TWI276795B - Defect knowledge library - Google Patents
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、發明説明( 月領娀：_ (請先閲讀背面之注意事項再#寫本頁) 〜^發月大致關係於—種於半導體晶圓處理系統中，執 I缺！II析〈方法或相關設備。更明確地說，本發明關係 、貝庫’其儲存有關於該半導體晶圓上之缺陷的影像 及其他資訊。 曰妁〜像 I明背景：_ 半導粗晶圓容易受到缺陷，諸缺陷係於處理時發生。 於積體電路形成於晶圓上時，缺陷可能發生於晶圓：任一 處里1%奴上。一般而了，每一積體電路製造者具有發生於 奴狀况下又缺陷的成因的資料庫。若缺陷經常地發生及 -訂· 解決方案很明顯㈣，則資料庫可以包含有缺陷的說明， 缺陷的成因’及對該缺陷的解決方案。❹，t_特定處 理室變髒時，發生某些缺陷。當這些缺陷發生時，該 資料庫將指出予以對該特定處理室，執行—清洗過程之解 決方案。 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 社 印 製 各種積體電路製造者對缺陷資訊開發了其本身之專 屬資料庫。因此，相當大之儲存被耗用在建立資料庫上， 該等資料庫包含可能缺陷的完整明細及解決方案。 因此，於本技藝中有需要一種方法，用以儲存多數積 體電路製造者之保密缺陷資説供共享用。此缺陷資訊可以 為各種製造者所接取，而不會外露出任何保密處理資訊。 所組合缺陷資訊可以被組織，使得—晶圓缺陷的來源或成 因的分析可以被共相關至該缺陷的適當解決方案。 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(2ΐ0χ297公着） 1276795 A7 --------— B7 五、發明説明（） 發A目的及棒诫： (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 本發明為一種用以建立一資料庫的方法與設備，其包 吕衫像及其他半導體晶圓缺陷資訊。資料庫係被儲存於一 具有多數客戶連接至其中之伺服器中。影像及其他資訊係 ^由諸客戶供給至資料庫。客戶自區域量測機台室，收集 貝訊及影像，然後，經由—網路傳送該資訊及影像至該饲 服器。資訊及影像係被以該等缺陷的相關成因及解決方 案，組織於該資料庫中，以形成每一缺陷之案例研究。缺 陷案例研究可以由多數客戶收集並供分享，以形成各式各 樣 < 缺陷情報館。任一被授權之客戶均可以遠端接取該資 料庫’以尋找該等特定缺陷的成因及解決方案。 本發明之上述特性可以經由參考示於附圖中之實施 例及總結如上之本發明的詳細說明而加以了解。 簡單說明： 第1圖為依據本發明安排之缺陷源識別器之方塊圖； 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第2圖為包含第1圖之缺陷源識別器之處理及資料庫的方 塊圖； fj 第3圖為第2圖之缺陷情報館資料庫系統之架構圖； 第4圖為可以為第丨圖之缺陷源識別器所顯示之缺陷貌奸 螢幕； ° 第5圖為第丨圖之缺陷源識別器所顯示之案例影像榮幕. 第6圖為第〗圖之缺陷源識別器所顯示之影像比較鸯幕. 第5頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公釐) 1276795 Α7 五、發明説明（ 第7圖為第3圖之缺陷資料庫系統所顯示 幕； 之瀏覽缺陷螢 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第8圖為第3圖之缺陷情報館資 Ύ厚系統所顯示之搜尋螢 幕； 第9圖為第3圖之缺陷情報館資料 Ύ 7早乐統所顯示之瀏覽缺 陷螢幕； 第10圖為第3圖之缺陷情報館資料 厍糸統所顯示之案例 影像螢幕； 第1 1圖為第3圖之缺陷情報館資料庫系 螢幕； 第12圖為第3圖之缺陷情報館資料庫系 陳列螢幕； 第13圖為第3圖之缺陷情報館資料庫“所顯示之架構 螢幕； 第14圖為第14圖之架構螢幕之另一部份；及 第15圖為涉及第3圖之缺陷情報館資料庫系統之使用者 互動的方法。 然而’應注意的是，附圖只是本發明之典型實施例， 並不作為限制本發明之範圍用，因為本發明也可採用其他 等效實施例。 Ρ號對照說明：_ 100 缺陷源識別器 103 處理室 統所顯示之建立 統所顯示之影像 102 晶圓處理系統 104 缺陷源識別客戶 第6頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1276795 A7 B7 五、發明説明（） 105 客戶 電 腦 106 缺 陷 源 識 別 器 伺 服 器 107 伺 服 器 電 腦 110 網 路 120 傳 送 室 121 晶 圓 傳 送 系 統 122 工 廒 界 面 123 卡 匣 真 空 隔 絕 室 124 量 測 機 台 室 160a ，b 中 央 處 理 單 元 16 2a ，b 記 憶 體 164a ，b 輸 入 /輸出 165a ，b 支援 電 路 166a ，b 匯 流排 180 量 測 機 台 工 具 182 缺 陷 源 識 別 軟 體 程 式 184 缺 陷 源 識 別 軟體程式 186 缺 陷 情報館（DKL)資料庫系 統 188 DKL 軟 體 200 缺 陷 源 識 別 器 處 理 204 晶 圓 缺 陷 檢 視處理 206 掃 描 電 子 顯 微 鏡 處 理 208 缺 陷 管 理 資 料庫處理 210 製 造 執 行 資料庫 處 理 214 缺 陷 源 識 別 資料庫處 理 216 缺 陷 情 報 館 資料庫處 理 218 客戶 情 報 館 資料庫處 理 220 工 具 參 考 資料庫處理 302 瀏 覽 器 303 客戶 層 304 網 際 網 路 資 訊 祠 服 器 305 中 間 層 306 交 易 伺 服 器 307 資 料層 316 缺 陷 情 報 館 元 件 (請先閲讀背面之注意事項再壤寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 發明詳細說明： 缺陷情報館系統1 8 6之一實施例形成示於第1圖之缺 陷源識別器1 00之一部份。該缺陷源識別器1 00指出為晶 第7頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公釐） 1276795 A7 B7 五、發明説明（ 圓處理系統1 〇2所處理之晶圓的缺陷，決定缺陷源並建議 解決万案，以消除每一缺陷。晶圓處理系統丨〇2包含一或 多數處理室103。每一處理室1〇3(同時於此被稱為處理工 具）係被架構以對晶圓執行諸例示處理，例如，化學氣相 >儿積（CVD)，物理氣相沉積（pvD)，電化學電鍍（Ecp)，化 學機械研磨（CMP)，無電電鍍，其他已知沉積處理，或其 他已知姑刻處理。 缺陷情報館（DKL)資料庫系、统186儲存半導體晶圓缺 陷案例歷史於一 DKL資料庫19〇中。案例研究資訊為DKL 軟體1U所儲存’組織及接取。此半導體晶圓缺陷案例歷 史可以為缺陷源識別器100之諸遠端使用者（客戶1〇4)所 接取’以決足其來源及對為缺陷源識別器i⑽所指出之晶 圓缺陷的解決方案。 缺陷源識別器1G0包含量測機台，其利心自量測機 台工具180之輸出，分析於處理時，在晶圓處理系統1Q2 内所發生於晶圓中之缺陷。缺陷源識別器1〇〇之某些實施 例傳送晶圓資料，影像，及/或有關^晶圓缺陷的資訊給遠 端地點，作為分析。缺陷源識別胃⑽比較晶圓影像與晶 圓缺陷的案例歷史’在晶圓資料上執行頻譜分析，然後傳 送缺陷源及對該等缺陷的操作解決方案給晶圓處理系統 (或給位在晶圓處理系統處之作業員）。 名詞”晶圓，，包含半導體晶圓或其他形式之基材，其上 進行有順處理步驟者。示於第1圖中之缺陷源識別器100 的實施例包含-晶圓處理系、统1〇2，一或多數缺陷源識別 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -、\呑 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 勤頁
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各戶 1U4 no。晶圓處理系：缺陷源識別器㈣106,及-網路 1〇3，-晶圓傳^ 2包含—傳送室12G，多數處理室 工廠界面m。^121(同時也被稱為機械手臂），及- 该工廠界面129 —人 匕含一卡匣真空隔絕室123及至少一 量測機台室124,万旦、n ) 里測機台工具180。該量測機台室124 及工具 1 8 U可以遠 運接至系統102或為單獨機台或多數機 台。孩卞E真空眩彡
、、、至1 2 3儲存一或多數晶圓卡g。量測 機台工具180量測另、、上 丁比 J 及測武晶圓特徵及晶圓缺陷。量測機台 工具180包含例如—_ ^ 知描或穿透式電子顯微鏡，一光學晶 圓缺陷檢視系統，空 工間簽早分析工具，或任一用以分析晶 圓缺陷的工具。 多數缺陷源識別客戶1〇4係顯示於第i圖之實施例 中’其係例如缺陷源識別器客戶A，B及C。以下說明參 考缺源4別客戶A，但其係可以代表所有之缺陷源識別 客戶。每一缺陷源識別客戶1〇4均包含一客戶電腦105， 以控制晶圓處理系統1〇2及於晶圓處理系統1〇2中之個別 處理罜1 03的操作。缺陷源識別伺服器1 06包含伺服器電 腦 107。 客戶電腦1 05經由網路1 1 〇與伺服器電腦工〇7相互產 生動作’以接收儲存於伺服器電腦1 07中之資料。客戶電 腦1 05及伺服器電腦1 07可以儲存為晶圓處理系統1 〇2所 處理之晶圓上之現行及歷史（即案例研究）缺陷。因此，客 戶電腦1 05及伺服器電腦1 〇7與量測機台室1 24之量測機 第9頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ,裝- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1276795 A7 B7 五、發明説明（ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 台工具1 80及各種資料庫相互反應，以儲存晶圓缺陷案例 歷史，以完成晶圓缺陷的分析。 網路1 1 〇提供於客戶電腦1 05及伺服器電腦1 07間之 資料通訊。網路11 〇可以利用網際網路，一網内網路，一 廣域網路（WAN)，或任何其他形式之網路。可以想出網路 1 10可以利用此等電腦語言，其係例如超文件標示語言 (HTML)或可延伸標示語言（XML)。HTml為現行於網際網 路上怎王要標不語言。XML為一標示語言，其係於網際網 路中取得較大接受度。HTML及/或XML之使用需要使用 安裝於每一客戶電腦1〇5中之個別HTM]L及/或XML瀏覽 器。 、一=口 客戶1 04及缺陷源識別伺服器丨〇6相互動作，以指出 在被處理過半導體晶圓上之缺陷，並提供對該等晶圓缺陷 的解答，以消除晶圓缺陷。晶圓處理系統i 〇2之操作係為 一特定缺陷源識別客戶1〇4所控制。於缺陷源識別器 之某些實施例中，㉟陷源識別客戶1〇4由缺陷源識別伺服 器106接收解決方案。解決方案係被應用至晶圓處理系統 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 社 印 製 1〇2(以自動方式或由作業員輸入方式進行），及解答係被用 以控制晶圓處理系統的操作。 因為客戶電腦105及伺服器電腦107之操作及功能係 如此地相關（類似客戶/祠服器操作可以在缺陷源識別器 1〇〇之不同實施例中，為客戶電腦1〇5或伺服器電腦工旳 所執行），所以於客戶電腦105中之元件參考數係可以附 加至以另一參考字元”a”。以類似方式，飼服器電腦 第10頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公變） 1276795
