TWI284206B - Conductive line inductor measurement and modeling method and system - Google Patents

Description

1284206 五、發明說明（1) -、【發明所屬之技術領域】 本發明是關於一種傳輸線電感量測與模型化方法及其 系統，特別是關於傳輸線電感寬頻特性量測與模杳化方法 與系統。本發明揭示利用超短脈衝（i mpu 1 s e)信號’對 傳輸線電感元件進行特性量測及建立等效模型之方法與系 統。 、【先前技術】 正確的電路元件模型化乃是電路設計最重要的基礎。 在設計電路之初，首先利用等效模型描述元件。〆旦所得 之等效模型與實際元件不符，將導致設計失敗，造成設計 及製作成本的浪費。由於電子元件設計已朝向高擴及高位 元比發展’電路設計者面臨的挑戰包括：超高頻響應 (ultra high-frequency response)、瞬間 :transient)或寬頻電路行為、非線性響應、單一統合 模型等必須嚴加審視並克服的問題。 ^電感（例如螺旋電感）是使用在射頻濾波器、低 ^二大益、壓控振盪器及功率放大器等電路中相當重要 因：ΐ::ί傳輸線電感之特性可決定應用電路之性能， 之特性了 a九t員正不斷研究如何增強或控制傳輸線電感 等=路ίΓΓ線】感之特性’研究人員提出不同之 已提出之模^ =以正1描述傳輸線電感之S參數。目前 素而建立2 同基板接觸表面圖型及幾何因 電路之多段式等效電路等。通常而·τ，對等效 之適g建置提案對於正確套用所量測到之 1284206 五、發明說明（2) 各’極為重要。 若欲描述之 常就越複雜。事 用在一個等效電 之解析度，對傳 之’對傳輸線電 頻之等效電路模 題對切換型或寬 因此目前極 寬頻等效電路模 同時也必須 輸線電感之量測 【發明内容 本發明之目 模型化方法。 本發明之目 件之量測及模型 本發明之目 電感特性及建立 本發明之目 及建立等效電路 本發明的目 電感特性及建立 依據本發明 S參數所涵蓋之頻寬越寬，則等效電路通 實上，要將較寬之頻率範圍的3參數都套 路上並不容易。其結果便是難以用較佳 輸線電感之時間域響應加以模擬。換言 感作特丨生抽取時之技術瓶頸在於建立一寬 型，用以精確進行時間域之模擬。這種問 頻微波電路，更形重要。 建立精確之傳輸線電感 玉i得褕線電感模型化方法。 1種可以簡化程序，應用在不同規格傳 與模型化方法。 』現修得 的乃在提供一種簡化之傳輸線電感量測與 的也在提供一種可虛 儿士、Α 裡』以應用在不同規格之元 化方法。 ϊ ί i提供一種利用超短脈衝量測傳輸線 專效電路模型的方法。 楹=ί提仏一種正確量測傳輸線電感特性 槟型的方法。 的也在提供一藉伟用μ、+、+ . 禋便用上述方法量測傳輸線 專效電路模型的系統。 之傳輸線電感特性量測與模型化方法，係 1284206 五 包 發明說明（3) 代 轉 性 括·對一傳輸線電感進行時間域特性的量測，取得一組 表其元件特性的時間域原始資料；將該時間域原始資料 換成頻率域的元件特性原始資料；依據該頻率域元件特 二原始資料進行系統校正及去除寄生誤差，獲得純淨元件 祕性的頻率域資料；將所得的元件頻率域資料轉換成時間 ^凡件特性資料；及依據該時間域元件特性資料建立等效 路，型。在本發明中，該傳輸線電感之時間域原始資 唷，是透過對該電感元件施以超短脈衝信號，並量測該信 粗二電Ϊ對其之響應而獲得。該時間域資料與該頻率域資 + 之換’可以利用例如傅利葉轉換（F 〇 u r i e r 、 狀1^進行。此外/依據傳輸線電感的規則幾何形 r 早以公式計算模型中各段傳輸線之特徵。 四、【實施方法】 饤 並參ί S t本發明之目的及優點，可由以下詳細說明 及模型化；法盥t清楚。以下說明本發明傳輸線電感量測 汉犋玉化方法與系統之實施例。 個電論所拘束，但本發明人發現，如果-該模型應能符ίΐ模型能忠實描述一個超短時間域效應， 要求：：=:元:牛寬頻、非線性及超高頻等特性之 下，施二= :超Ϊ脈衝，其長度在以 響應與穿透響應、。所得之資料為；衝：其反射 料轉換成頻率域之資料。利用該以再將該資 正及去除寄生誤莫 僅π < 貝半线貝枓進行資料之校 >差，獲付純淨的元件特性資料。本發明使

