JP2003046496A - 情報管理方法、情報管理システム及び処理装置 - Google Patents

情報管理方法、情報管理システム及び処理装置

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JP2003046496A
JP2003046496A JP2001232760A JP2001232760A JP2003046496A JP 2003046496 A JP2003046496 A JP 2003046496A JP 2001232760 A JP2001232760 A JP 2001232760A JP 2001232760 A JP2001232760 A JP 2001232760A JP 2003046496 A JP2003046496 A JP 2003046496A
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卓 中村
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    • G06K1/12—Methods or arrangements for marking the record carrier in digital fashion otherwise than by punching
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  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】半導体製造システムにおいて、復号鍵を効果的
に保護し、これにより製造データを保護する。 【解決手段】ホストコンピュータ１は、暗号化された製
造データを露光装置２に送り、その暗号化された製造デ
ータを復号するための復号鍵データ及びマスク識別情報
をマスクストッカ１０に送る。マスクストッカ１０は、
マスク識別情報に基づいてマスク１３を特定し、それに
復号鍵データＫ１を記録する。マスク１３は、搬送車３
０により露光装置２に搬送される。露光装置２は、マス
ク１３を受け取るとともに復号鍵データＫ１を読み取
り、それに従って、暗号化された製造データを復号し、
それに基づいて露光を実行する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、情報管理方法、情
報管理システム及び処理装置に係り、特に情報を管理す
る情報管理方法及び情報管理装置、並びに、情報の管理
のための機能を有する処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置の製造、特にマスクのパター
ンをウェハに転写する露光工程においては、集積回路チ
ップのレイアウト情報を含む種々の製造データが必要と
される。これらの製造データは、半導体装置の製造上の
ノウハウなどを反映したものであり、半導体メーカーに
おいても製造装置メーカーにおいても機密情報として扱
われる。上記のような製造データは、通常、半導体製造
装置上、又は、半導体製造装置とネットワーク接続され
たホストコンピュータ上に保持されている。
【０００３】近年、半導体製造装置をネットワークに接
続して遠隔運用するようになってきている。そして、多
くの製造装置がネットワーク環境に対応するようになっ
てきたため、複数の装置メーカーの製造装置をネットワ
ークに接続する必要性が高まっている。ネットワークに
接続された半導体製造装置は、そのネットワークを通じ
て、遠隔運用のみならず遠隔監視や遠隔メンテナンスも
なされうる。ところが、同一ネットワークにすべての製
造装置を接続してしまうと、異なる装置メーカーの装置
間で相互にアクセスが可能であるし、遠隔監視目的で特
定の装置メーカーの技術者が自社の装置にアクセスする
際に他社の装置にもアクセスすることが可能であるとい
う問題があった。
【０００４】ところで、暗号化によってデータを保護す
ることは製造システム以外の分野では従来から行われて
いる。しかし、多数の製造装置が配置され、それぞれの
製造装置に対してネットワーク経由で外部からアクセス
