TWI291250B - Light emitting diode structure - Google Patents

Light emitting diode structure Download PDF

Info

Publication number
TWI291250B
TWI291250B TW95101412A TW95101412A TWI291250B TW I291250 B TWI291250 B TW I291250B TW 95101412 A TW95101412 A TW 95101412A TW 95101412 A TW95101412 A TW 95101412A TW I291250 B TWI291250 B TW I291250B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
layer
semiconductor layer
light
doped semiconductor
type doped
Prior art date
Application number
TW95101412A
Other languages
English (en)
Other versions
TW200727513A (en
Inventor
Yun-Li Li
Tzu-Chi Wen
Liang-Wen Wu
Chi-Jui Chen
Fen-Ren Chien
Original Assignee
Formosa Epitaxy Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Formosa Epitaxy Inc filed Critical Formosa Epitaxy Inc
Priority to TW95101412A priority Critical patent/TWI291250B/zh
Publication of TW200727513A publication Critical patent/TW200727513A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI291250B publication Critical patent/TWI291250B/zh

Links

Landscapes

  • Led Devices (AREA)

Description

129125ft twf.doc/g 九、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明是有關於一種發光二極體(Light Emitting Diode,LED)結構,且特別是有關於一種具有較佳之發光 效率的發光二極體結構。 【先前技術】 由III-V族元素化合物半導體材料所構成的發光二極 體是一種寬能隙(wide bandgap)的發光元件,其可發出 之光線從紅外光一直到紫外光,而幾乎涵蓋所有可見光的 波段。發光二極體元件的發光效率高低主要取決於發光層 的内部量子效率(Internal quantum efficiency)以及元件的光 取出效率(light extraction efficiency),即外部量子效率 (External quantum efficiency )。其中,增加内部量子效率 的方法主要是改善發光層的長晶品質及其結構設計,而增 加光取出效率的關鍵則在於減少發光層所發出的光在 LED内部全反射所造成的能量損失。 % 圖1緣示為習知之發光二極體晶片的立體示意圖。請 參照圖1,習知的發光二極體晶片1〇〇是由一基材u〇、一 N型半導體層120、一發光層130、一 P型半導體層140、 一 N型接觸墊150以及一 p型接觸墊160所構成。其中, N型半導體層120位於基材no上,而發光層13〇位於N 型半導體層120上,且p型半導體層14〇係位於發光層13〇 上。此外,N型半導體層120之部分區域上未覆蓋有發光 層130與P型半導體層14〇。此外,上述之n型接觸墊150 ftwf.doc/g 係位於未被發光層130與P型半導體層140所覆蓋之N型 半導體層120上,而P型接觸墊160則係位於P型半導體 層140上。