1284206 五、發明說明（4) 用超短脈衝所獲得之穿透響應與反射響應即含有超起時 内，具寬頻域分布及包括自小至大強度信號之特性之資間 料，足以描述該元件在超高頻、非線性及寬頻段的行^ 根據該量測所得資料足以建立元件之正確的等效電路檢° 型。 辑 此外，由於傳輸線電感具有規則的幾何形狀，在量、、 傳輸線電感之元件特性時，可以依據其幾何形狀之規^ ’則 性，透過逐層擷取之步驟，計算出各段傳輸線之元件牲 性’進而建立其元件模型。 使用者 %備， &體， I夠與 利用本發明之傳輸線 並不需更換其原有之高頻 增加一個超短脈衝產生器 即可利用舊有設備進行量 模型化方法的系統。 電感量測與模型化方法， 量測設備，只要在原有之 ’並利用尚非複雜的計算 測。本發明並揭示實現該 第 統圖。 包括.· 及其他 及元件 產生一 (13) 該信號 及其反 時間域 i圖顯示一本發明傳輪線電感量測及模型化系統 所不，本發明之傳輸線電感量測及模、 2測機台""用以放置待測元件，先 對=之；;“寺測：Γ施加輸入，並量測該= 超短H/f I " 超紐脈衝產生器（1 2)，用以 用以該待測元件；-信號擷取裝置 施加於：3於:土待測元件之超短脈衝信號，以及 射d 後之響應信號，包括其穿透響應 與頻I μ 一仏唬轉換模組（14)，以對一信號進行 率域間之資料轉換；-校正模組(15)，用以 1284206 五、發明說明（5) 一 ^~ 對該信號擷取裝置（13)所擷取之信號，進行校正及去除 寄生誤差；一逐層擷取模組（1 8)，用以依據逐層擷取步 驟，對待量測之傳輸線電感元件之各段傳輸線，計算其元 件特性值’一電路模型化模組（1 6)，用以依據該元件特 性量測值，建立傳輸線電感之等效電路模型；及一輸出裝 置（1 7) ’用以輸出該元件特性量測資料或該等效電路模 型資料。 、 在上述各模組中，該超短脈衝產生器（丨2)可以使用 任何可以產生超短脈衝信號之儀器，適用者包括但不限 Agilent，Anritsu, Tektronix等公司生產之脈衝產生 器。而該信號擷取裝置（1 3)則可以是任何已知之信號量 測儀器，例如一般商業化之寬頻示波器 (〇 s c i 1 1 〇 s c 〇p e)。且該量測機台（11)也可使用任何已 知之機台，例如C a s c a d e公司生產之高頻量測機台。由於 均屬已知技術，在此不予贅述。 該超短脈衝波產生器（1 2)所產生之脈衝信號需為在 時間域上短時間之脈衝。其時間長度最好是在1 〇Ops以 下，以涵蓋寬頻段。通常而言，利用一個約為3 0 p s脈寬 (pulse width)之超短信號，即可獲得足夠寬頻之量測 結果。該脈衝之上升時間與下降時間，在比例上並無特別 限制，通常約略相等。該脈衝信號之強度最好為可調，以 滿足量測不同元件時之需求。通常而言，調整範圍必須包 括數mV到數V之電壓大小。 使用時，在該機台（11)上適當置放待測元件’進行

第11頁 1284206 五、發明說明（6) 正確之連結，並置放探針。其後，以該超短脈衝產生器 (1 2)對該待測元件施以一超短脈衝，即可在該信號擷取 裝置（1 3)獲得該入射脈衝（i nc i den t pu 1 se)，其施加 在該待測元件後之穿透響應（transmitted response)及 其反射響應（reflected response)之波形。 將所得之時間域信號資料，以該信號轉換模組（1 4) 轉換成頻率域資料。在本發明之實例中，係可使用高速傅 利葉轉換（FFT)進行上述轉換。所得之資料供該校正模 組（15)進行校正。 第2圖顯示本發明之校正模組（1 5)對該信號進行校 正之流程圖。如圖所示’在（2 0 1)對該傳輸線電感及若 干標準校正元件進行量測，得到其施加脈衝，穿透響應及 反射響應之資料。於（2 0 2)將量測所得之資料輸入信號 轉換器（14)進行高速傅利葉轉換，得到頻率域資料。於 (2 0 3)以該校正模組（1 5)對該頻率域資料進行錯誤校 正。所使用的方法可以利用已知之方法，例如Hayden等人 所提出之單埠/二埠校正（one port / two - port calibration)方法。（見 L.A. Hayden et al.: "Calibration method for time domain network analysis"， IEEE Transaction on Microwave Theory and Techniques, Vol. 41，No· 3，pp 4 1 5-420，1 993年 3 月。）利用上述校正，可以得到校正後之S參數。其他可 以消除錯誤之技術，也可使用在本發明。 其次，於（2 0 4)仍以該校正模組（15)對該S參數進