五、發明説明（） 之參考丰元係被另外加以一參考字元” b，，。於本揭示中， 請 先 閱 讀 背 意 事 項 客戶電腦105之元件與伺服器電腦1〇7之元件的區分是重 要的，其中係提供有適當之相關參考字元，，a”及，，b，，。於本 揭"^中，客戶電腦1 05或伺服器電腦1 07之元件均可以執 行規走工作’隨附於參考字元後之字母可以被省略。 客戶電腦1 05及伺服器電腦1 〇7均包含一個別中央處 理單兀（CPU)160a，160b; —記憶體162a, 162b;支援電 路 165a’ 165b; —輸入 / 輸出界面（1/〇)164&，164b;及一 匯流排166a ’ 166b。客戶電腦1〇5及伺服器電腦ι〇7可以 均作成一一般目的電腦，一工作站電腦，一個人電腦，一 膝上型電腦’一微處理機，一微控制器，一類比電腦，一 數位電腦，一微晶片，一微電腦，或任何已知之適當類型 之私腦。CPU 160a ’ 160b執行有關客戶電腦]^5及伺服器 電腦107之處理及算術運算。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 記憶體l62a，162b包含隨機存取記憶體（Ram)，唯讀 兄憶體（ROM) ’可移除儲存器，磁碟儲存，這些單獨或配 合儲存了電腦程式，運算元，運算子，尺寸值，晶圓處理 程式及架構’及其他控制缺陷源識別處理及晶圓處理系統 操作之參數。於客戶電腦1〇5或伺服器電腦1〇7中之每一 匯流排166a，166b均提供於相關CPU 160a，160b ;相關 支援電路165a’ 165b;相關記憶體i62a, 162b;及I/〇164a， 1 6 4 b間之數位資訊傳輸。於客戶電腦1 〇 5或伺服器電腦 107中之匯流排166a，166b同時也連接相關i/〇i64a，164b 至晶圓處理系統1 02的其他部份。 第11頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公釐) 1276795 A7 B7 五、發明説明（ U〇164a，164b提供一界面，以控制於客戶電腦105 及/或祠服器電腦1G7間之數位資訊之傳輸。則…，⑽ 請 先 閲 讀 背 面 意 事 項 再 填 寫 本 同時也提供於客戶電腦1〇5及/或伺服器電腦ι〇7及晶圓處 理系統102之$同部份間之元件間之界面。t援電路 165a，165b包含用於一電腦中之已知電路，例如，時鐘， 快取，電源，其他使用者界面電路，例如一顯示器及鍵盤， 系統裝置，及其他相關於客戶電腦1〇5及/或伺服器電腦 107之附件。 缺陷源識別器1 〇〇利用其中之部份i 82及i 84儲存於 記憶體1 62a，或j 62b中之自動缺陷源識別軟體程式，以 分別執行於客戶電腦1〇5及伺服器電腦1〇7上。dsi軟體 1 82, 1 84與DKL軟體188相互動作，以經由DSI客戶1〇4 完DKL資訊的接取及操作。缺陷源識別器1 〇〇自動導出 一缺陷的來源並以對使用者最小干擾方式顯示可能成 因，及/或藉由調整晶圓處理系統1 〇2之處理參數，而自動 地修補該缺陷。由於與過去歷史缺陷記錄之自動比較，所 以缺陷源識別器1 〇 〇降低了問題解答處理時間，簡化了缺 陷源識別處理，及改良缺陷識別的正確性。 缺陷源識別器1 00可以被組織成為一網路為主應用， 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 其產生一執行總結螢幕，其係典型被分為多數圖形使用者 界面。於一實施例中，圖形使用者界面於缺陷來源識別客 戶1 04處顯示其界面及缺陷來源。因此，於缺陷源識別客 戶1 0 4之使用者可以與缺陷源識別客戶之缺陷情報館資料 相作用，以流傳相關螢幕，其係為於缺陷源識別器伺服器 第12頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公釐) 1276795 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 發明説明（ 1 06之資料所產生。缺陷源識別器之選定架構大量取決於 想要操作及效能特徵。 缺陷源識別器操作及結構 缺陷源識別器1 00之不同實施例由一或多數之各種資 料庫及量測機台工具丨80，接收資料，文字，影像，缺陷 案例歷史等等。第2圖顯示為缺陷源識別器1 〇〇所使用之 相互關係（interreiated)處理的一實施例。 包含示於第2圖之缺陷源識別器1 〇〇之一實施例中之 變化處理包含一缺陷識別器處理2丨〇，一晶圓缺陷檢視處 理204 ’ 一掃描電子顯微鏡處理2〇6，一缺陷管理資料庫 處理208 ’ 一製造執行資料庫處理210，一缺陷源識別資 料處理2 1 4 ’ 一缺陷情報館資料庫處理丨86(包含缺陷情報 館軟體1 88及缺陷情報館資料庫1 90)，及一工具參考資料 庫處理220。為更容易了解本發明，讀者應同時參考第1 及2圖。量測機台工具u〇之某些，資料庫2〇8, 21〇, 214， 216，218，220，或處理200，但可以想出的是，這些處理 的某部份可以使用軟體，硬體，資料庫，量測機台，設備， 及/或任一適當元件加以作成，如同被描述地以執行處理的 功能。 晶圓缺陷檢視處理2 0 4及掃描電子顯微鏡處理2 〇 6係 被應用至量測機台室丨24，並可以被稱為量測工具i 8 〇。 量測機台工具1 80更包含各種處理，例如晶圓缺陷檢視處 理析，掃描式電子顯微鏡，穿透式電子顯微鏡，光學攝像 第13頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} 裝· :|? #· 1276795 五 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Α7 Β7 發明説明（） 設備，空間簽章分析器，聚焦離子束分析器等等。一般而 言，量測機台工具可以包含任何形式之儀器，設備，2處 理，其可以完成於晶圓上之缺陷的識別或於形成於晶圓上 之積體電路中之缺陷的識別（其一般於此可交互稱為缺陷 或晶圓缺陷）。 美國加州聖荷西纟KLA_天科可以為例如電子顯微鏡 處理206之此量測機台之製造者。來自晶圓缺陷檢視處理 204及/或掃描電子顯微鏡處理2〇6之缺陷影像以例 如’’KLA檔案，，或KLA資源檔案（KLARF)之形式輸出缺陷 資訊。KLA檔案係為由電腦設備所產生之平面Ascn檐 案。相同KLA或KLARF檔案格式可以被用以儲存來自晶 圓缺陷檢視處理204及/或掃描電子顯微鏡處理2〇6之缺陷 資訊。 缺卩曰源識別器1 0 0支援由晶圓缺陷檢視處理2 〇 4所產 生之KLA或KLARF檔案。KLA，KLARF或來自量測機台 1 8 0之影像檐案係由量測機台工具1 $ 〇所輸出至一在量測 機台工具内部之目錄。每一量測機台1 8〇係連接至缺陷源 識別器處理2 0 0，以使量測機台工具輸出目錄作為一網路 權系統（NFS)可安裝檔案系統’使得諸檔案係如下所述地 可由遠端接取。 掃描電子顯微鏡處理206係用以檢視晶圓的表面或次 表面。當缺陷係為顯微鏡所指明時，掃描電子顯微鏡處理 的一實施例自動分等一般缺陷類型。掃描電子顯微鏡處理 206之一實施例產生缺陷檢視資訊，成為”kla檐案，，，或 第Η頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210Χ 297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -訂 五、發明説明（ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1276795 其他類似影像儲存檔案，、 ，、可以被缺陷源識別伺服器1 06 或缺源識別客戶1 04所八 斤刀析，儲存，或顯示。掃描電子 顯錢處理產生可以被儲存及/或分析之影像。 缺陷源識別客戶104之實施例包含_顯示器，以觀看 ^LA構案所參考之缺陷影像，該KLA構案係當晶圓缺 ^视處理，或掃描電予顯微鏡處理206時，為朝向位 於量測機台室124之晶圓、，# 疋阳固 < 此等量測機台工具丨8〇所產 生。缺陷源識別器100之-實施例允許晶圓缺陷案例歷史 予以顯示。來自現行缺陷的影像可以被顯示於顯示器上， 在案例研究缺陷影像(參考影像)旁，以供比較用。缺陷源 識別器100建立並顯示一用於每一晶圓之晶圓圖影像，該 影像將視覺上指出晶圓上之缺陷的位置並支援缺陷情報 館資料庫系統186。 缺卩曰Ϊ理；貝料庫處理2 〇 §包含現行被處理之一晶圓或 一批次晶圓之缺陷影像，資料及資訊。此等影像，資料及 其他被最近收集之資訊可於一或多數晶圓之重覆晶圓缺 陷刀析時被使用。此重覆晶圓缺陷分析可以被用以提供缺 陷重覆資訊（例如，其中一類似缺陷發生於下一處理晶圓 之相同位置）及加法器資訊（其中一類似缺陷並未發生於另 一晶圓之類似位置上）。資料，影像，或其他資訊也可以 提供群組資訊，其中多數缺陷例發生於一區域内。 缺陷源識別處理2 0 0係連接至製造執行資料庫2 1 〇。 製造執行資料庫210的一實施例包含一由美國加州觀山之 CONSILIUM公司所製造之WORKSTREAM製造執行系 第15頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
1276795 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 作 社 印 製 A7 B7 五、發明説明（） 統。該製造執行資料庫210可以於操作或結構上被分為_ 個別FAB製造執行資料庫部份及—發送製造執行資料廊 部份。該發送製造執行資料庫部份控制於製造時，經由晶 圓處理系，统102之晶圓批次的流動路徑。因&，製造執朽 資料庫處理包含發送資訊，有關於哪些處理已經被施加至 每-晶圓或晶ΒΝ比次。此批次發送資訊係有料決定具响 缺陷之晶圓已經歷過的這些處理（或處理順序 製造執行資料庫210也可以同時包含一設備界面及一 程式管理系統。因此’製造執行資料庫21〇包含相當量戈 有關每一為處理室103以處理每一晶圓之處理及條^的賓 訊。該製造執行資料庫210因而形成，，前後相關之資訊”立 形成一信息，以送至用以設定處理每一晶圓之程式之程3 管理系統。前後相關資訊可以用以特有地指出將要發生灰 一特定處理室中之程式中之處理，並包含此資訊作為批沒 數，實體，產品，路徑等。 程式管理系統基於由製造執行資料庫所提供之信肩 產生一 ’’程式’’。該程式基本上為處理指令，例如用於該步 驟中，對於該產品之壓力，溫度，氣體流量，等。製造處 理步驟然後為個別處理工具，依設定及程式加以執行。一 些資料收集係為晶圓處理系統1 〇2所執行，其係報告何時 處理開始’結束等等。此資訊係被送至製造執行資料庫2 J ( 並例如以批次儲存並實體記錄於記憶體中。 工具參考資料庫220提供被利用於缺陷源識別器i 〇〇 中之每一處理工具之處理參數的說明。工具參考資料庫 第16頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(2〗0X297公釐）
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五、發明説明（） 包含例如哪些晶圓已經被處理於哪些處理室的資訊， 執行於每—晶圓上之處理類型的資訊，在每_晶圓被處理 時之操作參數的資訊等。工具參考資料庫220可以為缺陷 源識別器1〇〇所使用，以指出造成某些缺陷之處理室中之 狀況。 缺陷源識別器處理200之某些實施例提供架構能力， 其允許使用者以選擇用於每一缺陷源識別客戶！ 之顯示 資料。缺陷源識別$⑽之-實施例更新由每—量測機台 工具18〇所提供之缺陷資料，例如由晶圓缺陷檢視處理 204及掃描電子顯微鏡處理206所提供之資料。 缺陷源識別資料庫2 1 4暫時儲存有關於缺陷的資訊。 缺陷源識別資料庫214包含來自為晶圓缺陷檢視處理2〇4 及掃描電子顯微鏡處理206所產生之KLA檔案之特定資 料。資料庫2 1 4大致儲存最近收集於客戶丨〇4内之資料。 缺陷源識別資料庫214同時包含有參考檢視影像檔案之檔 案。於資料庫214中之資料可以本地地處理於該^戶i二 内，然後，被傳送至伺服器106，或未處理資料可以直接 被傳送至伺服器1 〇6供處理用。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 缺陷情報館資料庫1 86儲存並組織有關於為缺陷源識 別器100所收集之歷史缺陷案例之影像，資料或其他資訊 並允許對之接取。於缺陷情報館資料庫丨9〇中之影像，資 料，或其他資訊係較佳為與多數個別缺陷源識別客戶1〇4 之相互作用所編譯。於一實施例中，相關於缺陷情報館資 料庫系統1 86之影像，資料，及其他資訊係被儲存於伺服 第17頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公釐) 1276795
