第1項所述監測容器中反應液體水 x置’係用以監測有機金屬化合物之水位。 17 1306943 20. 如申請專利範圍第1項所述監测容器中反應液體水 位之骏置，其中，該容器是一種氣泡器。 21. 如申請專利範圍第2〇項所述監測容器中反應液體 水位之裝置，其中，該氣泡器含有一種有機金屬化合物， 該氣泡器設有一密封的金屬容器，該金屬容器設有一入口 g、一出口管、一浸潰管，又有一探針密封在該容器中， 容器和探針構成一電容器，另設一電子控制裝置以供應電 谷器電流，以及一監測器以測量電容器之電容。 22. —種監測容器中反應液體水位之方法，主要係在監 參 /貝J各器中有機金屬化合物之水位，該方法含有下列步驟， 將至少-金屬探針插入容器中充當第一電極，該探針之密 封端係封圍於-玻璃材質中’並將該探針封圍於玻璃材質 中之該端氣密式密封在容器中，再另設有 電容器，⑽供輕容料流並監離餘。

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