第12頁 1284206 五、發明說明（7) 行去除寄生誤差之處理。在此步驟，也可利用已知之技術 進行，例如v a n W i j n e η所揭示之de - embeddin g方法，即可 取得所需之Y參數，用以有效去除該探針接腳（probe pads)所產生的寄生效應（parasitic effects)。（見 P.J. van Wijnen, "A new straight forward calibration and correct i on procedure for ’’on - wafer” high frequency S-parameter measurements (45M Hz-18G Hz) n， BCTM proc.， 1987， pp· 7〇一 7 3。）其他可以消除寄生誤差的技術，也可使用在本發 明。於（2 0 5)以所得之γ參數校正該s參數，獲得元件正 確=S參數。最後，於（2 0 6)以所得之3參數校正該頻率 域貝料，而於（2 0 7)以反傅利葉轉換，將該頻率域資料 轉換成時間域資料，獲得正確的時間域資料。 經由上述方法獲得之時間域資料，即為用來描述該待 ’貝元件的有用-貝汛。由於經過校正及去除寄生誤差，因此 可以正確描述該待測元件之特性。 之電述：：所取得之數值，係代表傳輸線電感整體 法，針對傳輸線電;1 :勺ί 係透過逐層擷取

算，以取得各段傳輸線之精確 、層加I 元件等效模型。 寺！·生數值據以建立正確之 傳輸線電感為一值給始* ^ , 何形狀。現設該傳於结雪^纏繞、纟。構，具有較規則的幾 見心亥傳輸線電感係由n+1段傳輸線組成，段間 1284206 五、發明說明（8) 反射係數為/¾ 之 則Μ表為 其中 因此 z,= Ζ分別表第i及第二2線之阻抗 -Zi ---— 一 — . 第3圖顯示一個依逐層操取八 ] 信號流程圖。圖中顯示該傳輸刀一固傳輸線電感之 線之集合，z表各段傳輸線段傳輸 時間（propagation time) 。 p別表不各段之傳遞 在圖中，各段間之反射係數 pit) 可以下式計算得出 ----(3) 間之i :反為大本广明v之Ϊ知脈衝在該傳輸線電感第t時: r為測得第1時間之電壓入射波大 ^ ^ ； “ i r(。兴 V i(。杓為已知，不 P y n w # 算第0時間之反射係數，也可據以叶算直仫叮以據以彳 數，如下： j像Μ冲异其他時間之反射係 間之气本發明之超短脈衝在該傳輸線電感第械 小。而ϊ i U ί ϊ ^為測得第⑽間之電壓入射波大算第。時間之反射係數：。也可;/二已算V他：但 數，如下· ^ j蘇以彳舁其他時間之反射係 第14頁 ------- 1284206 五、發明說明（9) •7 1 + 广01 *7 1 - All ，其中且Z為已知 7 + ζ Ζ/Λ — ....... •心1 其中

Pn ρ[ί = 2Τψά])— p{t = 0) ί1 ^Ροι) ，其中 /¾ 且Tpd為第1段之時間延遲 _ 冰=27^ + 2〜2) - = 2Τί(ί1) (卜/^丨卜Α22) 其中 pit = 2Tpdl + 2Tfd2 - + ^,djn-l))~~ pk = 2Tfd\ 2Tj,d2 2Trd{n-2)) (1 ~ P〇l)(^ - A22 )· · · (^ - Ρ^-2χχ-1)) 4) 此外 令第n段之電感為Ln，電容為Cn，則： W— -------( 5) d 〜-------(6) 其中， Α = ι/ζχ。 因此，只要適當設定各段之T pd，則各段之電感值與電 容值即不難得知。利用一個簡單的電腦程式，即可在任何 適用之電腦系統中進行計算，迅速獲得所需之各項數值， 用以代表各段之元件特性。 經過上述計算，該逐層擷取模組（18)可以將已經除