、發明説明( 器Μ*如1 Ο 7中之記憶體1 6 2 b中。然而，此資訊可以八 a刀配 於每一客戶104及伺服器1〇6中。因此，雖然dkl軟^ (請先閲讀背面之注意事項再#寫本頁) 1 88及DKL資料庫i9〇於第1圖中係被描述為内佇於词服 器1 0 6中，但d K L系統1 8 6之這些邵份可以被分配於客 戶1 〇4及伺服器或諸伺服器丨〇6中。 -訂· 於一實施例中，每一缺陷源識別客戶丨04可以為—不 同公司，在一公司内的不同群組，或在一公司内之不同設 備所操作。或者，多數缺陷源識別器客戶1 04可以為相同 公司或群組所操作。包含於特定缺陷情報館資料庫系統 1 86中 < 晶圓案例歷史體積愈大，則可以被適當儲存及/ 或分析之歷史晶圓缺陷（及其相關個別解決方案）之潛在數 I愈多。例如，有關與缺陷源識別器伺服器丨〇6相通訊之 夕數缺陷源識別器客戶i 04之歷史缺陷可以被儲存於缺陷 源識別器伺服器1〇6之記憶體162b中作為資料。只有某 $已授權之缺陷源識別器客戶1〇4可以接取於缺陷情報館 資料庫系、统186中之資料，影像，或其他資訊。此情報共 享於分離群組或甚至公司，藉由快速指出解決方案給所有 參與者，而提升了製造效率。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 有關於為一第一缺陷源識別器客戶1〇4(為第一公司 t群組所操作）所檢測之啟始缺陷之影像，資料，或其他 資訊可以隨後被不同公司或群組所操作之第二缺陷源識 別器客戶m所利用作分析目的。操作任_缺陷源_識別器 客戶1 04 <公司或群組的身份典型不能為任何其他缺陷源 識別器客戶之作業員所知（除非許可）。 第18頁 本紙張尺度適用中_家標準(cns)A4規格⑽X 297公----- 1276795 A7 五、發明説明（ 某些處理室條 陷之一或多數解決 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 件，程式，操作溫度，及/或對於該缺 ,. 万案可以被提供給所有缺陷源識別客 戶《作業員。然而’部份敏感資訊，例如特定處理程式可 能具有接取限制。再者’歷史晶圓料，影像，及有關於 多數處理之資訊的數量可以藉由利 田扪用大K缺陷情報館 貝枓厍系，统186加以增加，該缺陷情報館資料庫系統包含 來自多數缺陷源識別客戶1 04之資訊。 缺陷源識別器處理200之一實施例收集此等屬性成為 加法器，重覆器，空間簽章分析及&自# ^ & Τ次术自缺陷管理資料庫處 理208之集合資訊。缺陷源識別器處理2〇〇由製造執行資 料庫21G收取批次料資訊。選以統使用者之缺陷源識 別處理200可以接取缺陷情報館資料庫系統I”。若缺ρ 情報館資料庫系統U6可以經由已知資料庫接取程式及Z 術，例如使用Active X資料物件（AD〇)加以接取。 為晶圓缺陷檢視處理204及掃描電子顯微鏡處理2〇6 所產生之影像典型係呈TIFF標案形式。於資料庫處理 2〇8,21()，214，186，*22()中之影像，資料，及其他資 訊也可以儲存1 TIFF格式。於_實施例中，多數影像可 以被包含於單一 TIFF檔案中，其中sTIFF檔案中之影像 標案目錄包含多數輸人，每-影像„輸人4了於相同梓 案中取得多數影像，該標案不但包含多數影像，同時也Z 含對準資料，其指示於該檔案中之不同影像的對準。對= 及缺陷影像資料因此均被包含於被參考於KLA檔案中之 TIFF檔中。於單一 TIFF檔中儲存多數影像避免了於每2 第19頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公复） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} I裝. -訂卜 1276795 A7 B7 五、發明説明（） 影像中需要一分開TIFF檔案。相關於單一缺陷之多數影 像可以包含於一單一，或多數TIFF檔案中。多數TIFF檔 案係為多數於每一 KLA檔案中之TiffFileName記錄所定 義。 缺陷源識別器1 00係被架構以轉換TIFF，缺陷影像檔 成為JPEG壓縮或MPEG壓縮影像，因為諸壓縮影像檔案 係可以迅速地傳送於任一客戶電腦1 05及伺服器電腦1 07 之間。缺陷源識別處理200連接掃描電子顯微鏡處理206 及晶圓缺陷檢視處理204。此於處理204及206間之連接 允許使用者以接取處理204, 206之歷史KLA檔案及/或其 他影像檔案。缺陷源識別處理200之一實施例支援由工具 參考資料庫22 0内之平面式檔案取回處理工具名單。 缺陷源識別伺服器106使用CPU 160b，以執行一缺陷 源識別資料庫，以接取記憶體1 62b。缺陷源識別器之一實 施例可以使用一為缺陷源識別伺服器1 06所接取之資料 庫，例如一 SQL伺服器資料庫。 缺陷源識別客戶1 04可以包含被設計以支援與網路伺 服器互動之已知網路客戶軟體。該網路客戶軟體包含一作 業系統，例如視窗NT®，SOLARIS、美國加州柏拉阿圖之 昇陽公司的註冊商標），或TRIX®(美國加州觀看山SGI之 註冊商標）。缺陷源識別客戶1 04執行一瀏覽器，例如網 頁瀏覽器（INTERNET EXPL0RER®)(微軟公司之註冊商標） 或網景領航員（NETSCAPE NAVIGATOR®)(加州觀看山之 網景通訊公司之註冊商標）。缺陷源識別器可以開發成例 第20頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再勒寫本頁) 訂· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1276795 A7 B7 五、發明説明（） 如BASIC，C，C + +，或其他物件導向之語言或傳統電腦 程式語言。 (請先閲讀背面之注意事項再«'寫本頁} 於一實施例中，缺陷源識別器伺服器1 〇 6經由缺陷情 報館資料庫系統1 86之通訊埠接取缺陷情報館資料庫系統 186。缺陷情報館資料庫系統186係與BASIC，C + +，或c 相容。缺陷源識別器伺服器106經由與BASIC，C + +或c 相容之通訊處理，接取製造製造執行資料庫。資料庫軟體 之某些實施例經由與BASIC，C + +及C相容之COM處理 支援企業網路（包含由甲骨文公司之〇RACLE8i®，美國加 州艾耳微之QUEST軟體公司之QUEST™)。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 缺陷情報館資料庫系統1 86之一實施例係示於第3圖 中。該缺陷情報館資料庫系統1 86具有三層客戶-伺服器 架構，其包含一客戶層303，一中間層 305·及一資料層 307。客戶層303提供用於缺陷情報館資料庫系統186之 使用者界面。客戶層303包含瀏覽器302，其係被利用以 提供於客戶電腦i 05及伺服器電腦丨〇7間之網路連接。用 於客戶層之一實施例中之瀏覽器軟體（其可以包含HTML 劇覽器或XML瀏覽器）較佳利用例如網頁瀏覽器或網景領 航員之網路瀏覽器。客戶層内佇於任何需要接取缺陷源識 別器之晶圓缺陷檢視處理及掃描電子顯微鏡處理中。 中間層305之實施例包含微軟網際網路資訊伺服器 3 04及微軟交易伺服器3〇6，及已知缺陷情報館元件316。 中間層處理内佇於第i圖之缺陷源識別器伺服器i 〇6上。 中間層實施用於客戶應用之商業規則，管理與資料庫之示 第21頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公釐) 1276795 A7 B7 五、發明説明（） 於第 2 圖之處理 210，212，214，19〇，218，及 22〇，並 提供網頁給瀏覽器客戶。 資料層之實施例包含一 SQL資料庫伺服器，其包含缺 陷源識別器資料庫2 1 4及缺陷情報館資料庫1 9〇。具有保 全層次尤使用者帳戶需要被建立於缺陷源識別器資料庫 214中。缺陷源識別器100可以令一使用者交叉參考檔建 立並位於缺陷源識別器伺服器丨〇6中，其可以交互參考於 晶圓缺陷檢視處理204及掃描電子顯微鏡處理2〇6間之客 戶分類至缺陷情報館資料庫分類。 缺陷源識別器100之授權使用者可以在一榮幕上觀看 晶圓識別資料，缺陷資料，成因研究，及處理工具；觀看 來自關於一特定缺陷之晶圓缺陷檢視處理2〇4及掃描電子 顯微鏡處理206的影像；觀看案例研究，其應用至被處理 晶圓批次之由一或多數處理工具103(示於第丨圖）所造成 之特定組缺陷分類；觀看來自案例歷史之影像；顯示現行 缺陷的影像與來自案例歷史之影像；及/或搜尋前面晶圓， 以觀看其缺陷及相關案例研究。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 缺陷源識別器1 00可以呼唤多數電腦功能，包含：内 部啟始，關閉；錯誤處理；當可以用於缺陷源識別器資料 庫214時，上載KLA結果檔案；及將客戶分類轉換檔案 上載至缺陷源識別器資料庫214。轉換檔案將架構客戶分 類映圖至缺陷情報館資料庫分類，並由製造執行資料庫 21 0之一或兩者上載發送檔案至予以儲存於缺陷源識別器 資料庫214中之缺陷源識別器處理200中。儲存於缺陷源 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X 297公釐) 1276795 A7 B7 五、發明説明（ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 識別器資料庫2 1 4中之發送檐案可以為缺陷源識別器1 〇 〇 之其他處理所接取，以提供對影像或資訊的更快速接取。 缺陷源識別器祠服器1 0 6具有一產品，其被安裝以允 许其連接至在晶圓缺陷檢視處理2 0 4及择描電子顯微鏡處 理206上之網路檔案系統（NFS)可安裝檔案系統。此一產 品為來自Intergraph公司之DISK ACCESS。每一需要接取 缺陷源識別器1 0 0之掃描電子顯微鏡處理2 〇 6及晶圓缺陷 檢視處理204均必須令其KLA及影像檔案輸出目錄可以 為缺陷源識別器伺服器106所用作為NFS可安裝檐案系 統。因此，檔案並不必實際内佇於伺服器丨〇6内，為執行 缺陷分析時為客戶104或伺服器1〇6所使用。 至製造執行資料庫210’缺陷情報館資料庫系統} 86， 及晶圓缺陷檢視處理204及掃描電子顯微鏡處理2〇6的界 面將如後述。 缺陷源識別器100收集來自製造執行資料庫21〇(例如 C〇NSILIUM W0RKSTREAM製造執行系统）之資料，以提 供對已經用於處理晶圓批次之處理工具的名單。表丨包含 用以指出並由製造執行資料庫21〇抽出資料之資訊。 顯示由製造執行資料庫210所輸出之資訊。每一於晶圓處 理系統1 02處理的晶圓係特有地Λ曰 可硐也為日曰固識別，批次識別及 日期之組合所指出。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} k· 、一一一口 第23頁 本紙張尺度適财關家職⑶私聰⑽χ撕公^ 1276795 A7 B7 五、發明説明（ 表 之 用 使且 所IT. 理KII 處盤 庫όή 料且 資-L 行厶一 執W 造 1 製量 為 : 每
名稱 註解 工具類型 檢視處理或掃描電子顯微鏡處理 工具ID 工具識別 曰期 現行 批次ID 表 訊 资Λ給 、Ν理料 杳 造製 由 (請先閲讀背面之注意事項再#寫本頁) -裝· 名稱 註解 批次ID 曰期 工具名單 在測試工具前，處理晶圓之處理工具的排列 名單。若使用多數處理工具，則多數工具由 第一個排至最後一個。若模式為離線，則所 具均以處理順序送回。 訂 # 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 當未接取製造執行資料庫210時，諸晶圓係敍、工田一固 定路徑發送。用於所有晶圓之發送路徑係被儲存 表或資料庫檔中’例如EXCEL或ACCESS構。、人 ^ 發送路徑之排列係以在缺陷源識別器中之處 川員岸^ 列。表3說明處理工具檔的格式： 排 表 處理工具檔案格式 第24頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公釐) 1276795 A7 B7 1、發明説明（