然而,在上述之發光二極體晶片100中,由於發光層 130是一個僅具有單一發光區域之膜層,因此,其發光效率 仍有改善的空間。此外,上述之發光二極體晶片1〇〇常會 產生藍光偏移效應(blue shift effect)。所以,如何藉由改變 發光層之結構,以提升發光二極體之内部量子效率,並且 避免藍光偏移效應的發生,實為亟待解決之一大難題。 【發明内容】 本發明的目的就是在提供一種發光二極體結構 有較佳的發光效率,且可避免產生藍光偏移效應。
。為達上述或其他目的,本發明提出一種發光二極體結 構,其包括:一基板、一第一型掺雜半導體層、一絕緣層、 多個發光層、一第二型掺雜半導體層、一第一接墊以及一 第二接塾。其巾’第-型掺雜半導體層位於基板上。絕緣 層位於第一型掺雜半導體層上’且其具有多個開孔 (叩enings),以《出部分的第一型掺雜半導體層。多個發 光層分別配置於絕緣層巾所對應的開仙。第二型捧雜^ ^體層位於絕緣層及發光層上。第—缝位於第—型捧雜 =導體層上,且與第—型掺雜半導體層電性連接。第 雜:導體層上’且與第二型掺雜半導體層 2連接。此外,亦可藉由空氣間隙(air gap)使發光層相互 ’如此-來’即不需藉由上述具有多個開孔之絕緣層, 7 doc/g 1291251. 而使各發光層相互獨立。 在本發明之一較佳實施例中,基板之材質包括矽、破 璃、砷化鎵、氮化鎵、砷化鋁鎵、磷化鎵、碳化矽、磷化 銦、氮化硼、氧化鋁或氮化鋁其中之一。 在本發明之一較佳實施例中,第一型掺雜半導體層為 一η型半導體層,而第二型掺雜半導體層為一p型半導 層0 在本發明之一較佳實施例中,第一型掺雜半導體層包 括··一緩衝層、一第一接觸層與一第一束縛層。其中,緩 衝層位於基板上。第一接觸層位於緩衝層上。而第—束轉 層位於第一接觸層上。 ί 在本發明之一較佳實施例中,絕緣層之材料包括二 化矽。 一乳 在本發明之一較佳實施例中,上述開孔之形狀為多邊 形0 圓形 在本發明之一較佳實施例中,上述開孔之形狀為 或橢圓形。 · 在本發明之一較佳實施例中,此發光層包括一多 子井結構。 里 在本發明之一較佳實施例中,第二型掺雜半導體層包 括:一第二束缚層以及一第二接觸層。其中,第二 位於絕緣層及發光層上,且第二接觸層位於第二束缚層上曰。 综上所述,本發明之發光二極體結構是利用具有多個 開孔之絕緣層將發光層分割為多個不連續的島狀纟士 ,doc/g (enutting island),或是藉由空氣間隙使發光層相互隔離, 以增加發光二極體結構之内部量子效率,進而提升發光二 極體結構的發光效率。此外,本發明之發光二極體結構亦 可藉由具有不連續結構的發光層,以避免藍光偏移效應之 產生。 為讓本發明之上述和其他目的、特徵和優點能更明顯 易懂,下文特舉較佳實施例,並配合所附圖式,作詳細說 明如下。 【實施方式】 圖2繪示為本發明之發光二極體結構的剖面圖。請參 考圖2,發光二極體結構2〇〇主要包括:一基板21〇、一第 一型掺雜半導體層220、一絕緣層230、多個發光層240、 一第二型掺雜半導體層250、一第一接墊260以及一第二 接墊270。其中,第一型掺雜半導體層22〇是位於基板21〇 上。而絕緣層230是位於第一型掺雜半導體層22〇上,且 絕緣層230具有多個開孔232,以曝露出部分的第一型掺 雜半導體層220。多個發光層240分別配置於絕緣層23〇 中對應的開孔232内。第二型掺雜半導體層25〇是位於絕 緣層230及發光層240上。第一接墊260是位於第一型掺 雜半導體層220上,且與第一型掺雜半導體層22〇電性連 接。第二接墊270是位於第二型掺雜半導體層250上,且 與第二型掺雜半導體層250電性連接。本發明即是藉由絕 緣層230中之開孔232,將發光層240分割為多個不連續 的主動區域(discrete active region),如此一來,即可改變發 9 doc/g 12912 氣 ,二極體結構綱内之電流分佈,以增加其内部量子效 率,進而提高發光二極體結構2〇〇之發光效率。 對上述構件之詳細結構進行描述,但以下的 “述僅作絲舰明之用,並_以限定 項技術之人士在參照本發明之揭露内容後,.當 可作的更動與濁飾,惟其仍應屬於本發明之範轉。 砷仆:ί 2二之材質例如是矽、玻璃、砷化鎵、氮化鎵、 Πϊ主ΐ轉 '碳_,化细、氮化石朋、氧化銘或 220 lUf或非半導體之材質。第—型掺雜半導體層 掺雜半導體層220可例如是一 n型半導體層。J中弟t =緣層230是位於第一型掺雜半導體層上,且其 220 232 ’以曝露出部分的第一型換雜半導體層 W ^ 實施例中,絕緣層230可由絕緣材料所 ^成例如.二氣化石夕。此外,上述之開孔232可具有夂 3Α不如多邊形、圓形、橢圓形或其他形狀。