第15頁 1284206 五、發明說明（ίο) 去雜訊及寄生效應之超短 值，轉化成傳輸線電感各 特性。該電路模組化模組 線電感之等效電路模型。 路模型之方法，因屬已知 在上述逐層掏取的過 傳輸線之長度等數值，加 應非難事。經過計算所得 立之元件模型，則由該輸 第4圖顯示對一 3. 5圈 進行量測及以本發明之方 擬結果之比較圖。如圖所 擬結果十分接近，證明本 為入射波，V為反射波， 以上是對本發明傳輸 之說明，習於斯藝之人士 之精神進而作出不同的衍 之精神，均應包含於其申 及其反射效應及穿透效應 曰至各段之元件特性及其隼合 =)即可據以組合建立該傳輸 組合建立傳輸線電感等效電 之技術，於此不再贅述。 t:首該時間延遲可以依據各段 以什算。對此行業之人， 牛特性數值，或進而據二建 出模組（17)加以輸出。 ^線寬為m之傳輸線螺旋電感 法所建立之寬頻等效電路模型模 示’其量測結果與本發明模型模 發明確具優異之效果。（圖中v . V為穿透波。） 1 線電感量測與模型化方法及系統 不難由上述之說明，明瞭本明 伸與變化’唯只要不超出本發明 請專利範圍内。

1284206 圖式簡單說明 第1圖顯示本發明傳輸線電感量測及模型化系統之系 統圖。 第2圖顯示本發明之校正模組對該信號進行校正之流 程圖。 第3圖顯示一個依逐層擷取法分析一個傳輸線電感之 信號流程圖。 第4圖顯示對一 3. 5圈且線寬為1 7# m之傳輸線螺旋電感 進行量測及以本發明之方法所建立之寬頻等效電路模型模 擬結果之比較圖。 Φ 【元件符號表】 11量測基台 1 2超短脈衝產生器 1 3信號擷取裝置 1 4信號轉換模組 1 5校正模組 1 6電路模型化模組 1 7輸出裝置 1 8逐層擷取模組 章節結束

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Claims (1)

1284206^ 六、申請專利範圍 電感施 應 ， 傳輸線 短脈衝 號，包 校正及 料轉換 電感之 其 裝置擷2 · 超短脈 3 · 超短脈 4 · 時間域 一種傳輸線電感 量測機台，用以 加輸入，量測該 量測系統，包括·· j置待測傳輸線電⑤，並對待測傳輸丄 别入及待測傳輸線電感對該輸入之響 超短脈 電感； 信號擷 信號， 括其穿 校正模 去除寄 信號轉 贅 逐層擷 各段傳 輸出裝 特徵在 取，並 如申請 衝信號 如申請 衝信號 如申請 資料與 衝產生器 取裝置， 以及該信 透響應及 組，用以 生誤差； 換模組， 取模組， 輸線計算 置，用以 於，該校 經該信號 專利範圍 之時間長 專利範圍 之時間長 專利範圍 該頻率域 ，用以產生一超短脈衝，施加於該 =以量測該施於該待測傳輪線電感 旒施加於該待測傳輸線電感後之燮 其反射響應； 曰 對該信號擷取裝置所擷取之信號， 待測 之超 應信 進 以對一信號進行時間 用以依據逐層擷取步 元件特性值，及 輸出一組傳輸線電感 正模組所校正之信號 轉換模組轉換成頻率 第1項之傳輸線電感 度在1 0 0 p s以下。 第2項之傳輸線電感 度為30ps以下。 第1項之傳輸線電感 資料間之轉換，係利 % 域與頻率域間 驟，對待測傳 特性量測資料 ，係經該信號 域資料之信號 量測系統，其 量測系統，其 量測系統，其 用傅利葉轉換 之t 輪綠 掏取 〇 中該 中J 中