類型 工具ID j主解 處理工具類型 處理工具識別器 第4圖顯示顯示於網際網路瀏覽器内之缺陷總結榮幕 4〇2，其係用以以管狀格式，顯示有關於缺陷之資料，影 像，及其他資訊。缺陷源識別器1 〇〇使用缺陷情報館資料 庫系統1 86以決定相關於顯示於缺陷總結螢幕402之缺陷 表部份中之每一缺陷的成因名單。缺陷情報館資料庫系統 1 8 6係用以決定於缺陷表4 0 6中之缺陷的每一分類的成因 名單。缺陷源識別器可以然後顯示成因名單於缺陷總結螢 幕4 02之成因表408中。缺陷情報館資料庫系統186取回 經由螢幕402所完成之使用者要求，而由缺陷源識別器 1 〇〇所顯示給使用者之案，例研究細節。表4顯示由缺陷情 報館資料庫系統1 8 6所取回之資訊，並係可以由該系統取 回資料。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 轰4 :缺陷情報館資料座系絲.眘料 名稱 註解 案例狀態 案例類型 平台 可選用 缺陷分類 工具ID 能量分散微分析系統元件 第25頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公釐） 1276795
五、發明説明（） 包各於表5中心攔位的資訊描述例示資料類型，其係 可以由缺陷情報館資料庫系統186取出者。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ----- '〆、一辦八，㈡-旧Jfp 名稱 格式 料類型 設解 特有案例識別器 案例數 --------- 案例說明 .—*·— 長 -—-^ 串流 案例作者 串流 案例建立日期 曰期/時間 平台 串流 工具類型 室 串流 處理類型 串流 處理 串流 設備狀態 串流 清洗類型 串流 氣體 串流 細節說明 串流 —----- _例細節 _ 作者細節 串流 曰期細節 日期/時間 徵兆說明 串流 ------ 作者徵兆 串流 ———一 曰期徵兆 日期/時間 —-^ 問題說明 串流 ----一 問題作者 串流 .—一—' 第26頁 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X 297公釐) 1276795
A 五、發明説明（）
缺陷名稱 形 狀 ~~——, 缺 陷 機構 根 成 因分 類 在 缺 陷旁 的面積 表 面 深度 -------- 位置 主 元 件 " ----- 軌 跡 元件 ""----—- 尺寸__^ 掃描電子顯微影像 能量分散微分析
—丨·裝： (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) # 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 °由掃插電子顯微鏡處理206及晶圓缺陷檢 視處理204所產生之KLA檔案)可以基於為每一使用者之 適當輸入’而被以—工具-工具地分類。例如EXCEL或 CCESS(華盛頓州雷蒙之微軟公司的註冊商標 案之試算表可以用以包含定義於掃插恭 貝枓厍檔 ”田-子顯微鏡處理2〇6 第27頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公釐)
1276795 五、發明説明（） 及晶圓缺陷檢視處理204上之客戶八 ^ 尸刀類，然後，與用於缺 惴報館資料庫手續】8 6之八 系、-无186之刀類父又參考。此交叉參考檔 =係被載入缺陷源識別器資料庫214中。纟6描述交叉參 考檔案的格式。 名稱 註解 工具類型 —------ 具類型_ 工具ID f測台工JL識別器 工具分類 ^工具分類 缺陷情報館資料庫系 統分類 資料庫系統分類 缺陷源識別器100顯示由晶圓缺陷檢視處理2〇4及掃 描電子顯微鏡處理206所收集來之資料於缺陷總結螢幕的 缺陷表406中。所有缺陷係被指定來自缺陷檢視處理之立 即分類。所選足缺陷可以進一步使用光學顯微鏡加以分 類，並可以提供一再訪問分類。這些缺陷的次組可以使用 掃描電子顯微鏡處理206加以分析並給一掃描電子顯微鏡 -自動缺陷分類。因此，一單一缺陷可以取決於所用以檢 視該缺陷的量測機台工具，加以指定各種缺陷分類。 於檢視結束時，一單一 KLA結果檔案係為用以檢視 缺陷與每一缺陷影像檔案之每一量測機台工具所產生。對 於掃描電子顯微鏡處理206，每晶圓均產生KLA結果檔 案。對於晶圓缺陷檢視處理204，每批次均產生KLA結果 第28頁 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ,裝· 訂」 # 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公釐) 1276795 A7 B7 五、發明説明（） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 檔案。若再訪問處理執行於一晶圓上，則只有晶圓缺陷檢 視處理KLA檔案被產生，顯示立即及再訪問分類之組合 資訊。 晶圓缺陷檢視處理204及掃描電子顯微鏡處理206輸 出其KLA結果檔案及影像檔案至一目錄，該目錄係位於 晶圓缺陷檢視處理204及/或掃描電子顯微鏡處理206内 部，即於工具電腦或於客戶電腦中。這些輸出目錄係可以 為缺陷源識別器1 00所用，作為如上所述之網路檔案系統 可安裝檔案系統。 KLA檔案典型係架構以包含很多記錄。為缺陷源識別 器之KLA檔案所用之記錄的一實施例可以安排如下··
Inspection StationID<tool manufacturer><tool model><toolID> ResultTimestamp<date><time> ；
Lot identification<lot id> ? (char 16)
Wafer identification<wafer id> ； (char 16) SampleTestPlan<number of dies tested>(header record)
Wafer layout data TiffFileName<filename> 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製
DieOrigin<x><y>(coordinates of lower left corner of Die(0，0)) ClassLookup<number of classes>
ClassList
DefectRecordSpec(header record)
Defect data EndofFile 第29頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公釐） 1276795 A7
7 B 五、發明説明（） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 相關於KLA檔案之記錄的各種實施例將加以說明。 SampleTestPlan記錄為一信頭，其用以表示於表7中之測 試晶圓中之每一晶粒的晶圓佈局座標的開始。 表7 :取樣計劃 的晶圓局座標 名稱 格式 X位置 整數 Y位置 整數
ClassLookup信頭係提供以表示分類映圖資料的開 始。於ClassLookup信頭下之記錄係被表示於表8中並包 含分類數及相關於該數之分類名稱。 表8 :於ClassLookup信頭後之記錄 名稱 ----_ 格式 分類數 整數 分類數 字母 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製
DefectRecordSpec信頭表示缺陷資料的開始。於表9 中所示之DefectRecordSpec後之記錄包含該晶圓的所有 缺陷記錄。 第30頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X 297公釐) 1276795 A7 B7 五、發明説明（） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 表9:於DefectRecordSpec信頭中之記錄 名稱 樓案格式 註解 欄位數 整數32 缺陷列記錄中之棚位數’由 檢視者不同而有所不同 缺陷ID 整數32 XREL 浮動 YREL 浮動 XINDEX 整數32 YINDEX 整數32 XSIZE 浮動 YSIZE 浮動 缺陷面積 浮動 分類數量 整數32 用以接取於缺陷情報館資料 庫系統中之案例研究 影像計數 整數32 未限定之缺陷的影像數量 影像名單 整數32 相關於該缺陷之影像資料的 可變長度列 群組數 重閱樣品 於重閱用計劃中之會員 缺陷數 基於樣品缺陷特徵指出缺陷 bin中之會員 FINEBIN 基於自動缺陷重閱指出缺陷 bin中之會員 第31頁 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ,裝· 、τ #_ 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X 297公釐) 1276795
、發明説明( 一使用者可以選擇案例影像行442，以 案例影像螢幕500之新瀏覽器，其係相應於2開:顯不一 究之影像。示於第5圖之案例影像勞幕5()g、f疋案例研 組織，使得缺陷源識別器1 00可以取回現〜、=施例係被 微鏡處理206，晶圓缺陷檢視處理2〇 、、、掃疮迅子顯 及其他此量測機台工具18G所產生或先前所料之參像。 影像502, 504,及506描述為三個不同量測機台工具所取 出之特定缺陷的各種視圖。 使用者可以選擇以比較顯示於第5圖中之案例影像勞 幕500中之影像⑽，5〇4，或5()6之任—與由缺陷情㈣ 資料庫190所取出之晶顯缺陷案例歷史。為了完成此一比 較’使用者選擇如於第6圖所示之影像比較螢幕6〇〇。使 用者然後選擇相關於缺陷的嫌疑成因之特定案例歷史影 像6 0 4與來自勞幕5 〇 〇之選定影像6 〇 2。缺陷情報館資料 庫系統1 86之使用以指明缺陷，其成因及解答方案係描述 於同時申請之美國專利申請案第〇9/9〇5，607號案中。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 、一呑 # 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 圖形使用者界面概要 第7至14圖例示一組使用者圖形界面（Gui)，以提供 與缺陷情報館資料庫系統丨86之相互動作。第1 5圖為與 DKL系統186互動之方法15〇〇之一實施例的流程圖。與 缺陷情報館資料庫系統1 86相關之GUI互動包含一連串之 界面螢幕，例如，一瀏覽器缺陷螢幕7〇〇，900(示於第7 及9圖之實施例中），一搜尋螢幕8〇〇(示於第8圖之實施 第32頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X 297公釐) 1276795 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（） 例）’ 一編輯螢幕1000(示於第10圖之實施例），一分立勞 幕1100(示於第u圖之實施例）；一影像陳列螢幕12〇〇(示 於第12圖之實施例），及一架構螢幕13〇〇(示於第13及 圖之實施例）。示於第7至14圖之GUI螢幕提供一互動方 法以供使用者輸入有關晶圓缺陷的分析及其他相關資訊 至缺陷情報館資料庫系統1 86並令該資訊儲存於DKl資 料庫190中。 GUI榮幕可以被認為是，每一個代表不同，，狀態，，，以 允許不同資訊，及不同顯示資訊予以被輸入至該dkl資 料庫190。雖然名詞，，螢幕，，於本揭示中被使用以描述各種 GUI，但，，諸螢幕”，”諸GUI，，或，，諸顯示器，，係可相互交換 使用。 示於第7至14圖之個別GUI螢幕的實施例可以藉由 選擇某些資料夾標籤702，704，706，708，710及712加 以顯示，與互動。資料夾標籤包含一瀏覽器資料夾標籤 702，搜尋資料夾標籤7〇4，一編輯資料夾標籤7〇6，一建 立資料夾標籤708，一影像陳列資料夾標籤71〇，及一架 構資料爽標籤712。缺陷情報館資料庫系統186藉由選擇 各種標籤或按鈕，而允許案例編輯/建立，搜尋，分析，保 全，觀看影像，管理，資料界面，編輯記綠檔報告，輸入 /輸出案例，及螢幕的其他功能。 若瀏覽器資料夾標籤702係為缺陷情報館資料庫系統 186之示於第7至14圖中之GUI螢幕的任一所選擇時， 示於第7及9圖之瀏覽器缺陷螢幕700或9〇〇將被顯示。 