することができる環境では、復号鍵を保護することが難
しく、暗号化による保護は行われてこなかった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来は、上記のよう
に、複数の製造装置がネットワークに接続された製造シ
ステムにおいて製造データの秘密を守ることが困難であ
った。そのため、装置メーカーごとに物理的にネットワ
ークを分離することで相互のアクセスを不可能にする方
法が採用される場合があるが、この場合はネットワーク
の管理が煩雑になるという問題があった。また、このよ
うなネットワークの分離による方法では、悪意を持って
外部から各ネットワーク上の製造装置に侵入してくる者
から製造データを守ることはできなかった。そのため製
造データの秘密を守る有効な技術が望まれていた。
【０００６】本発明は、上記の背景に鑑みてなされたも
のであり、製造システム等のシステムにおいて、復号鍵
を効果的に保護し、これにより製造データ等の情報を保
護することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の第１の側面は、
情報を管理する情報管理方法に係り、第１装置におい
て、暗号化された情報を復号するための復号鍵を、運搬
可能な物品に付けられた記録媒体に記録する記録工程
と、第２装置において、前記物品を受け取り、前記物品
に付けられた前記記録媒体に記録された前記復号鍵に基
づいて、前記暗号化された情報を復号する復号工程とを
有することを特徴とする。
【０００８】本発明の好適な実施の形態によれば、前記
情報管理方法は、前記第２装置において、前記記録媒体
に記録されている前記復号鍵を消去する消去工程を更に
有することが好ましい。
【０００９】本発明の好適な実施の形態によれば、前記
情報管理方法は、情報管理装置から、前記第２装置に対
して、前記暗号化された情報を送信する第１送信工程
と、前記情報管理装置から、前記第１装置に対して、前
記第１送信工程における送信に係る情報を復号するため
の前記復号鍵を送信する第２送信工程とを更に有するこ
とが好ましい。
【００１０】本発明の好適な実施の形態によれば、前記
第２装置は、例えば、製品の製造に利用される製造装置
（例えば、露光装置等の半導体製造装置）である。
【００１１】本発明の好適な実施の形態によれば、前記
第１装置は、マスクを収容するマスクストッカであり、
及び／又は、前記物品は、マスク又はそれを収容するマ
スクキャリアを含む。或いは、前記物品は、ウェハを収
容するウェハキャリアであってもよい。
【００１２】本発明の好適な実施の形態によれば、前記
記録媒体は、メモリ又は印刷可能な媒体を含むことが好
ましい。
【００１３】本発明の好適な実施の形態によれば、前記
記録工程では、前記復号鍵と共に前記物品の識別情報
を、前記物品に付けられた前記記録媒体に記録し、前記
復号工程では、前記暗号化された情報に付随する物品の
物品識別情報と、前記物品に付けられた前記記録媒体に
記録された物品識別情報とが一致する場合に、前記復号
鍵に基づいて、前記暗号化された情報を復号することが
好ましい。
【００１４】本発明の好適な実施の形態によれば、前記
記録工程では、前記復号鍵と共に前記復号鍵に対応する
鍵識別情報を、前記物品に付けられた前記記録媒体に記
録し、前記復号工程では、前記暗号化された情報に付随
する鍵識別情報と、前記物品に付けられた前記記録媒体
に記録された鍵識別情報とが一致する場合に、前記復号
鍵に基づいて、前記暗号化された情報を復号することが
好ましい。
【００１５】本発明の好適な実施の形態によれば、前記
第１装置から前記第２装置に前記物品を搬送する搬送工
程を更に有することが好ましい。
【００１６】本発明の第２の側面は、情報を管理する情
報管理システムに係り、暗号化された情報を復号するた
めの復号鍵を、運搬可能な物品に付けられた記録媒体に
記録する記録手段を有する第１装置と、前記物品に付け
られた前記記録媒体に記録された前記復号鍵に基づい
て、前記暗号化された情報を復号する復号手段を有する
第２装置とを備えることを特徴とする。
【００１７】本発明の好適な実施の形態によれば、前記
第２装置は、前記記録媒体に記録されている前記復号鍵