第18頁 1284206 六、申請專利範圍 (Fourier transform)進行 5 ·如申請專利範圍第丄項 校正模組校正及去除寄生誤、輸線電感量測系統 對該頻率域資料進行錯誤^理# = ^ 對該S參數進行去除寄生誤差 于到扠正後之S參數； 以所得之Y參數校正該S參數之处理/取得所需之Y參數 以所得之S參數校正該頻率域資又料于。疋件正確的S參數；及 6 ·如申請專利範圍第i項Ύ' ° 傳輸線電感之各段傳輸線特性二^ 感量測系統，其中該 z 係以下述方法計算而得： 阻抗： * W ; 其中，z表第n段傳輸線之阻抗， - 傳輸線間之反射係數；鸿依據該超短脈第ϋ 兩段 輸線電感後，依各段傳遞時間（t)而得之反°射流::於—傳 其中，化表第ΐ時間之反射係數，表第t時間之反 射係數，^表該超短脈衝第t時間反射電壓 間之入射電壓； 心表其第t時 電感 A*= A ·、； 其中，L表第η段之電感值’ T pd^第姬之傳遞 時間，且 電容 式·、·， 其中 A = i/z*。

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1284206 六、申請專利範圍 7 · 一種傳輸線電感模型化系統，包括· 雷作^量!!機台’帛以放置待測傳輸線電感，並對待測傳h 】感施加輸入，量測該輸入及該待測傳輸線電感對該輸入：拿 短脈衝，施加於該待叫 一超短脈衝產生器，用以產生 傳輸線電感； 一 k號擷取裝置，用以量測該施^ ^ 短脈衝信f虎，以及該信號施加於哕牿、目傳輸線電感之+ 號，包括其穿透響應及其反射響應:：々傳輸線電感後之響應| 一权正模組，用以對該信號梅 校正及去除寄生誤差； 衮置所擷取之“唬，進^ 一信號轉換模組，以對一作轳推尸 ’ 料轉換； 仏5虎進仃時間域與頻率域間之請 一逐層擷取模組，用以依據逐層擷取步驟，對 電感之各段傳輸線計算元件特性值； 、'、專輪 一元件模型化模組，用以依據一 b、 建立等效模型；及 、'' 牛特性1測值資料 ’用以輸出一組元件等效模型資料； 八特徵在於，該校正模組所校正 j置揭取，並經該信號轉換模組轉換成； 貝料’並經逐層掏取各段傳輸線之元件特性值;^換ΐ時間域 立等效模型。 70仵特性值所得之資料，士 8 ·如申請專利範圍第7項之傳輸線電感模型化系統，其

1284206 六 申请專利範圍 該超短脈衝信號之時間長度在1 0 0 p S以下。 9 ·如申請專利範圍第8項之傳輸線電感模型化系統，其 該超短脈衝信號之時間長度為30ps以下。 ' 1 〇 ·如申請專利範圍第7項之傳輸線電感模型化系統，其 中該時間域資料與該頻率域資料間之轉換，係利用傅利葉轉換 (Fourier transform)進行。 1 1 ·如申請專利範圍第7項之傳輸線電感模型化系統，其 中違校正模組校正及去除寄生誤差之處理包括： 、 對該頻率域資料進行錯誤校正，得到校正後之s參數； 對該S參數進行去除寄生誤差之處理，取得所需之γ參數 以所得之Y參數校正該S參數，獲得元件正確的s參數；丨 以所得之S參數校正該頻率域資料。 办U认如申請專利範圍第7項之傳輸線電感模型化系統，i 中忒傳輸線電感之各段傳輸線特性，係以下述方法計算而得某 阻抗： rt P/Vih 值私ΐ中，Z表第n段傳輸線之阻抗，喊第i，j兩段 傳輸線間之反射係數；鸿依據該超短脈 輸線電感後，依各段傳遞時間（σ於g傳 ](t)而传之反射係數， 6⑺》 其中，〜表第t時6丄^ 衝第t時間反射電壓，二反二〜表，超短4 電感…一； 纟其第t時間之入射電壓；

1284206 六 對一 料； 差 ’専輪 線電 應而 1 方法 1 方法 1 方法 利葉 申請專利範圍 ^ ~ 間，ί中’ L表第n段之電感值，U第η段之傳遞時 電容 ; 其中， A = 。 】 種傳輸線電感元件特性量測方 k傳輸線電感進行量測，取 I括下列步驟： 取侍組兀件特性的時間域原始条 :間域原始資料轉換成頻率域元件特性原始 獲得純淨开杜Μ Γ ϋ 仃校正及去除寄生誤 设付砚淨70件特性的頻率域資料； 了王 = =料轉換成時間域元件特性資料；及Γ 線各段之元件ϋ:6亥Ϊ輸線電感以逐層擷取步驟計算該 八分权之兀件特性值，獲得量測結果； 八中’該傳輸線電感之時間域原始眘 感施以超短脈衝俨铐，廿θ = 貝抖’是透過對該傳輸 獲得。U脈衝以，並篁測該信號及傳輸線電感對其¥ 4其專利範圍第13項之傳輸線電感元件特性量糾 其二短脈衝信號之時間長度在100ps以下。寺 ，其Φ兮ί專利範圍第1 4項之傳輪線電感元件特性量昶 :其中該超短脈衝信號之時間長度為3一以下：… :::專利範圍第"項之傳輸線電感 轉間域資料與該頻率域資料間之轉換，:Π"搏 轉換（Fourier transform)進行。

