TWI280021B - System and method for protecting equipment data - Google Patents

Description

1280021 九、發明說明： 【發明所屬之技彳#領域】 本發明係有資料保護，_ 資料的製程裝置和方法。 具有用以保護生產設備所需 【先前技術】 一至多個晶圓通常被合併成，“批:欠 程，最後製作成為積體電路。每—製連串製造機台之製 上，執行單一道晶圓心L通吊會在一個指定批次之晶圓 n ^業。例如，一個特定的製造機么可執行薄膜 (layenng)、圖案化（patteming)、 錢枝口叮執仃顧 treatment) 〇 常去掉-或多個薄臈作業所^心Α B日圓表面上。圖案化作業通 質經由晶圓表面摻入奪中，/用以^7之薄膜。摻雜作業通常直接將雜 熱以達到特定目標水準。 生Μ接面。加熱作業通常將晶圓加 決定t製錢純料根觀㈣Μ產賴所需資料 (例如，已先行 f置運偏^驟或製私配方）執行晶圓製造作業。而這些用來設定製程 !!! 〇 敫1又備所❹料的以相當複雜，其並經過餘卫程師進行裝置調 翻的運作結果，使得各個製錄置所使㈣生產設備所需資料 二不相同胃進仃不同的半導體產品/液晶顯示裝置的製造時 ，所需要 。日不也可％不同’其包括不同的製程配方、執行步驟的設定、或不 1 驟的組α、其亦可能具有不同的裝置參數奴以及檢測資料等。 =些製程和檢測資料對於製程步驟的執行至難要，而且，為了使得製程 :的叹定達到最佳化，往往需要乾費相當多的人力和時間來進行各種試 2摸索。因此’ Μ過齡調整後的生產魏所需資料，是晶圓或液晶螢 幕等精密產品的製造廠裡相當珍責的資產之一。 ⑧

0503-A31018TWF l28〇〇2i 然而，14些珍貴的資產，卻缺乏適當的保護，而可能被竊取使用。以 第1圖為例’其顯示傳統的半導體製造系統的示意圖。在此係以半導體製 造廠為例，其他如液晶顯示襄置等精密產品的製造廠也會發生類似的問 題。製造系、统10包括一機台11和一主機系、统15。機台U包含一儲存單元 113、一製程單元111、以及一控制單元ns。儲存單元113係用以儲存製 %單元111之生產設備所需資料。製程單元ιη係依據該生產設備所需資 料運作’以處理至少-晶圓（或者積體電路（IC)晶片、及液晶顯示板等 產品）。在此所謂之「處理」係泛指執行製造步驟及/或檢測步驟等製造中 • 涉及的程序。控制單元115提供機台11和主機系統15其他外部系統19之 • 間溝通的介面。任何使用者都可以藉由控制單元115提供的介面要求機台 u中儲存的生產设備所需資料，使得該生產設備所需資料在未經保護的情 況下被操取及傳送出去。-般而S，生產設備所需資料係以其原始狀態（沒 有加密等保護）傳送至主機系統15。只要可以接取到機台u，任何人都可 以取得該生產設備所需資料的電子檔案，並可以藉由任何具有記憶體的裝 置將該生產$又備所需負料散播給其他使用者。同樣的，任何可以接取主 機系統15的使用者，可以擷取/複製該生產設備所需資料，並將之散播給其 _ 他使用者。 【發明内容】 本發明係有關於資料保護’特別是有關於具有用以保護生產設備所需 資料的製程裝置和方法。 本發明提供一種具有生產設備所需資料保護之製程裝置，其包括製程 單元、儲存單元、控制單元、以及認證單元。該儲存單元係用以儲存該製 程單元之生產設備所需資料。該控制單元接收一第一資料要求，其中該第 一為料要求係要求該生產設備所需資料’其並包含一識別資料。該認證單 元確認該識別資料，當該識別資料被確認，使得該控制單元從該儲存單元