第33頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公釐） ...........f-·裝.......訂......... (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 1276795 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 發明説明（） 瀏覽器缺陷螢幕700及900允許使用者以觀看現行歷史缺 陷案例。缺陷源識別器1 〇〇之缺陷情報館資料庫系統i 86 於登入時顯示瀏覽器缺陷螢幕7〇〇。 瀏覽器缺陷螢幕700，900具有多數子標籤。子標籤 之一實施例包含一案例名單子標籤72〇，一總結子標籤 722，一一般子標籤724，一工具子標籤726，一晶圓子標 籤728，一缺陷子標籤730，一附件子標籤732，及一報告 子標籤734。包含於缺陷情報館資料庫系統中之各種資料 夾標籤或子標籤之名單係為例示性。案例名單子標鐵72〇 係被選擇以提供一列案例，其係被安排成為可以藉由選擇 該案例名單子標籤720加以支援的一表729中。在案例名 單表729中之行包含例如案例1〇740，案例名稱行742， 案例問題行744 ’建立日期行746及作者行748。包含於 每一行中之資訊係由行名稱所自己說明。 選擇總結子標籤7 2 2，如於第9圖所示之總結螢幕9 〇 〇 將被顯示。總結螢幕9 0 〇提供缺陷的一般總結及於歷史記 錄中之每一晶圓的共同狀態。總結螢幕900係被分成多數 欄位，包含背景欄位940，案例細節欄位942，及一缺陷 細節欄位944。背景攔位可以包含例如平台，室，處理名 稱，處理步驟，清洗類型，及於室内之氣體的欄位。案例 細節欄位942可以包含例如問題，根本成因，校正動作， 及推薦欄位，及案例作者之攔位。缺陷細節攔位944可以 包含空間簽章分析及晶圓映圖及配托（paretos)欄位。配托 係用以為空間簽章分析（若有SSA的話），或為立即分類（若 第34頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -、一备 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1276795 A7 五、發明説明（）
有KLA結果樓案（KLARF^^i%、 L 1 AJ^)的逢），或為量測機台工具180 分類(例如晶圓缺陷檢视處理204或掃描電子顯微鏡處理 206)’以打開選單。於缺陷細節欄位中之其他欄位可以包 含例如光學分類及影傻概|λ •、篆概要知描電予顯微處理分類及影 像概要，聚焦離予束分類及影像概要，穿透式電子顯㈣ 分類，及影像概要等。 選擇於割覽缺陷勞幕700中之—般子標籤724將顯示 --般螢幕（未示出）。—般螢幕包含各種欄位，包含案例 名稱，案例日期，案例安全，問題，根本成@，校正動作， 推薦，作者，分析，建立日期，公司，位置等。 選擇在劉覽缺陷螢幕700上之工具子標藏726顯示工 具螢幕(未π出）。工具螢幕顯示相關於室之欄位及處理及 晶圓資訊。於工具勞幕中之攔位包含平台，主機，工具ι〇, 技術’室類型，處理類形 声 土处里顯型，處理說明，處理步驟，氣體及 清洗資訊。 於瀏覽缺陷榮幕700中選擇晶圓子標籤728顯示-晶 圓勞幕（未示出）。所有與晶圓資訊有關之欄位均提供於該 晶圓螢幕上。典型提供於晶圓螢幕上之攔位包含晶圓類 型，晶圓軌數（晶圓ID)，批次ID，晶圓大小，膜類型，膜 厚度，主要缺陷的位置，處理室及晶圓圖。 於瀏覽缺陷螢幕700上選擇缺陷子標籤73〇顯示一缺 陷攔位，其包含所有有關於缺陷分類要件（以晶圓缺陷檢 視處理分析，以掃描電子顯微處理分析，晶圓圖，及能量 分散微分析系統）的攔位。於瀏覽缺陷螢幕7〇〇上之欄位 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁}
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1276795 A7 B7 五、發明説明（） 包含空間簽章分析分類’缺陷位置’立即分類分佈，光學 分類影像，掃描電子顯微鏡人工分類，聚焦離子束，穿透 式子顯微鏡等。 示於第⑺圖中之編輯螢幕1000顯示具有於可編輯攔 位中之所有參數的現行歷史案例。每一搁位係為輸入新資 料或使用具有有限值之欄位之選擇按鈕或下拉名單加以 編輯。編輯螢幕1000組織案例資料於幾子螢幕中，其係 可以為諸子標籤所接取。這些子標籤包含一案例名單子標 籤1002, 一般子標籤1004，一工具子標籤1〇〇6，一晶圓 子標籤1008, 一缺陷子標籤1010,及一附件子標籤1〇12。 當編輯一案例時，使用者將需要在切換標籤前儲存變化。 這些標籤可以以任一順序接取。編輯螢幕1〇〇〇係預先填 充以用於選定案例之值組，予以編輯之準備。因此，顯示 於瀏覽缺陷螢幕上之案例資訊係類似於顯示於編輯螢幕 1000上之資訊，並呈可編輯格式。 案例名單子標籤1 〇 〇 2產生一案例名單子攔位，該案 例名單子欄位之一實施例包含示於表1 〇中之輸入欄位。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
舞 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 表1 〇 :至案例標籤上之輸入 名稱 說明 欄位類型 案例ID 案例識別器，其特有定義一案例 自由文字（只有數目） 案例名稱 案例名稱說明 自由文字（接受萬能 卡） 案例狀態 以案例狀態（新許可特)搜尋案例 下拉式 第36頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X 297公釐) 1276795
五、發明説明（） 案例建立 曰期及時 間 基於案例建立時之日期及時間之 搜尋。指定開始及結束範圍。 自由文字（允許範圍） 作者 基於案例之作者/建立者之搜尋。 現行使用者將為列中之第一個 下拉式 管理者 基於案例作者之管理者的搜尋。 保全群指出管理者 下拉式 公司 於一指定公司所建立之案例搜尋 下拉式 關鍵字 搜尋具有特定關鍵字之案例。可 以選最多10關鍵字 對談，下拉式等 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •工具子標籤1006產生一工具子標籤，工具子標籤之 一實施例包含示於表11之輸入攔位。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 I11 :於工具標籤上之輸入 名稱 - ， …、求Λί 干则 說明 平台 一理工具的平台（CENTURA，ENDURA等） 工具類型 處理工具的工具類型（蝕刻，CVD等） 工具ID 工具序號 室類型 處理工具的室類型（MxP+，DPS等） 處理類型 為室所用之處理類型 處理技術 由―芎定列選出處理技術。可以加入新名詞 處理步驟 自由文字，以表示處理步驟 處理說明 自由文字以表示處理的特徵 第37頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X 297公釐) 1276795
、發明説明( t預足名單選擇幾項备触^ - .^預定名單^蘀幾項Λ赠^ 'ΙΓΓΤ--體 i又竽，！方法 缺陷子標籤1 〇 1 〇產生一雜 ^ 王缺陷子欄位，缺陷子攔户、 貫施例包本千私矣]9 ^ ^ J G。不於表1 2 <輸入攔位。 說明 步階 笔章分析分類 掃描電子顯微自動 缺陷分類 主12:於之輸入 說明 缺陷說明 缺陷尺寸 於^_圓上 選擇 缺陷的空間簽章全析分類 缺陷的立即分類 缺陷的掃描電子顯微自動分類 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} 、一-ΰ # 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 掃描電子顯微人工缺陷的掃描電子顯微人工分類 分類 光學晶圓缺陷檢視 處理分類 缺陷之光學晶圓缺陷檢視系統 聚焦離子束分類 缺陷的聚焦離子束分類 穿透電子顯微分類 缺陷的穿透式電子顯微鏡分類 第38頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公釐) 1276795 A7 B7 五、發明説明（） 能量分散微分析系 統 由類型所指定之缺陷中找到的能量分散微分析 元件（一次電子，二次電子等） 影像 缺陷影像。影像加入以下類型之一：空間簽章 分析，立即，掃描電子顯微處理，光學晶圓缺 陷檢視處理，聚焦離子束，穿透式電子顯微鏡， 或能量分散微分析系統 分析工具類型 分析缺陷之觀看或檢視工具類型 分析工具ID 分析缺陷之觀看或檢視工具之工具識別器 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 一般子標籤1004產生一般子攔位，一般子欄位之一 實施例包含示於表1 3之輸入欄位。 表13:於一般標籤上之輸入 名稱 說明 案例名稱 案例之說明名稱 案例狀態 案例狀態（分析，許可等） 案例保全 允許使用者接取以觀看及編輯案例之設定 分析 案例分析 問題 問題說明 根本成因 問題之根本成因 校正動作 克服問題之校正動作 推薦 案例推薦 關键字 相關於案例之關鍵字。任何數量可以加入也可 以定義新關鍵字 第39頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X 297公釐) 1276795 發明説明（） 缺子標籤1 008產生一缺陷子攔位，缺陷子攔位之 實施例包含示於表14之輸入攔位。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 名稱 批次ID 晶圓ID 晶圓類型 缺陷位置 產品 步階 晶圓尺寸 膜類型 膜厚 晶圓圖 配托 表1 4 ··晶圓籤之入
曰圓上之多數缺陷J立置 曰圓所生產的產品 晶圓步階或層
上晶圓圖影像 附上配托圖 附件子標籤1 0 1 2產生一附件子欄位 貫施例係包含示於表1 5中之輸入欄位 附件子欄位 表 15 ： 於 附件標籤上之子欄位 名 稱 說 明 — 類 型 附 件 之檔 案 類 型 。影像，KLARF，URL或其他轉幸 名 稱 附 件 之名 稱 或 說 明 位 置 予 以 附著 之 檔 案 位置 第40頁 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} ♦ 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公釐) 1276795 A7 B7 發明說明（） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 用於案例狀態之有效選項包含一分析選項，一已分析 選’，一複製選項，一核准選項，一暫停選項，及一不准 選㉟。使用者需要選擇一處理工具類型及平台，以將一處 理丁 具加入至一案例中。該界面支援將多處理工具加入至 案例中。下拉名單可以用以循環於案例中之所有處理工 具。刪除按鈕1 1 -6由案例中去除一處理工具。去除一處 理工具將由該案例中去除相關於該處理工具之任何室。” 新加”按鈕加入處理工具。，，新加，，按鈕係用以將室加入處 理工具中。 將一室加入至處理工具，使用者必須選擇並提供以下 搁位：室位置欄位，室類型攔位，及處理類型欄位。室類 型之選擇作用了處理類型欄位中之可用選項。多室可以加 入至一處理工具及至一案例中。下拉名單可以用以循環於 一處理工具的多室中。使用者可以加入多晶圓至一案例 中。一下拉名單可以用以循環經一案例中之所有晶圓。為 將—晶圓加入至一案例中，使用者需要輸入晶圓類型。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 刪除按鈕將由案例中去除現行晶圓。當刪除按鈕被選 擇時’任何晶圓圖及相關於晶圓的邵件將由案例刪除。刪 除一晶圓將不會刪除可能與該晶圓相關之任何缺陷。然 而’於缺陷及晶圓間之相關性將會遺失。使用者可以加入 多缺陷至一案例中。缺陷的一下拉名單係用以循環經一案 例中之所有缺陷。當刪除缺陷按鈕被選擇時，缺陷按鈕將 由案例中去除選定缺陷。相關於該缺陷的任何缺陷或名稱 將藉由選擇刪除缺陷按鈕而刪除。選擇步階選項按鈕將作 第41頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公釐) 1276795 五、發明説明（ 陷 可用刀4選擇。每一分類類型只能指定一分類。改織每 步階將清除分類類型潠 ^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝· -、v一 & 陷本身之分類所=:擇。附著缺陷影像的分類係“ 將假定為，，未知，；類並未被選擇，則附著之景u 類將使用掃描電子微笋& & 〜像，， > 械釦自動缺陷分類及掃描電予顯推 H 111類型之多數影像可以使用加入按ά :以加入。去除按紐可以由缺陷去除一影像。預覽按㈣ 用以觀看選定影像。 夕里測機台工具1 80可以用以檢視晶圓缺陷。使用^ 在力：入量測機台工具前，f要選擇量測機台工具類型。奢 入量測機台識別器係可以選用的。附件類型，名稱及位j 攔位均需要在檐案附著被加人前被輸人。現行附件的名写 係顯示於螢幕上。現行附件可不被編輯，但它們可以使用 删除按益加以去除。將不會有附件被傳送至缺陷源識別器 伺服器106，直到儲存按鈕被選擇或使用者切換標籤為 止0 部份欄位包含一，，新加，，，選擇為下拉選單之第一項 φ 目。适些欄位為平台，處理工具類型，室類型，處理類型，λ ; 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 處理技術，關鍵字，晶圓類型，氣體。選擇，，新加，，項打開 · 了 一上拉（popup)視窗。使用者可以將一新選擇加入至該^ 「 用上拉視窗之名單。新項目將出現於所有後續案例編輯 ； 中，並在搜尋螢幕800選擇上。 «*