1284206 六、申請專利範圍 1 7 ·如申請專利範圍第1 3項之傳輸線電感元件特性量+ 方法，其中該頻率域元件特性原始資料校正及去除寄生誤差+ 驟包括： 對該頻率域資料進行錯誤校正，得到校正後之S參數； 對該S參數進行去除寄生誤差之處理，取得所需之Y參數 以所得之Y參數校正該S參數，獲得元件正確的S參數；及 以所得之S參數校正該頻率域資料。 1 8 ·如申請專利範圍第1 3項之傳輸線電感元件特性量測 方法，其中該傳輸線電感之各段傳輸線特性，係以下述方法計 算而得： 阻抗· ， 輸 其中，Z表第η段傳輸線之阻抗，Α表第i，j兩段傳 線間之反射係數；P為依據該超短脈衝信號施加於該傳_線 電感後，依各段傳遞時間（t)而得之反射係數， a ⑴ ； 其中，化表第t時間之反射係數，心表該超短脈 衝第t時間反射電壓，^表其第t時間之入射電壓； 電感 二 Z x ’ 7*，办， 其中，L耒第η段之電感值，T pd表第η段之傳遞時 間，且 電容 c，Yn.T价·， 其中， η = 。

第23頁 1284206 --- 六、申請專利範圍 1 9 · 一種傳 對一傳輸線電 料； 將該時間 依據該頻 差’獲得純淨 將所得的 依據該時 線電感各段傳 依據該各 其中，該 元件施以超短 而獲得。 2 〇 ·如申 其中該超短脈 2 1 ·如申 其中該超短脈 2 2 ·如申 其中該時間域 換（Fourier 2 3 ·如申 其中該頻率域 栝·· 對該頻率 輪線電感 感進行量 域原始資 率域元件 元件特性 頻率域資 間域元件 輸線元件 段傳輸線 傳輸線電 脈衝信號 模型化方 測，取得 料轉換成 特性原始 的頻率域 料轉換成 特性資料 特性值； 元件特性 感之時間 ，並量測 法’包括下列步驟·· 組元件特性的時間域原始章 頻率域的元件特性原 資料進行校正及去除 資料； “ 時間域元件特性資料 ’以逐層搁取步驟計 及 資料建立該元件之等 域原始資料’是透過 該信號及傳輸線電感 始資料 寄生誤 請專利範圍第i 9項之傳輸線電感模型 衝信號之時間長度在l〇0ps以下。 請專利範圍第2 0項之傳輸線電感模型 衝信號之時間長度為3 0 p s以下。 請專利範圍第1 9項之傳輸線電感模型 資料與該頻率域資料間之轉換，係利用 transform)進行。 請專利範圍第1 9項之傳輸線電感模型 元件特性原始資料校正及去除寄生誤差 算該傳♦ 效模型 對該電 對其響^ <匕方法 化方法 化方法 傅利葉 化方法 轉 域資料進行錯誤校正，得到校正後之s參數

第24頁 1284206 夂、申請專利範圍 ’取得所需之y參數 件正確的s參數；及 線電感模型化方法 以下述方法計算而 對该S參數進行去除寄生誤差之處理 以所，之Y參數校正該S參數，獲得元 以所得之S參數校正該頻率域資料。 2 4 ·如申請專利範圍第1 9項之傳輪 其中該傳輸線電感之各段傳輸線特性，係 得： 阻抗： , 線 其中’ Z表第η段傳輸線之阻抗，/¾表第i，j兩段傳輸 線間之反射係數；P為依據該超短脈衝信號施加於該傳輸 電感後，依各段傳遞時間（t)而得之反射係數， 其中’化表第t時間之反射係數，％表該超短脈 衝第t時間反射電壓，&表其第t時間之入射電壓； 電感 Αι = ·〜*， 其中，L表第η段之電感值，T pd表第η段之傳遞時 間，且 電容 Α=：ί；·7^ ; 其中， A = 。