を消去する消去手段を更に有することが好ましい。
【００１８】本発明の好適な実施の形態によれば、前記
情報管理システムは、情報管理装置を更に備え、前記情
報管理装置は、前記第２装置に対して、前記暗号化され
た情報を送信する第１送信手段と、前記第１装置に対し
て、前記第１送信手段による送信に係る情報を復号する
ための前記復号鍵を送信する第２送信手段とを有するこ
とが好ましい。
【００１９】本発明の好適な実施の形態によれば、前記
第２装置は、例えば、製品の製造に利用される製造装置
（例えば、露光装置等の半導体製造装置）である。
【００２０】本発明の好適な実施の形態によれば、前記
第１装置は、マスクを収容するマスクストッカであり、
及び／又は、前記物品は、マスク又はそれを収容するマ
スクキャリアを含む。或いは、前記物品は、ウェハを収
容するウェハキャリアであってもよい。
【００２１】本発明の好適な実施の形態によれば、前記
記録媒体は、メモリ又は印刷が可能な媒体を含むことが
好ましい。
【００２２】本発明の好適な実施の形態によれば、前記
記録手段は、前記復号鍵と共に前記物品の識別情報を、
前記物品に付けられた前記記録媒体に記録し、前記復号
手段は、前記暗号化された情報に付随する物品の物品識
別情報と、前記物品に付けられた前記記録媒体に記録さ
れた物品識別情報とが一致する場合に、前記復号鍵に基
づいて、前記暗号化された情報を復号することが好まし
い。
【００２３】本発明の好適な実施の形態によれば、前記
記録手段は、前記復号鍵と共に前記復号鍵に対応する鍵
識別情報を、前記物品に付けられた前記記録媒体に記録
し、前記復号手段は、前記暗号化された情報に付随する
鍵識別情報と、前記物品に付けられた前記記録媒体に記
録された鍵識別情報とが一致する場合に、前記復号鍵に
基づいて、前記暗号化された情報を復号することが好ま
しい。
【００２４】本発明の好適な実施の形態によれば、前記
第１装置から前記第２装置に前記物品を搬送する搬送装
置を更に有することが好ましい。
【００２５】本発明の第３の側面は、物品を処理する処
理装置に係り、外部装置からの指示に従って、複数の運
搬可能な物品の中から１つの物品を特定する特定手段
と、暗号化された情報を復号するための復号鍵を、前記
特定手段によって特定された物品に付けられている記録
媒体に記録する記録手段とを備えることを特徴とする。
【００２６】本発明の第４の側面は、暗号化された情報
を復号し、その復号した情報に基づいて処理を実行する
処理装置に係り、前記処理を制御するための暗号化され
た情報を、前記処理のために要する物品に付された記録
媒体に記録された復号鍵に基づいて復号する復号手段を
備えることを特徴とする。
【００２７】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照しながら本
発明の好適な実施の形態について説明する。
【００２８】図１は、本発明の好適な実施の形態に係る
半導体製造システムの構成を示す図である。この半導体
製造システムは、該システム全体を統括し、暗号鍵の生
成およびデータの暗号化を行うホストコンピュータ１、
半導体製造装置の一例としての半導体露光装置（例え
ば、ステッパ、スキャナ等）２及び３、当面の露光作業
に必要なマスク（例えばレチクル）をストックしておく
マスクストッカ１０、これらを接続する通信ネットワー
ク２０、露光装置２及び３とマスクストッカ１０との間
で搬送路３１に沿ってマスク１３や１５等のマスクを搬
送する搬送車（搬送装置）３０とを備えている。
【００２９】マスク１３、１５には、それぞれ、例えば
非接触に読み書き可能なＩＣカード１４、１５が取り付
けられている。ＩＣカードにはあらかじめマスク識別情
報（例えば、識別番号）が記録されており、該識別情報
に基づいて管理される。
【００３０】ホストコンピュータ１は、製造データを暗
号化する際に生成した暗号化鍵（暗号化のために使用す
る鍵）と、該暗号化鍵に対応して生成した復号化鍵（対
応する暗号化鍵によって暗号化されたデータを復号する
ために必要な鍵）とのペアに対して鍵識別情報（例え
ば、識別番号）を割り振る。
【００３１】露光装置２は、露光装置コントローラ４に