I I 出現在編輯螢幕缺陷源識別器100〇之底上之以下接 ·！ 紐，於示於第10圖中之實施例包含一儲存按鈕1〇3〇，— ：
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I I 第42頁 1
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、發明説明( 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 儲存按知1〇32,及一重置標籤按知1〇34。儲存為按紐ι〇32 打開-上拉對談窗，使使用者可以插入新案例名稱。案例 身份，使用者名稱及日期值將自動輸入。儲存按紐1〇3〇 儲存對現行案例之改變，以使於編輯模式中之使用者具有 與現行案例之相關案例。f署押Μ ^ ^ 1 J 1置榣戴按鈕1034回複標籤至 編輯前之狀態。 選擇建立標籤708打開一建立螢幕11〇〇，其示於第 ^圖之實施例允許用者以由素描建立一新案例，以由案例 範本建立一新案例，由素描建立一新範本，或由現行案例 範本建立一新範本。除了有關於範本子標籤之子標籤外， 建互螢幕1100於操作上係類似於編輯螢幕1〇〇〇。於範本 子標籤中，使用者被提供以一列所有現行範本之名單，或” 無預設），若使用者想要由素描建立一案例的話。建立標 籤同顯示案例範本之特徵。 使用者可以藉由使用一案例範本以開始或藉由素描 開始以建立一新案例。為了由現行範本建立一案例，使用 者由出現在範本標籤1102下之範本名單11〇6選擇範本名 稱1104,該範本標籤設定所有攔位為被儲存在該範本中之 值。於範本中之資料組可以範圍由完全空白案例至完全填 滿案例。使用者然後可以改變任一預填攔位，以符合其需 要，然後，選擇一儲存案例按鈕，以儲存資料至缺陷情報 館資料庫190。 為了由素描建立一案例，使用者可以由範本標籤選擇 一空白。當建立標籤708被選擇時，空白範本係以預設值 第43頁 本紙張尺度適用巾關家標準(CNS)A4_(21GX297公"""" --- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝· 、可· # 1276795 A 7 B7 、發明説明（ 载使用者可以改變任何欄位，以符合其需求。當
要輸入資料時，建立榮幕"。。之格式出現為類似 於編輯答莫 1 Λ Λ A i Q 、 之格式。使用者可以選擇儲存為按鈕 —、儲存新貝料至資料庫。一案例作者可以將現行檔 一:著至缺陷情報館案例中作為案例的一部份。檔案來源 直係由區域系統目錄，並可以為KLARF，其他缺陷圖資 料，文字,, 偏茉，或其他任何格式。缺陷情報館資料庫系統 KLARF及tIFF格式檔案，並支援JpEG格式影像的 其他檔案格式係可以作觀看檐案類型所用。一 案例只有一影像的硬備份可用，使用者掃描影像，以建立 一電子格式。掃描可以以第三方系統完成，並發生在缺陷 &報館:貝料庫系統外。所得影像檔案可以附著至案例， 、、後（於所支援格式下）被進一步觀看。缺陷情報館資料 庫系統1 86之一實施例支援附著檔案類型及處理，如於表 1 6所示。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 源檔案類型 為DKL所需之處理 水初土 /入娜，土 於DKL中之結果 KLARF 是 觀看晶圓圖 KLARF 是 觀看配托圖 TIFF 是 儲存呈JPEG格式之附薯轉幸 JPEG 否 觀看影像（瀏覽器） 其他 否 ---- 儲存為源格式之附件檔奮 第44頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210Χ 297公釐） 1276795 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（） 案例範本降低了屬於工具架構，參數等之已知資料的 重複輪入。被授權之使用者可以於任何時間建立案例範 本。所儲存範本具有與案例相同之優先特權/安全（讀取/ 窝入/拷貝安全）。建立範本功能可以由兩不同勞幕加以接 取。為了由素描建立-範本，使用者由範本列11〇6中選 擇”無”。為了由騎範本建立_範本，使用者由範本列 ⑽中選擇範本名稱，該範本設定了所㈣位為儲存於該 範本中疋值ϋ本中之資料組範圍可以由-完全空白案 例至—完全填滿案例。-旦使用者對諸攔位完成想要改 變，他們可以選擇該儲存為按叙。使用者然後可以輸入範 本名％ ’選擇0Κ按鈕，及範本係加入至案例範本之名單 中 〇 範本部份係Τ «由應肖中之任何地方接取。除了 適當安全特權外，建立新案例並不需要一要件。缺陷情報 館資料犀系統186並不包含任何預先裝載之案例範本，除 了預設空白範本外。當使用者想要儲存—新範本於新案例 上’而並不想要每一欄位均如已經被輸入者時，所有欄位 均被啟動。應注意的是，當建立一新案例時，需要某些搁 位’並且，孩案例可能不會被儲存，除非所有之所需 均被填滿為止。若使用者未能填入一所需搁位，則—_自 將會顯示，而通知他們對所需搁位補充—值。於範本^ 幕之底邵處有一刪除按鈕11〇6。使用者必須首先選擇—々 本，然後，選擇刪除按鈕，以去除該範本。 、 範 於建立螢幕1100中之+炉您台人. 甲〈子戴包含·儲存，儲存，重 第45頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公釐） --------r — — h — f.........訂 i-........ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1276795 五、發明説明（ 置，標籤及儲存A铲 但可以經構案選標籤並未示於第11圖中， 拉對話框，以使使用者 存為’，按紐將打開一上 者名稱，及日= α㈣名稱’案例身份’使用 行案例的改變輸入。儲存子標鐵將错存對現 之案例。重I# 者於編輯模式，案例係為現行 為iU㈣將案㈣復到其編輯前之狀態。儲存 將儲存現行案例成為未來使用之範本。儲存為 知赵使传使用者到 ^ 立-範本名稱。la本歹J勞幕。使用者然後於上拉窗建 訂 # 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 紐於第7至“圖中之任一勞幕中之影像陳列按 ’’將提供-影像陳列螢幕U00之一顯示，其例示實 =例係:於第12圖中。影像陳列螢幕⑽允許使用者以 各種置測機台工具18G’例如掃插電子顯微鏡處理206， 晶圓缺陷檢視處理204’能量分散X線微分析⑽X)系統 等等觀看影像。顯示於影像陳列螢幕12〇〇之列示行包含 案例ID仃1204 ’ 一案例名稱行12〇6 ’一掃描電子顯微 鏡處理影像行1208’光學影像行121〇,及—職影像行 1212。典型地，-每案例-影㈣提供給每—行1游i2i〇 及1212(若一影像係被提供用於每一影像類型的話）。 缺陷情報館資料庫系統186包含支援，用以傳送案例 於兩不同缺陷情報館資料庫系統之間。為傳送一案例，使 用者必須輸出一案例至一碟片（或其他記憶體裝置），然 後，輸入案例至任何其他之缺陷情報館資料庫系統。案例 傳送功能可以被用以傳送案例資訊至各種客戶供當地使 第 461* 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公變) 1276795 A7 B7 五、發明説明（ 用。傳送功能操作使用相同資料模型之資料庫。輸出能力 才疋供案例之單向，及半自動傳送。案例係以不能被讀取於 文丰編輯器中之格式加以輸出，並只被提供給於缺陷情報 館資料庫系統間之案例傳送。於較佳實施例中，相關於該 案例之關鍵字係隨著案例輸出。相關於輸出案例之攔位的 一實施例係被顯示於表1 7中。 --色1 / ·相關於1出案例之欄位 參數名稱 說明 案例ID ^夺被輸出之案例的ID 目的地 在碟片上輸出案例檔案之路徑 隱藏來源 使用者可以指定以隱藏案例作者，群組及公司之 身份 分類映圖 一選項，以指出是否輸出分類映圖影像 於一實施例中，只有具有全局許可層次之案例可以被 輸出。若案例並未具有適當許可層次，則將不會進行輸 出。於一實施例中，批次ID，晶圓ID，及工具序號將不 會隨案例輸出。若該隱藏來源選項被選擇，則案例的身份 將不會隨著案例資訊被輸出。這包含建立案例之作者，群 組，地點，及公司。此選項將影響當使用者輸出一案例時， 是否案例源攔位將被預先填滿否。 分類映圖選項決定是否分類影像將被與案例一起輸 出。分類影像係為輸入系統所使用，以協助於分類格式間 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X 297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 # 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1276795 A7 B7 五、發明説明（） (請先閲讀背面之注意事項再#寫本頁) 之映圖。輸出功能於指定目錄中，建立一檔案，該目錄包 含案例資訊。具有適當許可之使用者可以由其他缺陷情報 館資料庫系統輸入案例。輸入功能處理為案例輸出所產生 檔案。為了輸入一案例，使用者必須指出案例檔案的位 置。選擇一有效案例插案將顯示屬於一案例之部份主要資 訊，例如案例名稱。案例來源（即作者，公司等）係同時顯 示，若輸出者並未選擇隱藏此資訊的話。相關於輸入案例 之諸攔位的實施例係示於表1 8中。 表1 8 :相關於輸入案例的欄位 參數名稱 說明 來源 指出予以輸入之案例捲案的位置 案例安全 指出所輸入案例的案例許可層次 案例來源 指出案例來源。此包含作者，群組，地點及八司 案例映圖 使用者必須指出於分類間之映圖 對於進行輸入，使用者需要指出用於案例構案之分類 及於區域缺陷情報館資料庫系統之分類間之映圖。用於案 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 例檔案中之分類的分類影像將被顯示，若輸出者選擇將之 輸出的話。當目的地缺陷情報館資料庫系統輸入一案例 時，一新案例身份將被產生。目的地缺陷情報館資料庫系 統處理經其資料輸入處理所傳送之案例。資料輸入界面供 給使用者以足夠功能以檢查安全，檢查案例的由 J〜凌，以檢 查是否其匹配目的地資料庫結構並以新案例更4 尺啊回的地 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公釐) 1276795