0503-A31018TWF 6 (!) 1280021 擷取對應的生產設備所需資料。 本發明並提供-種製造系統，其包括 製程裳置包含製程單元、儲存單元、及裝置以及顧早兀。其中該 該製趋n η 早及控制早70。該儲存單元係用以儲存 % 2 ί 需資料。該控制單元接收—第―資料要求，复中 貝料要求係要求該生產設備所需資料，其並包含— 二中 噔單元確認該識別資料，當该識資 ° 、λ 〜5忍 單元掏取龍的生產設備舰相，麟·鮮元從該儲存

本發提供-種具有生纽備所讀梅護之製程裝置， 二w:單元、控制單元、及加密單元。該儲存單元係用以儲存該； 知=之生產設備所需資料。該控制單S接收—第—資料要求，其中、 4料要求係要求該生產設備所需:諸，其並包含—識別資料。該加密 疋係用以將該生產設備所需資料加密處理。 山 本發明並提供-種製造系統，其包括製織置及加密單元。該製 置包含製程單元、儲存單元、及控制單元。其中、 製程單元之生產設備所需資料。該控制單元，其接收—第—資料 中該第-資料要求係要求該生產設備所需倾。該加密單元伽以將料 產設備所需資料加密處理。 Μ 本發明並提供-種電子裝置，其據具有生產設備所需資料保護之 -第-製程裝置之製程資料處理而成’其中該第一處理裝置包含奸單 元、儲存單元、控鮮元、及認證單心該儲存單元__存該製^單 70之生產設備所需資料。該控制單元接H資料要求，其中該第一資 料要求係包含傳_生產設備所㈣料之要求及―朗資料。該認證^ 元，其確認該識別資料，當該識別資料被確認，使得該控制單元 單元擷取對應的生產設備所需資料。 文以=子 本發明並提供-種電子裝置，其係依據一第一製程裝置之製程資料處 理而成，其中該第一處理裝置包含製程單元、儲存單元、控制單元、、及: 0503-A31018TWF 7 1280021 - 密單元。該儲存單元，其係用以儲存該製程單元之生產設備所需資料。該 控制單元，其接收一第一資料要求，其中該第一資料要求係包含傳送該生 產設備所需資料之要求。該加密單元，其係用以將該生產設備所需資料加 密處理。 本發明並提供一種用以管理生產設備所需資料散播的方法。該方法首 先提供一處理裝置’其具有一儲存單元以儲存該處理裝置之生產設備所需 資料。繼之，接收接收一第一資料要求，其中該第一資料要求係要求該生 產設備所需資料’其並包含一識別資料。並確認該識別資料。當該識別資 Φ 料被確認時，將該生產設備所需資料加密。並將該加密之生產設備所需資 . 料傳送至一外部系統。 【實施方式】 為了讓本發明之目的、特徵、及優點能更明顯易懂，下文特舉較佳實 施例，並配合所附圖示第2圖及第3圖，做詳細之說明。本發明說明書提 供不同的實施例來說明本發明不同實施方式的技術特徵。其中，實施例中 的各元件之配置係為說明之用，並非用以限制本發明。且實施例中圖式標 號之部分重複，係為了簡化說明，並非意指不同實施例之間的關聯性。 藝第2圖顯示依據本發明實施例之製造系統的示意圖。製造系統2〇包括 一製程裝置21和一主機控制系統25。製程裝置21包含一儲存單元213、 一製程單元211、以及一控制單元2丨5、以及一保全單元21?。保全單元217 可以包含一認證模組212、加密模組214、以及解密模組216。保全單元217 也可以僅具有認證模組212，而不具有加密模組214以及解密模組2i6。戋 者，保全單元217也可以僅具有加密模組214 ,而不具有認證模組212以及 解密模組216。 儲存單元213係與控制單元215連結，並藉由控制單元215儲存製程 單元211之生產设備所需資料。該生產設備所需資料包含和製程裝置a之 0503-A31018TWF 8 (§) 1280021 運作相關的資料，例如：製程配方（recipe)資料、裝置參數設定資料、製 程程式、製程記錄資料、以及裝置常數設定資料等。 製程單元211係依據該生產設備所需資料運作，以處理至少一晶圓、 積體電路（1C)晶片、或液晶顯示板等產品。