よって制御される。露光装置コントローラ４はハードデ
ィスク５を備えており、ハードディスク５には露光装置
２を制御するためのプログラムが格納されている。ま
た、露光装置２は、例えば非接触型のＩＣカードリーダ
ライタ７を備えており、該リーダライタ７によりマスク
上に取り付けられたＩＣカードに記録された情報を読み
出したり、それに情報を記録したりする。
【００３２】暗号化された製造データは、典型的には、
通信ネットワーク２０を通じてホストコンピュータ１か
ら露光装置２若しくは３又は不図示の他の製造装置に送
信される。図１に示す例では、暗号化された製造データ
は、通信ネットワーク２０を通じて露光装置２に送信さ
れる。ただし、例えば、露光装置２上で製造データを作
成あるいは編集し、それをホストコンピュータ１から提
供される公開暗号化鍵を用いて暗号化することもでき
る。
【００３３】マスクストッカ１０は、ストッカコントロ
ーラ１１によって制御される。ストッカコントローラ１
１は、ホストコンピュータ１から露光処理において用い
るマスクを特定するためのマスク識別情報と、当該マス
ク及びそれを使用する露光装置に適合した製造データを
暗号化する際に用いた暗号鍵（及び復号鍵）に対応する
鍵識別情報と、該鍵識別情報に対応する復号鍵データを
受信する。そして、ストッカコントローラ１１は、マス
ク識別情報によって特定されるマスクをマスクストッカ
１０内から探し出し、例えば非接触型のＩＣカードリー
ダライタ１２により、当該マスク上に取り付けられたＩ
Ｃカードに鍵識別情報及び復号鍵データを書き込む。そ
の後、当該マスクは搬送車３０に載せられ、該当する露
光装置へ搬送される。ここで、例えば、通信ネットワー
ク２０からのＩＣカードリーダライタ１２又はマスクス
トッカコントローラ１１へのアクセス権を所定の者に制
限したり、又は、完全に禁止したりすることにより、マ
スクのＩＣカードに記録された復号鍵データが漏洩する
ことを一層効果的に防止することができる。
【００３４】以下、図１乃至図４を参照しながら、図１
に示すマスク１３と露光装置２を用いて実行される露光
処理を例にとって、この実施の形態に係る半導体製造シ
ステムの動作を具体的に説明する。
【００３５】図２は、ホストコンピュータ１の動作を示
す図である。まず、ステップＳ１０１で、ホストコンピ
ュータ１は、あらかじめ作成された生産計画に基づい
て、作業内容（ここでは、露光装置２とマスク１３との
組み合わせによってウェハを露光する処理）を決定す
る。
【００３６】次いで、ステップＳ１０２で、ホストコン
ピュータ１は、露光装置２に対して、使用するマスク１
３を特定するための情報であるマスク識別情報、マスク
１３を使用して露光装置２により露光処理を行うための
暗号化された製造データ６、製造データの暗号化に用い
た暗号鍵（および復号鍵）に対応する鍵識別情報を送信
する。
【００３７】次いで、ステップＳ１０３で、ホストコン
ピュータ１は、マスクストッカ１０に対して、露光装置
２で使用するマスク１３を特定するマスク識別番号、ホ
ストコンピュータ１から露光装置２に提供される製造デ
ータの暗号化に用いた暗号鍵（および復号鍵）に対応す
る鍵識別情報、当該鍵識別情報に対応する復号鍵（すな
わち、当該鍵識別番号に対応する暗号鍵とペアをなす復
号化鍵）のデータＫ１を送信する。
【００３８】図３は、マスクストッカ１０の動作を示す
図である。まず、ステップＳ２０１で、マスクストッカ
コントローラ１１は、ホストコンピュータ１から、露光
装置２による露光処理で使用するマスク１３を特定する
マスク識別番号、ホストコンピュータ１から露光装置２
に提供される製造データの暗号化に用いた暗号鍵（およ
び復号鍵）に対応する鍵識別情報、当該鍵識別情報に対
応する復号鍵（すなわち、当該鍵識別番号に対応する暗
号鍵とペアをなす復号化鍵）のデータＫ１を受信する。
このステップは、図２のステップＳ１０３に対応する。
【００３９】次いで、ステップＳ２０２で、マスクコン
トローラ１１は、ステップＳ２０１で受信したマスク識
別情報に基づいて、マスクストッカ１０中に収容されて
いる多数のマスクの中から当該露光処理で使用するマス
クを探し出す（マスクの特定）。