五、發明説明( 資料庫。資料輸入規枚7 λ , 尼袼可以於資料輸入部 由示於第7至14 Ri 丨知中找到。 圖 < 缺陷情報館資料庫 之任一螢幕選擇架構標_ 系、.死186中 i 先 閲 讀 背 5 意 事 項 再 填 寫 本 5 其貫施例之不同部份係示於第13及：構：幕 者架構螢幕1 300係用u · 使用 ^ v 以允并以使用缺陷源識別器100來 建JL新公司，地點，群^ 术 鮮組及使用者。如於第13圖之實施 例所示，於架構螢幕13〇〇 T <身攔位包含一公司襴 1 3 0 2，一地點欄位 1 3 〇 4 _ , 304，一工作群組欄位1306，及—接 用者欄位1 308。 於一實施例中，每-公司包含-或多數地點。一地點 可以具有-或多數使用者群組。最後，—使用者群組包含 -或多數使用者。每-使用者必須為一使用者群組及安全 群組之成員。安全群組決定使用者之接取權。使用者可以 屬於多數使用者群組。每一使用者將只具有一主使用者群 組及任何數量之次使用者群組。對於保全群組並沒有架 構。安全群組係為預先架構。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 若一具有適當授權之使用者想要加入一新公司，則他 們於公司邵份中選擇一新加入未標籤1 3丨〇。相關於加入一 公司螢幕之欄位之一實施例係示於表1 9中。新加入子標 籤作用以清除於使用者架構螢幕1 3 〇〇中之所有欄位。使 用者然後可以加入新資訊至每一欄位。一旦滿足新資訊， 使用者可以選擇儲存按紐及系統將新公司加入資料庫 中。同樣地，也可以建立一新公司地點。然而，使用者必 須首先由下拉名單中選擇一公司。 第49頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公釐) 五、發明説明(
先選擇並1306中加入新群組，使用者必須首 組螢幕之實=地點攔位― 點會顯示出…] 示…"。選擇-公司地 選擇1二:細於該群組名單盒中。使用者然後 配&群組邵份動作選定之新加入按紅13 工作群組1306中。—清除所有棚位。使 新資訊至每-欄位中。-旦滿足新資訊，使用 者選擇儲存按紐，及系統將新群組加入至資料庫中。
擇 為加入新使用者，必須完成公司，地點及群組之選 使用者然後於使用者部份選擇加入新按鈕，以加入一 第50頁 1276795 五、發明説明（ 新使用者。相關 於加入一使用者螢幕之攔位@ t # Αί π 於表21中也 调仏的實施例係示 加入相Φ 加入按鈕清除所有欄位。使用者狹後可以 加入想要新資， 可，、、、俊了以 選擇儲存按鈕, —滿足新貝矾，使用者 女鈕，則系統將新使用者加入至資料庫。
公司名^ 地點名稱 主群組名稱
/入群組名稱 輸入盒 一使用者g示輸入 說明 公司明細名稱 公司地點名稱 加入使用者之群組名稱， 群組明細盒。每一使用者 主使用者群組 ------ 使用者加入之次使用者群 組名稱。使用者可屬於幾 用者群組。 以形 只有 ----- 組彡 個；i (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} -訂_ 使用者名稱 電子郵件地址
新使用者名隻 使用者電子郵件地址 #· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 為編輯於相關欄位中之使用者，群組，地點或公司火 料’使用者選擇予以編輯之項目，及該資訊係被顯示於表 中，在明細盒之右侧。使用者然後編輯該資訊並選擇馈疒 按紐，以儲存對缺陷情報館資料庫系統1 86之改變。為 刪除一使用者，一群組，地點或公司，使用者可以 R g A堤擇予
以刪除之項目並選擇該去除按鈕。一具上拉之刪除確A 第51頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公釐） Α7
經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1276795 五、發明説明（） ‘，若使用者選擇〇κ，則該項目係由缺陷情報館資料庫 系統1 86刪除。只有具有授權（基於例如密碼，使用者位 置’等）以編輯架構資訊之使用者才可以執行這些功能。 缺陷情報館資料庫系統1 86之每一項目每一層對於某 些搁位具有一預定組之分類。在缺陷情報館資料庫系統 1 8 6内之表格維持有效分類之明細。使用者只可以由有效 選擇明細中選擇分類。缺陷情報館資料庫系統係架構以提 供一用於所有分類之，，未知，，選擇。諸已授權使用者（具有分 類編輯特權）使用一分類形式，以建立並修改於缺陷情報 館資料庫系統中之有效分類選擇。授權及日期的建立係包 含於分類定義之部份中。該系統允許新分類予以建立，以 用於以下分類。所有其他分類包含固定分類。該系統管 理者於系統設立及維護時，決定固定分類之明細。 為了編輯一分類，使用者必須首先由該明細選出分類 類型。使用者然後選擇他們想要之分類並選擇編輯分類按 叙。系統允許被授權使用者以建立用於未具有固定分類之 分類之新分類。一種具有可編輯格式之分類的欄位的格式 出現。被授權之使用者編輯在格式上之所需欄位，記住系 統同時需要附著一或多數相關缺陷影像。缺陷情報館資料 庫系統冗成由編輯分類格式觀看影像。於格式完成後，使 用者選擇0Κ按鈕，以執行諸改變及系統更新用於該分類 之有效分類選擇。 若一被授權使用者想要建立一新分類，則他們必須藉 由選擇在主分類螢幕上之加入新分類按鈕，而建立分類格 第52頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X 297公釐) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -、\uu . 1276795 ΚΙ Β7 五 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 、發明説明（） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 式。這格式包含必須在使用者加入新分類前加以輸入之所 需欄位。被授權使用者輸入在格式上所需欄位，記住該系 統同時需要附著一或多數相關缺陷影像。一旦格式完成， 使用者選擇0K按鈕以執行該加入，則系統將有效分類加 入適當之分類明細中。 為了刪除一分類，使用者必須首先由三個分類之明細 中’選擇分類類型。使用者然後他們想要刪除之分類，並 選擇刪除分類按鈕。一對話盒出現，詢問使用者以確認他 們要刪除此分類。若使用者由對話框中選擇〇Κ按鈕，則 系統由該分類之有效分類明細中，删除該分類。 右使用者刪除一分類，則在缺陷情報館資料庫系統中 之案例將不會影響。當編輯案例時，刪除更新了有效選擇 之月、、、田為了在一分類刪除後，更新於缺陷情報館資料庫 系統中之現行案例，使用者首先搜尋缺陷情報館資料庫系 統，找使用刪除分類之案例。使用者然後編輯這些案例， 使用選擇諸分類之標準程序。 邵份分類（如_L所指出）可以容許新有效分類選擇。這 些分類具有_分類選擇”要求新分類，，。若未被授權者想要 建互-分類選擇，則諸未被授權以直接建立分類之使用者 可以選擇要求新分類。系統顯示一要求新分類格式，給這 些使用者。於使用者完成在式 i U、、，山 尸斤而攔位後，系統自 動地运出一電子郵件信息給使用者管理者。 私子郵件信息係為一已預格式化 去斟诸二批\ 心仏息，以要求管理 者子建乂新为類進行干擾統送 %子郵件信息至架 第53頁 本紙張纽適财關格(21GX297公董） 1276795 A7 B7 五、發明説明（ 構於缺陷情報館資料庫系統上之使用者檔案中之位址。該 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 信息包含所有來自新分類格式之資訊。在使用者完成要求 新分類格式後，該系統藉由預設方式，設定分類類型為，， 未知，，。使用者可以經由一般編輯程序，手動地重寫此選 擇。 包子郵件系統顯示有關於電子郵件傳送問題之錯誤 信息給使用者。管理者反應該要求，以藉由登入缺陷情報 釭貝料庫系統，開放案例，及使用上述用於被授權分類建 互使用者之程序，以直接建立新分類。管理者同時使用一 般編輯程序，以決定指定一現行分類。缺陷情報館資料庫 系統可以使用例如微軟EXCHANGE之電子郵件發信系 統。 ’ 參. 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 每一現行有效分類係相關於一或多數影像。於指定一 分類給缺陷時，使用者可以觀看與該有效分類選擇相關之 樣品影像。系統顯示第·一相關影像，然後，若有的話， 允許使用者以觀看其他影像。使用者觀看這些影像，以評 估具有其案例缺陷之匹配。使用者然後由有效明細選擇一 分類選擇。具有分類建立特權之使用者可以使用具有示於 表22中之輸入欄位之編輯分類格式，以指定分類相關影 像給特定分類。缺陷情報館資料庫系統丨86提供於資料庫 中之編輯部份之記錄檔中之觀看。記錄檔記錄了案例身 伤，欄位名稱，作用，使用者身份，被改變之每一案例日 期及時間。使用者輸入一案例身份，以執行該報告。該報 告被顯示於一新視窗中。 第54頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X 297公釐） 1276795 A7 B7 X- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 發明説明（ 分類類型 說明 分類形式 晶圓缺陷檢視處^，空間簽^—- 子I’ 予顯 含類名稱新分類名稱 ％ 會類說明 ja關影像 鲞像標題 影像說明 新分類說明 新分類特|之影像 影像標題 圣於新分類之麥像的說明 一缺陷情報館資料輸入設備係用 *田壮一來源傳 案例至任一缺陷情報館資料庫系統。缺陷情報館資料輪入 設備作動為一通訊處理，藉以提供處理之使用者以則 用，而使用該處理。外部應用藉由將資料 應 τ、、丄配合公告COM 應用之COM方法，而傳送資料至缺陷情報館資料庫系統 186，而執行資料輸入。外部應用包含某些資訊，例如： 例名稱，或於新案例時，提供一新案例名稱。 末 啊右外邵應用 並未指明案例資訊參數，則缺陷情報館資料庫系統自動地 產生它們。 資料輸入處理具有一分類映圖功能，其係用以匹配於 輸入資料中之分類與目的地缺陷情報館資料庫系統丨86中 之分類。只要資料輸入處理接收分類資料，它會呼叫一分 類映圖功能。此功能匹配輸入分類資料與用於在區域系統 上之分類欄位之有效選擇。不匹配之分類將需要使用者以 第55頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X 297公釐) ----•…厂·裝........·-訂..........· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} 1276795 A7 B7 五、發明説明（） 指定或建立一新分類在區域系統上。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} 包含第15A及15B圖之第15圖描繪一用於缺陷情報 館資料庫系統1 8 6之操作方法1 5 0 0之一實施例的流程 圖。方法1 500於步騾1501開始，並進行至步驟1 502，其 中由缺陷情報館資料庫系統1 86顯示影像，資料，及/或其 他資訊之GUI開始時輸入如於第7及9圖所示實施例之瀏 覽缺陷螢幕瀏覽缺陷螢幕700，900。方法150〇進行至步 騾1 504，其中使用者使用瀏覽缺陷螢幕瀏覽缺陷螢幕 700，900瀏覽缺陷情報館資料庫系統。 -訂· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 使用者被提供以接取他被授權之缺陷情報館資料庫 系統地點。方法1 500進行至決定步騾1 506，其中使用者 選擇搜尋標籤704,如於第7至14圖中之任一螢幕所示之 一者。若對決定步驟1 506之回答為是，則方法1 500進行 至步驟1510，其中，使用者在顯示搜尋螢幕800上輸入搜 尋參數。於步驟1 5 1 2中，缺陷情報館資料庫系統1 86將 於步驟1 5 1 0中滿足搜尋參數之所有匹配案例送回。方法 持續進行至步騾1 5 1 4，其中使用者選擇想要之匹配案例。 於使用者選擇想要匹配案例後，有關於匹配案例的特定細 節係被顯示於GUI上，其於步驟1 502中重新輸入濁覽缺 陷螢幕。 決定步驟1 508反應於使用者選擇於第7至14圖中之 任一之選擇編輯標籤按鈕1 506。若對決定步驟15〇8之回 答為否’則方法1 5 00進行至決定步驟1 5丨6。若對決定步 驟1 508之回答為是，則缺陷情報館資料庫系統於步驟 第56肓