‘ 者圄有不R開孔形狀之絕緣層的立體示意圖。請表 =A所不’絕緣層23〇中具有多個彼此相互平行的佟 ^孔232a,ϋ 3B巾所示之絕緣層23〇具有多個呈矩 排列之矩形開孔232b ;而圖3C中所示之絕緣層 二广:多個呈矩陣形式排列之橢圓形: 中之開孔议的形狀、數目及其排列 目及其排列方式不作任何限制。 开遗數 12912氣 f.doc/g 發光層240是分別配置於絕緣層23〇中對應的開孔 232内,藉由絕緣層230中之開孔232而將其分割為多個 彼此分離的小區域,以使得發光層24〇形成一不連續的結 構,進而增加發光二極體結構2〇〇之内部量子效率。在本 發明之一實施例中,發光層240可例如是一 GaNAnGaN的 多置子井結構(Multiple Quantum Well,MQW)。此外,第 一型掺雜半導體層220之部分區域上未覆蓋有絕緣層23〇 與發光層240。第二型掺雜半導體層25〇是位於絕緣層23〇 及發光層240上,在本發明之一實施例中,第二型掺雜半 導體層240可例如是一 p型半導體層。 圖4繪示為本發明之發光二極體晶片中的第一型掺雜 半導體層、發光層與第二型掺雜半導體層的局部剖面圖。 請麥考圖4所示,在本發明之一實施例中,第一型掺雜半 導體層220例如是包括一緩衝層222、一第一接觸層 (contact layer)224與一第一束缚層226。緩衝層222是位二 基板210上;第一接觸層224是位於緩衝層222上;而第 一束缚層226是位於第一接觸層224上,且其可由N型掺 雜的氮化鎵(GaN)所組成。絕緣層230及發光層230是位 於第一束缚層226之上。而第二型掺雜半導體層25〇包括 一第一束缚層252與一第二接觸層254。第二束缚層252 是位於絕緣層230及發光層230之上,且其可由p型掺雜 的氮化鎵(GaN)所組成。第二接觸層254是位於第二束缚 層252之上,且其可由P型掺雜的氮化鎵(GaN)所組成。 請再繼續參考圖2,第一接墊260是位於未被絕緣層 f.doc/g =:第,之材f ;=== J:: 括N型透明導電氧化層以 2: t材枓包 型透明導電氧化層之材質為銦錫氧==層,f中, 電氧化層之材質為c,等锡魏物_収P型透明導 剖:㈣之發光二極體結構其第二實施例的 =‘考:=二:;構2°:大致亡是 第各,層24。之間存在有空氣間:’,在:; 而此叫貫施例中是利用空氣來隔絕各發光層240, „可用以提升發光二極體的發光效率。 半導=2=結構Γ之製作方式,可先於第-型掺雜 來,將i光屛夕個相互獨立的間隔物(SP·)。接下 物移广\ ^•冑人於各間隔物之間。最後,再將間隔 可利ΐ其:;=Γ5Τ蜀立的發光層24〇。此外’亦 擇性石曰/成圖中所示之發光層,例如:選 式不:;二=明對_5中所示之發光層施的形成方 開孔:ΐΞΪ,本發明之發光二極體結構是利用具有多個 办氨而將發光層分割為多個島狀結構,或是藉由 二乳間隙料光層相互隔離,以增加發光二極體結構之内 1291观 wf.doc/g 部量子效率,進而提升發光二極體結構的發光效率。此外 本發明之發光二極體結構亦可藉由具有不連續結構的 層’以避免藍光偏移效應之產生。 & 雖然本發明已以較佳實施例揭露如上,然其並非用以 限定本發明,任何熟習此技藝者,在不脫離本發明之籽 $當可:些許之更動與潤錦’因此本發明之:護 耗圍§視後附之申請專利範圍所界定者為準。 【圖式簡單說明】 圖1緣示為習知之發光二極體晶片的立體示意圖。 圖2! 會示為本發明之發光二極體結構其第—實施例的 圖。 圖3A〜3C為具有不同開孔形狀之絕緣層的立體示意 圖4綠示為本發明之發光二極體晶片中的第一型捧雜 +導體層、發光層與第二型掺雜半導體層的局部剖面圖。 圖5繪示為本發明之發光二極體結 剖面圖。 只丨 【主要元件符號說明】 1〇〇 :發光二極體晶片 110:基材 120 : N型半導體層 130 :發光層 140 : P型半導體層 150 : N型接觸墊 13 doc/g 160 : P型接觸墊 200 :發光二極體結構 200 ’ :發光二極體結構 210 :基板 220 :第一型掺雜半導體層 222 :緩衝層 224 :第一接觸層 226 :第一束缚層 230 :絕緣層 232 :開孔 232a :條狀開孔 232b :矩形開孔 232c :橢圓形開孔 240 :發光層 250 :第一型掺雜半導體層 252 :第二束缚層 254 :第二接觸層 260 :第一接墊 270 :第二接墊 14