該生產設備所需資料可以加密型態儲存或以原始未加密型態儲存。當 该生產設備所需資料以加密型態儲存時，其係於該製程裝<置需使用該生產 設傷所需資料之前解密，當其必須傳送難程裝置之外時，係以加密型態 傳送之。當該生產設備所需資料以原始未加密型態儲存時，其係可以直接 讓該製程裝置使用該生產設備所需·，當其必須傳制餘裝置之外 時，必須在傳送之前加密，並以加密型態傳送之。 ^控制單it 215可以和主機控制系統25及外部系統29溝通。主機控制 系統25可以為製造射的現場生產管_統（，^。。咖_她）、 主機電腦、製造執行系統⑽s)、或製程配方管理系統。外部系統29可 以為任何能夠儲存資料的裝置/系統。控制單元215接收一資料要求，其中 該第-資料齡要求係包含擷取該生產設備所需資料之要求以及一識別資 1田接收為料操取要求，認證模組212即確認該識別資料，當該識別 資=確認，使得該_單元215從該儲存單元213擷取對應的生產設備 所需2。當該資料擷取要求中的識別資料無法得到確認時，認證模組212 產生:警報訊號。當該生產設備所需資料從儲存單元213娜出來後，則 由加密模組214將該生產設備所需資料進行加密處理。經過加密的生產設 備=需資料則被傳送至控制單元215，並依據該資料掏取要求的内容，將該 加密^生纽備所需資概供給該主難制祕25或該外部系統29。 、、、田欲將該加费之生產設備所需資料進行解密處理時，則產生一解密要 :、、將該解遂要求傳送至該認證模、组犯。同樣地，該解密要求也包含一 ^料户而該識別貪料則由認證模、组212確認是否無誤。認證模組212 對挪錢求中記载的識職料進行確認處理。若該識別資料經過認證

0503-A31018TWF 9 1280021 模組212確認無誤，則認證模組212提供對應的解密金鑰資料，或是發出 一許可=貝sK ’使得其他資料來源（圖未顯示）可以據以提供對應的解密金 鑰資料。當該解密要求中的識別資料無法得到確認時，認證模組212產生 一警報訊號。依據本發明實施例，認證模組212針對所有的生產設備所需 資料擷取動作、該資料操取要求、及該解密要求的内容及來源等相關資訊 進行記錄，使得欲針對生產設備所需資料進行擷取及/或解密處理的動作能 夠被進一步追蹤及管理。

保全單元217及其中所包含的各個模組係可以不同的方式加以配置。 例如’依據本發明之-實施例，保全單元217也可以僅具有認證模組 212,而不具有加密模组214以及解密模组216。在此實施例中，在保全單 元2Π +並未進行針對生產設備所需資料加密及/或解密的處理，或者是加 密及/或解密的處理岐雜置之外的其絲絲執行。在此實施例中，認 證模組確認賴师料，當該識前料被確認，使得該控鮮元215從; ^單元213 _細生產設備所需資料。當該識別資料無法得到確: 寺、，認證模組212產生—警報訊號。且當該識職料獲得確認時，控鮮 疋進-步鎌資觸取要求將該生產賴所需資 :發明之另實施例，保全單元217僅具有加密模組卜= 而可以 需資料t及解密模組216。在此實施例中，當欲將生產設備所 處理。而經過：:1卜將該生 之外料鮮= 細解密處理，則可以由製程裝置 例如，解密處理可以由1^如 理糸統（圖未顯示）、或由發出資料擁取要 保王官 來執行。當加__峨馳 f =時’解密處理所需要的解_資=:== 理系統所提供，或者，若該發岭觸取要求的 、胃科保王管 料的合法伽者，其也騎生產賴所需資 σ法取錢擁有該解密金鑰詩。發出該資料