【００４０】次いで、ステップＳ２０３で、マスクコン
トローラ１１は、ステップＳ２０２で探し出したマスク
１３に取り付けられているＩＣカード１４に対して、ス
テップＳ２０１で受信したマスク識別情報、鍵識別情報
および復号鍵データＫ１を記録する。
【００４１】次いで、ステップＳ２０４で、マスクコン
トローラ１１は、マスク１３を搬送車３０に引き渡す。
【００４２】次いで、ステップＳ２０５で、マスクコン
トローラ１１は、搬送車３０に対して、マスク１３の搬
送先が露光装置２である旨を通知する。なお、このよう
な通知は、ホストコンピュータ１から搬送車３０に対し
てなされてもよい。
【００４３】図４は、露光装置２の動作を示す図であ
る。ステップＳ３０１では、露光装置コントローラ４
は、使用するマスク１３（搬送車３０によって搬送され
てくるマスク）を特定するための情報であるマスク識別
情報、マスク１３を使用して露光装置２により露光処理
を行うための暗号化された製造データ６、製造データの
暗号化に用いた暗号鍵（および復号鍵）に対応する鍵識
別情報を受信する。このステップは、図２のステップＳ
１０２に対応する。
【００４４】次いで、ステップＳ３０２で、露光装置コ
ントローラ４は、マスクの受け取り用の機構を駆動し
て、搬送路３１を通ってマスク１３を搬送してきた搬送
車３０から該マスク３０を受け取らせる。
【００４５】次いで、ステップＳ３０３で、露光装置コ
ントローラ４は、リーダライタ４を利用して、マスク１
３のＩＣカード１４に記録されているマスク識別情報を
読み取り、ステップＳ３０４で、その読み取ったマスク
識別情報とステップＳ３０１でホストコンピュータ１か
ら受信したマスク識別情報とが一致しているか否かを検
査し、両者が一致している場合はステップＳ３０５に進
み、両者が一致していない場合にはステップＳ３１１に
進み所定のエラー処理を実行する。
【００４６】ステップＳ３０５では、露光装置コントロ
ーラ４は、リーダライタ４を利用して、マスク１３のＩ
Ｃカード１４に記録されている鍵識別情報と復号鍵デー
タＫ１とを読み取って不図示の一次メモリに格納し、ス
テップＳ３０６で、リーダライタ４を利用して、ＩＣカ
ード１４上の鍵識別情報および復号鍵データＫ１を消去
する。すなわち、マスク１３のＩＣカード１４には露光
処理の直前にマスクストッカ１０のリーダライタ１２に
よって鍵識別情報および復号鍵データが記録され、その
後、搬送車３０によってマスク１３が露光装置に搬送さ
れ、リーダライタ７によって鍵識別情報および復号鍵デ
ータが読み出された後にＩＣカード14から鍵識別情報お
よび復号化鍵データのうち少なくとも復号化鍵データが
消去される。また、ＩＣカード１４から読み取られた鍵
識別情報および復号化鍵データは、露光装置コントロー
ラ４の一次メモリに格納されるため、これに外部からア
クセスすることは困難である。したがって、通信ネット
ワーク２０を経由して露光装置２等の半導体製造装置に
アクセスする者が復号鍵データを取得する危険性を最小
限に抑えることができる。
【００４７】次いで、ステップＳ３０７では、露光装置
コントローラ４は、ステップＳ３０１で暗号化された製
造データ６と共に受信した鍵識別番号（製造データ６の
暗号化に用いた暗号化鍵に対応する鍵識別番号）と、ス
テップＳ３０５でマスク１３のＩＣカード１４から読み
取った鍵識別番号とが一致するか否かを検査し、一致す
る場合にはステップＳ３０８に進み、両鍵識別番号が一
致しない場合にはステップＳ３１２に進みエラー処理を
実行する。なお、両鍵識別番号が一致することは、マス
ク１３のＩＣカード１４に記録されている復号化鍵デー
タＫ１に基づいて、製造データ６を復号することができ
ることを意味する。
【００４８】次いで、ステップＳ３０８で、露光装置コ
ントローラ４は、ステップＳ３０５で読み取ったマスク
１３のＩＣカード１４に記録された復号化鍵データＫ１
に基づいて、ステップＳ３０１でホストコンピュータ１
から受信した暗号化された製造データ６を復号する。こ
こで、復号した製造データは、一次メモりにのみ保存す
るか、又は、外部装置からのアクセスができないメモリ
に保存することが好ましい。
【００４９】次いで、ステップＳ３０９で、露光コント