Claims (1)

  1. twf.doc/g 十、申請專利範圍: 1·一種發光二極體結構,包括: 一基板; -第-型掺料導體層,位魏基板上; 且有:Γ位Γ第一型掺雜半導體層上,該絕緣層 具有夕個開孔’叫露出部分__型掺雜半導體層; 夕们毛光層’为別配置於該絕緣層中對應的該些開孔 内;
    •第-掺雜半導體層,位於該絕緣層及該些發光層 j -第-接墊,位於該第—型掺雜半導體層上,且與該 第一型掺雜半導體層電性連接;以及 —一第一接墊,位於該第二型掺雜半導體層上,且與該 第一型掺雜半導體層電性連接。 上2·如申明專利範圍第1項所述之發光二極體結構,其
    ^該基板之材質包㈣、玻璃、_化鎵、氮化鎵、坤化铭 鎵、磷化鎵、碳化H粦化銦、氮化蝴、氧化銘或氮化銘 其中之一。 3·如申請專利範圍第1項所述之發光二極體結構,其 中該第:型掺雜半導體層為一n型半導體層,而該第二型 掺雜半導體層為一 Ρ型半導體層。 4·如申請專利範圍第1項所述之發光二極體結構,盆 中該第一型掺雜半導體層包括: 八 一緩衝層,位於該基板上; 15 I29im doc/g 一第一接觸層,位於該緩衝層上;以及 一第一束缚層,位於該第一接觸層上。 5. 如申請專利範圍第1項所述之發光二極體結構,其 中該絕緣層之材料包括二氧化矽。 6. 如申請專利範圍第1項所述之發光二極體結構, 其中該些開孔之形狀為多邊形。 7. 如申請專利範圍第1項所述之發光二極體結構,其 中該些開孔之形狀為圓形或橢圓形。 8. 如申請專利範圍第1項所述之發光二極體結構,其 中該些發光層包括一多重量子井結構。 9. 如申請專利範圍第1項所述之發光二極體結構,其 中該些第二型掺雜半導體層包括: 一第二束缚層;以及 一第二接觸層,其中該第二束缚層位於該絕緣層及該 些發光層上,且該第二接觸層位於該第二束缚層上。 10. —種發光二極體結構,包括: 一基板; 一第一型掺雜半導體層,位於該基板上; 多個相互獨立之發光層,位於該第一型掺雜半導體層 上; 一第二型掺雜半導體層,位於該些發光層上; 一第一接墊,位於該第一型掺雜半導體層上,且與該 第一型掺雜半導體層電性連接;以及 一第二接墊,位於該第二型掺雜半導體層上,且與該 16 f.doc/g 第二型掺雜半導體層電性連接。 11·如申請專利範圍第10項所述之發光二極體結構, 其中该基板之材質包括石夕、玻璃、神化鎵、氮化鎵、石申化 鋁鎵、填化鎵、碳化矽、磷化銦、氮化硼、氧化鋁或氮化 鋁其中之一。 12·如申請專利範圍第1〇項所述之發光二極體結構, 其中該第一型掺雜半導體層為一η型半導體層,而該第二 型掺雜半導體層為一Ρ型半導體層。 13·如申請專利範圍第1〇項所述之發光二極體結構, 其中該第一型掺雜半導體層包括: 一緩衝層,位於該基板上; 位於該緩衝層上 弟一接觸層 一第一束缚層,位於該第一接觸層上^ Μ.如申請專利範圍第1()項所述之發光二極體結構, 其中该些發光層之間存在有空氣間隙。 15·如申'月專利範圍第忉項所述之發光二極俨έ士槿 其中該些發光層包括—多重量子井結構 ^構’ .如申請專鄉_ 1G項㈣ 其中該些第二型掺雜半導體層包括: 體-構’ 一第二束缚層;以及 一第二接觸層,复中兮筮一未 卜日今坌-;&總甲μ弟—束縛層位於該些發光層 上且4第-接觸層位於該第二束缚層上。 17
TW95101412A 2006-01-13 2006-01-13 Light emitting diode structure TWI291250B (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW95101412A TWI291250B (en) 2006-01-13 2006-01-13 Light emitting diode structure