°503-A31018TWF 1280021 的外部裝置可以為類爾程裝置2i的另一 &置_—晶_中，或是設置在不同的晶圓 ς = 曰圓射其具有該生產賴所㈣料輕杨密模組213。 :需資料，ΓΐίΓ「子製程裝置」’其係由該母製程裝置取得生產設備 理。j外;解密模組214來進行該生產設備所需資料的解密處 田Μ Μ线不具有合法使職生產設備所㈣料㈣份時，由於盆 不具有該解密金鑰資料，也不能合法地㈣巾央:祕保全管理魏导ς 解密金鑰貝料，因此該外部系統無法將該生產設備所需資料解密使用。κ 依據本發明另-實施例，—製造系統包含製程裝置及_設置於該製程 裝置之外的保全單元。雜本實_，娜全單元麟程裝置之一部 分二而是與該製程裝置分離。該保全單元可以為—個別裝置，蚁為一中 央j保全官理系統（圖未顯示）的—部份。娜全單元具有認證模組與 加密拉組巾至少-者。該保全單元也可崎—步具有解密模組。另外，由 ^該生產設備所需資料通常係以原始數位資料的方式存在，此種原始數位 身=非以人類所能理解的語言形式存在。該製造系統可以進—步包含一 内容管理祕（圖未顯示），其可魏據該生產設備所需資·生一技術 文件、操作指示、或其他文件及資料表等。 參見第3A及3BH，其顯示本發明管理生產設備所需資料散播方法的 流程圖，該方法可以實施於第2圖所示的系統中。 參見第3A圖’接收一資料擷取要求，其包含操取該生產設備所需資料 的要求及-識別資料（步驟S31)。其中該生產設備所需資料包含和一製程 裝置運作侧的資料，例如製程财（redpe)資料和裝置參數設㈣料等。 該資料操取要求係可能來自多種不同來源，例如一製造祕中的主機控制 系統、或一外部儲存裝置。 繼之，確認該識別資料（步驟S32)。記錄該識別資料的確認結果和該 二貝料擷取要求（步驟S33)。在步驟S34中，判斷該識別資料是否確認無誤。

0503-A31018TWF 11 1280021 ，該識別資料確認無誤時，將該生產設備所需資料從該製程裝置中的儲存 早奴坪見第2圖及其說明）中操取出來，並將之進行加密處理（步驟 該生產設備所需資料可以加密型態儲存或以原始未加密型態儲存。當該生 產設備所需資料以加密型態健存時，其係於該製程裝置需使用該生:設 所需資料之前解密’當其必須傳送難程裝置之外時，係以加密型態傳送 之。當該生產賴所需資料以原始未加密型_存時，其係可以直接讓該 製程裝置使用該生產設備所需資料，當其必須傳送到製程裝置之外時，^ 須在傳送之前加密，並以加密型態傳送之。 • 、經過加密·產設備所需資制被傳送至-設置於該製程裝置外部的 * 纽’例如第2圖中所示的主機控制系統25或外部系統29 (步驟S37)。 當該資料擷取要求中的識別資料無法得到確認時，產生一警報訊號（步驟 參見第3Β目，當欲應用該加密之生產設備所需資料時，必須先將之進 行解密處理。當欲將該加密之生產設備所需資料進行解密處理時，則產生 一解密要求，並將該解密要求傳送至該認證模組212 (參見第2圖）（步驟 S41)。同樣地，該解密要求也包含一識別資料，而該識別資料則由認證模 組212確認是否無誤（步驟S42)。記錄該解密要求和該識別資料確認結果， 除以便後續管理之用（步驟S43)。在步驟S44中，判斷該解密要求之該識別 負料疋否確5忍無誤。右該識別^料經過確認無誤，則提供對應的解密金鍮 資料，或是發出一許可資訊，使得其他資料來源（圖未顯示）可以據以提 供對應的解密金鑰資料（步驟S45)。當該解密要求中的識別資料無法得到 確認時’則產生一警報訊號（步驟S46)。在步驟S47中，利用該解密金鑰 資料’將該加密之生產設備所需資料進行解密處理。經過解密之後的該生 產设備所需資料’可以依不同的方式運用（步驟S48)。例如，將解密的生 產設備所需資料載入其他製程裝置或一内容管理系統。當該生產設備所需 資料載入其他製程裝置時，其可以用以控制該製程裝置的運作。當該生產 0503-A31018TWF 12 1280021 設備所需資料載入内容管理系統時，可以利用該生產設備所需資料產生一 技術文件或操作指示等。該生產没備所需資料也可以其他方式進行利用， 不限於上述所舉例。 雖然本發明已以較佳實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，任 何熟悉此項技藝者，在不脫離本發明之精神和範圍内，當可做些許更動與 潤飾，因此本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。/、