1276795 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 發明説明（） 1518中’顯示編輯螢幕1〇〇〇作為GUI給使用者。方法然 後進仃至步驟i 52〇，其中使用者編輯被顯示之缺陷情報館 資料庫系統編輯螢幕1〇〇〇。於步騾152〇後，方法進行至 步驟1 522，其中對編輯螢幕缺陷源識別器i 〇〇之編輯係被 儲存或未儲存。使用者然後藉由選擇儲存按鈕，或儲存為 接鈕，而選擇儲存該編輯。或者，使用者可以選擇不儲存 編輯，並回到濁覽缺陷榮幕邀！覽缺陷榮幕7〇〇，9〇〇，其中 案例將保持於使用者進入編輯螢幕之前的狀態。方法 進仃至步驟1524,其中缺陷情報館資料庫系統186儲存編 輯這些編輯係被選擇為使用者所儲存於步驟丨522。於步 驟1524後，方法進行至如於步騾15〇2所示之瀏覽缺陷螢 幕瀏覽缺陷螢幕700，900。 若對於步驟1 508之回答為否，步驟1516將指出是否 使用者想要於第7至14圖中之任一螢幕中選擇建立標籤 70 8。右對於決定步驟1516之回答為否，則方法15〇〇持 績至決足步驟1 526。藉由比較，若對決定步驟i 5丨6之回 答為是，則方法1500進行至步騾1 528，其中所選之建立 螢幕1 1 0 0係被顯示用於缺陷情報館資料庫系統丨8 6。各種 建a螢幕11 〇 〇可以提供給使用者，其包含若千已經完成 之攔位或者，所有適當攔位均如想要地保持空白，並為使 用者所提供輸入。於步驟1 528後，方法15〇〇持續進行至 步驟1 530，其中，使用者編輯缺陷情報館資料庫系統建立 螢幕1100。 於步驟1530中，使用者提供在建立榮幕u〇〇内之任 第57頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公董) -----、- :·:·裝........-、?·........# (請先閱讀背面之注意事項、再填寫本頁} 五、發明説明（） :想要櫚位輸入’並與類似於步驟 1000與使用者之互動方式，與 、.爲輯勞幕 m 1 c 0 Λ 、逐儿螢幕1100互動。 驟1530後，方法15〇〇進行至步驟 動於步 11 〇〇之編輯係被儲存咬未 、對建亙螢幕 ㈣所示之儲存 任何編輯。若使用者想要刪除2H，如想要地儲存 第Η圖中之建立螢幕1100中、 們可以選擇示於 愛幕1100中《刪除按鈕11〇 迤行至步騾1 534,其中缺陷情 4 、人土 "裉#貝科犀系統儲存編輯， 口；步騾1 532所示。方法15〇〇 缺陷勞幕，如好驟咖所表示步驟1 534,以劉覽 ，設對決定步驟1516之回答為否，則方法Η⑼進行 决疋步驟1526’其係決定是否使用者選擇示於第7至 14圖之實施例中之影像陳列標籤⑹〇。若對決定步驟 1526《回答為否，則方法15⑽進行至決定步驟⑸6。若 對決定步驟一 1526之回答為是，則方法15〇〇進行至步驟 8其中tf於第12圖之實施例之影像陳列榮幕12⑽係 被顯示。影像陳列勞幕i顯示一案例名稱，其具有各 種由：如晶圓缺陷檢視處理2〇4，掃描電子顯微鏡處理 月匕量刀政X -射線微分析系統及/或其他量測機台工具 1 800所產生 <影像。方法15⑼進行至步驟1⑽，其中使 用者藉由例如如想要地移動於影像陳列螢幕12⑽之上或 下，直到想要案例被觀看於影像陳列螢幕12〇〇為止。方 法1 500然後進行至步驟1542，其中來自量測機台18〇之 影像係被顯示。於步驟1542後，方法1 500進行至步驟 第58頁 1276795 A7 五、發明説明（ 1 502,其中缺陷情報館資料庫系統i 給使用者。 屬覽缺陷螢幕 假設於決定步驟1526之回答為否， 、 —本正 貝】一万法1 500進 灯至步驟1 536,其中決定是否使用者選擇示於第了至μ 圖中之架構勞幕標藏712。若對決定步驟1 536之回答為 否’則方法1 500回到步騾1 502。若對 。 τ此口善於步驟1536 中為是，則缺陷情報館資料庫系統架構螢幕13〇〇，即示於 第1 3及i 4圖之某些部份係被顯示，如於步驟1 。 <於步驟1 544後，方法進行至1546，其中缺陷情報館 資料庫系統1 86決定是否使用者對於任—想要架構螢幕 1300編輯或輸入有適當之授權。若對決定步驟1546之回 答為否’則使用者GUI回到如於步驟1 502所指之瀏覽缺 陷榮幕。若對決定步騾1 546之回答為是，則方法ι5〇〇進 行至步驟丨548，其中使用者被允許架構任一新公司，新群 組，或其他資訊，其中使用者同時允許以架構一新量測機 台工具，新處理工具，一新晶圓，或類似架構資訊。於步 驟1 548後，方法1 500進行至步驟1 550，其中於步驟1548 中之使用者架構輸入係被儲存於記憶體中，例如缺陷情報 館資料庫系統186中。於步驟1 550後，方法1 500進行至 決定步驟1 502。 應注意的是，方法1 500中，使用者可以於任何時間 輸入步騾15 02，藉由於第7至14圖中之任一螢幕上選擇 瀏覽標籤702。可以想出缺陷情報館資料庫系統1 86將經 常回路經決定步騾及方法1 600後之步驟係取決於為使用 第59頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -、\\ 一 口 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1276795 A7 B7 五、發明説明（） 者所選擇之標籤7 02，7 04，706，708，710或712° 雖然前述係有關於本發明之較佳實施例，但本發明之 其他實施例可以在不脫離其基本範圍下加以想出，本發明 之範圍係由以下之申請專利範圍所決定。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -、\备 參· 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第60頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X 297公釐)
Claims (1)
1276795 '申請專利範圍 A8 B8 C8 D8 第f叩號專利案仍年t月修正 六 Μ, X..>沛翁:tt: 種建立一缺陷情報館之方法，至少包含步驟： 建立一資料庫輸入，該資料庫輸入包含一特定缺陷 的案例研究，該特定缺陷包括缺陷資訊，該缺陷資訊包 含，或多數缺陷影像；及 儲存該資料庫輸入作後續存取之用。 2. 如申請專利範圍第1項所述之方法，其中上述之資料庫 輸入係儲存於一伺服器中。 3. 如申請專利範圍第2項所述之方法，更包含步驟： 由至少一客戶端，供給該案例研究之資訊給該伺服 器0 請 先 閲 讀 背 之 注 意 事 項 再 填 寫 本 頁 t 訂 4.如申請專利範圍第1項所述之方法，其中上述之建立案 例歷史之步驟包含由至少一量測機台工具選擇缺陷資 ;•如申請專利範圍第4項所述之方法，其中上述之量測機 台工具包含一掃描電子顯微鏡。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 6·如申請專利範圍第i項所述之方法，其中上述之建立案 例研究之步驟至少包含： 提供該特定缺陷之一成因；及 儲存該成因於該資料庫輸入中。 第61頁 本紙張尺度適用巾國國家標準(CNS)A4規格(2獻297公复)—" -------—
1276795 申請專利範圍 7 ·如申請專利範圍第6項所述之 輸入係料於—伺服n巾、’其巾上述之資料庫 … _服器係連接至至少―交 戶端及該成因係為該至少— ㉟主至y客 客戶端所提供。 8·如申請專利範圍第6項所述之方 ，其中上述之建 例研究之步驟更包含： 漫立案 提供對該特定缺陷成因之解決方案；及 儲存該解決方案於該資料庫輸入中。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 9·如申請專利範圍第8項所述之方法，其中上述之資料 輸入係儲存於一词服器中，該飼服器係連接至至少一 戶端及該解決方案係為該至少-客戶端所提供。 …如申請專利範圍第i項所述之方法，其中上述之資料 輸入至少包含一用於該特定缺陷的分類碼。 U·如申請專利範圍第1項所述之方法，其中上述之建立 例研究步驟至少包含： 使用一資料組織範本輸入缺陷資訊。 12·如申請專利範圍第1項所述之方法，其中上述之建立 例研究步驟至少包含： 由一影像陳列中，選擇該一或多數缺陷影像。 第62頁 庫 客 庫 案 案 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210Χ 297公楚) 1276795 六、申請專利範園 A8 B8 C8 D8
α-種建立-缺陷情報館之方法，該缺陷情報館係健存於 一祠服裔中並可以由複數個客戶 包含步驟： 收集缺陷資訊、於該缺 端所存取，該方法至少 資 一或多數缺陷的 成因及緩和在該一或多數客戶端上之—或多數缺 解決方案； ' 將該缺陷資訊、該成因及該解決方案連接至 缺陷之 器； 該飼服 ;複數個 > 料庫輸入中，組織該缺陷資訊、 及該解決方案；及 々促成為由―第一客戶端所建立之資料庫輸入予 一第二客戶端所存取。 該成因 以為 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 14·如申請專利範圍第13項所述之方法，其中上述之促成 步驟至少包含： 限制該第二客戶端對在該第一客戶端之資料庫輸入 内之敏感資訊作存取。 15.如申請專利範圍第13項所述之方法，更包含： 使用一客戶端’以遠端編輯储存於該伺服器上之該 缺陷資訊、該成因及該解決方案。 16·如申請專利範圍第15項所述之方法，其中上述之編輯 步驟更包含： 第63頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210X 297公釐） 1276795 A8 B8 C8 D8 申請專利範圍 特權 建立安全授權層次’以限制該複數個客戶端之編輯 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} 17.:申請專利範圍第13項所述之方法，丨中上述之缺陷 資訊至少包含該缺陷的至少一影像。 18·如申請專利範圍第13項所述之方法，更包含： 由該複數個客戶端經由一瀏覽器界面，存取伺服器。 19·如申請專利範圍第13項所述之方法，其中上述之複數 個客戶端係經由網際網路、一區域網路或一廣域網路連 接至該伺服器。 20·如申請專利範圍第i 3項所述之方法，其中上述之缺陷 資訊、成因及解決方案形成用於特定缺陷的複數個案例 研究。 21·如申請專利範圍第20項所述之方法，其中上述之複數 個案例研究係可以由該等客戶端所搜尋而得。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 22· —種缺陷情報館，至少包含： 一由複數個客戶端所支援之客戶層，用以對一缺陷 情報館資料庫提供遠端存取，其中該缺陷情報館資料庫 至少包含資料輸入值，該等資料輸入值包含缺陷資訊、 缺陷成因及缺陷解決方案； 第64頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(210χ 297公釐)
1276795 六'申請專利範圍 由伺服器所支援之中間層，用以對連接至該客 戶層之每一客戶端提供資料庫存取控制；及 一至少包含缺陷情報館資料庫之資料層，該缺陷情 報館資料庫係可以為複數個客戶端中之每一客戶端經 由該中間層加以存取。 23·如申請專利範圍第22項所述·之缺陷情報館，其中上述 之缺陷資訊、缺陷成因及缺陷解決方案係被組織成為複 數個案例研究。 24.如申請專利範圍第22項所述之缺陷情報館，其中上述 之缺陷情報館資料庫係被分配並被部份地儲存於該複 數個客戶端之每一客戶端中及部份地於該伺服器中。 .................卜訂-·-.......S (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第65頁 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格(1l〇x 297公釐) 1 5.如申請專利範圍第22項所述之缺陷情報館，其中上述 之該等資料輪值至少包含該等缺陷的影像。 1276795 第h I叫號專利案γ年f月修正
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