ローラ４は、復号した製造データに従って露光装置２の
各部を制御しながら、マスク１３に形成されたパターン
をウェハに転写する。この転写は、製造データに従っ
て、典型的には複数のウェハに対してなされうる。
【００５０】次いで、ステップＳ３１０で、露光コント
ローラ４は、一連の露光処理が完了した後に、復号され
た製造データをそれを保存していたメモリ上から消去す
る。これにより、不本意に当該露光装置２に対して外部
から侵入があった場合にも、復号された製造データが当
該侵入者に渡ることを防止することができる。ここで、
復号された製造データの消去は、その全部を一括して行
うのではなく、露光装置２の制御パラメータの設定等が
完了する都度、不要になった一部を順次消去してもよ
い。これにより、復号された製造データの漏洩の危険性
をさらに低減することができる。
【００５１】ここで、ホストコンピュータ１に対してネ
ットワーク２０を介してアクセスすることを許可する
と、ホストコンピュータ１から、暗号化されていない製
造データ等の機密情報が漏洩する可能性があるため、ホ
ストコンピュータ１に対するアクセスは完全に又は部分
的に禁止する必要がある。
【００５２】なお、上記の実施の形態において、ＩＣカ
ード１４の代わりに他の種々のメモリ媒体を採用するこ
ともできる。また、印刷可能な媒体を採用して、該媒体
に鍵識別情報および復号化鍵データＫ１を例えばバーコ
ード等として印刷してもよい。
【００５３】また、マスク自体にＩＣカードや印刷媒体
等の記録媒体を取り付ける代わりに、マスクを収容する
マスクカセット等に記録媒体を取り付けて、鍵識別情報
および復号化鍵データＫ１を保持させてもよい。
【００５４】また、マスク等にＩＣカードや印刷媒体等
の記録媒体を取り付ける代わりに、露光対象のウェハを
収容したウェハキャリア等に記録媒体を取り付けて、鍵
識別情報および復号化鍵データＫ１を保持させてもよ
い。
【００５５】以上のように、本発明に好適な実施の形態
によれば、製造データを復号するための復号鍵データを
マスク等の物品（すなわち、アクセスが困難な物品）を
介して半導体製造装置に提供するため、復号鍵データが
ネットワークへの善意又は悪意のアクセス者に対して渡
る危険性を最小限に抑え、これにより、たとえ暗号化さ
れていない製造データが該アクセス者に渡ったとして
も、それが復号される可能性を最小限に抑えることがで
きる。
【００５６】また、本発明の好適な実施の形態によれ
ば、ホストコンピュータから露光装置等の半導体製造装
置に対して暗号化された製造データを提供し、該製造デ
ータを復号するための復号化鍵データに関しては別の経
路すなわち該半導体製造装置が使用するマスク等の物品
（すなわち、アクセスが困難な物品）を介して該半導体
製造装置に提供するため、暗号化された製造データとそ
れを復号するための暗号鍵データの双方が共にネットワ
ークへの善意又は悪意のアクセス者に対して渡るといっ
た危険性を最小限に抑えることができる。
【００５７】
【発明の効果】本発明によれば、製造システム等のシス
テムにおいて、復号鍵を効果的に保護することができ、
これにより製造データ等の情報を保護することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の好適な実施の形態に係る半導体製造シ
ステムの構成を示す図である。
【図２】ホストコンピュータの動作を示す図である。
【図３】マスクストッカの動作を示す図である。
【図４】露光装置の動作を示す図である。
【符号の説明】
１ ホストコンピュータ ２，３ 露光装置 ４ 露光装置コントローラ ５ ハードディスク ６ 暗号化された製造データ ７，１２ ＩＣカードリーダライタ １０ マスクストッカ １３，１５ マスク １４、１６ ＩＣカード Ｋ１ 復号化鍵のデータ ２０ 通信ネットワーク ３０ 搬送車 ３１ 搬送路

Claims (30)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 情報を管理する情報管理方法であって、 第１装置において、暗号化された情報を復号するための
    復号鍵を、運搬可能な物品に付けられた記録媒体に記録