0503-A31018TWF 13 1280021 - 【圖式簡單說明】 為使本發明之上述目的、特徵和優點能更明顯易懂，下文特舉實施例， 並配合所附圖示，進行詳細說明如下： 第1圖顯示傳統的半導體製造系統的示意圖。 第2圖顯示依據本發明實施例之製造系統的示意圖。 第3A及3B圖顯示本發明管理生產設備所需資料散播方法的流程圖。

【主要元件符號說明】

製造系統10 ; 機台11 ; 製程單元111 ; 儲存單元113 ; 控制單元115 ; 主機系統15 ; 外部系統19 ; 製造系統20 ; 製程裝置21 ; 製程單元211 ; 儲存單元213 ; 控制單元215 ; 保全單元217 ; 認證模組212 ; 加密模組214 ; 解密模組216 ; 主機控制系統25 ; 外部系統29。

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Claims (1)

1280021 十、申請專利範圍： 1· 一種具有生產設備所需資料保護之製程裝置，其包括： 製程單元； 儲存單7G，其係用以儲存該製程單元之生產設備所需資料； 控制單元，其接收-第_資料要求，其中該第_資料要求係包含操取 該生產設備所需資料之要求以及一識別資料；以及 纖單7L，其確認該識別資料，當該識別資料被確認，使得該控制單 元從該儲存單元擷取對應的生產設備所需資料。 _ 2·如巾請專纖_丨項所狀具有生產設騎需資料保護之製程裝 置’其中該製程單元用以處理下列中之一者：晶圓、積體電路（IC)晶片、 及液晶顯示板。 3·如申请專利範圍第"員所述之具有生產設備所需資料保言蔓之製程裝 置其中該生產没備所需資料包含下列中至少一者：製程配方（⑽㈣資 料、裝置參數設定資料、製程程式、以及製程記錄資料。 4·如申請專利範圍第丨項所述之具有生產設備所需資料保護之製程裝 置’其中該贿單元以加密鶴儲存該生產設倾需資料。 5·如申請專利範圍第4項所述之具有生產設備所需資料保護之製程裝 置，其中該控制單元進-步將該加密之生產設備所需資料傳送至一外部系 統。 6.如申請專利範圍第5項所述之具有生產設備所需資料保護之製程裝 置’其中該外部系統包含一外部儲存裝置或一製造環境中的現場生產管制 糸統（shop floor control system )。 7·如申請專利範圍第1項所述之具有生產設備所需資料保護之製程裝 置，進一步包含一加密單元，其係用以將該生產設備所需資料加密處理。 8·如申請專利範圍第7項所述之具有生產設備所需資料保護之製程裝 置，其中該控制單元進一步將該加密之生產設備所需資料傳送至一外部系 0503-A31018TWF 15 1280021 統。 9. 如申請專利範圍第7項所述之具有生產設備所需資料保護之製程裝 置，其中該外部系統包含-外部儲存裝置或―製造環境中的現場生產管制 系統（shop floor control system)。 10. 如申明專利範圍第5項所述之具有生產制騎需資料保護之製程裝 置，其中該認證單7〇進-步接收並確認_第二資料要求，其中該第二資料 要求係包含该生產设備所需資料之一解密金鍮資料之要求。 11. 