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW95101412A TWI291250B (en) 2006-01-13 2006-01-13 Light emitting diode structure

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW200727513A TW200727513A (en) 2007-07-16
TWI291250B true TWI291250B (en) 2007-12-11

Family

ID=39460472

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW95101412A TWI291250B (en) 2006-01-13 2006-01-13 Light emitting diode structure

Country Status (1)

Country Link
TW (1) TWI291250B (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI789764B (zh) * 2021-05-21 2023-01-11 友達光電股份有限公司 發光元件及其製造方法與發光裝置的製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
TW200727513A (en) 2007-07-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5115425B2 (ja) Iii族窒化物半導体発光素子
CN103283045B (zh) 高效发光二极管
JP4860330B2 (ja) 窒化物系半導体発光素子及びその製造方法
TW201037866A (en) Semiconductor and method for forming the same and flip-chip light emitting diode package structure
KR20100094243A (ko) 발광소자 및 그 제조방법
TWI712184B (zh) 半導體發光器件及其製造方法
TW201214771A (en) Light emitting device, light emitting device package, and lighting device
TW201324863A (zh) 發光二極體元件以及覆晶式發光二極體封裝元件
TW201526282A (zh) 發光二極體晶片
US20190221713A1 (en) Light emitting diode chip
CN113594329A (zh) 一种抑制SRH非辐射复合的Micro LED器件及制备方法
TW201037859A (en) Light emitting diode chip and manufacturing method thereof
US8008686B2 (en) Light emitting diode chip
TW201034252A (en) Light emitting device
CN105336829B (zh) 倒装发光二极管结构及其制作方法
CN113964249A (zh) 发光二极管及其制造方法
TWI291250B (en) Light emitting diode structure
US20150076445A1 (en) Light-emitting diodes
TWI540754B (zh) 發光二極體及其形成方法
US8946762B2 (en) Light emitting diode and light emitting diode package
US20080079013A1 (en) Light emitting diode structure
TW201248908A (en) Semiconductor light emitting device
TWI488337B (zh) 發光元件及其製作方法
CN111987196A (zh) 半导体元件
JPH10275933A (ja) 半導体発光素子