    する記録工程と、 第２装置において、前記物品を受け取り、前記物品に付
    けられた前記記録媒体に記録された前記復号鍵に基づい
    て、前記暗号化された情報を復号する復号工程と、 を有することを特徴とする情報管理方法。
  2. 【請求項２】 前記第２装置において、前記記録媒体に
    記録されている前記復号鍵を消去する消去工程を更に有
    することを特徴とする請求項１に記載の情報管理方法。
  3. 【請求項３】 情報管理装置から、前記第２装置に対し
    て、前記暗号化された情報を送信する第１送信工程と、 前記情報管理装置から、前記第１装置に対して、前記第
    １送信工程における送信に係る情報を復号するための前
    記復号鍵を送信する第２送信工程と、 を更に有することを特徴とする請求項１又は請求項２に
    記載の情報管理方法。
  4. 【請求項４】 前記第２装置は、製品の製造に利用され
    る製造装置であることを特徴とする請求項１乃至請求項
    ３のいずれか１項に記載の情報管理方法。
  5. 【請求項５】 前記第２装置は、半導体装置の製造に利
    用される半導体製造装置であることを特徴とする請求項
    １乃至請求項３のいずれか１項に記載の情報管理方法。
  6. 【請求項６】 前記半導体製造装置は、露光装置を含む
    ことを特徴とする請求項５に記載の情報管理方法。
  7. 【請求項７】 前記第１装置は、マスクを収容するマス
    クストッカであることを特徴とする請求項６に記載の情
    報管理方法。
  8. 【請求項８】 前記物品は、マスク又はそれを収容する
    マスクキャリアを含むことを特徴とする請求項６又は請
    求項７に記載の情報管理方法。
  9. 【請求項９】 前記物品は、ウェハを収容するウェハキ
    ャリアを含むことを特徴とする請求項６に記載の情報管
    理方法。
  10. 【請求項１０】 前記記録媒体は、メモリを含むことを
    特徴とする請求項１乃至請求項９のいずれか１項に記載
    の情報管理方法。
  11. 【請求項１１】 前記記録媒体は、印刷が可能な媒体を
    含むことを特徴とする請求項１乃至請求項９のいずれか
    １項に記載の情報管理方法。
  12. 【請求項１２】 前記記録工程では、前記復号鍵と共に
    前記物品の識別情報を、前記物品に付けられた前記記録
    媒体に記録し、 前記復号工程では、前記暗号化された情報に付随する物
    品の物品識別情報と、前記物品に付けられた前記記録媒
    体に記録された物品識別情報とが一致する場合に、前記
    復号鍵に基づいて、前記暗号化された情報を復号するこ
    とを特徴とする請求項１乃至請求項１１のいずれか１項
    に記載の情報管理方法。
  13. 【請求項１３】 前記記録工程では、前記復号鍵と共に
    前記復号鍵に対応する鍵識別情報を、前記物品に付けら
    れた前記記録媒体に記録し、 前記復号工程では、前記暗号化された情報に付随する鍵
    識別情報と、前記物品に付けられた前記記録媒体に記録
    された鍵識別情報とが一致する場合に、前記復号鍵に基
    づいて、前記暗号化された情報を復号することを特徴と
    する請求項１乃至請求項１１のいずれか１項に記載の情
    報管理方法。
  14. 【請求項１４】 前記第１装置から前記第２装置に前記
    物品を搬送する搬送工程を更に有することを特徴とする
    請求項１乃至請求項１３のいずれか１項に記載の情報管
    理方法。
  15. 【請求項１５】 情報を管理する情報管理システムであ
    って、 暗号化された情報を復号するための復号鍵を、運搬可能
    な物品に付けられた記録媒体に記録する記録手段を有す
    る第１装置と、 前記物品に付けられた前記記録媒体に記録された前記復
    号鍵に基づいて、前記暗号化された情報を復号する復号
    手段を有する第２装置と、 を備えることを特徴とする情報管理システム。
  16. 【請求項１６】 前記第２装置は、前記記録媒体に記録
    されている前記復号鍵を消去する消去手段を更に有する