如申料飾圍第1G項所述之具有生產設備所需資料保護之製程 Φ 裝置’其中該認證單元進一步記錄該第-資料要求及該第二資料要求。 . 12·如巾料利細第1G項職之具有生產設鑛需資料保護之製程 裝置，其中該認證單元進-步當該第—資料要求或第二資料要求無法得到 確認時’產生一警報訊號。 13·如申請專利範圍第丨項所述之具有生產設備所需資料保護之製程裝 置，進一步包含一解密單元，其係用以將該加密之生產設備所需資料解密。 14· 一種製造系統，其包括·· 製程裝置，其包含： 製程單元； 儲存單元，其係用以儲存該製程單元之生產設備所需資料；以及 控制單元，其接收一第一資料要求，其中該第一資料要求係要求該生 產设備所需資料’其並包含一識別資料；以及 保全單元，其確認該識別資料，當該識別資料被確認，使得該控制單 元從該儲存單元擷取對應的生產設備所需資料。 15·如申請專利範圍第14項所述之製造系統，進一步包含一加密單元， 其係用以將該生產設備所需資料加密處理。 16.如申請專利範圍第14項所述之製造系統，進一步包含—内容管理 系統，其係用以擷取該生產設備所需資料。 0503-A31018TWF 16 1280021 .17·如中請專利翻第16項所述之製造“，其中舶容管理系統進 一步利用該生產設備所需資料以產生—技術文件。 18. 如申請專利範圍第16項所述之製造系统，其中該内容管理系統進 一步利用該生產設備所需資料以產生一操作指示。 19. 如申請專利範圍第15項所述之製造系統，其中該控制單元進一步 將該生產設備所需資料傳送至一外部系統。 2〇·如申請專利範圍第Μ項所述之製造系統，其中該該儲存單元以加 密型態儲存該生產設備所需資料。 • 21.如巾請專娜關14項所述之製造系統，射該認證單元進-步 .接收並確認—第二資料要求，其中該第二資料要求係要求該生產設備所需 資料之-解密金齡料，該雛單元並確職第二資料要求，並當該第二 資料要求被確認時，提供該解密金鑰資料。 22. 如申請專利範圍第η項所述之製造系統，其中該認證單元進一步 記錄該第一資料要求及該第二資料要求。 23. 如申請專利範圍第21項所述之製造系統，其中該認證單元進一步 該第-資料要求或第二資料要求無法得到確認時，產生一警報訊號。 瞻 24·如申請專利範圍第14項所述之製造系統，進一步包含一製造執行 糸統（manufacture executing system，MES ) 〇 25·如申請專利範圍第14項所述之製造系統，進一步包含一製程配方 管理系統。 26· —種具有生產設備所需資料保護之製程裝置，其包括： 製程單元； 儲存單元，其係用以儲存該製程單元之生產設備所需資料； 控制單元，其接收一第一資料要求，其中該第一資料要求係要求該生 產5又備所需資料，其並包含一識別資料；以及 加费單元，其係用以將該生產設備所需資料加密處理。 0503-A31018TWF ⑧ 17 1280021 27·如申請專利範圍第26項所述之具有生產設備所需資料保護之製程 凌置，其中該生產設備所需資料包含下列中至少一者：製程配方 資料、裝置參數、製雜式、以及製航錄資料。 28·如申請專利範圍第26項所述之具有生產設備所需資料保護之製程 裝置，其中該製程單元用以處理下列中之一者：晶圓、積體電路 u 、i ^曰曰 片、及液晶顯示板。

# 29·如申請專利範圍帛％項所述之具有生產設備所需資料保護之製程 裝置，其中該儲存單元以加密型態儲存該生產設備所需資料。 # 3〇·如申睛專利範圍第29項所述之具有生產設備所需資料保護之製程 破置’其中該控鮮兀進—步將該加密之生產設備所需資料傳送至一外部 31·如申請專利範圍第26項所述之具有生產設備所需資料保護之製程 裝置，其中該控制單it進-步接收並確認一第二資料要求，其中該第:資 料要求係包含該生產設備所需資料之—職金鑰資料之要求。 32·如申睛專利範圍第26項所述之具有生產設備所需資料保護之製程 裝置，進-步包含-解密單元，其係使用對應與該加密之生產設備所需資 料對應之解雄、金鑰資料，將該加密之生產設備所需資料解密。 33.—種製造系統，其包括： 製程裝置，其包含： 製程單元； 儲存單το ’其係用以儲存該製程單元之生產設備所需資料；以及 產4=2，其接收—第—雜要求，其中該第—資料要求係要求該生 產汉備所需資料；以及 加被早70 ’其係用以將該生產設備所需資料加密處理。 34.如申請專利範圍第33項所述之製造系統，其中 將該生產設備所需資料以加密的型態傳送至—外部系統。- " 0503-A31018TWF ⑧ 18 1280021 35·如申請專利範圍第33項所述之製造系統，其中該控制單元進一步 接收並確認一第二資料要求，其中該第二資料要求係包含傳送該生產設備 所需資料之一解密金鑰資料的要求以及一識別資料。 36·如申請專利範圍第33項所述之製造系統，進一步包含一認證單元， 其係用以確認該識別資料。 37.如申請專利範圍第33項所述之製造系統，進一步包含一解密單元， 其係使用對應與該加密之生產設備所需資料對應之解密金鑰資料，將該加 密之生產設備所需資料解密。 38·—種電子裝置’其係依據具有生產設備所需資料保護之一第一製程 裝置之製程資料處理而成，其中該第一處理裝置包含： 製程單元； 儲存單元’其係用以儲存該製程單元之生產設備所需資料·， 控制單元，其接收一第一資料要求，其中該第一資料要求係包含傳送 該生產設備所需資料之要求及一識別資料；以及 認證單元，其確認該識別資料，當該識別資料被確認，使得該控制單 元從該儲存單元擷取對應的生產設備所需資料。 39·如申請專利範圍第38項所述之電子裝置，其係為下列中之一者： 晶圓、積體電路（1C)晶片、及液晶顯示板。