    ことを特徴とする請求項１５に記載の情報管理システ
    ム。
  17. 【請求項１７】 情報管理装置を更に備え、前記情報管
    理装置は、 前記第２装置に対して、前記暗号化された情報を送信す
    る第１送信手段と、 前記第１装置に対して、前記第１送信手段による送信に
    係る情報を復号するための前記復号鍵を送信する第２送
    信手段と、 を有することを特徴とする請求項１５又は請求項１６に
    記載の情報管理システム。
  18. 【請求項１８】 前記第２装置は、製品の製造に利用さ
    れる製造装置であることを特徴とする請求項１５乃至請
    求項１７のいずれか１項に記載の情報管理システム。
  19. 【請求項１９】 前記第２装置は、半導体装置の製造に
    利用される半導体製造装置であることを特徴とする請求
    項１５乃至請求項１７のいずれか１項に記載の情報管理
    システム。
  20. 【請求項２０】 前記半導体製造装置は、露光装置を含
    むことを特徴とする請求項１９に記載の情報管理システ
    ム。
  21. 【請求項２１】 前記第１装置は、マスクを収容するマ
    スクストッカであることを特徴とする請求項１９に記載
    の情報管理システム。
  22. 【請求項２２】 前記物品は、マスク又はそれを収容す
    るマスクキャリアを含むことを特徴とする請求項２０又
    は請求項２１に記載の情報管理システム。
  23. 【請求項２３】 前記物品は、ウェハを収容するウェハ
    キャリアを含むことを特徴とする請求項２０に記載の情
    報管理システム。
  24. 【請求項２４】 前記記録媒体は、メモリを含むことを
    特徴とする請求項１５乃至請求項２３のいずれか１項に
    記載の情報管理システム。
  25. 【請求項２５】 前記記録媒体は、印刷が可能な媒体を
    含むことを特徴とする請求項１５乃至請求項２３のいず
    れか１項に記載の情報管理システム。
  26. 【請求項２６】 前記記録手段は、前記復号鍵と共に前
    記物品の識別情報を、前記物品に付けられた前記記録媒
    体に記録し、 前記復号手段は、前記暗号化された情報に付随する物品
    の物品識別情報と、前記物品に付けられた前記記録媒体
    に記録された物品識別情報とが一致する場合に、前記復
    号鍵に基づいて、前記暗号化された情報を復号すること
    を特徴とする請求項１５乃至請求項２５のいずれか１項
    に記載の情報管理システム。
  27. 【請求項２７】 前記記録手段は、前記復号鍵と共に前
    記復号鍵に対応する鍵識別情報を、前記物品に付けられ
    た前記記録媒体に記録し、 前記復号手段は、前記暗号化された情報に付随する鍵識
    別情報と、前記物品に付けられた前記記録媒体に記録さ
    れた鍵識別情報とが一致する場合に、前記復号鍵に基づ
    いて、前記暗号化された情報を復号することを特徴とす
    る請求項１５乃至請求項２５のいずれか１項に記載の情
    報管理システム。
  28. 【請求項２８】 前記第１装置から前記第２装置に前記
    物品を搬送する搬送装置を更に有することを特徴とする
    請求項１５乃至請求項２７のいずれか１項に記載の情報
    管理システム。
  29. 【請求項２９】 物品を処理する処理装置であって、 外部装置からの指示に従って、複数の運搬可能な物品の
    中から１つの物品を特定する特定手段と、 暗号化された情報を復号するための復号鍵を、前記特定
    手段によって特定された物品に付けられている記録媒体
    に記録する記録手段と、 を備えることを特徴とする処理装置。
  30. 【請求項３０】 暗号化された情報を復号し、その復号
    した情報に基づいて処理を実行する処理装置であって、 前記処理を制御するための暗号化された情報を、前記処
    理のために要する物品に付された記録媒体に記録された
    復号鍵に基づいて復号する復号手段を備えることを特徴
    とする処理装置。
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