型態儲存該生產設備所需資料。

包含一加密器，其係用以將該生產設備所需資料加密處理 42·如申請專利範圍第38項所述之電子裝置，其 接收並確認一第二資料要求，其中該第二資料要求係 資料之一解密金鑰資料之要求。 ’其中該認證單元進一步 匕係包含該生產設備所需 43·如申請專利範圍第42項所述之電子裝置， ’其中該認證單元進一步 0503-A31018TWF 19 ⑤ 1280021 記錄該第一資料要求及該第二資料要求。 44·如申請專利範圍第％項所述之電子裝置，其中該第一處理裝置進 -步包含-解密單元’其細以將該加密之生產設備所需資料解密。 45·如申請專利範圍第38項所述之電子裝置，其係經由該第一處理裝 置製造處理而成。 46·如申請專利範圍第38項所述之電子裝置，其係經由一第二處理裝 置依據該生產⑤備所需資料製造處理而成，其中該第二處理農置從該第一 處理裝置取得該生產設備所需資料。 47·-種電子裝置，其係依據―第一製程裝置之製程資料處理而成，其 中該第一處理裝置包含： 製程單元； 儲存單元，其係用以儲存該製程單元之生產設備所需資料； 控制單元，其接收一第一資料要求，其中該第一資料要求係包含傳送 該生產設備所需資料之要求；以及 加密單元，其係用以將該生產設備所需資料加密處理。 48·如申請專利範圍第47項所述之電子裝置，其係為下列中之一者： 晶圓、積體電路（1C)晶片、及液晶顯示板。 49·如申請專利範圍第47項所述之電子裝置，其中該儲存單元以加密 型態儲存該生產設備所需資料。 50.如申請專利範圍第47項所述之電子裝置，其中該認證單元進一步 記錄該第一資料要求。 51·如申請專利範圍第47項所述之電子裝置，其中該第一處理裝置進 一步包含一解密單元，其係利用該加密之生產設備所需資料所對應的解密 金鑰資料，將該加密之生產設備所需資料解密。 52.如申請專利範圍第47項所述之電子裝置，其係經由該第一處理裝 置製造處理而成。 0503-A31018TWF 2〇 1280021 53·如申請專利範圍第47項所述之電子裝置，其係經由一第二處理裝 ^依據該生錢倾需資聽造處理而成，射料二處理裝置從該第一 處理裝置取得該生產設備所需資料。 54.如申請專利細第53項職之電子裝置，其係由該第二處理裝置 依據加密之生產設備所需資料處理製造而成。 55·如申請專繼圍第53項所述之電子裝置，其巾該第二處理裝置包 含一解密單元，用以將該加密之生產設備所需資料解密。 56. —種用以管理生產設備所需資料散播的方法，其包括： 提供一處理裝置，其具有一儲存單元以儲存該處理裝置之生產設備所 需資料； 接收一第一資料要求，其中該第一資料要求係包含擷取該生產設備所 需資料的要求及一識別資料； 確認該識別資料； 當該識別資料被確認時，將該生產設備所需資料加密；以及 將該加密之生產設備所需資料傳送至一外部系統。 57·如申請專利範圍第56項所述之用以管理生產設備所需資料散播的 方法，其中該生產設備所需資料包含製程配方（recipe)資料。 58. 如申請專利範圍第56項所述之用以管理生產設備所需資料散播的 方法，其中該生產設備所需資料包含裝置參數設定資料。 59. 如申請專利範圍第56項所述之用以管理生產設備所需資料散播的 方法，進一步接收並確認一第二資料要求，其中該第二資料要求係包含該 生產設備所需資料之一解密金鑰資料之要求，當該第二資料要求獲確認 時，提供該解密金鑰資料。 60·如申請專利範圍第59項所述之用以管理生產設備所需資料散播的 方法，進一步記錄該第一資料要求及該第二資料要求。 61·如申請專利範圍第59項所述之用以管理生產設備所需資料散播的 0503-A31018TWF 21 ⑧ 1280021 ^訊^步當絲—資料要錢第二資料要求無法得到確辦，產生一 如U她圍第56項所述之肋管理生產設備所需資料散播的 方法，將該加密之生產設備所需資料傳送至_外部儲存裝置。 63·如申睛專利範圍第％項所述之用以管理生產設備所需資料散播的 方法，將戎加密之生產設備所需資料傳送至一製造環境中的現場生產管制 糸統（shop fl〇〇r control system )。 64.如申請專利範圍第56項所述之用以管理生產設備所需資料散播的 方法’進一步將該加密之生產設備所需資料傳送至一内容管理系統。 65·如申請專利範圍第56項所述之用以管理生產設備所需資料散播的 方法，進一步利用該生產設備所需資料以產生一技術文件。 66·如申請專利範圍第56項所述之用以管理生產設備所需資料散播的 方法，進一步利用該生產設備所需資料以產生一操作指示。 0503-A31018TWF 22 ⑧